JP3801674B2 - 電子部品の実装方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 40
- 239000000565 sealant Substances 0.000 claims description 39
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 32
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 28
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 26
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 22
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 claims description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
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- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/27—Manufacturing methods
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/563—Encapsulation of active face of flip-chip device, e.g. underfilling or underencapsulation of flip-chip, encapsulation preform on chip or mounting substrate
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- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L24/28—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process
- H01L24/29—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors prior to the connecting process of an individual layer connector
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L24/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
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- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
- H05K13/046—Surface mounting
- H05K13/0465—Surface mounting by soldering
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- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
- H05K13/046—Surface mounting
- H05K13/0469—Surface mounting by applying a glue or viscous material
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/11—Manufacturing methods
- H01L2224/11001—Involving a temporary auxiliary member not forming part of the manufacturing apparatus, e.g. removable or sacrificial coating, film or substrate
- H01L2224/11005—Involving a temporary auxiliary member not forming part of the manufacturing apparatus, e.g. removable or sacrificial coating, film or substrate for aligning the bump connector, e.g. marks, spacers
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
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- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L2224/743—Apparatus for manufacturing layer connectors
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- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/756—Means for supplying the connector to be connected in the bonding apparatus
- H01L2224/75611—Feeding means
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- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83192—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
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- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83194—Lateral distribution of the layer connectors
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01004—Beryllium [Be]
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- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01005—Boron [B]
-
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01006—Carbon [C]
-
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01033—Arsenic [As]
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01039—Yttrium [Y]
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- H01L2924/01047—Silver [Ag]
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は回路基板等の実装対象物に電子部品をマウントして封止処理し実装する電子部品の実装方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、電子部品を回路基板上に実装する方法として、回路基板上の電極に電子部品をフェイスダウンの状態で実装するCOB(CHIP ON BOARD)実装が注目を浴びている。以下図面を参照しながら、このCOB実装方法について説明する。
【0003】
図8の(a)は従来のCOB実装方法のフローチャートを示している。これに基いて説明する。先ず図8の(b)に示すように回路基板aに電子部品bをマウントしボンディングする。回路基板aには電子部品bとの電気的接続を行う図8の(b)に示すような電極cが配置されている。回路基板aは図8の(b)に示すようにステージdに保持される。一方、電子部品bの電極部には回路基板aの電極cと接合するためのバンプeが形成されている。このバンプeにはボンディング用の銀ペースト等が被覆されている。電子部品bはマントに当りノズルfで吸着搬送され、マウント位置に位置決めして基板a上にマウントされる。マウント後の電子部品bは前記銀ペーストの熱溶融を図ってボンディングする。次いで図8の(c)に示すように電子部品bの周囲に封止剤を塗布する。この塗布は図8の(c)に示すような傾斜ステージg等を用いて回路基板aを斜めに位置保持し、電子部品bの高位側に沿ってディスペンサhにより封止剤iを塗布する。これにより塗布した封止剤iは回路基板aの傾斜に従って電子部品bの下部にも流入させる。そして封止剤iを熱硬化させて接合を完了する。図8の(c)に示すjは位置決めベースであり、回路基板aを位置決めする。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、電子部品bの下面と回路基板aとのすき間が数十ミクロンと狭い上に封止剤iの粘度が高いので、上記従来の塗布方法では電子部品bの下部へ封止剤iは流入しにくい。このため封止剤iの流入のための時間を多く取る傾向にありタクト時間が長く生産能率が悪い。しかも封止剤iの流入が不足し勝ちなため気泡が入る原因になっている。電子部品bと回路基板aとの間に気泡があると、これが電子部品bのまわりの封止によって密閉されるので、気泡内空気が環境温度の変化によって膨張したり収縮したりし、そのときの増圧や減圧で電子部品bに割れが生じたり、気泡内の湿気によって電極等が腐蝕したりして実装不良を招く。
【0005】
本発明は以上のような課題を解決するもので、実装対象物の電子部品マウント位置に封止剤を予め塗布して前記電子部品の下に封止剤を積極的に付与することにより、迅速かつ十分に封止処理でき、割れや腐食などの実装不良を低減し、また生産を上げることのできる電子部品の実装方法を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項1の発明の電子部品の実装方法は、電極部にバンプが形成されている電子部品をマウントする実装対象物の位置に、封止剤を前記実装対象物の電極部に掛からないようにして塗布する第1の塗布工程を行い、前記電子部品を前記位置にマウントし、前記電子部品のバンプに被覆されている銀ペーストないし導電性ペーストを熱溶融することで、ボンディングする工程を行い、実装対象物上のボンディング後の前記電子部品の周囲に封止剤を塗布する第2の塗布工程を行い、最後に、封止剤を熱により硬化させる工程を行う電子部品をマウントする実装対象物の位置に封止剤を前記実装対象物の電極部に掛からないようにして塗布する第1の塗布工程を行い、前記電子部品を前記位置にマウントし、前記部品に被覆されているペーストを熱溶融することで、ボンディングする工程を行い、実装対象物上のボンディング後の前記部品の周囲に封止剤を塗布する第2の塗布工程を行い、最後に、封止剤を熱により硬化させる工程を行うことを特徴とするものであり、
電極にバンプが形成されている電子部品は実装対象物の第1の塗布工程によって封止剤が予め塗布された部分にマウントされ、第1の塗布はマウント位置にある電極を避けるだけであって迅速かつ充分に強制塗布して、マウントされた電子部品と実装対象物との間に密に位置させ、続いて行われる電子部品と実装対象物との電極間の、前記電子部品のバンプに被覆されているペーストを熱溶融することでのボンディングには邪魔にならずそのまま通常通りに行われるようにする。第2の塗布工程は従来の場合同様に電子部品のまわりに封止剤を塗布するが、電子部品下の予め塗布されている封止剤にまで達すればよく、これも迅速かつ充分に行える。従って、電子部品と実装対象物との間の封止剤に気泡が入りにくく、気泡が原因した電子部品の割れや腐蝕による実装不良を低減することができる。また封止剤は2回塗布するもののいずれも短時間で達成されるとともに最後に熱により硬化されるのでタクト時間は短縮し生産能率が向上する。さらに第1の塗布によってその後にマウントされる電子部品を回路基板に接着する役目も営むので、マウント後に電子部品が位置ズレするのを防止し、また、ボンディング、封止処理した電子部品の固着性を向上するので、歩留りおよび品質の向上を図れる。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、さらに、第2の塗布工程において実装対象物を水平に対して傾斜させた状態で封止剤を塗布することを特徴としている。
【0007】
請求項3の発明は、請求項1の発明においてさらに、第1、第2の各塗布工程のうちの少なくとも第1の塗布工程は、描画工法を用いるものであり、
描画工法による塗布軌跡や移動速度の自在な設定にて、実装対象物上の電極のどのような配列にも容易に対応して、しかも、必要などのような塗布密度および塗布量をも容易に満足することができ、特に第1の塗布に用いて実装不良の発生をさらに低減することができる。また、封止剤の塗布位置を正確に制御できるので、電極との安全隙間を適宜に設定しておけば、粘度の低い封止剤を用いて処理しても、電極部に流れてボンディングを邪魔することはないので、低粘度で流動性がよい分だけ作業能率が向上する。
【0008】
請求項4の発明は、請求項1の発明においてさらに、第1の塗布工程は、スクリーン印刷工法を用いるものであり、
スクリーンに予め設定する印刷パターンによって、実装対象物上の電極のどのような配列にも対応して、しかも、必要な塗布密度も得られるので、実装不良の発生をさらに低減することができる。また、封止剤の塗布はスクリーンの開閉とスキージの移動だけで一瞬に行えるし、複数の部品マウント位置にも同時に塗布できるので、生産能率がさらに向上する。
【0009】
請求項5の発明は、請求項1の発明においてさらに、第1の塗布工程と、第2の塗布工程とで異なる封止剤を用いるものであり、
第1、第2の各塗布の方式や器具の違いと云った異なった塗布条件に対応でき、第1、第2の各塗布を首尾よく達成することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の幾つかの実施の形態につき、図1〜図7を参照しながら説明する。
【0013】
(実施の形態1)
図1〜図5は本発明の第1の実施の形態を示している。本実施の形態では、図1の(b)〜(d)に示すように実装対象物としての例えば回路基板1に電子部品2を実装する場合を示し、図1の(b)、(c)、図2、図3に示すような回路基板1を位置決め保持する保持手段11としての位置決めベース3と、この位置決めされる回路基板1上に電子部品2をマウントしボンディングに供するマウント手段6としての例えば図1の(c)に示すような吸着ノズル4を用いたものと、例えば図1の(b)、図2に示すようなディスペンサ5が回路基板1の上を3次元的に移動することができる封止剤の塗布手段7とを備えた電子部品2の実装装置が用いられている。マウント手段6および塗布手段7は同一機械の同一ステージに対して設ければよいが、異なったステージに設けることができるし、個別の機械装置として順次に用いることもできる。また、本実施の形態ではボンディング後の電子部品2のまわりに従来通りの封止処理をするのに図1の(d)、図4に示すような傾斜ステージ8とディスペンサ9を持った塗布手段10も用いる。この傾斜ステージ8でも位置決めベース13が用いられる。この位置決めベース13はマウント手段6および塗布手段7による作業ステージのものとは異なったものであるのが好適である。回路基板1を傾斜姿勢でズレや移動のないように位置決めするためであり、そのための特別な位置決め部13a、13bが設けられる。もっとも請求項5の発明要件と本発明の目的を満足すれば装置の具体的な構成は自由である。例えば保持手段11はマウント手段6、塗布手段7、10の各作業のために共通して用いることもできる。この場合、保持手段11は全ての作業に際して回路基板1を傾斜させて保持してもよいし、ボンディング後の封止材塗布に際してだけ傾斜させるようにすることもできる。
【0014】
本実施の形態では塗布手段7、10は異なったものを用いているが、作業ステージを共通にする場合は特に、それらは同一物を共用すると好適である。塗布手段7、10の各ディスペンサ5、9は塗布作業のために図2、図3に示すように水平面上で直交するX,Yの2方向と、鉛直なZ方向とに移動および位置制御されるものが好適である。もっとも、塗布手段7による封止剤の塗布は塗布精度確保の上から描画工法を採用するのがよく、高精度な動作機構15と動作制御手段16とが用いられる。動作制御手段16は専用制御機器でもよいが、数値制御できるマイクロコンピュータが汎用性や数値管理の上で便利である。塗布手段10による塗布は描画工法に比べれば単純で、その動作機構17と動作制御手段18とは塗布手段7のものより低級な従来通りのものでよい。
【0015】
傾斜ステージ8は、傾斜の角度(θ)をかえられるし、回路基板1を保持する角度(α)も変えられる。このθおよびαの自由な設定によって、最も効率の良い塗布状態をつくることができる。本実施の形態ではθ=10°、α=45°とした。
【0016】
上記の装置を用いた電子部品2の実装作業は、例えば図1の(a)に示すフローチャートに従った方法で行われる。これについて説明する。先ず、回路基板1の電子部品2をマウントする位置20に図1の(b)、図2に示すように封止剤21を回路基板1の電極部22に掛からないようにして塗布する第1の塗布工程を行う。この塗布は前記した描画工程によって行われ、電極部22に掛からない範囲で、できるだけ広く密に、かつ所定の厚さになるように塗布する。このためにディスペンサ5の描画軌跡と軌跡密度とが適宜設定される。本実施の形態では、図1の(b)、図2に示すように密なピッチで連続的に直線往復移動する描画動作を行っている。しかし、これに限られないのは勿論である。
【0017】
この第1の塗布工程において、回路基板1とディスペンサ5は図5に示すようにスペーサ23によって間隔を保持される。ディスペンサ5に供給される封止剤21は、圧縮エアー24により吐出口5aから吐出される。この吐出と同時にてディスペンサ5は回路基板1に対し前記描画動作される。このとき封止剤21の粘度変化を防止するため、恒温水25をディスペンサ5の周囲に循環させる。なお、本実施の形態ではスペーサ23を用いているが、例えば(公開特許公報平2−187095)等に示すような回路基板1とディスペンサ5との並行関係精度が高く、かつ封止剤21の塗布量精度が低くても良い時は、スペーサ23等の間隔保持手段は不要となる。本実施の形態では上記間隔を100(μm)とした。
【0018】
次いで、図1の(c)、図3に示すように回路基板1の封止剤塗布後のマウント位置20にマウント手段6により電子部品2をマウントし、ボンディングに供する。ボンディングにより回路基板1と電子部品2の電極は電子部品2側のバンプ125を介して接続される。この工程は従来工法と同じであり詳細な説明は省略する。なお、このマウントボンディング工程のためにノズル4は動作機構26と動作制御手段27とによって水平面上で直交するX,Y2方向と、鉛直Z方向との動きを制御される。
【0019】
続いて、図1の(d)、図4に示す第2の塗布工程を塗布手段10によって行う。これも従来工法と変らないので、詳細な説明は省略する。最後に封止剤21を熱により硬化させて全工程を終了する。
【0020】
以上のようにして、電子部品2の封止処理を伴う回路基板1への実装が、上記装置によって自動的に達成される。
【0021】
以上のような実装方法では、第1の塗布はマウント位置20にある電極22を避けるだけであって迅速かつ充分に強制塗布して、マウントされた電子部品2と回路基板1との間に密に位置させ、続いて行われる電子部品2と回路基板1との電極間のボンディングには邪魔にならずそのまま通常通りに行われる。第2の塗布工程は従来の場合同様に電子部品2のまわりに封止剤21を塗布するが、電子部品2下の予め塗布されている封止剤21にまで達すればよく、これも迅速かつ充分に行える。従って、電子部品2と回路基板1との間の封止剤21に気泡が入りにくく、気泡が原因した電子部品2の割れや腐蝕による実装不良を低減することができる。また、封止剤21は2回塗布するもののいずれも短時間で達成されるのでタクト時間は短縮し生産能率が向上する。さらに第1の塗布によってその後にマウントされる電子部品2を回路基板1に接着する役目も営むので、マウント後に電子部品2が位置ズレするのを防止し、また、ボンディング、封止処理した電子部品2の固着性を向上するので、歩留りおよび品質の向上を図れる。
【0022】
しかも、描画工法は塗布軌跡や移動速度の自在な設定にて、回路基板1上の電極22のどのような配列にも容易に対応して、必要などのような塗布密度および、塗布量をも容易に満足することができ、特に第1の塗布に用いて実装不良の発生をさらに低減することができる。また、封止剤21の塗布位置を正確に制御できるので、電極22との安全隙間を適宜に設定しておけば、粘度の低い封止剤を用いて処理しても、電極部に流れてボンディングを邪魔することはないので、低粘度で流動性がよい分だけ作業能率が向上する。
【0023】
さらに第1の塗布工程と、第2の塗布工程とで異なる封止剤を用いることができ、これにより、第1、第2の各塗布の方式や器具の違いと云った異なった塗布条件に対応でき、第1、第2の各塗布を首尾よく達成することができる。
【0024】
(実施の形態2)
図6は本発明の第2の実施の形態として、第1の塗布工程に特に好適なディスペンサ5を示している。このディスペンサ5は、封止剤21の吐出口5aが複数ある。実施例としては3つであり一列に並んでいる。しかしこれに限らず適数のものをどのように配列してもよい。
【0025】
各吐出口5aは各々継手31エアーチューブ32によって電磁弁33a、33b、33cに接続されている。なお図に示す34はディスペンサ5のキャップ、35はエアもれ防止のシールである。各電磁弁33a、33b、33cは各々レギュレータ36a、36b、36cに接続されている。レギュレータ36a、36b、36cは各々エア圧力を調整することができる。従ってレギュレータ36a、36b、36cの調整と電磁弁33a、33b、33cの開閉調整により、各吐出口5aからの封止剤21の吐出量を個々に調整することができ、レギュレータ36a〜36c、電磁弁33a〜33cは吐出量制御手段として機能する。
【0026】
これにより、描画特有の、線幅方向の封止剤21の厚さの微差をなくし、線幅方向にフラットな、断面が真長方形の塗布が可能となる。これを第1の実施の形態で述べた塗布手段7に用いると第1の塗布が行えるし、塗布手段10に用いると第2の塗布が行える。従って第1、第2の各塗布に1つのディスペンサを共用する場合に有効である。本実施の形態のディスペンサ5は他の一般の塗布にも採用することができる。
【0027】
このように複数の吐出口5aへの封止剤21の供給量を個別に制御することにより、粘性の高い封止剤21であっても、ディスペンサ5全体での吐出量、従って塗布量を微妙かつ正確に制御することができ、種々な塗布条件に最適に対応できる。しかも吐出口5aの位置を考慮したそれぞれからの封止剤21吐出量を制御することによって塗布軌跡がカーブするときのカーブの内側の塗布量を少なく外側の塗布量を多くして全体として均一に塗布できるようにすることができ有効である。
【0028】
(実施の形態3)
図7は本発明の第3の実施の形態として、第1の塗布工程をスクリーン印刷装置によって行う。
【0029】
これについて説明すると、回路基板1は保持手段としてのステージ41に保持され、基板1の配線パターンに合わせて、乳剤42によってパターニングされたスクリーン43が位置決めされる。スクリーン43上には封止剤21が載置され、スキージ44をスクリーン43に押付けながら移動させることにより、回路基板1上に封止剤21を塗布させる。以上は一般のスクリーン印刷工法と同様である。このような第1の塗布工程においても第1の実施の形態とほぼ同様の作用効果が得られる。
【0030】
具体的には、描画工法における上記線幅方向での封止剤21のフラット化に対して、スクリーン43上に形成された乳剤42のパターンエッジの鋭化及び版抜け性の向上によって、上記描画方法には劣るものの、ほぼ同様の効果を達成することができた。
【0031】
このような工法では、スクリーン43に乳剤42にて予め設定する印刷パターンによって、回路基板1上の電極のどのような配列にも対応して、しかも、必要な塗布密度も得られるので、実装不良の発生をさらに低減することができる。また、封止剤21の塗布はスクリーン43の開閉とスキージ44の移動だけで一瞬に行えるし、複数の電子部品2のマウント位置にも同時に塗布できるので、生産能率がさらに向上する。
【0032】
【発明の効果】
本発明は前記実施例の説明より明らかなように、部品のマウント前に前記部品の実装位置にあらかじめ封止剤を塗布するので、気泡混入等の封止剤の塗布不良による割れや腐食等の実装不良を低減し、また生産タクトを上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の電子部品の実装方法のフローチャートと、この方法に用いる装置の斜視図である。
【図2】図1の封止剤の第1の塗布工程とその塗布装置を示す斜視図である。
【図3】図1の電子部品のマウント・ボンディング工程とそのマウント装置を示す斜視図である。
【図4】図1の封止剤の第2の塗布工程とその塗布装置を示す斜視図である。
【図5】図2の描画工法動作中のディスペンサを示す断面図である。
【図6】本発明の第2の実施の形態を示すディスペンサの断面図である。
【図7】本発明の第3の実施の形態を示すスクリーン印刷工法を用いた図1の第1の塗布工程とその装置を示す断面図である。
【図8】従来の電子部品の封止処理を行う実装方法のフローチャートとこの方法に用いる装置の斜視図である。
【符号の説明】
1 回路基板
2 電子部品
3、13 位置決めベース
4 吸着ノズル
5、9 ディスペンサ
5a 吐出口
6 マウント手段
7、10 塗布手段
8 傾斜ステージ
11 保持手段
15、17、26 動作機構
16、18、27 動作制御手段
20 マウント位置
21 封止剤
22 電極
32 エアチューブ
33a〜33c 電磁弁
36a〜36c レギュレータ
41 ステージ
42 乳剤
43 スクリーン
44 スキージ
【発明の属する技術分野】
本発明は回路基板等の実装対象物に電子部品をマウントして封止処理し実装する電子部品の実装方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、電子部品を回路基板上に実装する方法として、回路基板上の電極に電子部品をフェイスダウンの状態で実装するCOB(CHIP ON BOARD)実装が注目を浴びている。以下図面を参照しながら、このCOB実装方法について説明する。
【0003】
図8の(a)は従来のCOB実装方法のフローチャートを示している。これに基いて説明する。先ず図8の(b)に示すように回路基板aに電子部品bをマウントしボンディングする。回路基板aには電子部品bとの電気的接続を行う図8の(b)に示すような電極cが配置されている。回路基板aは図8の(b)に示すようにステージdに保持される。一方、電子部品bの電極部には回路基板aの電極cと接合するためのバンプeが形成されている。このバンプeにはボンディング用の銀ペースト等が被覆されている。電子部品bはマントに当りノズルfで吸着搬送され、マウント位置に位置決めして基板a上にマウントされる。マウント後の電子部品bは前記銀ペーストの熱溶融を図ってボンディングする。次いで図8の(c)に示すように電子部品bの周囲に封止剤を塗布する。この塗布は図8の(c)に示すような傾斜ステージg等を用いて回路基板aを斜めに位置保持し、電子部品bの高位側に沿ってディスペンサhにより封止剤iを塗布する。これにより塗布した封止剤iは回路基板aの傾斜に従って電子部品bの下部にも流入させる。そして封止剤iを熱硬化させて接合を完了する。図8の(c)に示すjは位置決めベースであり、回路基板aを位置決めする。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、電子部品bの下面と回路基板aとのすき間が数十ミクロンと狭い上に封止剤iの粘度が高いので、上記従来の塗布方法では電子部品bの下部へ封止剤iは流入しにくい。このため封止剤iの流入のための時間を多く取る傾向にありタクト時間が長く生産能率が悪い。しかも封止剤iの流入が不足し勝ちなため気泡が入る原因になっている。電子部品bと回路基板aとの間に気泡があると、これが電子部品bのまわりの封止によって密閉されるので、気泡内空気が環境温度の変化によって膨張したり収縮したりし、そのときの増圧や減圧で電子部品bに割れが生じたり、気泡内の湿気によって電極等が腐蝕したりして実装不良を招く。
【0005】
本発明は以上のような課題を解決するもので、実装対象物の電子部品マウント位置に封止剤を予め塗布して前記電子部品の下に封止剤を積極的に付与することにより、迅速かつ十分に封止処理でき、割れや腐食などの実装不良を低減し、また生産を上げることのできる電子部品の実装方法を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項1の発明の電子部品の実装方法は、電極部にバンプが形成されている電子部品をマウントする実装対象物の位置に、封止剤を前記実装対象物の電極部に掛からないようにして塗布する第1の塗布工程を行い、前記電子部品を前記位置にマウントし、前記電子部品のバンプに被覆されている銀ペーストないし導電性ペーストを熱溶融することで、ボンディングする工程を行い、実装対象物上のボンディング後の前記電子部品の周囲に封止剤を塗布する第2の塗布工程を行い、最後に、封止剤を熱により硬化させる工程を行う電子部品をマウントする実装対象物の位置に封止剤を前記実装対象物の電極部に掛からないようにして塗布する第1の塗布工程を行い、前記電子部品を前記位置にマウントし、前記部品に被覆されているペーストを熱溶融することで、ボンディングする工程を行い、実装対象物上のボンディング後の前記部品の周囲に封止剤を塗布する第2の塗布工程を行い、最後に、封止剤を熱により硬化させる工程を行うことを特徴とするものであり、
電極にバンプが形成されている電子部品は実装対象物の第1の塗布工程によって封止剤が予め塗布された部分にマウントされ、第1の塗布はマウント位置にある電極を避けるだけであって迅速かつ充分に強制塗布して、マウントされた電子部品と実装対象物との間に密に位置させ、続いて行われる電子部品と実装対象物との電極間の、前記電子部品のバンプに被覆されているペーストを熱溶融することでのボンディングには邪魔にならずそのまま通常通りに行われるようにする。第2の塗布工程は従来の場合同様に電子部品のまわりに封止剤を塗布するが、電子部品下の予め塗布されている封止剤にまで達すればよく、これも迅速かつ充分に行える。従って、電子部品と実装対象物との間の封止剤に気泡が入りにくく、気泡が原因した電子部品の割れや腐蝕による実装不良を低減することができる。また封止剤は2回塗布するもののいずれも短時間で達成されるとともに最後に熱により硬化されるのでタクト時間は短縮し生産能率が向上する。さらに第1の塗布によってその後にマウントされる電子部品を回路基板に接着する役目も営むので、マウント後に電子部品が位置ズレするのを防止し、また、ボンディング、封止処理した電子部品の固着性を向上するので、歩留りおよび品質の向上を図れる。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、さらに、第2の塗布工程において実装対象物を水平に対して傾斜させた状態で封止剤を塗布することを特徴としている。
【0007】
請求項3の発明は、請求項1の発明においてさらに、第1、第2の各塗布工程のうちの少なくとも第1の塗布工程は、描画工法を用いるものであり、
描画工法による塗布軌跡や移動速度の自在な設定にて、実装対象物上の電極のどのような配列にも容易に対応して、しかも、必要などのような塗布密度および塗布量をも容易に満足することができ、特に第1の塗布に用いて実装不良の発生をさらに低減することができる。また、封止剤の塗布位置を正確に制御できるので、電極との安全隙間を適宜に設定しておけば、粘度の低い封止剤を用いて処理しても、電極部に流れてボンディングを邪魔することはないので、低粘度で流動性がよい分だけ作業能率が向上する。
【0008】
請求項4の発明は、請求項1の発明においてさらに、第1の塗布工程は、スクリーン印刷工法を用いるものであり、
スクリーンに予め設定する印刷パターンによって、実装対象物上の電極のどのような配列にも対応して、しかも、必要な塗布密度も得られるので、実装不良の発生をさらに低減することができる。また、封止剤の塗布はスクリーンの開閉とスキージの移動だけで一瞬に行えるし、複数の部品マウント位置にも同時に塗布できるので、生産能率がさらに向上する。
【0009】
請求項5の発明は、請求項1の発明においてさらに、第1の塗布工程と、第2の塗布工程とで異なる封止剤を用いるものであり、
第1、第2の各塗布の方式や器具の違いと云った異なった塗布条件に対応でき、第1、第2の各塗布を首尾よく達成することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の幾つかの実施の形態につき、図1〜図7を参照しながら説明する。
【0013】
(実施の形態1)
図1〜図5は本発明の第1の実施の形態を示している。本実施の形態では、図1の(b)〜(d)に示すように実装対象物としての例えば回路基板1に電子部品2を実装する場合を示し、図1の(b)、(c)、図2、図3に示すような回路基板1を位置決め保持する保持手段11としての位置決めベース3と、この位置決めされる回路基板1上に電子部品2をマウントしボンディングに供するマウント手段6としての例えば図1の(c)に示すような吸着ノズル4を用いたものと、例えば図1の(b)、図2に示すようなディスペンサ5が回路基板1の上を3次元的に移動することができる封止剤の塗布手段7とを備えた電子部品2の実装装置が用いられている。マウント手段6および塗布手段7は同一機械の同一ステージに対して設ければよいが、異なったステージに設けることができるし、個別の機械装置として順次に用いることもできる。また、本実施の形態ではボンディング後の電子部品2のまわりに従来通りの封止処理をするのに図1の(d)、図4に示すような傾斜ステージ8とディスペンサ9を持った塗布手段10も用いる。この傾斜ステージ8でも位置決めベース13が用いられる。この位置決めベース13はマウント手段6および塗布手段7による作業ステージのものとは異なったものであるのが好適である。回路基板1を傾斜姿勢でズレや移動のないように位置決めするためであり、そのための特別な位置決め部13a、13bが設けられる。もっとも請求項5の発明要件と本発明の目的を満足すれば装置の具体的な構成は自由である。例えば保持手段11はマウント手段6、塗布手段7、10の各作業のために共通して用いることもできる。この場合、保持手段11は全ての作業に際して回路基板1を傾斜させて保持してもよいし、ボンディング後の封止材塗布に際してだけ傾斜させるようにすることもできる。
【0014】
本実施の形態では塗布手段7、10は異なったものを用いているが、作業ステージを共通にする場合は特に、それらは同一物を共用すると好適である。塗布手段7、10の各ディスペンサ5、9は塗布作業のために図2、図3に示すように水平面上で直交するX,Yの2方向と、鉛直なZ方向とに移動および位置制御されるものが好適である。もっとも、塗布手段7による封止剤の塗布は塗布精度確保の上から描画工法を採用するのがよく、高精度な動作機構15と動作制御手段16とが用いられる。動作制御手段16は専用制御機器でもよいが、数値制御できるマイクロコンピュータが汎用性や数値管理の上で便利である。塗布手段10による塗布は描画工法に比べれば単純で、その動作機構17と動作制御手段18とは塗布手段7のものより低級な従来通りのものでよい。
【0015】
傾斜ステージ8は、傾斜の角度(θ)をかえられるし、回路基板1を保持する角度(α)も変えられる。このθおよびαの自由な設定によって、最も効率の良い塗布状態をつくることができる。本実施の形態ではθ=10°、α=45°とした。
【0016】
上記の装置を用いた電子部品2の実装作業は、例えば図1の(a)に示すフローチャートに従った方法で行われる。これについて説明する。先ず、回路基板1の電子部品2をマウントする位置20に図1の(b)、図2に示すように封止剤21を回路基板1の電極部22に掛からないようにして塗布する第1の塗布工程を行う。この塗布は前記した描画工程によって行われ、電極部22に掛からない範囲で、できるだけ広く密に、かつ所定の厚さになるように塗布する。このためにディスペンサ5の描画軌跡と軌跡密度とが適宜設定される。本実施の形態では、図1の(b)、図2に示すように密なピッチで連続的に直線往復移動する描画動作を行っている。しかし、これに限られないのは勿論である。
【0017】
この第1の塗布工程において、回路基板1とディスペンサ5は図5に示すようにスペーサ23によって間隔を保持される。ディスペンサ5に供給される封止剤21は、圧縮エアー24により吐出口5aから吐出される。この吐出と同時にてディスペンサ5は回路基板1に対し前記描画動作される。このとき封止剤21の粘度変化を防止するため、恒温水25をディスペンサ5の周囲に循環させる。なお、本実施の形態ではスペーサ23を用いているが、例えば(公開特許公報平2−187095)等に示すような回路基板1とディスペンサ5との並行関係精度が高く、かつ封止剤21の塗布量精度が低くても良い時は、スペーサ23等の間隔保持手段は不要となる。本実施の形態では上記間隔を100(μm)とした。
【0018】
次いで、図1の(c)、図3に示すように回路基板1の封止剤塗布後のマウント位置20にマウント手段6により電子部品2をマウントし、ボンディングに供する。ボンディングにより回路基板1と電子部品2の電極は電子部品2側のバンプ125を介して接続される。この工程は従来工法と同じであり詳細な説明は省略する。なお、このマウントボンディング工程のためにノズル4は動作機構26と動作制御手段27とによって水平面上で直交するX,Y2方向と、鉛直Z方向との動きを制御される。
【0019】
続いて、図1の(d)、図4に示す第2の塗布工程を塗布手段10によって行う。これも従来工法と変らないので、詳細な説明は省略する。最後に封止剤21を熱により硬化させて全工程を終了する。
【0020】
以上のようにして、電子部品2の封止処理を伴う回路基板1への実装が、上記装置によって自動的に達成される。
【0021】
以上のような実装方法では、第1の塗布はマウント位置20にある電極22を避けるだけであって迅速かつ充分に強制塗布して、マウントされた電子部品2と回路基板1との間に密に位置させ、続いて行われる電子部品2と回路基板1との電極間のボンディングには邪魔にならずそのまま通常通りに行われる。第2の塗布工程は従来の場合同様に電子部品2のまわりに封止剤21を塗布するが、電子部品2下の予め塗布されている封止剤21にまで達すればよく、これも迅速かつ充分に行える。従って、電子部品2と回路基板1との間の封止剤21に気泡が入りにくく、気泡が原因した電子部品2の割れや腐蝕による実装不良を低減することができる。また、封止剤21は2回塗布するもののいずれも短時間で達成されるのでタクト時間は短縮し生産能率が向上する。さらに第1の塗布によってその後にマウントされる電子部品2を回路基板1に接着する役目も営むので、マウント後に電子部品2が位置ズレするのを防止し、また、ボンディング、封止処理した電子部品2の固着性を向上するので、歩留りおよび品質の向上を図れる。
【0022】
しかも、描画工法は塗布軌跡や移動速度の自在な設定にて、回路基板1上の電極22のどのような配列にも容易に対応して、必要などのような塗布密度および、塗布量をも容易に満足することができ、特に第1の塗布に用いて実装不良の発生をさらに低減することができる。また、封止剤21の塗布位置を正確に制御できるので、電極22との安全隙間を適宜に設定しておけば、粘度の低い封止剤を用いて処理しても、電極部に流れてボンディングを邪魔することはないので、低粘度で流動性がよい分だけ作業能率が向上する。
【0023】
さらに第1の塗布工程と、第2の塗布工程とで異なる封止剤を用いることができ、これにより、第1、第2の各塗布の方式や器具の違いと云った異なった塗布条件に対応でき、第1、第2の各塗布を首尾よく達成することができる。
【0024】
(実施の形態2)
図6は本発明の第2の実施の形態として、第1の塗布工程に特に好適なディスペンサ5を示している。このディスペンサ5は、封止剤21の吐出口5aが複数ある。実施例としては3つであり一列に並んでいる。しかしこれに限らず適数のものをどのように配列してもよい。
【0025】
各吐出口5aは各々継手31エアーチューブ32によって電磁弁33a、33b、33cに接続されている。なお図に示す34はディスペンサ5のキャップ、35はエアもれ防止のシールである。各電磁弁33a、33b、33cは各々レギュレータ36a、36b、36cに接続されている。レギュレータ36a、36b、36cは各々エア圧力を調整することができる。従ってレギュレータ36a、36b、36cの調整と電磁弁33a、33b、33cの開閉調整により、各吐出口5aからの封止剤21の吐出量を個々に調整することができ、レギュレータ36a〜36c、電磁弁33a〜33cは吐出量制御手段として機能する。
【0026】
これにより、描画特有の、線幅方向の封止剤21の厚さの微差をなくし、線幅方向にフラットな、断面が真長方形の塗布が可能となる。これを第1の実施の形態で述べた塗布手段7に用いると第1の塗布が行えるし、塗布手段10に用いると第2の塗布が行える。従って第1、第2の各塗布に1つのディスペンサを共用する場合に有効である。本実施の形態のディスペンサ5は他の一般の塗布にも採用することができる。
【0027】
このように複数の吐出口5aへの封止剤21の供給量を個別に制御することにより、粘性の高い封止剤21であっても、ディスペンサ5全体での吐出量、従って塗布量を微妙かつ正確に制御することができ、種々な塗布条件に最適に対応できる。しかも吐出口5aの位置を考慮したそれぞれからの封止剤21吐出量を制御することによって塗布軌跡がカーブするときのカーブの内側の塗布量を少なく外側の塗布量を多くして全体として均一に塗布できるようにすることができ有効である。
【0028】
(実施の形態3)
図7は本発明の第3の実施の形態として、第1の塗布工程をスクリーン印刷装置によって行う。
【0029】
これについて説明すると、回路基板1は保持手段としてのステージ41に保持され、基板1の配線パターンに合わせて、乳剤42によってパターニングされたスクリーン43が位置決めされる。スクリーン43上には封止剤21が載置され、スキージ44をスクリーン43に押付けながら移動させることにより、回路基板1上に封止剤21を塗布させる。以上は一般のスクリーン印刷工法と同様である。このような第1の塗布工程においても第1の実施の形態とほぼ同様の作用効果が得られる。
【0030】
具体的には、描画工法における上記線幅方向での封止剤21のフラット化に対して、スクリーン43上に形成された乳剤42のパターンエッジの鋭化及び版抜け性の向上によって、上記描画方法には劣るものの、ほぼ同様の効果を達成することができた。
【0031】
このような工法では、スクリーン43に乳剤42にて予め設定する印刷パターンによって、回路基板1上の電極のどのような配列にも対応して、しかも、必要な塗布密度も得られるので、実装不良の発生をさらに低減することができる。また、封止剤21の塗布はスクリーン43の開閉とスキージ44の移動だけで一瞬に行えるし、複数の電子部品2のマウント位置にも同時に塗布できるので、生産能率がさらに向上する。
【0032】
【発明の効果】
本発明は前記実施例の説明より明らかなように、部品のマウント前に前記部品の実装位置にあらかじめ封止剤を塗布するので、気泡混入等の封止剤の塗布不良による割れや腐食等の実装不良を低減し、また生産タクトを上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態の電子部品の実装方法のフローチャートと、この方法に用いる装置の斜視図である。
【図2】図1の封止剤の第1の塗布工程とその塗布装置を示す斜視図である。
【図3】図1の電子部品のマウント・ボンディング工程とそのマウント装置を示す斜視図である。
【図4】図1の封止剤の第2の塗布工程とその塗布装置を示す斜視図である。
【図5】図2の描画工法動作中のディスペンサを示す断面図である。
【図6】本発明の第2の実施の形態を示すディスペンサの断面図である。
【図7】本発明の第3の実施の形態を示すスクリーン印刷工法を用いた図1の第1の塗布工程とその装置を示す断面図である。
【図8】従来の電子部品の封止処理を行う実装方法のフローチャートとこの方法に用いる装置の斜視図である。
【符号の説明】
1 回路基板
2 電子部品
3、13 位置決めベース
4 吸着ノズル
5、9 ディスペンサ
5a 吐出口
6 マウント手段
7、10 塗布手段
8 傾斜ステージ
11 保持手段
15、17、26 動作機構
16、18、27 動作制御手段
20 マウント位置
21 封止剤
22 電極
32 エアチューブ
33a〜33c 電磁弁
36a〜36c レギュレータ
41 ステージ
42 乳剤
43 スクリーン
44 スキージ
Claims (5)
- 電極部にバンプが形成されている電子部品をマウントする実装対象物の位置に、封止剤を前記実装対象物の電極部に掛からないようにして塗布する第1の塗布工程を行い、
前記電子部品を前記位置にマウントし、前記電子部品のバンプに被覆されている銀ペーストないし導電性ペーストを熱溶融することで、ボンディングする工程を行い、
実装対象物上のボンディング後の前記電子部品の周囲に封止剤を塗布する第2の塗布工程を行い、
最後に、封止剤を熱により硬化させる工程を行う
ことを特徴とする電子部品の実装方法。 - 第2の塗布工程において実装対象物を水平に対して傾斜させた状態で封止剤を塗布することを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装方法。
- 第1、第2の各塗布工程のうちの少なくとも第1の塗布工程は、描画工法を用いる請求項1記載の電子部品の実装方法。
- 第1の塗布工程は、スクリーン印刷工法を用いる請求項1記載の電子部品の実装方法。
- 第1の塗布工程と、第2の塗布工程とで異なる封止剤を用いる請求項1記載の電子部品の実装方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32753895A JP3801674B2 (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 電子部品の実装方法 |
KR1019980704241A KR100317154B1 (ko) | 1995-12-15 | 1996-12-12 | 전자부품의조립방법과이에사용되는장치및디스펜서 |
KR1020017010445A KR100356838B1 (ko) | 1995-12-15 | 1996-12-12 | 전자 부품의 조립 방법과 이에 사용되는 장치 및 디스펜서 |
EP96941843A EP0867930A4 (en) | 1995-12-15 | 1996-12-12 | METHOD AND APPARATUS FOR ASSEMBLING ELECTRONIC PARTS AND DISPENSER THEREFOR |
PCT/JP1996/003625 WO1997022994A1 (fr) | 1995-12-15 | 1996-12-12 | Procede et dispositif de montage de pieces electroniques et distributeur employe a cet effet |
US09/091,104 US6206066B1 (en) | 1995-12-15 | 1996-12-12 | Apparatus for mounting an electronic component |
US09/703,924 US6527905B1 (en) | 1995-12-15 | 2000-11-02 | Method for mounting electronic components and apparatus and dispenser used in the method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32753895A JP3801674B2 (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 電子部品の実装方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09167783A JPH09167783A (ja) | 1997-06-24 |
JP3801674B2 true JP3801674B2 (ja) | 2006-07-26 |
Family
ID=18200217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32753895A Expired - Fee Related JP3801674B2 (ja) | 1995-12-15 | 1995-12-15 | 電子部品の実装方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US6206066B1 (ja) |
EP (1) | EP0867930A4 (ja) |
JP (1) | JP3801674B2 (ja) |
KR (2) | KR100356838B1 (ja) |
WO (1) | WO1997022994A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3801674B2 (ja) * | 1995-12-15 | 2006-07-26 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品の実装方法 |
US6348234B1 (en) * | 1999-03-31 | 2002-02-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Paste applying method |
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US6387733B1 (en) | 2001-05-22 | 2002-05-14 | Rf Micro Devices, Inc. | Time-based semiconductor material attachment |
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DE102017209461A1 (de) | 2017-06-06 | 2018-12-06 | Zf Friedrichshafen Ag | Anordnung zur Abstützung eines integrierten Schaltungsträgers |
KR102580650B1 (ko) | 2018-01-22 | 2023-09-20 | 삼성전자주식회사 | 디스펜서용 언더필 용액 공급 장치, 이를 갖는 디스펜서 및 이를 이용한 반도체 모듈의 제조 방법 |
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JP3801674B2 (ja) * | 1995-12-15 | 2006-07-26 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品の実装方法 |
-
1995
- 1995-12-15 JP JP32753895A patent/JP3801674B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1996
- 1996-12-12 KR KR1020017010445A patent/KR100356838B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-12-12 WO PCT/JP1996/003625 patent/WO1997022994A1/ja not_active Application Discontinuation
- 1996-12-12 EP EP96941843A patent/EP0867930A4/en not_active Withdrawn
- 1996-12-12 KR KR1019980704241A patent/KR100317154B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1996-12-12 US US09/091,104 patent/US6206066B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-11-02 US US09/703,924 patent/US6527905B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6206066B1 (en) | 2001-03-27 |
EP0867930A1 (en) | 1998-09-30 |
WO1997022994A1 (fr) | 1997-06-26 |
KR100317154B1 (ko) | 2002-02-28 |
EP0867930A4 (en) | 1999-04-21 |
JPH09167783A (ja) | 1997-06-24 |
KR100356838B1 (ko) | 2002-10-19 |
US6527905B1 (en) | 2003-03-04 |
KR20000064368A (ko) | 2000-11-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051025 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060426 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100512 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |