JPH09508752A - ケミカルバスのシールを保護するための装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 製品が、熱せられた液体化学物質(33)に浸漬することにより処理されるバスは、ケーシング(12)に着座した化学物質の液体容器(14)を有している。加熱要素(34)、断熱材(19)など、ケーシング(12)の内部構成部品が湿ることが、液体容器とケーシング(12)のリム(15)との間のシールにより防止される。他の場合に晒されたシール(36)は、水流の障壁(38)により、バスの外部環境から絶縁される。水流(38)は、シール材料を、腐蝕性の化学物質のしずくや蒸気から保護するとともに、シール(36)の領域の構成部品の熱膨張を減少させる冷却効果をなし、これにより、構造的な応力を減少させる。

Description

【発明の詳細な説明】 ケミカルバスのシールを保護するための装置および方法技術分野 本発明は、製品を製造する間に、或いは、他の工業的な作動の間に、該製品を 熱せられた液体化学物質に浸漬するケミカルバス（chemical baths）に関する。 より詳細には本発明はケミカルバスの構成部品の間の連結のシールに関する。発明の背景 種々の工業製品が、熱せられ、かつ、しばしば腐蝕性の液体に浸漬することに より処理される。たとえば、集積回路のウェハーが、このようにエッチングされ 、かつ、洗浄される。このような製品が処理されるケミカルバスは、典型的には 、耐熱性材料で形成された液体容器を有し、この液体容器は、プラスチックなど の異なる材料で形成されたケーシングに着座している。容器は、ケーシングのリ ムの上に横たわる一体化されたフランジにより支持されている。フランジとケー シングのリムとの間のしっくい状の（マスチックな）シール材料により、断熱材 、加熱要素および熱電対など、ケーシング内の内部部品が、滴り落ちる化学物質 、腐蝕性蒸気或いは湿気により損傷を受けないことが保証される。 この種のケミカルバスのシールは、不適当なほど短い有効寿命しか有さない傾 向がある。他の原因の中で、そのシールが形成された材料は、槽（バス）内に収 容され得る種の液体による化学的な攻撃を受けやすい。処理された製品を（槽） バスから取り出すなど種々の処理活動により、バスの外部表面に、そのような液 体が滴れ落ちる。このような液体から発せられた湿気も材料を腐蝕させ得るよう に、シールの劣化は、シール材料に液体が直接接触する場合に限定されない。シ ール材料への化学的な損傷は、シールの周辺に現れる高温により悪化する。 また、シールの寿命は、ケミカルバスにて生じる熱サイクルによっても制限さ れ得る。シーラントは、典型的には、３つの異なる材料を接着している。すなわ ち、化学物質液体容器の石英など、ケーシングのプラスチックおよびシーラント 自体である。これら材料は、加熱されたときに、異なる量の熱膨張を受ける。こ れは、シーラントと他の材料との接着を破壊し、かつ、シーラント自体を崩壊さ せる傾向をもつ繰り返しの応力を生じる。 本発明は、上述した問題の一つ以上を克服することを指向している。発明の概略 ある態様において、本発明は、熱せられた化学物質に製品を浸漬するためのケ ミカルバスを提供し、槽（バス）は、化学物質を収容し、かつ、製品を受け入れ るための液体容器を有し、かつ該液体容器の少なくとも部分が着座するチャンバ を設けたケーシングを有するタイプのものである。シール材料は、液体容器およ びケーシングの双方に接触し、これらの間に気密なシールを形成し、シール材料 は、漕（バス）の外部環境に開かれた、漕（バス）の部分となっている。少なく とも一つの流導管が、開かれた領域に延び、液流が、導管を介して、そこに伝達 される。シール保護手段が、この開かれた領域での液体を、シール材料を外部環 境から絶縁する液流の本体に形成する。 本発明の他の実施態様においては、熱せられた液体化学物質に物体を浸漬する ためのケミカルバスは、ケーシングの頂部まわりに延びるリム部材を有するケー シングを備えている。リム部材は、上方に延びる内壁、リム部材の頂部の下に位 置する外側に延びる棚、および、内壁から外側にあり、かつ、棚に沿って延びる 、上方に向けられたリップを有している。液体化学物質容器は、ケーシングに着 座し、リム部材の上で、ケーシングまわりに延びる、外側に向けられたフランジ を有している。フランジは、リップから離間し、リップを超えて、水があふれる ことができるようになっている。断熱材が、ケーシングの壁と化学物質液体容器 との間で、ケーシング内に配置されている。シール材料は、リム部材とフランジ との間に延び、かつ、内壁とリップとの間の領域に晒されている。さらに、装置 は、水流を、内壁とリップとの間の領域に送出し、これらの間の水流の本体を形 成する。該水流の本体は、リム部材およびフランジの双方に接触している。 さらに他の実施態様においては、本発明は、異なる材料で形成されたバス構成 部品の間に延び、かつ、熱に晒されるケミカルバスシールを保護する方法であっ て、漕（バス）が、シールを形成する材料に不利な影響を与え得る蒸気を生成し 、かつ、シールが、漕（バス）の外部環境に開いた、漕（バス）上の位置にある ようなケミカルバスのシールを保護する方法が提供される。この方法は、シール 位置に液流を向け、液流の本体を、構成部品の各々と接触するように維持し、外 部環境からシールを絶縁するステップを含んでいる。 本発明は、シーラント材料と漕（バス）の外部環境との間に、水であってもよ い液流の障壁を提供することにより、ケミカルバスのシールの寿命を延ばしてい る。液体の流出は、このような化学物質から発せられ得る熱せられた化学物質の しずくおよび蒸気の腐蝕の影響から、シーラント材料を保護する。流れは、さら に、シールの領域の漕（バス）の構成部品を冷却することにより、シールの耐久 性に寄与し、これにより、熱サイクルの有毒な効果を減少させる。 他の態様およびその利点とともに、好ましい実施例の以下の説明を参照するこ とにより、および、添付図面を参照することにより、本発明をさらに理解するこ とができよう。図面の簡単な説明 第１図は、本発明の第１の実施例を具体化したケミカルバスの部分切り欠き平 面図である。 第２図は、第１図の装置の２−２線に沿った部分切り欠き側面図である。 第３図は、第１図の装置の３−３線に沿った断面図である。 第４図は、先の図面の装置のシール部品および近接する構造を示す側面図であ り、第３図の破線４により円形で囲まれた、第３図の部分の拡大図である。 第５図は、第４図とほぼ同様であるが、シール部品および近接する構造の変更 された形状を示す断面図である。 第６図は、第５図の変更例の部分切り欠き平面図である。 第７図は、以前より存在するケミカルバスに後付けするすることに特に適する 、本発明のさらに他の変更例を示すケミカルバスの平面図である。 第８図は、第７図の８−８線に沿った、ケミカルバスのシート（座）の構造的 な詳細を示す断面図である。 第９図は、第８図の装置の斜視図である。好ましい実施例の詳細な説明 図面の第１図、第２図および第３図をいっしょに参照すると、本発明のこの実 施例のケミカルバス１１は、液体化学物質液体容器１４が着座したチャンバ１３ を形成する外部ハウジングまたはケーシング１２を有している。一体化フランジ １６が、液体容器１４の本体１７から外側に、液体容器の全周まわりに延び、か つ、ケーシング１２の上端まわりに延びるリム部材１５の上に載っている。ケー シング１２内の、液体容器１４の少なくとも部分は、ケーシングよりも小さいサ イズを有し、液体容器と断熱材(thermal insulation)１９が配置されるケーシン グの壁１８との間の間隔を設けている。 液体容器本体１７の基部の中央で、液体容器１４の円筒領域２１は、ケーシン グチャンバ１３の床２２を通って下方に延び、かつ、液体化学物質を供給パイプ ２４を介して、液体容器に送出し、かつ、液体容器から除去し得る垂直通路２３ と、従来の形状の液体化学物質供給部（図示せず）に連結可能なエルボ継手２６ とを有している。液体容器１４の円筒領域２１は、環状シール保持具２８内に収 容されたシール２７により取り囲まれ、保持具２８は、溶接により、チャンバの 床２２の下側に固定されている。また、液体化学物質の供給パイプ２４およびエ ルボ継手２６を連結するねじ込みカプリング２９は、該パイプおよびエルボを、 チャンバの床２２から下方に延びる支持部３１にクランプしている。ケーシング １２には、高くした位置でチャンバの床２２を保持するコーナーの各々で、脚部 ３２が形成され、液体供給部品のための間隔を設けている。 液体容器１４内の液体化学物質３３は、抵抗型のリボン状の電気加熱要素３４ により加熱される。この電気加熱要素３４は、液体容器本体１７の外側の底領域 および下部に抗して配置されている。 液体容器１４は、収容すべき液体に化学的に反応せず、かつ、高温に耐え得る 材料で形成されている。本実施例において、フランジ１６を有する液体容器１４ は、石英プレートを合わせて溶融させることにより、或いは、成形された石英の サブアセンブリを合わせて溶融することにより形成された、石英の一体化された 本体である。ケーシング１２およびケーシングのリム部材１５は、この特定の実 施例においては、ポリプロピレンプラスチックなど、脆くなく、かつ、より容易 に加工された（fabricated）材料で形成される。 ケーシング１２および液体容器１４は、この実施例の正方形形状と異なる構成 を有していても良く、かつ、ケーシングの側壁１８は、この特定の実施例のよう に、フランジ１６の高さの上まで、必ずしも延びている必要はない。本発明の本 実施例は、非循環タイプのケミカルバス１１であるが、本発明は、液体化学物質 ３３が連続的に液体容器１４から排出され、濾過され、次いで、液体容器に戻さ れるような種の循環槽（バス）に、同様に適用できる。このような循環ケミカル バスの例が、先行する米国特許第5,014,737号、第5,054,519号および第5,056,55 2号に開示され、これら先行する特許は、引用によりここに組み込まれている。 さて、第１図および第４図をいっしょに参照すると、液体容器のフランジ１６ とケーシングのリム部材１５との間の連結には、シール３６が設けられ、シール ３６は、この実施例において、しっくい状の（マスチックな）シール材料３７に より形成されている。シール３６は、槽（バス）１１の外部環境にあらわれ得る 反応性化学物質、蒸気或いは湿気と、断熱材１９およびケーシング１２内の他の 構成部品とが接触するのを防止する。本発明は、シール３６と外部環境との間の 位置に液流を向けることにより、および、液流の本体３８と、液体容器のフラン ジ１６およびケーシングのリム部材１５の双方との接触を維持することにより、 シール３６自体を、化学的な攻撃から保護し、シールを外部環境から絶縁してい る。この液体は、水、好ましくは、脱イオンのタイプのものであっても良いが、 所望であれば、他の液体を用いても良い。 この実施例において、液体容器のフランジ１６は、ケーシングのリム部材１５ の上で、液体容器本体１７から外側に延び、次いで、より短い距離だけ下方に延 びている。リム部材１５は、ケーシング内のケーシング壁４２の上縁４１とオー バーラップし、かつ、フランジ１６の下面の高さよりわずかに下の高さに、上方 に延びる内壁領域３９を有している。シール材料３７は、内壁領域３９の上端と フランジ１６の下面との間に、これらの各々と当接するように配置されている。 リム部材１５の棚領域４３は、内壁領域３９から外側に、ケーシングの壁の上縁 ４１の上にすぐに延び、かつ、液体容器のフランジ１６と離間した関係にある。 シール材料３７を外部環境から絶縁する液体の本体３８への液流を形成する手段 は、リム部材１５のリップ領域４４を有し、このリップ領域４４は、壁領域３９ から外側でかつそこから離間した位置で、棚領域４３から上方に延びている。し たがって、壁領域３９、リップ領域４４、および、その間に延びる棚領域４３の 部分は、フランジ１６の下で槽（バス）１１の周囲を連続的に取り囲むように延 びる溝４６を形成する。リップ領域４４の上端は、フランジ１６の下面からわず かに離間し、リップ領域を超えて水が連続的にあふれることができる。リップ領 域４４から外側の棚領域４３の部分は、好ましくは、下方に傾き、水のアウトフ ローが流れ去ること、および、棚領域に堆積された全ての熱せられた液体化学物 質のしずくが流れ去ることを容易にしている。 流導管４７は、水供給部４８から溝４６に、水の本体３８がフランジ１６に接 触するのに十分な速度で水を送出する。この実施例においては、導管４７は分岐 し、リム部材１５の入口継手４９および通路５１を介して、槽（バス）１１の両 側にある二つの位置で、溝４６に水流を送出する。この入口継手４９および通路 ５１の通路は、溝の基部に連通している。二つ以上の離間した位置で水流を送出 することにより、溝４６に沿った連続する位置で水が、より一様な温度となり、 より効果的に、シール３６の領域が冷却される。この実施例において、供給部４ ８から導管４７への水流は、ポンプ５２により与えられ、流速の調整を可能にす るバルブ５３を介して送出される。元から存在する、圧力下の適当な水源が、ケ ミカルバスを使用する多くの設備に適用可能であり、したがって、独立のポンプ ５２は必ずしも必要ではない。 腐蝕性の液体または湿気が、シール材料３７の位置に入るのを防止することに 加えて、水流は、熱により生じる、脆性の石英のフランジ１６の応力、および、 シール材料３７とフランジとリム部材との間の接着の応力を減ずる。流れの冷却 効果が、漕（バス）の作動中に生じる、このような構成部品の熱膨張量を減少す るのにしたがって、応力が減少する。 ケーシングの壁４２の上縁４１とリム部材１５との連結は、三重ビードプラス チック溶接(triple bead plastic weld)によりシールされ、これにより、さらに 、 脆性の石英のフランジ１６の応力が減少する。溶接は、ケーシングの壁４２およ びリム部材１５の双方に係合した第１のビード５４と、ビード５４およびリム部 材の下側に係合した第２のビード５６と、ビード５４およびケーシングの壁に係 合した第３のビード５７とを有している。溶接が形成されたプラスチックは、上 述した構成のときには、幾分可撓性を有し、かつ、溶接は、ケーシングの壁４２ に対する、リム部材１５の少量の揺動(rocking movement)が可能であるという意 味で、ヒンジとして作用する。したがって、リム部材１５は、石英のフランジ１ ６に応力を伝達する代わりに、ケーシングの壁４２の屈曲に順応し得る。 リム部材１５のリップ領域４４は、好ましくは、溝４６の床から、棚領域４３ の下に傾いた上面まで延びる一以上の小さなドレン通路６０により貫通されてい る。これにより、漕（バス）１１が停止したときに、溝４６から水を排出するこ とができる。この通路６０は、該通路を介する流れを漕（バス）１１の作動中に 溝４６に入る流れよりも小さな流れに制限するサイズを有している。 シール近傍の部品の構成は、シール材料３７を漕（バス）の外部環境から絶縁 する目的を依然として認識しつつ、他の形状をとることができる。第５図および 第６図は、漕（バス）のシール領域のある変更例を示している。この中で、リム 部材１５ａのリップ領域４４ａは、第１実施例のようには上方に延びておらず、 かつ、リム部材の外縁に延びる下方に傾いた上面５８を有している。液体容器の フランジ１６ａには、リム部材の内壁領域３９ａとリップ領域４４ａとの間に、 溝４６ａに向かって下方に延びる一体化されたリップ５９が形成されている。フ ランジのリップ５９は、リム部材の壁領域３９ａおよびリップ領域４４ａから離 間し、かつ、溝４６ａの基部から離間している。したがって、水流３８ａは、フ ランジのリップ５９の両側で溝４６ａを満たし、かつ、リム部材１５ａのリップ 領域３９ａの傾いた上面５８にあふれる。これにより、シール材料３７は、シー ル材料と水との直接の接触なしに、外部環境から絶縁される。ここに記載したこ とを除いて、第５図および第６図のケミカルバス１１ａは、第１図ないし第４図 を参照して記載したような本発明の第１実施例と同様である。 ここに記載した本発明の実施例の各々において、このような漕（バス）が配置 された設備の床は、典型的には、こぼれ或いはあふれた液体を収集するための排 出口を有しているので、ケミカルバス周囲の水のアウトフローは、下に存在する 床に滴れ落ちる。必要であれば、リム部材の下にトラフを配置し、アウトフロー を収集して、適当なドレンにこれを送出することができる。 本発明の上述した実施例は、リム部材１５、１５ａ、および、ある場合には、 先のケミカルバスの対応する部品の構成と異なる構成を備えた液体容器のフラン ジ１６ａを有している。いま、第７図、第８図および第９図を参照すると、本発 明を、単に付加的な構成部品を加えることにより、既知の形状のフランジ１６ｂ およびリム部材１５ｂを有する、先のケミカルバス１１ｂに、後付けすることが できる。 先のケミカルバス１１ｂのリム部材１５ｂは、液体容器のフランジ１６ｂに向 かって上方に延びる内壁領域３９ｂと、フランジの下でフランジ自体が延びるの より大きな距離だけ外側に延びる棚領域４３ｂを有し、この棚領域４３ｂはフラ ンジから離間した関係にある。棚領域４３ｂの上面６１は、リム部材１５ｂの外 縁に向かって下方に傾いている。シール材料３７ｂは、フランジの下面とリム部 材１５ｂの上端との間を延び、かつ、これら双方に接着されている。この概略的 なタイプの構成は、先行する米国特許第5,056,552号に開示されている。 本発明のこの実施例にしたがって、シール材料３７ｂを保護するために、管状 導管６２が、リム部材１５ｂの棚領域４３ｂの上面６１に配置され、これは、リ ム部材と平行な関係で、該リム部材に沿って延びている。導管６２は、フランジ １６ｂから外側に離間し、かつ、該導管がフランジ１６ｂの下縁６３の高さ、好 ましくは、わずかに高い高さまで及ぶのに十分な直径を有している。 導管６２は、離間した一連のクランプ６４により、所定の位置に保持されてい る。クランプ６４は、導管の長さに沿ってある間隔で配置され、これらは、それ ぞれ、導管に接触してその上に延びるアーム６６を有している。クランプ６４は 、リム部材のねじ込み通路６８に係合するスクリュー６７により、リム部材１５ ｂに固定されている。導管６２は、好ましくは、プラスチック管材料など、弾性 材料で形成され、クランプ６４は、好ましくは、リム部材１５ｂに抗して導管を 押すように適合され、導管の下で水が漏洩するのを防止している。 この実施例において、導管６２は、二つの独立した長さのチューブ６９により 形成されている。これらは、各々、ケミカルバス１１ｂの周囲の一方の半部のま わりに延びている。シール材料４１は、各々の長さのチューブ６９の端部を閉じ 、かつ、他方の長さのチューブまで延び、シール部材の領域での水の漏洩を防止 している。或いは、導管６２は、漕（バス）１１ｂを集合的に取り囲む、異なる 数の長さのチューブ６９により形成することができ、または、漕（バス）の全周 まわりを延びる、単一の連続ループのチューブにより形成することができる。 供給部４８からの水流は、ポンプ５２、バルブ５３およびホース４７を介して 、導管６２に送出される。導管６２の側壁に沿って離間して配置される孔７２が 、導管とリム部材１５ｂの内壁部分３９ｂとの間にある領域に水を解放する。こ の領域の水の本体３８ｂは強制されて、導管６２により形成される障壁をあふれ るために、フランジ１６ｂの下縁６３と接触するレベルまで高くなる。したがっ て、シール材料３７ｂは、あふれる水の本体により、外部環境から絶縁され、こ れにより、化学的な攻撃から保護され、かつまた、処理中に冷却される。 液体容器のフランジとケーシングのリムとの間の連結をシールする材料を保護 するために、本発明は、特に有用であるが、これは、シールが化学的な攻撃にさ らされるケミカルバスの他の位置でシールを保護するために使用可能である。 例示のために、ある特定の実施例を参照して本発明を説明したが、多くの変更 或いは変動が可能であり、以下の請求の範囲にて定義されるものを除いて、本発 明を限定する意図はない。

【手続補正書】特許法第１８４条の８ 【提出日】１９９５年８月１７日 【補正内容】 請求の範囲 １． 熱せられた化学物質に製品を浸漬するためのケミカルバスにおいて、前記 バスが、前記化学物質を収容するとともに、前記製品を受け入れるための液体容 器と、前記液体容器の少なくとも部分が着座するチャンバを持つケーシングと、 さらに、前記液体容器および前記ケーシングの双方に接触し、これらの間に気密 シールを形成するシール材料とを備え、前記シール材料が、前記バスの外部環境 に開かれた前記バスのある領域となるようなケミカルバスであって、 前記外部環境に開かれた前記領域に延びる少なくとも一つの流導管と、前記導 管を介して、液流を前記領域に伝達する手段と、前記領域での前記液体を、前記 バスの前記領域で前記外部環境にさらされ且つ前記シール材料を前記外部環境か ら絶縁するための液流の本体に形成するための、シール防護手段とを備えたこと を特徴とするケミカルバス。 ２． 前記ケーシングが、前記開かれた領域の基部に沿って水平に延びる表面を 持つリム部材を有し、前記シール保護手段が、前記表面に沿って延びかつ前記シ ール材料から外側に離間した位置で、前記表面から上方に延びる第１の手段を有 し、前記液流伝達手段が、前記液流を、前記シール部材と前記第１の手段との間 の少なくとも一つの位置で、前記開かれた領域に、前記液流を送出して、これら の間に液流の本体を形成し、前記バスが前記開かれた領域を除き、前記シール材 料を取り囲み、前記第１の手段と離間した第２の手段を有し、かつ、前記開かれ た領域で、前記液流の本体と接触する気密部品を有することを特徴とする請求の 範囲第１項に記載のケミカルバス。 17． 熱せられた液体化学物質に物体を浸漬するためのケミカルバスであって、 チャンバと、ケーシングの頂部まわりに延びるリム部材とを有するケーシングで あって、前記リム部材が、上方に延びる内壁、および、前記リム部材の頂部の下 に配置された外側に延びる棚を有し、さらに、前記内壁から外側でそこから離間 し、前記棚に沿って延びる、上方に向かったリップを有するケーシングと、 前記ケーシングに着座し、かつ、前記リム部材の上でまわりに延びる、外側に 向かったフランジを有する液体化学物質の容器とを備え、前記フランジが、前記 リップと離間して、前記リップを超えて水があふれることができ、 さらに、前記ケミカルバスが、前記ケーシングと前記化学物質の液体容器との 間で、前記チャンバ内に配置された断熱材と、 前記リム部材と前記フランジとの間を延び、かつ、これらの各々と接触するシ ール材料であって、前記内壁と前記リップとの間の領域に晒されたシール材料と 、 前記内壁と前記リップとの間の前記領域に、前記水流を送出し、これらの間に 、水流の本体を形成する手段であって、前記水流の本体が、前記リム部材および 前記フランジの双方に接触するように構成された手段とを備えたことを特徴とす るケミカルバス。 18． 異なる材料で形成されたバス構成部品の間に延び、かつ、熱に晒されるケ ミカルバスシールを保護する方法であって、前記バスが、前記シールを形成する 材料に不利な影響を与え得る蒸気を生成し、かつ、前記シールが、前記バスの外 部環境に開いて、前記蒸気にさらされる、前記バス上の位置にあるようなケミカ ルバスのシールを保護する方法において、 前記位置に液流を向け、前記開いた位置で、前記液流の本体を維持するステッ プを含み、前記維持するステップが、前記液流の本体を、前記開いた位置で前記 構成部品の各々と接触するように維持し、前記外部環境から前記シールを絶縁す ることを特徴とする方法。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １． 熱せられた化学物質に製品を浸漬するためのケミカルバスにおいて、前記 バスが、前記化学物質を収容するとともに、前記製品を受け入れるための液体容 器と、前記液体容器の少なくとも部分が着座するチャンバを持つケーシングと、 さらに、前記液体容器および前記ケーシングの双方に接触し、これらの間に気密 シールを形成するシール材料とを備え、前記シール材料が、前記バスの外部環境 に開かれた前記バスのある領域となるようなケミカルバスであって、 前記外部環境に開かれた前記領域に延びる少なくとも一つの流導管と、前記導 管を介して、液流を前記領域に伝達する手段と、前記領域での前記液体を、前記 シール材料を前記外部環境から絶縁するための液流の本体に形成するための、シ ール防護手段とを備えたことを特徴とするケミカルバス。 ２． 前記ケーシングが、前記開かれた領域の基部に沿って水平に延びる表面を 持つリム部材を有し、前記シール保護手段が、前記表面に沿って延びかつ前記シ ール材料から外側に離間した位置で、前記表面から上方に延びる第１の手段を有 し、前記液流伝達手段が、前記液流を、前記シール部材と前記第１の手段との間 の少なくとも一つの位置で、前記開かれた領域に、前記液流を送出して、これら の間に液流の本体を形成し、前記バスが前記開かれた領域を除き、前記シール材 料を取り囲み、前記第１の手段と離間した第２の手段を有し、かつ、前記開かれ た領域で、前記液流の本体と接触する気密部品を有することを特徴とする請求の 範囲第１項に記載のケミカルバス。 ３． 前記シール材料に接触された前記ケーシングの部分が、前記ケーシングの 上縁に沿って延びるリム部材であり、前記液体容器が、前記ケーシングのリム部 材の上に延びるフランジを有し、前記シール材料が、前記リム部材と前記フラン ジとの間にあって、これらの各々と接触し、かつ、前記液流の本体が、前記ケー シングのリム部材と前記液体容器のフランジとの間にあって、前記シール材料か ら外側の位置で、これらの各々と接触することを特徴とする請求の範囲第１項に 記載のケミカルバス。 ４． 前記リム部材、前記フランジおよび前記液体の本体が、前記ケミカルバス の全周まわりに延びることを特徴とする請求の範囲第３項に記載のケミカルバス 。 ５． 前記ケーシングが、前記チャンバの頂部に沿って水平に延びるリム部材を 有し、前記液体容器が、前記液体容器の一体化された部分であり、かつ、前記ケ ーシングのリム部材の上に延びる、外側に向けられたフランジを有し、前記シー ル材料が、前記リム部材と前記フランジとの間に配置され、かつ、これらの各々 と接着され、前記液体の本体が、前記リム部材と前記フランジとの間にあって、 前記シール材料と前記外部環境との間の位置で、これらの各々と接触しているこ とを特徴とする請求の範囲第１項に記載のケミカルバス。 ６． 前記シール保護手段が、前記シール材料から外側でかつ前記フランジの下 の位置で前記ケーシングのリム部材に沿って延びる、上方に向けられたリップを 有し、前記リップが、前記フランジから離間した上端を有し、前記リップを超え て液体があふれることができ、かつ、前記液流伝達手段が、前記液流を、前記シ ール材料と前記リップとの間の位置に送出することを特徴とする請求の範囲第５ 項に記載のケミカルバス。 ７． 少なくとも一つのドレン通路が、前記リップを介して延び、前記液流伝達 手段が、液体が前記ドレン通路を介して前記位置から排出される速度を超える速 度で、前記液体を前記位置に送出することを特徴とする請求の範囲第６項に記載 のケミカルバス。 ８． 前記ケーシングが、前記チャンバに沿って延びるリム部材を有し、前記液 体容器が、前記リム部材の上に外側に延びるフランジを有し、前記リム部材が、 前記フランジに向かって上方に延びる内壁と、前記フランジと離間した上縁を備 えた上方に向けられたリップとを有し、これらの間を液体があふれることができ 、前記内壁および前記リップは離間し、前記フランジの下で前記リム部材に沿っ て延びる溝を形成し、前記液流伝達手段が、前記溝に前記液流を送出して、液流 の本体を形成し、前記シール材料が、前記内壁と前記フランジとの間に配置され ることを特徴とする請求の範囲第１項に記載のケミカルバス。 ９． 前記フランジが、前記溝に面した、水平に延びる下面を有し、前記リップ が、前記液体の本体と前記フランジの前記下面との接触を維持するのに十分な高 さを有することを特徴とする請求の範囲第８項に記載のケミカルバス。 10． 前記フランジが、前記フランジに沿って延びる、下方に向けられたリブを 有し、該リブが、前記液体の本体に接触するように位置し、前記リブが、前記内 壁および前記リップの各々と離間していることを特徴とする請求の範囲第８項に 記載のケミカルバス。 11． 前記リブが、前記リップの上縁の高さの下に延びることを特徴とする請求 の範囲第10項に記載のケミカルバス。 12． 前記液体容器が、外側に向けられたフランジを有し、前記ケーシングが、 前記フランジの下に配置されかつこれと平行な関係をもって延びるリム部材を有 し、前記リム部材が、前記フランジに向かって延びる、上方に向けられた内壁と 、前記フランジと離間するとともに、前記フランジの下で前記内壁から外側に延 びる棚とを有し、前記シール材料が、前記内壁および前記フランジの各々と接触 して、これらの間に配置され、前記シール保護手段が、前記棚に沿って延びると ともに、ここから、前記フランジの最も低い部分の高さと少なくとも同じ高さま で上方に延びる流れ障壁を有し、前記障壁が、前記フランジと離間し、これによ り、液体が障壁をあふれることができ、前記液流伝達手段が、前記液体を、前記 内壁と前記障壁との間の領域に送出することを特徴とする請求の範囲第１項に記 載のケミカルバス。 13． 前記障壁が、前記液流伝達手段の構成部品であり、かつ、液体を、前記入 口から、前記内壁と前記障壁との間の前記領域に送出するための流通路を有する ことを特徴とする請求の範囲第12項に記載のケミカルバス。 14． 前記障壁が、前記棚に沿って、これと接触して延びるチューブであること を特徴とする請求の範囲第13項に記載のケミカルバス。 15． 前記チューブが、弾性材料で形成され、かつ、さらに、前記棚に抗して前 記チューブを押すための手段を有することを特徴とする請求の範囲第14項に記載 のケミカルバス。 16． 前記障壁が、前記流通路を、前記内壁と前記障壁との間の前記領域に連通 させる、複数の離間した流れ孔を有することを特徴とする請求の範囲第13項に記 載のケミカルバス。 17． 熱せられた液体化学物質に物体を浸漬するためのケミカルバスであって、 チャンバと、ケーシングの頂部まわりに延びるリム部材とを有するケーシングで あって、前記リム部材が、上方に延びる内壁、および、前記リム部材の頂部の下 に配置された外側に延びる棚を有し、さらに、前記内壁から外側でそこから離間 し、前記棚に沿って延びる、上方に向かったリップを有するケーシングと、 前記ケーシングに着座し、かつ、前記リム部材の上でまわりに延びる、外側に 向かったフランジを有する液体化学物質の容器とを備え、前記フランジが、前記 リップと離間して、前記リップを超えて水があふれることができ、 さらに、前記ケミカルバスが、前記ケーシングと前記化学物質の液体容器との 間で、前記チャンバ内に配置された断熱材と、 前記リム部材と前記フランジとの間を延び、かつ、これらの各々と接触するシ ール材料であって、前記内壁と前記リップとの間の領域に晒されたシール材料と 、 前記内壁と前記リップとの間の前記領域に、前記水流を送出し、これらの間に 、水流の本体を形成する手段であって、前記水流の本体が、前記リム部材および 前記フランジの双方に接触するように構成された手段とを備えたことを特徴とす るケミカルバス。 18． 異なる材料で形成されたバス構成部品の間に延び、かつ、熱に晒されるケ ミカルバスシールを保護する方法であって、前記バスが、前記シールを形成する 材料に不利な影響を与え得る蒸気を生成し、かつ、前記シールが、前記バスの外 部環境に開いた、前記バス上の位置にあるようなケミカルバスのシールを保護す る方法において、 前記位置に液流を向け、前記開いた位置で、前記液流の本体を維持するステッ プを含み、前記維持するステップが、前記液流の本体を、前記構成部品の各々と 接触するように維持し、前記外部環境から前記シールを絶縁することを特徴とす る方法。