JP3695583B2 - 撮像用半導体装置及びその製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
【０００２】
本発明は半導体装置に係わり、特に、受光素子と撮像用レンズとを一体化してパッケージした撮像用半導体装置及びその製造方法に関する。
【０００３】
近年、小型カメラが組み込まれた携帯電話機やハンディパソコン(携帯型パーソナルコンピュータ）が開発されている。例えば、小型カメラを備えた携帯電話機は、通話者の映像を小型カメラにより撮像して画像データとして取り込み、通話相手にその画像データを送信する。このような小型カメラは、一般的にＣ−ＭＯＳセンサとレンズとにより構成される。
【０００４】
携帯電話機やハンディパソコンはより一層の小型化が進められており、これらに使用される小型カメラにも小型化が要求されている。このようなカメラへの小型化の要求を満足するために、レンズとＣ−ＭＯＳセンサとを一体化して形成した半導体装置パッケージが開発されている。
【従来の技術】
【０００５】
図１は、撮像用レンズとＣ−ＭＯＳセンサを有する半導体チップとを一体化した構成の半導体装置パッケージの断面図である。図１に示す半導体パッケージにおいて、Ｃ−ＭＯＳセンサを有する半導体チップ１は、その受光面１ａが上に向いた状態で、剛性を有するプリント基板２の上に搭載され、プリント基板２のパターン配線２ａにワイヤボンディングされている。
【０００６】
撮像用レンズ３は筐体４に取り付けられている。筐体４は、撮像用レンズ３が半導体チップ１の受光面１ａの上方の所定の位置に配置されるよう、プリント基板２に対して固定されている。したがって、図１に示す小型カメラ用の半導体装置パッケージは、基板の上に半導体チップが搭載され、その上にレンズが配置されるという構成である。なお、撮像用レンズ３と半導体チップ１との間には、ＩＲフィルタ５が配置されている。
【０００７】
筐体４の底面には位置決めピン６が形成されており、位置決めピン６をプリント基板２に設けられた位置決め孔７に挿入することにより、筐体４はプリント基板２に正確に位置決めされる。これにより、筐体４に取り付けられた撮像用レンズ３とプリント基板２に搭載された半導体チップ１との位置決めが行われる。
【０００８】
以上のような構成の半導体パッケージにおいて、半導体チップ１に関連したキャパシタや抵抗等の電子部品９を搭載する場合は、プリント基板２の下に別のプリント基板８を配置する。すなわち、プリント基板８に電子部品９を搭載すると共に、半導体チップ１及び筐体４が取り付けられたプリント基板２をこのプリント基板８に搭載する。
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述の構成の半導体装置パッケージは、その構造に起因して以下のような問題を有している。
【００１０】
１）プリント基板８に電子部品９を搭載する場合、図２に示すように、電子部品９は半導体チップ１及び筐体４が搭載されるプリント基板２の外側に配置される。したがって、プリント基板８はプリント基板２より大きくなり、半導体パッケージ全体の寸法が増大してしまう。
【００１１】
２）受光素子を有する半導体チップ１の製造過程において、半導体チップの厚みを小さくするために、半導体チップ１の背面を研磨機で削っている。このため、半導体チップ１の厚みはウェハ毎に変動する。変動の範囲は通常±１５μｍ程度であるが、許容範囲としては±３０μｍ程度ある。半導体チップ１の厚みが変動すると、半導体チップ１の受光面１ａと撮像用レンズ３との間の距離が変動してしまう。すなわち、レンズ３はプリント基板２の表面から所定の距離に配置され、且つ半導体チップ１の受光面１ａはプリント基板２の表面から半導体チップ１の厚み分だけ離れた位置に配置されるので、半導体チップ１の厚みが増大すると受光面１ａはレンズ３に接近し、半導体チップ１の厚みが減少すると受光面１ａはレンズ３から遠ざかる。
【００１２】
レンズ３と半導体チップ１の受光面１ａとの間の距離は、レンズの焦点距離に等しく設定されており、レンズ３による像が受光面１ａで正確に結像するようになっている。したがって、上述のようにレンズ３と受光面１ａとの間の距離が変動すると、焦点ずれが発生し、画像がボケるといった問題が発生する。
【００１３】
３）半導体チップ１をプリント基板２に搭載する際、ダイス付け装置を使用して半導体チップ１をプリント基板２の表面に接着し固定する。ダイス付け装置では、チップの表面（受光素子が形成された面）を吸着して保持し、プリント基板上に搬送して載置する。このため、半導体チップの表面は吸着装置で覆われてしまい、受光素子の形成された面を画像認識することができない。したがって、半導体チップ１の外形を画像認識し、この外形をプリント基板２上で半導体チップを位置決めするための基準としている。しかし、半導体チップ１の受光面１ａと外形とは必ずしも一定の位置関係とはなっていない。すなわち、半導体チップ１はウェハをダイシングして分割することにより個片化される。その際に半導体チップ１の外形が形成されるが、ダイシングによる切断位置が変動することにより、半導体チップ１の外形に対する受光面の位置は一定とはならない。したがって、レンズ３の焦点位置が正確に受光面１ａの中心に一致しない場合がある。
【００１４】
４）半導体チップはワイヤボンディングによりプリント基板に搭載されるため、ワイヤボンディング用のパッド(配線パターン２ａの一部として形成される）を半導体チップの周囲に配置しなければならない。したがって、ボンディングパッドを配置する部分をプリント基板２に設ける必要があり、半導体装置パッケージの小型化の妨げとなっている。
【００１５】
５）半導体装置パッケージとして実質的に必要な厚さは、レンズ３の焦点距離に半導体チップ１の厚みを加えた距離である。しかし、上述の従来の半導体装置パッケージでは、半導体チップ１のレンズ３の反対側にプリント基板２が配置されているため、半導体装置パッケージの実際の厚みは、レンズ３の焦点距離に半導体チップ１の厚みを加えた距離に更にプリント基板２の厚みを加えた距離となる。したがって、プリント基板２の厚み分だけ半導体装置パッケージの厚みが増大している。また、電子部品９を搭載する場合は、プリント基板２の下に更にプリント基板８が設けられるので、半導体装置パッケージの実際の厚みは、プリント基板８の厚み分が更に増大する。
【００１６】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、従来装置より厚みが小さく、面積も小さいパッケージされた撮像用半導体装置及びその製造方法を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。
【００１８】
請求項１記載の発明は、撮像用半導体装置であって、上面と底面の間で貫通した開口を有する樹脂筐体と、該樹脂筐体に埋め込まれ、一部が前記樹脂筐体の底面に露出した導電体からなる配線パターンと、前記樹脂筐体に埋め込まれた状態で、前記配線パターンに接続された電子部品と、前記配線パターンの露出部にフリップチップ実装された固体撮像素子と、前記樹脂筐体の上面側に取り付けられた撮像用レンズとを有し、前記撮像用レンズと前記固体撮像素子とは、前記撮像用レンズを通過する光が前記樹脂筐体の前記開口を介して前記固体撮像素子の受光面に入射するように配置されたことを特徴とするものである。
【００１９】
請求項１記載の発明によれば、固体撮像素子が直接樹脂筐体に実装されるため、固体撮像素子を実装するための基板が不要である。したがって、撮像用半導体装置の厚みは、実質的に撮像用レンズの焦点距離と固体撮像素子の厚みとの和に等しくなる。すなわち、固体撮像素子を実装するための基板の厚さが撮像用半導体装置全体の厚みに含まれないため装置全体の厚みを減少することができる。また、樹脂筐体の貫通した開口の両側に撮像用レンズと固体撮像素子とが取り付けられるため、固体撮像素子の受光面を含む回路形成面を開口を介して撮像用レンズと対向させることができる。また、固体撮像素子を樹脂筐体に実装する際に、半導体チップの回路形成面の反対側の背面を支持することができるため、回路形成面を画像認識しながら実装を行うことができる。これにより、半導体チップを高い位置精度で樹脂筐体に実装することができる。
【００２０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の撮像用半導体装置であって、表面に絞りが形成 されたフィルタを更に含み、該フィルタは前記撮像用レンズと前記半導体素子との間に配置された状態で前記樹脂筐体の前記開口内に取り付けられたことを特徴とするものである。
【００２１】
請求項２記載の発明によれば、樹脂筐体の開口内にフィルタを取り付けるだけで、撮像用レンズと半導体素子の受光面との間にフィルタを容易に配置することができ、高い機能の撮像用半導体装置を提供することができる。
【００２２】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の撮像用半導体装置であって、前記樹脂筐体の底面に露出した配線パターンは金属からなる実装端子を介して前記基板の配線パターンに電気的に接続されたことを特徴とするものである。
【００２３】
請求項３記載の発明によれば、樹脂筐体の底面に樹脂バンプを形成することなく、別個に設けられる実装端子を介して樹脂筐体を基板に実装する。したがって、樹脂バンプを形成するための製造工程を省くことができ、撮像用半導体装置の製造工程が簡略化される。
【００２４】
また、請求項１乃至３のうちいずれか一項記載の半導体装置において、前記配線パターンを金属メッキとすることにより容易に配線パターンを形成することができる。あるいは、前記配線パターンを導電性樹脂により形成することにより、容易に配線パターンを形成することができる。
【００２５】
また、前記撮像用レンズと前記固体撮像素子とを前記撮像用レンズを通過した光が前記半導体素子の受光面に入射するように前記樹脂筐体に取り付けることにより、撮像用レンズと固体撮像素子とを樹脂筐体により組み合わせて一体化した撮像用半導体装置を容易に形成することができる。固体撮像素子は面積が小さく、厚みも小さいので携帯用電子機器等に組み込むことができる。さらに表面に絞りが形成されたフィルタを前記撮像用レンズと前記固体撮像素子との間に配置された状態で前記樹脂筐体に取り付けることにより、樹脂筐体にフィルタを取り付けるだけで、撮像用レンズと固体撮像素子の受光面との間にフィルタを容易に配置することができ、高い機能の撮像用半導体装置を提供することができる。
【００２６】
請求項４記載の発明は、撮像用半導体装置の製造方法であって、金属板の上に導電体よりなる配線パターンを形成し、該配線パターンに電子部品を接続し、該電子部品と前記配線パターンとを前記金属板上で樹脂封止して、開口部を有する樹脂筐体を形成し、前記金属板を前記樹脂筐体から除去して前記配線パターンの一部を露出させ、前記配線パターンの露出部に固体撮像素子を接続し、前記樹脂筐体の前記開口部内に撮像用レンズを取り付けることを特徴とするものである。
【００２７】
請求項４記載の発明によれば、配線パターン及び電子部品を樹脂筐体に容易に埋め込むことができ、且つ樹脂筐体の底面に配線パターンをさせることができる。これにより、請求項１記載の撮像用半導体装置を容易に製造することができる。
【００２８】
また、前記配線パターンを形成する前に前記金属板に凹部を形成し、前記配線パターンの一部が該凹部内に配置されるように前記配線パターンを形成することとしてもよい。これにより、樹脂筐体の面から突出した外部接続端子を容易に形成することができる。また、電子部品の下側に突起部を形成することができ、この突起部に配線パターンを配置することができる。
【００２９】
また、前記配線パターンを形成する前に前記金属板の一部を屈曲して凹部を形成し、前記配線パターンの一部が該凹部内に配置されるように前記配線パターンを形成することと してもよい。これによれば、凹部に対応した形状の突出部を樹脂筐体に容易に形成することができる。この突出部の先端に配線パターンを設けることにより、外部接続端子とすることができる。前記配線パターンを金属メッキにより形成することとすれば、配線パターンを容易に形成することができる。また、前記配線パターンの金属メッキの前に、前記金属板とは異なる金属を前記金属板にメッキすることとすれば、金属板をエッチングにより除去する際に、金属板とは異なる金属メッキが存在することにより、金属板が完全にエッチングにより除去された時点でエッチング速度が変化する。金属板とは異なる金属メッキを、エッチング速度が低い材料又はエッチングされない材料に選定しておくことにより、容易にエッチングの終了を制御することができる。さらに、前記配線パターンを導電性樹脂により形成することとすれば、容易に配線パターンを形成することができる。
【００３０】
また、前記撮像用レンズと前記固体撮像素子とを前記撮像用レンズを通過した光が前記半導体素子の受光面に入射するように前記樹脂筐体に取り付けることとしてもよい。これによれば、撮像用レンズと固体撮像素子とを樹脂筐体により組み合わせて一体化した撮像用半導体装置を容易に形成することができる。撮像用半導体装置は面積が小さく、厚みも小さいので携帯用電子機器等に組み込むことができる。
【発明の実施の形態】
【００３１】
次に、本発明の実施の形態について図面と共に説明する。
【００３２】
図３は本発明の実施の形態による半導体装置パッケージの断面図である。図３に示す半導体装置パッケージは、半導体チップ１０、配線パターン１２ａ及び筐体１４を有している。ここで、半導体チップ１０及び筐体１４は、それぞれ図１に示す半導体チップ１及び筐体４に相当する。また、配線パターン１２ａは、図１のプリント基板２に形成された配線パターン２ａに相当する。
【００３３】
すなわち、本実施の形態による半導体装置パッケージは、図１に示すプリント基板２を有しておらず、配線パターン１２ａが筐体１４に埋め込まれた状態で筐体１４の表面から露出している。そして、この配線パターン１２ａに対して半導体チップ１０の突起電極１０ａが異方性導電樹脂１６によりフリップチップ実装された状態となっている。配線パターン１２ａは、基板上に形成されたものであるが、半導体装置パッケージの製造工程の途中で基板は除去され、図３に示す状態となる。基板を除去する工程については後述する。
【００３４】
配線パターン１２ａの裏側、すなわち筐体１４側には、電子部品９がハンダ９ａにより接続されている。配線パターン１２ａに電子部品９が搭載された後、筐体１４の樹脂により電子部品９と配線パターン１２ａはモールドされる。筐体１４を形成する樹脂で電子部品９を樹脂モールドしたものである。
【００３５】
ここで、筐体１４は、後述の実施例のように撮像用レンズを搭載する目的で用いられてもよいが、その他、半導体チップ１０を用いて各種機能を実現する半導体装置パッケージを形成するために用いることができる。
【００３６】
上述の実施の形態では、半導体チップ１０に関連した電子部品９は筐体１４に埋め込まれ、図４に示すように半導体チップ１０の面積の内側に配置されている。このため、電子部品９が筐体１４の外側に配置されておらず、半導体装置パッケージの外形を増大させることはない。また、図１に示すような電子部品９を搭載するために用いるプリント基板８が不要であり、プリント基板８の厚み分半導体装置パッケージの厚みを減少することができる。さらに、半導体チップを実装するための配線パターン１２ａが筐体１４に埋め込まれて支持された状態であり、図１に示すプリント基板２は不要となる。したがって、プリント基板２の厚み分だけ半導体装置パッケージの厚みをさらに減少することができる。
【００３７】
本実施の形態による半導体装置パッケージの製造方法については、以下の実施例において、より詳細に説明される。
【００３８】
次に、本発明の第１実施例による撮像用半導体装置について、図５を参照しながら説明する。図５は本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の断面図である。図５において、図１に示す構成部品と同等の部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００３９】
本発明の第１実施例による撮像用半導体装置は、図３に示す半導体装置パッケージにおいて、半導体チップ１０として固体撮像素子チップ１０Ａを用い、且つ筐体１４として撮像用レンズ３を取り付けるための筐体１４Ａとしたものである。したがって、固体撮像素子チップ１０Ａに接続される電子部品９は、撮像用レンズ３が取り付けられる筐体１４Ａ中に埋め込まれた状態である。これにより、本発明の第１実施例による撮像用半導体装置は、図１に示す撮像用半導体装置より小さな水平投影面積内に収められている。
【００４０】
また、本発明の第１実施例による撮像用半導体装置では、電子部品９を設けるためのプリント基板（図１のプリント基板８）は不要である。また、固体撮像素子チップ（半導体チップ１０）を実装するための配線パターン１２ａも筐体１４Ａに埋め込まれて支持されているため、固体撮像素子チップ１０Ａを実装するためのプリント基板（図１のプリント基板２）も不要である。これにより、本発明の第１実施例による撮像用半導体装置は、図１に示す撮像用半導体装置より高さ方向の寸法、すなわち厚みが図１に示す撮像用半導体装置より小さくなっている。
【００４１】
上述のように、本発明の第１実施例による撮像用半導体装置は、図１に示す撮像用半導体装置より面積が小さく、また厚みも小さい。
【００４２】
ここで、筐体１４Ａの構造について説明する。
【００４３】
筐体１４Ａは略中央に貫通開口を有しており、貫通開口を通じて撮像用レンズ３からの光が固体撮像素子チップ１０Ａの受光面１４Ａａに入射する。撮像用レンズ３と固体撮像素子チップ１０Ａの受光面１４Ａａとの間にはＩＲフィルタ５が配置される。ＩＲフィルタ５は筐体１４Ａの貫通開口の段差部分に配置され、接着剤２０により固定される。ＩＲフィルタ５のレンズ３側には、所定の大きさの開孔を有する絞り５ａが設けられる。
【００４４】
撮像用レンズ３は筐体１４Ａの貫通開口において、固体撮像素子チップ１０Ａの反対側に取り付けられ、レンズ押さえ蓋２２により固定される。レンズ押さえ蓋２２は接着剤２４により筐体１４Ａに固定される。したがって、撮像用レンズ３に入射した光は、撮像用レンズ３により集束され、絞り５ａとＩＲフィルタ５とを通過して、固体撮像素子チップ１０Ａの受光面１０Ａａに入射する。
【００４５】
上述のように、筐体１４Ａの底面には配線パターン１２ａが埋め込まれた状態で設けられており、固体撮像素子チップ１０Ａの突起電極（バンプ）１０Ａｂが配線パターン１２ａを介してフリップチップ実装される。なお、筐体１４Ａの底面には、配線パターン１２ａの延長部分として外部接続端子２６が形成される。
【００４６】
図６は上述の撮像用半導体装置の配線構成を示す図である。図６における最外形は、筐体１４Ａの外形に相当する。また、中央の斜線を施した領域は、固体撮像素子チップ１０Ａの受光面１０Ａａに相当する。
【００４７】
次に、図５に示す撮像用半導体装置の製造方法について、図７乃至図１８を参照しながら説明する。図７乃至図１８は、撮像用半導体装置の製造工程を順を追って示す図である。図７乃至図１８の各々において、（ｂ）は平面図を示し、（ａ）は（ｂ）の平面図における一点鎖線に沿った断面図を示す。
【００４８】
まず、図７に示すように、配線パターン１２ａを形成するための基体となる基板１２を準備する。基板１２は、例えば厚さ０．１ｍｍの銅板である。
【００４９】
次に、図８に示すように、基板１２の所定の位置にエッチングやプレス等によりディンプル（凹部）２８を形成する。ディンプル２８は外部接続端子２６を形成するための凹部であり、図６に示す外部接続電極２６の位置に形成される。
【００５０】
その後、図９に示すように、基板１２の表面及び裏面の全面に感光性レジスト３０を塗布する。そして、図１０に示すように、配線パターン１２ａを形成する部分のレジスト２８を除去する。レジスト２８の除去は、周知の技術である露光処理及び現像処理により行う。
【００５１】
続いて、図１１に示すように、レジスト２８を除去した部分に配線パターン１２ａを形成する。配線パターン１２ａは、電解メッキにより銅を堆積することにより形成することができる。あるいは、導電性ペースト等をレジスト２８が除去された部分に塗布して配線パターン１２ａを形成することもできる。電解メッキを用いる場合、最初に基板１２の材料である銅とは異なる金属、例えば、金又はニッケルのような金属をメッキし、その後銅メッキを施すことが好ましい。これは、後述のように基板１２をエッチングで除去する場合に、銅のエッチング速度と金又はニッケルのエッチング速度との相違により、基板１２のエッチングを金又はニッケルの層で止めて、基板のみ除去するためである。
【００５２】
次に、図１２に示すように、全てのレジスト３０を除去する。これにより、基板１２の上に配線パターン１２ａが形成される。なお、ディンプル２８の中にメッキされた部分は、外部接続端子２６に相当する。続いて、図１３に示すように、基板１２上の配線パターンの所定の位置に電子部品９を搭載しハンダ付けする。
【００５３】
その後、図１４に示すように、筐体１４Ａを樹脂によりモールド成形する。筐体１４Ａは、基板１２の配線パターン１２ａが形成された側に形成される。したがって、電子部品９、配線パターン１２ａ及び外部接続端子２６は、筐体１４Ａに埋め込まれた状態となる。
【００５４】
次に、図１５に示すように、基板１２をエッチングにより除去する。この際、基板１２は銅で形成されているため、銅のエッチングが行われるが、図１１に示すメッキ工程で金又はニッケルメッキを施しておくことにより、基板１２を除去する工程において配線パターン１２ａ及び外部接続電極２６まで除去されてしまうことを防止することができる。基板１２が除去された後は、その底面に配線パターン１２ａ及び外部接続電極２６が露出した筐体１４Ａが残る。なお、エッチングにより基板１２を除去する代わりに、基板１２を引き剥がす方法を用いることもできる。
【００５５】
外部接続電極２６は、基板１２のディンプル２８内に形成されていたため、基板１２が除去された状態では、筐体１４Ａの底面から突出した状態となる。これにより、本実施例による撮像用半導体装置を例えば他の基板に接続する際に、突出した外部接続電極２６を用いて容易に接続することができる。なお、外部接続電極２６は必ずしも突出して設ける必要はなく、配線パターン１２ａと同様に筐体１４Ａの底面に露出しているだけでもよい。この場合、基板１２にディンプル２８を設ける必要なない。
【００５６】
基板１２の除去が終了すると、次に、図１６に示すように、固体撮像素子チップ１０Ａを、筐体１４Ａの底面に露出している配線パターン１２ａに異方性導電樹脂１６を用いてフリップチップ実装する。
【００５７】
その後、図１７に示すように、上面に絞り５ａが形成されたＩＲフィルタ５を筐体１４Ａに取り付けて接着剤で固定する。そして、図１８に示すように、撮像用レンズ３を筐体１４Ａに取り付けてレンズ押さえ蓋２２により固定し、撮像用半導体装置が完成する。
【００５８】
次に、本発明の第２実施例による撮像用半導体装置について、図１９及び図２０を参照しながら説明する。図１９は本発明の第２実施例による撮像用半導体装置の断面図である。図２０は図１９におけるＡ部の拡大図である。図１９及び図２０において、図５に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００５９】
本発明の第２実施例による撮像用半導体装置は、上述の第１実施例による撮像用半導体装置と基本的に同じ構成を有するが、筐体１４Ａの構造が相違する。すなわち、本発明の第２実施例による撮像用半導体装置は、筐体１４Ａの代わりに筐体１４Ｂを有している。これにより、外部接続端子２６の構成も相違し、外部接続端子２６Ａとなっている。
【００６０】
図１９及び２０に示すように、筐体１４Ｂは、固体撮像素子チップ１０Ａの背面１０Ａｃよりも突出した突出部１４Ｂａを、固体撮像素子チップ１０Ａの周囲に有している。そして、突出部１４Ｂａに外部接続端子２６Ａが形成されている。したがって、外部接続端子２６Ａは固体撮像素子チップ１０Ａの背面１０Ａｃよりも突出している。
【００６１】
上述の構成により、本実施例による撮像用半導体装置を平面上に置いた場合、撮像用半導体装置は外部接続端子２６Ａにより支持される。したがって、本実施例による撮像用半導体装置は、外部接続端子２６Ａを利用して例えばプリント基板上に載置して実装することができる。これにより、外部装置への接続用の例えばフレキシブル基板等を設ける必要がなくなり、撮像用半導体装置を使用した装置のコストの削減及びサイズの縮小を達成することができる。
【００６２】
次に、本発明の第２実施例による撮像用半導体装置の製造方法について図２１及び図２２を用いて説明する。
【００６３】
本発明の第２実施例による撮像用半導体装置の製造方法は、図７乃至図１８に示す本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造方法と基本的に同じであるが、図２１に示す工程が異なる。
【００６４】
すなわち、本発明の第２実施例による撮像用半導体装置の製造工程では、配線パターン１２ａを形成する前に、図２１に示すように基板１２を折り曲げることにより比較的大きな凹部３２を形成する。図２１に示す工程は、図７に示す工程の代わりに行われる。
【００６５】
そして、配線パターン１２ａを形成するために、図２２に示すように基板１２の両面に感光性レジスト３０を塗布する。図２２に示す工程は図９に示す工程に相当する。その後の工程は、上述の第１実施例による撮像用半導体装置の製造方法と同様であり、その説明は省略する。
【００６６】
次に、本発明の第３実施例による撮像用半導体装置について、図２３及び図２４を参照しながら説明する。図２３は本発明の第３実施例による撮像用半導体装置の断面図である。図２４は図２３のＡ部の拡大図であり、図２５はＡ部に設けられている部品の配置を示す平面図である。図２３乃至２５において、図５に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【００６７】
本発明の第３実施例による撮像用半導体装置は、上述の第１実施例による撮像用半導体装置と基本的に同じ構成を有するが、筐体１４Ａの構造が相違する。すなわち、本発明の第３実施例による撮像用半導体装置は、筐体１４Ａの代わりに筐体１４Ｃを有している。
【００６８】
筐体１４Ｃは、図２３に示すように、電子部品９の下方に突出した突起部１４Ｃａを有する。図２４に詳しく示されるように、突起部１４Ｃａの中には配線パターン１２ａの一部が延在している。すなわち、電子部品９の下方に延在する配線パターン１２ａは、突起部１４Ｃａの中に埋め込まれている。これにより、電子部品９の下方にも配線パターン１２ａを配置することができ、且つ配線パターン１２ａと電子部品９を接続するハンダ９ａとの間の距離を十分とることができる。
【００６９】
図２６は突起部１４Ｃａを形成しないで電子部品９の下側に配線パターン１２ａを配置した場合を示す図である。この場合、Ａ部に示すように、配線パターン１２ａと電子部品との間の距離が非常に小さくなる。また、電子部品９を接続するためのハンダ９ａが電子部品９の内側に流れた場合、電子部品９の下方に延在する配線パターン１２ａに接触するおそれがある。
【００７０】
しかし、本実施例のように筐体１４Ｃに突起部１４Ｃａを形成して、突起部１４Ｃａに配線パターン１２ａを埋め込むこととすれば、電子部品９の下方に延在する配線パターン１２ａと電子部品９及びそれを接続するためのハンダ９ａとの間の距離を十分とることができる。これにより、電子部品の下方に配線パターン１２ａを配置するこおとができ、配線パターン１２ａの設計の自由度を増大することができる。
【００７１】
なお、突起部１４Ｃａは、図１１に示す工程と同様に形成することができる。すなわち、基板１２に配線パターン１２ａを形成する前に、基板１２の電子部品９が配置される位置にディンプルを形成し、ディンプルの中に配線パターン１２ａを形成すればよい。
【００７２】
次に、本発明の第４実施例による撮像用半導体装置について説明する。図２７は本発明の第４実施例による撮像用半導体装置を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）は断面図である。
【００７３】
本実施例による撮像用半導体装置４０は、撮像用レンズ４４と固体撮像素子チップ１０Ａとが取り付けられた筐体４１と、筐体４１が搭載される基板４２とよりなる。
【００７４】
本実施例では、筐体４１はレンズホルダ４３Ａとモールド成型体（樹脂成型体）４３Ｂとに分離して形成される。撮像用レンズ４４はレンズホルダ４１Ａの略中央に配置され、撮像用レンズ４４の上部にはレンズに像を取り込むための開口４１Ａａが形成されている。撮像用レンズ４４の下部には絞り４１Ａｂが形成され、絞り４１Ａｂの下にはＩＲフィルタ４５が配置されている。
【００７５】
上述のような構成のレンズホルダ４１Ａは、中央に開口４１Ｂａを有するモールド成型体４１Ｂに取り付けられる。モールド成型体４１Ｂは、上述の第３実施例と同様に内部に電子部品が組み込まれ、且つ底面４１Ｂｂに突出して形成された突起部４１Ｂｃ上に外部接続端子４１Ｂｄが形成されている。電子部品の組み込みと、外部接続端子４１Ｂｄの形成は、上述の第３実施例と同様な方法により行われるため、その説明は省略する。
【００７６】
モールド成型体４１Ｂの底面４１Ｂｂには、固体撮像素子チップ１０Ａがフリップチップ実装される。固体撮像素子チップ１０Ａの受光面１０Ａａは、モールド成型体４１Ｂの開口４１Ｂａを介して撮像用レンズ４４に対向している。これにより、撮像用レンズ４４により受光面１０Ａａ上に結像することができる。
【００７７】
本実施例では、筐体４１のモールド成型体４１Ｂの底面４１Ｂｂに形成された外部接続端子４１Ｂｄを用いて、筐体４１が基板４２に実装されている。
【００７８】
基板４２はベースとなるポリイミドフィルム４２Ａと、ポリイミドフィルム４２Ａ上に形成された銅板又は銅箔等よりなる配線４２Ｂとより構成される。モールド成型体４１Ｂの底面４１Ｂｂには固体撮像素子チップ１０Ａが実装されており、これを避けるために、基板４２には開口４２ａが形成される。
【００７９】
固体撮像素子チップは１０Ａの厚みは例えば６００μｍ程度である。これに対して、基板４２の厚みは１００μｍ以下であり、また、モールド成型体４１Ｂの底面４１Ｂｂからの外部接続端子４１Ｂｄの突出高さは８０μ程度である。したがって、基板４２の厚みと外部接続端子４１Ｂｄの突出高さとを合わせても、固体撮像素子チップ１０Ａの厚みよりは十分小さい。そのため、撮像用半導体装置４０の高さは、筐体４１と固体撮像素子チップ１０Ａとを組合わせた高さとなり、基板４２の厚みと外部接続端子４１Ｂｄの突出高さを合わせた分だけ、固体撮像素子チップ１０Ａの厚み（高さ）を小さくすることができる。撮像用半導体装置は、携帯機器等の小型の機器に組み込まれる場合が多く、基板４２の厚み程度であっても、固体撮像素子チップ１０Ａの厚み（高さ）を小さくすることは重要である。
【００８０】
図２８は、基板４２の一例を示す平面図である。基板４２の開口４２ａの周囲には、筐体４１のモールド成型体４１Ｂの外部接続端子４１Ｂｄが接続される電極ランド４２ｂが配置され、配線４２Ｂにより基板４２の端部へと引き出される。
【００８１】
なお、基板４２の開口４２ａの角部付近には、配線４２Ｂに接続されずに電気的に孤立したダミーランド（電極パッド）４２ｃが配置されている。ダミーランド４２ｃは、モールド成型体４１Ｂの四隅に形成されるダミーバンプ（ダミー突起部）に対応して形成される。モールド成型体４１Ｂのダミーバンプは、突起部４１Ｂｃ及び外部接続端子４１Ｂｄと同様に形成されるが、実装される固体撮像素子チップ１０Ａの電極には接続されず、電気的に孤立している。モールド成型体４１Ｂのダミーバンプを基板４２のダミーランド４２ｃに接合することにより、基板４２の角部をモールド成型体４１Ｂに対して固定している。
【００８２】
基板４２の角部が固定されていないと、製造工程や長期の使用中に角部が折れ曲がったり、反り返ったりする不具合が生じるおそれがある。外部接続端子４１Ｂｄが基板４２の開口４２ａの四隅付近に配置されている場合は、この外部接続端子４１Ｂｄが基板４２の電極ランド４２ｂに接合されることとなり、基板４２の角部は固定される。しかし、固体撮像素子チップ１０Ａの電極配置によっては、開口４２ａの四隅付近に外部接続端子４１Ｂｄを形成する必要がない場合がある。このような場合に、上述のようにダミーバンプとダミーランド４２ｃを設けることにより、基板４２の開口４２ａの四隅付近をモールド成型体に固定し、折れ曲がりや反り等の不具合が生じないようにする。ただし、外部接続端子４１Ｂｄが四隅に形成されている場合は、ダミーバンプは不要であり、したがってダミーランド４２ｃではなく電極ランド４２ｂが配置される。
【００８３】
図２９は基板４２の変形例を示す平面図である。図２９に示す基板４２の開口４２ａは、一辺が開いたコの字状の開口であり、開口４２ａに対して固体撮像素子チップ１０Ａを組み込む際に作業が容易となる。このような形状の開口の場合、特にダミーバンプによる四隅の接合は効果がある。
【００８４】
図３０は図２８に示す基板２４に補強板４３を貼り付けた状態を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）は側面図である。図３０（ａ）は基板４２を配線４２Ｂ側から見た平面図であり、補強板４３は実際には基板４２の裏側に貼り付けられる。基板４２の開口４２ａの周囲は幅が狭くなっており、基板の反りが発生しやすい。基板４２に反りが発生すると、モールド成型体４１Ｂを基板に取り付ける際に、モールド成型体４１Ｂの位置ずれや接合不良が発生する原因となる。そこで、基板４２の開口４２ａの周囲に補強板４３を接着剤等で貼り付けて、反りが発生しにくいようにしている。
【００８５】
補強板４３は基板４２のベースと同様にポリイミドフィルムを用いることが好適である。補強板４３の厚みは５０μｍから１００μｍ程度が好ましい。この程度の厚みであれば、基板４２の厚みに補強板４３の厚みを加えても、固体撮像素子チップ１０Ａの厚みを超えることはなく、撮像用半導体装置４０の厚みに影響を及ぼすことはない。
【００８６】
図３１は図２９に示す基板２４に補強板４６を貼り付けた状態を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）は側面図である。図３１（ａ）は基板４２を配線４２Ｂ側から見た平面図であり、補強板４３は実際には基板４２の裏側に貼り付けられる。補強板４３の効果は上述の通りであり、その説明は省略するが、開口４２ａがコの字状の場合は、特に基板４２の反りが発生しやすいため、補強板４３を設けることは重要である。
【００８７】
次に、本実施例による撮像用半導体装置４０の製造方法について図３２を参照しながら説明する。
【００８８】
まず、モールド成型体４１Ｂを形成する。モールド成型体４１Ｂは、上述の第１実施例における筐体１４Ａの製造方法と同様な方法により形成することができるため、詳細な説明は省略する。
【００８９】
図３２において、（ａ）〜（ｃ）までが、モールド成型体４１Ｂを製造する工程である。まず、図３２（ａ）に示すように、突起部に対応する箇所に凹部が形成された金属板５０の上に配線パターンを形成し、コンデンサ等の電子部品９を搭載する。そして、図３２（ｂ）に示すように、樹脂モールドによりモールド成型体４１Ｂを形成する。その後、図３２（ｃ）に示すように、金属板５０を除去する。
【００９０】
図３３は電子部品９が搭載される前の金属板５０の平面図である。金属板５０は一枚の金属板に複数個形成される。まず、モールド成型体４１Ｂの突起部４１Ｂｃに対応する凹部５２と、必要に応じてダミーバンプに対応する凹部５２Ａが形成される。その後、凹部５２及び５２Ａ内に外部接続端子４１Ｂｄが形成され、さらに、電子部品９を搭載するための電極パッド５４が形成される。また、固体撮像素子チップ１０Ａを実装するための電極パッド５６も形成され、さらに、パッド５６と外部接続電極４１Ｂｄと電極パッド５４とを接続する回路パターン５８も形成される。外部接続電極４１Ｂｄ、電極パッド５４、電極パッド５６及び回路パターン５８は、上述の第１実施例で説明したように、レジストを用いて同じ工程で形成することができる。電極パッド及び配線パターンが形成された後、金属板は切断されて個々の金属板５０に分離される。図３３において点線は切断により除去される領域を示している。
【００９１】
図３４は電子部品９が搭載された状態の金属板５０を示す断面図である。電子部品９は電極パッド５４に対して導電性ペーストにより接続される。一般に導電性ペーストとしては半田が用いられるが、本実施例では銀（Ａｇ）ペースト６０を用いる。
【００９２】
本実施例では、電極パッド５４，５６や配線パターン５８は、上から例えば金（Ａｕ）／パラジウム（Ｐｄ）／ニッケル（Ｎｉ）／パラジウム（Ｐｄ）のメッキといったメッキ層により構成される。電極パッド５４に対して導電性ペーストにより電子部品９を搭載した後に樹脂モールドしてモールド成型体４１Ｂを形成し、金属板５０を除去して電極パッド５４，５６や配線パターン５８を露出させる。
【００９３】
電極パッド５４に対して半田を用いて電子部品９を実装した場合、半田接合部の近傍において電極パッド５４及び配線パターン５８がモールド成型体４１Ｂから剥離することがある。このような場合、半田接合後の電極パッド５４及び配線パターン５８を見ると、半田接合部近傍に変色が発生することが観察される。この変色は、配線パターンの成分と半田の成分とが化合して発生すると考えられる。剥離は変色が発生した部分に多く発生することから、配線パターンの成分と半田の成分とが化合することが剥離の原因であると推測される。
【００９４】
そこで、本実施例では、従来からダイボンディング材として用いられている銀（Ａｇ）ペーストを用いて電子部品９を実装する。銀（Ａｇ）ペーストを用いた場合、半田を用いた場合のように変色の発生はなく、剥離も発生しないことが確認されている。電子部品９を実装する際は、まず金属板５０に形成された電極パッド５４の上にＡｇペーストを適量塗布し、マウンタを用いて電子部品９を所定位置に配置した後に、Ａｇペーストを加熱溶解してから固化する。
【００９５】
ここで、図３２に戻って撮像用半導体装置４０の製造方法の説明を続ける。
【００９６】
形成されたモールド成型体４１Ｂは、図３２（ｄ）に示すように、基板４２に実装される。このとき、固体撮像素子チップ１０Ａはモールド成型体４１Ｂに実装されていない。次に、図３２（ｅ）に示すように、固体撮像素子チップ１０Ａを基板４２の開口４２ａに配置してモールド成型体４１Ｂに対して半田を用いて実装する。最後に、撮像用レンズ４４及びＩＲフィルタ４５が取り付けられたレンズホルダ４１Ａをモールド成型体４１Ｂに装着して接着剤等により固定し、撮像用半導体装置４０が完成する。
【００９７】
上述の製造工程では、基板４２にモールド成型体４１Ｂを実装した後に、固体撮像素子チップ１０Ａがモールド成型体４１Ｂに実装される。ここで、モールド成型体４１Ｂを基板４２に実装する前に、固体撮像素子チップ１０Ａがモールド成型体４１Ｂにフリップチップ実装した場合を考えると、固体撮像素子チップ１０Ａの受光面１０Ａａが露出した状態でモールド成型体４１Ｂの実装工程が行われることとなる。
【００９８】
モールド成型体４１Ｂの実装工程は半田のリフロー工程を含んでおり、特にリフロー炉内において固体撮像素子チップ１０Ａの受光面１０Ａａに塵埃や異物が付着する可能性が高い。固体撮像素子チップ１０Ａの受光面１０Ａａには撮像用の光が入射する面であり、塵埃や異物が付着すると画像に悪影響を及ぼすこととなる。
【００９９】
上述のような塵埃や異物の付着を防ぐために、本実施例では、基板４２にモールド成型体４１Ｂを実装する工程（基板搭載工程）の後に、固体撮像素子チップ１０Ａをモールド成型体４１Ｂに実装する工程（撮像素子搭載工程）を行っている。これにより、固体撮像素子チップ１０Ａの受光面１０Ａａが外部雰囲気に曝される時間を短縮して、塵埃の付着に起因する製品の歩留まり低下を防止している。
【０１００】
また、固体撮像素子チップ１０Ａの耐熱温度は、一般的に２３０℃程度であり、これは共晶半田の融点（２２０〜２３０℃）に近い。このため、固体撮像素子チップ１０Ａをモールド成型体４１Ｂに実装した後にモールド成型体４１Ｂを基板４２に実装する際には、共晶半田を使用することができず、共晶半田よりも低い融点（１８０℃程度）を有する鉛フリー半田等を用いなければならなかった。鉛フリー半田は共晶半田よりも接合性が劣る場合が多いため、製品の信頼性が低下するおそれがある。しかし、本実施例によれば上述のように、基板４２にモールド成型体４１Ｂを実装する工程（基板搭載工程）の後に、固体撮像素子チップ１０Ａをモールド成型体４１Ｂに実装する工程（撮像素子搭載工程）を行うため、モールド成型体４１Ｂを基板４２に実装する際に、共晶半田を含む各種の接合材を使用することができる。
【０１０１】
次に、本発明の第５実施例による撮像用半導体装置について説明する。本発明の第５実施例による撮像用半導体装置は、撮像機能を有する半導体素子と、撮像機能を制御する制御機能を有する半導体素子とを別個に設けたものである。
【０１０２】
上述の実施例では、固体撮像素子チップが形成された半導体チップに、固体撮像素子チップを制御するための制御機能を有する回路も形成されている。ここで、撮像用半導体装置の解像度を上げるには、制御機能を有する回路の規模を大きくしければならない。このため、固体撮像素子チップが形成された半導体チップのサイズを大きくしなければならない。したがって、半導体チップの大型化に伴う問題が生じるおそれがある。
【０１０３】
また、本来、センサ機能（撮像機能）と制御機能とを一つの半導体チップに一緒に形成することは、製造工程上の違いがあるため好ましくない。具体的には、センサ機能（撮像機能）と制御機能とでは、プロセス上の配線ルールや表面処理が異なる。例えば、センサ機能を有する部分にはカラーフィルタとマイクロレンズを必要とするが、制御機能を有する部分にはそのような機能部品は必要ではない。
【０１０４】
上述の問題を考慮すると、固体撮像用半導体装置の解像度を上げるには、センサ機能と制御機能とを夫々別個の半導体チップとして構成し、それらを別個に固体撮像用半導体装置に組み込むことが好ましい。
【０１０５】
図３５（ａ）は本発明の第５実施例による固体撮像用半導体装置の断面図であり、図３５（ｂ）はその断面図である。図３５において、図２７に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。
【０１０６】
本実施例において、固体撮像素子チップ７０は、センサ機能（撮像機能）のみを有する半導体チップとして形成される。また、固体撮像素子チップ７０のセンサ機能を制御するために、制御用半導体チップ７２が筐体４１に別個に組み込まれる。
【０１０７】
固体撮像素子チップ７０は、図２７に示す固体撮像素子チップ１０Ａと同様に筐体４１のモールド成型体４１Ｂに対して実装される。一方、制御用半導体チップ７２は、図２３に示す電子部品９と同様にモールド成型体４１Ｂ内に組み込まれる。したがって、固体撮像素子チップ７０と制御用半導体チップ７２とは、モールド成型体４１Ｂに形成された配線パターン５８（図３４参照）により電気的に接続される。また、モールド成型体４１Ｂ内には、コンデンサ等の電子部品９も組み込まれる。固体撮像素子チップ７０と制御用半導体チップ７２と電子部品９とにより撮像用半導体装置としての機能が達成される。
【０１０８】
図３５に示す撮像用半導体装置では、制御用半導体チップ７２は、電子部品９と同様にモールド成型体４１Ｂの中にモールドされる。制御用半導体チップ７２をモールド成型体４１Ｂにモールドすることは、上述の第３実施例において図３２を参照して説明した方法を用いて容易に行うことができる。すなわち、図３２に示す電子部品９を搭載する工程において、制御用半導体チップ７２も一緒に搭載し、制御用半導体チップ７２の電極を金属板５０の上の配線パターンにワイヤボンディングする。その後の工程は図３２に示す工程と同様であり、説明は省略する。
【０１０９】
上述のように、本実施例では、撮像用半導体チップを撮像機能専用の固体撮像素子チップ７０と制御機能専用の制御用半導体チップ７２とに分割して設けたため、各々のチップに対して個別に適当な製造方法を適用することができる。したがって、チップ７０及び７２を効率的に製造することができ、使用する個々のチップサイズを大きくすることなく、高機能な撮像用半導体装置を製造することができる。また、撮像機能専用の固体撮像素子チップ７０と制御機能専用の制御用半導体チップ７２と電子部品９とを一つのモールド成型体４１Ｂを介して近接して配置し、互いに接続するため、少ない組み立て工数で小型の撮像用半導体装置を提供することができる。
【０１１０】
次に、上述の第５実施例の変形例について説明する。
【０１１１】
図３６は上述の第５実施例による固体撮像用半導体装置の第１変形例を示す断面図である。図３５に示す固体撮像用半導体装置では、制御用半導体チップ７２は、ワイヤボンディングにより実装されているが、図３６に示す第１変形例では、制御用半導体チップ７２は、フリップチップボンディングにより実装されている。これにより、制御用半導体チップの実装面積を低減することができ、制御用半導体チップが実装された部分の高さを低くすることができる。
【０１１２】
図３７は上述の第５実施例による固体撮像用半導体装置の第２変形例を示す断面図である。図３７に示す第２変形例では、制御機能を有する半導体チップを制御用半導体チップ７２Ａ及び７２Ｂに分割し、チップ７２Ａの上にチップ７２Ｂを積層して搭載している。これにより、制御用半導体チップの実装面積を低減することができ、より多くの機能を固体撮像用半導体装置に組み込むことができる。
【０１１３】
図３８は上述の第５実施例による固体撮像用半導体装置の第３変形例を示す断面図である。図３８に示す第３変形例では、制御用半導体チップ７２をモールド成型体４１Ｂ内にモールドしない。その代わりに、制御用半導体チップ７２をモールド成型体４１Ｂの底面にフリップチップ実装する。この場合、固体撮像素子チップ７０を実装する構成と同様に、制御用半導体チップ７２を実装する位置に対応した開口を基板４２に設ける必要がある。
【０１１４】
図３９は上述の第５実施例による固体撮像用半導体装置の第４変形例を示す断面図である。図３９に示す第４変形例では、制御用半導体チップ７２をモールド成型体４１Ｂ内にモールドしない。その代わりに、制御用半導体チップ７２が内部に組み込まれた第２のモールド成型体７４をモールド成型体４１Ｂに実装する。第２のモールド成型体７４は、図３９に示すように、固体撮像素子チップ７０の下に配置されることが好ましい。
【０１１５】
第２のモールド成型体７４を固体撮像素子チップ７０の下に配置するために、モールド成型体４１Ｂには、比較的突出高さが大きい突起部４１Ｂａが、固体撮像素子チップ７０を搭載する部分の周囲に形成される。突起部４１Ｂａは、上述の第２実施例における図１９に示す突起部１４Ｂａと同様な方法で形成することができる。また、第２のモールド成型体７４は、モールド成型体４１Ｂと同様な方法により製造することができる。
【０１１６】
次に、本発明の第６実施例による固体撮像用半導体装置ついて説明する。本発明の第６実施例による固体撮像用半導体装置は、上述の第４実施例と同様に固体撮像素子チップをレンズが搭載された樹脂筐体に取り付け、且つ樹脂筐体を基板に取り付けた構成を有する。
【０１１７】
図４０は本発明の第６実施例による固体撮像用半導体装置の一部を示す断面図である。図４０において、図２７に示す構成部品と同等な部品には同じ符号を付し、その説明は省略する。図４０は、樹脂筐体４１を構成するモールド成型体４１Ｂと固体撮像素子チップ１０Ａとの接続部分と、モールド成型体４１Ｂと基板４２との接続部分を特に示している。
【０１１８】
固体撮像素子チップ１０Ａはモールド成型体４１Ｂの底面に露出した配線パターンに対して、非導電性ペースト（ＮＣＰ）を用いてフリップチップ実装されている。また、突起電極（樹脂バンプ）が底面に形成されたモールド成型体４１Ｂは、基板４２の配線パターン対してハンダ等を用いて実装されている。そして、
基板４２とモールド成型体４１Ｂとの間にはアンダーフィル材８０が注入され充填されている。アンダーフィル材８０としては接着力の強いエポキシ系の樹脂が好ましい。
【０１１９】
以上のように、モールド成型体４１Ｂと基板４２との間にアンダーフィル材８０を充填することにより、モールド成型体４１Ｂと基板４２との接続を補強することができる。基板４２としてフレキシブル基板を用いた場合、フレキシブル基板繰り返して曲げられたりしたときに、ハンダ接合部が劣化して接合不良となることを防止することができる。特に、撮像用レンズが取り付けられた樹脂筐体は、組み込まれる電子機器の表面に露出して設けられることが多く、このような場合に樹脂筐体に外部から力が加わって、基板４２に曲げが発生する。モールド成型体４１Ｂの樹脂バンプのハンダ接合部をアンダーフィル材８０で補強することにより、ハンダ接合部の劣化による損傷を防止することができる。
【０１２０】
図４０に示す構成は、以下のような方法により構成することができる。まず、フレキシブル基板からなる基板４２に、ハンダペーストをマスクを用いて塗布する。そして、実装機で樹脂筐体を構成するモールド成型体４１Ｂを基板４２に実装する。その後リフロー炉を通してモールド成型体４１Ｂの樹脂バンプを基板４２の回路パターンにハンダ接合する。
【０１２１】
モールド成型体４１Ｂを基板４２に実装した後、モールド成型体４１Ｂのチップ搭載領域に非導電性ペースト（ＮＣＰ）又は非導電性フィルム（ＮＣＦ）等よりなる接合材８４を配置し、実装機により固体撮像素子チップ１０Ａを実装する。その後、エポキシ系のアンダーフィル材を、モールド成型体４１Ｂと基板４２との間に注入し、硬化させる。これによりモールド成型体４１Ｂは基板４２に強固に固定され、ハンダ接合部の接合が補強される。
【０１２２】
なお、上述の方法では、モールド成型体４１Ｂの樹脂バンプを基板４２の回路パターンにハンダ接合した後に、固体撮像素子チップ１０Ａをモールド成型体４１Ｂに接合しているが、これはハンダリフロー時の熱が固体撮像素子チップ１０Ａや接合材８４に影響を及ぼすことを防止するためである。例えば、接合材８４としてのＮＣＰ等は、耐熱温度が１５０℃であり、ハンダリフロー時の温度より低い。
【０１２３】
図４１は上述の第６実施例による固体撮像用半導体装置の第１変形例を示す断面図である。第１変形例では、固体撮像素子チップ１０Ａの実装に接合材８４を用いずに、代わりにアンダーフィル材８０を用いる。すなわち、モールド成型体４１Ｂの樹脂バンプを基板４２の回路パターンにハンダ接合した後に、モールド成型体４１Ｂと基板４２の間にアンダーフィル材８０を注入すると同時に、アンダーフィル材８０をモールド成型体４１Ｂのチップ搭載領域まで供給する。その後、固体撮像素子チップ１０Ａを圧接ボンディングし、アンダーフィル材８０を硬化させる。したがって、図４１に示す第１変形例では、固体撮像素子チップ１０Ａの接合のための接合材８４を供給する工程を省略することができる。
【０１２４】
図４２は上述の第６実施例による固体撮像用半導体装置の第２変形例を示す断面図である。第２変形例では、モールド成型体４１Ｂの基板４２への実装にアンダーフィル材８０を用いずに、代わりに異方導電性樹脂（ＡＣＰ）よりなる接合材８６を用いる。
【０１２５】
図４２に示す構成は、以下のような方法により構成することができる。まず、フレキシブル基板からなる基板４２のモールド成型体４１Ｂを搭載する領域に、異方導電性樹脂よりなる接合材８６を塗布する。そして、実装機でモールド成型体４１Ｂを基板４２に実装する。モールド成型体４１Ｂを基板４２に実装した後、モールド成型体４１Ｂのチップ搭載領域に非導電性ペースト（ＮＣＰ）又は非導電性フィルム（ＮＣＦ）等よりなる接合材８４を配置し、実装機により固体撮像素子チップ１０Ａを実装する。モールド成型体４１Ｂは、接合材８６により基板４２に強固に固定される。本変形例ではハンダ接合を用いないので、ハンダ接合部の劣化による問題が生じることはない。また、ハンダ接合工程を省略することができる。
【０１２６】
次に、本発明の第７実施例による固体撮像用半導体装置について説明する。本発明の第７実施例による固体撮像用半導体装置は、上術の第４実施例においてモールド成型体と基板との接続にハンダボールを用いている。
【０１２７】
図４３は本発明の第７実施例による固体撮像用半導体装置の断面図である。図４３において、図２７に示す構成部品と同等な部品は同じ符号を付し、その説明は省略する。
【０１２８】
図４３において、モールド成型体４１Ｂの底面に露出した配線パターンは、ハンダボール９０を介して基板４２の配線パターンに接続されている。本実施例では、モールド成型体４１Ｂの底面には、樹脂バンプは形成されておらず、底面は平坦な面として形成されている。したがって、モールド成型体４１Ｂの底面に露出した配線パターンも平坦である。本実施例では、モールド成型体４１Ｂの底面に露出した平坦な配線パターンと、基板４２の配線パターン４２Ｂとをハンダボール９０により接合している。
【０１２９】
ハンダボール９０は、予めモールド成型対４１Ｂの配線パターン９２により形成された電極パッド上に設けられていることが好ましい。ハンダボール９０が設けられたモールド成型体４１Ｂを基板４０の所定の位置に配置し、ハンダボールをリフローすることにより、モールド成型体４１Ｂの配線パターン９２と基板４２の配線パターン４２Ｂとをハンダ接合する。また、必要に応じてソルダレジストをモールド成型体の底面に予め形成しておくこととしてもよい。
【０１３０】
図４４は図４３に示す固体撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。まず、モールド成型体４１Ｂを形成する。モールド成型体４１Ｂは、上述の第１実施例における筐体１４Ａの製造方法と同様な方法により形成することができるため、詳細な説明は省略する。図４４において、（ａ）〜（ｃ）までが、モールド成型体４１Ｂを製造する工程である。まず、図４４（ａ）に示すように、金属板５０Ａの平坦な表面上に配線パターンを形成し、コンデンサ等の電子部品９を搭載する。そして、図４４（ｂ）に示すように、樹脂モールドによりモールド成型体４１Ｂを形成する。その後、図４４（ｃ）に示すように、金属板５０Ａをエッチングにより除去する。これにより、金属板５０Ａの平坦な表面上に形成されていたパターン配線がモールド成型体４１Ｂの底面に露出する。ここで、モールド成型体４１Ｂの底面は平坦であり、パターン配線も平坦である。
【０１３１】
次に、図４４（ｄ）に示すように、パターン配線がモールド成型体４１Ｂの底面に露出したパターン配線に対して実装端子としてハンダボール９０を形成する。ハンダボールの形成は、例えば予め準備したハンダボールを転写する方法、ハンダメッキ後にリフローによりボール形状とする方法、ハンダワイヤでバンプを形成した後にバンプをリフローによりボール形状とする方法等が用いられる。
【０１３２】
そして、図４４（ｅ）に示すように、ハンダボール９０が設けられたモールド成型体４１Ｂを、基板４２に実装する。このとき、固体撮像素子チップ１０Ａはモールド成型体４１Ｂに実装されていない。次に、図４４（ｆ）に示すように、固体撮像素子チップ１０Ａを基板４２の開口４２ａに配置してモールド成型体４１Ｂに実装する。最後に、撮像用レンズ４４及びＩＲフィルタ４５が取り付けられたレンズホルダ４１Ａをモールド成型体４１Ｂに装着して接着剤等により固定し、撮像用半導体装置が完成する。
【０１３３】
上述の製造工程では、モールド成型体４１Ｂを形成する際に、平坦な金属板５０Ａを用い、その平坦な表面には樹脂バンプを形成するための凹部を形成する必要はない。ここで、平坦なという意味は、凹部や凸部を含まないという意味であり、より具体的には、樹脂バンプを形成するための凹部が形成されていないことである。したがって、金属板５０Ａに樹脂バンプのための凹部を形成する工程を省くことができ、製造工程が簡略化される。
【０１３４】
上述の製造方法において、モールド成型体４１Ｂを基板４２に実装する際に、図４５に示すように、予めハンダボール９０に対してハンダペーストを転写しておき、そのようなモールド成型体４１Ｂを基板４２に実装することとしてもよい。あるいは、図４６に示すように、基板４２に予めハンダペーストをメタルマスク法等により基板４２上に印刷塗布した後、モールド成型体４１Ｂを基板４２に実装することとしてもよい。
【０１３５】
図４７は上述の第７実施例による固体撮像用半導体装置の第１変形例を示す断面図である。図４７に示す第１変形例では、ハンダボール９０の代わりに、銅コアハンダボール９０Ａを使用している。ここで、銅コアハンダボール９０Ａは、ハンダボールの中に銅のボールが入っているものであり、通常のハンダボールと銅コアハンダボールとが同じ大きさであれば、銅コアハンダボールの方が、銅ボールが入っている分だけハンダの量が少なくなる。銅コアハンダボールは環境汚染の原因となるハンダ中の鉛の使用量を減らすために開発されたハンダボールである。
【０１３６】
上述の第７実施例や第１変形例のようにハンダを主成分としたボールは比較的低価格で入手することができ、これを用いた半導体装置全体の製造コストを低減することができる。また、ハンダを主成分とするボールは、その融点の異なる種類が多数あるので、使用される環境条件に応じて融点の異なるハンダボールを自由に選択することができる。環境条件としては、例えば、固体撮像素子チップのフリップチップ実装温度、樹脂成型体中に埋め込まれる電子部品と配線パターンの電気的接続温度（接続材料の融点）、基板の実装温度、といった制約条件がある。
【０１３７】
図４８は上述の第７実施例による固体撮像用半導体装置の第２変形例を示す断面図である。図４８に示す第２変形例では、ハンダボール９０の代わりに、金バンプ９０Ｂを使用している。金バンプ９０Ｂは、ワイヤバンピング法（ワイヤボンダを用いてバンプを形成する方法）を用いて、モールド成型体４１Ｂのパターン配線上に容易に形成することができる。モールド成型体４１Ｂは、非導電性ペースト（ＮＣＰ）、異方導電性ペースト（ＡＣＰ）、異方導電性フィルム（ＡＣＦ）等を介して基板４２に実装し、実装信頼性の向上を図ることが好ましい。
【０１３８】
金バンプ９０Ｂのように金を主成分とするバンプは、樹脂バンプに比べて大幅に小さいサイズで形成可能である。したがって、モールド成型体の底面に転写されているパターン配線パターンの引き回し設計が容易となり、また、半導体装置自体を小型化することができるという利点がある。さらに、金を主成分とするバンプの実装高さは、３０μｍ〜６０μｍ程度であり、樹脂バンプの実装高さである７０μｍ〜１００μｍより小さいため、半導体装置の高さ寸法を低減することができる。
【０１３９】
以上のように、本実施例ではモールド成型体４１Ｂの実装端子として、金属からなる実装端子をモールド成型体４１Ｂの平坦な底面上に別個に形成し、この金属実装端子を介してモールド成型体４１Ｂを基板４２に実装する。このため、モールド成型体４１Ｂの形成工程において、樹脂バンプを形成するための加工工程が不要となり、製造工程が簡略化される。
【０１４０】
以上の如く本明細書は以下の発明を開示する。
【０１４１】
（付記１） 所定の機能を提供する半導体装置であって、
機能部品が取り付けられる樹脂筐体と、
該樹脂筐体に埋め込まれ、一部が露出した導電体からなる配線パターンと、
前記樹脂筐体に埋め込まれた状態で、前記配線パターンに接続された電子部品と、
前記樹脂筐体から露出した前記配線パターンの一部に対して接続された半導体素子と
を有し、
前記半導体素子は前記樹脂筐体の機能部品と協働して前記所定の機能を提供することを特徴とする半導体装置。
【０１４２】
（付記２） 付記１記載の半導体装置であって、
前記半導体素子は前記配線パターンの一部に対してフリップチップ実装されたことを特徴とする半導体装置。
【０１４３】
（付記３） 付記１又は２記載の半導体装置であって、
前記配線パターンの露出部の一部は前記樹脂筐体の面から突出していることを特徴とする半導体装置。
【０１４４】
（付記４） 付記１又は２記載の半導体装置であって、
前記樹脂筐体は前記半導体素子の周囲において前記半導体素子側に突出した突出部を有し、前記配線パターンの露出部の一部は前記突出部の表面において露出していることを特徴とする半導体装置。
【０１４５】
（付記５） 付記４記載の半導体装置であって、
前記半導体素子が取り付けられる配線パターンの面から前記突出部の先端までの距離は、前記半導体素子が取り付けられる配線パターンの面から前記半導体装置の背面までの距離より大きいことを特徴とする半導体装置。
【０１４６】
（付記６） 付記１乃至５のうちいずれか一項記載の半導体装置であって、
前記樹脂筐体は前記電子部品の直下に突出した突起部を有し、該突起部に前記配線パターンの一部が埋め込まれた状態で延在していることを特徴とする半導体装置。
【０１４７】
（付記７） 付記１乃至６のうちいずれか一項記載の半導体装置であって、
前記配線パターンは、金属メッキにより形成されたことを特徴とする半導体装置。
【０１４８】
（付記８） 付記１乃至６のうちいずれか一項記載の半導体装置であって、
前記配線パターンは、導電性樹脂により形成されたことを特徴とする半導体装置。
【０１４９】
（付記９） 付記１乃至８のうちいずれか一項記載の半導体装置であって、
前記機能部品は撮像用レンズを含み、前記半導体素子は受光面を有する固体撮像素子であり、前記撮像用レンズと前記固体撮像素子とは前記撮像用レンズを通過した光が前記半導体素子の受光面に入射するように前記樹脂筐体に取り付けられたことを特徴とする半導体装置。
【０１５０】
（付記１０） 付記９記載の半導体装置であって、
前記機能部品は表面に絞りが形成されたフィルタを更に含み、該フィルタは前記撮像用レンズと前記半導体素子の間に配置された状態で前記樹脂筐体に取り付けられたことを特徴とする半導体装置。
【０１５１】
（付記１１） 撮像用半導体装置であって、
上面と底面の間で貫通した開口を有する樹脂筐体と、
該樹脂筐体に埋め込まれ、一部が前記樹脂筐体の底面に露出した導電体からなる配線パターンと、
前記樹脂筐体に埋め込まれた状態で、前記配線パターンに接続された電子部品と、
前記配線パターンの露出部にフリップチップ実装された固体撮像素子と、
前記筐体の上面側に取り付けられた撮像用レンズと
を有し、
前記撮像用レンズと前記固体撮像素子とは、前記撮像用レンズを通過する光が前記樹脂筐体の前記開口を介して前記固体撮像素子の受光面に入射するように配置されたことを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１５２】
（付記１２） 付記１１記載の撮像用半導体装置であって、
表面に絞りが形成されたフィルタを更に含み、該フィルタは前記撮像用レンズと前記半導体素子との間に配置された状態で前記樹脂筐体の前記開口内に取り付けられたことを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１５３】
（付記１３） 半導体装置の製造方法であって、
金属板の上に導電体よりなる配線パターンを形成し、
該配線パターンに電子部品を接続し、
該電子部品と前記配線パターンとを前記金属板上で樹脂封止して、前記電子部品と前記配線パターンとが埋め込まれた樹脂筐体を形成し、
前記金属板を前記樹脂筐体から除去して前記配線パターンの一部を露出させ、
前記配線パターンの露出部に半導体素子を接続し、
前記樹脂筐体に前記半導体素子と協働して所定の機能を提供する機能部品を取り付ける
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
【０１５４】
（付記１４） 付記１３記載の半導体装置の製造方法であって、
前記配線パターンを形成する前に前記金属板に凹部を形成し、前記配線パターンの一部が該凹部内に配置されるように前記配線パターンを形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【０１５５】
（付記１５） 付記１３又は１４記載の半導体装置の製造方法であって、
前記配線パターンを形成する前に前記金属板の一部を屈曲して凹部を形成し、前記配線パターンの一部が該凹部内に配置されるように前記配線パターンを形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【０１５６】
（付記１６） 付記１２乃至１５記載のうちいずれか一項記載の半導体装置の製造方法であって、
前記配線パターンを金属メッキにより形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【０１５７】
（付記１７） 付記１６記載の半導体装置の製造方法であって、
前記配線パターンの金属メッキの前に、前記金属板とは異なる金属を前記金属板にメッキすることを特徴とする半導体装置の形成方法。
【０１５８】
（付記１８） 付記１２乃至１５記載のうちいずれか一項記載の半導体装置の製造方法であって、
前記配線パターンを導電性樹脂により形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【０１５９】
（付記１９） 付記１２乃至１８のうちいずれか一項記載の半導体装置の製造方法であって、
前記金属板を前記樹脂筐体から除去した後、前記半導体素子と協働して所定の機能を提供する機能部品を前記樹脂筐体に取り付けることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【０１６０】
（付記２０） 付記１９記載の半導体装置の製造方法であって、
前記機能部品は撮像用レンズを含み、前記半導体素子は受光面を有する固体撮像素子であり、
前記撮像用レンズと前記固体撮像素子とを前記撮像用レンズを通過した光が前記半導体素子の受光面に入射するように前記樹脂筐体に取り付けることを特徴とする半導体装置の製造方法。
【０１６１】
（付記２１） 撮像用レンズが取り付けられたレンズホルダと、
該レンズホルダが取り付けられ、且つ前記レンズホルダが取り付けられる側とは反対側の底面に固体撮像素子が実装される樹脂成型体と、
該樹脂成型体が実装される基板と、
を有する撮像用半導体装置であって、
前記基板は前記樹脂成型体が実装される位置に開口を有しており、前記固体撮像素子は該開口内に配置された状態で前記樹脂成型体の前記底面に実装されることを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１６２】
（付記２２） 付記２１記載の撮像用半導体装置であって、
前記レンズホルダの前記撮像用レンズは、前記樹脂成型体に形成された貫通孔を介して前記固体撮像素子の受光面に対向することを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１６３】
（付記２３） 付記２１記載の撮像用半導体装置であって、
前記個体撮像素子が搭載される前記樹脂成型体の面から突出した電極が形成され、前記樹脂成型体は該突出した電極により前記基板に実装されることを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１６４】
（付記２４） 付記２３記載の撮像用半導体装置であって、
前記突出した電極を有する前記樹脂成型体の面に露出した状態で電極パッドと配線パターンが形成され、電子部品が該電極パッドに接続された状態で前記樹脂成型体の内部にモールドされていることを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１６５】
（付記２５） 付記２４記載の撮像用半導体装置であって、
前記電子部品は銀（Ａｇ）ペーストにより前記電極パッドに接続されることを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１６６】
（付記２６） 付記２３記載の撮像用半導体装置であって、
前記基板の角部近傍に対応する位置の前記樹脂成型体の面に、前記突出した電極と同じ構造を有するが電気的に孤立したダミー突起部が設けられ、該ダミー突起部は前記基板に設けられて電気的に孤立した電極パッドに接合されることを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１６７】
（付記２７） 付記２１記載の撮像用半導体装置であって、
前記基板の前記樹脂成型体が実装される領域に貼り付けられて前記樹脂形成体を補強する補強板を更に有することを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１６８】
（付記２８） 撮像用半導体装置の製造方法であって、
底面に突出した電極を有する樹脂成型体を、該電極を用いて基板に実装する工程と、
前記樹脂成型体の実装工程の後に、固体撮像素子を前記基板に形成された開口を通じて前記樹脂成型体の前記底面に実装する工程と
を有することを特徴とする撮像用半導体装置の製造方法。
【０１６９】
（付記２９） 機能部品が取り付けられる樹脂筐体と、
該樹脂筐体に埋め込まれ、一部が露出した導電体からなる配線パターンと、
前記樹脂筐体から露出した前記配線パターンの一部に対して接続された撮像素子と
前記樹脂筐体に設けられ、前記配線パターンに接続された制御用半導体素子と、
を有する撮像用半導体装置であって、
前記撮像素子は前記樹脂筐体に設けられた前記制御用半導体素子と協働して撮像機能を提供することを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１７０】
（付記３０） 付記２９記載の撮像用半導体装置であって、
前記樹脂筐体中に埋め込まれた状態で電子部品が設けられ、前記撮像素子は前記樹脂筐体の制御用半導体素子及び前記電子部品と協働して撮像機能を提供することを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１７１】
（付記３１） 付記２９又は３０記載の撮像用半導体装置であって、
前記制御用半導体素子は、前記樹脂筐体中に埋め込まれた状態で設けられることを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１７２】
（付記３２） 付記２９又は３０記載の撮像用半導体装置であって、
前記制御用半導体素子は、前記樹脂筐体中から露出した前記配線パターンの一部に対して接続されることを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１７３】
（付記３３） 付記３２記載の撮像用半導体装置であって、
前記制御用半導体素子は、前記樹脂筐体とは異なる他の樹脂筐体中に埋め込まれた状態で設けられ、該他の樹脂筐体は前記撮像素子を間に挟んだ状態で前記樹脂筐体に取り付けられることを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１７４】
（付記３４） 付記２９乃至３３のうちいずか一項記載の半導体装置であって、
前記制御用半導体素子は、前記撮像素子を制御する機能を有する半導体素子であることを特徴とする半導体装置。
【０１７５】
（付記３５） 撮像用レンズが取り付けられたレンズホルダと、
該レンズホルダが取り付けられ、且つ前記レンズホルダが取り付けられる側とは反対側の底面に固体撮像素子が実装される樹脂成型体と、
該樹脂成型体が実装される基板と、
を有する撮像用半導体装置であって、
前記基板は前記樹脂成型体が実装される位置に開口を有しており、前記固体撮像素子は該開口内に配置された状態で前記樹脂成型体の前記底面に実装され、且つ前記樹脂成型体と前記基板との間にアンダーフィル材が充填されたことを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１７６】
（付記３６） 付記３５記載の撮像用半導体装置であって、
前記固体撮像素子は、前記樹脂成型体と前記基板との間に充填されるアンダーフィル材を前記固体撮像素子の搭載領域にまで供給することにより、前記樹脂筐体に固定されることを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１７７】
（付記３７） 撮像用レンズが取り付けられたレンズホルダと、
該レンズホルダが取り付けられ、且つ前記レンズホルダが取り付けられる側とは反対側の底面に固体撮像素子が実装される樹脂成型体と、
該樹脂成型体が実装される基板と、
を有する撮像用半導体装置であって、
前記基板は前記樹脂成型体が実装される位置に開口を有しており、前記固体撮像素子は該開口内に配置された状態で前記樹脂成型体の前記底面に実装され、且つ前記樹脂成型体は異方導電性樹脂により前記基板に実装されたことを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１７８】
（付記３８） 上面と平坦な底面との間で貫通した開口を有する樹脂筐体と、
該樹脂筐体に埋め込まれ、一部が前記樹脂筐体の平坦な底面に露出した導電体からなる配線パターンと、
前記樹脂筐体に埋め込まれた状態で、前記配線パターンに接続された電子部品と、
前記配線パターンの露出部にフリップチップ実装された固体撮像素子と、
前記樹脂筐体の上面側に取り付けられた撮像用レンズと、
前記樹脂筐体が実装された基板と
を有し、
前記撮像用レンズと前記固体撮像素子とは、前記撮像用レンズを通過する光が前記樹脂筐体の前記開口を介して前記固体撮像素子の受光面に入射するように配置された撮像用半導体装置であって、
前記樹脂筐体の底面に露出した配線パターンは金属からなる実装端子を介して前記基板の配線パターンに電気的に接続されたことを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１７９】
（付記３９） 付記３８記載の撮像用半導体装置であって、
前記実装端子はハンダを主成分とするボールであることを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１８０】
（付記４０） 付記３８記載の撮像用半導体装置であって、
前記実装端子は金を主成分とするバンプであることを特徴とする撮像用半導体装置。
【０１８１】
（付記４１） 撮像用半導体装置の製造方法であって、
金属板の平坦な表面上に導電体よりなる配線パターンを形成し、
該配線パターンに電子部品を接続し、
該電子部品と前記配線パターンとを前記金属板上で樹脂封止して、前記電子部品と前記配線パターンとが埋め込まれた樹脂筐体を形成し、
前記金属板を前記樹脂筐体から除去して前記配線パターンの一部を露出させ、
前記樹脂筐体の平坦な底面に露出した前記配線パターンの一部に実装端子を形成し、
前記樹脂筐体を前記実装端子を介して基板に実装し、
前記樹脂筐体の底面に露出した配線パターンに撮像素子をフリップチップ実装し、
前記撮像素子と協働して撮像機能を提供する機能部品を前記樹脂筐体に取り付ける
ことを特徴とする撮像用半導体装置の製造方法。
【０１８２】
（付記４２） 付記４１記載の撮像用半導体装置の製造方法であって、
前記樹脂筐体を前記基板に実装する前に、前記実装端子にハンダペーストを転写する工程を更に有することを特徴とする撮像用半導体装置の製造方法。
【０１８３】
（付記４３） 付記４１記載の撮像用半導体装置の製造方法であって、
前記樹脂筐体を前記基板に実装する前に、前記基板にハンダペーストを塗布する工程を更に有することを特徴とする撮像用半導体装置の製造方法。
【発明の効果】
【０１８４】
上述の如く本発明によれば、次に述べる種々の効果を実現することができる。
【０１８５】
請求項１記載の発明によれば、固体撮像素子が直接樹脂筐体に実装されるため、固体撮像素子を実装するための基板が不要である。したがって、撮像用半導体装置の厚みは、実質的に撮像用レンズの焦点距離と固体撮像素子の厚みとの和に等しくなる。すなわち、固体撮像素子を実装するための基板の厚さが撮像用半導体装置全体の厚みに含まれないため装置全体の厚みを減少することができる。また、樹脂筐体の貫通した開口の両側に撮像用レンズと固体撮像素子とが取り付けられるため、固体撮像素子の受光面を含む回路形成面を開口を介して撮像用レンズと対向させることができる。また、固体撮像素子を樹脂筐体に実装する際に、半導体チップの回路形成面の反対側の背面を支持することができるため、回路形成面を画像認識しながら実装を行うことができる。これにより、半導体チップを高い位置精度で樹脂筐体に実装することができる。
【０１８６】
請求項２記載の発明によれば、樹脂筐体の開口内にフィルタを取り付けるだけで、撮像用レンズと半導体素子の受光面との間にフィルタを容易に配置することができ、高い機能の撮像用半導体装置を提供することができる。
【０１８７】
請求項３記載の発明によれば、樹脂筐体の底面に樹脂バンプを形成することなく、別個に設けられる実装端子を介して樹脂筐体を基板に実装する。したがって、樹脂バンプを形成するための製造工程を省くことができ、撮像用半導体装置の製造工程が簡略化される。
【０１８８】
請求項４記載の発明によれば、配線パターン及び電子部品を樹脂筐体に容易に埋め込むことができ、且つ樹脂筐体の底面に配線パターンをさせることができる。これにより、請求項１記載の撮像用半導体装置を容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 撮像用レンズとＣ−ＭＯＳセンサを有する半導体チップとを一体化した構成の半導体装置パッケージの断面図である。
【図２】 図１に示す半導体装置パッケージの部品の配置構成を示す平面図である。
【図３】 本発明の実施の形態による半導体装置パッケージの断面図である。
【図４】 図３に示す半導体装置パッケージの部品の配置構成を示す平面図である。
【図５】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の断面図である。
【図６】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の配線構成を示す平面図である。
【図７】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図８】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図９】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１０】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１１】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１２】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１３】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１４】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１５】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１６】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１７】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１８】 本発明の第１実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図１９】 本発明の第２実施例による撮像用半導体装置の断面図である。
【図２０】 図１９におけるＡ部の拡大図である。
【図２１】 本発明の第２実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図２２】 本発明の第２実施例による撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図２３】 本発明の第３実施例による撮像用半導体装置の断面図である。
【図２４】 図２３のＡ部の拡大図である。
【図２５】 図２３のＡ部に設けられている部品の配置を示す平面図である。
【図２６】 突起部を形成しないで電子部品の下側に配線パターンを配置した場合を示す図である。
【図２７】 本発明の第４実施例による撮像用半導体装置を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）は断面図である。
【図２８】 図２７に示す基板の一例を示す平面図である。
【図２９】 図２７に示す基板の他の例を示す平面図である。
【図３０】 図２８に示す基板に補強板を貼り付けた状態を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）は側面図である。
【図３１】 図２９に示す基板に補強板を貼り付けた状態を示す図であり、（ａ）はその平面図、（ｂ）は側面図である。
【図３２】 図２７に示す撮像用半導体装置製造方法を説明するための図である。
【図３３】 電子部品が搭載される前の金属板の平面図である。
【図３４】 電子部品が搭載された状態の金属板を示す断面図である。
【図３５】 （ａ）は本発明の第５実施例による固体撮像用半導体装置の断面図であり、（ｂ）はその断面図である。
【図３６】 本発明の第５実施例による固体撮像用半導体装置の第１変形例を示す断面図である。
【図３７】 本発明の第５実施例による固体撮像用半導体装置の第２変形例を示す断面図である。
【図３８】 本発明の第５実施例による固体撮像用半導体装置の第３変形例を示す断面図である。
【図３９】 本発明の第５実施例による固体撮像用半導体装置の第４変形例を示す断面図である。
【図４０】 本発明の第６実施例による固体撮像用半導体装置の一部を示す断面図である。
【図４１】 本発明の第６実施例による固体撮像用半導体装置の第１変形例を示す断面図である。
【図４２】 本発明の第６実施例による固体撮像用半導体装置の第２変形例を示す断面図である。
【図４３】 本発明の第７実施例による固体撮像用半導体装置の断面図である。
【図４４】 図４３に示す固体撮像用半導体装置の製造工程を説明するための図である。
【図４５】 樹脂筐体へのハンダペースト転写工程を説明するための図である。
【図４６】 基板へのハンダペースト塗布工程を説明するための図である。
【図４７】 本発明の第７実施例による固体撮像用半導体装置の第１変形例を示す断面図である。
【図４８】 本発明の第７実施例による固体撮像用半導体装置の第２変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
３ 撮像用レンズ
５ ＩＲフィルタ
５ａ 絞り
９ 電子部品
１０ 半導体チップ
１０Ａ 固体撮像素子チップ
１２ 基板
１２ａ 配線パターン
１４，１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｃ 筐体
１４Ｂａ 突出部
１４Ｃａ 突起部
２６，２６Ａ 外部接続端子
２８ ディンプル
３０ レジスト
３２ 凹部
４０ 撮像用半導体装置
４１ 筐体
４１Ａ レンズホルダ
４１Ｂ モールド成型体
４２ 基板
４２ａ 開口
４３ 補強板
４４ 撮像用レンズ
４５ ＩＲフィルタ
５０ 金属板
７０ 固体撮像素子チップ
７２，７２Ａ，７２Ｂ 制御用半導体チップ
７４ 第２のモールド成型体
８０ アンダーフィル材
８２ ハンダ
８４，８６，９４ 接合材
９０ ハンダボール
９０Ａ 銅コアハンダボール
９０Ｂ 金バンプ
９２ パターン配線

Claims (4)

1. 撮像用半導体装置であって、
   上面と底面の間で貫通した開口を有する樹脂筐体と、
   該樹脂筐体に埋め込まれ、一部が前記樹脂筐体の底面に露出した導電体からなる配線パターンと、
   前記樹脂筐体に埋め込まれた状態で、前記配線パターンに接続された電子部品と、
   前記配線パターンの露出部にフリップチップ実装された固体撮像素子と、
   前記樹脂筐体の上面側に取り付けられた撮像用レンズと
   を有し、
   前記撮像用レンズと前記固体撮像素子とは、前記撮像用レンズを通過する光が前記樹脂筐体の前記開口を介して前記固体撮像素子の受光面に入射するように配置されたことを特徴とする撮像用半導体装置。
2. 請求項１記載の撮像用半導体装置であって、
   表面に絞りが形成されたフィルタを更に含み、該フィルタは前記撮像用レンズと前記半導体素子との間に配置された状態で前記樹脂筐体の前記開口内に取り付けられたことを特徴とする撮像用半導体装置。
3. 請求項１記載の撮像用半導体装置であって、
   前記樹脂筐体の底面に露出した配線パターンは金属からなる実装端子を介して前記基板の配線パターンに電気的に接続されたことを特徴とする撮像用半導体装置。
4. 撮像用半導体装置の製造方法であって、
   金属板の上に導電体よりなる配線パターンを形成し、
   該配線パターンに電子部品を接続し、
   該電子部品と前記配線パターンとを前記金属板上で樹脂封止して、開口部を有する樹脂筐体を形成し、
   前記金属板を前記樹脂筐体から除去して前記配線パターンの一部を露出させ、
   前記配線パターンの露出部に半導体素子を接続し、
   前記樹脂筐体の前記開口部内に撮像用レンズを取り付ける
   ことを特徴とする撮像用半導体装置の製造方法。

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