JP2001289698A

JP2001289698A - 液面検出装置

Info

Publication number: JP2001289698A
Application number: JP2000101742A
Authority: JP
Inventors: Koji Tanaka; 幸二田中
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2000-04-04
Filing date: 2000-04-04
Publication date: 2001-10-19
Anticipated expiration: 2020-04-04
Also published as: JP3727221B2

Abstract

(57)【要約】【課題】液面が所定の位置に対してどの位置にあるか
を確実に検出できるようにすること。【解決手段】タンク２内の液体が導かれた光透過性の
チューブ７１と、チューブ７１内に移動自在に設けら
れ、液体より比重の小さなフロート７２と、チューブ７
１の所定の位置に設けられ、フロート７２の上方への移
動を阻止するストッパ７１ａと、フロート７２を検知す
る位置センサ７とを備え、位置センサ７を、少なくとも
ストッパ７１ａによって停止しているフロート７２を検
知する位置に設けるように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、タンク内に貯留
された液体の量を検出するための液面検出装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の液面検出装置としては、例えば
透明チューブの上下をタンク内に接続することによっ
て、タンク内の液面位置をチューブ内にそのまま表示
し、このチューブの液面位置をセンサを介して電気的な
信号として取り出すように構成したものが知られてい
る。センサとしては、例えば光透過型センサや、光反射
型センサが用いられている。光透過型センサを用いた場
合には、発光部から受光部に向かう光がチューブ内の液
体によって遮られることを利用して、液面が所定の位置
対して上にあるか、下にあるかを検知するようになって
いる。また、光反射型センサを用いた場合には、発光部
から発した光がチューブ内の液体に当たって反射し受光
部に入ることを利用して、上述のような液面の位置を検
知するようになっている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記液面検
出装置においては、液体がある程度以上透明であると、
光が液体内を透過してしまうため、光透過型センサを用
いた場合も、光反射型センサの場合も、液面が所定のレ
ベルより上にあるのに、下にあると誤認するおそれがあ
る。また、チューブ内の液面にフロートを浮かべた場合
には、そのフロートが遮光体あるいは反射体となるため
液面位置を検出することができるようになる。しかし、
フロートがセンサの位置を通過してしまうと、再び液面
の位置がわからなくなってしまうという欠点がある。

【０００４】この発明は、上記事情に鑑みなされたもの
で、液面が所定の位置に対してどの位置にあるかを確実
に検出することのできる液面検出装置を提供することを
目的とするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１記載の発明は、タンク内の液面位置と同一
の液面位置となるように、タンク内の液体が導かれた光
透過性のチューブと、このチューブ内に移動自在に設け
られ、上記液体より比重の小さなフロートと、上記チ
ューブの所定の位置に設けられ、上記フロートの上方へ
の移動を阻止するストッパと、上記フロートを検知す
る位置センサとを備えてなり、上記位置センサは、少
なくともストッパによって停止しているフロートを検知
する位置に設けられていることを特徴とする。

【０００６】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、ストッパ、フロート及び位置センサは、複
数組設けられていることを特徴とする。

【０００７】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の発明において、チューブは、柔軟性を有するもので
構成され、ストッパは、フロートの移動が不能になる
程度まで、チューブの一部を内側に変形させた絞り部に
よって構成されていることを特徴とする。

【０００８】請求項４記載の発明は、請求項３記載の発
明において、チューブの一部を両側から挟んで絞り部を
形成するクリップを備えていることを特徴とする。

【０００９】請求項５記載の発明は、請求項１又は２記
載の発明において、チューブは、途中に設けられた継手
を介して長く延在しており、ストッパは、上記継手に
おける通路をフロートの移動が不能になる程度まで狭め
た絞り部によって形成されていることを特徴とする。

【００１０】そして、上記のように構成される請求項１
記載の発明によれば、チューブ内の液面の上昇に伴って
フロートも上昇するが、そのフロートはストッパによっ
て上方への移動が阻止されることになり、所定の位置よ
り上方に移動することがない。また、フロートは、上方
への移動の過程において位置センサによって検出される
ことになり、ストッパによって停止した後も位置センサ
によって検出され続けることになる。従って、位置セン
サによるフロートの検出があれば、タンクの液面が所定
の位置以上のところにあり、同検出がなければ、タンク
の液面が所定の位置未満のところにあると判断すること
ができる。即ち、液面が所定の位置に対してどの位置に
あるかを確実に検出することができる。

【００１１】請求項２記載の発明によれば、ストッパ、
フロート及び位置センサを複数組設けているので、少な
くとも各ストッパによって停止しているフロートを各位
置センサで検出することができる。このため、例えば下
から３番目までの位置センサがフロートを検出している
場合には、この３番目に対応する所定の位置以上にタン
クの液面があると判断することができる。また、全ての
位置センサがフロートを検出していなければ、最下位置
の位置センサに対応する所定の位置よりタンクの液面が
低いと判断することができる。従って、タンクの液面の
位置をより詳細に検出することができる。

【００１２】請求項３記載の発明によれば、チューブを
柔軟性を有するもので構成し、このチューブの一部を内
側に変形させた絞り部によってストッパを構成している
ので、チューブにおける軸方向の自由な位置にストッパ
を構成することができる。従って、液面の位置が異なる
場合や、タンクが異なる場合等にも対応することができ
る。

【００１３】請求項４記載の発明によれば、請求項３記
載の発明における絞り部をクリップによって簡単に形成
することができる。従って、ストッパとなる絞り部をチ
ューブにおける自由な位置により簡単に形成することが
できる。

【００１４】請求項５記載の発明によれば、チューブを
つなぐ継手にストッパとなる絞り部を形成しているの
で、長さの異なるチューブに代えることにより、ストッ
パの位置を自由に変更することができる。また、チュー
ブとしてはガラス等の硬質のものを使用することができ
るので、比較的高温度の液体の液面検出にも利用するこ
とができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下に、この発明の実施形態につ
いて、添付図面に基づいて詳細に説明する。この実施形
態では被処理体（ウエハ等）の洗浄・乾燥処理装置にお
ける薬液貯留用のタンクに適用した場合について説明す
る。

【００１６】◎第１実施形態この発明の第１実施形態を図１〜図１０を参照して説明
する。この実施形態で示す液面検出装置７０は、図１及
び図２に示すように、外側タンク（タンク）２内の液面
位置と同一の液面位置となるように、外側タンク２内の
薬液（液体）が導かれた透明（光透過性）のチューブ７
１を備えている。このチューブ７１内には、図３及び図
４に示すように、その長手方向に移動自在に、上記薬液
より比重の小さなフロート７２が備えられている。ま
た、チューブ７１の所定の位置には、フロート７２の上
方への移動を阻止するストッパ７１ａが構成されている
と共に、フロート７２を検知する位置センサ７が設置さ
れている。この位置センサ７は、少なくともストッパ７
１ａによって停止しているフロート７２を検知する位置
に設けられている。

【００１７】また、上記ストッパ７１ａは、チューブ７
１の長手方向に沿う４箇所の位置に、設けられており、
フロート７２及び位置センサ７も、ストッパ７１ａに対
応する各位置に設けられている。そして、チューブ７１
は、図４に示すように、柔軟性を有するもので構成され
ており、ストッパ７１ａは、フロート７２の移動が不能
になる程度まで、チューブ７１の一部を内側に変形させ
た絞り部によって構成されている。また、この絞り部か
らなるストッパ７１ａは、チューブ７１の一部を両側か
ら挟むクリップ７３によって構成されている。

【００１８】以下、上記構成について更に詳細に説明す
る。まず、被処理体の洗浄・乾燥処理装置の概要を説明
する。即ち、この洗浄・乾燥処理装置は、半導体デバイ
スの製造工程やＬＣＤ製造工程において、半導体ウエハ
やＬＣＤガラス等の被処理体（以下にウエハ等という）
に付着したレジストやドライ処理後の残渣（ポリマ等）
を除去するために、処理液等を用いる液処理装置であ
り、ウエハ等を薬液で洗浄した後、この薬液をリンス液
で洗い流し、更に乾燥気体を吹き付けて乾燥させるよう
になっている。上記薬液としては、例えばレジスト剥離
液、ポリマ除去液等の薬液や、この薬液の溶剤例えばイ
ソプロピルアルコール（ＩＰＡ）が使用される。リンス
液としては、例えば純水が使用される。乾燥気体として
は、例えば窒素（Ｎ2）等の不活性ガスや清浄空気等が
使用されるようになっている。

【００１９】また、高価な薬液を有効に利用するため
に、洗浄処理に使われた薬液をリサイクル薬液として再
利用するようになっている。即ち、新規薬液を貯留する
タンクと、リサイクル薬液を貯留するタンクの２種類を
用意し、リサイクル薬液を使用して一次洗浄処理を行っ
た後、新規薬液を使用して二次洗浄処理を行うようにな
っている。

【００２０】このため、薬液供給部５２には、図１に示
すように、薬液供給源３から供給される新規薬液を貯留
すると共に、リサイクル薬液を貯留するためのタンク１
０が備えられている。タンク１０は、薬液開閉弁３ａを
介設する薬液管路３ｂを介して薬液供給源３に接続する
新液を貯留する内側タンク１と、この内側タンク１を内
方に収容する外側タンク２とからなる二重槽構造に構成
されている。この場合、内側タンク１は有底円筒状のス
テンレス製容器にて形成されている。また、外側タンク
２は、大径の胴部２ａと小径の開口部２ｂと開口部２ｂ
側に向かって漸次狭小テーパ状の肩部２ｃとを有する有
底円筒状のステンレス製容器にて形成されている。ここ
で、肩部２ｃを開口部２ｂ側に向かって漸次狭小テーパ
状としたのは、外側タンク２内に貯留される薬液が開口
部２ｂに充満される過程で肩部２ｃに空気が溜まるのを
防止するためである。また、外側タンク２の外周面に
は、外側タンク２を囲繞するように加熱手段であるヒー
タ４が配設されている。

【００２１】この場合、内側タンク１の上端部には、こ
の内側タンク１からオーバーフローする薬液を外側タン
ク２内に供給するオーバーフロー管路５が配設されてい
る。従って、薬液供給源３から内側タンク１内に供給さ
れる新規薬液が内側タンク１内に充満された後、オーバ
ーフロー管路５を介して外側タンク２内に供給可能にな
っている。また、外側タンク２の開口部２ｂにおける内
側タンク１との隙間Ｓが狭く形成されている。この隙間
Ｓは外側タンク２内に貯留される薬液の液面が検出でき
る面積であれば可及的に狭い方がよい。その理由は、内
側タンク１と外側タンク２の隙間Ｓが狭い程、外側タン
ク２内に貯留される薬液の液面の外気と接触する面積を
少なくすることができるので、薬液の空気との接触によ
る化学反応や劣化を抑制することができ、薬液の品質や
性能の維持を図ることができるからである。

【００２２】なお、内側タンク１及び外側タンク２の開
口部には、パージガス供給管路６とガス抜き管路６Ａが
接続されており、両タンク１，２内に貯留される薬液が
外気に晒されて雰囲気が変化するのを防止するために、
図示しない不活性ダス例えばＮ2ガス等のパージガス供
給源に接続するパージガス供給管路６からパージガス例
えばＮ2ガスが供給されるようになっている。なお、外
側タンク２の外方近接部には光透過型の位置センサ７が
設けられている。この位置センサ７は、高さ方向の位置
によって、上限センサ７ａ、適量センサ７ｂ、補充セン
サ７ｃ及び下限センサ７ｄとして示す。これらのセンサ
７ａ〜７ｄは制御部３０（ＣＰＵ）に接続されている。
また、内側タンク１の上端部には、薬液満杯センサ（図
示せず）が配設されており、この薬液満杯センサによっ
て内側タンク１内から外側タンク２内に流れる薬液の状
態を監視することができるようになっている。すなわ
ち、薬液満杯センサと上記適量センサ７ｂからの検出信
号に基づいて制御手段例えば中央演算処理装置３０（以
下にＣＰＵ３０という）からの制御信号を薬液開閉弁３
ａに伝達することで、内側タンク１及び外側タンク２内
の薬液の液量を管理することができる。即ち、外側タン
ク２におけるリサイクル薬液が不足してきた場合には、
その不足分を新規薬液で補うようになっている。なお、
位置センサ７については、後述する液面検出装置の説明
において更に詳細に説明する。

【００２３】また、内側タンク１内に貯留される薬液
と、外側タンク２内に貯留される薬液は、外側タンク２
の外方近接部に配設される１つのヒータ４によって加熱
・保温されるようになっている。この場合、内側タンク
１内の薬液の温度は、内側タンク薬液温度センサ（図示
せず）によって検出され、外側タンク２内の薬液の温度
は、外側タンク薬液温度センサ（図示せず）によって検
出され、また、ヒータ４の温度は、コントロール温度セ
ンサ（図示せず）と、オーバーヒート温度センサ（図示
せず）によって検出されるようになっている。これら温
度センサのうち、外側タンク薬液温度センサ、コントロ
ール温度センサ及びオーバーヒート温度センサの検出信
号を温度制御部（図示せず）で制御して、外側タンク２
内の薬液温度、ヒータ４の加熱温度を所定温度に設定で
きるようになっている。

【００２４】即ち、外側タンク２内の薬液の温度が例え
ば８０℃〜１５０℃になるように制御されると共に、ヒ
ータ４自体も、例えば２００℃以上のオーバーヒート状
態にならないように制御されるようになっている。ま
た、内側タンク１内の薬液の温度は、外側タンク２内の
薬液の温度とほぼ等しい温度になるようになっている。

【００２５】一方、内側タンク１には、この内側タンク
１内の薬液をウエハ等に供給するための第１の供給管路
１４ａが配置されており、外側タンク２には、この外側
タンク２内の薬液をウエハ等に供給するための第２の供
給管路１４ｂが配置されている。また、外側タンク２内
から供給される薬液は、ウエハ等の洗浄に使われないと
きは循環管路１８を介して再び外側タンク２に戻るよう
になっている。この際、第２の供給管路１４ｂに介設さ
れたフィルタ（図示せず）によって、リサイクル薬液の
濾過が行われるようになっている。

【００２６】内側タンク１内の新規薬液は、ウエハ等を
洗浄した後に、戻り管路５６を介して外側タンク２に送
られ、リサイクル薬液として利用されるようになってい
る。そして、外側タンク２内に貯留されたリサイクル薬
液を第２の供給管路１４ｂを介して供給することによ
り、ウエハ等の一次洗浄処理を行い、内側タンク１内に
貯留された新規薬液を第１の供給管路１４ａを介して供
給することにより、ウエハ等の二次洗浄処理を行うよう
になっている。

【００２７】また、外側タンク２の底部には、リサイク
ル薬液を排出するための排液取出管路５８が接続されて
おり、この排液取出管路５８には、上記チューブ７１に
薬液を供給するための下側管路５８ａと、排出処理のた
めのドレン管路５８ｂとが接続されている。ドレン管路
５８ｂには、排液開閉弁５７が介設されている。

【００２８】次に、液面検出装置７０について更に詳細
に説明する。チューブ７１は、図４に示すように、透明
で柔軟性を有し、かつ高温に耐えうる材料、例えばＰＦ
Ａ（テトラフルオロエチレン-パーフルオロアルキルビ
ニルエーテル共重合体）で形成されている。このＰＦＡ
は、炭素原子とフッ素原子からなる主鎖にパーフルオロ
アルコキシ基が結合した分子構造を有しており、ポリ四
フッ化エチレン（ＰＴＦＥ）とほとんど同じような優れ
た性能を持ち、しかも透明性が良好である。また、高温
における力学的性質に優れており、２５０℃での連続使
用に耐えるという特長がある。そして、一般の熱可塑性
樹脂と同様に、射出、押出し、吹込み等により成形品を
製造することが可能である。なお、チューブ７１は、押
出しにより成形したものである。

【００２９】チューブ７１は、図２に示すように、下端
部が下側管路５８ａを介して外側タンク２の底に接続さ
れており、上端部が上側管路５８ｃを介して外側タンク
２における液面より上側の空間部に接続されている。ま
た、チューブ７１の側方には、図２及び図３に示すよう
に、チューブ７１の両側に支持レール７４が設けられて
いる。この支持レール７４は、タンク１０を設置する基
礎Ｇ上に、垂直に立設されている。

【００３０】支持レール７４には、図４〜図６に示すよ
うに、位置センサ７を保持するブラケット７５が支持レ
ール７４の延在する方向に沿って移動自在に設けられて
いる。ブラケット７５は、位置センサ７の後述する発光
部７Ａ又は受光部７Ｂを挿入するための円筒孔７５ａを
有しており、この円筒孔７５ａに挿入した発光部７Ａ又
は受光部７Ｂを止めねじ７５ｂで固定するようになって
いる。また、ブラケット７５自体は、つまみ付きねじ７
５ｃによって、支持レール７４の所定の位置に固定され
るようになっている。

【００３１】位置センサ７は、光を発する発光部７Ａ
と、この発光部７Ａからの光を受ける受光部７Ｂとを備
えた光透過型のもので構成されており、フロート７２が
遮光物体となって発光部７Ａから受光部７Ｂに入る光を
遮ることにより、フロート７２を検出するようになって
いる。特に、位置センサ７は、ブラケット７５によって
位置を調整することにより、ストッパ７１ａによって止
まった球形のフロート７２を必ず検出する位置に設けら
れるようになっている。

【００３２】また、位置センサ７は、図３に示すよう
に、上述のように４箇所の位置に設けられており、上側
から、上限センサ７ａ、適量センサ７ｂ、補充センサ７
ｃ及び下限センサ７ｄとなっている。そして、ストッパ
７１ａ及びフロート７２は、各センサ７ａ〜７ｄに対応
するようにして４箇所の位置に設けられている。

【００３３】ストッパ７１ａは、図４、図６及び図７に
示すように、クリップ７３により平行に押しつぶされた
形状の絞り部になっており、フロート７２の上方への移
動を阻止するが、薬液の移動を妨げることがないように
なっている。

【００３４】クリップ７３は、図７及び図８に示すよう
に、把持部７３ａと、留め部７３ｂとを備えた構成にな
っている。把持部７３ａは、図８に示すように、所定の
半径で屈曲する基部７３ｃと、この基部７３ｃからＶ字
状に延びる断面円形状の線材部７３ｄによって形成され
ており、例えばスプリング弾性を有する金属やプラスチ
ック等によって形成されている。留め部７３ｂは、各線
材部７３ｄを平行になるまで弾性変形させた状態におい
て、これらの線材部７３ｄの先端部に嵌まるようになっ
ており、線材部７３ｄを平行に維持するようになってい
る。そして、クリップ７３は、平行に延びる線材部７３
ｄによって、上述したストッパ７１ａを形成するように
なっている。

【００３５】なお、クリップ７３は、図９に示すよう
に、留め部７３ｂにおける一方の嵌合部７３ｅを一方の
線材部７３ｄの先端部に溶接等で固定するようにしても
よい。この場合には、他方の線材部７３ｄの先端部は、
留め部７３ｂのＵ字状の溝７３ｆを介して、同留め部７
３ｂにおける他方の嵌合部７３ｇに嵌合することにな
る。

【００３６】上記のように構成された液面検出装置７０
においては、チューブ７１内の液面の上昇に伴ってフロ
ート７２も上昇するが、そのフロート７２はストッパ７
１ａによって上方への移動が阻止されることになり、所
定の位置より上方に移動することがない。また、フロー
ト７２は、上方への移動の過程において位置センサ７に
よって検出されることになり、ストッパ７１ａによって
停止した後も位置センサ７によって検出され続けること
になる。従って、位置センサ７によるフロート７２の検
出があれば、外側タンク２内の液面が位置センサ７が設
けられた所定の位置以上のところにあり、同検出がなけ
れば、所定の位置未満のところにあると判断することが
できる。即ち、外側タンク２内の液面が所定の位置に対
してどの位置にあるかを確実に検出することができる。

【００３７】なお、検出の開始は、最初に外側タンク２
内に薬液が供給された時点で開始され、まず、下限セン
サ７ｄがフロート７２を検出した時点で補充が開始さ
れ、適量センサ７ｂによってフロート７２を検出した時
点で薬液の供給が停止する。なお、補充の方法は、例え
ば、補充センサ７ｃがＯＦＦ状態になったら適量セン
サ７ｂがフロート７２を検出するまで補充するか、ある
いは、１回の処理終了後に適量センサ７ｂがフロート
７２を検出するまで薬液を補充するなどの方法を採るこ
とができる。

【００３８】また、例えば図１０（ａ）に示すように、
下から３番目の適量センサ７ｂまでがフロー７２を検出
している場合には、外側タンク２の液面が適量センサ７
ｂに対応する所定の位置より高く、上限センサ７ａに対
応する所定の位置より低い位置にあると判断することが
できる。即ち、液面は正常であると判断することができ
る。また、上限センサ７ａがフロート７２を検出した時
点で、オバーフローの危険があると判断することができ
る。このとき、図示しない制御手段によって薬液供給源
３からの薬液の供給を停止するように制御すると共に、
アラームを出すように制御される。更に、図１０（ｂ）
に示すように、下限センサ７ｄによりフロート７２の検
出ができなくなった時点で、液面が許容位置より低くな
ったと判断することができる。このとき、図示しない制
御手段によって外側タンク２の加熱を停止するように制
御される。また、補充センサ７ｃによりフロート７２の
検出ができなくなった時点で、補給が必要になったと
判断することができ、この信号に基づいて外側タンク２
に薬液が供給されることになる。この薬液の供給は適量
センサ７ｂによってフロート７２を検出するまで行われ
る。

【００３９】更に、チューブ７１を柔軟性を有するもの
で構成し、このチューブ７１の一部を内側に変形させた
絞り部によってストッパ７１ａを構成しているので、チ
ューブ７１における自由な位置にストッパ７１ａを構成
することができる。従って、液面の位置が異なる場合
や、タンクが異なる場合等にも対応することができると
いう利点がある。しかも、ストッパ７１ａをクリップ７
３によって簡単に形成することができる。この場合、チ
ューブ７１の絞り部は、他の部分と流量が同じになるよ
うにする方が好ましい。

【００４０】◎第２実施形態次に、この発明の第２実施形態を図１１〜図１３を参照
して説明する。だだし、第１実施形態の構成要素と共通
する要素には同一の符号を付し、その説明を簡略化す
る。この第２実施形態が第１実施形態と異なる主な点
は、取付手段７６を介し位置センサ７をチューブ７１に
取り付けるように構成している点である。

【００４１】即ち、取付手段７６は、チューブ７１の外
周面を締め付けることにより、同チューブ７１に固定す
るようになっている。即ち、中心に円形孔７６ｃを有す
る円盤を、その中心を通る面で半分に切断した形状の第
１の半円盤部７６ａと、第２の半円盤部７６ｂとを備え
ている。各半円盤部７６ａ、７６ｂは、図１３に示すよ
うに、その円形孔７６ｃがチューブ７１の外周面に嵌合
した状態において、合わせ面７６ｄ間の隙間Ｓ１が所定
量（約１〜３ｍｍ）あくようになっている。

【００４２】また、各半円盤部７６ａ、７６ｂには、発
光部７Ａ又は受光部７Ｂを挿入する円筒孔７６ｅが形成
されている。この円筒孔７６ｅは、合わせ面７６ｄに対
して直交し、かつ円形孔７６ｃから法線方向に延びるよ
うに形成されている。発光部７Ａ又は受光部７Ｂは、円
筒孔７６ｅに挿入された状態で止めねじ７６ｆによって
固定されるようになっている。また、一方の半円盤部７
６ａには、その各合わせ面７６ｄに、連結ボルト７６ｇ
のねじ部が螺合するねじ孔７６ｈが開口しており、他方
の半円盤部７６ｂには、その各合わせ面７６ｄに、連結
ボルト７６ｇのねじ部を挿通する貫通孔７６ｉが開口し
ている。この貫通孔７６ｉには、連結ボルト７６ｇの頭
部を収納する座ぐり部７６ｊが形成されている。

【００４３】一方、フロート７２は、円柱部の上下の端
部を半球状に丸めた長尺のもので形成されている。

【００４４】上記のように構成された液面検出装置７０
においては、各半円盤部７６ａ、７６ｂの円形孔７６ｃ
をチューブ７１の外周面に嵌めてから、これらの半円盤
部７６ａ、７６ｂを連結ボルト７６ｇで連結する。各半
円盤部７６ａ、７６ｂは、連結ボルト７６ｇを所定量締
め付けることにより、チューブ７１に確実に固定された
状態になる。その後、発光部７Ａ又は受光部７Ｂを各円
筒孔７６ｅに挿入して止めねじ７６ｆで固定する。

【００４５】このように、取付手段７６を用いた場合
も、位置センサ７をチューブ７１における自由な位置に
設置することができる。また、取付手段７６は、円形孔
７６ｃによって、チューブ７１の外周面を内方に向けて
ほぼ均一に圧迫することになるので、チューブ７１をほ
ぼ円形に保つことができる。即ち、チューブ７１が変形
してフロート７２の移動を妨げることがない。

【００４６】また、取付手段７６はチューブ７１におけ
る断面円形状の部分に取り付けることになるため、位置
センサ７がストッパ７１ａに対して比較的下方の位置に
配置されることになる。しかし、フロート７２が長尺の
もので形成されているので、ストッパ７１ａによって停
止したフロート７２の下端部を位置センサ７によって確
実に検出することができる。しかも、フロート７２の上
下の端部が半球面状に形成されているので、ストッパ７
１ａにおけるチューブ７１の内面を傷つけることがな
い。

【００４７】◎第３実施形態次に、この発明の第３実施形態について図１４〜図１６
を参照して説明する。ただし、第２実施形態の構成要素
と共通する要素には同一の符号を付し、その説明を簡略
化する。この第３実施形態が第２実施形態と異なる主な
点は、透明な（光透過性の）硬質管７１ｂを継手７１ｃ
でつなぐことにより長尺のチューブ７１を形成し、継手
７１ｃにストッパ７１ａを形成した点である。

【００４８】即ち、硬質管７１ｂは、通常のガラスや石
英ガラスによって円筒状に形成されたものである。継手
７１ｃは、通常のガラスや石英ガラス等による透明な
（光透過性の）材料で形成されたものであり、硬質管７
１ｂの外周面に嵌まる筒部７１ｄと、この筒部７１ｄの
軸方向の中央に設けられたストッパ７１ａとによって一
体に形成されている。ストッパ７１ａは、硬質管７１ｂ
の端面を保持するようにもなっている。また、ストッパ
７１ａの中央に開けられた円形の絞り孔７１ｅは、球状
のフロート７２が通過不能な大きさの径に形成されてい
る。ただし、絞り孔７１ｅには、球状のフロート７２が
当接した状態においても、薬液の流れが可能なように複
数の溝７１ｆが形成されている。そして、硬質管７１ｂ
と継手７１ｃとは、接着剤によって固定されている。

【００４９】また、取付手段７６の円形孔７６ｃは、継
手７１ｃの外周面に嵌合する径に形成されている。

【００５０】上記のように構成された液面検出装置７０
においては、透明な硬質管７１ｂ及び継手７１ｃを介し
て、フロート７２を検出することができる。また、硬質
管７１ｂの長さを変えることにより、ストッパ７１ａの
位置を自由に変更することができる。しかも、硬質管７
１ｂとしてはガラス等の硬質のものを使用することがで
きるので、より高温の液体の液面検出にも利用すること
ができる。

【００５１】なお、上記継手７１ｃは、ステンレス等の
耐食性を有する不透明な材料で形成してもよい。ただ
し、この場合には、図１７（ａ）に示すように、位置セ
ンサ７が通過可能な大きさの孔７１ｇか、位置センサ７
の光が通過可能な大きさの孔を継手７１ｃに形成する必
要がある。また、図１７（ｂ）に示すように、硬質管７
１ｂに取付手段７６を直接取り付けることによって、上
記のような孔７１ｇ等を形成しなくても、フロート７２
の検出が可能である。ただし、位置センサ７がストッパ
７１ａに対して比較的下方の位置に配置されることにな
るので、フロート７２を第２実施形態で示したもの（図
１１参照）と同様に長尺のもので形成することにより、
ストッパ７１ａによって停止したフロート７２を確実に
検出することができるようにする必要がある。

【００５２】また、上記各実施形態においては、フロー
ト７２として、球状のものや両端球形の円柱状のものを
示したが、図１８（ａ）に示す円柱状のものや、図１８
（ｂ）に示す円筒状のものや、図１８（ｃ）に示す周面
に軸方向に延びる複数の溝７２ａを有するものや、図１
８（ｄ）に示す六角柱状のものや、その他の多角柱状の
もので構成してもよい。そして、図１８（ａ）〜（ｄ）
に示すものについては、図１８（ｅ）に示すように、周
面と端面との角部に斜めに傾斜したＣ面取り７２ｂや、
同角部を円弧状に丸めたＲ面取り７２ｃを設けることに
より、ストッパ７１ａに対するダメージを少なくするこ
とが好ましい。また、図１８（ｂ）〜（ｄ）に示すフロ
ート７２については、断面積が小さくなり、フロート７
２を有する部分を薬液が通りやすくなるので、外側タン
ク２内の液面変化に対するチューブ７１内の液面変化の
応答性を向上させることができる。

【００５３】更に、上記各実施形態においては、位置セ
ンサ７として光透過型のものを示したが、この位置セン
サ７は、図１９に示すように、光反射型のもので構成し
てもよい。即ち、図１９に示す位置センサ７は、図１３
に示す光透過型のものを光反射型のものに変更したもの
である。光反射型の位置センサ７は、発光部７Ａから発
した光がフロート７２の表面で反射して受光部７Ｂに入
ることにより、フロート７２を検出するようになってい
る。また、位置センサ７としては、光透過型のものにつ
いても、光反射型のものについても、光量が強いレーザ
ー光を用いたもので構成することが好ましい。

【００５４】また、クリップ７３については、Ｖ字状に
延びる線材部７３ｄの先端部同士を互いに近付けて留め
部７３ｂで固定することにより、またチューブ７１から
の反力により、線材部７３ｄが円弧状に撓むことになっ
てもよい。そして、線材部７３ｄが円弧状に撓んだ場合
には、ストッパ７１ａの断面が楕円形状に近くなるが、
このストッパ７１ａによってもフロート７２の移動を阻
止することができるので全く問題ない。

【００５５】また更に、チューブ７１を、軟質管と、硬
質管７１ｂとを連結したもので構成し、軟質管の部分に
クリップ７３でストッパ７１ａを形成するようにしても
よい。

【００５６】上記各実施形態では、被処理体（ウエハ
等）の洗浄・乾燥処理装置について、液面検出装置７０
のための限られた範囲の説明をしたが、以下に、洗浄・
乾燥処理装置について全体的な説明を行う。

【００５７】上記洗浄・乾燥処理装置２０は、図２０に
示すように、被処理体である半導体ウエハＷ（以下にウ
エハＷという）を保持する回転可能な保持手段例えばロ
ータ２１と、このロータ２１を水平軸を中心として回転
駆動する駆動手段であるモータ２２と、ロータ２１にて
保持されたウエハＷを包囲する複数例えば２つの処理部
｛具体的には第１の処理室，第２の処理室｝の内チャン
バ２３，外チャンバ２４と、これら内チャンバ２３又は
外チャンバ２４内に収容されたウエハＷに対して処理液
例えばレジスト剥離液，ポリマ除去液等の薬液の供給手
段５０、この薬液の溶剤例えばイソプロピルアルコール
（ＩＰＡ）の供給手段６０、リンス液例えば純水等の供
給手段（リンス液供給手段）１１０又は例えば窒素（Ｎ
2）等の不活性ガスや清浄空気等の乾燥気体（乾燥流
体）の供給手段８０｛図２０では薬液供給手段５０と乾
燥流体供給手段８０を示す。｝と、内チャンバ２３を構
成する内筒体２５と外チャンバ２４を構成する外筒体２
６をそれぞれウエハＷの包囲位置とウエハＷの包囲位置
から離れた待機位置に切り換え移動する移動手段例えば
第１，第２のシリンダ２７，２８及びウエハＷを図示し
ないウエハ搬送チャックから受け取ってロータ２１に受
け渡すと共に、ロータ２１から受け取ってウエハ搬送チ
ャックに受け渡す被処理体受渡手段例えばウエハ受渡ハ
ンド２９とで主要部が構成されている。

【００５８】上記のように構成される洗浄・乾燥処理装
置２０におけるモータ２２、処理流体の各供給手段５
０，６０，９０，８０｛図２０では薬液供給手段５０と
乾燥流体供給手段８０を示す。｝の供給部、ウエハ受渡
ハンド２９等は制御手段即ちＣＰＵ３０によって制御さ
れている。

【００５９】また、上記ロータ２１は、水平に配設され
るモータ２２の駆動軸２２ａに片持ち状に連結されて、
ウエハＷの処理面が鉛直になるように保持し、水平軸を
中心として回転可能に形成されている。この場合、ロー
タ２１は、モータ２２の駆動軸２２ａにカップリング
（図示せず）を介して連結される回転軸（図示せず）を
有する第１の回転板２１ａと、この第１の回転板２１ａ
と対峙する第２の回転板２１ｂと、第１及び第２の回転
板２１ａ，２１ｂ間に架設される複数例えば４本の固定
保持棒３１と、図示しないロック手段及びロック解除手
段によって押え位置と非押え位置とに切換移動する一対
の押え棒３２とで構成されている。この場合、モータ２
２は、予めＣＰＵ３０に記憶されたプログラムに基づい
て所定の高速回転と低速回転を選択的に繰り返し行い得
るように制御されている。なお、モータ２２は冷却手段
３７によって過熱が抑制されるようになっている。この
場合、冷却手段３７は、冷却パイプ３７ａと、冷却水供
給パイプ３７ｂと、熱交換器３７ｃとを具備してなる。

【００６０】一方、処理部例えば内チャンバ２３（第１
の処理室）は、第１の固定壁３４と、この第１の固定壁
３４と対峙する第２の固定壁３８と、これら第１の固定
壁３４及び第２の固定壁３８との間にそれぞれ第１及び
第２のシール部材４０ａ，４０ｂを介して係合する内筒
体２５とで形成されている。すなわち、内筒体２５は、
移動手段である第１のシリンダ２７の伸張動作によって
ロータ２１と共にウエハＷを包囲する位置まで移動され
て、第１の固定壁３４との間に第１のシール部材４０ａ
を介してシールされると共に、第２の固定壁３８との間
に第２のシール部材４０ｂを介してシールされた状態で
内チャンバ２３（第１の処理室）を形成する。また、第
１のシリンダ２７の収縮動作によって固定筒体（図示せ
ず）の外周側位置（待機位置）に移動されるように構成
されている。この場合、内筒体２５の先端開口部は第１
の固定壁３４との間に第１のシール部材４０ａを介して
シールされ、内筒体２５の基端部は固定筒体の中間部に
周設された第３のシール部材（図示せず）を介してシー
ルされて、内チャンバ２３内に残存する薬液の雰囲気が
外部に漏洩するのを防止している。なお、内筒体２５
は、耐薬品性及び耐強度性に富むステンレス鋼製部材に
て形成されている。なお、内筒体２５は、ステンレス鋼
の表面に例えばＰＴＦＥやＰＦＡ等のフッ素系合成樹脂
をコーティングあるいは貼着したものや、内筒体２５自
体をＰＴＦＥやＰＦＡ等のフッ素系合成樹脂にて形成す
ることにより、保温性の向上が図れる。

【００６１】また、外チャンバ２４（第２の処理室）
は、待機位置に移動された内筒体２５との間にシール部
材４０ｂを介在する第１の固定壁３４と、第２の固定壁
３８と、第２の固定壁３８と内筒体２５との間にそれぞ
れ第４及び第５のシール部材４０ｄ，４０ｅを介して係
合する外筒体２６とで形成されている。すなわち、外筒
体２６は、移動手段である第２のシリンダ２８の伸張動
作によってロータ２１と共にウエハＷを包囲する位置ま
で移動されて、第２の固定壁３８との間に第４のシール
部材４０ｄを介してシールされると共に、内筒体２５の
先端部外方に位置する第５のシール部材４０ｅを介して
シールされた状態で、外チャンバ２４（第２の処理室）
を形成する。また、第２のシリンダ２８の収縮動作によ
って固定筒体の外周側位置（待機位置）に移動されるよ
うに構成されている。この場合、外筒体２６と内筒体２
５の基端部間には第５のシール部材４０ｅが介在され
て、シールされている。したがって、内チャンバ２３の
内側雰囲気と、外チャンバ２４の内側雰囲気とは、互い
に気水密な状態に離隔されるので、両チャンバ２３，２
４内の雰囲気が混じることなく、異なる処理流体が反応
して生じるクロスコンタミネーションを防止することが
できる。なお、外筒体２６は、内筒体２５と同様に、耐
薬品性及び耐強度性に富むステンレス鋼製部材にて形成
されている。なお、外筒体２６は、内筒体２５と同様
に、ステンレス鋼の表面に例えばＰＴＦＥやＰＦＡ等の
フッ素系合成樹脂をコーティングあるいは貼着したもの
や、内筒体２５自体をＰＴＦＥやＰＦＡ等のフッ素系合
成樹脂にて形成することにより、保温性の向上が図れる
ので好適である。

【００６２】上記のように構成される内筒体２５と外筒
体２６は共に先端に向かって拡開するテーパ状に形成さ
れている。このように内筒体２５及び外筒体２６を、一
端に向かって拡開するテーパ状に形成することにより、
処理時に内筒体２５又は外筒体２６内でロータ２１が回
転されたときに発生する気流が拡開側へ渦巻き状に流
れ、内部の薬液等が拡開側へ排出し易くすることができ
る。また、内筒体２５と外筒体２６とを同一軸線上に重
合する構造とすることにより、内筒体２５と外筒体２６
及び内チャンバ２３及び外チャンバ２４の設置スペース
を少なくすることができると共に、装置の小型化が図れ
る。

【００６３】一方、上記処理液供給手段のうち、薬液例
えばポリマ除去液の供給手段５０は、図２１に示すよう
に、処理部すなわち内筒体２５内に取り付けられる薬液
供給ノズル５１と、薬液供給部５２と、これら薬液供給
ノズル５１と薬液供給部５２とを接続する薬液供給管路
５３を具備してなる。

【００６４】上記薬液供給部５２は、図２２に示すよう
に、薬液供給源３（液供給源）と、この薬液供給源３か
ら供給される新規の薬液を貯留すると共に、処理に供さ
れた薬液を貯留するタンク１０とで主要部が構成されて
いる。タンク１０については、既に説明した通りであ
る。

【００６５】なお、外側タンク２の外方近接部にはそれ
ぞれ光透過型の上限センサ７ａ，秤量センサ（先の説明
では「補充センサ」）７ｂ，ヒータオフ下限センサ（先
の説明では「適量センサ」）７ｃ及び下限センサ７ｄが
配設されており、これらセンサ７ａ〜７ｄはＣＰＵ３０
に接続されている。これらセンサ７ａ〜７ｄのうち、上
限センサ７ａと下限センサ７ｄは、外側タンク２内に貯
留される薬液の上限液面と下限液面を検出し、秤量セン
サ７ｂは、外側タンク２内に実際に貯留されている薬液
の量を検出し、また、ヒータオフ下限センサ７ｃは、ヒ
ータ４による加熱可能な薬液量を検出し得るようになっ
ている。

【００６６】また、内側タンク１内に貯留される薬液
と、外側タンク２内に貯留される薬液は、外側タンク２
の外方近接部に配設される１つのヒータ４によって加熱
・保温されるようになっている。この場合、内側タンク
１内の薬液の温度は、内側タンク薬液温度センサＴａに
よって検出され、外側タンク２内の薬液の温度は、外側
タンク薬液温度センサＴｂによって検出され、また、ヒ
ータ４の温度は、コントロール温度センサＴｃと、オー
バーヒート温度センサＴｄによって検出されるようにな
っている。これら温度センサＴａ〜Ｔｄのうち、外側タ
ンク薬液温度センサＴｂ、コントロール温度センサＴｃ
及びオーバーヒート温度センサＴｄの検出信号を温度制
御部（図示せず）で制御して、外側タンク２内の薬液温
度、ヒータ４の加熱温度を所定温度に設定できるように
なっている。

【００６７】即ち、温度センサＴｂ〜Ｔｄで検出された
検出信号を温度制御部で制御することにより、外側タン
ク２内の薬液の温度Ｔ1を所定温度、すなわち、８０℃
＜Ｔ1＜１５０℃に制御することで、内側タンク１内の
薬液の温度Ｔ０を外側タンク２内の薬液の温度Ｔ1の熱
容量によってＴ1とほぼ等しい温度に設定することがで
きる。

【００６８】一方、処理部すなわち内筒体２５内に取り
付けられる薬液供給ノズル５１と、薬液供給部５２とを
接続する薬液供給管路５３は、図２０及び図２２に示す
ように、内側タンク１内の薬液を処理部側に供給する第
１の供給管路１４ａと、外側タンク２内の薬液を処理部
側に供給する第２の供給管路１４ｂと、これら第１及び
第２の供給管路１４ａ，１４ｂを連結して共通化する主
供給管路１４ｃとで主に構成されている。この場合、第
１の供給管路１４ａには第１の切換開閉弁１５ａが介設
され、第２の供給管路１４ｂには第２の切換開閉弁１５
ｂが介設されている。また、主供給管路１４ｃには例え
ばダイアフラム式の供給ポンプ１６が介設されると共
に、この供給ポンプ１６の吐出側に順次、第３の切換開
閉弁１５ｃ、フィルタ１７、第４の切換開閉弁１５ｄが
介設されている。

【００６９】また、主供給管路１４ｃにおける供給ポン
プ１６の吐出側と外側タンク２とは、第５の切換開閉弁
１５ｅを介設した循環管路１８が接続されており、外側
タンク２内から供給される薬液を循環し得るように構成
されている。

【００７０】また、主供給管路１４ｃにおける供給ポン
プ１６の吐出側｛具体的には供給ポンプ１６と第３の切
換開閉弁１５ｃとの間｝と、第３の切換開閉弁１５ｃの
吐出側と循環管路１８の接続部との間には、主供給管路
１４ｃから分岐され再び主供給管路１４ｃに連結するバ
イパス管路１９が接続されている。このバイパス管路１
９には、第６の切換開閉弁１５ｆ、フィルタ１９ａ及び
第７の切換開閉弁１５ｇが順次介設されている。また、
外側タンク２の開口部２ｂと処理部には、薬液の戻り管
路５６が接続されており、処理部で処理に供された薬液
が外側タンク２内に貯留されて、リサイクルに供される
ようになっている。

【００７１】上記のようにして薬液供給管路５３を形成
することにより、外側タンク２内に貯留された薬液を第
２の供給管路１４ｂ、主供給管路１４ｃ、バイパス管路
１９及び主供給管路１４ｃを介して処理部側に供給する
ことができる。また、内側タンク１内に貯留された薬液
（新液）を第１の供給管路１４ａと主供給管路１４ｃを
介して処理部側に供給することができる。また、ウエハ
Ｗの処理の待機時には、外側タンク２内に貯留された薬
液を循環管路１８を介して循環することができる。

【００７２】なお、外側タンク２の底部には排液開閉弁
５７を介設した排液管路５８が接続されている（図２
２）。

【００７３】一方、薬液の溶剤例えばＩＰＡの供給手段
６０は、図２１に示すように、内筒体２５内に取り付け
られる上記薬液供給ノズルを兼用する供給ノズル５１
（以下に薬液供給ノズル５１で代表する）と、溶剤供給
部６１と、この供給ノズル５１と薬液供給部５２とを接
続するＩＰＡ供給管路６２に介設されるポンプ５４、フ
ィルタ５５、ＩＰＡ供給弁６３を具備してなる。この場
合、溶剤供給部６１は、溶剤例えばＩＰＡの供給源６４
と、このＩＰＡ供給源６４から供給される新規のＩＰＡ
を貯留するＩＰＡ供給タンク６１ａと、処理に供された
ＩＰＡを貯留する循環供給タンク６１ｂとで構成されて
おり、両ＩＰＡ供給タンク６１ａ，６１ｂには、上記内
チャンバ２３の拡開側部位の下部に設けられた第１の排
液ポート４１に接続する第１の排液管４２に図示しない
切換弁（切換手段）を介して循環管路９０が接続されて
いる。図面では、ＩＰＡ供給タンク６１ａ，６１ｂを別
個に配置する場合について説明したが、上記内側タンク
１と外側タンク２と同様に、ＩＰＡ供給タンク６１ａ，
６１ｂを二重槽構造とする方が望ましい。

【００７４】一方、リンス液例えば純水の供給手段１１
０は、図２１に示すように、第２の固定壁３８に取り付
けられる純水供給ノズル１１１と、純水供給源１１２
と、純水供給ノズル１１１と純水供給源１１２とを接続
する純水供給管路１１３に介設される供給ポンプ１１
４、純水供給弁１１５とを具備してなる。この場合、純
水供給ノズル１１１は、内チャンバ２３の外側に位置す
ると共に、外チャンバ２４の内側に位置し得るように配
設されており、内筒体２５が待機位置に後退し、外筒体
２６がロータ２１とウエハＷを包囲する位置に移動して
外チャンバ２４を形成した際に、外チャンバ２４内に位
置して、ウエハＷに対して純水を供給し得るように構成
されている。なお、純水供給ノズル１１１は、外チャン
バ２４に取り付けられるものであってもよい。

【００７５】また、外チャンバ２４の拡開側部位の下部
には、第２の排液ポート４５が設けられており、この第
２の排液ポート４５には、図示しない開閉弁を介設した
第２の排液管４６が接続されている。なお、第２の排液
管４６には、純水の比抵抗値を検出する比抵抗計４７が
介設されており、この比抵抗計４７によってリンス処理
に供された純水の比抵抗値を検出し、その信号を上記Ｃ
ＰＵ３０に伝達するように構成されている。したがっ
て、この比抵抗計４７でリンス処理の状況を監視し、適
正なリンス処理が行われた後、リンス処理を終了するこ
とができる。

【００７６】なお、上記外チャンバ２４の拡開側部位の
上部には、第２の排気ポート４８が設けられており、こ
の第２の排気ポート４８には、図示しない開閉弁を介設
した第２の排気管４９が接続されている。

【００７７】また、乾燥流体供給手段８０は、図２０及
び図２１に示すように、第２の固定壁３８に取り付けら
れる乾燥流体供給ノズル８１と、乾燥流体例えば窒素
（Ｎ2）供給源８２と、乾燥流体供給ノズル８１とＮ2供
給源８２とを接続する乾燥流体供給管路８３に介設され
る開閉弁８４、フィルタ８５、Ｎ2温度調整器８６とを
具備してなり、かつ乾燥流体供給管路８３におけるＮ2
温度調整器８６の二次側に切換弁８７を介して上記ＩＰ
Ａ供給管路６２から分岐される分岐管路８８を接続して
なる。この場合、乾燥流体供給ノズル８１は、上記純水
供給ノズル１１１と同様に内チャンバ２３の外側に位置
すると共に、外チャンバ２４の内側に位置し得るように
配設されており、内筒体２５が待機位置に後退し、外筒
体２６がロータ２１とウエハＷを包囲する位置に移動し
て外チャンバ２４を形成した際に、外チャンバ２４内に
位置して、ウエハＷに対してＮ2ガスとＩＰＡの混合流
体を霧状に供給し得るように構成されている。この場
合、Ｎ2ガスとＩＰＡの混合流体で乾燥した後に、更に
Ｎ2ガスのみで乾燥する。なお、ここでは、乾燥流体が
Ｎ2ガスとＩＰＡの混合流体である場合について説明し
たが、この混合流体に代えてＮ2ガスのみを供給するよ
うにしてもよい。

【００７８】なお、上記薬液供給手段５０、ＩＰＡ供給
手段６０、純水供給手段１１０及び乾燥流体供給手段８
０における供給ポンプ１６，５４、薬液供給部５２の第
１〜第７の切換開閉弁１５ａ〜１５ｇ、温度制御部（図
示せず）、Ｎ2温度調整器８６、ＩＰＡ供給弁６３及び
切換弁８７は、ＣＰＵ３０によって制御されている（図
２０参照）。

【００７９】次に、上記洗浄・乾燥処理装置２０の動作
態様について説明する。まず、搬入・搬出部（図示せ
ず）側からウエハ搬送チャックによって搬送されるウエ
ハＷ又はウエハキャリア内のウエハＷをウエハ受渡ハン
ド２９が受け取り、その後、ウエハ受渡ハンド２９が上
昇して押え棒３２が外方に開いた状態のロータ２１内に
ウエハＷを挿入して固定保持棒３１と閉動作した押え棒
３２に受け渡す。固定保持棒３１と押え棒３２内にウエ
ハＷを受け渡した後、図示しないロック手段が作動して
押え棒３２がロックされる。その後、ウエハ受渡ハンド
２９は元の位置に移動する。

【００８０】上記のようにしてロータ２１にウエハＷが
セットされると、内筒体２５及び外筒体２６がロータ２
１及びウエハＷを包囲する位置まで移動して、内チャン
バ２３内にウエハＷを収容する。この状態において、ま
ず、ウエハＷに薬液を供給して薬液処理を行う。この薬
液処理は、ロータ２１及びウエハＷを低速回転例えば１
〜５００ｒｐｍで回転させた状態で所定時間例えば数十
秒間薬液を供給した後、薬液の供給を停止し、その後、
ロータ２１及びウエハＷを数秒間高速回転例えば１００
〜３０００ｒｐｍで回転させてウエハＷ表面に付着する
薬液を振り切って除去する。この薬液供給工程と薬液振
り切り工程を数回から数千回繰り返して薬液処理を完了
する。

【００８１】上記薬液処理工程において、内側タンク１
及び外側タンク２内に薬液が貯留された状態の通常の処
理では、最初に供給される薬液は、外側タンク２内に貯
留された薬液が使用される。すなわち、第２，第６，第
７及び第４の切換開閉弁１５ｂ，１５ｆ，１５ｇ，１５
ｄが開いた状態で供給ポンプ１６が作動することによ
り、外側タンク２内の薬液は、第２の供給管路１４ｂ、
主供給管路１４ｃ、バイパス管路１９及び主供給管路１
４ｃを流れて処理部側に供給される。この際、供給ポン
プ１６を通過した薬液はフィルタ１９ａによって濾過さ
れ、薬液中に混入する不純物や夾雑物等が除去される。
ある一定時間内最初に使用された薬液は第１の排液管４
２から廃棄される。それ以外の薬液は一定時間処理に供
された後、外側タンク２内に戻されて、以後循環供給さ
れる。

【００８２】所定時間薬液を循環供給して処理を行った
後、内側タンク１内の新規薬液が処理部側に供給されて
薬液処理が終了する。内側タンク１内の新規薬液を処理
部側へ供給する場合には、上記第２，第６及び第７の切
換開閉弁１５ｂ，１５ｆ，１５ｇが閉じ、第１，第３及
び第４の切換開閉弁１５ａ，１５ｃ，１５ｄが開く。こ
の状態で供給ポンプ１６が作動することにより、内側タ
ンク１内の新規薬液は、第１の供給管１４ａ及び主供給
管１４ｃを流れて処理部側に供給される。この際、供給
ポンプ１６を通過した新規薬液はフィルタ１７によって
濾過され、薬液中に混入する不純物や夾雑物等が除去さ
れる。また、前回の処理時に供給され、主供給管路１４
ｃに残留した新規薬液は、次回の新規薬液と共にフィル
タ１７によって濾過される。なお、処理に供された新規
薬液は戻り管路５６を介して外側タンク２内に貯留され
る。

【００８３】上記説明では、内側タンク１内と外側タン
ク２内に薬液が貯留された状態の通常の薬液処理につい
て説明したが、内側タンク１及び外側タンク２内に薬液
が貯留されていない空の状態では、以下のようにして薬
液処理を行う。

【００８４】まず、薬液開閉弁３ａを開いて薬液供給源
３から薬液を内側タンク１内に供給すると共に、内側タ
ンク１からオーバーフロー管路５を介して外側タンク２
内に所定量の薬液を貯留する。そして、処理初期時に、
外側タンク２内の新規薬液を処理部側に供給して最初の
薬液処理を行う。その後は、上記通常の薬液処理と同様
に、外側タンク２内の薬液を循環供給した後、内側タン
ク１内の新規薬液を処理部側に供給して、薬液処理を終
了する。

【００８５】なお、薬液処理工程の際には、薬液処理に
供された薬液は第１の排液ポート４１に排出され、切換
弁（図示せず）の動作によって戻り管路５６を介して薬
液供給部５２に循環又は第１の排液管４２に排出される
一方、薬液から発生するガスは第１の排気ポート４３を
介して第１の排気管４４から排気される。

【００８６】上記のようにして、薬液処理を行った後、
内チャンバ２３内にウエハＷを収容したままの状態で、
ＩＰＡ供給手段６０のＩＰＡの供給ノズルを兼用する薬
液供給ノズル５１から低速回転例えば１〜５００ｒｐｍ
で回転させた状態で所定時間例えば数十秒間ＩＰＡを供
給した後、ＩＰＡの供給を停止し、その後、ロータ２１
及びウエハＷを数秒間高速回転例えば１００〜３０００
ｒｐｍで回転させてウエハＷ表面に付着するＩＰＡを振
り切って除去する。このＩＰＡ供給工程とＩＰＡ振り切
り工程を数回から数千回繰り返して薬液除去処理を完了
する。この薬液除去処理においても、上記薬液処理工程
と同様に、最初に供給されるＩＰＡは、循環供給タンク
６１ｂ内に貯留されたＩＰＡが使用され、この最初に使
用されたＩＰＡは第１の排液管４２から廃棄され、以後
の処理に供されるＩＰＡは供給タンク６１ｂ内に貯留さ
れたＩＰＡを循環供給する。そして、薬液除去処理の最
後に、ＩＰＡ供給源６４から供給タンク６１ａ内に供給
された新規のＩＰＡが使用されて、薬液除去処理が終了
する。

【００８７】薬液処理及びリンス処理が終了した後、内
筒体２５が待機位置に後退して、ロータ２１及びウエハ
Ｗが外筒体２６によって包囲、すなわち外チャンバ２４
内にウエハＷが収容される。したがって、内チャンバ２
３内で処理されたウエハＷから液がしたたり落ちても外
チャンバ２４で受け止めることができる。この状態にお
いて、まず、リンス液供給手段の純水供給ノズル１１１
から回転するウエハＷに対してリンス液例えば純水が供
給されてリンス処理される。このリンス処理に供された
純水と除去されたＩＰＡは第２の排液ポート４５を介し
て第２の排液管４６から排出される。また、外チャンバ
２４内に発生するガスは第２の排気ポート４８を介して
第２の排気管４９から外部に排出される。

【００８８】このようにして、リンス処理を所定時間行
った後、外チャンバ２４内にウエハＷを収容したままの
状態で、乾燥流体供給手段８０のＮ2ガス供給源８２及
びＩＰＡ供給源６４からＮ2ガスとＩＰＡの混合流体を
回転するウエハＷに供給して、ウエハ表面に付着する純
水を除去することで、ウエハＷと外チャンバ２４内の乾
燥を行うことができる。また、Ｎ2ガスとＩＰＡの混合
流体によって乾燥処理した後、Ｎ2ガスのみをウエハＷ
に供給することで、ウエハＷの乾燥と外チャンバ２４内
の乾燥をより一層効率よく行うことができる。

【００８９】上記のようにして、ウエハＷの薬液処理、
薬液除去処理、リンス処理及び乾燥処理が終了した後、
外筒体２６が内筒体２５の外周側の待機位置に後退する
一方、図示しないロック解除手段が動作してウエハ押え
棒３２をウエハＷの押え位置から後退する。すると、ウ
エハ受渡ハンド２９が上昇してロータ２１の固定保持棒
３１にて保持されたウエハＷを受け取って洗浄・乾燥処
理装置２０の上方へ移動する。洗浄・乾燥処理装置２０
の上方へ移動されたウエハＷはウエハ搬送チャックに受
け取られて搬入・搬出部に搬送された後、装置外部に搬
送される。

【００９０】なお、上記洗浄・乾燥処理装置２０では、
被処理体が半導体ウエハＷである場合について説明した
が、ウエハＷ以外の例えばＬＣＤ基板やＣＤ等の被処理
体についても適用できることは勿論である。

【００９１】

【発明の効果】以上に説明したように、この発明の液面
検出装置は、上記のように構成されているので、以下の
ような効果が得られる。

【００９２】（１）請求項１記載の発明によれば、チュ
ーブ内の液面の上昇に伴ってフロートも上昇するが、そ
のフロートはストッパによって上方への移動が阻止され
ることになり、所定の位置より上方に移動することがな
い。また、フロートは、上方への移動の過程において位
置センサによって検出されることになり、ストッパによ
って停止した後も位置センサによって検出され続けるこ
とになる。従って、位置センサによるフロートの検出が
あれば、タンクの液面が所定の位置以上のところにあ
り、同検出がなければ、タンクの液面が所定の位置未満
のところにあると判断することができる。即ち、液面が
所定の位置に対してどの位置にあるかを確実に検出する
ことができる。

【００９３】（２）請求項２記載の発明によれば、スト
ッパ、フロート及び位置センサを複数組設けているの
で、少なくとも各ストッパによって停止しているフロー
トを各位置センサで検出することができる。このため、
例えば下から３番目までの位置センサがフロートを検出
している場合には、この３番目に対応する所定の位置以
上にタンクの液面があると判断することができる。ま
た、全ての位置センサがフロートを検出していなけれ
ば、最下位置の位置センサに対応する所定の位置よりタ
ンクの液面が低いと判断することができる。従って、タ
ンクの液面の位置をより詳細に検出することができる。

【００９４】（３）請求項３記載の発明によれば、チュ
ーブを柔軟性を有するもので構成し、このチューブの一
部を内側に変形させた絞り部によってストッパを構成し
ているので、チューブにおける軸方向の自由な位置にス
トッパを構成することができる。従って、液面の位置が
異なる場合や、タンクが異なる場合等にも対応すること
ができる。

【００９５】（４）請求項４記載の発明によれば、請求
項３記載の発明における絞り部をクリップによって簡単
に形成することができる。従って、ストッパとなる絞り
部をチューブにおける自由な位置により簡単に形成する
ことができる。

【００９６】（５）請求項５記載の発明によれば、チュ
ーブをつなぐ継手にストッパとなる絞り部を形成してい
るので、長さの異なるチューブに代えることにより、ス
トッパの位置を自由に変更することができる。また、チ
ューブとしてはガラス等の硬質のものを使用することが
できるので、比較的高温度の液体の液面検出にも利用す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１実施形態として示した液面検出
装置及びこの液面検出装置を設置するタンクを示す断面
図である。

【図２】同液面検出装置を示す側面図である。

【図３】同液面検出装置を示す図であり、図２のIII矢
視図である。

【図４】同液面検出装置を示す要部正面図である。

【図５】同液面検出装置を示す図であり、図４のＶ矢視
図である。

【図６】同液面検出装置を示す図であり、図４のVI−VI
線に沿う断面図である。

【図７】同液面検出装置におけるストッパの部分を示す
図であり、（ａ）は正面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線
に沿う断面図、（ｃ）は（ｂ）のＣ−Ｃ線に沿う断面図
である。

【図８】同液面検出装置におけるクリップを示す分解正
面図である。

【図９】同液面検出装置における他のクリップを示す正
面図である。

【図１０】同液面検出装置の作用を示す図であり、
（ａ）は下から３番目のストッパまで液面が上昇してい
る状態を示す図であり、（ｂ）は最下位置のストッパま
でしか液面が上昇していない状態を示す図である。

【図１１】この発明の第２実施形態として示した液面検
出装置の要部正面図である。

【図１２】同液面検出装置を示す図であり、図１１のXI
I矢視図である。

【図１３】同液面検出装置を示す図であり、図１１のXI
II−XIII線に沿う断面図である。

【図１４】この発明の第３実施形態として示した液面検
出装置の要部断面図である。

【図１５】同液面検出装置を示す図であり、図１４のXV
矢視図である。

【図１６】同液面検出装置を示す図であり、図１４のXV
I−XVI線に沿う断面図である。

【図１７】同液面検出装置における位置センサの他の例
を示す図であり、（ａ）は第１の他の例を示す断面図、
（ｂ）は第２の他の例を示す断面図である。

【図１８】この発明の各実施形態で示したフロートの他
の例を示す図であり、（ａ）は円柱形状のフロートを示
す斜視図、（ｂ）は円筒形状のフロートを示す斜視図、
（ｃ）は外周に溝を設けたフロートを示す斜視図、
（ｄ）は六角柱状のフロートを示す斜視図、（ｅ）は上
下の端面と側面との角部に斜め直線状のＣ面取りを形成
したフロートの正面図、（ｆ）は上下の端面と側面との
角部に円弧状のＲ面取りを形成したフロートの正面図で
ある。

【図１９】この発明の各実施形態で示した位置センサの
他の例を示す図であり、図１１のXIII−XIII線に相当す
る位置の断面図である。

【図２０】この発明の実施形態として示した各液面検出
装置を適用する洗浄・乾燥処理装置の概略構成図であ
る。

【図２１】同洗浄・乾燥処理装置の概略配管図である。

【図２２】同洗浄・乾燥処理装置の要部を示す概略構成
図である。

【符号の説明】

２外側タンク７位置センサ７１チューブ７１ａストッパ７１ｂ硬質管７１ｃ継手７２フロート７３クリップ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】タンク内の液面位置と同一の液面位置と
なるように、タンク内の液体が導かれた光透過性のチュ
ーブと、このチューブ内に移動自在に設けられ、上記液体より比
重の小さなフロートと、上記チューブの所定の位置に設けられ、上記フロートの
上方への移動を阻止するストッパと、上記フロートを検知する位置センサとを備えてなり、上記位置センサは、少なくともストッパによって停止し
ているフロートを検知する位置に設けられていることを
特徴とする液面検出装置。
【請求項２】請求項１記載の液面検出装置において、ストッパ、フロート及び位置センサは、複数組設けられ
ていることを特徴とする液面検出装置。
【請求項３】請求項１又は２記載の液面検出装置にお
いて、チューブは、柔軟性を有するもので構成され、ストッパは、フロートの移動が不能になる程度まで、チ
ューブの一部を内側に変形させた絞り部によって構成さ
れていることを特徴とする液面検出装置。
【請求項４】請求項３記載の液面検出装置において、チューブの一部を両側から挟んで絞り部を形成するクリ
ップを備えていることを特徴とする液面検出装置。
【請求項５】請求項１又は２記載の液面検出装置にお
いて、チューブは、途中に設けられた継手を介して長く延在し
ており、ストッパは、上記継手における通路をフロートの移動が
不能になる程度まで狭めた絞り部によって形成されてい
ることを特徴とする液面検出装置。