JP3724480B2 - 転動装置 - Google Patents

Description

【０００１】
技術分野
本発明は、転がり軸受、ボールねじ、リニアガイド等の転動装置に関し、特に、半導体製造装置、化学繊維製造機、液晶パネル製造装置、電子線或いはＸ線を用いる機器等での使用に好適な転動装置に関する。
【０００２】
背景技術
玉軸受等の転がり軸受は、その軌道輪や転動体が高炭素クロム軸受鋼、肌焼鋼等の鉄鋼材料から形成されるのが一般的であるが、転がり軸受の使用環境は多種多様である。従って、食品機械や化学繊維製造機のように水や海水をす扱う機械では、軸受内部に侵入した水や海水によって軌道輪や転動体の表面に錆が発生し、使用不能となることがあるため、軌道輪や転動体をＳＵＳ４４０Ｃ等のオーステナイト系ステンレス鋼から形成した転がり軸受が主に使用されている。
【０００３】
このような転がり軸受は、水や海水に対する耐食性は良好であるが、硫酸等の酸性液やアルカリ性液などの化学薬品に対しては耐食性が良好であるとは言い難い。このため、硫酸等の酸性液やアルカリ性液などの化学薬品を扱う機械、例えば半導体製造装置や液晶パネル製造装置などでは、軌道輪がチタン合金で形成された転がり軸受を使用している場合が多い。しかし、チタン合金は通常の溶体化処理や時効処理を施しただけでは表面硬さが不足し、そのままでは転がり軸受の軌道輪材料として使用することができない。このため、チタン合金を転がり軸受の軌道輪材料として用いる場合には、何らかの方法でチタン合金の表面硬さを強化する必要がある。
チタン合金の表面硬さを強化する方法としては、従来、β型チタン合金の表面硬さをＨｖ６００以上の表面硬さに強化する方法が特開平１１−２２３２２１号公報に開示されている。しかしながら、この公報に開示された方法によるとβ型チタン合金のβ相にα相を過剰に析出させねばならず、α相はβ相よりも耐食性に劣るため、使用環境によっては耐食性が不十分となる場合がある。また、上記公報に開示された方法では、冷間加工後にショットピーニングを施す必要があり、冷間加工やショットピーニング等の工程が増えることによりコストアップを招くという問題もある。
【０００４】
また、半導体製造工程で使用される機器、例えば電子ビーム描画装置やウエハ検査装置では、ウエハ上に回路パターンを描画する手段として、従来、レーザ光を使用していたが、回路パターンの微細化に伴い、近年では、レーザ光よりも短波長で高分解能の電子線が使用されるようになってきている。このような電子線を用いた電子ビーム描画装置やウエハ検査装置などでは、周辺磁場に乱れがあると電子線が容易に曲げられてしまい、描画精度や検査精度の低下を招くことがある。従って、このような装置に転がり軸受を用いる場合には、軌道輪の回転によって周辺磁場が乱れることのない転がり軸受は必要とされ、このような要求を満たすため、転がり軸受の軌道輪材料として、非磁性ステンレス鋼やベリリウム銅を用いることが検討されている。
【０００５】
しかし、非磁性ステンレス鋼はその透磁率が１．０４〜１．００２程度であるため、転がり軸受の軌道輪材料として非磁性ステンレス鋼を用いた場合には、軌道輪が僅かに磁化するだけでも周辺磁場に乱れを生じさせる可能性がある。一方、ベリリウム銅はその透磁率が１．００１以下であり、非磁性ステンレス鋼のように周辺磁場に乱れを生じさせる可能性は低いが、ベリリウム銅を構成する元素やその化合物の一部が環境負荷物質と認識されているため、使用に際して制約を受けることがある。また、今後、更に環境問題が重視されることが予測され、ベリリウム銅そのものの使用が制限される可能性もある。さらに、ベリリウム銅は最大硬さがＨｖ４００程度であり、高負荷の使用では早期摩耗が生じ易いという問題もある。
【０００６】
本発明の目的
本発明の第１の目的は、より腐食性の強い環境下でも長期にわたって良好に使用できる転動装置を提供することである。
【０００７】
本発明の第２の目的は、硫酸等の強酸性液や強アルカリ性液を扱う機械での使用に好適な転動装置を提供することである。
【０００８】
本発明の第３の目的は、非磁性が要求される環境下でも長期にわたって良好に使用できる転動装置を提供することである。
【０００９】
本発明の第４の目的は、ウエハ検査装置や核磁気共鳴診断装置のような、電子線あるいはＸ線を用いる機器での使用に好適な転動装置を提供することである。
【００１０】
本発明の第５の目的は、グリース等の潤滑剤を使用できない環境下でも長期にわたって良好に使用できる転動装置を提供することである。
【００１１】
本発明の概要
第１の本発明に係る転動装置は、軌道面をそれぞれ有する外方部材及び内方部材と、前記外方部材及び内方部材の軌道面間に配置され、前記外方部材または内方部材の回転もしくは直線運動により前記軌道面上を転動する転動体とを備えた転動装置であって、前記外方部材および／又は内方部材がω相を有するβ型チタン合金、ω相を有するnearβ型チタン合金、ω相を有するα＋β型チタン合金のいずれか１種類のチタン合金から構成され、かつ前記ω相の結晶粒子の大きさが１μｍ以下であることを特徴とする。
第２の本発明に係る転動装置は、軌道面をそれぞれ有する外方部材及び内方部材と、前記外方部材および前記内方部材の軌道面間に配置され、前記外方部材または内方部材の回転もしくは直線運動により前記軌道面上を転動する転動体と、前記外方部材と内方部材との間に形成された開口を遮蔽するシールド板とを備えた転動装置であって、前記外方部材および／又は内方部材がβ型チタン合金、 near β型チタン合金、α＋β型チタン合金のいずれか１種類のチタン合金から構成され、かつ前記シールド板が純度９９．５％以上のチタンから形成されていることを特徴とする。
【００１２】
本発明の好適な実施態様において、前記外方部材および／又は前記内方部材はＨｖ４００以上でＨｖ６００未満の軌道面硬さを有している。また、外方部材および／又は内方部材はＨｖ４２０以上、好ましくはＨｖ４５０以上の芯部硬さを有する共に酸素化合物層を表面に有し、該酸素化合物層はルチル型ＴｉＯ₂を含むチタン酸化物からなり且つ２０ｎｍ以上、好ましくは５０ｎｍ以上の厚さを有している。
【００１３】
本発明の好適な実施態様において、転動体はチタン合金、窒化珪素、炭化珪素、ジルコニア系セラミックス、アルミナ系セラミックス、サイアロン系セラミックスのうちいずれか１種類の材料から構成される。
【００１４】
本発明の別の好適な実施態様において、転動装置は転動体を保持する保持器をさらに備え、該保持器は２０Ｗ／（ｍ・K）以上の熱伝導率を有している。また、保持器は、好ましくは、銅、テルル銅、黄銅、アルミ青銅、リン青銅、洋白、キュプロニッケル、ベリリウム銅のうちいずれか１種類の材料から構成される。
【００１５】
本発明の別の好適な実施態様において、外方部材、内方部材、転動体の少なくとも１つがβ型チタン合金、 near β型チタン合金、α＋β型チタン合金のいずれかで構成され、外方部材及び内方部材の軌道面は結晶粒子の大きさが１μｍ以下、好ましくは８００ｎｍ以下、さらに好ましくは１０ｎｍ以下のω相を有している。
【００１６】
本発明の別の好適な実施態様において、外方部材および／又は内方部材は軌道面上に硬質膜を有している。硬質膜はＴｉＮ，ＴｉＣ，ＴｉＣＮ，ＴｉＡｌＮ，ＣｒＮ，ＳｉＣ，ダイヤモンドライクカーボンのうち少なくとも１種類の材料から構成され、硬質膜が形成される軌道面は、Ｈｖ３５０以上、好ましくはＨｖ４５０以上の表面硬さを有している。また、外方部材および／又は内方部材は、前記硬質膜上に０．１μｍ〜１０μｍ、好ましくは０．１μｍ〜５μｍの潤滑性膜を有している。
【００１７】
本発明の別の好適な実施態様において、転動体は超硬合金又はサーメットから構成され、かつ３５Ｗ／（ｍ・K）以上、好ましくは５０Ｗ／（ｍ・K）以上の熱伝導率を有している。
【００１８】
本発明の別の好適な実施態様において、転動体は鉄鋼材料から構成され、かつ耐食性を持つ表面硬化層を軌道面に有し、表面硬化層は、転動体を構成する母材の表面にクロム拡散浸透処理または窒化処理を施して形成されている。
【００１９】
本発明の別の好適な実施態様において、チタン合金は、そのヤング率をＥ（Ｇｐａ）、前記軌道面から転動体直径の２／１００〜５／１００に相当する深さ位置までの最小硬さをＨ（Ｈｖ）としたとき、３．７≦（Ｈ／Ｅ）、好ましくは４．０≦（Ｈ／Ｅ）、さらに好ましくは（Ｈ／Ｅ）≦４．５の条件を満たすチタン合金である。
【００２０】
本発明の別の好適な実施態様において、前記外方部材及び内方部材の線膨張係数α₁ と前記転動体の線膨張係数α₂ との比α₂ ／α₁ が０．４〜１．３の範囲内である。
【００２１】
本発明の別の好適な実施態様において、外方部材と内方部材との間に形成された開口を遮蔽するシールド板は純度９９．５％以上のチタンから形成され、外方部材および内方部材はＴｉＯｘ（ただし、０＜ｘ＜２）からなる酸化被膜を表面に有している。
【００２２】
β型チタン合金およびα＋β型チタン合金は、α相がβ相へ変態する温度付近からチタン合金を溶体化処理して金属組織をほぼβ相にした後、チタン合金に時効処理を施すと、β相にα相が微細に析出することによって硬さが増大する。しかし、α相を時効処理によって析出させた場合には、α相の析出に伴ってβ安定化合金元素がβ相中に濃縮される。このため、α相の析出量が多くなると、α相とβ相の耐食性の違いにより局部的な腐食が起こり易くなる。従って、より腐食性の強い環境下でも好適に使用し得るようにするためには、β型チタン合金あるα＋β型チタン合金中のβ相をある程度残留させる必要があるが、β相はα相に比べ軟質のため、β相の量が多すぎると耐食性は良好となるものの耐摩耗性が不足する。
【００２３】
本発明者らは、チタン合金の溶体化処理及び時効処理について鋭意研究を行ったところ、チタン合金の表面硬さがＨｖ４００以上でＨｖ６００未満となるように、チタン合金に低温酸化処理を溶体化処理後に施すことによって、転がり軸受の軌道輪材料として良好なチタン合金が得られることを見出した。ここで、Ｈｖ４００以上６００未満という硬さは、特殊環境用軸受材料として従来から使用されているＳＵＳ６３０やＹＨＤ５０（商標名）などのステンレス鋼と同程度の硬さであるため、それほど高荷重が負荷されない環境下では、軌道輪受材料として十分に使用可能である。
【００２４】
軌道輪が転動体と接触する部分の表面は接触楕円と呼ばれる楕円形であり、その面積は非常に小さい。このため、軌道輪に応力が加わった場合には接触楕円に非常に大きな面圧が作用する。このことは、転がり軸受の軌道輪がチタン合金（ヤング率：約１１０Ｇｐａ）から形成され、かつ転動体がステンレス鋼（ヤング率：約２００Ｇｐａ）から形成されている場合には、転動体よりも軌道輪のほうが大きく変形し、転動体と接触する接触楕円の面積が大きくなることを意味している。計算上では、チタン合金製軌道輪の接触楕円の面積は、ステンレス鋼製軌道輪のそれよりも大きく、チタン合金製軌道輪の接触楕円における最大接触面圧は、ステンレス鋼製軌道輪のそれよりも０．８倍程度になる。従って、チタン合金製軌道輪は、ステンレス鋼製軌道輪よりも転動体との接触面積が大きくなるため、接触面圧が下がり、転がり疲労が緩和されるので良好である。
【００２５】
しかし、チタン合金製軌道輪の表面硬さがＨｖ４００未満になると、面圧が低くても、摩耗が急激に生じやすくなる。また、ゴミなどの異物が混入した際に圧痕が生じやすくなり、転がり軸受の寿命が短くなる。従って、チタン合金製軌道輪は表面硬さがＨｖ４００以上である必要があるが、より耐摩耗性が要求される場合には、チタン合金製軌道輪の表面硬さをＨｖ４５０以上とすることが好ましい。更に、より耐食性或いは耐摩耗性が要求される場合には、窒化処理或いは酸化処理などの表面硬化熱処理によってチタン合金により高い硬度と耐食性を持たせることができる。
【００２６】
チタン合金の透磁率は１．００１以下であり、この値は、ほぼ完全な非磁性に近い値である。従って、軌道輪の回転によって周辺磁場が影響を受けないので、電子線やＸ線を用いる機器に良好に使用できるが、転動体や保持器が非磁性体でない場合には、これらが磁化することによって前述した装置の精度が低下する原因となる。従って、転動装置にほぼ完全な非磁性が要求される場合には、転動体や保持器の透磁率もチタン合金製軌道輪の透磁率と同様に１．００１以下とする必要がある。
【００２７】
透磁率が１．００１以下の転動体材料としては、チタン合金を始め、窒化珪素、炭化珪素、ジルコニア系セラミックス、アルミナ系セラミックス、サイアロン系セラミックス等のセラミックスあるいはチタン合金などがある。また、透磁率が１．００１以下の保持器材料としては、ポリアミド、フッ素樹脂等の樹脂あるいは黄銅、ＳＵＳ３０４等の非磁性金属などがある。
【００２８】
これらの材料を子細に考察すると、ＳＵＳ３０４に代表されるステンレス鋼製保持器では、プレス加工時の加工誘起変態によってマルテンサイトが形成される。このため、保持器が磁化されやすくなり、保持器の回転によって磁場変動が大きくなる可能性がある。更に、近年では、非磁性ステンレス鋼の比透磁率１．０１〜１．１より低い透磁率、具体的には１．００１程度が要求されており、非磁性ステンレス製保持器の使用が制限される場合もある。従って、転動体をセラミックス製とし、保持器を銅系合金製とすることが望ましい。
【００２９】
チタン合金はほぼ完全な非磁性体であり、セラミックスも完全な非磁性体である。一方、銅合金は非磁性ステンレス鋼よりも透磁率の小さい非磁性材料で、比透磁率が１．００１以下である。このため、磁場環境下で使用しても保持器の回転によって磁場変動が生じないため、非磁性環境下で使用される転動装置の金属製保持器として好適である。
【００３０】
また、潤滑油やグリースを使用できない環境下や電子線機器や半導体製造装置のような非磁性且つ真空環境下で且つグリースを使用できないような状況でも、銅合金は自己潤滑性を有するため、転動体との接触面及び軌道輪案内面での摩擦特性が向上し、摩耗量が少ない。
【００３１】
また、銅合金製の保持器は熱伝導率が大きく、摺動案内面での熱の蓄積が生じないため、凝着摩耗を抑制することができる。さらに、銅合金は放熱性が高く、保持器の回転に伴って放熱が促進され、軸受の温度上昇を抑制することができる。これに対し、軌道輪がチタン合金製、保持器がＳＵＳ３０４等のオーステナイト系非磁性ステンレス鋼製である場合には、ＳＵＳ３０４の熱伝導率と比熱が小さいため、保持器と軌道輪案内面との間の摺動箇所で局部的に著しく温度が上昇し、軌道輪の凝着摩耗が生じやすい。ＳＵＳ３０４等のオーステナイト系非磁性ステンレス鋼の熱伝導率が１６Ｗ／（ｍ・Ｋ）であることから、銅合金製保持器としては２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上、更に望ましくは３５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上の熱伝導率を有する銅合金製保持器とすることが好ましい。
【００３２】
銅合金の種類としては、純銅、テルル銅、黄銅、快削黄銅、高力黄銅、アルミ青銅等の銅合金鋳物、又は純銅、テルル銅、リン青銅、洋白、キュプロニッケルのような展伸用銅合金、或いは析出硬化型のベリリウム銅等、熱伝導率が２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上の銅合金であれば何れも好適に使用できる。但し、純銅あるいはテルル銅のような低合金は、強度や硬さが低いので、特に耐摩耗性を重視する場合には、これらを除いた銅合金を使用するのが望ましい。
【００３３】
酸化処理や窒化処理などの表面処理は、化合層の厚さの確保および侵入した元素の拡散促進のため、６００℃以上の高温での処理が必要とされている。しかし、チタン合金を酸素あるいは酸素元を有するガス中で所定の時間加熱すると、チタンは酸素との親和力が強いため、４００〜６００℃の比較的低い温度でも表面にＴｉＯ₂、Ｔｉ₃Ｏ等の酸素化合物を生成する。
【００３４】
酸化処理によってチタン合金の表面に生成されるＴｉＯ₂等の酸素化合物は、化学的に非常に安定な物質である。一方、チタン合金はその表面が転動体等の摺動により極めて活性になりやすく、それによって凝着摩耗などを生じやすいため、耐摩耗性に劣ると考えられている。しかし、チタン合金に酸化処理を施すことにより表面が化学的に極めて安定した化合物によって覆われるため、表面の活性化が抑制され、その結果として焼付きが起こりにくくなり、摺動性および耐摩耗性が向上する。
【００３５】
また、酸化処理によってチタン合金の表面に形成される酸素化合物層の厚さが２０ｎｍ以上になると、負荷容量が増加し、摺動性および耐摩耗性の効果が著しく向上する。ただし、酸素化合物層の厚さが２０ｎｍ未満であると、耐摩耗性および摺動性を向上させる効果が小さい。よって、酸素化合物層の厚さは２０ｎｍ以上とすることが望ましい。また、より良好な耐摩耗性および摺動性を得るためには、酸素化合物層の厚さを５０ｎｍ以上とすることが好ましい。
【００３６】
チタン合金を７００℃以上の高温で酸化処理すると、チタン合金の表面に生成される酸素化合物層は硬度の高いルチル型ＴｉＯ₂が主となり、酸素化合物層の厚さも増大する。このため、高負荷に対する耐久性は向上するが、その反面、チタン合金の表面粗さが劣化し、軸受の回転トルクが上昇してしまう場合がある。また、ＴｉＯ₂を主成分とする酸素化合物層は脆く、母材から剥離し易い。
【００３７】
一方、チタン合金を４００〜６００℃の低温で酸化処理すると、チタン合金の表面に形成される酸素化合物層は、ルチル型ＴｉＯ₂とＴｉ₃Ｏ等のＴｉＯｘ酸化物（ｘ；０＜ｘ＜２）およびＴｉとが混在する状態になり、ルチル型ＴｉＯ₂を主とする酸素化合物層に比べて緻密となる。このため、酸化処理後の表面粗さが良好になり、その結果として、軸受の回転トルクも低くなり、化合物層の脱離などが生じにくい。
【００３８】
図１０Ａは、β型チタン合金およびα＋β型チタン合金の硬化法として、一般に行われる溶体化処理と時効処理の熱処理工程を示したものであり、この熱処理方法では、チタン合金が急激に酸化しやすいため、高真空雰囲気あるいはアルゴン等の不活性ガス雰囲気で加熱されることが多い。
【００３９】
図１０Ｂは、高温でのガス酸化処理を示したものである。この場合、酸化処理後にそのまま使用される場合が多いが、溶体化処理と時効処理をせずに高温で長時間加熱するため、芯部硬さが低くなり、転がり寿命に悪影響を及ぼす場合がある。また、前述したように表面粗さの劣化や化合物層の脆化を引き起こすおそれもある。
【００４０】
図１０Ｃは、溶体化処理されたチタン合金を４００〜６００℃の低温で酸化処理する方法を示したものである。４００〜６００℃という酸化処理温度は、β型チタン合金およびα＋β型チタン合金を溶体化処理後に時効処理するときの温度と同一温度範囲内にあるため、酸化処理と時効処理を兼ねることができる。そのため、工数増加によるコストアップを招くこともない。
【００４１】
また、時効処理によってチタン合金の表面だけでなく、チタン合金の芯部硬さもＨｖ４２０以上まで向上するため、転がり寿命が向上する。また、処理温度が低いため、熱変形が小さく、軌道輪の寸法精度を低下させる可能性が少ない。ただし、芯部硬さがＨｖ４２０未満であると、表面に酸素化合物層を有していても軸受の転がり寿命を延長させる効果は少ないため、時効処理を兼ねる酸化処理によって得られる芯部硬さをＨｖ４２０以上とすることが望ましい。また、より安定した転がり寿命の延長効果を得るためには、チタン合金の芯部硬さをＨｖ４５０以上とすることが好ましい。
【００４２】
酸化処理を行うガス雰囲気は、酸素あるいは酸素元を有するガス中で行う。例えば、大気中、９０％Ｎ₂＋１０％Ｏ₂ガス中あるいはＡｒガスに所定量のＨ₂Ｏガスを混合させたガス中などである。ただし、酸化処理を施すことによって、表面にルチル型ＴｉＯ₂を含み、厚さが２０ｎｍ以上の酸素化合物層を形成することができれば、酸化処理雰囲気のガスの種類は問わない。また、急激な酸化を防ぐため、加熱炉内を減圧した状態で前記ガスを使用し、酸化処理を行うこともできる。
【００４３】
酸化処理を施すチタン合金としては、溶体化処理と時効処理によって硬度が上昇するα＋β型チタン合金あるいはβ型チタン合金が好適に使用し得る。たとえば、Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ、Ｔｉ−１５Ｖ−３Ｃｒ−３Ｓｎ−３Ａｌ、Ｔｉ−２２Ｖ−４Ａｌ、Ｔｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌなどである。ただし、酸化処理を施すことによって、表面にルチル型ＴｉＯ₂を含み、厚さが２０ｎｍ以上の酸素化合物層を形成し、芯部硬さがＨｖ４２０以上となるチタン合金であれば、種類は問わない。
【００４４】
本発明の説明
添付図面を参照して、本発明の転動装置をより詳細に説明する。
【００４５】
図１は、本発明の一実施形態に係る転がり軸受の断面図である。図１に示される転がり軸受は、呼び番号６００１（内径１２ｍｍ、外径２８ｍｍ、幅８ｍｍ）の玉軸受であって、外輪１、内輪２、転動体３、保持器４及びシール５を備えて構成されている。
【００４６】
軌道輪１，２は、Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ、Ｔｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌ、Ｔｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ等のうちいずれか１種類のチタン合金から形成されている。球状の転動体３は軌道輪１，２の一方が回転すると軌道輪１，２の転動面１ａ，２ａ上を転がり運動する。転動体３は窒化珪素から形成され、転動体３を保持する保持器４はフッ素樹脂から形成されている。
【００４７】
チタン合金からなる軌道輪１，２は、所定の形状に切削加工された後、溶体化処理及び時効処理が施されている。軌道輪１，２の転動面１ａ，２ａは、溶体化処理及び時効処理を施した後に研削加工が施されている。溶体化処理は、チタン合金がＴｉ−６Ａｌ−４Ｖである場合には９５０℃〜１０００℃の温度で、またチタン合金がＴｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３ＡｌまたはＴｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒの場合には８００℃〜８５０℃の温度でチタン合金を１時間保持した後、チタン合金を水冷して溶体化処理を行った。
【００４８】
チタン合金の時効処理は、全て３５０℃〜５００℃、３時間〜４０時間の処理条件で行った。冷却は、通常空冷で行ったが、析出組織を微細にして、硬さを向上させる必要があるチタン合金については、炉冷によって冷却速度を遅くした。また、より均一微細にα相を析出させる必要があるチタン合金については、まず４２５℃、１７時間の条件で時効処理し、さらに４７５℃、７時間の条件で時効処理する、二段時効処理を用いた。
【００４９】
［耐食性試験］
表１に示される軌道輪材料で試験片を作製し、作製した各試験片に対して次のような耐食性試験を行った。すなわち、表１の各試験片を約２５℃の５Ｎ−Ｈ₂ＳＯ₄硫酸液中に浸漬し、硫酸液に浸漬する前と硫酸液に約２４時間浸漬した後の試験片の重量を測定し、硫酸液による重量の減少量を評価した。
【００５０】
【表１】

【００５１】
［転がり寿命試験］
次に、表１に示される材料で試験用の転がり軸受を作製し、作製した各試験軸受に対して、次のような転がり寿命試験を５重量％濃度のＮａＣｌ水溶液中で行った。すなわち、図２に示されるように、試験機の回転軸１３に試験軸受１０をセットした後、試験軸受１０にスプリング１４とワイヤ１５とによって約１９．６Ｎのアキシアル荷重と約４９Ｎのアキシアル荷重を負荷し、この状態でモータ１２により回転軸１３を約１０００ｒｐｍの速度で回転させた。そして、試験軸受の内輪を所定の回数だけ回転させた後、転動面の摩耗量を測定した。
耐食性試験の試験結果（重量減少量）を表１に、また耐食性試験の試験結果とチタン合金の表面硬さとの関係を図３に示す。
【００５２】
表１及び図３からわかるように、本発明の実施例に相当するＮo.１〜６は、比較例であるＮo.６'〜８'に比較して硫酸液中での重量減少量が低い値を示している。これは、Ｎo.６'〜８'は軌道輪がステンレス鋼やベリリウム銅から形成されているのに対し、Ｎo.１〜６は軌道輪がチタン合金から形成されているためである。
【００５３】
また、本発明の実施例に相当するＮo.１〜６は、比較例であるＮo.３'〜５'に比較して硫酸液中での重量減少量が低い値を示している。これは、Ｎo.３'〜５'はチタン合金製軌道輪の表面硬さがＨｖ６００以上であるのに対し、Ｎo.１〜６はチタン合金製軌道輪の表面硬さがＨｖ６００未満のためである。
【００５４】
次に、転がり寿命試験の試験結果（転がり寿命比）を表１に、また転がり寿命試験の試験結果とチタン合金製軌道輪の表面硬さとの関係を図４に示す。なお、表１及び図４の転がり寿命比は、Ｎｏ.１'の転がり寿命を１として評価した場合の比較値である。
【００５５】
表１及び図４からわかるように、本発明の実施例に相当するＮo.１〜６は、比較例であるＮo.１'及び２'に比較して、塩水中での転がり寿命比が高い数値を示している。これは、Ｎo.１'〜２'はチタン合金製軌道輪の表面硬さがＨｖ４００未満であるのに対し、Ｎo.１〜６はチタン合金製軌道輪の表面硬さがＨｖ４００以上のためである。
【００５６】
以上のことから、転がり軸受の軌道輪をチタン合金製とし、軌道輪材料の表面硬さをＨｖ６００未満でＨｖ４００以上とすることにより、塩水や硫酸等の腐食性流体に対して耐食性が要求される環境下でも長期にわたって好適に使用できる転がり軸受を得られることがわかる。
【００５７】
［磁束密度変化測定試験］
表２Ａ及び表２Ｂに示される材料で試験用の転がり軸受を作製し、作製した各試験軸受に対して次のような磁束密度変化測定試験を行った。すなわち、図５に示されるように、永久磁石１６の磁界中に配置された回転軸１３に試験軸受１０を取り付けた後、回転軸１３を約５００ｒｐｍの速度で回転させ、そのときの磁束密度の変化をテスラーメータ１７で測定した。そして、テスラーメータ１７の出力（図６参照）が最大で０．１ｍＴ以上になったものを磁束密度の変化が有りとし、０．１ｍＴ未満のものを磁束密度の変化が無しとした。
【００５８】
磁束密度変化測定試験の試験結果を表２Ａに、また表２Ａに示した材料の透磁率を表２Ｂに示す。
【００５９】
【表２Ａ】

【００６０】
【表２Ｂ】

【００６１】
表２Ａの試験結果からわかるように、本発明の実施例に相当するＮo.１〜６は、比較例であるＮo.１１'及び１４'に比較して磁束密度の変化が小さい。これは、Ｎo.１１'及び１４'は保持器がＳＵＳ３０４で形成されているのに対し、Ｎo.１〜６は保持器が樹脂で形成されているためである。
【００６２】
また、本発明の実施例に相当するＮo.１〜６は、比較例であるＮo.１２'及び１３'に比較して磁束密度の変化が小さい。これは、Ｎo.１２'及び１３'は転動体がＳＵＳ４４０Ｃで形成されているのに対し、Ｎo.１〜６は転動体が窒化珪素等のセラミックスで形成されているためである。
【００６３】
さらに、本発明の実施例に相当するＮo.１〜６は、比較例であるＮo.１５'に比較して磁束密度の変化が小さい。これは、Ｎo.１５'は軌道輪が非磁性ステンレス鋼で形成されているのに対し、Ｎo.１〜６は軌道輪がチタン合金で形成されているためである。
【００６４】
したがって、軌道輪をチタン合金製とし、転動体をセラミックス製とし、保持器を樹脂製とすることにより、軸受の回転によって周辺磁場の磁束密度が大きく変化することがないので、非磁性が要求される環境下での使用に良好な転がり軸受を得られることがわかる。
［保持器摩耗試験］
表３に示される材料で保持器を作製し、これを軌道輪がＴｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌからなり、転動体がＳｉ₃Ｎ₄からなる試験軸受に組み込み、保持器の摩耗試験を実施した。具体的には、回転速度：２００ｒｐｍ、ラジアル負荷荷重：４９．０Ｎ、アキシアル負荷荷重：１９．６Ｎ、真空度：１×１０^-5Ｔｏｒｒ、潤滑：無潤滑の条件で各試験軸受を回転させた。そして、試験軸受を回転させる前の保持器の重量と試験軸受の回転が１×１０⁷に達した時点で保持器の重量とを測定し、その差を保持器の摩耗量として評価した。
【００６５】
【表３】

【００６６】
ここで使用した試験軸受のチタン合金製軌道輪は、Ｈｖ４８０以上の表面硬さを得るために、８００〜８５０℃×１時間の条件で溶体化処理した後、水冷し、次いで４２５℃×２０時間の条件で１回目の時効硬化処理を施し、さらに４７５℃×７時間の条件で２回目の時効硬化処理を施したチタン合金から形成したものである。
【００６７】
表３のＮｏ.３３「エコブラス」は三宝伸銅工業株式会社製の商品名である。
【００６８】
保持器摩耗試験の試験結果（摩耗比）を表４に示す。表４における各保持器のの摩耗比は、Ｎo.２１'の摩耗量を１として評価した場合の比較値である。
【００６９】
【表４】

【００７０】
表４の試験結果からわかるように、本発明の実施例に相当するＮo.２１〜３５は、比較例であるＮo.２１'に比較して摩耗比が低い値を示している。これは、Ｎo.２１'は保持器材料（ステンレス鋼）の熱伝導率が２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）未満であるのに対し、Ｎo.２１〜３５は保持器材料（銅合金）の熱伝導率が２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上のためである。
【００７１】
また、本発明の実施例に相当するＮo.２１〜３５は、比較例であるＮo.２２'に比較して磁束密度の変化が小さい。これは、Ｎo.２２'は保持器材料の比透磁率が１．００１を超える値であるのに対し、Ｎo.２１〜３５は保持器材料の比透磁率が１．００１以下のためである。
【００７２】
したがって、保持器材料の熱伝導率を２０Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上とし、かつ保持器材料の比透磁率を１．００１以下とすることにより、グリース等の潤滑剤を使用できず、かつ非磁性が要求される環境下でも好適に使用できる転がり軸受を得ることができる。
【００７３】
［摩耗評価試験］
表５に示される材料で直径５０ｍｍの円板状試験片を作製し、各試験片に対して摩耗評価試験を実施した。具体的には、図７に示すように、円板状試験片３３の表面に負荷荷重を窒化珪素製転動体３１を介して負荷し、試験片３３への負荷荷重を２０Ｎ〜９０Ｎの範囲で徐々に上昇させながら黄銅製保持器３２を１０００ｒｐｍの速度で回転させた。そして、保持器３２の回転抵抗が０．６９Ｎ・ｍに達した時点での負荷荷重を焼付荷重として評価すると共に試験片表面の最大摩耗痕深さを測定した。このとき、負荷荷重が９８Ｎを超えても保持器３２の回転抵抗が０．６９Ｎ・ｍに達しなかった場合には、負荷荷重が９８Ｎに達した時点を保持器３２の回転抵抗として焼付荷重を評価した。
【００７４】
摩耗評価試験によって得られた各試験片の焼付荷重と最大摩耗痕深さを表５に示す。
【００７５】
【表５】

【００７６】
表５の試験結果からわかるように、Ｎo.３６〜４３のチタン合金製試験片は、Ｎo.３６’及びＮo.３９’のチタン合金製試験片に比較して焼付荷重が大きい。これは、Ｎo.３６’及びＮo.３９’のチタン合金製試験片はその表面に酸素化合物層が形成されていないのに対し、Ｎo.３６〜４３のチタン合金製試験片はその表面に酸素化合物層が形成されているためである。
【００７７】
また、Ｎo.３６〜４３のチタン合金製試験片は、Ｎo.３８’のチタン合金製試験片に比較して、負荷荷重が９８Ｎに達した時点での保持器の回転抵抗が小さい。これは、Ｎo.３８’チタン合金製試験片は酸素化合物層がＴｉＯｘ（０＜ｘ＜２）を含んでいないのに対し、Ｎo.３６〜４３のチタン合金製試験片は酸素化合物層がＴｉＯ₂とＴｉＯｘとを含んでいるためである。
【００７８】
さらに、Ｎo.３６〜４３のチタン合金製試験片は、Ｎo.４０’及びＮo.４１’のチタン合金製試験片に比較して焼付荷重が大きい。これは、Ｎo.４０’及びＮo.４１’のチタン合金製試験片は酸素化合物層の厚さが２０ｎｍ未満であるのに対し、Ｎo.３６〜４３のチタン合金製試験片は酸素化合物層の厚さが２０ｎｍ以上であるためである。
【００７９】
また、Ｎo.３６〜４３のチタン合金製試験片は、Ｎo.３７’のチタン合金製試験片に比較して焼付荷重が大きい。これは、Ｎo.３７’のチタン合金製試験片は酸素化合物層の厚さが１１０ｎｍであるのに対し、Ｎo.３６〜４３のチタン合金製試験片は酸素化合物層の厚さが９５ｎｍ以下であるためである。
【００８０】
以上のことから、チタン合金製軌道輪の表面にＴｉＯｘを含む酸素化合物層を形成することにより、チタン合金製軌道輪の耐摩耗性を高められることがわかる。また、酸素化合物層の厚さを２０ｎｍ以上で９５ｎｍ以下することにより、チタン合金製軌道輪の耐摩耗性をさらに高められることがわかる。
【００８１】
表５に示した酸素化合物層の厚さとチタン合金製試験片の最大摩耗痕深さとの関係を図８に示す。同図に示されるように、酸素化合物層の厚さが２０ｎｍ以上になると最大摩耗痕深さが約２μｍ以下となり、酸素化合物層の厚さが５０ｎｍ以上になると最大摩耗痕深さが約１μｍ以下となる。したがって、酸素化合物層の厚さを２０〜９５ｎｍ、好ましくは５０〜９５ｎｍとすることにより、チタン合金製軌道輪の耐摩耗性をより高めることができる。
【００８２】
［転がり寿命試験］
表６に示される材料で軌道輪を作製し、これを転動体がＳｉ₃Ｎ₄からなり，保持器がフッ素樹脂からなる試験軸受に組み込み、転がり軸受の水中転がり寿命試験をラジアル荷重：９８Ｎ、アキシアル荷重：２０Ｎ、回転速度：１０００ｒｐｍ、潤滑：無潤滑の条件で行った。
上記の水中転がり寿命試験によって得られた各試験軸受の転がり寿命を表６に示す。表６の転がり寿命比は、Ｎｏ.４４'の転がり寿命を１として評価した場合の比較値である。
【００８３】
【表６】

【００８４】
表６の試験結果からもわかるように、Ｎｏ.３６〜４３の試験軸受は、Ｎｏ.３６'及びＮｏ.３９'の試験軸受に比較して、転がり寿命比が高い値を示している。これは、Ｎｏ.３６'及びＮｏ.３９'の試験軸受はチタン合金製軌道輪の表面に酸素化合物層が形成されていないのに対し、Ｎo.３６〜４３の試験軸受はチタン合金製軌道輪の表面に酸素化合物層が形成されているためである。また、Ｎo.３６〜４３の試験軸受は、Ｎo.３８’の試験軸受に比較して、転がり寿命比が高い値を示している。これは、Ｎo.３８’の試験軸受は酸素化合物層にＴｉＯｘ（０＜ｘ＜２）が含まれていないのに対し、Ｎo.３６〜４３の試験軸受は酸素化合物層にＴｉＯｘ（０＜ｘ＜２）が含まれているためである。さらに、Ｎo.３６〜４３の試験軸受は、Ｎo.４０’及びＮo.４１’の試験軸受は比較して転がり寿命が優れている。これは、Ｎo.４０’及びＮo.４１’の試験軸受は酸素化合物層の厚さが２０ｎｍ未満であるのに対し、Ｎo.３６〜４３の試験軸受は酸素化合物層の厚さが２０ｎｍ以上であるためである。
【００８５】
表６に示した各試験軸受の転がり寿命比とチタン合金製軌道輪の芯部硬さとの関係を図９に示す。同図に示されるように、チタン合金製軌道輪の芯部硬さがＨｖ４２０未満では軸受の転がり寿命が比較値で２．０程度となるが、チタン合金製軌道輪の芯部硬さがＨｖ４２０以上では軸受の転がり寿命が比較値で３．５程度となる。したがって、チタン合金製軌道輪の芯部硬さをＨｖ４２０以上とすることにより、転がり軸受の転がり寿命を高められることがわかる。
【００８６】
次に、表７に示す材料で試験片を作製し、Ｎｏ.１〜１４の試験片に対して同表に示す条件で溶体化処理と時効処理を施した。そして、これらの試験片を用いて、ω相の粒子径の測定、ビッカース硬さ試験、塩水噴霧試験、サバン式摩耗試験を行った。
【００８７】
【表７】

【００８８】
[ω相の粒子径測定]
透過型電子顕微鏡による観察用の試験片を用いて、日本電子（株）製の透過型電子顕微鏡「ＪＥＭ−２０１０」により、暗視野像にて試験片断面の結晶組織を観察し、ω相の粒子径を測定した。観察の結果、チタン合金の結晶組織は、Ｎｏ.１〜１０，１３では、（β＋ω）相または（β＋ω＋α）相となっていたが、Ｎｏ.１１では（β＋α）相となっていた。
【００８９】
［ビッカース硬さ試験］
試験片の断面を鏡面状態に研磨した後、マイクロビッカース硬度測定器により試験片の鏡面に圧子を当て、荷重１００ｇの条件で測定した。
［塩水噴霧試験］
「ＪＩＳ Ｚ２３７１」に準拠し、温度３５℃で５重量％濃度のＮａＣｌ水溶液を用い、１週間経過後の試験片の外観を目視にて観察した。この観察により、錆の発生が認められなかったものを耐食性が良好（○）、錆の発生が認められたものを耐食性が不良（×）と評価した。
【００９０】
［サバン式摩耗試験］
図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、前述のようにして作製した各種合金からなる固定試験片２１と、Ｓｉ₃ Ｎ₄ からなる回転試験片２２とをサバン式摩耗試験機に取り付け、荷重用の重りとバランス用の重りとにより固定試験片２１を回転試験片２２の外周面に押し付けながら、無潤滑で、回転試験片２２を固定試験片２１に対して回転させた。固定試験片２１の寸法は、１９ｍｍ×１９ｍｍ×厚さ３ｍｍであり、リング状の回転試験片２２の寸法は、外径４５ｍｍ、厚さ６ｍｍ、幅６ｍｍである。
【００９１】
回転条件は、押しつけ荷重を３９．２Ｎとし、固定試験片２１に対する回転試験片２２の回転速度を周速度で２．６ｍ／ｓとし、回転試験片２２の回転距離を４００ｍとした。この回転に伴う固定試験片２１の摩耗体積を測定し、各サンプルに付いて、Ｎｏ.１１の摩耗体積を１とした時の比を「摩耗比」として算出した。
これらの試験結果を表８に示す。
【００９２】
【表８】

【００９３】
表８の試験結果からわかるように、本発明の実施例に相当するＮｏ.１〜１０，１３では、粒径が１μｍ以下のω相を有する結晶組織のチタン合金を用いることによって、ω相を有さない結晶組織のチタン合金を用いた場合（Ｎｏ.１１）、ω相の粒径が１μｍを超える場合（Ｎｏ.１２）、およびＢｅ−Ｃｕ合金を用いた場合（Ｎｏ.１５）よりも硬くて耐摩耗性に優れ、耐食性も良好となる。なお、ステンレス鋼を用いた場合（Ｎｏ.１４）は、硬さおよび耐摩耗性は良好であったが、塩水での耐食性に劣っていた。
【００９４】
Ｎｏ.５では、時効処理の温度が４７５℃とω相析出温度より高いが、炉内で徐冷することにより時効処理後の冷却速度を遅くしているため、冷却中の３００〜４５０℃の温度域でω相が析出し、（β＋ω＋α）相になったと考えられる。
【００９５】
Ｎｏ.７および８では、冷間圧延によって多量の塑性歪みがチタン合金に導入されるため、徐冷時にω相の核が多数位置に発生し、冷間圧延をしない場合（Ｎｏ.５）と比較してチタン合金中のω相存在率（体積比）が大きくなる。これにより、より硬さが硬く、耐摩耗性も特に良好であった。
【００９６】
Ｎｏ.１３は、ω相の粒径が１０ｎｍ以下と比較的小さかったため、Ｎｏ.１〜１０よりは硬さおよび耐摩耗性が少し劣るものであったが、転がり軸受の軌道輪や転動体として使用できる範囲内であった。
【００９７】
以上のことから、内輪（軌道部材）２、外輪（軌道部材）１、転動体３、保持器４からなる転がり軸受において、内輪２および外輪１をＮｏ.１〜１０，１３の試験片と同様にして作製することにより、粒子径１μｍ以下のω相を有する結晶組織のチタン合金からなる内輪２および外輪１が得られる。そして、この内輪２および外輪１と、例えばＳｉ₃ Ｎ₄ 等のセラミックス製の転動体３と、必要に応じてプラスチック製等の保持器４を組み合わせることにより、腐食性環境下や非磁性が要求される環境下での用途に好適な転がり軸受が得られる。
【００９８】
図１２は、本発明の他の実施形態である深溝玉軸受（軸受型番：６０８）の断面図である。同図において、外輪１及び内輪２は、Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ等のα＋β型チタン合金またはＴｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌ、Ｔｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌ等のα＋β型チタン合金から形成されている。外輪１と内輪２との間に配設された転動体３は、窒化珪素、炭化珪素、ジルコニア、アルミナ等のセラミックスから形成されている。転動体３が転動する軌道輪１，２の軌道面には、硬質膜６が形成されている。この硬質膜６はＴｉＮ、ＣｒＮ，ＴｉＡｌＮ、ダイヤモンドライクカーボン等からなり、硬質膜６の表面には二硫化モリブデン、二硫化タングステン、官能基を有する含フッ素重合体等からなる潤滑性膜７が形成されている。
【００９９】
前記チタン合金は、ビッカース硬さＨｖ３５０以上の硬さを得るために、所定の形状に切削加工された後、第１または第２の方法により硬化処理が施されている。
【０１００】
第１の方法はチタン合金に溶体化処理及び時効処理を施してＨｖ３５０以上の硬さを得る方法であり、第２の方法はチタン合金にガス窒化処理を施してＨｖ３５０以上の硬さを得る方法である。
【０１０１】
第１の方法において、チタン合金がＴｉ−６Ａｌ−４Ｖである場合は、チタン合金を９５０〜１０００℃の温度雰囲気中に約１時間置き、その後、チタン合金を水冷して溶体化処理を行う。また、チタン合金がＴｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３ＡｌまたはＴｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌである場合は、チタン合金を８００〜８５０℃の温度雰囲気中に約１時間置き、その後、チタン合金を水冷して溶体化処理を行う。
【０１０２】
チタン合金のβ相から硬度の高いα相を析出させる場合には、溶体化処理を行った後、チタン合金を３５０〜５００℃の温度雰囲気中に約３〜４０時間置き、チタン合金を時効処理する。時効処理の時間を調整することによって、チタン合金の硬さが調整される。時効処理によるチタン合金の冷却は、通常、空冷によって行われるが、チタン合金の硬さをより硬くするためには、β相からα相をより微細に析出させるために、チタン合金を炉内で徐冷するのが望ましい。
【０１０３】
第２の方法でＨｖ３５０以上の硬さを得る場合には、チタン合金表面の酸化を防ぐために、チタン合金を真空状態の炉内で変態点より低い温度で加熱する。このとき、炉内圧力が０．１３３Ｐａを上回ると炉内の残留酸素とチタンとが化学反応してチタン合金の表面に窒化処理を阻害する酸化物膜が生成される。従って、チタン合金を窒化処理してＨｖ３５０以上の硬さを得る場合には、図１３に示すように、炉内圧力を０．１３３Ｐａ以下とする。
【０１０４】
チタン合金の窒化処理温度が高いと、チタンと窒素との反応性が良好となる。これに伴いチタン合金内に侵入した窒素の拡散速度も速くなり、その結果として、窒素拡散層がチタン合金の表層部に形成されるが、窒化処理温度が変態点（α相からβ相へ変態する温度）以上であると結晶粒が急激に大きくなり、軌道綸の疲労強度に影響を及ぼす。従って、チタン合金を窒素ガスあるいはＮＨ₃等の処理ガスで窒化処理する場合には、窒化処理温度を変態点より５〜２００℃程度低い温度とする。
【０１０５】
窒素ガスあるいはＮＨ₃等の処理ガスでチタン合金を窒化処理する場合、処理ガスの圧力が高過ぎるとチタン合金表面の窒化が急激に進行し、チタン合金の表面に形成される窒化層が粗くて脆いものとなる。それを避けるためには、炉内のガス圧は、１３３３Ｐａ以下にすることが望ましい。また、冷却時も酸化を防ぐために、所定のガス圧に保持したまま炉内で冷却することが望ましい。
【０１０６】
次に、外輪１及び内輪２の軌道面に硬質膜６を形成する方法について説明する。
【０１０７】
硬質膜６の形成は、アーク蒸着法を利用した被膜処理装置（図１４参照）を用いて行った。具体的には、まず、回転軸４７を有する回転テーブル４２に試験軸受を載置した。次に、真空ポンプ４６により真空槽４１内を排気して圧力を１×１０^-4Ｐａ以下とした状態で、気体導入口４４からＡｒガスを導入しながら１対の陰極４３，４３に対してＤＣバイアスの印加を行うことにより、Ａｒによるイオンボンバードを行い、ワーク４８（外輪１及び内輪２）のクリーニングを行った。
【０１０８】
次に、ワーク４８の温度を４００〜５００℃とし、Ｔｉ系の硬質膜６を設ける場合にはＴｉ材を、Ｃｒ系の硬質膜６を設ける場合にはＣｒ材を、それぞれターゲット４９，５０に取り付けた。そして、回転テーブル４２を回転させながら、ターゲット４９，５０に−２００〜−３００Ｖ，８０〜１５０Ａのバイアスを印加した。
【０１０９】
また、窒化物系の硬質膜６を設ける場合はプロセスガスとして窒素ガス、炭化物系の硬質膜６を設ける場合はプロセスガスとしてメタンガス（ＣＨ₄ ）を、気体導入口４５から導入して、回転テーブル４２を回転させながら、ターゲット４９，５０に同様のＤＣバイアスを印加した。
【０１１０】
このような操作により、外輪１の少なくとも内周面全体と内輪２の少なくとも外周面全体とに、硬質膜６を設けることができた。硬質膜６の膜厚は、処理時間により調整した。
【０１１１】
ガス窒化処理を施したものについては、ガス窒化処理により表面に形成された窒素化合物層を仕上げ研磨により取り除き、窒素拡散層を表出させ表面硬さをＨｖ５５０以上とし、その上層に硬質膜６を形成した。
【０１１２】
硬質膜６を形成する方法は、上記のような方法に限定されるものではなく、例えば、ＨＣＤイオンプレーティング法，スパッタリング法，プラズマＣＶＤ法等を採用してもよい。
【０１１３】
次に、硬質膜の剥離寿命を評価した結果について説明する。使用した軸受は、上記と同様の方法によって製造したスラスト玉軸受（軸受型番：５１３０５）である。
【０１１４】
図１５に示すように、スラスト寿命試験機の回転軸５１に、外輪１，内輪２，転動体３，保持器４を備えるスラスト玉軸受５２を装着し、ハウジング５３内に潤滑油を満たした状態で回転試験を負荷荷重：９８００Ｎ、回転速度：１０００ｒｐｍ、保持器材質：黄銅、転動体材質：窒化珪素、潤滑剤：＃６８タービン油（６８ｃＳｔ／４０℃）の条件で行った。
【０１１５】
外輪１及び内輪２の母材の表面硬さＨｖ、硬質膜の種類、剥離寿命の結果を、それぞれ表９に示す。
【０１１６】
【表９】

【０１１７】
表９の外輪１及び内輪２の母材は、β型チタン合金Ｔｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌである。また、剥離寿命の判定は、加速度ピックアップにより検出した振動レベルが、初期値の５倍に達した時点を寿命とした。そして、生材（硬化処理を施していない母材）にＴｉＮからなる硬質膜を被覆したもの（表９のＮｏ.１'）の寿命を１とした比較値により示した。
【０１１８】
母材の表面硬さＨｖと硬質膜の剥離寿命との関係を図１６に示す。図１６から分かるように、母材の表面硬さがＨｖ３５０以上であると、硬質膜の剥離寿命が向上し、Ｈｖ４５０以上であると、より大きく向上した。
【０１１９】
表９および図１６からわかるように、本発明の実施例に相当するＮｏ.１〜１２は、比較例であるＮｏ.３'及びＮｏ.４'に比較して硬質膜の剥離寿命比が高い値を示している。これは、Ｎｏ.３'及びＮｏ.４'の軸受は硬質膜が形成される軌道面の表面硬さがＨｖ２９０以下であるのに対し、Ｎｏ.１〜１２の軸受は硬質膜が形成される軌道面の表面硬さがＨｖ３５０以上となっているためである。
【０１２０】
表９に示すＮｏ.１〜４とＮｏ.９〜１２とを比較すると、Ｎｏ.１〜４の剥離寿命比はＮｏ.９〜１２の剥離寿命比よりも高い数値を示していることがわかる。これは、Ｎｏ.９〜１２の軸受は軌道面の表面硬さがＨｖ３７６以下であるのに対し、Ｎｏ.１〜４の軸受は軌道面の表面硬さがＨｖ４５０以上となっているためである。
【０１２１】
したがって、硬質膜が形成される軌道面の表面硬さをＨｖ３５０以上、好ましくはＨｖ４５０以上とすることによって、硬質膜の耐久性を高めることができ、硬質膜の早期剥離等を防止できる。
【０１２２】
次に、真空雰囲気での転がり軸受の耐久性を評価した結果について説明する。使用した軸受は、上記と同様の方法によって製造した深溝玉軸受（軸受型番：６０８、内径８ｍｍ×外径２２ｍｍ×幅７ｍｍ）である。
【０１２３】
真空耐久試験装置の真空チャンバ６１内の軸受ハウジング６２に、外輪１，内輪２，転動体３を備える深溝玉軸受１０を装着して（図１７参照）、真空環境下における耐久試験を行った。なお、モータ６３の回転は、磁気シールユニット６４を介して試験軸受１０に導入されるようになっている。また、アキシアル荷重がコイルばね６５により試験軸受１０に負荷され、試験軸受１０の回転トルクは図示しないストレインゲージを貼り付けた板ばね６６により測定されるようになっている。さらに、真空チャンバ６１内の真空排気は、図示しないターボ分子ポンプやイオンポンプ等により行われる。
【０１２４】
このときの試験条件は、下記の通りである。
【０１２５】
アキシアル荷重：４９Ｎ
回転速度 ：１０００ｒｐｍ
真空度 ：１０^-5Ｐａ以下
外輪１及び内輪２の母材の種類、母材に施した硬化処理の種類、母材の表面硬さＨｖ、硬質膜６の種類、潤滑性膜７の種類、転動体３の材質、寿命（真空耐久試験の結果）を、それぞれ表１０に示す。なお、潤滑性膜の種類の欄における「ＤＦＯ」とは、官能基を有する含弗素重合体を意味する。また、寿命は、生材（硬化処理を施していない母材）にＴｉＮからなる硬質膜を被覆したもの（表１０のＮo.３'）の寿命を１とした相対値により示した。
【０１２６】
【表１０】

【０１２７】
表１０からわかるように、本発明の実施例に相当するＮｏ.１３〜２９は、比較例であるＮｏ.３'に比較して真空中での寿命比が高い値を示している。これは、Ｎｏ.３'の軸受は軌道面の表面硬さがＨｖ２９０以下であるのに対し、Ｎｏ.１３〜２９の軸受は軌道面の表面硬さがＨｖ３５０以上となっているためである。また、本発明の実施例に相当するＮｏ.１３〜２９は、比較例であるＮｏ.４'に比較して真空中での寿命比が高い値を示している。これは、Ｎｏ.４'の軸受は潤滑膜がチタン合金製軌道輪の軌道面上に直接形成されているのに対し、Ｎｏ.１３〜２９の軸受は潤滑膜が軌道面上に形成された硬質膜の表面に形成されているためである。
【０１２８】
したがって、チタン合金製軌道輪の軌道面上に硬質膜を形成し、この硬質膜の表面に潤滑膜を形成することによって、グリース等の潤滑剤が使用できない真空雰囲気でも長期にわたって良好に使用できる転がり軸受を得られることがわかる。
【０１２９】
母材としては、α＋β型チタン合金であるＴｉ−６Ａｌ−４Ｖと、β型チタン合金であるＴｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌ及びＴｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒとを用いているが、母材の表面硬さをＨｖ３５０以上、好ましくはＨｖ４５０以上にできるのであれば、チタン合金の種類は前記のものに限定されず、他の種類のチタン合金も使用可能である。
【０１３０】
チタン合金製軌道輪の溶体化処理条件と時効処理条件を表１１に示す。
【０１３１】
【表１１】

【０１３２】
［真空回転試験］
表１１に示されるチタン合金製軌道輪と表１２に示す材料からなる転動体とを用いて試験軸受を作製し、各試験軸受に対して真空下での耐摩耗性試験を行った。具体的には、各試験軸受に対して真空下で回転試験をアキシアル荷重：１９．６Ｎ、回転速度：１０００ｒｐｍ、潤滑：無潤滑の条件で行い、１×１０⁷ 回転した後の各軌道輪の摩耗量を、Ｎｏ.１'の摩耗量を１とした時の比を「摩耗比」として算出した。
【０１３３】
真空回転試験の試験結果を表１２に示す。
【０１３４】
【表１２】

【０１３５】
表１２に示す各軌道輪の摩耗比は、Ｎｏ.１'の摩耗量を１として評価した場合の比較値である。
【０１３６】
表１２の試験結果からわかるように、本発明の実施例に相当するＮｏ.１〜１２は、比較例であるＮｏ.１'に比較して寿命比が高い値を示している。これは、Ｎｏ.１'の転がり軸受は転動体の材質がＳｉＮ₄であるのに対し、Ｎｏ.１〜１２の転がり軸受は転動体の材質が超硬合金またはサーメットとなっているためである。
【０１３７】
また、Ｎｏ.１〜１２の軸受は、比較例であるＮｏ.２'及びＮｏ.３'に比較して寿命比が高い値を示している。これは、Ｎｏ.２'及びＮｏ.３'の軸受は超硬合金またはサーメットの熱伝導率が３１Ｗ／（ｍ・Ｋ）以下であるのに対し、Ｎｏ.１〜１２の転がり軸受は超硬合金またはサーメットの熱伝導率が３５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上となっているためである。
【０１３８】
したがって、転動体を超硬合金またはサーメットから形成し、かつ超硬合金またはサーメットの熱伝導率が３５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上とすることにより、真空雰囲気でも長期にわたって良好に使用できる転がり軸受を得られることがわかる。
【０１３９】
表１２に示した摩耗比と超硬合金またはサーメットの熱伝導率との関係を図１８に示す。同図に示すように、超硬合金またはサーメットの熱伝導率が５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）に達するまでは熱伝導率が高いほどチタン合金製軌道輪の摩耗比が上昇するが、超硬合金またはサーメットの熱伝導率が５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）を超えると熱伝導率が高くなってもチタン製軌道輪の摩耗比はそれほど上昇しない。
【０１４０】
このことから、転動体を超硬合金またはサーメットから形成する場合には、超硬合金またはサーメットの熱伝導率を３０〜５０Ｗ／（ｍ・Ｋ）の範囲内とすることが望ましい。
【０１４１】
表１３に示す材料で試験用の転がり軸受を作製し、作製した各試験軸受に対して、次のような塩水転がり試験と磁束密度変化測定試験を実施した。なお、表１３の軌道輪材質Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｇは表１１に示した材料であり、また転動体材質ＮＲ８はＷＣ−Ｎｉ系超硬合金、ＮＲ１１はＷＣ−Ｎｉ−Ｃｒ系超硬合金、ＤＵＸ３０はＴｉＣ−ＴａＮ−Ｎｉ−Ｍｏ系サーメットである。
【０１４２】
【表１３】

【０１４３】
［塩水転がり試験］
図２に示す試験装置を用い、各試験軸受に対して５重量％濃度のＮａＣｌ水溶液中での転がり寿命試験を行い、各軌道輪の摩耗比と錆発生の有無を調べた。このときの試験条件は以下の通りである。
【０１４４】
ラジアル荷重：４９．２Ｎ
アキシアル荷重：１９．２Ｎ
回転速度：１０００ｒｐｍ
潤滑：無潤滑
［磁束密度変化測定試験］
図５に示されるように、永久磁石１６の磁界中に配置された回転軸１３に試験軸受１０を取り付けた後、回転軸１３を約５００ｒｐｍの速度で回転させ、そのときの磁束密度の変化をテスラーメータ１７で測定した。そして、図６に示すテスラーメータの出力が最大で０．１ｍＴ以上になったものを磁束密度の変化が有りとし、０．１ｍＴ未満のものを磁束密度の変化が無しとした。
【０１４５】
これらの試験結果を表１３に示す。同表の試験結果からわかるように、本発明の実施例に相当するＮｏ.１〜２６では、塩水による腐食性環境下でも、優れた耐摩耗性を示し、勿論、錆の発生は認められなかった。また、磁束密度の変化も全くないことから、非磁性にも優れていることが確認された。
【０１４６】
超硬合金やサーメットは、セラミックスに相当する高硬度（Ｈｖ９００以上）であり、且つ高融点であるため、潤滑条件が厳しくても、凝着や摩耗が生じにくい。また、高硬度であるために、加工時の塑性変形量が非常に小さく、微小な凹凸が生じにくい。このため、極めて高い精度の転動体を製造し得る。また、靱性については、セラミックスより高いので、製造時に割れや欠けが生じにくく、衝撃荷重に対しても破損しにくい。
【０１４７】
転動体材料として熱伝導率が３５Ｗ／（ｍ・Ｋ）以上の超硬合金やサーメットを用いることで、軌道輪と転動体との接触面での発熱量が抑えられ、チタン合金製軌道輪の凝着摩耗を抑制することができる。また、超硬合金やサーメットはセラミックスに比較してヤング率が大きいので、転動体と軌道輪との接触面積が小さくなり、回転トルクを抑制して回転特性を安定させることができる。
【０１４８】
超硬合金及びサーメットは、周期律表で第IVａ族、第Ｖａ族、第VIａ族に属する９種類の金属、即ちＷ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｎｂ、Ｖ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｔｉの炭化物を対象とし、これら炭化物粉末をＦｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の鉄族金属を用いて焼結結合した合金である。サーメットは、このうち、主にＴｉＣ、ＴｉＮ、或いはＴｉＣＮをＮｉで結合した焼結合金である。
【０１４９】
超硬合金を、合金系で分類すると、ＷＣ−Ｃｏ系、ＷＣ−Ｃｒ₃ Ｃ₂ −Ｃｏ系、ＷＣ−ＴａＣ−Ｃｏ系、ＷＣ−ＴｉＣ−Ｃｏ系、ＷＣ−ＮｂＣ−Ｃｏ系、ＷＣ−ＴａＣ−ＮｂＣ−Ｃｏ系、ＷＣ−ＴｉＣ−ＴａＣ−ＮｂＣ−Ｃｏ系、ＷＣ−ＴｉＣ−ＴａＣ−Ｃｏ系、ＷＣ−ＺｒＣ−Ｃｏ系、ＷＣ−ＴｉＣ−ＺｒＣ−Ｃｏ系、ＷＣ−ＴａＣ−ＶＣ−Ｃｏ系、ＷＣ−Ｃｒ₃ Ｃ₂ −Ｃｏ系、ＷＣ−ＴｉＣ−Ｃｒ₃ Ｃ₂ −Ｃｏ系等がある。また、耐食性を向上させたものには、ＷＣ−Ｎｉ系、ＷＣ−Ｃｏ−Ｎｉ系、ＷＣ−Ｃｒ₃ Ｃ₂ −Ｍｏ₂ Ｃ−Ｎｉ系、ＷＣ−Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−ＴａＣ系、ＷＣ−Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）系、Ｃｒ₃ Ｃ₂ −Ｎｉ系等がある。
【０１５０】
ＷＣ−Ｃｏ系の代表的な組成は、Ｗ：Ｃｏ：Ｃ＝７０．４１〜９１．０６：３．０〜２５．０：４．５９〜５．９４である。ＷＣ−ＴａＣ−ＮｂＣ−Ｃｏ系の代表的な組成は、Ｗ：Ｃｏ：Ｔａ：Ｎｂ：Ｃ＝６５．７〜８６．３：５．８〜２５．０：１．４〜３．１：０．３〜１．５：４．７〜５．８である。ＷＣ−ＴｉＣ−ＴａＣ−ＮｂＣ−Ｃｏ系の代表的な組成は、Ｗ：Ｃｏ：Ｔａ：Ｔｉ：Ｎｂ：Ｃ＝６５．０〜７５．３：６．０〜１０．７：５．２〜７．２：３．２〜１１．０：１．６〜２．４：６．２〜７．６である。ＷＣ−ＴａＣ−Ｃｏ系の代表的な組成は、Ｗ：Ｃｏ：Ｔａ：Ｃ＝５３．５１〜９０．３０：３．５〜２５．０：０．３０〜２５．３３：４．５９〜５．９０である。ＷＣ−ＴｉＣ−Ｃｏ系の代表的な組成は、Ｗ：Ｃｏ：Ｔｉ：Ｃ＝５７．２７〜７８．８６：４．０〜１３．０：３．２０〜２５．５９：５．８８〜１０．１４である。ＷＣ−ＴｉＣ−ＴａＣ−Ｃｏ系の代表的な組成は、Ｗ：Ｃｏ：Ｔａ：Ｔｉ：Ｃ＝４７．３８〜８７．３１：３．０〜１０．０：０．９４〜９．３８：０．１２〜２５．５９：５．９６〜１０．１５である。
【０１５１】
サーメットは、ＴｉＣ−Ｎｉ系、ＴｉＣ−Ｍｏ−Ｎｉ系、ＴｉＣ−Ｃｏ系、ＴｉＣ−Ｍｏ₂ Ｃ−Ｎｉ系、ＴｉＣ−Ｍｏ₂ Ｃ−ＺｒＣ−Ｎｉ系、ＴｉＣ−Ｍｏ₂ Ｃ−Ｃｏ系、Ｍｏ₂ Ｃ−Ｎｉ系、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｍｏ₂ Ｃ−Ｎｉ系、ＴｉＣ−ＴｉＮ−Ｍｏ₂ Ｃ−Ｎｉ系、ＴｉＣ−ＴｉＮ−Ｍｏ₂ Ｃ−Ｃｏ系、ＴｉＣ−ＴｉＮ−Ｍｏ₂ Ｃ−ＴａＣ−Ｎｉ系、ＴｉＣ−ＴｉＮ−Ｍｏ₂ Ｃ−ＷＣ−ＴａＣ−Ｎｉ系、ＴｉＣ−ＷＣ−Ｎｉ系、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−ＷＣ−Ｎｉ系、ＴｉＣ−Ｍｏ系、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｍｏ系等がある。ここで、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｍｏ₂ Ｃ−Ｎｉ系、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−ＷＣ−Ｎｉ系、或いはＴｉ（Ｃ，Ｎ）−Ｍｏ系は、ＴｉＣ−Ｍｏ₂ Ｃ−Ｎｉ系、ＴｉＣ−ＷＣ−Ｎｉ系、或いはＴｉＣ−Ｍｏ系を窒素ガス（Ｎ₂ ）中で焼結した合金である。
【０１５２】
サーメットの代表的な組成は、ＴｉＣ−３０％Ｎｉ、ＴｉＣ−１０％Ｍｏ−３０％Ｎｉ、ＴｉＣ−２０％Ｍｏ−３０％Ｎｉ、ＴｉＣ−３０％Ｍｏ−３０％Ｎｉ、ＴｉＣ−１１％Ｍｏ₂ Ｃ−２４％Ｎｉ、ＴｉＣ−３０％Ｍｏ₂ Ｃ−２０％Ｎｉ、ＴｉＣ−１９％Ｍｏ₂ Ｃ−２４％Ｎｉ、ＴｉＣ−８％Ｍｏ₂ Ｃ−１５％Ｎｉ、Ｔｉ（Ｃ，Ｎ）−２５％Ｍｏ₂ Ｃ−１５％Ｎｉ、ＴｉＣ−１４％ＴｉＮ−１９％Ｍｏ₂ Ｃ−２４％Ｎｉ、ＴｉＣ_0.7 Ｎ_0.3 −１１％Ｍｏ₂ Ｃ−２４％Ｎｉ、ＴｉＣ_0.7 Ｎ_0.3 −１９％Ｍｏ₂ Ｃ−２４％Ｎｉ、ＴｉＣ_0.7 Ｎ_0.3 −２７％Ｍｏ₂ Ｃ−２４％Ｎｉ、ＴｉＣ−２０％Ｍｏ−１５％Ｎｉ、ＴｉＣ−３０％Ｍｏ−１５％Ｎｉ等である。
【０１５３】
なお、転動体の超硬合金やサーメットの成分系を変えることによって、高耐食性、非磁性に対応することができる。また、本発明の転がり軸受を高速回転用として使用する場合には、転動体材料として、密度が小さいサーメットを用いるのが望ましい。また、本発明の転がり軸受に高負荷が負荷される場合や衝撃荷重が付与される場合には、転動体材料として、より高靱性な超硬合金を使用するのが望ましい。
【０１５４】
表１４に示される材料で試験用の転がり軸受（内径：１２ｍｍ、外径：２８ｍｍ、幅：８ｍｍ、玉径：４．７６ｍｍ、玉数：８）を作製し、作製した各試験軸受に対して、次のような耐衝撃性試験と転がり寿命試験を行った。
【０１５５】
【表１４】

【０１５６】
表１４の内輪及び外輪は下記の（i）〜（iv）のいずれかの方法で得られたものである。
【０１５７】
（i）先ず、α＋β型チタン合金であるＴｉ−６Ａｌ−４Ｖからなる素材を、所定形状に切削加工した後、９５０〜１０００℃で１時間保持する溶体化処理を行い、水冷した。次に、４５０℃で２０時間保持した後、２００℃以下になるまで炉内に放置する時効処理を行った。次に、仕上げの研削加工を行った。これにより、β相からなるマトリックスに微細なα相が分散している結晶組織のチタン合金からなり、表面硬さがＨｖ４２５〜４３０である内輪および外輪を得た。
【０１５８】
（ii）先ず、β型チタン合金であるＴｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌからなる素材を、所定形状に切削加工した後、８００〜８５０℃で１時間保持する溶体化処理を行い、水冷した。次に、４２５℃で１７時間保持した後、さらに４７５℃で７時間保持した後、２００℃以下になるまで炉内に放置する時効処理を行った。次に、仕上げの研削加工を行った。これにより、β相からなるマトリックスに（i）の場合よりも微細なα相が分散している結晶組織のチタン合金からなり、表面硬さがＨｖ４７５〜４８０である内輪および外輪を得た。
【０１５９】
（iii）Ｔｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒからなる素材を所定形状に切削加工した後、８００〜８５０℃で１時間保持する溶体化処理を行い、水冷した。次に、４５０℃で２０時間保持した後、２００℃以下になるまで炉内に放置する時効処理を行った。次に、仕上げの研削加工を行った。これにより、β相からなるマトリックスに（i)の場合よりも微細なα相が分散している結晶組織のチタン合金からなり、表面硬さがＨｖ５５０〜５５０である内輪および外輪を得た。
【０１６０】
（iv) 先ず、ＳＵＳ４４０Ｃからなる素材を所定形状に切削加工した。次に、保持温度１０００〜１０５０℃、油温度６０℃の条件で油焼入れを行った後、１５０〜２００℃、２時間の条件で焼き戻しを行った。次に、仕上げの研削加工を行った。これにより、ＳＵＳ４４０Ｃからなり表面硬さがＨｖ６７０〜６７５である内輪および外輪を得た。
【０１６１】
また、転動体は下記の（v）〜（ix）のいずれかの方法で得られたもので、真球度がＪＩＳ等級Ｇ３以上、表面粗さがＲａで０．００３μｍ以下、径相互差が０．０５μｍ以下となるように作製したものである。
【０１６２】
（v）先ず、ＳＵＪ２（高炭素クロム軸受鋼２種）からなる素材を所定形状に切削加工した後、前述のクロム拡散浸透処理（表１４には「クロマイジング」と表記）を９８０〜１０５０℃、１０時間の条件で行った。次に、保持温度８３０〜８５０℃、油温度６０℃の条件で油焼入れを行った後、１５０〜２００℃、２時間の条件で焼き戻しを行った。次に、仕上げの研削加工を行った。これにより、表面に１０〜１５μｍ（玉の直径の２〜３％に相当する寸法）の深さでクロム拡散層が形成され、表面硬さがＨｖ１０５０〜１１００である玉を得た。
【０１６３】
（vi）先ず、１３％Ｃｒステンレス鋼（ＳＵＳ）からなる素材を所定形状に切削加工した。次に、保持温度１０００〜１０５０℃、油温度６０℃の条件で油焼入れを行った後、１５０〜２００℃、２時間の条件で焼き戻しを行った。次に、前述のＮｖ窒化処理（表１４には「Ｎｖ窒化」と表記）を４１０〜４６０℃、２４〜４８時間の条件で行った。次に、仕上げの研削加工を行った。これにより、表面に１０〜１５μｍ（玉の直径の２〜３％に相当する寸法）の深さで窒化層が形成され、表面硬さがＨｖ１２３０〜１３５０である玉を得た。
【０１６４】
（vii）窒化珪素（Ｓｉ₃ Ｎ₄ ）からなる素材を所定形状に切削加工した後、仕上げの研削加工を行った。これにより、表面硬さがＨｖ１４５０〜１５７０である玉を得た。
【０１６５】
（viii）先ず、ＳＵＪ２からなる素材を所定形状に切削加工した。次に、保持温度８３０〜８５０℃、油温度６０℃の条件で油焼入れを行った後、１５０〜２００℃、２時間の条件で焼き戻しを行った。次に、仕上げの研削加工を行った。これにより、ＳＵＪ２からなり表面硬さがＨｖ７３０〜７４０である玉を得た。
【０１６６】
（ix）１３％Ｃｒステンレス鋼からなる素材を所定形状に切削加工した。次に、保持温度１０００〜１０５０℃、油温度６０℃の条件で油焼入れを行った後、１５０〜２００℃、２時間の条件で焼き戻しを行った。次に、仕上げの研削加工を行った。これにより、１３％Ｃｒステンレス鋼からなり、表面硬さがＨｖ７２０〜７３０である玉を得た。
［耐衝撃性試験］
耐衝撃性試験は、次の方法で行った。先ず、各試験軸受を衝撃加速度測定機の回転軸に取り付けた。次に、転がり軸受を取付け、１９．６Ｎの予圧をかけた状態でアキシアル方向に種々の高さ（３０〜１００ｃｍ）から試験軸受を落下させて、落下時の衝撃加速度を加速度計で測定した。また、この落下を行う前と行った後に、試験軸受を回転させてアキシアル振動加速度（Ｇ値）を測定した。
【０１６７】
この測定の後、落下後のＧ値と落下前のＧ値との差が５ｍＧ以上となった最小の落下高さを調べ、その落下高さでの衝撃加速度により耐衝撃性を判定した。表１４の耐衝撃性評価値は、Ｎo.１'の試験結果（落下前後のＧ値の差が５ｍＧ以上となった最小の落下高さでの衝撃加速度）を１として評価した場合の比較値である。
［転がり寿命試験］
試験軸受を下記の条件で回転させながら、転がり軸受に５重量％濃度のＮａＣｌ水溶液を１分毎に1ミリリットル の条件で噴霧した。この回転は、アキシアル振動加速度（Ｇ値）を常時測定しながら行い、Ｇ値が初期値の５倍に達するまでの時間を耐食性転がり寿命とした。表１４の耐食性評価値は、Ｎo.１'の試験結果（Ｇ値が初期値の５倍に達するまでの時間）を１として評価した場合の比較値である。
【０１６８】
＜回転条件＞
ラジアル荷重：７８Ｎ
アキシアル荷重：２０Ｎ
回転速度：１０００ｒｐｍ
これらの結果を表１４に併せて示す。
【０１６９】
表１４の各試験結果からわかるように、本発明の実施例に相当するＮo.１〜６では、比較例であるＮo.１'〜９'に比較して耐衝撃性および耐食性のいずれものが高い値を示した。
【０１７０】
チタン合金としては、β型（nearβ型も含む）または（α＋β）型のものを用いることが好ましい。これらのチタン合金は、α／β変態点直下あるいは直上の温度から溶体化処理を行ってβ相とした後、３５０〜６００℃で時効処理することにより、β相中に微細なα相を析出させる析出硬化によって、硬さをＨｖ４００以上とすることができる。
【０１７１】
転動体としては、次の（ａ）または（ｂ）の構成が好ましい。
【０１７２】
（ａ）高炭素クロム軸受鋼で形成された後に、表面硬化処理としてクロム拡散浸透処理が施されて、耐食性の表面硬化層としてクロム拡散層を有する。
【０１７３】
（ｂ）クロムを３．０重量％以上（好ましくは８．０重量％以上）有する鉄鋼材料で形成された後に、表面硬化処理として窒化処理が施されて、耐食性の表面硬化層として緻密で均一な窒化層を有する。
【０１７４】
（ａ）のクロム拡散浸透処理は例えば次のようにして行う。先ず、高炭素クロム軸受鋼からなる被処理物と、粉末状のクロム（Ｃｒ）、粉末状のアルミナ（Ａｌ₂ Ｏ₃ ）、粉末状の塩化アンモニウム（ＮＨ₄ Ｃｌ）が調合された薬剤とを、鋼製のケースに入れて密閉し、このケースを炉内に入れる。次に、ケース内に水素（Ｈ₂ ）ガスあるいはアルゴン（Ａｒ）を通しながら、炉内を９００〜１１００℃に加熱して所定時間保持する。
【０１７５】
これにより、ケース内で薬剤が反応して塩化クロム（ＣｒＣｌ₂ ）の蒸気が生じる。この塩化クロムが被処理物表面をなす原子と置換反応して、被処理物表面にクロムが拡散浸透する。あるいは、塩化クロムが水素で還元されて析出したクロムが、被処理物表面に拡散浸透する。その結果、被処理物表面にクロム拡散層が形成される。このクロム拡散層は、耐食性を有し、表面硬さはＨｖ１０５０〜１１００となる。
【０１７６】
なお、クロム拡散浸透処理後に徐冷を行うと芯部の硬さは低下するため、この処理後に焼入れおよび焼き戻しを行って芯部を硬くすることが好ましい。
【０１７７】
（ｂ）の窒化処理は例えば次のようにして行う。先ず、クロムを３．０重量％以上（好ましくは８．０重量％以上）有する鉄鋼材料からなる被処理物に対して、例えばフッ化窒素（ＮＦ₃ ）ガスを用いて、２００〜４００℃でフッ化処理を行う。次に、アンモニア（ＮＨ₃ ）ガスを用いて、４００〜５００℃で窒化処理を行う。この方法は、Ｎｖ窒化処理（エアウォーター（株）の登録商標）と称されている。
【０１７８】
この方法では、前処理としてフッ化処理を行うことにより、窒化処理を４００〜５００℃という低温で行っても、非常に緻密で均一な窒化層が形成できる。この窒化層は、耐食性を有し、表面硬さはＨｖ１２３０〜１３５０となる。また、低温で窒化処理を行うことにより、被処理物の表面に微細な変形が生じることを防止できる。そのため、表面硬化処理によって転動体の寸法精度が劣化することが防止される。
【０１７９】
なお、クロムを３．０重量％以上（好ましくは８．０重量％以上）有する鉄鋼材料を使用する理由は、表面硬化層の硬さを、良好な耐摩耗性を得るために必要な硬さとするためである。すなわち、（ｂ）の表面硬化層の硬さは、クロムと窒素が微細なクロム窒化物を形成することによって向上するが、クロムの含有率が３．０重量％未満であると、良好な耐摩耗性を得るために必要な硬さが得られない。
【０１８０】
また、Ｎｖ窒化処理によって粗大な共晶炭化物が生じないようにするために、「〔Ｃ（％）〕≦−０．０５〔Ｃｒ（％）〕＋１．４１」を満たす鉄鋼材料を使用することが好ましい。
【０１８１】
（ａ）および（ｂ）の表面硬化層の厚さ（深さ）は、転動体直径の１．５〜６％に相当する寸法であって、１００μｍ以下にすることが好ましい。
【０１８２】
（ａ）および（ｂ）の処理によって形成された表面硬化層のヤング率は、被処理物であるステンレス鋼や軸受鋼のヤング率（２００〜２１０ＧＰａ）とほぼ同じであって、セラミックスのヤング率２５０〜４００ＧＰａよりも低い。
【０１８３】
本発明の転がり軸受では、特開平１１−２２３２２１号公報に記載の転がり軸受と比較して、転動体と軌道輪との接触面積が大きくなって、接触面圧が小さくなる。そのため、回転時に転動体と軌道輪との間に生じる剪断応力が緩和されて、転がり疲労が生じ難くなる。また、外部から衝撃荷重がかかった時に、転動体および軌道輪に微小な圧痕が生じ難くなる。
【０１８４】
本発明の他の実施形態に係る転がり軸受を図１９に示す。同図に示すように、本実施形態の転がり軸受は、チタン合金からなる軌道輪１，２と、軌道輪１，２間に介挿された転動体３と、軌道輪１，２間に封入されたグリースの漏出あるいは異物侵入等を防止するためのシール５とを備えている。
【０１８５】
軌道輪１，２の素材としては、ヤング率に対する硬さの比（Ｈ／Ｅ）が３．７以上のチタン合金が使用され、３．７≦（Ｈ／Ｅ）を満たすチタン合金であればチタン合金の種類を問わず好適に使用し得る。但し、好ましくは、溶体化処理および時効処理による析出硬化によって、高い硬度が得られるα＋β型あるいはβ型（ｎｅａｒβ型も含む）チタン合金を使用するのがよい。例えば、α＋β型チタン合金Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ、あるいはβ型チタン合金Ｔｉ−２２Ｖ−４Ａｌ、Ｔｉ−１５Ｖ−３Ｃｒ−３Ｓｎ−３Ａｌ、Ｔｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌなどである。
【０１８６】
ここで、例えば、溶体化処理でβ相にし、時効処理によって柔らかいβ相にα相を析出して、少なくとも表面から２〜５％Ｄａ（Ｄａ；転動体直径）までの深さの硬さをＨｖ４２０以上に設定でき、もって（Ｈ／Ｅ）を３．７以上にすることが実現される。
【０１８７】
また、転動体である転動体３は、鉄鋼材料製あるいはセラミックス製の転動体が使用し得る。
【０１８８】
ただし、耐食性が求められる場合には、転動体３として、ステンレス製あるいはセラミックス製の転動体を使用することが好ましい。特に軽量化が求められる場合には、窒化珪素系、炭化珪素系、酸化アルミニウム系あるいは酸化ジルコニウム系などのセラミックス製の転動体を使用することが好ましい。また、激しい衝撃が負荷される場合には、セラミックスよりも靭性に優れヤング率が低い、ＳＵＪ２などの高炭素クロム鋼、ＳＵＳ４４０Ｃ、１３Ｃｒ系などのマルテンサイト系ステンレス鋼あるいは、Ｍ５０に代表される高速度鋼などから構成される鉄鋼材料製の転動体を使用することが好ましい。
【０１８９】
また、封入されるグリースは、使用可能な温度範囲のものであれば、特に限定はなく、使用し得る。
【０１９０】
また、上記シール５は、使用可能な温度範囲のものであれば、材質には特に限定はなく使用し得るが、好ましくは、軌道輪１，２の弾性変形にともない弾性変形しやすいニトリルゴムなどのゴム製シールを使用する。
【０１９１】
次に、上記構成の転がり軸受の作用などについて説明する。
【０１９２】
上記軌道輪１,２は、チタン合金製の軌道輪であるので、ヤング率が低く、弾性変形しやすい。このため、車輪などから軸受に衝撃が伝達した場合には、軌道輪が局部的に弾性変形をし、衝撃を吸収するばねのような役割を果たすため、機器本体に伝達する衝撃は少なくなる。よって、車椅子などの介護支援器具、ローラーブレイドなどのスポーツ器具、あるいは自転車などのように、車輪からの衝撃あるいは振動が、直接機器本体あるいは使用者に伝達するような用途では、本発明に係る転がり軸受を使用することによって、衝撃あるいは振動が緩和されるため、好適に使用し得る。
【０１９３】
さらに、チタン合金とすると共に、ヤング率に対する硬さの比（Ｈ／Ｅ）を３．７以上に設定していることから、耐圧痕性及び転がり寿命が向上する。このため、軸受に衝撃や振動が負荷される場合、あるいは、異物が軸受内に混入するおそれがある場合でも、好適に使用し得る。
【０１９４】
さらにまた、潤滑剤として、グリースを使用することで、当該グリースが振動・衝撃に対しダンパーとして作用することから、さらに衝撃及び振動の緩和、及び耐圧痕性が向上する。
【０１９５】
上記実施形態では、転がり軸受として玉軸受を例示しているが、ころ軸受などであっても構わない。
【０１９６】
以下に示す方法で、本発明に係る転がり軸受を製作した。なお、潤滑剤としてグリースを封入した。
【０１９７】
軌動輪には、α＋β型チタン合金（Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ）またはβ型チタン合金（Ｔｉ−１５Ｖ−３Ｃｒ−３Ｓｎ−３Ａｌ、Ｔｉ−２２Ｖ−４Ａｌ、Ｔｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌ等）のいずれかを用いて、軸受型番６００１の転がり軸受の軌道輪を製作した。旋削加工後に、溶体化処理および時効処理を施し、その後研削加工をした。
【０１９８】
溶体化処理は、次の方法で行った。すなわち、α＋β型チタン合金Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖについては、９５０〜１０００℃の温度で１時間保持した後、水冷することによって溶体化処理を行った。また、β型チタン合金Ｔｉ−１５Ｖ−３Ｃｒ−３Ｓｎ−３Ａｌ、Ｔｉ−２２Ｖ−４ＡｌおよびＴｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌについては、７５０〜８５０℃の温度で１時間保持した後、水冷することによって溶体化処理を行った。
【０１９９】
時効処理に関しては、４００℃〜６００℃の温度で６〜３０時間保持した後、２００℃以下になるまで炉内冷却を施して時効処理を行った。
【０２００】
転動体には、窒化珪素系、炭化珪素系、酸化ジルコニウム系および酸化アルミニウム系からなるセラミックス製の転動体および１３％Ｃｒ系のマルテンサイトステンレス鋼製の転動体を使用した。
【０２０１】
グリースは、鉱油系グリースを使用した。また、シール５はニトリルゴム製シールを使用し、保持器はポリアミド製保持器を使用した。
【０２０２】
また、比較例として、マルテンサイト系ステンレス鋼（ＳＵＳ４４０Ｃ）、及び析出硬化型ステンレス鋼（ＳＵＳ６３０）で、軌道輪を作製した。マルテンサイト系ステンレス鋼（ＳＵＳ４４０Ｃ）は、９００〜９５０℃の温度から油焼入れし、１５０〜２００℃で焼戻しを施した。析出硬化型ステンレス鋼（ＳＵＳ６３０）９２０〜９７０℃の温度から溶体化処理し、４５０〜５００℃で時効処理をした。
【０２０３】
上述の条件で製作した各転がり軸受について、耐圧痕性試験及び転がり寿命試験を行った。
［耐圧痕性試験］
耐圧痕性試験は、チタン合金製外輪１を１／４に切断したものを用いた。１／４に切断された軌道輪（外輪１）の軌道面上に直径４．７６ｍｍの窒化珪素製球状転動体３を押し当て、この状態で転動体３を介して軌道輪１の軌道面に９８０Ｎの荷重を負荷した。そして、負荷荷重が負荷された箇所の軌道面に生じた圧痕の最大深さを測定した。
【０２０４】
耐圧痕性試験の試験結果（圧痕深さ）を表１５に、また耐圧痕性試験の試験結果とＨ／Ｅとの関係を図２０に示す。
【０２０５】
【表１５】

【０２０６】
表１５及び図２０からわかるように、本発明の実施例に相当するＮo.１〜１０では、比較例であるＮo.１'〜４'に比較して、軌道面に生じた圧痕深さが低い値を示している。これは、Ｎo.１'〜４'の軸受は軌道輪材料の硬さとヤング率の比（Ｈ／Ｅ）が２．４〜３．６であるのに対し、Ｎo.１〜１０の軸受は軌道輪材料の硬さとヤング率の比（Ｈ／Ｅ）が３．７以上となっているためである。
［転がり寿命試験］
転がり寿命試験は、次の方法で行った。先ず、回転数：５００ｒｐｍ、ラジアル荷重：６９Ｎ、アキシアル荷重：２０Ｎの条件で内輪を回転させたときの軸受の初期振動値を測定する。次に、転がり軸受を転がり寿命試験機から取り外し、軌道輪の端面を床面に向け、２０Ｎの予圧をかけた状態で軸受を１ｍの高さから落下させる。その後、軸受を再び転がり寿命試験機にセツトし、前記と同じ条件で内輪を回転させたときの軸受の振動値を測定する。そして、その測定値が初期振動値の５倍を超えた時点を転がり寿命と評価した。
【０２０７】
転がり寿命試験の試験結果（転がり寿命比）を表１５に、また転がり寿命試験の試験結果とＨ／Ｅとの関係を図２１に示す。表１５及び図２１の転がり寿命比は、Ｎo.４'の転がり寿命を１として評価したときの比較値である。
【０２０８】
表１５及び図２１からわかるように、本発明の実施例に相当するＮo.１〜１０では、比較例であるＮo.１'〜４'に比較して、転がり寿命比が高い値を示している。これは、Ｎo.１'〜４'の軸受は軌道輪材料の硬さとヤング率の比（Ｈ／Ｅ）が２．４〜３．６であるのに対し、Ｎo.１〜１０の軸受は軌道輪材料の硬さとヤング率の比（Ｈ／Ｅ）が３．７以上となっているためである。
【０２０９】
したがって、チタン合金製軌道輪のＨ／Ｅを３．７≦（Ｈ／Ｅ）とすることにより、チタン合金製軌道輪の耐衝撃性と耐摩耗性を高めることが可能となる。
【０２１０】
また、上述した耐圧痕性試験および転がり寿命試験の試験結果から明らかなように、Ｈ／Ｅが３．７〜４．８の場合と４．８を超える場合とでは効果に大きさ差が認められず、Ｈ／Ｅの値を大きくするためには熱処理やショットピーニングなどの加工を必要とし、その分だけコストの上昇につながるので、チタン合金製軌道輪のＨ／Ｅとしては３．７〜４．８の範囲内が好ましい。
【０２１１】
表１６に示される材料で試験用の転がり軸受を作製し、各試験軸受に対して次のような転がり寿命試験を実施した。すなわち、各試験軸受の内輪をラジアル荷重：４９Ｎ、回転速度：１０００ｍｉｎ^-1の条件で回転させたときの振動値を測定し、その測定値が回転開始直後の初期振動値の２倍に達した時点を軸受の転がり寿命として評価した。このとき、周囲温度を図２２に示すパターンで変化させた。
【０２１２】
なお、軌道輪材料がＴｉ−６Ａｌ−４Ｖである場合には、表１６に示されるように、９２０〜１０００℃の温度で溶体化処理された後、４５０〜５５０℃の温度で５〜２０時間の時効処理が施されたチタン合金を使用した。また、軌道輪材料がＴｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌである場合には、７７０〜８５０℃の温度で溶体化処理された後、４００〜５００℃の温度で１０〜６０時間の時効処理が施されたチタン合金を使用した。さらに、軌道輪材料がＴｉ−２２Ｖ−４Ａｌである場合には、７００〜８００℃の温度で溶体化処理された後、４００〜５００℃の温度で５〜４０時間の時効処理が施されたチタン合金を使用した。溶体化処理での冷却は水冷で行い、時効処理での冷却は炉冷で行った。
【０２１３】
【表１６】

【０２１４】
転がり寿命試験の試験結果（転がり寿命比）を表１６に、また転がり寿命試験の試験結果と表１６に示す線膨張係数比α₂ ／α₁（α₁：軌道輪材料の線膨張係数、α₂：転動体材料の線膨張係数）との関係を図２３に示す。表１６及び図２３の転がり寿命比は、Ｎo.１'の転がり寿命を１として評価した比較値である。
【０２１５】
表１６及び図２３からわかるように、本発明の実施例に相当するＮo.１〜８は、比較例であるＮo.２'及び３'に比較して、転がり寿命比が高い値を示している。これは、Ｎo.２'及び３'は軌道輪材料と転動体材料との線膨張係数比がα₂ ／α₁≧１．４であるのに対し、Ｎo.１〜８は軌道輪材料と転動体材料との線膨張係数比がα₂ ／α₁≦１．３となっているためである。また、本発明の実施例に相当するＮo.１〜８は、比較例であるＮo.１',４'〜６'に比較して、転がり寿命比が高い値を示している。これは、Ｎo. １',４'〜６'は軌道輪材料と転動体材料との線膨張係数比がα₂ ／α₁≦０．３であるのに対し、Ｎo.１〜８は軌道輪材料と転動体材料との線膨張係数比がα₂ ／α₁≧０．４となっているためである。
【０２１６】
したがって、軌道輪材料と転動体材料との線膨張係数比を０．４≦α₂ ／α₁≦１．３とすることにより、周囲温度が大きく変動する環境下でも耐久性の優れた転がり寿命が得られることがわかる。また、軌道輪材料と転動体材料との線膨張係数比を０．４≦α₂ ／α₁≦１．３とすることにより、軸受内部の隙間や予圧および嵌め合い応力等の変化が緩和されるので、周囲温度に変動があっても軸受の回転性能が安定する。
【０２１７】
本発明に係る転がり軸受の他の実施形態を図２４に示す。同図において、転がり軸受は支持すべき軸（図示せず）の外周面に外嵌固定される内輪２と、この内輪２の外周に設けられた外輪１と、この外輪１と内輪２との間に転動自在に配設された複数の球状転動体３と、これらの球状転動体３を軌道輪１１，１２の周方向に対して等間隔に保持する保持器４とを備えている。軌道輪１１，１２の軸方向両端部には、転動体３の両側に形成された開放空間を閉塞するシールド板９が設けられている。
【０２１８】
ここで、内輪２及び外輪１はＨｖ４２０以上の硬さを有するチタン合金（例えばα＋β型チタン合金、Ｎｅａｒβ型チタン合金、β型チタン合金等）からなり、その比透磁率が１．００１以下となっている。また、転動体３は導電性ジルコニア、窒化珪素等のセラミックス、好ましくは導電性セラミックスからなり、その比透磁率が１．００１以下となっている。
【０２１９】
保持器４は、保持器自身に電気絶縁性と自己潤滑性を持たせるために、例えば含フッ素樹脂、ＰＥＥＫ、ＰＥＥＫ−ＰＢＩ、ＰＰＳ、ＴＰＩ、ＰＥＮ、ＰＦＡ、ＥＴＦＥ、ＦＥＰ、ＰＣＴＦＥ、ＥＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ等の樹脂材にＰＴＦＥ、ＭＡＣ、黒鉛、Ｎ−ラウロ・Ｌ−リジン、ｈＢＮ、弗素雲母等の固体潤滑剤を添加して形成されている。
【０２２０】
シールド板９は純度９９．５％以上のチタンからなり、このシールド板９の比透磁率は１．００１以下となっている。また、シールド板９はリング状に形成されており、その外周部には外輪１の内周面に形成されたシールド板保持溝１ａ，１ａに着脱自在に嵌合する嵌合部９ａが形成されている。
【０２２１】
上述のように、内輪２及び外輪１をチタン合金で形成すると共に転動体３をセラミックスで形成すると、内輪２、外輪１及び転動体３の比透磁率が１．００１以下となる。これにより、軸受周辺の磁束密度が内輪２または外輪１の回転によって大きく変化することがないので、ウエハ検査装置などの電子線を使用する機器に好適に使用することができる。また、シールド板９を純度９９．５％以上のチタンで形成すると、シールド板９の比透磁率が１．００１以下となる。これにより、転動体３や保持器４に照射される電子線をシールド板９で遮蔽することが可能となるので、電子線による転動体３のチャージアップを防止してハレーションの発生を防ぐことができる。また、保持器４を樹脂で形成することにより、保持器４の比透磁率が１．００１以下となり、電子線が照射されても保持器４が電子線によってチャージアップされることがないので、ハレーションの発生を防ぐことができる。さらに、保持器４を構成する樹脂中に固体潤滑剤を添加して保持器４に自己潤滑性を付与することにより、保持器自身が潤滑剤として機能するので、潤滑油やグリースの使用が困難な真空雰囲気でも良好に使用することができる。
【０２２２】
表１７に示される材料で試験用の転がり軸受を作製し、作製した各試験軸受に対して、次のような磁束密度変化測定試験と軸受摩耗試験を行った。なお、表１７に示されるチタン合金（内外輪材質）は、表１８に示す条件で溶体化処理と時効処理を施したものを使用した。
【０２２３】
【表１７】

【０２２４】
【表１８】

【０２２５】
［磁束密度変化測定試験］
磁束密度変化測定試験は、次のような方法で行った。すなわち、図５に示されるように、永久磁石１６の磁界中に配置された回転軸１３に試験軸受１０を取り付けた後、回転軸１３を約２００ｒｐｍの速度で回転させ、そのときの磁束密度の変化をテスラーメータ１７で測定した。そして、図６に示すテスラーメータの出力が最大で０．１ｍＴ以上になったものを磁束密度の変化が有りとし、０．１ｍＴ未満のものを磁束密度の変化が無しとした。
［軸受摩耗試験］
軸受摩耗試験は、次のような方法で行った。すなわち、図２５に示すように、シリコンウエハ３３を３個の試験軸受１０で支持し、この状態で電子銃３２からシリコンウエハ３３に電子線を照射しながらシリコンウエハ３３のローディング及びアンローディングを行った。そして、シリコンウエハ３３のローディング・アンローディングを１５万回繰り返し行った後で、試験軸受１０の外輪摩耗量を測定した。また、これと同時に、電子線を照射した場合の転がり軸受部分におけるハレーション発生の有無を検出器３１で確認した。
【０２２６】
磁束密度変化測定試験と軸受摩耗試験の試験結果を表１７に示す。表１７の軸受摩耗試験結果である摩耗比は、Ｎｏ．６'の外輪摩耗量を１として評価した場合の比較値である。
【０２２７】
表１７の試験結果からわかるように、本発明の実施例であるＮｏ．１〜１０は、比較例であるＮｏ．６'と比較して外輪表面の摩耗量が低い値を示している。これは、Ｎｏ．６'は軌道輪がベリリウム銅から形成されているのに対し、Ｎｏ．１〜１０は軌道輪がベリリウム銅よりも硬さの硬いチタン合金から形成されているためである。
【０２２８】
また、本発明の実施例であるＮｏ．１〜１０は、比較例であるＮｏ．４'及び５'と比較して、磁束密度の変化値が小さい値を示している。これは、Ｎｏ．４'及び５'は保持器がＳＵＳ３０４やＳＰＣＣ等の鉄鋼材料から形成されているのに対し、Ｎｏ．１〜１０は保持器がフッ素樹脂等の樹脂から形成されているためである。
【０２２９】
さらに、本発明の実施例であるＮｏ．１〜１０は、比較例であるＮｏ．２'及び３'と比較して、電子線によるハレーションの発生確率が低い値を示している。これは、Ｎｏ．２'及び３'の軸受はシールド板がＳＵＳ３０４やＳＰＣＣ等の鉄鋼材料から形成されているのに対し、Ｎｏ．１〜１０の軸受はシールド板が純度９９．５％以上のチタンから形成されているためである。
【０２３０】
したがって、軌道輪をチタン合金製とし、転動体をセラミックス製とし、保持器を樹脂製とすると共にシールド板を純度９９．５％以上のチタンから形成することによって、耐食性および非磁性が要求される環境下で好適に使用できる転がり軸受を得られることがわかる。
【０２３１】
本発明の実施例であるＮｏ．４，５，８はセラミックス製転動体の表面にＴｉＮ等の硬質被膜を形成した例であり、このようにセラミックス製転動体の表面にＴｉＮ等の硬質被膜を形成することにより導電性を確保できる。
【０２３２】
軌道輪の構成材料として用いられるチタン合金の種類としては、時効処理によって硬化するチタン合金（例えばα＋β型チタン合金、Ｎｅａｒβ型チタン合金、β型チタン合金等）が好ましく、具体的には、Ｔｉ−６Ａｌ−４Ｖ、Ｔｉ−６２４６、Ｔｉ−１５Ｍｏ−５Ｚｒ−３Ａｌ、Ｔｉ−２２Ｖ−４Ａｌ、Ｔｉ−１５Ｍｏ−３Ｃｒ−３Ｓｎ−３Ａｌがあげられる。これ以外にも時効硬化処理によって硬さがＨｖ４２０以上のチタン合金であれば好適に使用できる。
【０２３３】
より優れた耐焼付性と耐摩耗性を必要とする場合には、チタン合金を大気中で加熱して酸化処理を施し、チタン合金の表面にＴｉＯｘ（０＜ｘ＜２）からなる酸化被膜を形成することにより、軌道輪表面の摺動性をさらに向上させることができる。この場合、酸化処理温度としては、時効処理温度である４００〜５００℃にすることによって、時効硬化処理と酸化処理を同時に行えるとともに、この温度範囲で形成される酸化被膜が極めて緻密となり、密着性が向上するので好適である。また、チタン合金を７００〜１０００℃の温度で溶体化処理し、さらに研磨後に酸化処理を施すと、チタン合金製軌道輪の転動面に酸化被膜を形成することが使用できる。この場合、チタン合金製軌道輪の転動面に超仕上げ加工した後、酸化処理を施すと更に良好な摺動性を得ることができる。
【０２３４】
ウエハ検査装置などのように電子線を利用する機器では、周囲雰囲気を１０^-4Ｐａ以上の高真空雰囲気にする必要がある。このため、電子線を利用する機器で使用される転がり軸受では、潤滑剤として潤滑油やグリースを使用できないので、自己潤滑性を有する樹脂で保持器を形成すれば潤滑性を改善でき、転がり軸受の耐摩耗性を向上させることができる。また、保持器を樹脂で形成すると保持器の比透磁率が１．００１以下となり、保持器材料によって磁束密度が大きく変化することもないので、電子線を利用した半導体製造装置用として好適である。
【０２３５】
保持器材料としては、含フッ素樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルエーテルケトンとポリベンゾイゾミダ−ルのコポリマー（ＰＥＥＫ−ＰＢＩ）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）、熱可塑性ポリイミド（ＴＰＩ）、ポリエーテルニトリル（ＰＥＮ）、熱可塑性芳香族ポリアミドイミド、テトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン・エチレン重合体（ＥＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン・ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、クロロトリフルオロエチレン・エチレン共重合体（ＥＣＴＦＥ）、ポリビニリデンフルオライド（ＰＶＤＦ）等が好適である。
【０２３６】
これらの樹脂に添加される固体潤滑剤としては、四弗化エチレン樹脂粉末（ＰＴＦＥ）、黒鉛、六方窒化ホウ素（ｈＢＮ）、フッ素雲母、メラミンシアヌレート（ＭＣＡ）、層状の結晶構造を有するアミノ酸化合物（Ｎ−ラウロ・Ｌ−リジン）、弗化黒鉛、弗化ピッチ、二硫化モリブデン（ＭｏＳ₂）、二硫化タングステン（ＷＳ₂）のうち少なくとも１種類を使用でき、その中でも特に、ＰＴＦＥ、ＭＡＣ、黒鉛、Ｎ−ラウロ・Ｌ−リジン、ｈＢＮ、フッ素雲母を単独または２種類以上を組み合わせたものが潤滑性の点でより好ましい。
【０２３７】
転動体を形成するセラミックスや保持器を形成する樹脂は絶縁材であるため、半導体製造装置のウエハ支持部、特に電子線の近傍の画像として見える範囲内に絶縁体が存在すると、絶縁体である転動体や保持器がチャージアップされ、ハレーションを発生させる。
【０２３８】
また、ウエハを支持する軸受では、軸受自身に導電性がないと、例えば測長ＳＥＭの場合では軸受内部に電流が流れなくなるため、所望の画像が得られない。したがって、転動体の構成材料として用いるセラミックスとしては導電性を有するものが望ましく、具体的には、導電性ジルコニア系のセラミックスが好適である。
【０２３９】
また、窒化珪素系セラミックス、アルミナ系セラミックスのような絶縁性セラミックスの場合には、ＰＶＣ（Ｐhysical Ｖapor Ｄeposition）、ＣＶＤ（Ｃhemical Ｖapor Ｄeposition）等のコーティング処理によって導電性を有するＴｉＮ、ＴｉＣ、ＴｉＣＮ、ＴｉＡｌＮのようなチタン系のセラミックコーティング被膜を転動体の表面に施すとよい。
【０２４０】
一方、保持器に関しては、軸受の導電性には影響しないが、上述したように絶縁体であるので電子線が照射されるとハレーションを発生させる。また、保持器の樹脂材は上述のような被膜処理が困難であるため、転動体のような導電性のセラミックコーティングによってチャージアップを防ぐことはできない。そこで、電子線を利用する機器に使用される転がり軸受を金属製のシールド板を備えたシールドタイプの転がり軸受にすることによって、保持器部分がシールド板によって隠れるため、電子線によるハレーションの発生を防止することができる。
【０２４１】
また、転動体に絶縁性のセラミックスを使用した場合でも、純チタン製のシールド板を使用することによって、周辺磁場に影響を与えることなくハレーションの発生を防止できる。
【０２４２】
シールド板はプレス成形によって製造されるため、室温での塑性加工が必要である。シールド板に使用される材質は、従来、ＳＵＳ３０４に代表されるオーステナイト系のステンレス鋼板、冷間圧延鋼板（ＪＩＳ ＳＰＣＣ、ＳＰＣＤ、ＳＰＣＥ）であるが、いずれも鋼を主体とした材料であるため、比透磁率が１．００１以上であり、周辺磁場に影響を与えてしまう。
【０２４３】
一方、シールド板を純度９９．５％以上のチタンで形成すると、シールド板の比透磁率が１．００１以下となる。これにより、シールド板の回転によって周辺磁場に電子線を曲げるような磁束密度の変化が生じることがないので、電子線発生部近傍で使用する転がり軸受のシールド板として好適である。純チタンは、冷間成形性が極めて良好であるため、薄板の製造が可能であり、さらにプレス成形による加工が可能であるので、シールド板を低コストで製造できる。
【０２４４】
シールド板材料として使用されるチタンとしては、ＪＩＳ １〜４種のいずれも好適に使用することができ、プレス成形性の観点から、不純物含有量が少ない１種、２種が特に好適である。
【０２４５】
上述した本発明に係る転動装置の好適な用途としては、以下の通りである。
［非磁性］
半導体素子の高集積化に伴い、ウエハに形成される集積回路パターンの微細化が進行している。半導体製造装置やウエハ検査装置などは、従来、レーザ光を利用していたが、回路パターンの微細化に伴い高分解能が必要となり、レーザ光よりも短波長で高分解能の電子線を利用した装置へと移行しつつある。
【０２４６】
電子線はわずかな磁場によっても容易に曲げられてしまい、ウエハの描画精度や検査精度を低下させる。このため、電子線を使用することに伴ってウエハの搬送ステージやウエハの支持部等で使用される転がり軸受に非磁性の要求が高まっている。このような電子線を利用した半導体製造装置では、比透磁率が１．０１〜１．１程度の非磁性ステンレス鋼製転がり軸受を使用すると電子線に影響を及ぼす磁場変動が生じてしまうため、比透磁率が１．００１以下のベリリウム銅製転がり軸受を使用している。
【０２４７】
チタン合金は、比透磁率が１．００１以下の完全非磁性材であるので、電子線を利用した半導体製造装置に使用される転がり軸受やリニアガイド等の構成材料として好適である。
【０２４８】
電子線発生源である電子銃近傍で転がり軸受やリニアガイド等を使用する場合には、転がり軸受の回転運動やリニアガイドの直線運動により磁場変動が生じ、これにより電子線が曲げられるので、転がり軸受やリニアガイドの比透磁率を１．００１以下とする必要がある。
【０２４９】
電子線を利用した半導体製造装置としては、具体的には、測長ＳＥＭ、ステッパ、電子ビーム描画装置、ウエハ欠陥検査装置等が挙げられ、上記した装置のウエハ支持するホルダやステージ稼動部などに本発明の転動装置を好適に使用できる。
【０２５０】
また、電子線を利用した計測装置としては、具体的には、電子線マイクロプローブアナライザ（ＥＰＭＡ）の分光結晶の回転部や試料ステージ、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）、集束イオンビームＦＩＢ、透過電子顕微鏡（ＴＥＭ）、ＥＳＣＡ、オージェ電子分析装置等があげられ、電子発生源に近い箇所の稼働部などに本発明の転動装置を好適に使用できる。
【０２５１】
また、磁場を使った半導体製造装置としては、強力な永久磁石により磁場をかけながら電圧を印加する方式のエッチング装置などがあげられ、チャンバ内にウエハを搬送する搬送ロボットアームの関節部等に本発明の転動装置を好適に使用できる。
【０２５２】
強磁界中で使用される転がり軸受、例えばリニアモータカーの超電動マグネット近傍で使用される車軸支承用の転がり軸受は、車軸の回転中は超電動マグネットからの強い磁界を切って回転する。このため、転がり軸受がマルテンサイト鋼などの強磁性体で製作されている場合には、軸受の転動体や軌道輪に渦電流が生じて発熱し、温度上昇に伴って焼付きを生じる恐れがある。
【０２５３】
このような強磁界で使用される軸受は、非磁性とする必要がある。本発明に係る転がり軸受の軌道輪はチタン合金製から形成され、非磁性鋼よりも比透磁率が低い。従って、渦電流の発生が少なく、好適に使用できる。
【０２５４】
核磁気共鳴診断装置に使用される転がり軸受は、軸受の回転に伴う磁場の変動が検査精度を低下させる。本発明に係る転がり軸受のチタン合金製軌道輪は、比透磁率が１．００１以下の完全非磁性であるので、核磁気共鳴診断装置の回転部等に好適に使用できる。
［耐食性］
ウエハ洗浄装置などに使用される転がり軸受、直動案内装置、ボールねじ等の転動装置の場合は、アンモニア溶液等のアルカリ性液や強酸性液が半導体ウエハの洗浄で使用される。そのため、アルカリ性液や強酸性液の飛散、或いはそれらの蒸気中に暴露されることによる半導体製造工程への不純物の混入が重要な問題となっている。また、エッチング装置は腐食性ガスを使用するので、耐食性が必要となる。
【０２５５】
本発明に係る転動装置は、アンモニア溶液等のアルカリ性液でも十分な耐食性を有するため、酸化チタンコーティングによって抗菌性を付与させることも可能である。
【０２５６】
同様に、写真現像機は、現像工程や定着工程で腐食性の薬剤が使用されるので、写真現像機の搬送コンベアの支持軸受や、薬剤を補給するポンプに使用される軸受にも本発明の転がり軸受を好適に使用できる。
［軽量・耐衝撃（ヤング率）］
本発明に係る転がり軸受のチタン合金製軌道輪は、その比重が鋼の約２／３と小さいので、製軌道輪の軽量化を図ることができる。
【０２５７】
穿孔や切削などを行う歯科機械のハンドピースは、軸に取り付けた歯科用切削工具を３０００００ｒｐｍ以上の速度で超高速回転させて使用されるため、軽量性や静穏性など求められる。このため、歯科機械のハンドピースで使用される軸受についても軽量性や低騒音性が要求される。
【０２５８】
チタン合金製軌道輪は比重が鋼の約２／３と小さいので、ハンドピースが軽量化する。また、軸受の回転トルクも小さくなり、低騒音化が可能になるので、歯科用ハンドピース用の転がり軸受として本発明の転がり軸受を好適に使用できる。
【０２５９】
また、駆動モータにおいては、回転数を短時間で最高回転数に到達させるために高出力のモータが使用されており、最高回転数で切削等の加工を行う際に実際に要求される出力に対して大幅に出力余裕のある駆動モータが使用される。
【０２６０】
駆動モータの出力を低減させるには、起動時から最高回転数に到達するまでの立ち上がり時間や最高回転数の低減、駆動モータにより回転駆動する回転軸の慣性力の低減等が考えられるが、立ち上がり時間を長くしたり、最高回転数を低く抑制すると加工効率の低下を招くことから、加工効率を所望の高精度に維持しつつ駆動モータの出力を低減させるためには、回転軸の慣性力を低減させることが最も効果的である。
【０２６１】
回転軸の慣性力を低減させるためには回転軸の重量を低減させることが必要であり、従来の鉄鋼材料（比重：約７．８）に比べ比重の小さいチタン合金（比重：約４．０〜５．０）を使用するのが効果的で、所望の加工効率を損なうことなく装置の小型化や駆動モータの消費電力を低減することができ、好適である。
【０２６２】
チタン合金製軌道輪は軽量でヤング率が小さいので、一般産業機械用や自動車用トランスミッションなどの駆動系に使用される玉軸受、円筒ころ軸受、円錘ころ軸受、自動調心ころ軸受の軌道輪を軽量化することが可能となり、装置全体を軽量化することが可能である。また、本発明の転がり軸受は軽量であるため、高速回転化と可能となり、好適である。さらに、同一荷重が負荷された場合に軌道輪のヤング率が鋼の１／２と小さく、チタン製軌道輪は転動体と接触する部位の面圧が下がる効果があり、接触部での応力が下がるので、転動疲労強度を増大させることができるという効果がある。
【０２６３】
その他、工作機械のスピンドル、ターボチャージャなど、ｄｍｎ＝２０万以上の高速回転下で使用されるアンギュラ玉軸受、円筒ころ軸受として本発明の転がり軸受を使用すると高速回転時の慣性力が小さくなるので、好適に使用することができる。
【０２６４】
回転陽極Ｘ線管用の軸受では、軸受を支持する回転陽極の先端に取り付けたターゲットに熱電子を衝突させてＸ線を発生させるが、ターゲットの帯電を防ぐためには、軸が軸受を介して接地されていなければならない。また、真空、高速、高温の条件にありながらセラミックスではなく、ＳＫＨ等の耐熱鉄鋼材料が用いられている。本発明に係る転がり軸受は、軽量であるため、高速回転化が可能であり、高温でも硬さ低下がなく、更に導電性を有しているので、回転陽極Ｘ線管用軸受として好適に使用できる。この場合、転動体としては導電性を有するセラミックスが好適である。
【０２６５】
コンピュータや携帯電話などの電子機器製造工程で用いられる部品装着機は、半導体デバイスなどの精密部品を取り出し、基板に装着する作業が高速化され、特に、最近は電子機器自体の小型化の要求に伴い、基板に配置される半導体デバイスが小型化すると共に基板上の集積化が進み、部品を装着する場合の位置決め精度は数μｍオーダにまで達している。また、基板の生産効率向上のために取付け速度も増加する傾向にあり、１サイクルが０．５〜１．０秒以下となる速度で部品を装着するため、ヘッドを支持する直動装置も高速化している。また、同様に基板に装着された半導体デバイスを回路に接続するワイヤボンダなどでは、直動案内レールのベアリング部を固定し、先端に部品装着用のヘッドなどを固定したレールが上下動する構造となっている。多くの実装機では部品の吸着、基板への装着、固定などの一連の取付け工程を連続して行うため、複数のレールをドラム上に配置し、ドラムを回転させながら連続的に部品を装着していく、マシンガン方式が採用されており、直動レールには部品を装着するための上下動に加え、この上下動に同期したドラムの回転による回転加速度が付与され、レール自重とヘッド自重によって発生する慣性力がレールに曲げモーメントとして作用する。特に、レールの上下動のサイクル時間が０．１秒以下になると、レールに作用する加速度は数Ｇ〜数十Ｇ程度になり、これに加えてドラムの円周方向への加速度も数Ｇ程度となる。本発明に係る転動装置は、従来の鋼製のものに比べて大幅に軽量化できるため、レールに負荷される加速度を低減することができ、部品装着機用直動案内装置として好適に使用できる。
【０２６６】
また、自動車の小型化及び軽量化に伴い、オルタネータ等のエンジン補機類にも小型化及び軽量化と共に高性能化、高出力化が求められ、エンジンの作動時に当たって、例えばオルタネータ用軸受には、使用条件が従来よりも厳しい高速回転に伴う高振動、高荷重（重力加速度で４Ｇ〜２０Ｇ位）がベルトを介して同時に作用し、かつ高温条件下（約９０〜１３０℃）で使用されている。
【０２６７】
本発明に係る転がり軸受は軽量であり、上述したエンジン補機類を軽量化できるので好適である。
【０２６８】
更に、高振動、高荷重、高温の厳しい環境下では、従来の鋼製軸受は、特に、固定輪である外輪負荷圏の最大せん断応力位置近傍に白色組織変化が発生し、この組織変化が起点となり、軸受設計寿命の約１／５〜１／２０で早期剥離を生じてしまう。本発明に係る転がり軸受のチタン合金製軌道輪は高温でも組織が安定であり、白色組織変化に例示されるような組織変化が生じないので、長寿命化を図ることができる。
［低熱伝導率］
複写機、レーザビームプリンタ（ＬＢＰ）、ファクシミリなどの事務機器に使用される転がり軸受（例えばＬＢＰの定着部で使用されるヒートロール用軸受や加圧ロール用軸受など）は、例えば２００〜２５０℃程度の高温下で使用されるため、さらに使用条件が厳しい（定着部以外の箇所では１００〜１５０℃程度）。そのうえ、省資源化のため、定着部のリサイクル使用が要求されている。これに加えて、ヒートロールには、省エネルギ化のために高温のヒートロールから外部に熱を逃がしにくい特性も要求されている。
【０２６９】
チタン合金は金属材料の中で熱伝導率が小さいので、軌道輪がチタン合金製の転がり軸受をヒートロール用軸受として使用した場合には、軸受を介してヒートロールから外部へ伝わる熱量を低減できる。
［線膨張係数］
ビデオテープレコーダ（ＶＴＲ）やハードディスク装置（ＨＤＤ）等の情報記録装置は、再現画像の繊細さ、情報記録量の高密度化が望まれ、高回転精度化が進んでいる。高回転精度化の要求を満たすための軸受として、対向する二つの転がり軸受間に予圧を負荷した、いわゆる組合せ軸受ユニットが用いられている。軸受間に予圧を負荷することにより、主軸の剛性向上、振れ回り減少、共振周波数の回避等の効果が得られる。
【０２７０】
転がり軸受の転動体を窒化珪素から形成した場合、予圧が減少して主軸の回転精度が低下することがある。これは、軸受の使用温度範囲における転動体の線膨張係数（１〜９．０×１０^-6／Ｋ）が軸受鋼やステンレス鋼からなる軌道輪のそれと比較して非常に小さいことに原因がある。即ち、軸受回転時の温度上昇による軌道輪の熱膨張量に対して転動体の熱膨張量が小さく、これに伴い軸受の内部隙間量が増大して、もともと軸受間に負荷してある予圧荷重が減少し、場合によっては完全な予圧抜けになることもある。この予圧抜けにより、軸の剛性低下、軸の振れ回り増大、軸の共振周波数変化などの回転性能低下を引き起こす。
【０２７１】
また、転動体を窒化珪素から形成した場合のもう１つの問題点として、軸受の耐衝撃性低下が挙げられる。即ち、軸受に過大な衝撃荷重が外部から加わった場合、転動体と軌道輪と転動体との接触部に応力が集中し、その結果として軌道輪の軌道面に微小圧痕が生じる場合がある。この圧痕の発生は、軸受の音響性能や振動性能を著しく低下させ、ＶＴＲやＨＤＤ等の性能低下を招く。これは、転動体を軸受鋼やステンレス鋼から形成した場合に比較して転動体のヤング率が高く、軌道輪が弾性変形し難いため、軌道面の圧痕発生の原因となる応力集中を顕著にし、圧痕を生じやすくためである。
【０２７２】
この場合、軌道輪をチタン合金から形成すると軌道輪の線膨張係数が８．０〜９．０×１０^-6／Ｋとなるので、予圧抜けが生じにくくなる。また、転動体をジルコニア系セラミックスから形成することにより、軌道輪と転動体の線膨張係数の差を小さくすることができるので好適である。
【０２７３】
また、耐衝撃性については、転動体を軸受鋼やステンレス鋼から形成した場合に比較して転動体のヤング率が低く、過大な衝撃荷重が加わった場合でも応力集中による圧痕の発生が抑制されるため、軸受の音響性能や振動性能を低下させることもない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る転がり軸受の縦断面図である。
【図２】転がり軸受の転がり寿命を試験するときに用いられる試験装置を示す図である。
【図３】転がり軸受の耐食性試験結果とチタン合金製軌道輪の表面硬さとの関係を示す図である。
【図４】転がり軸受の転がり寿命試験結果とチタン合金製軌道輪の表面硬さとの関係を示す図である。
【図５】周辺磁場の磁束密度変化を測定するための方法を示す図である。
【図６】図５に示されるテスラーメータから出力される信号波形を示す図である。
【図７】チタン合金製軌道輪の耐摩耗性を試験する方法を示す図である。
【図８】チタン合金製軌道輪の耐摩耗性試験結果と酸素化合物層厚さとの関係を示す図である。
【図９】転がり軸受の転がり寿命試験結果とチタン合金製軌道輪の芯部硬さとの関係を示す図である。
【図１０Ａ】チタン合金を硬化させるときの従来方法を示す図である。
【図１０Ｂ】チタン合金を高温酸化処理により硬化させるときの方法を示す図である。
【図１０Ｃ】チタン合金を低温酸化処理により硬化させるときの方法を示す図である。
【図１１Ａ】サバン式摩耗試験機の側面図である。
【図１１Ｂ】サバン式摩耗試験機の正面図である。
【図１２】本発明の他の実施形態に係る転がり軸受の部分断面図である。
【図１３】チタン合金製軌道輪に施されるガス窒化処理を説明するための図である。
【図１４】チタン合金製軌道輪の表面に硬質膜を形成する装置の概略図である。
【図１５】スラスト転がり軸受の耐久性を試験するときに用いられる試験装置の断面図である。
【図１６】チタン合金製軌道輪の表面硬さと同軌道輪の表面に形成された硬質膜の剥離寿命との関係を示す図である。
【図１７】ラジアル転がり軸受の真空中での耐久性を試験するための装置の概略図である。
【図１８】転動体の熱伝導率と摩耗比との関係を示す図である。
【図１９】本発明の他の実施形態に係る転がり軸受の断面図である。
【図２０】転がり軸受の耐圧痕性試験結果とＨ／Ｅとの関係を示す図である。
【図２１】転がり軸受の転がり寿命試験結果とＨ／Ｅとの関係を示す図である。
【図２２】環境温度の変動パターンを示す図である。
【図２３】軌道輪の線膨張係数と転動体の線膨張係数との比と転がり軸受の転がり寿命との関係を示す図である。
【図２４】本発明の他の実施形態に係る転がり軸受の断面図である。
【図２５】転がり軸受の耐摩耗性試験をするための試験装置の概略図である。

Claims (5)

1. 軌道面をそれぞれ有する外方部材及び内方部材と、前記外方部材及び内方部材の軌道面間に配置され、前記外方部材または内方部材の回転もしくは直線運動により前記軌道面上を転動する転動体とを備えた転動装置であって、
   前記外方部材および／又は内方部材がω相を有するβ型チタン合金、ω相を有するnearβ型チタン合金、ω相を有するα＋β型チタン合金のいずれか１種類のチタン合金から構成され、かつ前記ω相の結晶粒子の大きさが１μｍ以下であることを特徴とする転動装置。
2. 前記ω相の結晶粒子の大きさが８００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の転動装置。
3. 前記ω相の結晶粒子の大きさが１０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１記載の転動装置。
4. 前記転動体は、チタン合金、窒化珪素、炭化珪素、ジルコニア系セラミックス、アルミナ系セラミックス、サイアロン系セラミックスのうちいずれか１種類の材料から構成されることを特徴とする請求項１記載の転動装置。
5. 軌道面をそれぞれ有する外方部材及び内方部材と、前記外方部材および前記内方部材の軌道面間に配置され、前記外方部材または内方部材の回転もしくは直線運動により前記軌道面上を転動する転動体と、前記外方部材と内方部材との間に形成された開口を遮蔽するシールド板とを備えた転動装置であって、前記外方部材および／又は内方部材がβ型チタン合金、 near β型チタン合金、α＋β型チタン合金のいずれか１種類のチタン合金から構成され、かつ前記シールド板が純度９９．５％以上のチタンから形成されていることを特徴とする転動装置。

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