KR19990072526A - 이중벽반응쳄버유리제품 - Google Patents

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Abstract

이중 벽 반응 쳄버 조립체는 원통형의 내부 벽 및 그의 축으로 평행한 원통형 외부 벽을 구성하고, 상기 내부 벽은 외부 표면 위의 두꺼운 환형 접합 플랜지를 가진 환형 접합부를 가진다. 상기 외부 벽의 하단부는 두꺼운 환형 접합의 외부 표면에 융합된다. 상기 내부 벽의 외부 표면 및 환형 접합 플랜지의 내부 표면은 아래로 향하여 경사진 배수 포트의 경사진 환형 배수 채널을 형성한다. 이중 벽 반응 쳄버 조립체는 원통형 내부 벽 및 그의 축으로 평행한 원통형 외부 벽을 가진다. 상기는 내부 벽에 융합된 하부 단을 가진다. 가스 분배 관은 가스 유입 단 및 가스 분배 단을 구비하고, 상기 가스 분배 단은 접합부를 구비한 분할 T자 관을 구성한다. 상기 T자 관의 하나의 다리는 내부 벽 둘레 접합부에서 제 1 출구 종단부까지 제 1 방향내로 연장하고 상기 T자 관의 다른 다리는 반대 방향에서 내부 벽 둘레 제 2 방향내 접합부로부터 제 1 방향 및 제 2 출구 종단부까지 연장한다. 종단부로부터 각각 외부 종단부까지 아래로 경사진 상기 T자 관의 각 다리의 경사로 가스 분배기내 액체는 조립체로부터 완전히 배수될 것이다.

Description

이중 벽 반응 쳄버 유리제품{DOUBLE WALL REACTION CHAMBER GLASSWARE}
본 발명은 반도체 웨이퍼의 열처리 및 화학 증기 증착용으로 사용된 노에 대한 개선된 이중 벽 유리제품에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 선반 구조 및 열 응력 형태의 감소된 위험을 가진 두개의 실린더 벽의 결합을 허용하고 혼합물의 완전한 배수, 청결함 및 조립체로부터 액체를 씻어내는 것을 허용하는 구조를 가진 일원(一元)의 이중 벽 유리 제품에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 코팅은 화학 증기로부터 증착, 산화 및 다른 공정에 의해 제조되고 합병 회로 및 다른 전자 제품을 형성하기 위해 산화 열처리에 의해 개조되었다. 이러한 공정은 노의 반응 쳄버내에서 수행되었고, 상기 반응 쳄버들은 고 순도 석영과 같은 하나 이상의 불활성 재료의 벽에 의해 형성되었다. 상기 웨이퍼들은 반도체 제조 공정의 조작시 노의 반응 쳄버내에 설치되었다.
상기 노의 형태 중 하나는 미국 특허 5,320,680 및 5,618,351호에서 나타낸 것과 같은 수직 반응기이고, 상기의 전체 목록들은 참고로써 일체화되었다. 간결한 설명을 목적으로, 상기 응용에서 기술된 유리 제품의 실시예는 비록 본 발명의 많은 양상이 수평 및 다른 형태의 반응로에서 유용할지 모르지만 수직 반응기를 위한 것이고, 본 발명은 수직 노 유리 제품에 제한을 두지 않았다. 상기 응용에서, 유리 제품의 구성요소 및 조립체에 관계한 상부 및 하부 방향에서 만들어진 참고들은 수직 반응기에서 유리 제품의 궁극적인 작동 방향에서 수직 축을 따라 조립된 상기 유리 제품 구성요소를 참고로 만들었고, 두 개의 수직 및 수평 방향을 포함한 임의의 방향에서 유리 제품 구조에 적용되기 위한 의도였다.
수직로에서, 상기 반응 쳄버는 노에서 발생하는 반응을 위해 요구된 상승된 온도에서 합병 구조를 유지하는 한 쌍의 동신원 관 또는 석영 실린더 또는 다른 불활성 재료에 의해 한정될 수 있다.
이중 벽 구조의 종래 기술 장치는 심각한 청결 문제를 나타내었다. 내부 유리 제품은 코팅 재료로부터 위험한 오염물 사용시, 특히 코팅 조각들이 가열 및 냉각 사이클을 되풀이할 때 화학 증착으로 코팅된다. 상기는 종종 내부 유리 제품을 깨끗이 하고 상기의 것들을 제거할 필요가 있다. 상기 코팅들은 화학 청결 욕조에서 그들을 용해하므로써 제거되고, 화학 용액들이 제거된 후, 잔류 화학 물질은 탈 이온화된 물에서 씻김에 의해 제거되었다. 화학 용액의 완전한 제거 및 헹굼 물은 상기 유리 제품이 재 사용되기전 요구된다. 이중 벽 구조와 함께, 화학 욕조 처리 및 헹굼에 따른, 특히 벽 연결부에서 잔류 액체의 제거는 어렵다. 가열된 오븐 또는 대기에서 장 기간 동안 건조는 종래 기술 장치에서 요구되었다. 추가로, 저온 사이클 조작시 상기 유리 제품 관를 형성하는 임의의 응축액은 유리 제품의 연속적인 사용을 손상시키는 것과 연속적으로 조작하는 동안 웨이퍼 오염의 위협을 방지한다. 석영관의 일원의 이중 벽 구조 제품은 조립체 및 제품의 조작으로부터 일어나는 구조 문제 때문에 제하되어진다. 액체 배수를 위한 제공에 있어서, 종래 기술 장치들은 비 동심원, 경사진 배수 표면을 제공하기 위한 벗어난 축 구조로 제조되었다. 상기 구조는 수동의 조립체 및 고정 구성물들의 용접, 평탄하지 않은 벽 두께를 가진 유연한 평탄하지 않은 용접을 필요로 한다. 상기 관점에서 구성요소들은 결합되고, 다른 냉각 및 수축은 냉각시 및 접합에서 응력이 소둔에 의해 경감되기 전 응력 파괴를 일으킨다. 가스 분포 관들은 휨 저항에 대한 구조 일체 또는 상승된 노 온도에서 중력으로 인한 다른 구조 뒤틀림을 가지지 않고, 쳄버내 다양한 위치로부터 반응 가스 주입을 위한 다양한 관의 사용을 필요로 하기 때문에 일반적으로 수직으로 배열되어 있다.
상기 형상의 경사진 배수 표면 유리 제품은 제품의 구조 보전을 크게 감소하고 및 열 처리장치의 가열 및 냉각 사이클에서 파괴를 암시하는 불규칙한 결합부 및 평탄하지 않은 용접의 모든 부분에 있어서 수동 용접이 요구된다. 벗어난 축 구성물들의 선반 용접은 선반 결합 작업이 일정한 직경을 요구하기 때문에 그들의 구조, 선반 위에서 결합되는 구성물들을 위한 동축 구조에 있어서는 불 가능하다.
본 발명의 하나의 목적은 액체가 쉽게 배수될 수 있는 이중 벽 반응 쳄버 구조를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 목적은 그의 제조시 응력 파괴의 감소된 위험을 가지고 제조될 수 있는 이중 벽 석영 반응 쳄버를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 추가적인 목적은 노 온도가 상승될 때 구조적으로 안정한 분할 가스 분배기를 가진 이중 벽 석영 반응 쳄버를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 또 하나의 추가적인 목적은 충분한 배수 채널을 충분히 일체화하는 동축, 대칭적인 유리 제품 구조를 제공하는 것으로, 상기 구조는 회전 조립체를 허용하고 회전 선반 위에서 용접하고, 유연한 평탄한 벽 두께에 따른 용접 및 열 반응기에서 리사이클링 가열 및 냉각 분위기에서 제품의 수명과 완전함을 크게 증가한다.
요약하면, 본 발명의 이중 벽 반도체 반응 쳄버 유리 제품 조립체는 축으로 평행한 원통형 내부 벽 및 원통형 외부 벽을 구성하고, 상기 내부 벽은 외부 표면에 의해 한정된 두꺼운 환형 접합 플랜지를 가진 환형 접합을 이루고, 상기 플랜지 부는 바람직하게 내부 벽의 두께보다 두껍다. 상기 외부벽의 하단부는 두꺼운 환형 접합의 외부 표면에 융합된다. 상기 내부 벽은 마주하는 제 1 및 제 2 측부를 구비하고, 상기 내부 벽의 외부 표면 및 환형 접합 플랜지의 내부 표면은 원통형 벽의 제 1 측부 상의 가장 높은 위치로부터 원통형 벽의 제 2 측상의 가장 낮은 위치까지 경사진 환형 배수 채널을 형성한다.
상기 조립체에서, 내부 벽은 아래로 향하는 경사진 배수 포트, 상기 배수 채널의 가장 하부와 연통하는 상부 단을 구비할 수 있고, 이것에 의해 배수 채널의 액체는 채널로부터 완전히 배수될 것이다.
또한 상기 조립체는 원통형 내부 벽 및 내부 벽에 융합하여 연결된 하부 단을 구비하고 그의 축으로 평행한 원통형 외부 벽, 가스 입구 단부 및 가스 분배기 단을 구비한 가스 분배 관을 구성하고, 상기 가스 분배 단은 접합부를 구비한 분리 T자 관을 구성한다. 상기 T자 관의 하나의 다리는 내부 벽 둘레 접합부에서 제 1 출구 종단부까지 제 1 방향내에서 연장하고 상기 T자 관의 다른 다리는 반대 방향에서 내부 벽 둘레 제 2 방향내 접합부로부터 제 1 방향 및 제 2 출구 종단부까지 연장하고, 각각 외부 종단부의 접합부로부터 아래로 경사진 상기 T자 관의 각 다리의 경사로 가스 분배기내 액체는 조립체로부터 완전히 배수될 것이다.
도 1은 본 발명의 이중 벽 반응 쳄버 구조의 상 단면도이다.
도 2는 선 A-A를 따른 도 1의 이중 벽 반응 쳄버 구조의 단면도이다.
도 3은 내부 관을 형성하기 위한 배관으로 그의 융합에 선행하는 접합부의 단면도로써, 배수 채널의 형상을 나타내고 있다.
도 4는 배수 포트의 형상을 나타낸 도 3에서 나타낸 접합부의 배수 포트부에 대한 확대 단면도이다.
도 5는 선 E-E를 따르고, 도 2의 이중 벽 반응 쳄버 구조의 단면도로써, 분할 가스 분배기를 나타낸다.
도 6은 선 H-H를 따라, 도 5에서 나타낸 상기 분할 가스 분배기의 단면도이다.
도 7은 도 2에서 나타낸 상기 가스 분배기 지지부(24)의 확대 단면도이다.
도 8은 도 2에서 나타낸 온도 센서 우물용 지지부(18)의 단면도이다.
본 발명의 이중 벽 반응 쳄버 유리 제품은 구축하는 동안 냉각에 의해 발생된 응력 파괴로부터 낮은 제품 손실을 가지고, 및 세척하는 동안 상기 시스템으로부터 빠르고 즉시 액체의 배수를 허가하는 구조를 가진 개선된 대칭적, 동심축 및 더욱 신뢰할 수 있는 조립체를 인가하는 바람직한 원통형 구조를 구비한다. 상기에서 기술된 구조는 석영이지만, 상기 구조는 실리콘 카바이드 등과 같은 반도체 장비 구조에서 사용을 위해 요구된 순도를 가진 열적으로 안정한 재료가 쉽게 적용될 수 있다.
도 1은 본 발명의 이중 벽 반응 쳄버 구조의 상 단면도이고, 도 2는 선 A-A를 따른 도 1의 이중 벽 반응 쳄버 구조의 단면도이다. 이중 벽 반응 쳄버 구조는 환형 지지 플랜지(4) 및 그의 하부 단에서 가스 배출 포트(6)을 가진 내부 벽(2)을 구성한다. 외부 벽(8)은 이중 벽 접합부(10)의 그의 하부 단부에서 결합되고 그의 상부 단부에서 단부 폐쇄(12)를 가진다. 상기 내부 벽(2) 및 외부 벽(8)은 각각 균일한 직경을 가지고 선반 결합 가능한 바람직하게 일정한 직경 실린더이다.
외부 벽(8)에서 동일 평면상 및 바람직하게 평평하게 일정한 간격을 이룬 움푹 들어 간 곳 및 오목부(14)의 배열이 내부 벽(2)의 외부 표면을 접촉하여 연장하고 두개의 벽 사이 정확한 거리를 유지하고 및 벤딩 응력으로부터 벽 접합 부(10)를 보호하는 안정한 스페이스 바로써 작용한다. 상기 내부 벽 및 외부 벽은 바람직하게 동축 및 대칭적이다.
온도 센서 우물(well)(16)은 단부 폐쇄(12)를 통하여 연장하고 그에게 융합된다. 상기는 도 8에서 더욱 상세히 나타낸 지지부(18)을 가진 벽 구조의 중심 축에 평행한 방향에서 내부 벽 부근에 위치된다.
또한 가스 분배 도관(20)은 상기 단부 폐쇄(12)를 통하여 연장하고 그에게 융합된다. 상기는 내부 벽(2)과 외부 벽(8)사이에 위치된다. 상기 가스 분배기는 도 5에서 더욱 상세히 나타낸 아래로 향하여 경사진 단부(22)와 함께 분할을 가진다. 상기 분할의 중심에서, 상기 분배기는 도 7에서 더욱 상세히 나타낸 중심 지지부 (24)를 가진다.
상기 온도 센서 우물(16)의 외부 표면 및 가스 분배 도관(20)은 바람직하게 그의 봉합 접합부를 형성하는 것을 관통하여 통과하는 단부 폐쇄 벽에 융합된다.
도 3은 내부 관들 또는 내부 관을 형성하는 실린더(40, 42)와 함께 그의 융합을 선행하는 벽 접합 부(10)의 단면도이다. 상기는 배수 채널(30)의 형상을 나타낸다. 도 4는 경사진 형상의 배수 포트(38)를 포함한 도 3에 도시된 접합 부(10)의 배수 포트 부에 대한 확대 단면도이다.
상기 접합부는 정확히 기계 가공된 환형이고, 일정한 직경 및 환형 접합 플랜지(28)를 가진 석영으로 만들어지거나 또는 그의 외부 표면으로 한정된 원형 접합 링(26)이다. 환형은, 아래로 향하여 경사진 배수 채널은 내부 플랜지 벽(32) 및 외부 일 벽(34)에 의해 형성되고, 배수 포트(38) 부근 가장 높은 높이로부터 가장 낮은 높이까지 상기 링의 양측 둘레로 연장한다. 상기 배수 포트(38)는 배수 채널 최 하단과 연통하는 그의 상부 단(39)으로부터 벽(26)의 반대 측상 하부까지 아래로 향하여 경사진다.
도 2를 참고로, 상기 내부 벽(2)은 상기 접합 링(26)이 일원의 구조를 형성하기 위한 종래 선반 접합 절차를 표준으로 접합(41 및 43)을 따라 선반 위에서 융합된 상부(40)와 하부(42)로부터 형성된다. 상기의 절차에서, 접합되기 위한 부분이 설정되고 표면이 접합될 때까지 동축 방향내로 모으는 것은 전 또는 선반에 대한 그들의 보통 축에 관한 상기 부품들이 회전하는 동안 충돌한다. 가열은 접합의 가장자리에 적용되고 보통 인접한 표면 내에서 융합된다. 상기 벽 구조가 일정하고 균일한 직경을 가진 형상을 구비할 때, 그들은 조립되는 동안 선반 위에서 회전되고 융합되어, 조립 후 감지되지 않은 일정한 벽 두께의 균일한 용접을 만든다. 상기 접합 형태는 반응기 내에서 가열 사이클이 진행되는 동안 원래의 실린더 벽으로 동등하게 합병된다.
상기 외부 벽 실린더(8)의 하부 가장자리(44)는 일원의 접합을 형성하기 위해 기술된 표준 절차에 의해 선반 위에서 회전하는 동안 접합 플랜지(28)의 외부 표면에 융합된다.
상기 접합 플랜지(28)는 큰 부피 또는 열 저장기를 제공하기 위해 증가된 두께를 가지고, 실린더가 융합에 의해 결합된 후 즉시 온도 변화의 속도를 감소시킨다. 상기는 제품을 파괴하는 응력 파괴의 큰 위험 감소와 함께 소둔 오븐의 일원의 구조의 이동을 허가한다. 또한 증가된 두께는 결합을 강화하고, 한 위치에서 다른 위치까지 이동 또는 그의 배치에서 또는 노로부터 제거 및 반응기에서 가열 사이클이 진행되는 동안 일원의 조립체의 파괴를 감소한다.
도 5는 분할 가스 분배기를 나타내기 위해 선 E-E를 따르고, 도 2의 이중 벽 반응 쳄버 구조의 단면도이다. 상기 가스 분배기(20)의 하부 단(44)은 T 또는 T자 관형으로 분할되고, T자 관의 하나의 다리(46)는 그의 출구 종결부(48) 내부 벽의 표면 둘레 한 방향으로 연장하고, T자 관의 다른 다리(50)는 그의 출구 종결부(52) 내부 벽의 표면 둘레 반대 방향으로 연장한다. 도 2에 나타낸 것처럼, T자 관의 다리(46,50)는 그들의 하부에서 각각의 종결부(48,52)의 그들의 가장 높은 위치(54)의 T의 접합으로부터 아래로 향하여 경사지고, 임의의 액체는 상기 관을 통해 완전히 배수될 것이다.
도 6은 선 H-H를 따라, 도 5에서 나타낸 상기 분할 가스 분배기의 단면도이다. 조업 온도가 상승되는 동안 슬럼프 방지 및 T자 관의 다리들을 지지하기 위해, 각각의 종결부(48,52) 부근 다리 지지부(56)는 외부 벽(8)의 내부 표면에 융합된다.
도 7은 도 2에서 나타낸 상기 분할 가스 분배기 지지부(24)의 확대 단면도이다. 상기 T자 관에서 상기 분배 도관(20)의 하단부(44)에 융합되는 돌출부(58)는 일정한 장소에서 상기 가스 분배 관(20)을 고정 또는 유지하고 및 상기 관의 축 지지부를 제공하기 위해 외부 벽(8)에 융합되는 지지부(62)상의 수용기 내부에 맞춰진다.
도 8은 도 2에서 나타낸 온도 센서 우물 지지부(18)의 단면도이다. 상기 온도 센서 우물(16)의 하단에 융합된 돌출부(64)는 일정한 장소에서 상기 우물(16)을 고정 또는 유지하고 및 상기 우물의 축 지지부를 제공하기 위해 외부 벽(8)에 융합되는 지지부(68)상의 수용기 내부에 맞춰진다.
본 발명의 이중 벽 반응 쳄버 조립체는 증가된 강도를 제공하기 위해 벽 접합을 위한 두꺼운 접합 플랜지와 그것이 형성된 후 접합부의 냉각 속도를 감소하고 소둔 오븐의 새로운 용접된 조립체의 이동시 상승된 온도를 유지하기 위한 열 저장기를 제공한다.
조립체로부터 깨끗한 용액 및 세정 액의 배수는 내부 및 외부 벽들이 접합되는 배수 포트(38) 및 T자 관의 접합부로부터 각 다리의 출구 종결부까지 아래로 향하여 경사진 다리들(46 및 50)을 가진 T자 관 형상인 가스 분배기의 연장한 경사진 배수 채널(30)의 준비에 의해 실행되었다.
상기 접합의 두 개의 벽 시스템 및 환형 형상의 동축 구조에 있어서, 상기 접합 링은 균일한 벽 두께를 가진 이은데가 없는 결합을 만드는 회전하는 선반 위의 내부 벽에 조립되고 용접될 수 있다. 유사한 방법에 있어서, 외부 벽 실린더는 회전하는 선반 위의 접합 플랜지에 조립되고 용접될 수 있고, 두 개의 벽을 결합하는 고도의 균일한 용접을 이룰 수 있다. 충분한 배수 채널들이 충분히 일체화하는 상기 동축, 대칭적인 유리제품 구조에 있어서, 상기 구조는 조립을 인가하고 선반 위에서 용접하고, 상기 용접을 따라 평탄하고 균일한 벽 두께를 만들고 열 반응기 내에서 가열 및 냉각 사이클 분위기에서 제품의 수명 및 완전함을 크게 증가한다.
상기는 본 발명의 수 많은 변경과 변화가 상기 기술의 관점에서 가능한 기술에서 기술된 사람에게 쉽게 나타난다. 상기는 첨부된 청구항의 범위 내에서 이해될 것이며, 본 발명은 여기에서 특별하게 기술된 것 보다 다른 방법으로 실행될 수 있다.
본 발명의 이중 벽 반응 쳄버 유리 제품은 구축하는 동안 냉각에 의해 발생된 응력 파괴로부터 낮은 제품 손실을 가지고, 및 세척하는 동안 상기 시스템으로부터 빠르고 즉시 액체의 배수를 허가하는 구조를 가진 개선된 대칭적, 동심축 및 더욱 신뢰할 수 있는 조립체를 인가하는 바람직한 원통형 구조를 구비한다

Claims (7)

  1. 이중 벽 반도체 로 반응 쳄버 유리 제품 조립체는 원통형의 내부 벽 및 그의 축으로 평행한 원통형 외부 벽을 구성하고, 상기 내부 벽은 외부 표면 위의 원통형 내부 벽보다 두꺼운 환형 접합 플랜지 부를 가진 환형 접합부를 가지며, 상기 외부 벽의 하단부는 두꺼운 환형 접합 플랜지의 외부 표면에 융합되는 것을 특징으로 하는 이중 벽 반응 쳄버 조립체.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 내부 벽은 반대하는 제 1 및 제 2 측부를 구비하고, 상기 내부 벽의 외부 표면 및 환형 접합 플랜지의 내부 표면은 원통형 벽의 제 1 측부 상의 가장 높은 위치로부터 원통형 벽의 제 2 측상의 가장 낮은 위치까지 경사진 환형 배수 채널을 형성하는 것을 특징으로 하는 이중 벽 반응 쳄버 조립체.
  3. 제 2 항에 있어서, 내부 벽은 아래로 향하는 경사진 배수 포트, 상기 배수 채널의 가장 하부와 연통하는 상부 단을 구비할 수 있고, 이것에 의해 배수 채널의 액체는 채널로부터 완전히 배수되는 것을 특징으로 하는 이중 벽 반응 쳄버 조립체.
  4. 이중 벽 반도체 로 반응 쳄버 유리 제품 조립체는 원통형 내부 벽 및 내부 벽에 융합하여 연결된 하부 단을 구비하고 그의 축으로 평행한 원통형 외부 벽, 가스 입구 단부 및 가스 분배 단부를 구비한 가스 분배 관을 구성하고, 상기 가스 분배기 단부는 접합부를 구비한 분리 T자 관을 구성한다. 상기 T자 관의 하나의 다리는 내부 벽 둘레 접합부에서 제 1 출구 종단부까지 제 1 방향내에서 연장하고 상기 T자 관의 다른 다리는 반대 방향에서 내부 벽 둘레 제 2 방향내 접합부로부터 제 1 방향 및 제 2 출구 종단부까지 연장하고, 각각 외부 종단부의 접합부로부터 아래로 경사진 상기 T자 관의 각 다리의 경사로 가스 분배기내 액체는 조립체로부터 완전히 배수되는 것을 특징으로 하는 이중 벽 반응 쳄버 유리제품 조립체.
  5. 제 4 항에 있어서, 원통형 내부 벽 및 그의 축으로 평행한 원통형 외부 벽을 구성하는 것으로, 상기 내부 벽은 그의 외부 표면상의 원통형 내부 벽보다 두꺼운 환형 접합을 가진 환형 접합부를 구비하고, 상기 외부 벽의 하단에는 두꺼운 환형 플랜지의 외부 표면에 융합되는 것을 특징으로 하는 이중 벽 반응 쳄버 유리제품 조립체.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 내부 벽은 반대하는 제 1 및 제 2 측부를 구비하고, 상기 내부 벽의 외부 표면 및 상기 환형 접합 플랜지의 내부 표면은 원통형 벽의 제 1 측상의 가장 높은 위치로부터 원통형 벽의 제 2 측 상의 가장 낮은 위치까지 경사진 환형 배수 채널을 형성하는 것을 특징으로 하는 이중 벽 반응 쳄버 유리제품 조립체.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 내부 벽은 아래로 향하여 경사진 배수 포트를 구비하고, 그의 상단은 상기 배수 채널의 가장 낮은 위치와 연통하는 것에 의해 상기 배수 채널의 액체는 채널로부터 완전히 배수되는 것을 특징으로 하는 이중 벽 반응 쳄버 유리제품 조립체.
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