JP3727221B2 - 液面検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、タンク内に貯留された液体の量を検出するための液面検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の液面検出装置としては、例えば透明チューブの上下をタンク内に接続することによって、タンク内の液面位置をチューブ内にそのまま表示し、このチューブの液面位置をセンサを介して電気的な信号として取り出すように構成したものが知られている。センサとしては、例えば光透過型センサや、光反射型センサが用いられている。光透過型センサを用いた場合には、発光部から受光部に向かう光がチューブ内の液体によって遮られることを利用して、液面が所定の位置対して上にあるか、下にあるかを検知するようになっている。また、光反射型センサを用いた場合には、発光部から発した光がチューブ内の液体に当たって反射し受光部に入ることを利用して、上述のような液面の位置を検知するようになっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記液面検出装置においては、液体がある程度以上透明であると、光が液体内を透過してしまうため、光透過型センサを用いた場合も、光反射型センサの場合も、液面が所定のレベルより上にあるのに、下にあると誤認するおそれがある。また、チューブ内の液面にフロートを浮かべた場合には、そのフロートが遮光体あるいは反射体となるため液面位置を検出することができるようになる。しかし、フロートがセンサの位置を通過してしまうと、再び液面の位置がわからなくなってしまうという欠点がある。
【0004】
この発明は、上記事情に鑑みなされたもので、液面が所定の位置に対してどの位置にあるかを確実に検出することのできる液面検出装置を提供することを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1記載の発明は、タンク内の液面位置と同一の液面位置となるように、タンク内の液体が導かれた光透過性のチューブと、 このチューブ内に移動自在に設けられ、上記液体より比重の小さなフロートと、 上記チューブの所定の位置に設けられ、上記フロートの上方への移動を阻止するストッパと、 上記フロートを検知する位置センサとを備えてなり、 上記チューブは、柔軟性を有するもので構成され、 上記ストッパは、上記フロートの移動が不能になる程度まで、上記チューブの一部を内側に変形させた絞り部によって構成され、 上記位置センサは、少なくとも上方へ移動しストッパによって停止しているフロートを検知する位置に設けられていることを特徴とする。
【0006】
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、ストッパ、フロート及び位置センサは、複数組設けられていることを特徴とする。
【0007】
請求項3記載の発明は、請求項1又は2記載の発明において、チューブの一部を両側から挟んで絞り部を形成するクリップを備えていることを特徴とする。
【0008】
そして、上記のように構成される請求項1記載の発明によれば、チューブ内の液面の上昇に伴ってフロートも上昇するが、そのフロートはストッパによって上方への移動が阻止されることになり、所定の位置より上方に移動することがない。また、フロートは、上方への移動の過程において位置センサによって検出されることになり、ストッパによって停止した後も位置センサによって検出され続けることになる。従って、位置センサによるフロートの検出があれば、タンクの液面が所定の位置以上のところにあり、同検出がなければ、タンクの液面が所定の位置未満のところにあると判断することができる。即ち、液面が所定の位置に対してどの位置にあるかを確実に検出することができる。
【0009】
請求項2記載の発明によれば、ストッパ、フロート及び位置センサを複数組設けているので、少なくとも各ストッパによって停止しているフロートを各位置センサで検出することができる。このため、例えば下から3番目までの位置センサがフロートを検出している場合には、この3番目に対応する所定の位置以上にタンクの液面があると判断することができる。また、全ての位置センサがフロートを検出していなければ、最下位置の位置センサに対応する所定の位置よりタンクの液面が低いと判断することができる。従って、タンクの液面の位置をより詳細に検出することができる。
【0010】
また、請求項1記載の発明によれば、チューブを柔軟性を有するもので構成し、このチューブの一部を内側に変形させた絞り部によってストッパを構成しているので、チューブにおける軸方向の自由な位置にストッパを構成することができる。従って、液面の位置が異なる場合や、タンクが異なる場合等にも対応することができる。
【0011】
請求項3記載の発明によれば、請求項1又は2記載の発明における絞り部をクリップによって簡単に形成することができる。従って、ストッパとなる絞り部をチューブにおける自由な位置により簡単に形成することができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の実施形態について、添付図面に基づいて詳細に説明する。この実施形態では被処理体(ウエハ等)の洗浄・乾燥処理装置における薬液貯留用のタンクに適用した場合について説明する。
【0013】
◎第1実施形態
この発明の第1実施形態を図1〜図10を参照して説明する。この実施形態で示す液面検出装置70は、図1及び図2に示すように、外側タンク(タンク)2内の液面位置と同一の液面位置となるように、外側タンク2内の薬液(液体)が導かれた透明(光透過性)のチューブ71を備えている。このチューブ71内には、図3及び図4に示すように、その長手方向に移動自在に、上記薬液より比重の小さなフロート72が備えられている。また、チューブ71の所定の位置には、フロート72の上方への移動を阻止するストッパ71aが構成されていると共に、フロート72を検知する位置センサ7が設置されている。この位置センサ7は、少なくともストッパ71aによって停止しているフロート72を検知する位置に設けられている。
【0014】
また、上記ストッパ71aは、チューブ71の長手方向に沿う4箇所の位置に、設けられており、フロート72及び位置センサ7も、ストッパ71aに対応する各位置に設けられている。そして、チューブ71は、図4に示すように、柔軟性を有するもので構成されており、ストッパ71aは、フロート72の移動が不能になる程度まで、チューブ71の一部を内側に変形させた絞り部によって構成されている。また、この絞り部からなるストッパ71aは、チューブ71の一部を両側から挟むクリップ73によって構成されている。
【0015】
以下、上記構成について更に詳細に説明する。まず、被処理体の洗浄・乾燥処理装置の概要を説明する。即ち、この洗浄・乾燥処理装置は、半導体デバイスの製造工程やLCD製造工程において、半導体ウエハやLCDガラス等の被処理体(以下にウエハ等という)に付着したレジストやドライ処理後の残渣(ポリマ等)を除去するために、処理液等を用いる液処理装置であり、ウエハ等を薬液で洗浄した後、この薬液をリンス液で洗い流し、更に乾燥気体を吹き付けて乾燥させるようになっている。上記薬液としては、例えばレジスト剥離液、ポリマ除去液等の薬液や、この薬液の溶剤例えばイソプロピルアルコール(IPA)が使用される。リンス液としては、例えば純水が使用される。乾燥気体としては、例えば窒素(N2)等の不活性ガスや清浄空気等が使用されるようになっている。
【0016】
また、高価な薬液を有効に利用するために、洗浄処理に使われた薬液をリサイクル薬液として再利用するようになっている。即ち、新規薬液を貯留するタンクと、リサイクル薬液を貯留するタンクの2種類を用意し、リサイクル薬液を使用して一次洗浄処理を行った後、新規薬液を使用して二次洗浄処理を行うようになっている。
【0017】
このため、薬液供給部52には、図1に示すように、薬液供給源3から供給される新規薬液を貯留すると共に、リサイクル薬液を貯留するためのタンク10が備えられている。タンク10は、薬液開閉弁3aを介設する薬液管路3bを介して薬液供給源3に接続する新液を貯留する内側タンク1と、この内側タンク1を内方に収容する外側タンク2とからなる二重槽構造に構成されている。この場合、内側タンク1は有底円筒状のステンレス製容器にて形成されている。また、外側タンク2は、大径の胴部2aと小径の開口部2bと開口部2b側に向かって漸次狭小テーパ状の肩部2cとを有する有底円筒状のステンレス製容器にて形成されている。ここで、肩部2cを開口部2b側に向かって漸次狭小テーパ状としたのは、外側タンク2内に貯留される薬液が開口部2bに充満される過程で肩部2cに空気が溜まるのを防止するためである。また、外側タンク2の外周面には、外側タンク2を囲繞するように加熱手段であるヒータ4が配設されている。
【0018】
この場合、内側タンク1の上端部には、この内側タンク1からオーバーフローする薬液を外側タンク2内に供給するオーバーフロー管路5が配設されている。従って、薬液供給源3から内側タンク1内に供給される新規薬液が内側タンク1内に充満された後、オーバーフロー管路5を介して外側タンク2内に供給可能になっている。また、外側タンク2の開口部2bにおける内側タンク1との隙間Sが狭く形成されている。この隙間Sは外側タンク2内に貯留される薬液の液面が検出できる面積であれば可及的に狭い方がよい。その理由は、内側タンク1と外側タンク2の隙間Sが狭い程、外側タンク2内に貯留される薬液の液面の外気と接触する面積を少なくすることができるので、薬液の空気との接触による化学反応や劣化を抑制することができ、薬液の品質や性能の維持を図ることができるからである。
【0019】
なお、内側タンク1及び外側タンク2の開口部には、パージガス供給管路6とガス抜き管路6Aが接続されており、両タンク1,2内に貯留される薬液が外気に晒されて雰囲気が変化するのを防止するために、図示しない不活性ダス例えばN2ガス等のパージガス供給源に接続するパージガス供給管路6からパージガス例えばN2ガスが供給されるようになっている。なお、外側タンク2の外方近接部には光透過型の位置センサ7が設けられている。この位置センサ7は、高さ方向の位置によって、上限センサ7a、適量センサ7b、補充センサ7c及び下限センサ7dとして示す。これらのセンサ7a〜7dは制御部30(CPU)に接続されている。また、内側タンク1の上端部には、薬液満杯センサ(図示せず)が配設されており、この薬液満杯センサによって内側タンク1内から外側タンク2内に流れる薬液の状態を監視することができるようになっている。すなわち、薬液満杯センサと上記適量センサ7bからの検出信号に基づいて制御手段例えば中央演算処理装置30(以下にCPU30という)からの制御信号を薬液開閉弁3aに伝達することで、内側タンク1及び外側タンク2内の薬液の液量を管理することができる。即ち、外側タンク2におけるリサイクル薬液が不足してきた場合には、その不足分を新規薬液で補うようになっている。なお、位置センサ7については、後述する液面検出装置の説明において更に詳細に説明する。
【0020】
また、内側タンク1内に貯留される薬液と、外側タンク2内に貯留される薬液は、外側タンク2の外方近接部に配設される1つのヒータ4によって加熱・保温されるようになっている。この場合、内側タンク1内の薬液の温度は、内側タンク薬液温度センサ(図示せず)によって検出され、外側タンク2内の薬液の温度は、外側タンク薬液温度センサ(図示せず)によって検出され、また、ヒータ4の温度は、コントロール温度センサ(図示せず)と、オーバーヒート温度センサ(図示せず)によって検出されるようになっている。これら温度センサのうち、外側タンク薬液温度センサ、コントロール温度センサ及びオーバーヒート温度センサの検出信号を温度制御部(図示せず)で制御して、外側タンク2内の薬液温度、ヒータ4の加熱温度を所定温度に設定できるようになっている。
【0021】
即ち、外側タンク2内の薬液の温度が例えば80℃〜150℃になるように制御されると共に、ヒータ4自体も、例えば200℃以上のオーバーヒート状態にならないように制御されるようになっている。また、内側タンク1内の薬液の温度は、外側タンク2内の薬液の温度とほぼ等しい温度になるようになっている。
【0022】
一方、内側タンク1には、この内側タンク1内の薬液をウエハ等に供給するための第1の供給管路14aが配置されており、外側タンク2には、この外側タンク2内の薬液をウエハ等に供給するための第2の供給管路14bが配置されている。また、外側タンク2内から供給される薬液は、ウエハ等の洗浄に使われないときは循環管路18を介して再び外側タンク2に戻るようになっている。この際、第2の供給管路14bに介設されたフィルタ(図示せず)によって、リサイクル薬液の濾過が行われるようになっている。
【0023】
内側タンク1内の新規薬液は、ウエハ等を洗浄した後に、戻り管路56を介して外側タンク2に送られ、リサイクル薬液として利用されるようになっている。そして、外側タンク2内に貯留されたリサイクル薬液を第2の供給管路14bを介して供給することにより、ウエハ等の一次洗浄処理を行い、内側タンク1内に貯留された新規薬液を第1の供給管路14aを介して供給することにより、ウエハ等の二次洗浄処理を行うようになっている。
【0024】
また、外側タンク2の底部には、リサイクル薬液を排出するための排液取出管路58が接続されており、この排液取出管路58には、上記チューブ71に薬液を供給するための下側管路58aと、排出処理のためのドレン管路58bとが接続されている。ドレン管路58bには、排液開閉弁57が介設されている。
【0025】
次に、液面検出装置70について更に詳細に説明する。チューブ71は、図4に示すように、透明で柔軟性を有し、かつ高温に耐えうる材料、例えばPFA(テトラフルオロエチレン-パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体)で形成されている。このPFAは、炭素原子とフッ素原子からなる主鎖にパーフルオロアルコキシ基が結合した分子構造を有しており、ポリ四フッ化エチレン(PTFE)とほとんど同じような優れた性能を持ち、しかも透明性が良好である。また、高温における力学的性質に優れており、250℃での連続使用に耐えるという特長がある。そして、一般の熱可塑性樹脂と同様に、射出、押出し、吹込み等により成形品を製造することが可能である。なお、チューブ71は、押出しにより成形したものである。
【0026】
チューブ71は、図2に示すように、下端部が下側管路58aを介して外側タンク2の底に接続されており、上端部が上側管路58cを介して外側タンク2における液面より上側の空間部に接続されている。また、チューブ71の側方には、図2及び図3に示すように、チューブ71の両側に支持レール74が設けられている。この支持レール74は、タンク10を設置する基礎G上に、垂直に立設されている。
【0027】
支持レール74には、図4〜図6に示すように、位置センサ7を保持するブラケット75が支持レール74の延在する方向に沿って移動自在に設けられている。ブラケット75は、位置センサ7の後述する発光部7A又は受光部7Bを挿入するための円筒孔75aを有しており、この円筒孔75aに挿入した発光部7A又は受光部7Bを止めねじ75bで固定するようになっている。また、ブラケット75自体は、つまみ付きねじ75cによって、支持レール74の所定の位置に固定されるようになっている。
【0028】
位置センサ7は、光を発する発光部7Aと、この発光部7Aからの光を受ける受光部7Bとを備えた光透過型のもので構成されており、フロート72が遮光物体となって発光部7Aから受光部7Bに入る光を遮ることにより、フロート72を検出するようになっている。特に、位置センサ7は、ブラケット75によって位置を調整することにより、ストッパ71aによって止まった球形のフロート72を必ず検出する位置に設けられるようになっている。
【0029】
また、位置センサ7は、図3に示すように、上述のように4箇所の位置に設けられており、上側から、上限センサ7a、適量センサ7b、補充センサ7c及び下限センサ7dとなっている。そして、ストッパ71a及びフロート72は、各センサ7a〜7dに対応するようにして4箇所の位置に設けられている。
【0030】
ストッパ71aは、図4、図6及び図7に示すように、クリップ73により平行に押しつぶされた形状の絞り部になっており、フロート72の上方への移動を阻止するが、薬液の移動を妨げることがないようになっている。
【0031】
クリップ73は、図7及び図8に示すように、把持部73aと、留め部73bとを備えた構成になっている。把持部73aは、図8に示すように、所定の半径で屈曲する基部73cと、この基部73cからV字状に延びる断面円形状の線材部73dによって形成されており、例えばスプリング弾性を有する金属やプラスチック等によって形成されている。留め部73bは、各線材部73dを平行になるまで弾性変形させた状態において、これらの線材部73dの先端部に嵌まるようになっており、線材部73dを平行に維持するようになっている。そして、クリップ73は、平行に延びる線材部73dによって、上述したストッパ71aを形成するようになっている。
【0032】
なお、クリップ73は、図9に示すように、留め部73bにおける一方の嵌合部73eを一方の線材部73dの先端部に溶接等で固定するようにしてもよい。この場合には、他方の線材部73dの先端部は、留め部73bのU字状の溝73fを介して、同留め部73bにおける他方の嵌合部73gに嵌合することになる。
【0033】
上記のように構成された液面検出装置70においては、チューブ71内の液面の上昇に伴ってフロート72も上昇するが、そのフロート72はストッパ71aによって上方への移動が阻止されることになり、所定の位置より上方に移動することがない。また、フロート72は、上方への移動の過程において位置センサ7によって検出されることになり、ストッパ71aによって停止した後も位置センサ7によって検出され続けることになる。従って、位置センサ7によるフロート72の検出があれば、外側タンク2内の液面が位置センサ7が設けられた所定の位置以上のところにあり、同検出がなければ、所定の位置未満のところにあると判断することができる。即ち、外側タンク2内の液面が所定の位置に対してどの位置にあるかを確実に検出することができる。
【0034】
なお、検出の開始は、最初に外側タンク2内に薬液が供給された時点で開始され、まず、下限センサ7dがフロート72を検出した時点で補充が開始され、適量センサ7bによってフロート72を検出した時点で薬液の供給が停止する。なお、補充の方法は、例えば、(1)補充センサ7cがOFF状態になったら適量センサ7bがフロート72を検出するまで補充するか、あるいは、(2)1回の処理終了後に適量センサ7bがフロート72を検出するまで薬液を補充するなどの方法を採ることができる。
【0035】
また、例えば図10(a)に示すように、下から3番目の適量センサ7bまでがフロー72を検出している場合には、外側タンク2の液面が適量センサ7bに対応する所定の位置より高く、上限センサ7aに対応する所定の位置より低い位置にあると判断することができる。即ち、液面は正常であると判断することができる。また、上限センサ7aがフロート72を検出した時点で、オバーフローの危険があると判断することができる。このとき、図示しない制御手段によって薬液供給源3からの薬液の供給を停止するように制御すると共に、アラームを出すように制御される。更に、図10(b)に示すように、下限センサ7dによりフロート72の検出ができなくなった時点で、液面が許容位置より低くなったと判断することができる。このとき、図示しない制御手段によって外側タンク2の加熱を停止するように制御される。また、補充センサ7cによりフロート72の検出ができなくなった時点で、補給が必要になっ たと判断することができ、この信号に基づいて外側タンク2に薬液が供給されることになる。この薬液の供給は適量センサ7bによってフロート72を検出するまで行われる。
【0036】
更に、チューブ71を柔軟性を有するもので構成し、このチューブ71の一部を内側に変形させた絞り部によってストッパ71aを構成しているので、チューブ71における自由な位置にストッパ71aを構成することができる。従って、液面の位置が異なる場合や、タンクが異なる場合等にも対応することができるという利点がある。しかも、ストッパ71aをクリップ73によって簡単に形成することができる。この場合、チューブ71の絞り部は、他の部分と流量が同じになるようにする方が好ましい。
【0037】
◎第2実施形態
次に、この発明の第2実施形態を図11〜図13を参照して説明する。だだし、第1実施形態の構成要素と共通する要素には同一の符号を付し、その説明を簡略化する。この第2実施形態が第1実施形態と異なる主な点は、取付手段76を介し位置センサ7をチューブ71に取り付けるように構成している点である。
【0038】
即ち、取付手段76は、チューブ71の外周面を締め付けることにより、同チューブ71に固定するようになっている。即ち、中心に円形孔76cを有する円盤を、その中心を通る面で半分に切断した形状の第1の半円盤部76aと、第2の半円盤部76bとを備えている。各半円盤部76a、76bは、図13に示すように、その円形孔76cがチューブ71の外周面に嵌合した状態において、合わせ面76d間の隙間S1が所定量(約1〜3mm)あくようになっている。
【0039】
また、各半円盤部76a、76bには、発光部7A又は受光部7Bを挿入する円筒孔76eが形成されている。この円筒孔76eは、合わせ面76dに対して直交し、かつ円形孔76cから法線方向に延びるように形成されている。発光部7A又は受光部7Bは、円筒孔76eに挿入された状態で止めねじ76fによって固定されるようになっている。また、一方の半円盤部76aには、その各合わせ面76dに、連結ボルト76gのねじ部が螺合するねじ孔76hが開口しており、他方の半円盤部76bには、その各合わせ面76dに、連結ボルト76gのねじ部を挿通する貫通孔76iが開口している。この貫通孔76iには、連結ボルト76gの頭部を収納する座ぐり部76jが形成されている。
【0040】
一方、フロート72は、円柱部の上下の端部を半球状に丸めた長尺のもので形成されている。
【0041】
上記のように構成された液面検出装置70においては、各半円盤部76a、76bの円形孔76cをチューブ71の外周面に嵌めてから、これらの半円盤部76a、76bを連結ボルト76gで連結する。各半円盤部76a、76bは、連結ボルト76gを所定量締め付けることにより、チューブ71に確実に固定された状態になる。その後、発光部7A又は受光部7Bを各円筒孔76eに挿入して止めねじ76fで固定する。
【0042】
このように、取付手段76を用いた場合も、位置センサ7をチューブ71における自由な位置に設置することができる。また、取付手段76は、円形孔76cによって、チューブ71の外周面を内方に向けてほぼ均一に圧迫することになるので、チューブ71をほぼ円形に保つことができる。即ち、チューブ71が変形してフロート72の移動を妨げることがない。
【0043】
また、取付手段76はチューブ71における断面円形状の部分に取り付けることになるため、位置センサ7がストッパ71aに対して比較的下方の位置に配置されることになる。しかし、フロート72が長尺のもので形成されているので、ストッパ71aによって停止したフロート72の下端部を位置センサ7によって確実に検出することができる。しかも、フロート72の上下の端部が半球面状に形成されているので、ストッパ71aにおけるチューブ71の内面を傷つけることがない。
【0044】
◎参考実施形態
次に、この発明の参考実施形態について図14〜図16を参照して説明する。ただし、第2実施形態の構成要素と共通する要素には同一の符号を付し、その説明を簡略化する。この参考実施形態が第2実施形態と異なる主な点は、透明な(光透過性の)硬質管71bを継手71cでつなぐことにより長尺のチューブ71を形成し、継手71cにストッパ71aを形成した点である。
【0045】
即ち、硬質管71bは、通常のガラスや石英ガラスによって円筒状に形成されたものである。継手71cは、通常のガラスや石英ガラス等による透明な(光透過性の)材料で形成されたものであり、硬質管71bの外周面に嵌まる筒部71dと、この筒部71dの軸方向の中央に設けられたストッパ71aとによって一体に形成されている。ストッパ71aは、硬質管71bの端面を保持するようにもなっている。また、ストッパ71aの中央に開けられた円形の絞り孔71eは、球状のフロート72が通過不能な大きさの径に形成されている。ただし、絞り孔71eには、球状のフロート72が当接した状態においても、薬液の流れが可能なように複数の溝71fが形成されている。そして、硬質管71bと継手71cとは、接着剤によって固定されている。
【0046】
また、取付手段76の円形孔76cは、継手71cの外周面に嵌合する径に形成されている。
【0047】
上記のように構成された液面検出装置70においては、透明な硬質管71b及び継手71cを介して、フロート72を検出することができる。また、硬質管71bの長さを変えることにより、ストッパ71aの位置を自由に変更することができる。しかも、硬質管71bとしてはガラス等の硬質のものを使用することができるので、より高温の液体の液面検出にも利用することができる。
【0048】
なお、上記継手71cは、ステンレス等の耐食性を有する不透明な材料で形成してもよい。ただし、この場合には、図17(a)に示すように、位置センサ7が通過可能な大きさの孔71gか、位置センサ7の光が通過可能な大きさの孔を継手71cに形成する必要がある。また、図17(b)に示すように、硬質管71bに取付手段76を直接取り付けることによって、上記のような孔71g等を形成しなくても、フロート72の検出が可能である。ただし、位置センサ7がストッパ71aに対して比較的下方の位置に配置されることになるので、フロート72を第2実施形態で示したもの(図11参照)と同様に長尺のもので形成することにより、ストッパ71aによって停止したフロート72を確実に検出することができるようにする必要がある。
【0049】
また、上記各実施形態においては、フロート72として、球状のものや両端球形の円柱状のものを示したが、図18(a)に示す円柱状のものや、図18(b)に示す円筒状のものや、図18(c)に示す周面に軸方向に延びる複数の溝72aを有するものや、図18(d)に示す六角柱状のものや、その他の多角柱状のもので構成してもよい。そして、図18(a)〜(d)に示すものについては、図18(e)に示すように、周面と端面との角部に斜めに傾斜したC面取り72bや、同角部を円弧状に丸めたR面取り72cを設けることにより、ストッパ71aに対するダメージを少なくすることが好ましい。また、図18(b)〜(d)に示すフロート72については、断面積が小さくなり、フロート72を有する部分を薬液が通りやすくなるので、外側タンク2内の液面変化に対するチューブ71内の液面変化の応答性を向上させることができる。
【0050】
更に、上記各実施形態においては、位置センサ7として光透過型のものを示したが、この位置センサ7は、図19に示すように、光反射型のもので構成してもよい。即ち、図19に示す位置センサ7は、図13に示す光透過型のものを光反射型のものに変更したものである。光反射型の位置センサ7は、発光部7Aから発した光がフロート72の表面で反射して受光部7Bに入ることにより、フロート72を検出するようになっている。また、位置センサ7としては、光透過型のものについても、光反射型のものについても、光量が強いレーザー光を用いたもので構成することが好ましい。
【0051】
また、クリップ73については、V字状に延びる線材部73dの先端部同士を互いに近付けて留め部73bで固定することにより、またチューブ71からの反力により、線材部73dが円弧状に撓むことになってもよい。そして、線材部73dが円弧状に撓んだ場合には、ストッパ71aの断面が楕円形状に近くなるが、このストッパ71aによってもフロート72の移動を阻止することができるので全く問題ない。
【0052】
また更に、チューブ71を、軟質管と、硬質管71bとを連結したもので構成し、軟質管の部分にクリップ73でストッパ71aを形成するようにしてもよい。
【0053】
上記各実施形態では、被処理体(ウエハ等)の洗浄・乾燥処理装置について、液面検出装置70のための限られた範囲の説明をしたが、以下に、洗浄・乾燥処理装置について全体的な説明を行う。
【0054】
上記洗浄・乾燥処理装置20は、図20に示すように、被処理体である半導体ウエハW(以下にウエハWという)を保持する回転可能な保持手段例えばロータ21と、このロータ21を水平軸を中心として回転駆動する駆動手段であるモータ22と、ロータ21にて保持されたウエハWを包囲する複数例えば2つの処理部{具体的には第1の処理室,第2の処理室}の内チャンバ23,外チャンバ24と、これら内チャンバ23又は外チャンバ24内に収容されたウエハWに対して処理液例えばレジスト剥離液,ポリマ除去液等の薬液の供給手段50、この薬液の溶剤例えばイソプロピルアルコール(IPA)の供給手段60、リンス液例えば純水等の供給手段(リンス液供給手段)110又は例えば窒素(N2)等の不活性ガスや清浄空気等の乾燥気体(乾燥流体)の供給手段80{図20では薬液供給手段50と乾燥流体供給手段80を示す。}と、内チャンバ23を構成する内筒体25と外チャンバ24を構成する外筒体26をそれぞれウエハWの包囲位置とウエハWの包囲位置から離れた待機位置に切り換え移動する移動手段例えば第1,第2のシリンダ27,28及びウエハWを図示しないウエハ搬送チャックから受け取ってロータ21に受け渡すと共に、ロータ21から受け取ってウエハ搬送チャックに受け渡す被処理体受渡手段例えばウエハ受渡ハンド29とで主要部が構成されている。
【0055】
上記のように構成される洗浄・乾燥処理装置20におけるモータ22、処理流体の各供給手段50,60,90,80{図20では薬液供給手段50と乾燥流体供給手段80を示す。}の供給部、ウエハ受渡ハンド29等は制御手段即ちCPU30によって制御されている。
【0056】
また、上記ロータ21は、水平に配設されるモータ22の駆動軸22aに片持ち状に連結されて、ウエハWの処理面が鉛直になるように保持し、水平軸を中心として回転可能に形成されている。この場合、ロータ21は、モータ22の駆動軸22aにカップリング(図示せず)を介して連結される回転軸(図示せず)を有する第1の回転板21aと、この第1の回転板21aと対峙する第2の回転板21bと、第1及び第2の回転板21a,21b間に架設される複数例えば4本の固定保持棒31と、図示しないロック手段及びロック解除手段によって押え位置と非押え位置とに切換移動する一対の押え棒32とで構成されている。この場合、モータ22は、予めCPU30に記憶されたプログラムに基づいて所定の高速回転と低速回転を選択的に繰り返し行い得るように制御されている。なお、モータ22は冷却手段37によって過熱が抑制されるようになっている。この場合、冷却手段37は、冷却パイプ37aと、冷却水供給パイプ37bと、熱交換器37cとを具備してなる。
【0057】
一方、処理部例えば内チャンバ23(第1の処理室)は、第1の固定壁34と、この第1の固定壁34と対峙する第2の固定壁38と、これら第1の固定壁34及び第2の固定壁38との間にそれぞれ第1及び第2のシール部材40a,40bを介して係合する内筒体25とで形成されている。すなわち、内筒体25は、移動手段である第1のシリンダ27の伸張動作によってロータ21と共にウエハWを包囲する位置まで移動されて、第1の固定壁34との間に第1のシール部材40aを介してシールされると共に、第2の固定壁38との間に第2のシール部材40bを介してシールされた状態で内チャンバ23(第1の処理室)を形成する。また、第1のシリンダ27の収縮動作によって固定筒体(図示せず)の外周側位置(待機位置)に移動されるように構成されている。この場合、内筒体25の先端開口部は第1の固定壁34との間に第1のシール部材40aを介してシールされ、内筒体25の基端部は固定筒体の中間部に周設された第3のシール部材(図示せず)を介してシールされて、内チャンバ23内に残存する薬液の雰囲気が外部に漏洩するのを防止している。なお、内筒体25は、耐薬品性及び耐強度性に富むステンレス鋼製部材にて形成されている。なお、内筒体25は、ステンレス鋼の表面に例えばPTFEやPFA等のフッ素系合成樹脂をコーティングあるいは貼着したものや、内筒体25自体をPTFEやPFA等のフッ素系合成樹脂にて形成することにより、保温性の向上が図れる。
【0058】
また、外チャンバ24(第2の処理室)は、待機位置に移動された内筒体25との間にシール部材40bを介在する第1の固定壁34と、第2の固定壁38と、第2の固定壁38と内筒体25との間にそれぞれ第4及び第5のシール部材40d,40eを介して係合する外筒体26とで形成されている。すなわち、外筒体26は、移動手段である第2のシリンダ28の伸張動作によってロータ21と共にウエハWを包囲する位置まで移動されて、第2の固定壁38との間に第4のシール部材40dを介してシールされると共に、内筒体25の先端部外方に位置する第5のシール部材40eを介してシールされた状態で、外チャンバ24(第2の処理室)を形成する。また、第2のシリンダ28の収縮動作によって固定筒体の外周側位置(待機位置)に移動されるように構成されている。この場合、外筒体26と内筒体25の基端部間には第5のシール部材40eが介在されて、シールされている。したがって、内チャンバ23の内側雰囲気と、外チャンバ24の内側雰囲気とは、互いに気水密な状態に離隔されるので、両チャンバ23,24内の雰囲気が混じることなく、異なる処理流体が反応して生じるクロスコンタミネーションを防止することができる。なお、外筒体26は、内筒体25と同様に、耐薬品性及び耐強度性に富むステンレス鋼製部材にて形成されている。なお、外筒体26は、内筒体25と同様に、ステンレス鋼の表面に例えばPTFEやPFA等のフッ素系合成樹脂をコーティングあるいは貼着したものや、内筒体25自体をPTFEやPFA等のフッ素系合成樹脂にて形成することにより、保温性の向上が図れるので好適である。
【0059】
上記のように構成される内筒体25と外筒体26は共に先端に向かって拡開するテーパ状に形成されている。このように内筒体25及び外筒体26を、一端に向かって拡開するテーパ状に形成することにより、処理時に内筒体25又は外筒体26内でロータ21が回転されたときに発生する気流が拡開側へ渦巻き状に流れ、内部の薬液等が拡開側へ排出し易くすることができる。また、内筒体25と外筒体26とを同一軸線上に重合する構造とすることにより、内筒体25と外筒体26及び内チャンバ23及び外チャンバ24の設置スペースを少なくすることができると共に、装置の小型化が図れる。
【0060】
一方、上記処理液供給手段のうち、薬液例えばポリマ除去液の供給手段50は、図21に示すように、処理部すなわち内筒体25内に取り付けられる薬液供給ノズル51と、薬液供給部52と、これら薬液供給ノズル51と薬液供給部52とを接続する薬液供給管路53を具備してなる。
【0061】
上記薬液供給部52は、図22に示すように、薬液供給源3(液供給源)と、この薬液供給源3から供給される新規の薬液を貯留すると共に、処理に供された薬液を貯留するタンク10とで主要部が構成されている。タンク10については、既に説明した通りである。
【0062】
なお、外側タンク2の外方近接部にはそれぞれ光透過型の上限センサ7a,秤量センサ(先の説明では「補充センサ」)7b,ヒータオフ下限センサ(先の説明では「適量センサ」)7c及び下限センサ7dが配設されており、これらセンサ7a〜7dはCPU30に接続されている。これらセンサ7a〜7dのうち、上限センサ7aと下限センサ7dは、外側タンク2内に貯留される薬液の上限液面と下限液面を検出し、秤量センサ7bは、外側タンク2内に実際に貯留されている薬液の量を検出し、また、ヒータオフ下限センサ7cは、ヒータ4による加熱可能な薬液量を検出し得るようになっている。
【0063】
また、内側タンク1内に貯留される薬液と、外側タンク2内に貯留される薬液は、外側タンク2の外方近接部に配設される1つのヒータ4によって加熱・保温されるようになっている。この場合、内側タンク1内の薬液の温度は、内側タンク薬液温度センサTaによって検出され、外側タンク2内の薬液の温度は、外側タンク薬液温度センサTbによって検出され、また、ヒータ4の温度は、コントロール温度センサTcと、オーバーヒート温度センサTdによって検出されるようになっている。これら温度センサTa〜Tdのうち、外側タンク薬液温度センサTb、コントロール温度センサTc及びオーバーヒート温度センサTdの検出信号を温度制御部(図示せず)で制御して、外側タンク2内の薬液温度、ヒータ4の加熱温度を所定温度に設定できるようになっている。
【0064】
即ち、温度センサTb〜Tdで検出された検出信号を温度制御部で制御することにより、外側タンク2内の薬液の温度T1を所定温度、すなわち、80℃<T1<150℃に制御することで、内側タンク1内の薬液の温度T0を外側タンク2内の薬液の温度T1の熱容量によってT1とほぼ等しい温度に設定することができる。
【0065】
一方、処理部すなわち内筒体25内に取り付けられる薬液供給ノズル51と、薬液供給部52とを接続する薬液供給管路53は、図20及び図22に示すように、内側タンク1内の薬液を処理部側に供給する第1の供給管路14aと、外側タンク2内の薬液を処理部側に供給する第2の供給管路14bと、これら第1及び第2の供給管路14a,14bを連結して共通化する主供給管路14cとで主に構成されている。この場合、第1の供給管路14aには第1の切換開閉弁15aが介設され、第2の供給管路14bには第2の切換開閉弁15bが介設されている。また、主供給管路14cには例えばダイアフラム式の供給ポンプ16が介設されると共に、この供給ポンプ16の吐出側に順次、第3の切換開閉弁15c、フィルタ17、第4の切換開閉弁15dが介設されている。
【0066】
また、主供給管路14cにおける供給ポンプ16の吐出側と外側タンク2とは、第5の切換開閉弁15eを介設した循環管路18が接続されており、外側タンク2内から供給される薬液を循環し得るように構成されている。
【0067】
また、主供給管路14cにおける供給ポンプ16の吐出側{具体的には供給ポンプ16と第3の切換開閉弁15cとの間}と、第3の切換開閉弁15cの吐出側と循環管路18の接続部との間には、主供給管路14cから分岐され再び主供給管路14cに連結するバイパス管路19が接続されている。このバイパス管路19には、第6の切換開閉弁15f、フィルタ19a及び第7の切換開閉弁15gが順次介設されている。また、外側タンク2の開口部2bと処理部には、薬液の戻り管路56が接続されており、処理部で処理に供された薬液が外側タンク2内に貯留されて、リサイクルに供されるようになっている。
【0068】
上記のようにして薬液供給管路53を形成することにより、外側タンク2内に貯留された薬液を第2の供給管路14b、主供給管路14c、バイパス管路19及び主供給管路14cを介して処理部側に供給することができる。また、内側タンク1内に貯留された薬液(新液)を第1の供給管路14aと主供給管路14cを介して処理部側に供給することができる。また、ウエハWの処理の待機時には、外側タンク2内に貯留された薬液を循環管路18を介して循環することができる。
【0069】
なお、外側タンク2の底部には排液開閉弁57を介設した排液管路58が接続されている(図22)。
【0070】
一方、薬液の溶剤例えばIPAの供給手段60は、図21に示すように、内筒体25内に取り付けられる上記薬液供給ノズルを兼用する供給ノズル51(以下に薬液供給ノズル51で代表する)と、溶剤供給部61と、この供給ノズル51と薬液供給部52とを接続するIPA供給管路62に介設されるポンプ54、フィルタ55、IPA供給弁63を具備してなる。この場合、溶剤供給部61は、溶剤例えばIPAの供給源64と、このIPA供給源64から供給される新規のIPAを貯留するIPA供給タンク61aと、処理に供されたIPAを貯留する循環供給タンク61bとで構成されており、両IPA供給タンク61a,61bには、上記内チャンバ23の拡開側部位の下部に設けられた第1の排液ポート41に接続する第1の排液管42に図示しない切換弁(切換手段)を介して循環管路90が接続されている。図面では、IPA供給タンク61a,61bを別個に配置する場合について説明したが、上記内側タンク1と外側タンク2と同様に、IPA供給タンク61a,61bを二重槽構造とする方が望ましい。
【0071】
一方、リンス液例えば純水の供給手段110は、図21に示すように、第2の固定壁38に取り付けられる純水供給ノズル111と、純水供給源112と、純水供給ノズル111と純水供給源112とを接続する純水供給管路113に介設される供給ポンプ114、純水供給弁115とを具備してなる。この場合、純水供給ノズル111は、内チャンバ23の外側に位置すると共に、外チャンバ24の内側に位置し得るように配設されており、内筒体25が待機位置に後退し、外筒体26がロータ21とウエハWを包囲する位置に移動して外チャンバ24を形成した際に、外チャンバ24内に位置して、ウエハWに対して純水を供給し得るように構成されている。なお、純水供給ノズル111は、外チャンバ24に取り付けられるものであってもよい。
【0072】
また、外チャンバ24の拡開側部位の下部には、第2の排液ポート45が設けられており、この第2の排液ポート45には、図示しない開閉弁を介設した第2の排液管46が接続されている。なお、第2の排液管46には、純水の比抵抗値を検出する比抵抗計47が介設されており、この比抵抗計47によってリンス処理に供された純水の比抵抗値を検出し、その信号を上記CPU30に伝達するように構成されている。したがって、この比抵抗計47でリンス処理の状況を監視し、適正なリンス処理が行われた後、リンス処理を終了することができる。
【0073】
なお、上記外チャンバ24の拡開側部位の上部には、第2の排気ポート48が設けられており、この第2の排気ポート48には、図示しない開閉弁を介設した第2の排気管49が接続されている。
【0074】
また、乾燥流体供給手段80は、図20及び図21に示すように、第2の固定壁38に取り付けられる乾燥流体供給ノズル81と、乾燥流体例えば窒素(N2)供給源82と、乾燥流体供給ノズル81とN2供給源82とを接続する乾燥流体供給管路83に介設される開閉弁84、フィルタ85、N2温度調整器86とを具備してなり、かつ乾燥流体供給管路83におけるN2温度調整器86の二次側に切換弁87を介して上記IPA供給管路62から分岐される分岐管路88を接続してなる。この場合、乾燥流体供給ノズル81は、上記純水供給ノズル111と同様に内チャンバ23の外側に位置すると共に、外チャンバ24の内側に位置し得るように配設されており、内筒体25が待機位置に後退し、外筒体26がロータ21とウエハWを包囲する位置に移動して外チャンバ24を形成した際に、外チャンバ24内に位置して、ウエハWに対してN2ガスとIPAの混合流体を霧状に供給し得るように構成されている。この場合、N2ガスとIPAの混合流体で乾燥した後に、更にN2ガスのみで乾燥する。なお、ここでは、乾燥流体がN2ガスとIPAの混合流体である場合について説明したが、この混合流体に代えてN2ガスのみを供給するようにしてもよい。
【0075】
なお、上記薬液供給手段50、IPA供給手段60、純水供給手段110及び乾燥流体供給手段80における供給ポンプ16,54、薬液供給部52の第1〜第7の切換開閉弁15a〜15g、温度制御部(図示せず)、N2温度調整器86、IPA供給弁63及び切換弁87は、CPU30によって制御されている(図20参照)。
【0076】
次に、上記洗浄・乾燥処理装置20の動作態様について説明する。まず、搬入・搬出部(図示せず)側からウエハ搬送チャックによって搬送されるウエハW又はウエハキャリア内のウエハWをウエハ受渡ハンド29が受け取り、その後、ウエハ受渡ハンド29が上昇して押え棒32が外方に開いた状態のロータ21内にウエハWを挿入して固定保持棒31と閉動作した押え棒32に受け渡す。固定保持棒31と押え棒32内にウエハWを受け渡した後、図示しないロック手段が作動して押え棒32がロックされる。その後、ウエハ受渡ハンド29は元の位置に移動する。
【0077】
上記のようにしてロータ21にウエハWがセットされると、内筒体25及び外筒体26がロータ21及びウエハWを包囲する位置まで移動して、内チャンバ23内にウエハWを収容する。この状態において、まず、ウエハWに薬液を供給して薬液処理を行う。この薬液処理は、ロータ21及びウエハWを低速回転例えば1〜500rpmで回転させた状態で所定時間例えば数十秒間薬液を供給した後、薬液の供給を停止し、その後、ロータ21及びウエハWを数秒間高速回転例えば100〜3000rpmで回転させてウエハW表面に付着する薬液を振り切って除去する。この薬液供給工程と薬液振り切り工程を数回から数千回繰り返して薬液処理を完了する。
【0078】
上記薬液処理工程において、内側タンク1及び外側タンク2内に薬液が貯留された状態の通常の処理では、最初に供給される薬液は、外側タンク2内に貯留された薬液が使用される。すなわち、第2,第6,第7及び第4の切換開閉弁15b,15f,15g,15dが開いた状態で供給ポンプ16が作動することにより、外側タンク2内の薬液は、第2の供給管路14b、主供給管路14c、バイパス管路19及び主供給管路14cを流れて処理部側に供給される。この際、供給ポンプ16を通過した薬液はフィルタ19aによって濾過され、薬液中に混入する不純物や夾雑物等が除去される。ある一定時間内最初に使用された薬液は第1の排液管42から廃棄される。それ以外の薬液は一定時間処理に供された後、外側タンク2内に戻されて、以後循環供給される。
【0079】
所定時間薬液を循環供給して処理を行った後、内側タンク1内の新規薬液が処理部側に供給されて薬液処理が終了する。内側タンク1内の新規薬液を処理部側へ供給する場合には、上記第2,第6及び第7の切換開閉弁15b,15f,15gが閉じ、第1,第3及び第4の切換開閉弁15a,15c,15dが開く。この状態で供給ポンプ16が作動することにより、内側タンク1内の新規薬液は、第1の供給管14a及び主供給管14cを流れて処理部側に供給される。この際、供給ポンプ16を通過した新規薬液はフィルタ17によって濾過され、薬液中に混入する不純物や夾雑物等が除去される。また、前回の処理時に供給され、主供給管路14cに残留した新規薬液は、次回の新規薬液と共にフィルタ17によって濾過される。なお、処理に供された新規薬液は戻り管路56を介して外側タンク2内に貯留される。
【0080】
上記説明では、内側タンク1内と外側タンク2内に薬液が貯留された状態の通常の薬液処理について説明したが、内側タンク1及び外側タンク2内に薬液が貯留されていない空の状態では、以下のようにして薬液処理を行う。
【0081】
まず、薬液開閉弁3aを開いて薬液供給源3から薬液を内側タンク1内に供給すると共に、内側タンク1からオーバーフロー管路5を介して外側タンク2内に所定量の薬液を貯留する。そして、処理初期時に、外側タンク2内の新規薬液を処理部側に供給して最初の薬液処理を行う。その後は、上記通常の薬液処理と同様に、外側タンク2内の薬液を循環供給した後、内側タンク1内の新規薬液を処理部側に供給して、薬液処理を終了する。
【0082】
なお、薬液処理工程の際には、薬液処理に供された薬液は第1の排液ポート41に排出され、切換弁(図示せず)の動作によって戻り管路56を介して薬液供給部52に循環又は第1の排液管42に排出される一方、薬液から発生するガスは第1の排気ポート43を介して第1の排気管44から排気される。
【0083】
上記のようにして、薬液処理を行った後、内チャンバ23内にウエハWを収容したままの状態で、IPA供給手段60のIPAの供給ノズルを兼用する薬液供給ノズル51から低速回転例えば1〜500rpmで回転させた状態で所定時間例えば数十秒間IPAを供給した後、IPAの供給を停止し、その後、ロータ21及びウエハWを数秒間高速回転例えば100〜3000rpmで回転させてウエハW表面に付着するIPAを振り切って除去する。このIPA供給工程とIPA振り切り工程を数回から数千回繰り返して薬液除去処理を完了する。この薬液除去処理においても、上記薬液処理工程と同様に、最初に供給されるIPAは、循環供給タンク61b内に貯留されたIPAが使用され、この最初に使用されたIPAは第1の排液管42から廃棄され、以後の処理に供されるIPAは供給タンク61b内に貯留されたIPAを循環供給する。そして、薬液除去処理の最後に、IPA供給源64から供給タンク61a内に供給された新規のIPAが使用されて、薬液除去処理が終了する。
【0084】
薬液処理及びリンス処理が終了した後、内筒体25が待機位置に後退して、ロータ21及びウエハWが外筒体26によって包囲、すなわち外チャンバ24内にウエハWが収容される。したがって、内チャンバ23内で処理されたウエハWから液がしたたり落ちても外チャンバ24で受け止めることができる。この状態において、まず、リンス液供給手段の純水供給ノズル111から回転するウエハWに対してリンス液例えば純水が供給されてリンス処理される。このリンス処理に供された純水と除去されたIPAは第2の排液ポート45を介して第2の排液管46から排出される。また、外チャンバ24内に発生するガスは第2の排気ポート48を介して第2の排気管49から外部に排出される。
【0085】
このようにして、リンス処理を所定時間行った後、外チャンバ24内にウエハWを収容したままの状態で、乾燥流体供給手段80のN2ガス供給源82及びIPA供給源64からN2ガスとIPAの混合流体を回転するウエハWに供給して、ウエハ表面に付着する純水を除去することで、ウエハWと外チャンバ24内の乾燥を行うことができる。また、N2ガスとIPAの混合流体によって乾燥処理した後、N2ガスのみをウエハWに供給することで、ウエハWの乾燥と外チャンバ24内の乾燥をより一層効率よく行うことができる。
【0086】
上記のようにして、ウエハWの薬液処理、薬液除去処理、リンス処理及び乾燥処理が終了した後、外筒体26が内筒体25の外周側の待機位置に後退する一方、図示しないロック解除手段が動作してウエハ押え棒32をウエハWの押え位置から後退する。すると、ウエハ受渡ハンド29が上昇してロータ21の固定保持棒31にて保持されたウエハWを受け取って洗浄・乾燥処理装置20の上方へ移動する。洗浄・乾燥処理装置20の上方へ移動されたウエハWはウエハ搬送チャックに受け取られて搬入・搬出部に搬送された後、装置外部に搬送される。
【0087】
なお、上記洗浄・乾燥処理装置20では、被処理体が半導体ウエハWである場合について説明したが、ウエハW以外の例えばLCD基板やCD等の被処理体についても適用できることは勿論である。
【0088】
【発明の効果】
以上に説明したように、この発明の液面検出装置は、上記のように構成されているので、以下のような効果が得られる。
【0089】
(1)請求項1記載の発明によれば、チューブ内の液面の上昇に伴ってフロートも上昇するが、そのフロートはストッパによって上方への移動が阻止されることになり、所定の位置より上方に移動することがない。また、フロートは、上方への移動の過程において位置センサによって検出されることになり、ストッパによって停止した後も位置センサによって検出され続けることになる。従って、位置センサによるフロートの検出があれば、タンクの液面が所定の位置以上のところにあり、同検出がなければ、タンクの液面が所定の位置未満のところにあると判断することができる。即ち、液面が所定の位置に対してどの位置にあるかを確実に検出することができる。
【0090】
(2)請求項2記載の発明によれば、ストッパ、フロート及び位置センサを複数組設けているので、少なくとも各ストッパによって停止しているフロートを各位置センサで検出することができる。このため、例えば下から3番目までの位置センサがフロートを検出している場合には、この3番目に対応する所定の位置以上にタンクの液面があると判断することができる。また、全ての位置センサがフロートを検出していなければ、最下位置の位置センサに対応する所定の位置よりタンクの液面が低いと判断することができる。従って、タンクの液面の位置をより詳細に検出することができる。
【0091】
(3)請求項1記載の発明によれば、チューブを柔軟性を有するもので構成し、このチューブの一部を内側に変形させた絞り部によってストッパを構成しているので、チューブにおける軸方向の自由な位置にストッパを構成することができる。従って、液面の位置が異なる場合や、タンクが異なる場合等にも対応することができる。
【0092】
(4)請求項3記載の発明によれば、請求項1又は2記載の発明における絞り部をクリップによって簡単に形成することができる。従って、ストッパとなる絞り部をチューブにおける自由な位置により簡単に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の第1実施形態として示した液面検出装置及びこの液面検出装置を設置するタンクを示す断面図である。
【図2】 同液面検出装置を示す側面図である。
【図3】 同液面検出装置を示す図であり、図2のIII矢視図である。
【図4】 同液面検出装置を示す要部正面図である。
【図5】 同液面検出装置を示す図であり、図4のV矢視図である。
【図6】 同液面検出装置を示す図であり、図4のVI−VI線に沿う断面図である。
【図7】 同液面検出装置におけるストッパの部分を示す図であり、(a)は正面図、(b)は(a)のB−B線に沿う断面図、(c)は(b)のC−C線に沿う断面図である。
【図8】 同液面検出装置におけるクリップを示す分解正面図である。
【図9】 同液面検出装置における他のクリップを示す正面図である。
【図10】 同液面検出装置の作用を示す図であり、(a)は下から3番目のストッパまで液面が上昇している状態を示す図であり、(b)は最下位置のストッパまでしか液面が上昇していない状態を示す図である。
【図11】 この発明の第2実施形態として示した液面検出装置の要部正面図である。
【図12】 同液面検出装置を示す図であり、図11のXII矢視図である。
【図13】 同液面検出装置を示す図であり、図11のXIII−XIII線に沿う断面図である。
【図14】 この発明の参考実施形態として示した液面検出装置の要部断面図である。
【図15】 同液面検出装置を示す図であり、図14のXV矢視図である。
【図16】 同液面検出装置を示す図であり、図14のXVI−XVI線に沿う断面図である。
【図17】 同液面検出装置における位置センサの他の例を示す図であり、(a)は第1の他の例を示す断面図、(b)は第2の他の例を示す断面図である。
【図18】 この発明の各実施形態で示したフロートの他の例を示す図であり、(a)は円柱形状のフロートを示す斜視図、(b)は円筒形状のフロートを示す斜視図、(c)は外周に溝を設けたフロートを示す斜視図、(d)は六角柱状のフロートを示す斜視図、(e)は上下の端面と側面との角部に斜め直線状のC面取りを形成したフロートの正面図、(f)は上下の端面と側面との角部に円弧状のR面取りを形成したフロートの正面図である。
【図19】 この発明の各実施形態で示した位置センサの他の例を示す図であり、図11のXIII−XIII線に相当する位置の断面図である。
【図20】 この発明の実施形態として示した各液面検出装置を適用する洗浄・乾燥処理装置の概略構成図である。
【図21】 同洗浄・乾燥処理装置の概略配管図である。
【図22】 同洗浄・乾燥処理装置の要部を示す概略構成図である。
【符号の説明】
2 外側タンク
7 位置センサ
71 チューブ
71a ストッパ
71b 硬質管
71c 継手
72 フロート
73 クリップ
Claims (3)
- タンク内の液面位置と同一の液面位置となるように、タンク内の液体が導かれた光透過性のチューブと、
このチューブ内に移動自在に設けられ、上記液体より比重の小さなフロートと、
上記チューブの所定の位置に設けられ、上記フロートの上方への移動を阻止するストッパと、
上記フロートを検知する位置センサとを備えてなり、
上記チューブは、柔軟性を有するもので構成され、
上記ストッパは、上記フロートの移動が不能になる程度まで、上記チューブの一部を内側に変形させた絞り部によって構成され、
上記位置センサは、少なくとも上方へ移動しストッパによって停止しているフロートを検知する位置に設けられていることを特徴とする液面検出装置。 - 請求項1記載の液面検出装置において、
ストッパ、フロート及び位置センサは、複数組設けられていることを特徴とする液面検出装置。 - 請求項1又は2記載の液面検出装置において、
チューブの一部を両側から挟んで絞り部を形成するクリップを備えていることを特徴とする液面検出装置。
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