JPH0628742B2 - 高温液状化学物質の流れ中に物品を浸漬するための再循環薬浴 - Google Patents
高温液状化学物質の流れ中に物品を浸漬するための再循環薬浴Info
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- JPH0628742B2 JPH0628742B2 JP3135048A JP13504891A JPH0628742B2 JP H0628742 B2 JPH0628742 B2 JP H0628742B2 JP 3135048 A JP3135048 A JP 3135048A JP 13504891 A JP13504891 A JP 13504891A JP H0628742 B2 JPH0628742 B2 JP H0628742B2
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Description
【０００１】本発明は，製造工程時に物品を液状化学物
質中に浸漬するための薬浴に関する。さらに詳細には本
発明は，物品が高温液状化学物質の再循環流れに暴露さ
れるというタイプの薬浴のケーシング又はハウジングを
シールすることに関する。
質中に浸漬するための薬浴に関する。さらに詳細には本
発明は，物品が高温液状化学物質の再循環流れに暴露さ
れるというタイプの薬浴のケーシング又はハウジングを
シールすることに関する。
【０００２】物品を高温液状化学物質中に浸漬しなけれ
ばならない工業的プロセスが種々ある。例えば，エレク
トロニクス工業においては，集積回路ウェーハのエッチ
ングやクリーニングに対して薬浴が使用されている。液
状化学物質をかなり高温に加熱しなければならないこと
がしばしばあり，多くの場合，液状化学物質は極めて腐
食性が高い。従って，薬浴の構成成分は，液状化学物質
に対して非反応性の耐熱性材料で造られていなければな
らない。
ばならない工業的プロセスが種々ある。例えば，エレク
トロニクス工業においては，集積回路ウェーハのエッチ
ングやクリーニングに対して薬浴が使用されている。液
状化学物質をかなり高温に加熱しなければならないこと
がしばしばあり，多くの場合，液状化学物質は極めて腐
食性が高い。従って，薬浴の構成成分は，液状化学物質
に対して非反応性の耐熱性材料で造られていなければな
らない。
【０００３】“クォーツインテグレーテッドトラフ／サ
ンプ再循環濾過高純度薬浴（Ｑｕａｒｔｚ Ｉｎｔｅｇ
ｒａｔｅｄ Ｔｒｏｕｇｈ／Ｓｕｍｐ Ｒｅｃｉｒｃｕ
ｌａｔｉｎｇ Ｆｉｌｔｅｒｅｄ Ｈｉｇｈ−Ｐｕｒｉ
ｔｙ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｂａｔｈ）”と題する，発明
者による１９８９年１１月１３日付け提出の同時係属中
の米国特許出願第０７／４３４，７０９号（該特許出願
の明細書と図面を参照の形でここに引用する）には，こ
のような目的に対する特に有用な薬浴が開示されてい
る。この形態の薬浴は，処理すべき物品を受け入れるた
めの処理容器として機能する第１の区画と，サンプを形
成する第２の区画とを備えた液状化学物質容器を含む。
処理容器からの溢流物を移送するために，液状化学物質
容器の上部区域に沿ってトラフが延びており，ポンプ
が，濾過された液状化学物質の流れをサンプから処理容
器に再循環させる。液状化学物質容器（処理区画，サン
プ，及びトラフを含む）は，石英などの耐熱材料で造ら
れた一体化された単一構成成分であるのが好ましい。液
状化学物質容器の下部区域は，あまり脆くなくて所望の
形状に作製しやすい材料（この目的に対しては数種のプ
ラスチックが適切である）で造られたケーシング又はハ
ウジングの内部に位置せしめられている。
ンプ再循環濾過高純度薬浴（Ｑｕａｒｔｚ Ｉｎｔｅｇ
ｒａｔｅｄ Ｔｒｏｕｇｈ／Ｓｕｍｐ Ｒｅｃｉｒｃｕ
ｌａｔｉｎｇ Ｆｉｌｔｅｒｅｄ Ｈｉｇｈ−Ｐｕｒｉ
ｔｙ Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｂａｔｈ）”と題する，発明
者による１９８９年１１月１３日付け提出の同時係属中
の米国特許出願第０７／４３４，７０９号（該特許出願
の明細書と図面を参照の形でここに引用する）には，こ
のような目的に対する特に有用な薬浴が開示されてい
る。この形態の薬浴は，処理すべき物品を受け入れるた
めの処理容器として機能する第１の区画と，サンプを形
成する第２の区画とを備えた液状化学物質容器を含む。
処理容器からの溢流物を移送するために，液状化学物質
容器の上部区域に沿ってトラフが延びており，ポンプ
が，濾過された液状化学物質の流れをサンプから処理容
器に再循環させる。液状化学物質容器（処理区画，サン
プ，及びトラフを含む）は，石英などの耐熱材料で造ら
れた一体化された単一構成成分であるのが好ましい。液
状化学物質容器の下部区域は，あまり脆くなくて所望の
形状に作製しやすい材料（この目的に対しては数種のプ
ラスチックが適切である）で造られたケーシング又はハ
ウジングの内部に位置せしめられている。
【０００４】液状化学物質容器とケーシングのリムとの
間の接合部は，液体，腐食性蒸気，又は他の流体の流入
を防止するために，シールされていなければならない。
従来技術の構造物においては，この点は，トラフの下側
をケーシングリムのすぐ上に位置せしめ，ある量のシー
ル用マスチックをトラフとケーシングリムに付着させる
ことによって達成されている。
間の接合部は，液体，腐食性蒸気，又は他の流体の流入
を防止するために，シールされていなければならない。
従来技術の構造物においては，この点は，トラフの下側
をケーシングリムのすぐ上に位置せしめ，ある量のシー
ル用マスチックをトラフとケーシングリムに付着させる
ことによって達成されている。
【０００５】このようなシール操作により，石英やその
類似物，ケーシングプラスチック，及びマスチック自体
の３つの異なる材料が結合され，これら材料はそれぞ
れ，加熱を施すと異なる程度の熱膨張を受ける。このこ
とは，応力の発生をきたし，シール寿命を限定してしま
うこととなる。熱サイクルを繰り返すと，シール用マス
チックと他の材料との間の結合が壊れやすく，マスチッ
ク自体の劣化を起こし，従ってしばしば新たなマスチッ
クを施す必要が生じる。従来技術の構造物ではさらに，
薬浴中の最高液体温度が制限される。なぜなら，シール
を構成している成分の熱膨張が大きく異なるため，比較
的脆い石英が破損することがあるからである。
類似物，ケーシングプラスチック，及びマスチック自体
の３つの異なる材料が結合され，これら材料はそれぞ
れ，加熱を施すと異なる程度の熱膨張を受ける。このこ
とは，応力の発生をきたし，シール寿命を限定してしま
うこととなる。熱サイクルを繰り返すと，シール用マス
チックと他の材料との間の結合が壊れやすく，マスチッ
ク自体の劣化を起こし，従ってしばしば新たなマスチッ
クを施す必要が生じる。従来技術の構造物ではさらに，
薬浴中の最高液体温度が制限される。なぜなら，シール
を構成している成分の熱膨張が大きく異なるため，比較
的脆い石英が破損することがあるからである。
【０００６】高い液体温度の状態にてシールの耐久性が
高く，且つ高い液体温度に耐える薬浴構造物が特に有利
である。
高く，且つ高い液体温度に耐える薬浴構造物が特に有利
である。
【０００７】本発明は，上記問題点の１つ以上を解消す
ることを目的としている。
ることを目的としている。
【０００８】本発明の１つの態様においては，物品を高
温液状化学物質の流れ中に浸漬するための再循環薬浴
は，チャンバーを有するケーシング，及びケーシングの
チャンバー内に位置せしめられた下部区域とケーシング
の上方に延びた上部区域とを有する容器を含む。本容器
は，処理すべき物品を受け入れるための処理容器を形成
する第１の区画；前記処理容器からの溢流物を収容する
ためのサンプを形成する第２の区画；並びに前記溢流物
を受け入れるため及び前記溢流物を前記サンプに移送す
るために，前記処理容器に沿って所定の位置に延びたト
ラフ；を有する。前記トラフは，前記容器に対してケー
シングリムより上に位置していて，且つ前記ケーシング
リムからある間隔を置いて垂直に配置されている。本容
器はさらに，前記ケーシングリムにオーバーレイしてい
て外向きに延びたフランジを有する。前記フランジは，
トラフの下方に位置し，トラフからある間隔を置いて垂
直に配置されている。シール用材料は，フランジ及びケ
ーシングリムと接触した状態でフランジの下側に配置さ
れている。本発明の薬浴はさらに，液状化学物質を加熱
するための手段，及び液状化学物質をサンプから処理容
器に再循環させるための手段を含む。
温液状化学物質の流れ中に浸漬するための再循環薬浴
は，チャンバーを有するケーシング，及びケーシングの
チャンバー内に位置せしめられた下部区域とケーシング
の上方に延びた上部区域とを有する容器を含む。本容器
は，処理すべき物品を受け入れるための処理容器を形成
する第１の区画；前記処理容器からの溢流物を収容する
ためのサンプを形成する第２の区画；並びに前記溢流物
を受け入れるため及び前記溢流物を前記サンプに移送す
るために，前記処理容器に沿って所定の位置に延びたト
ラフ；を有する。前記トラフは，前記容器に対してケー
シングリムより上に位置していて，且つ前記ケーシング
リムからある間隔を置いて垂直に配置されている。本容
器はさらに，前記ケーシングリムにオーバーレイしてい
て外向きに延びたフランジを有する。前記フランジは，
トラフの下方に位置し，トラフからある間隔を置いて垂
直に配置されている。シール用材料は，フランジ及びケ
ーシングリムと接触した状態でフランジの下側に配置さ
れている。本発明の薬浴はさらに，液状化学物質を加熱
するための手段，及び液状化学物質をサンプから処理容
器に再循環させるための手段を含む。
【０００９】他の実施態様においては，本発明は，チャ
ンバーとリム部材とを備えたケーシングを有する再循環
薬浴を提供する。リム部材は，ケーシングの上端にてチ
ャンバーの周辺部に沿って延びている。液状化学物質容
器は，液状化学物質と処理すべき物品を受け入れるため
の処理容器区域；前記処理容器区域から溢流する液状化
学物質を受け入れるためのサンプ区域；及び前記溢流物
を前記サンプ区域に移送するために，前記処理容器の一
端と相対する側に沿って，そして前記サンプ区域の相対
する側に沿って所定の位置に延びたトラフ，このとき前
記トラフは，前記ケーシングリム部材より上で，且つ前
記リム部材からある間隔を置いて垂直に配置されてい
る；を有する。液状化学物質容器に取りつけられたフラ
ンジは，処理容器区域とサンプ区域の周りに延びてお
り，ケーシングリム部材に対して外向きに延びている。
フランジは，トラフの下方に位置し，トラフからある間
隔を置いて垂直に配置されている。トラフとフランジを
含んだ液状化学物質容器は，耐熱性材料で造られた単一
体である。フランジの下側とケーシングリム部材との間
にシール用材料が延び広がっており，両者を結合してい
る。本発明の薬浴はさらに，処理区域内の液状化学物質
を加熱するための手段，及び濾過された液状化学物質の
流れをサンプ区域から処理区域に再循環させるためのポ
ンプ・フィルター手段を含む。
ンバーとリム部材とを備えたケーシングを有する再循環
薬浴を提供する。リム部材は，ケーシングの上端にてチ
ャンバーの周辺部に沿って延びている。液状化学物質容
器は，液状化学物質と処理すべき物品を受け入れるため
の処理容器区域；前記処理容器区域から溢流する液状化
学物質を受け入れるためのサンプ区域；及び前記溢流物
を前記サンプ区域に移送するために，前記処理容器の一
端と相対する側に沿って，そして前記サンプ区域の相対
する側に沿って所定の位置に延びたトラフ，このとき前
記トラフは，前記ケーシングリム部材より上で，且つ前
記リム部材からある間隔を置いて垂直に配置されてい
る；を有する。液状化学物質容器に取りつけられたフラ
ンジは，処理容器区域とサンプ区域の周りに延びてお
り，ケーシングリム部材に対して外向きに延びている。
フランジは，トラフの下方に位置し，トラフからある間
隔を置いて垂直に配置されている。トラフとフランジを
含んだ液状化学物質容器は，耐熱性材料で造られた単一
体である。フランジの下側とケーシングリム部材との間
にシール用材料が延び広がっており，両者を結合してい
る。本発明の薬浴はさらに，処理区域内の液状化学物質
を加熱するための手段，及び濾過された液状化学物質の
流れをサンプ区域から処理区域に再循環させるためのポ
ンプ・フィルター手段を含む。
【００１０】本発明は，ケーシングと高温液状化学物質
容器との異種材料間の接合が，熱サイクルからの応力を
あまり受けないタイプの再循環薬浴構造物を提供する。
シールの構成成分は，トラフにおける高温液状化学物質
の流れと離れて配置され，トラフのフロアーを介した直
接的な伝達による熱は受けない。これによりシールの耐
久性は高くなり，薬浴の構成成分に損傷を与えることな
くより高温の液状化学物質を使用することが可能とな
る。
容器との異種材料間の接合が，熱サイクルからの応力を
あまり受けないタイプの再循環薬浴構造物を提供する。
シールの構成成分は，トラフにおける高温液状化学物質
の流れと離れて配置され，トラフのフロアーを介した直
接的な伝達による熱は受けない。これによりシールの耐
久性は高くなり，薬浴の構成成分に損傷を与えることな
くより高温の液状化学物質を使用することが可能とな
る。
【００１１】以下に記載の好ましい実施態様の詳細な説
明及び図面を参照すれば，本発明に対する理解がより深
まるであろう。
明及び図面を参照すれば，本発明に対する理解がより深
まるであろう。
【００１２】図１を参照すると，本発明の再循環薬浴１
１は，外部ハウジングすなわちケーシング１２及び前記
ケーシングによって支持されている液状化学物質容器１
３を含む。液状化学物質容器１３は，薬浴１１において
処理すべき物品１６を受け入れるための処理容器１４と
して機能する第１の区画，及び処理容器から溢流する液
状化学物質を収容するためのサンプ１７として機能する
隣接した第２の区画を有する。溢流物は，傾斜トラフ１
８によってサンプ１７に移送される。傾斜トラフ１８
は，処理容器の一端を横切って延びており，また処理容
器の両側に沿って，そして処理容器の反対側の端部にて
サンプ１７の両側に沿って延びている。
１は，外部ハウジングすなわちケーシング１２及び前記
ケーシングによって支持されている液状化学物質容器１
３を含む。液状化学物質容器１３は，薬浴１１において
処理すべき物品１６を受け入れるための処理容器１４と
して機能する第１の区画，及び処理容器から溢流する液
状化学物質を収容するためのサンプ１７として機能する
隣接した第２の区画を有する。溢流物は，傾斜トラフ１
８によってサンプ１７に移送される。傾斜トラフ１８
は，処理容器の一端を横切って延びており，また処理容
器の両側に沿って，そして処理容器の反対側の端部にて
サンプ１７の両側に沿って延びている。
【００１３】図２，３，及び４を参照すると，本実施態
様においては，ケーシング１２と液状化学物質容器１３
はほぼ直方体形状を有する（他の形状も可能である）。
ケーシング１２は直方体状のチャンバー１９を形成し，
液状化学物質容器１３の下部区域と中間区域が，このチ
ャンバー１９内に収容されて固定される。液状化学物質
容器１３の上部区域はケーシング１２の上に延びてお
り，トラフ１８が，ケーシングのリム２１より上に位置
せしめられ，そしてトラフをリムから隔離するために，
ケーシングリムから離して垂直方向に配置されている。
様においては，ケーシング１２と液状化学物質容器１３
はほぼ直方体形状を有する（他の形状も可能である）。
ケーシング１２は直方体状のチャンバー１９を形成し，
液状化学物質容器１３の下部区域と中間区域が，このチ
ャンバー１９内に収容されて固定される。液状化学物質
容器１３の上部区域はケーシング１２の上に延びてお
り，トラフ１８が，ケーシングのリム２１より上に位置
せしめられ，そしてトラフをリムから隔離するために，
ケーシングリムから離して垂直方向に配置されている。
【００１４】液状化学物質容器１３（処理容器１４，サ
ンプ１７，及びトラフ１８を含む）は，薬浴に使用され
る液状化学物質に対して化学的に非反応性のタイプの耐
熱性材料で造られた単一体であるのが好ましい。集積回
路ウェーハ１６を処理するのに薬浴１１が使用される場
合，液状化学物質容器１３は，例えば，複数の石英プレ
ートを一緒に溶融させることによって作製することがで
きる。ケーシング１２は，あまり脆くなくて且つ容易に
所望の形状にすることのできる異種材料で造られてお
り，例えばポリプロピレンが適切な材料である。
ンプ１７，及びトラフ１８を含む）は，薬浴に使用され
る液状化学物質に対して化学的に非反応性のタイプの耐
熱性材料で造られた単一体であるのが好ましい。集積回
路ウェーハ１６を処理するのに薬浴１１が使用される場
合，液状化学物質容器１３は，例えば，複数の石英プレ
ートを一緒に溶融させることによって作製することがで
きる。ケーシング１２は，あまり脆くなくて且つ容易に
所望の形状にすることのできる異種材料で造られてお
り，例えばポリプロピレンが適切な材料である。
【００１５】ケーシング１２の内部チャンバー１９は，
液状化学物質容器１３とチャンバー壁体２２との間にス
ペース（このスペースには断熱材２３が詰められてい
る）を設けるために，液状化学物質容器１３よりやや広
くて長い。薬浴１１内の液状化学物質２４は，抵抗タイ
プの一連のバンド状電気加熱エレメント２６によって加
熱される。これらの電気加熱エレメントは，液状化学物
質容器１３の処理容器区域１４における外壁２７の底部
と下部に配置されている。ケーシング１２は，流出出口
取付具２９と流入入口取付具３１（これらは，ブラケッ
トマウント３２によってケーシングの下側に固定されて
いる）のためのスペースを液状化学物質容器１３の下に
設けるために，ケーシングの各下部コーナーに支持脚２
８を有する。出口取付具２９は，サンプ１７の底部にお
いてパイプ３４を介して開口３３と繋がっており，また
入口取付具３１は，処理容器１４の基部中央において別
のパイプ３７を介して開口３６と繋がっている。
液状化学物質容器１３とチャンバー壁体２２との間にス
ペース（このスペースには断熱材２３が詰められてい
る）を設けるために，液状化学物質容器１３よりやや広
くて長い。薬浴１１内の液状化学物質２４は，抵抗タイ
プの一連のバンド状電気加熱エレメント２６によって加
熱される。これらの電気加熱エレメントは，液状化学物
質容器１３の処理容器区域１４における外壁２７の底部
と下部に配置されている。ケーシング１２は，流出出口
取付具２９と流入入口取付具３１（これらは，ブラケッ
トマウント３２によってケーシングの下側に固定されて
いる）のためのスペースを液状化学物質容器１３の下に
設けるために，ケーシングの各下部コーナーに支持脚２
８を有する。出口取付具２９は，サンプ１７の底部にお
いてパイプ３４を介して開口３３と繋がっており，また
入口取付具３１は，処理容器１４の基部中央において別
のパイプ３７を介して開口３６と繋がっている。
【００１６】ポンプ３８が，取付具２９と３４を介して
サンプ１７から液状化学物質を抜き取り，液状化学物質
をフィルター３９に通し，濾過した液状化学物質を取付
具３１と３７を介して処理容器１４に再循環させる。従
って，加熱された液状化学物質の連続流れ２４が，処理
容器１４内で上方に移行してトラフ１８中に溢流し，そ
してトラフ１８は，この溢流物をサンプ１７に移送す
る。本実施態様においては，処理容器１４の上部エッジ
４１は，処理容器の周辺部に溢流物の均一な分配が確実
に得られるよう波形になっている。このことにより，処
理容器１４の異なる区域に配置されている物品１６を通
過する流量が均等となる。薬浴１１中の液状化学物質の
量は，ウェーハ又は他の物品１６が処理容器１４中に浸
漬される前に，サンプ１７がほんの一部だけ充填される
ような量である。従って，再び図１参照すると，サンプ
１７は，物品１６と物品キャリヤー４０が浸漬されたと
きに処理容器１４から排除される液状化学物質を収容す
ることができる。一束の物品１６が薬浴１１から取り出
されると，処理容器１４中の液体レベルは一時的に降下
し，溢流が一時的に止まる。サンプ１７はさらに，この
ような時間中におけるポンプ抜き取り液の枯渇を防止す
るよう作用する。
サンプ１７から液状化学物質を抜き取り，液状化学物質
をフィルター３９に通し，濾過した液状化学物質を取付
具３１と３７を介して処理容器１４に再循環させる。従
って，加熱された液状化学物質の連続流れ２４が，処理
容器１４内で上方に移行してトラフ１８中に溢流し，そ
してトラフ１８は，この溢流物をサンプ１７に移送す
る。本実施態様においては，処理容器１４の上部エッジ
４１は，処理容器の周辺部に溢流物の均一な分配が確実
に得られるよう波形になっている。このことにより，処
理容器１４の異なる区域に配置されている物品１６を通
過する流量が均等となる。薬浴１１中の液状化学物質の
量は，ウェーハ又は他の物品１６が処理容器１４中に浸
漬される前に，サンプ１７がほんの一部だけ充填される
ような量である。従って，再び図１参照すると，サンプ
１７は，物品１６と物品キャリヤー４０が浸漬されたと
きに処理容器１４から排除される液状化学物質を収容す
ることができる。一束の物品１６が薬浴１１から取り出
されると，処理容器１４中の液体レベルは一時的に降下
し，溢流が一時的に止まる。サンプ１７はさらに，この
ような時間中におけるポンプ抜き取り液の枯渇を防止す
るよう作用する。
【００１７】図５を参照すると，ケーシング１２のリム
２１がリム部材４２によって画定されており，リム部材
４２は，ケーシング壁２２の頂部においてケーシングの
周辺部に沿って延びている。リム部材４２は，液状化学
物質容器１３が近くの構造壁体や装置に当たって衝撃を
受けないよう，ケーシング壁体４３の頂部を広げてい
て，且つ壁体から外向きにわずかな距離だけ延びたフラ
ンジ状基部４４を有する。リム部材４２の他の部分４６
は，ケーシング壁体４３内の場所において，基部４４か
ら下向きにわずかな距離だけ延びている。さらに他の部
分４７は，部分４６より上の場所にて基部４４から上向
きに延びている。
２１がリム部材４２によって画定されており，リム部材
４２は，ケーシング壁２２の頂部においてケーシングの
周辺部に沿って延びている。リム部材４２は，液状化学
物質容器１３が近くの構造壁体や装置に当たって衝撃を
受けないよう，ケーシング壁体４３の頂部を広げてい
て，且つ壁体から外向きにわずかな距離だけ延びたフラ
ンジ状基部４４を有する。リム部材４２の他の部分４６
は，ケーシング壁体４３内の場所において，基部４４か
ら下向きにわずかな距離だけ延びている。さらに他の部
分４７は，部分４６より上の場所にて基部４４から上向
きに延びている。
【００１８】液状化学物質容器１３は，液状化学物質容
器から外向きに延びていて，且つケーシングリム部材４
２の頂部４７にオーバーレイしているフランジ４８を介
して，ケーシング１２に固定されており，フランジとリ
ム部材の接合部に緩衝を与えるため，波形スペーサー５
１が，フランデと頂部４７との間に配置されている。フ
ランジ４８は，リム部材４２の頂部４７を越えてわずか
な距離だけ外向きに延びており，ポケット５３を形成し
ている外側エッジにおいて下向きのリップ５２を有して
いる。このポケット５３にシール用マスチック５４が配
置され，これによりフランジ４８とリム部材が結合され
て，ケーシング１２中への液体と蒸気の流入を防止して
いる。マスチック５４は，リム部材の頂部４７において
水平溝５５中に延びており，これによりマスチックは所
定の位置に固定される。シール用マスチックの他の部分
５６は，リム部材頂部４７と液状化学物質容器１３との
間に延びていて，リム部材頂部４７，液状化学物質容器
壁体，及びフランジ４８の下側に密着している。
器から外向きに延びていて，且つケーシングリム部材４
２の頂部４７にオーバーレイしているフランジ４８を介
して，ケーシング１２に固定されており，フランジとリ
ム部材の接合部に緩衝を与えるため，波形スペーサー５
１が，フランデと頂部４７との間に配置されている。フ
ランジ４８は，リム部材４２の頂部４７を越えてわずか
な距離だけ外向きに延びており，ポケット５３を形成し
ている外側エッジにおいて下向きのリップ５２を有して
いる。このポケット５３にシール用マスチック５４が配
置され，これによりフランジ４８とリム部材が結合され
て，ケーシング１２中への液体と蒸気の流入を防止して
いる。マスチック５４は，リム部材の頂部４７において
水平溝５５中に延びており，これによりマスチックは所
定の位置に固定される。シール用マスチックの他の部分
５６は，リム部材頂部４７と液状化学物質容器１３との
間に延びていて，リム部材頂部４７，液状化学物質容器
壁体，及びフランジ４８の下側に密着している。
【００１９】フランジ４８は液状化学物質容器１３の一
体化された部分であり，石英のような耐熱性材料で造ら
れている。このような耐熱性材料は比較的脆く且つ破損
しやすいので，フランジ４８も含めた液状化学物質容器
１３を，ケーシング１２のプラスチック材料を曲げる事
によって液状化学物質容器にかかる応力から隔離するの
が望ましい。この目的のため，リム部材がトリプルビー
ドプラスチックウェルド（ｔｒｉｐｌｅ ｂｅａｄ ｐ
ｌａｓｔｉｃ ｗｅｌｄ）５７によってケーシング壁４
３の頂部に固定されている。ウェルド５７は，フランジ
４８とリム部材４２の外側接合部において内部ビード５
８を含み，第２のビード５９が，ビード５８とフランジ
４８の下側とに結合しており，そして第３のビード６１
が，内部ビード５８とリム部材頂部４７とに結合してい
る。第２のビード５９と第３のビード６１は，互いにわ
ずかに隔離されている。
体化された部分であり，石英のような耐熱性材料で造ら
れている。このような耐熱性材料は比較的脆く且つ破損
しやすいので，フランジ４８も含めた液状化学物質容器
１３を，ケーシング１２のプラスチック材料を曲げる事
によって液状化学物質容器にかかる応力から隔離するの
が望ましい。この目的のため，リム部材がトリプルビー
ドプラスチックウェルド（ｔｒｉｐｌｅ ｂｅａｄ ｐ
ｌａｓｔｉｃ ｗｅｌｄ）５７によってケーシング壁４
３の頂部に固定されている。ウェルド５７は，フランジ
４８とリム部材４２の外側接合部において内部ビード５
８を含み，第２のビード５９が，ビード５８とフランジ
４８の下側とに結合しており，そして第３のビード６１
が，内部ビード５８とリム部材頂部４７とに結合してい
る。第２のビード５９と第３のビード６１は，互いにわ
ずかに隔離されている。
【００２０】ウェルド５７が造られているプラスチック
材料は，上記の配置構成においてはやや柔軟性を有する
ので，本ウェルドは，ケーシング壁４３に対するリム部
材４２のある程度のロッキング運動を可能にするヒンジ
として作用する。これにより，リム部材４２は，石英フ
ランジ４８に応力を与えることなく，ケーシング壁４３
の屈曲を吸収することが可能となる。
材料は，上記の配置構成においてはやや柔軟性を有する
ので，本ウェルドは，ケーシング壁４３に対するリム部
材４２のある程度のロッキング運動を可能にするヒンジ
として作用する。これにより，リム部材４２は，石英フ
ランジ４８に応力を与えることなく，ケーシング壁４３
の屈曲を吸収することが可能となる。
【００２１】前述したように，マスチック５４と５６に
よって形成されたシールが，異種材料で造られたリム部
材４２とフランジ４８を結合する。これらの異種材料
は，加熱されると異なる程度の熱膨張を示す。またマス
チック自体は，さらに他の熱膨張係数を有してもよい。
かなり高いヒートインプット（ｈｅａｔ ｉｎｐｕｔ）
に応じて，これら３種の材料が異なった膨張を繰り返す
と，重合体マスチック５４と５６のメカニカルな作用が
引き起こされ，この作用により，マスチック本体の完全
性及び隣接の石英材料とプラスチック材料に対する密着
性に関して，シール用マスチックの劣化が速めされるこ
とがある。トラフ１８の下側から隔離されて垂直に配置
されているフランジ４８によって，ケーシングシール６
２を形成する構成成分に対するヒートインプットが最小
限に抑えられ，これによってシールの寿命が長くなる。
前述の一般的なタイプの従来型薬浴構造物のように，ト
ラフのフロアーを介して，トラフ１８中の高温液状化学
物質からマスチック５４と５６に熱が直接伝達されるこ
とはない。さらに，石英フランジ４８のすぐ上の区域６
３に冷却用空気を循環させてもよく，この冷却用空気
が，処理容器１４からシール６２に伝達される熱を除去
する。従来の薬浴構造物とさらに異なる点は，トラフ１
８が，シール６２の構成成分の異なる膨張によって引き
起こされる，損傷を与える恐れのある機械的応力を受け
ないことである。
よって形成されたシールが，異種材料で造られたリム部
材４２とフランジ４８を結合する。これらの異種材料
は，加熱されると異なる程度の熱膨張を示す。またマス
チック自体は，さらに他の熱膨張係数を有してもよい。
かなり高いヒートインプット（ｈｅａｔ ｉｎｐｕｔ）
に応じて，これら３種の材料が異なった膨張を繰り返す
と，重合体マスチック５４と５６のメカニカルな作用が
引き起こされ，この作用により，マスチック本体の完全
性及び隣接の石英材料とプラスチック材料に対する密着
性に関して，シール用マスチックの劣化が速めされるこ
とがある。トラフ１８の下側から隔離されて垂直に配置
されているフランジ４８によって，ケーシングシール６
２を形成する構成成分に対するヒートインプットが最小
限に抑えられ，これによってシールの寿命が長くなる。
前述の一般的なタイプの従来型薬浴構造物のように，ト
ラフのフロアーを介して，トラフ１８中の高温液状化学
物質からマスチック５４と５６に熱が直接伝達されるこ
とはない。さらに，石英フランジ４８のすぐ上の区域６
３に冷却用空気を循環させてもよく，この冷却用空気
が，処理容器１４からシール６２に伝達される熱を除去
する。従来の薬浴構造物とさらに異なる点は，トラフ１
８が，シール６２の構成成分の異なる膨張によって引き
起こされる，損傷を与える恐れのある機械的応力を受け
ないことである。
【００２２】複数束の集積回路ウェーハ１６の処理に関
して薬浴１１を説明してきた。本発明の薬浴構造物は，
エッチング，クリーニング，又は他の目的のために高温
液体中に浸漬する必要のある他の種々の物品の処理に対
して，またコンベヤー等によって薬浴に物品を連続的に
供給し，且つ薬浴から取り出すことのできる操作に対し
て適用することができる。
して薬浴１１を説明してきた。本発明の薬浴構造物は，
エッチング，クリーニング，又は他の目的のために高温
液体中に浸漬する必要のある他の種々の物品の処理に対
して，またコンベヤー等によって薬浴に物品を連続的に
供給し，且つ薬浴から取り出すことのできる操作に対し
て適用することができる。
【００２３】本発明の好ましい実施態様に関して詳細に
説明してきたが，当技術者にとっては，本発明の精神と
範囲を逸脱することなく種々の変形が可能であることは
言うまでもない。
説明してきたが，当技術者にとっては，本発明の精神と
範囲を逸脱することなく種々の変形が可能であることは
言うまでもない。
【図１】本発明の高温再循環薬浴の斜視図である。
【図２】図１のライン２−２に沿って切り取った薬浴の
断面図である。
断面図である。
【図３】液体再循環システムの特定の構成成分を概略の
形で示した，図１の薬浴の一部切り欠き側面図である。
形で示した，図１の薬浴の一部切り欠き側面図である。
【図４】図１，２，及び３に示した装置の上面図であ
る。
る。
【図５】図２のダッシュ線５で囲んだ装置の部分の拡大
断面図である。
断面図である。
Claims (10)
- 【請求項１】 物品を高温液状化学物質の流れ中に浸漬
するための再循環薬浴であって，（ａ） チャンバーを
有し，且つ上端において前記チャンバーの周辺部に沿っ
て延びたリムを有するケーシング； （ｂ） 前記チャンバー内に位置せしめられた下部区域
と，前記リムの上に延びた上部区域とを有する液状化学
物質容器，このとき前記液状化学物質容器は，（ｉ）
前記物品を受け入れるための処理容器を形成する第１の
区画，（ｉｉ） 前記処理容器から溢流する液状化学物
質を収容するためのサンプを形成する第２の区画，（ｉ
ｉｉ） 前記溢流物を受け入れるため及び前記溢流物を
前記サンプに移送するために，前記処理容器に沿って所
定の位置に延びたトラフ，このとき前記トラフは，前記
液状化学物質容器に対して前記ケーシングリムより上に
位置していて，且つ前記ケーシングリムからある間隔を
置いて垂直に配置されている，及び（ｉｖ） 前記ケー
シングリムにオーバーレイしていて外向きに延びたフラ
ンジ，を有する； （ｃ） 前記フランジの下側に配置されていて，且つ前
記フランジの前記下側と前記ケーシングリムとに接触し
ているシール用材料； （ｄ） 前記液状化学物質を加熱するための手段；及び （ｅ） 前記液状化学物質を前記サンプから前記処理容
器に再循環させるための手段；を含む前記再循環薬浴。 - 【請求項２】 前記処理容器，前記サンプ，及び前記ト
ラフを含んだ前記液状化学物質容器が，耐熱性材料の単
一体であり，このとき前記フランジが耐熱性材料の前記
単一体のユニット部分である，請求項１記載の再循環薬
浴。 - 【請求項３】 前記フランジが，前記液状化学物質容器
の一体部分であり，石英で造られている，請求項１記載
の再循環薬浴。 - 【請求項４】 前記フランジを含んだ前記液状化学物質
容器が耐熱性材料で造られており，このとき前記チャン
バーの前記リムを含んだ前記ケーシングが，より脆性の
少ない異種材料で造られている，請求項１記載の再循環
薬浴。 - 【請求項５】 前記ケーシングが上向きに延びた側壁を
有し，このとき前記ケーシングの前記リムが，前記側壁
の頂部において前記ケーシングチャンバーの前記周辺部
に沿って延びていて，且つ前記ケーシングチャンバーに
固定されているフランジ付きリム部材によって造られて
おり，前記リム部材が，前記シール用材料によって前記
フランジの前記下側に結合されている，請求項１記載の
再循環薬浴。 - 【請求項６】 前記フランジが，前記フランジの前記下
側において反転ポケットを形成するフランジの外端に下
向きリップを有し，このとき前記リム部材の上向き部分
が前記ポケット中に延びており，前記シール用材料が，
前記リム部材の前記上向き部分の各側において前記ポケ
ット中に配置されている，請求項５記載の再循環薬浴。 - 【請求項７】 前記トラフが，前記液状化学物質容器に
対して外向きに延びたフロアーと，前記フロアーの外端
から上向きに延びた外壁とを有し，このとき前記フラン
ジが，前記フランジの前記フロアーのすぐ下の場所に
て，前記液状化学物質容器に対して外向きに延びてい
る，請求項１記載の再循環薬浴。 - 【請求項８】 前記フランジと前記シール用材料が繋が
っていて，前記液状化学物質容器の周りに完全に広がっ
ている，請求項１記載の再循環薬浴。 - 【請求項９】 前記トラフのフロアーと前記フランジと
の間の前記区域が，空気の循環ができるようあいてい
る，請求項８記載の再循環薬浴。 - 【請求項１０】 物品を高温液状化学物質の流れ中に浸
漬するための再循環薬浴であって，（ａ） チャンバー
を有し，且つ上端において前記チャンバーの周辺部に沿
って延びたリム部材を有するケーシング； （ｂ） （ｉ） 前記液状化学物質と前記物品を受け入
れるための処理容器区域， （ｉｉ） 前記処理容器区域から溢流する液状化学物質
を受け入れるためのサンプ区域， （ｉｉｉ） 前記溢流物を前記サンプ区域に移送するた
めに，前記処理容器の一端と相対する側に沿って，そし
て前記サンプ区域の相対する側に沿って所定の位置に延
びたトラフ，このとき前記トラフは，前記ケーシングの
前記リム部材より上で，且つ前記リム部材からある間隔
を置いて垂直に配置されている，及び （ｉｖ） 前記処理容器区域と前記サンプ区域の周りに
延びていて，且つ前記ケーシングリム部材の上にて外向
きに延びているフランジ，このとき前記フランジは，前
記トラフより下に位置していて前記トラフからある間隔
を置いて垂直に配置されている，を有する液状化学物質
容器，このとき前記トラフと前記フランジを含んだ前記
液状化学物質容器は，耐熱性材料の単一体となってい
る； （ｃ） 前記フランジの下側と前記ケーシングリム部材
との間に延びていて，且つ互いに結合されているシール
用材料； （ｄ） 前記処理区域内の前記液状化学物質を加熱する
ための手段；及び （ｅ） 濾過された液状化学物質の流れを前記サンプ区
域から前記処理区域に再循環させるためのポンプ・フィ
ルター手段；を含む前記再循環薬浴。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/650,193 US5056552A (en) | 1991-02-04 | 1991-02-04 | High temperature recirculating chemical bath construction |
| US650193 | 1991-02-04 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04260449A JPH04260449A (ja) | 1992-09-16 |
| JPH0628742B2 true JPH0628742B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=24607874
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3135048A Expired - Fee Related JPH0628742B2 (ja) | 1991-02-04 | 1991-06-06 | 高温液状化学物質の流れ中に物品を浸漬するための再循環薬浴 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5056552A (ja) |
| JP (1) | JPH0628742B2 (ja) |
| KR (1) | KR100221766B1 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5383488A (en) * | 1994-01-31 | 1995-01-24 | Imtec Products, Inc. | Apparatus and method for protecting chemical bath seals |
| US5921278A (en) * | 1996-06-21 | 1999-07-13 | George Koch Sons, Inc. | Composite tank for industrial finishing equipment |
| KR100941270B1 (ko) | 2007-06-19 | 2010-02-11 | 현대자동차주식회사 | 배기계 부품의 부식 시험 장치 및 방법 |
| US9759451B2 (en) * | 2013-11-22 | 2017-09-12 | Thermo Fisher Scientific (Asheville) Llc | Recirculating bath |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL68643C (ja) * | 1939-06-21 | 1900-01-01 | ||
| US3987816A (en) * | 1975-12-30 | 1976-10-26 | Hooker Chemicals & Plastics Corporation | Entrance duct with weir |
| DE3737884A1 (de) * | 1987-11-07 | 1989-06-01 | Sotralentz Sa | Fassgebinde mit fasskoerper und deckel aus kunststoff sowie spannverschluss |
| US4804990A (en) * | 1988-02-08 | 1989-02-14 | Eastman Kodak Company | Automatic liquid feed and circulation system for a photographic film processor |
| US4934553A (en) * | 1989-04-03 | 1990-06-19 | Thetacorporation | Above ground waste tank |
-
1991
- 1991-02-04 US US07/650,193 patent/US5056552A/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-06-06 JP JP3135048A patent/JPH0628742B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-02-01 KR KR1019920001647A patent/KR100221766B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR920017194A (ko) | 1992-09-26 |
| JPH04260449A (ja) | 1992-09-16 |
| US5056552A (en) | 1991-10-15 |
| KR100221766B1 (ko) | 1999-09-15 |
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