DE3544812A1 - Doppelwand-quarzglasrohr fuer die durchfuehrung halbleitertechnologischer prozesse - Google Patents
Doppelwand-quarzglasrohr fuer die durchfuehrung halbleitertechnologischer prozesseInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Doppelwand-Quarzglasrohr für die
Durchführung halbleitertechnologischer Prozesse mit einem
Innenrohr und mit einem koaxial mit Abstand zum Innenrohr,
einen Ringraum bildend, angeordneten Außenrohr, die an ihrem
einen, einander zugeordneten Ende jeweils ein Abschlußteil
aufweisen, wobei an dem Abschlußteil des Innenrohres ein
Prozeßgas-Zuführungsstutzen angebracht ist, der durch das
Abschlußteil des Außenrohres gedichtet hindurchgeführt ist,
wobei das Außenrohr an seinem anderen Ende mit der Außenseite
des Innenrohres dicht verbunden und mit je einem Stutzen
an jedem Ende zur Zu- bzw. Abfuhr eines Spülgases versehen
ist.
Auf solche Doppelwand-Quarzglasrohre wird in den Aufsätzen
"Furnace Contamination and its Remedies", Paul F. Schmidt,
Solid State Technology/June 1983, Seite 147 ff. und "Contami
nation Control Using HCl Gas; Effects on Silica Glas and
Minority Carrier Lifetime", R. Krishnamurthy, B. E. Ramachandran,
K. Kaliyamurthy, Solid State Technology/August 1985, Seite
213 ff. Bezug genommen.
Zur Abscheidung von Silizium sowie beim Schmelzen und Dotieren
von Halbleiterkörpern in einem Prozeßrohr wird eine hohe
Reinheit der Atmosphäre gefordert. Verunreinigungen, insbesondere
durch bestimmte Metalle, aber auch durch Phosphor, sollen
nach Möglichkeit weitgehendst vermieden werden. Kritische
Verunreinigungen sind vor allem auch die Alkalien, die Elemente
der III/V Gruppe des Periodischen Systems der Elemente allgemein
sowie Kupfer und Schwermetalle. Als Prozeßrohre werden Rohre
aus Quarzglas eingesetzt, die sich besonders gut aufgrund
ihrer hohen Reinheit und Korrosionsbeständigkeit eignen.
Bei den Heißprozessen der Halbleitertechnik ist von den Alkali
metallen besonders das stets in gewissem Umfange vorhandene
Natrium unerwünscht. Um MOS-Bauelemente (Metalloxide-semiconductor)
mit guten elektrischen Eigenschaften zu erhalten, ist es
bekannt, in die Außenfläche der Quarzglas-Prozeßrohre Aluminium
ionen einzubauen, die eine starke Getterwirkung auf einwertige
Metallionen ausüben, die dadurch ihre Eigenbeweglichkeit
verlieren und sich nur noch mit einer sehr geringen Diffusions
rate bewegen. Solche Schichten stellen eine Diffusionssperre
auch gegen Natrium dar. Weiterhin wird versucht, die Sauberkeit
der Heizquellen, die eine Ursache für Verunreinigungen sind,
zu erhöhen.
Da an die Qualität der in diesen Quarzglas-Prozeßrohren behandel
ten Halbleiterscheiben immer höhere Anforderungen gestellt
werden, ist man dazu übergegangen, doppelwandige Diffusionsrohre
aus Quarzglas einzusetzen, wobei in dem Zwischenraum zwischen
den beiden Quarzrohren während der Behandlung mit einem Spülgas
gespült wird, wodurch die durch die Wandung des äußeren Rohres
hindurchdiffundierenden Ionen gebunden und abtransportiert
werden. Bei den bekannten, oben erwähnten doppelwandigen
Diffusionrohren ist eine erhebliche Ausfallquote zu beobachten,
die sich in Form von Brüchen, Rissen und Abreißen der Zu
und Abführstutzen, insbesondere der Stutzen für die Zuführung
des Prozeßgases in das Innenrohr, äußern, und zwar infolge
der unterschiedlichen Ausdehnungen des Innenrohres und des
Außenrohres.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung
die Aufgabe zugrunde, ein Doppelwand-Quarzglasrohr für die
Durchführung von halbleiter-technologischen Prozessen zu
schaffen, bei dem Beschädigungen, insbesondere durch in den
Quarzglasrohren auftretende Spannungen bei der Wärmebehandlung
im Ofen, vermieden werden.
Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß
das Innenrohr einen Innendurchmesser von mindestens 150 mm
besitzt, daß mindestens eines der beiden Abschlußteile im
wesentlichen eben ausgebildet ist, daß die Achse des Prozeß
gas-Zuführungsstutzens mit der Verlängerung der Achse des
Innenrohres zusammenfällt und mindestens über seine Länge
zwischen den beiden ebenen Abschlußteilen einen Innendurchmesser
aufweist, der 20% bis 70% des Innendurchmessers des Innen
rohres beträgt, und daß das Außenrohr einerseits mit dem
Prozeßgas-Zuführungsstutzen und andererseits mit der Außenseite
des Innenrohres gasdicht verschmolzen ist.
In bevorzugter Weise ist das Abschlußteil des Außenrohres
eben ausgebildet ist. Besonders bewährt haben sich Doppel
wand-Quarzglasrohre, bei denen beide Abschlußteile im wesent
lichen eben ausgebildet sind.
Durch die erfindungsgemäße Ausbildung des Doppelwand-Quarz
glasrohres werden Längenänderungen zwischen dem Innen- und
dem Außenrohr ausgeglichen. Bei einer solchen Längenänderung
tritt eine Verschiebung der Abschlußteile, die über den Prozeß
gas-Zuführungsstutzen in ihrem Mittelbereich miteinander
in Verbindung stehen, auf. Mit einer solchen Ausbildung des
Doppelwand-Quarzglasrohres ist es möglich, das Außenrohr
einerseits mit dem Prozeßgas-Zuführungsstutzen und andererseits
mit der Außenseite des Innenrohres gasdicht zu verschmelzen,
so daß ein abgeschlossener Raum für das Spülgas zwischen
Innen- und Außenrohr erhalten wird.
Um eine ausreichende Nachgiebigkeit der Abschlußteile zu
gewährleisten, kann die Wandstärke dieser Abschlußteile
geringer gewählt werden als die Wandstärke der betreffenden
Rohrwand; ausreichend ist, bei einem Doppelwand-Quarzglasrohr
mit einem Innendurchmesser des Innenrohres von 150 mm eine
Wandstärke von etwa 3 mm. Durch die Anordnung des Prozeß
gas-Zuführungsstutzens in der verlängerten Achse des Innenrohres
mit einem Durchmesser des Prozeßgaszuführungsstutzens im
Bereich von 20% bis 70% des Innendurchmessers des Innenrohres,
vorzugsweise im Bereich von 35%, wird eine ausreichende
Stabilität und zentrale Verbindung zwischen den beiden Abschluß
teilen, durch die die Längenausdehnung kompensiert wird,
erreicht. Außerdem wird mit einem solchen in seinem Durchmesser
ausreichend groß dimensionierten Zuführungsstutzen eine gute
Zentrierungshilfe zwischen Innen- und Außenrohr beim Zusammenbau
der Anordnung erreicht. Bevorzugt werden als Abschlußteile
ebene Scheiben eingesetzt, die an das bevorzugt in Form von
Zylindern ausgebildete Innen- bzw. Außenrohr angeschmolzen
werden. Um eine gute Verteilung des Spülgases eingangsseitig
in den zwischen dem Innen- und dem Außenrohr gebildeten Spülgas
raum zu gewährleisten, sind die beiden Abschlußteile in axialer
Richtung mit Abstand zueinander angeordnet, wobei der Abstand
ein Vielfaches des Abstandes zwischen den einander zugekehrten
Flächen der Abschlußteile des Innen- und Außenrohres beträgt;
bei einem Innendurchmesser des Innenrohres von mindestens
150 mm hat sich ein Abstand zwischen den einander zugekehrten
Flächen der Abschlußteile von 15 mm gut bewährt. Um Spannungs
spitzen an dem Übergang zwischen dem/den Abschlußteilen und
der jeweils angrenzenden Rohrwand zu vermeiden, sind die
Übergänge abgerundet. Der Radius dieser Abrundung sollte
im Bereich von 15 mm liegen.
Bevorzugt werden die Durchmesser des Innen- und des Außenrohres
bzw. deren Wandstärke so gewählt, daß der Abstand zwischen
den einander zugekehrten Oberflächen des Innen- und des Außen
rohres 2 bis 5 mm beträgt. Hierdurch wird ein ausreichender
Ringraum für das Spülgas erhalten. Bevorzugt betragen die
Wandstärken von Innen- und Außenrohr je 3 bis 8 mm. Insbesondere
für ein in horizontaler Anordnung betriebenes Doppelwand-Quarz
glasrohr hat sich eine gegenseitige Abstützung zwischen Innen
und Außenrohr im Ringraum, bevorzugt im mittleren Bereich
bezogen auf die axiale Erstreckung der Rohre, erwiesen. Hierfür
können an der Außenseite des Innenrohres angeschmolzene kurze
Stege dienen oder periodische Eindrückungen in das Außenrohr.
Hierdurch wird eine zusätzliche Versteifung der beiden Rohre
gegeneinander erreicht. Eine solche Abstützung kann auch
dadurch erreicht werden, daß der Ringraum mit einem Granulat
aus Quarzglas gefüllt ist.
Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich
aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiels anhand der schematischen Fig. 1, die ein
Doppelwand-Quarzglasrohr für die Durchführung von halbleiter
technologischen Prozessen zeigt.
Das Doppelwand-Quarzglasrohr weist ein Innenrohr 1 und ein
Außenrohr 2 auf, die in diesem Ausführungsbeispiel langgestreckte
Zylinder sind. Innenrohr 1 und Außenrohr 2 sind an ihrem
einen, in der Zeichnung oberen Ende mit einem Abschlußteil
3, 4, bei dem es sich jeweils um eine ebene Platte handelt,
verschlossen. Der Außendurchmesser des Innenrohres 1 und
der Innendurchmesser des Außenrohres 2 sind so gewählt, daß
zwischen der Außenwandung des Innenrohres 1 und der Innenwandung
des Außenrohres 2 ein Ringraum 5, durch das ein Spülgas strömt,
gebildet ist. In der gezeigten Ausführungsform beträgt der
Abstand, durch die Pfeile 6 angedeutet, zwischen den einander
zugekehrten Oberflächen der Wände des Innen- und des Außenrohres 1, 2
5 mm. An dem Abschlußteil 3 des Innenrohres 1 ist ein Prozeß
gas-Zuführungsstutzen 7, dessen Achse mit der Verlängerung
der Achse 8 des Innenrohres 1 zusammenfällt, angeschmolzen.
Der Innendurchmesser dieses Prozeßgas-Zuführungsstutzen
beträgt etwa 35% des Innendurchmessers des Innenrohres 1,
d.h. bei einem Innendurchmesser des Innenrohres von 160 mm,
wie in diesem Ausführungsbeispiel, weist der Prozeßgas-Zuführungs
stutzen 7 einen Innendurchmesser von etwa 56 mm auf. Die
beiden Abschlußteile 3 und 4 sind so voneinander beabstandet,
daß zwischen diesen beiden Teilen ein Verteilungsraum 9 gebildet
ist. Der Abstand dieser beiden Abschlußteile, durch den Pfeil
10 angedeutet, sollte zwischen 10 und 30 mm betragen. Der
Prozeßgas-Zuführungsstutzen 7, der durch das Abschlußteil
4 des Außenrohres 2 hindurchgeführt ist und durch den das
Innenrohr 1 in dem Außenrohr 2 an diesem Ende zentriert wird,
ist mit dem Abschlußteil 4 dichtend verschmolzen. Am anderen
Ende des Doppelwand-Quarzglasrohres ist das Außenrohr 2 an
der Außenwandung des Innenrohres 1 angeschmolzen, durch die
Naht 11 angedeutet, so daß an diesem Ende der Ringraum 5
abgeschlossen ist.
Während über den Anschlußstutzen 12, der außerhalb des Außen
rohres 2 an den Prozeßgas-Zuführungsstutzen 7 angesetzt ist,
das Prozeßgas in das Innenrohr, in dem die zu behandelnden
Halbleiterscheiben angeordnet werden, zugeführt wird, wird
über den Anschlußstutzen 13 Spülgas in den Verteilungsraum
9 zugeführt, das dann in den Ringraum 5 verteilt wird und
über den Ausgangsstutzen 14 am anderen Ende des Außenrohres
2 ausströmt.
Insbesondere durch die Ausbildung der beiden Abschlußteile
3 und 4 als ebene Platten, die in diesem Ausführungsbeispiel
an das Innenrohr 1 bzw. Außenrohr 2 angeschmolzen sind, und
die über den Prozeßgas-Zuführungsstutzen 7 miteinander in
Verbindung stehen, wird eine unterschiedliche Längenausdehnung
(wobei das Außenrohr 2 durch die höhere Temperatur, der es
ausgesetzt wird, eine größere Längenausdehnung als das Innenrohr
1 erfährt) ausgeglichen. Bei einer solchen Ausdehnung wird
das Abschlußteil 4 in Richtung des Pfeiles 15 gewölbt, während
sich das Abschlußteil 3 in entgegengesetzter Richtung, d.h.
in Richtung des Pfeiles 16 wölbt.
Gut bewährt hat es sich, die Übergangsbereiche zwischen den
Abschlußteilen und den zugeordneten Rohren 1, 2 abzurunden,
und zwar bevorzugt mit einem Radius 17 von etwa 15 mm. Für
den horizontalen Betrieb des Doppelwand-Quarzglasrohres können
in dem Ringraum 5 zwischen dem Innenrohr 1 und dem Außenrohr
2 kurze Stege 18, die an der Außenseite des Innenrohres 1
angeschmolzen sind, angeordnet sein oder Eindrückungen 19
in das Außenrohr 2, um hierdurch eine zusätzliche Aussteifung
der Anordnung zu erzielen. Gut bewährt hat es sich auch,
den Ringraum 5 und gegebenenfalls auch den Verteilungsraum
9 mit einem Granulat 20 aus Quarzglas zu füllen, das ebenfalls
die Anordnung aussteift und im horizontalen Betrieb einem
Durchbiegen der Anordnung, die eine Länge bis zu 2 m haben
kann, entgegenwirkt.
In der schematischen Fig. 2 ist ein weiteres Ausführungs
beispiel eines Doppelwand-Quarzglasrohres dargestellt. Gleiche
Teile sind mit den gleichen Bezugszeichen wie in Fig. 1
bezeichnet. Das in Fig. 2 dargestellte Doppelwand-Quarzglasrohr
unterscheidet sich von dem in Fig. 1 dargestellten dadurch,
daß das Abschlußteil 4 des Außenrohres im wesentlichen eben
ausgebildet ist, während das Abschlußteil 3 des Innenrohres,
vom Innenrohr in Richtung auf das Abschlußteil 4 gesehen,
gewölbt ausgebildet ist.
Claims (10)
1. Doppelwand-Quarzglasrohr für die Durchführung halbleiter
technologischer Prozesse mit einem Innenrohr und mit einem
koaxial mit Abstand zum Innenrohr, einen Ringraum bildend,
angeordneten Außenrohr, die an ihrem einen, einander zu
geordneten Ende jeweils ein Abschlußteil aufweisen, wobei
an dem Abschlußteil des Innenrohres ein Prozeßgas-Zuführungs
stutzen angebracht ist, der durch das Abschlußteil des
Außenrohres gedichtet hindurchgeführt ist, und wobei das
Außenrohr an seinem anderen Ende mit der Außenseite des
Innenrohres dicht verbunden und mit je einem Stutzen an
jedem Ende zur Zu- bzw. Abfuhr eines Spülgases versehen
ist, dadurch gekennzeichnet, daß das Innenrohr (1) einen
Innendurchmesser von mindestens 150 mm besitzt, daß wenigstens
eines der beiden Abschlußteile (3, 4) im wesentlichen
eben ausgebildet ist, daß die Achse des Prozeßgas-Zufüh
rungsstutzens mit der Verlängerung der Achse (8) des Innen
rohres (1) zusammenfällt und mindestens über seine Länge
zwischen den beiden Abschlußteilen (3, 4) einen Innen
durchmesser aufweist, der 20% bis 70% des Innendurchmessers
des Innenrohres (1) beträgt, und daß das Außenrohr (2)
einerseits mit dem Prozeßgas-Zuführungsstutzen (7) und
andererseits mit der Außenseite des Innenrohres (1) gasdicht
verschmolzen ist.
2. Doppelwand-Quarzglasrohr nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß das Abschlußteil (4) des Außenrohres (2)
eben ausgebildet ist.
3. Doppelwand-Quarzglasrohr nach den Ansprüchen 1 und 2,
dadurch gekennzeichnet, daß beide Abschlußteile (3, 4)
im wesentlichen eben ausgebildet sind.
4. Doppelwand-Quarzglasrohr nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß das ebene Abschlußteil (3, 4)
eine Scheibe ist, die mit dem Innenrohr (1) bzw. Außenrohr
(2) verschmolzen ist.
5. Doppelwand-Quarzglasrohr nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet, daß der Übergang zwischen dem/den
Abschlußteile(n) (3, 4) und der jeweils angrenzenden Rohrwand
abgerundet ist (sind).
6. Doppelwand-Quarzglasrohr nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Abschlußteil
(3) des Innenrohres (1) und dem Abschlußteil (4) des Außen
rohres (2) ein Verteilungsraum (9) für das Spülgas ge
bildet ist, dessen axiale Länge (10) ein Vielfaches des
Abstandes (6) zwischen den einander zugekehrten Rohrwand-
Flächen des Innen- und Außenrohres (1, 2) beträgt.
7. Doppelwand-Quarzglasrohr nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand (6) zwischen den
einander zugekehrten Oberflächen der Wände des Innen
und des Außenrohres 2 bis 5 mm beträgt.
8. Doppelwand-Quarzglasrohr nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß die Wandstärken des Innen
und Außenrohres (1, 2) je 3 bis 8 mm betragen.
9. Doppelwand-Quarzglasrohr nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß Innen- und Außenrohr (1, 2)
im Ringraum (5) gegeneinander abgestützt sind.
10. Doppelwand-Quarzglasrohr nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß der Ringraum (5) mit einem
Granulat (20) aus Quarzglas gefüllt ist.
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