KR100347283B1

KR100347283B1 - 화학약품배스시일을보호하기위한장치및방법

Info

Publication number: KR100347283B1
Application number: KR1019960704145A
Authority: KR
Inventors: 케네스 씨. 스트루벤
Original assignee: 임텍 프로덕츠, 인크.
Priority date: 1994-01-31
Filing date: 1995-01-31
Publication date: 2003-08-02
Also published as: JPH09508752A; EP0748427B1; WO1995020741A1; WO1995020740A1; DE69513642T2; EP0748427A4; US5383488A; JP3320735B2; DE69513642D1; EP0748427A1; KR970700839A

Abstract

본 발명은 케이싱(12)에 안착된 화학 약품 리셉터클(14)을 가지며 뜨거운 액체 화학 약품(33) 내에 침지함으로써 물품이 처리되는 배스에 관한 것이다. 케이싱의 림(15)과 리셉터클 사이의 시일에 의해 가열 소자(340 및 단열재(19)와 같은 케이싱(12)의 내부 부품이 젖는 것이 방지된다. 다른 노출된 시일(36)은 유동하는 물(38)의 장벽에 의해 배스의 외부 환경으로부터 격리된다. 물(38) 유동은 부식성 화학 약품 적하물 및 증기로부터 시일을 차폐하며 시일(36)의 구역 내의 부품의 열 팽창을 감소시키는 냉각 효과를 또한 가짐으로써 구조 응력을 감소시킨다.

Description

화학 약품 배스 시일을 보호하기 위한 장치 및 방법

발명의 분야

본 발명은 물품의 제조 중 또는 다른 산업 작업 중 뜨거운 액체 화학 약품에 물품이 침지되는 화학 약품 배스(chemical baths)에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 화학 약품 배스의 구성 부품들 사이의 연결부의 밀봉에 관한 것이다.

발명의 배경

뜨거우며 그리고 종종 부식성의 액체 내의 침지에 의해 다양한 산업 제품이 처리된다. 예를 들어, 집적 회로 웨이퍼는 이러한 방식으로 에칭되며 클리닝된다. 이러한 물품이 통상 처리되는 화학 약품 배스는 플라스틱과 같은 다른 재질로 형성된 케이싱에 안착되는 내화성 재질(refractory material)로 형성된 액체 리셉터클을 갖는다. 리셉터클은 케이싱 림을 중첩하는 일체형 플랜지에 의해 지지된다. 플랜지와 케이싱 림 사이의 매스틱 밀봉재(mastic sealing material)는 단열재(thermal insulation), 가열 소자(heating elements) 및 열전쌍(thermocouples)과 같은 케이싱 내의 내부 구성 부품들이 화학 약품, 부식성 증기 또는 습기에 젖어서 손상되지 않는 것을 보장한다.

이러한 종류의 화학 약품 배스 시일은 바람직하지 않게 짧은 유효 수명을 갖는 경향이 있다. 이러한 원인 중 하나는, 이러한 시일을 형성하는 재질은 배스 내에 담길 수 있는 종류의 액체에 의해 화학적 공격을 받기 쉽다는 점이다. 배스로부터 처리된 물품의 제거와 같은 여러 가지 처리 활동은 배스의 외부 면을 이러한 액체로 젖게 할 수도 있다. 시일의 품질 악화는, 이러한 액체에 의해 발산된 증기가 재질을 또한 부식시킬 수 있기 때문에 액체가 밀봉재와 직접 접하게 되는 경우에만 한정되지는 않는다. 밀봉재에 대한 화학적 손상은 시일 근처에서의 고온에 의해 악화된다.

시일 수명은 화학 약품 배스에서 발생되는 열 주기(thermal cycling)에 의해 또한 제한될 수도 있다. 밀봉제는 통상 화학 약품 리셉터클의 석영(quartz) 등과 케이싱의 플라스틱과 밀봉제 자신의 세 개의 다른 재질을 접착시킨다. 이들 재질은 가열될 때 열 팽창량이 다르다. 이에 의해, 다른 재질과 밀봉제의 접착을 파괴하며 밀봉제 자신을 분리시키는 경향이 있는 반복 응력이 발생된다.

본 발명은 상술된 하나 이상의 문제점을 극복하기 위한 것이다.

발명의 요약

일 태양에서, 본 발명은 화학 약품을 담기 위한 그리고 물품을 수납하기 위한 리셉터클을 가지며 적어도 리셉터클의 일부가 안착된 챔버를 갖는 케이싱을 갖는 형태의 뜨거운 화학 약품 내에 물품을 침지하기 위한 화학 약품 배스를 제공한다. 밀봉재는 리셉터클 및 케이싱 모두를 접하여 그들 사이의 기밀 밀봉을 형성하며, 배스의 외부 환경에 개방된 배스의 구역에 있다. 적어도 하나의 유동 도관이 개방 구역으로 연장되며 액체의 유동이 도관을 통해 개방 구역으로 연장된다. 시일 보호 수단은 개방된 구역에서 유동하는 액체의 본체로, 외부 환경으로부터 밀봉재를 격리시키는 개방된 구역의 액체를 형성한다.

본 발명의 다른 태양에서, 뜨거운 액체 화학 약품 내에 물체를 침지하기 위한 화학 약품 배스는 케이싱의 상부 주위로 연장된 림 부재를 갖는 케이싱을 포함 한다. 림 부재는 상향 연장된 내벽과, 림 부재의 상부 아래에 위치된 외향 연장된 선반과 내벽으로부터 외향으로 선반을 따라 연장된 상향 연장된 립을 갖는다. 액체 화학 약품 리셉터클은 케이싱에 안착되며 림 부재 위로 주위로 연장된 외향 플랜지를 가지며, 플랜지는 립 위로 물의 유출을 가능하게 하도록 립으로부터 이격된다. 단열재는 케이싱 벽과 화학 약품 리셉터클 사이에 케이싱 내에 배치된다. 밀봉재는 림 부재와 플랜지 사이에 연장되며 내벽과 립 사이의 구역에서 노출된다. 장치는 내벽과 립 사이의 구역으로 물의 유동을 공급하여 림 부재 및 플랜지 모두를 접하며 내벽과 립 사이에 유동하는 물의 본체를 형성하는 수단을 포함한다.

또 다른 태양에서, 본 발명은 다른 재질로 형성된 배스 구성 부품들 사이로 연장되며 열을 받기 쉬우며 시일을 형성하는 재질에 악영향을 줄 수 있는 증기를 발생시키는 배스의 외부 환경에 개방된 배스 상의 위치에 있는 화학 약품 배스 시일을 보호하는 방법을 제공한다. 이 방법은 시일 위치에 액체의 유동을 향하게 하는 단계와, 외부 환경으로부터 시일을 격리하기 위해 유동하는 액체 본체를 각 구성 부품과 접하여 유지하는 단계를 포함한다.

본 발명은 밀봉재와 배스의 외부 환경 사이에 물일 수도 있는 유동하는 액체의 장벽을 제공함으로써 화학 약품 배스 시일의 수명을 연장시킨다. 넘치는 액체는 이러한 화학 약품으로부터 발산될 수 있는 뜨거운 화학 약품 증기 및 적하의 부식성 영향으로부터 밀봉재를 차폐시킨다. 유동은 시일 구역 내의 배스 구성 부품들을 냉각시켜 열 사이클의 나쁜 영향을 감소시킴으로써 시일 내구성에 또한 기여한다.

첨부된 도면을 참조한 이하의 양호한 실시예의 상세한 설명을 참조하여 본 발명의 다른 특징 및 장점과 함께 본 발명을 보다 명확히 이해할 수 있을 것이다.

도면의 간단한 설명

도1은 본 발명의 제1 실시예를 구체화한 화학 배스의 일부 절결된 평면도이다.

도2는 도1의 선 2-2를 따른 도1의 장치의 일부 절결된 측면도이다.

도3은 도1의 선 3-3을 따른 도1의 장치의 단면도이다.

도4는 도1의 장치의 시일 구성 부품 및 인접 구조물을 도시하는 단면도로서, 도3의 점선(4)으로 둘러싸인 부분의 확대도이다.

도5는 도4와 일반적으로 유사하나 변형된 형태의 시일 구성 부품 및 인접 구조물을 도시하는 단면도이다.

도6은 도5의 변형부의 일부 절결된 평면도이다.

도7은 기존의 화학 약품 배스를 개장(retrofitting)하기에 특히 적합한 본 발명의 또 다른 변형예를 도시하는 평면도이다.

도8은 화학 약품 배스의 착좌 구역의 상세 구조를 도시하는 도7의 선 8-8을 따른 단면도이다.

도9는 도8의 장치의 사시도이다.

양호한 실시예의 설명

도1, 도2 및 도3에서, 본 발명의 본 실시예의 화학 약품 배스(11)는 액체 화학 약품 리셉터클(14)이 안착되는 챔버(13)를 형성하는 외부 하우징 또는 케이싱(12)을 갖는다. 일체형 플랜지(16)는 리셉터클의 전체 외주 주위로 리셉터클(14)의 본체(17)로부터 외향 연장되며, 케이싱(12)의 상단부 주위로 연장된 림 부재(15) 상에 놓인다. 케이싱(12) 내에 있는 리셉터클(14)의 적어도 일부는, 단열재(19)가 배치되는 케이싱 벽(18)과 리셉터클 사이의 공간을 제공하도록 케이싱보다 작은 크기를 갖는다.

리셉터클 본체(17)의 기부의 중심의 리셉터클(14)의 원통형 구역(21)은 케이싱 챔버(13)의 바닥(22)을 통해 하향 연장되며, 종래의 형태의 액체 화학 약품 공급원(도시되지 않음)에 연결될 수도 있는 공급 파이프(24) 및 엘보 피팅(26)을 통해 액체 화학 약품이 리셉터클로 공급되거나 또는 리셉터클로부터 배출될 수도 있는 수직 통로(23)를 갖는다. 리셉터클(14)의 원통형 구역(21)은 용접에 의해 챔버 바닥(22)의 하부 측에 고정되는 환형 시일 리테이너(28) 내에 담기는 시일(27)에 의해 둘러싸인다. 액체 화학 약품 공급 파이프(24) 및 엘보 피팅(26)을 연결하는 나사 커플링(29)은 챔버 바닥(22)으로부터 하향 연장된 지지부(31)에 파이프 및 엘보를 또한 클램핑한다. 케이싱(12)에는 상승된 위치에 챔버 바닥(22)을 유지하는 레그(32)가 각 모서리에 형성되어 액체 공급 구성 부품을 위한 공간을 제공한다.

리셉터클(14) 내의 액체 화학 약품(33)은 리셉터클 본체(17)의 외측의 하부 부분 및 바닥 구역에 대해 배치된 저항 종류의 리본형 전열 소자(34)에 의해 가열된다.

리셉터클(14)은 고온을 견딜 수 있으며 담기는 액체와 화학적으로 반응하지 않는 재질로 형성된다. 본 실시예에서, 플랜지(16)를 포함하는 리셉터클(14)은, 석영판들을 함께 용융시킴으로써 또는 성형된 석영 부조립체들을 함께 용융시킴으로써 형성된 석영의 일체형 본체이다. 케이싱(12) 및 케이싱 림 부재(15)는 본 특정 실시예에서는 폴리프로필렌 플라스틱과 같은 더 작은 취성을 가지며 보다 용이하게 제조되는 재질로 성형된다.

케이싱(12) 및 리셉터클(14)은 본 실시예의 사각 형상과는 다른 형상을 가질 수도 있으며, 케이싱 측벽(18)은 본 특정 실시예에서와 같이 플랜지(16)의 레벨 위로 반드시 연장될 필요는 없다. 본 발명의 본 실시예는 비 재순환식 화학 약품 배스(11)이지만, 본 발명은 액체 화학 약품(33)이 리셉터클(14)로부터 연속 배출되어 필터링된 후 리셉터클로 복귀되는 종류의 재순환식 배스에도 동일하게 적용 가능하다. 이러한 재순환식 화학 약품 배스의 예는 본 명세서에서 참조된 미합중국 특허 제5,014,733호, 제5,054,519호 및 제5,056,552호에서 개시되어 있다.

도1 및 도4에서, 리셉터클 플랜지(16)와 케이싱 림 부재(15) 사이의 연결부에는 본 실시예에서는 매스틱 밀봉재(37, mastic sealing material)로 형성된 시일(36)이 제공된다. 시일(36)은 배스(11)의 외부 환경에 존재할 수도 있는 반응성 화학 약품, 증기 및 습기와의 접촉으로부터 케이싱(12) 내에 있는 단열재(19) 및 다른 구성 부품을 보호한다. 본 발명은 외부 환경으로부터 시일을 격리시키도록 시일(36)과 외부 환경 사이의 위치에 액체의 유동을 향하게 함으로써 그리고 리셉터클 플랜지(16) 및 케이싱 림 부재(15)와 접하여 유동하는 액체의 본체(38)를 유지시킴으로써 화학 공격으로부터 시일(36) 자신을 보호한다. 필요시 다른 액체가 사용될 수도 있지만, 액체는 양호하게는 탈이온화 상태(de-ionized type)의 물일 수도 있다.

본 실시예에서는, 리셉터클 플랜지(16)는 케이싱 림 부재(15) 위로 리셉터클 본체(17)로부터 외향으로 그리고 보다 짧은 거리에 대해 하향으로 연장된다. 림 부재(15)는, 케이싱 내에 케이싱 벽(42)의 상부 엣지(41)를 중첩하며 플랜지(16)의 하부면의 레벨 약간 아래의 레벨로 상향 연장된 내벽 구역(39)을 갖는다. 밀봉재(37)는 내벽 구역(39)의 상단부와 플랜지(16)의 하부 면 사이에 내벽 구역의 상단부 및 플랜지의 하부면을 각각 접하여 위치된다. 림 부재(15)의 선반 구역(43, shelf region)은 케이싱 벽의 상부 엣지(41) 바로 위로 내벽 구역(39)으로부터 외향으로 그리고 리셉터클 플랜지(16)와 이격하여 연장된다. 유동하는 액체를 외부 환경으로부터 밀봉재(37)를 격리시키는 액체의 본체(38)로 형성하기 위한 수단은 벽 구역(39)으로부터 외향으로 그리고 그로부터 이격하여 연장된 림 부재(15)의 립 구역(44)을 포함한다. 따라서 벽 구역(39), 립 구역(44) 및 그 사이에 연장된 선반 구역(43)의 일부는 플랜지(16) 아래의 배스(11)의 외주 주위로 연속 연장된 홈(46)을 형성한다. 립 구역(44)의 상단부는 플랜지(16)의 하부면으로부터 약간 이격되어 립 구역 너머로 물의 연속 유출을 가능하게 한다. 양호하게는, 립 구역(44)으로부터 외향한 선반 구역(43)의 부분은 물 유출의 방출(run off) 및 선반 구역에 적층될 수도 있는 임의의 뜨거운 액체 화학 약품의 적하(drippage)의 방출을 용이하게 하도록 하향 경사진다.

유동 도관(47)은 물의 본체(38)를 플랜지(16)와 접하여 유지하기에 충분한 유량으로 물 공급원(48)으로부터 홈(46)으로 물을 공급한다. 도관(47)은 본 실시예에서는 분기되어, 입구 피팅(49) 및 홈의 기부와 연통된 림 부재(15)의 통로(51)를 통해 배스(11)의 대향 측면에 있는 두 위치에서 홈(46)으로 물 유동을 공급한다. 둘 이상의 이격된 위치에서의 물 유동의 공급에 의해 홈(46)을 따라 연속 위치에서의 물이 보다 균일한 온도를 가지며 시일(36)의 구역을 보다 효과적으로 냉각시킨다. 본 실시예에서, 공급원(48)으로부터 도관(47)으로의 물 유동은 펌프(52)에 의해 제공되며 유동율의 조절을 가능하게 하는 밸브(53)를 통해 공급된다. 화학 약품 배스가 사용되는 많은 설치예에서 가압된 적절한 물의 기존의 공급원이 사용 가능하며, 따라서 별도의 펌프(52)가 항상 필요한 것은 아니다.

밀봉재(37)의 위치 내로 부식성 액체 또는 증기의 침임을 방지하는 것에 더하여, 물 유동은 취성 석영 플랜지(16)의 열 유도 응력 및 밀봉재(37)와 플랜지와 림 부재 사이의 접착 응력을 감소시킨다. 유동의 냉각 효과가 배스의 작동 중 발생되는 이러한 구성 부품의 열 팽창 량을 감소시키기 때문에 응력은 감소된다.

림 부재(15)를 갖는 케이싱 벽(42)의 상부 엣지(41)의 연결부는 취성 석영 플랜지(16)의 응력을 보다 감소시키는 삼중 비이드 플라스틱 용접(triple bead plastic weld)으로 밀봉된다. 용접은 케이싱 벽(42) 및 림 부재(15) 모두에 접착된 제1 비이드(54)와, 림 부재의 하부에 그리고 비이드(54)에 접착된 제2 비이드(56)와, 케이싱 벽 및 비이드(54)에 접착된 제3 비이드(57)를 갖는다. 상술된 형상에서 케이싱 벽(42)에 대해 림 부재(15)의 작은 양의 흔들림(rocking) 운동이 가능하다는 점에서 용접이 힌지로서 작용하는 경우, 용접이 형성되는 플라스틱은 약간의 유연성(flexible)을 갖는다. 따라서, 림 부재(15)는 석영 플랜지(16)에 응력을 전달하는 대신에 케이싱 벽(42)의 굽힘(flexing)을 조절할 수도 있다.

림 부재(15)의 립 구역(44)은 양호하게는 홈(46)의 바닥으로부터 선반 구역(43)의 하향 경사의 상부면으로 연장된 하나 이상의 작은 배출 통로(66)에 의해 관통된다. 이에 의해, 배스(11)가 정지되는 경우 물이 홈(46)으로부터 배출될 수 있다. 통로(66)는 배스(11)의 작동 중 홈(46)으로 물의 유입 보다 작은 유동으로 통로를 통한 유동을 한정하는 정도의 크기이다.

시일 근처의 구성 부품의 형상은 배스의 외부 환경으로부터 밀봉재(37)를 격리시키는 목적을 실현시키는 한 다른 형상을 가질 수도 있다. 도5 및 도6에서의 림 부재(15a)의 립 구역(44a)은 제1 실시예에서만큼 상향으로 멀리 연장되지 않으며 림 부재의 외부 엣지에 연장된 아래로 경사진 상부면(58)을 갖는 배스의 밀봉 구역의 한 변형예를 도시한다. 리셉터클 플랜지(16a)에는 림 부재 내벽 구역(39a)과 립 구역(44a) 사이에 홈(46a) 내로 하향 연장된 일체형 립(59)이 형성된다. 플랜지 립(59)은 림 부재의 립 구역(44a) 및 벽 구역(39a)으로부터 그리고 홈(46a)의 기부로부터 이격된다. 따라서, 유동하는 물(38a)은 플랜지 립(59)의 양 측면에서 홈(46a) 을 충전시키며 림 부재(15a)의 립 구역(44a)의 하향 경사진 상부면(58)을 넘친다. 이는 밀봉재와 물의 실제 접촉 없이 외부 환경으로부터 밀봉재(37a)를 격리시킨다. 본 명세서에서 기술된 것 이외에는, 도5 및 도6의 화학 약품 배스(11a)는 도1 내지 도4 를 참조하여 기술된 본 발명의 제1 실시예와 유사할 수도 있다.

본 명세서에서 기술된 본 발명의 각 실시예에서, 이러한 배스가 위치된 설비의 바닥은 넘치거나 또는 유출된 액체를 수집하기 위한 배출 출구를 통상 갖기 때문에 화학 약품 배스의 외주 주위의 물의 유출은 단순히 낙하하여 바닥에 고인다. 필요시, 유출을 수집하여 적절한 배출구로 전달하기 위해 림 부재 아래에 통이 배치될 수도 있다.

본 발명의 상술된 실시예들은 림 부재(15, 15a) 및, 한 경우에는 종래 화학 약품 배스의 대응 구성 부품의 형상과 다른 형상을 갖는 리셉터클 플랜지(16a)를 갖는다. 도7, 도8 및 도9에서, 본 발명은 추가의 구성 부품을 단지 추가시킴으로써 공지 형태의 림 부재(15b) 및 플랜지(16b)를 갖는 종래의 화학 약품 배스(11b)에 개장(retrofitted)될 수도 있다.

종래 화학 약품 배스(11b)의 림 부재(15b)는 리셉터클 플랜지(16b)를 향해 상향 연장된 내벽 구역(39b) 및 플랜지 자체의 연장부보다 큰 거리에 대해 플랜지와 이격되어 플랜지 아래로 외향으로 연장된 선반 구역(43b)을 갖는다. 선반 구역(43b)의 상부면(61)은 림 부재(15b)의 외부 엣지를 향해 하향 경사진다. 밀봉재(37b)는 플랜지의 하부면과 림 부재(15b)의 상단부 사이에 연장되며 플랜지의 하부면 및 림 부재의 상단부 모두에 접착된다. 이러한 일반적인 형태의 구조는 미합중국 특허 제 5,056,552호에 개시되어 있다.

본 발명의 본 실시예에 따라 밀봉재(37b)를 보호하기 위해, 튜브형 도관(62)이 림 부재(15b)의 선반 구역(43b)의 상부면(61) 상에 배치되며 림 부재와 평행하게 림 부재를 따라 연장된다. 도관(62)은 플랜지(16b)로부터 외향 이격되어, 도관이 플랜지(16b)의 하부 엣지(63)의 레벨까지, 양호하게는, 약간 더 높은 레벨까지 연장되기에 충분한 직경을 갖는다.

도관(62)은 도관의 길이를 따라 간격을 두고 위치된 일련의 이격된 클램프(64)에 의해 위치에 유지되며, 각 클램프는 도관과 접촉하여 도관에 대해 연장된 아암(66)을 갖는다. 클램프(64)는 림 부재의 나사 통로(68)와 결합되는 스크루(67)에 의해 림 부재(15b)에 고정된다. 도관(62)은 양호하게는 플라스틱 튜브와 같은 탄성 재질로 제조되며, 클램프(64)는 도관 아래로 물의 누설을 방지하도록 림 부재(15b)에 대해 도관을 압박하도록 된다.

본 실시예의 도관(62)은 화학 약품 배스(11b)의 외주의 절반 주위로 각각 연장된 두 개의 별개의 튜브(69) 조각(length)에 의해 형성된다. 밀봉재(71)는 각 튜브(69) 조각의 단부를 폐쇄시키며 밀봉재의 구역에서 물 누설을 방지하도록 다른 튜브 조각에 연장된다. 또한, 도관(62)은 배스(11b)를 집합적으로 둘러싸는 다른 수의 튜브(69) 조각에 의해 또는 배스 전체 외주 주위로 연장된 하나의 연속 튜브 루프에 의해 형성될 수도 있다.

공급원(48)으로부터 물의 유동은 펌프(52), 밸브(53) 및 호스(47)를 통해 도관(62)으로 공급된다. 도관(62)의 측벽을 따라 이격된 개구(72)는 도관과 림 부재(15b)의 내벽 부분(39b) 사이에 있는 구역 내로 물을 방출한다. 이 구역 내의 물의 본체(38b)는 도관(62)에 의해 형성된 방벽을 넘치도록 플랜지(16b)의 하부 엣지(63)를 접하는 레벨로 상승되도록 가압된다. 따라서, 밀봉재(37b)는 유출되는 물의 본체에 의해 외부 환경으로부터 격리되며, 그에 의해, 화학적 공격으로부터 보호되며 또한 처리시 냉각된다.

본 발명은 리셉터클 플랜지와 케이싱 림 사이의 연결부를 밀봉하는 재질을 보호하는 데 특히 유용하지만, 시일이 화학적 공격을 받을 수 있는 화학 약품 배스 내의 다른 위치의 시일을 보호하기 위해 사용될 수도 있다.

본 발명이 예시를 위해 임의의 특정 실시예를 참조하여 기술되었으나, 많은 변형 및 변경이 가능하며 이하의 특히 청구 범위에서 한정된 것 이외에 본 발명을 한정하려는 것은 아니다.

Claims

화학 약품을 담고 물품을 수납하기 위한 리셉터클과, 상기 리셉터클의 적어도 일부가 안착되는 챔버를 갖는 케이싱과, 배스의 외부 환경에 개방된 구역에 있으며 상기 리셉터클과 상기 케이싱 사이의 기밀 밀봉을 형성하도록 상기 리셉터클 및 상기 케이싱 모두에 연결되는 밀봉재를 갖는, 뜨거운 화학 약품 내에 물품을 침지시키기 위한 화학 약품 배스에 있어서,

외부 환경에 개방된 상기 구역으로 연장된 적어도 하나의 유동 도관과, 상기 도관을 통해 상기 구역으로 액체의 유동을 전달하기 위한 수단과, 상기 외부 환경으로부터 상기 밀봉재를 격리시키고 상기 배스의 상기 구역의 상기 외부 환경에 노출되어 유동하는 액체의 본체로 상기 구역에 상기 액체를 형성하는 시일 보호 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제1항에 있어서, 상기 케이싱은 상기 개방된 구역의 기부를 따라 수평으로 연장된 면을 갖는 림 부재를 가지며, 상기 시일 보호 수단은 상기 면을 따라 연장되고 상기 밀봉재로부터 외향 이격된 위치에서 그로부터 상향 연장된 제1 부재를 포함하며, 상기 액체 유동 전달 수단은 상기 밀봉재와 상기 제1 부재 사이에 유동하는 액체의 상기 본체를 형성하도록 상기 밀봉재와 상기 제1 부재 사이의 적어도 한 위치에서 상기 개방된 구역으로 상기 액체 유동을 공급하며, 상기 배스는 상기 개방 구역을 제외하고 상기 밀봉재를 둘러싸며 상기 제1 부재로부터 이격되고 상기개방 구역에서 유동하는 액체의 상기 본체를 접하는 제2 부재를 포함하는 기밀 구성 부품을 갖는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제1항에 있어서, 상기 밀봉재에 의해 접해지는 상기 케이싱의 일부는 상기 케이싱의 상부 엣지를 따라 연장된 림 부재이며, 상기 리셉터클은 상기 케이싱 림 부재 위로 연장된 플랜지를 가지며, 상기 밀봉재는 상기 림 부재와 상기 플랜지 사이에 있으며 상기 림 부재 및 상기 플랜지 각각을 접하며, 상기 유동하는 액체의 본체는 상기 케이싱 림 부재와 상기 리셉터클 플랜지 사이에 있으며 상기 밀봉재로부터 외향한 위치에서 상기 케이싱 림 부재 및 상기 리셉터클 플랜지 각각을 접하는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제3항에 있어서, 상기 림 부재와 상기 플랜지와 상기 액체의 본체는 상기 화학 약품 배스의 전체 외주 주위로 연장되는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제1항에 있어서, 상기 케이싱은 상기 챔버의 상부를 따라 수평으로 연장된 림 부재를 가지며, 상기 리셉터클은 상기 리셉터클의 일체형 부분이며 상기 케이싱 림 부재 위로 연장된 외향 플랜지를 가지며, 상기 밀봉재는 상기 림 부재와 상기 플랜지 사이에 위치되며 상기 립 부재 및 상기 플랜지 각각에 접착되며, 상기 액체의 본체는 상기 림 부재와 상기 플랜지 사이에 있으며 상기 밀봉재와 상기 외부 환경 사이의 위치에서 상기 림 부재 및 상기 플랜지 각각을 접하는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제5항에 있어서, 상기 밀봉 보호 수단은 상기 밀봉재로부터 외향으로 그리고 상기 플랜지 아래의 위치에서 상기 케이싱 림 부재를 따라 연장된 상향 립을 포함하며, 상기 립은 상기 립 위로 액체 유출이 가능하도록 상기 플랜지로부터 이격된 상단부를 가지며, 상기 액체 유동 전달 수단은 상기 밀봉재와 상기 립 사이의 위치로 상기 액체 유동을 공급하는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제6항에 있어서, 적어도 하나의 배출 통로가 상기 립을 통해 연장되며, 상기 액체 유동 전달 수단은 액체가 상기 배출 통로를 통해 배출될 수 있는 속도를 초과하는 속도로 상기 위치로 액체를 공급하는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제1항에 있어서, 상기 케이싱은 상기 챔버를 따라 연장된 림 부재를 가지며 상기 리셉터클은 상기 림 부재 위로 외향 연장된 플랜지를 가지며, 상기 림 부재는 상기 플랜지를 향해 상향으로 연장된 내벽 및 플랜지와의 사이의 액체 유출이 가능하도록 상기 플랜지로부터 이격된 상부 엣지를 갖는 상향 립을 가지며, 상기 내벽 및 상기 립은 상기 플랜지 아래로 상기 림 부재를 따라 연장된 홈을 형성하도록 이격되며, 상기 액체 유동 전달 수단은 내부로 유동하는 상기 액체 본체를 형성하도록 상기 홈으로 상기 액체 유동을 공급하며, 상기 밀봉재는 상기 내벽과 상기 플랜지 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제8항에 있어서, 상기 플랜지는 상기 홈을 향한 수평 연장된 하부면을 가지며, 상기 립은 상기 플랜지의 상기 하부면과 접하여 상기 액체 본체를 유지하기에 충분한 높이인 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제8항에 있어서, 상기 플랜지는 립이 상기 액체 본체를 접하도록 위치된 상기 플랜지를 따라 연장된 하향 리브를 가지며, 상기 리브는 상기 내벽 및 상기 립 각각으로부터 이격되는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제10항에 있어서, 상기 리브는 상기 립의 상기 상부 엣지의 레벨 아래로 연장되는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제1항에 있어서, 상기 리셉터클은 하향 플랜지를 가지며, 상기 케이싱은 상기 플랜지 아래에 위치되며 그와 평행하게 연장된 림 부재를 가지며, 상기 림 부재는 상기 플랜지를 향해 연장된 상향 내벽 및 상기 플랜지로부터 이격되어 상기 플랜지 아래에 상기 내벽으로부터 외향 연장된 선반을 가지며, 상기 밀봉재는 상기 내벽과 상기 플랜지 사이에 내벽 및 플랜지 각각을 접하여 위치되며, 상기 밀봉 보호 수단은 상기 선반을 따라 연장되고 상기 플랜지의 최하부의 레벨과 적어도 같은 높이의 레벨로 상기 선반으로부터 상향 연장된 유동 장벽을 포함하며, 상기 장벽은 상기 플랜지로부터 이격되어 액체가 상기 장벽을 통해 넘칠수도 있으며, 상기 액체유동 전달 수단은 상기 내벽과 상기 장벽 사이의 구역으로 상기 액체를 공급하는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제12항에 있어서, 상기 장벽은 상기 액체 유동 전달 수단의 구성 부품이며 상기 입구로부터 상기 내벽과 상기 장벽 사이의 상기 구역으로 액체를 공급하기 위한 내부 유동 통로를 갖는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제13항에 있어서, 상기 장벽은 상기 선반과 접하여 선반을 따라 연장되는 튜브인 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제14항에 있어서, 상기 튜브는 탄성 재질로 형성되며, 상기 선반에 대해 상기 튜브를 압박하는 수단을 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
제13항에 있어서, 상기 장벽은 상기 내벽과 상기 장벽 사이의 상기 구역과 상기 유동 통로를 연통하는 다수의 이격된 부분 유동 개구를 갖는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
뜨거운 액체 화학 약품 내에 물체를 침지시키기 위한 화학 약품 배스에 있어서,

내부에 챔버를 가지며, 상향 연장된 내벽과 상부 아래에 위치된 외향 연장선반과 상기 내벽으로부터 외향으로 상기 내벽으로부터 이격되어 상기 선반을 따라 연장된 상향 립을 포함하며 상부 주위로 연장된 림 부재를 갖는 케이싱과;

상기 케이싱에 안착되며, 상기 립 부재 위로 물의 유출이 가능하도록 상기 립으로부터 이격되고 상기 림 부재 위로 주위로 연장된 외향 플랜지를 갖는 액체 화학 약품 리셉터클과;

상기 케이싱과 상기 화학 리셉터클 사이의 상기 챔버 내에 배치된 단열재와;

상기 림 부재와 상기 플랜지 사이로 연장되며 상기 림 부재 및 상기 플랜지 각각을 접하며 상기 내벽과 상기 립 사이의 구역으로 노출된 밀봉재와;

상기 림 부재와 상기 플랜지 모두를 접하는 유동하는 물의 본체를 형성하도록 상기 내벽과 상기 립 사이의 상기 구역으로 물의 유동을 공급하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 약품 배스.
다른 재질로 형성된 배스 구성 부품들 사이로 연장되며 열을 받기 쉬우며 상기 시일을 형성하는 재질에 악영향을 줄 수 있는 증기를 발생시키는 배스의 외부 환경에 개방된 상기 배스 상의 위치에 있는 화학 약품 배스 시일을 보호하는 방법에 있어서,

상기 위치에 액체의 유동을 향하게 하는 단계와, 상기 외부 환경으로부터 상기 시일을 격리하기 위해 상기 액체 본체를 상기 각 구성 부품과 접하여 유지하는 단계를 포함하는 상기 개방 위치에 상기 유동하는 액체의 본체를 유지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.