JP3589920B2 - 半導体受光素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体受光素子に関する。さらに詳しくは、高い外部量子効率を確保しつつ、高速応答が可能な半導体受光素子に関する。
【0002】
【従来の技術】
図2に示すように、従来の半導体受光素子としては、例えば、半絶縁性InP基板20上に、n+−InGaAsP層21(厚さ0.2μm)と、光吸収層としてのアンドープト(undoped)InGaAs層22(厚さ0.4μm)及びp+−InGaAs層23(厚さ0.2μm)と、p+−InGaAsP層24(厚さ0.2μm)と、p+−InP層25(厚さ0.5μm)と、p+−InGaAsP層26(厚さ0.2μm)とを順次エピタキシャル成長させた層構造からなる導波路構造を備えた受光素子(PIN−PD)が用いられている。この半導体受光素子は、さらに、n+−InGaAsP層21上に形成されたn側コンタクト(AuGeNi)28と、p+−InGaAsP層26とポリイミド27a上に形成されたp側コンタクト(AuZnNi)29を有し、n側コンタクト(AuGeNi)28は、ポリイミド27b上に形成されるパッドとボンディングワイヤーで接続される。
この半導体受光素子の光吸収層を構成するアンドープト(undoped)InGaAs層22は、p−−InGaAs層、i−InGaAs層及びn―−InGaAs層の3層から構成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の半導体受光素子によると、高速応答性を実現するために光吸収層22、23を1μm以下の厚さ(0.4μm+0.2μm)にしてキャリアの走行時間を短くしているため、光ファイバーからの入射光との結合効率が悪いという不都合があった。すなわち、導波路型PIN−PDの光吸収領域は、InGaAs層22、23の光吸収層とそれを上下から挟持するInGaAsP層21、24の導波路部からなるが、ファイバからの入射光のスポットサイズが約9μmであるのに対し、光吸収領域の厚さは1μm(0.2μm+0.4μm+0.2μm+0.2μm)しかないため、外部量子効率が低いものとならざるを得なかった。
【0004】
従って、本発明の目的は、高い外部量子効率を確保しつつ、高速応答が可能な半導体受光素子を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、以下の半導体受光素子を提供する。
【0006】
[1]受光領域を形成する導波路構造を備えた半導体受光素子において、
前記導波路構造が、薄膜化した一導電型のInGaAs光吸収層と、前記光吸収層を上下から挟持した一導電型のInGaAsPクラッド層と、前記光吸収層及び前記クラッド層を上下から挟持した逆導電型のInP層及び一導電型のInP層とからなるエピタキシャル構造を多層に積層した構成を有することを特徴とする半導体受光素子。
【0007】
[2]前記導波路構造が、その端面にn−InP窓層を備えた構成を有する[1]に記載の半導体受光素子。
【0008】
[3]前記光吸収層が、その厚さが0.2±0.05μmである構成を有する[1]又は[2]に記載の半導体受光素子。
【0009】
[4]前記導波路構造が、前記エピタキシャル構造を5層〜20層積層した構成を有する[1]〜[3]のいずれかに記載の半導体受光素子。
【0010】
[5]前記導波路構造が、n+−InP、n+−InGaAsPクラッド層、n−−InGaAs光吸収層、n+−InGaAsPクラッド層、p+−InP、n+−InGaAsPクラッド層、n−−InGaAs光吸収層、n+−InGaAsPクラッド層を順次積層した、5層のエピタキシャル構造を含む受光領域を有する[1]〜[4] のいずれかに記載の半導体受光素子。
【0011】
本発明の半導体受光素子は、一導電型のInGaAs光吸収層を薄膜化し、かつ光吸収層及びクラッド層を上下から一導電型のInP及び逆導電型のInPによって挟持した構造とすることで、1ボルト以下の電圧で一導電型のInGaAs光吸収層を空乏化させることができ、かつ低濃度層内のキャリアの走行距離を短くすることができるため、高速応答が可能となる。
【0012】
また、薄膜化一導電型のInGaAs光吸収層及び逆導電型のInP及び一導電型のInPの層を積層することで、実効的な吸収層の面積を広く取ることができる(約3μm)ため、かつ、一導電型のInGaAsPクラッド層を設けたことで、導波路内の結合効率を高めることができるため、素子全体として高い結合効率を確保することができる。
【0013】
さらに、窓層を設けることで、pn接合を保護することができるため、高い信頼性と安定した暗電流特性とを得ることができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を、図面を参照しつつ具体的に説明する。
図1は、本発明の半導体受光素子の一の実施の形態を模式的に示す説明図で、(イ)は、全体斜視図、(ロ)は、断面図である。
【0015】
図1に示すように、本発明の半導体受光素子は、半絶縁性InP基板7上に、導波路構造として、薄膜化したn−InGaAs光吸収層1と、この光吸収層1を上下から挟持したn−InGaAsPクラッド層2、3と、光吸収層1及 びクラッド層2、3を上下から挟持したp−InP層4及びn−InP層5とからなるエピタキシャル構造を多層に積層したもので、導波路構造の端面に、n−InP窓層6を備えている。また、SiNx保護膜8、p側電極9及びn側電極10等を適宜設けることができる。
【0016】
本発明に用いられるn−InGaAs光吸収層1の厚さは、好ましくは、0.2±0.05μmである。
【0017】
また、本発明におけるエピタキシャル構造は、5層〜20層、積層したものであることが好ましい。5層未満であると、有効断面積が小さくなり、結合効率が悪化することがある。20層を超えて積層しても、結合部等に差が生じることがない。
【0018】
【実施例】
以下、本発明を実施例によってさらに具体的に説明する。
[実施例1]
半絶縁性InP基板上7に、n+−InP5(濃度=1016/cm3、厚さ=0.lμm)、n+−InGaAsPクラッド層3(濃度=1016/cm3、厚さ=0.03μm)、n−−InGaAs光吸収層1(濃度=1015/cm3、厚さ=0.2μm)、n+−InGaAsPクラッド層2(濃度=1016/cm3、厚さ=0.03μm)、p+−InP4(濃度=1016/cm3、厚さ=0.1μm)、n+−InGaAsPクラッド層3(濃度=1016/cm3、厚さ=0.03μm)、n−−InGaAs光吸収層1(濃度=1015/cm3、厚さ=0.2μm)、n+−InGaAsPクラッド層2(濃度=1016/cm3、厚さ=0.03μm)を順次積層して、5層のエピタキシャル構造を含む受光領域を有する導波路構造を形成した。
最後に、導波路構造の端面にn+−InP窓層6(濃度=1016/cm3、厚さ=0.1μm)を設け、さらに、SiNx保護膜8、p側電極9及びn側電極10を所定箇所に設けた。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の半導体受光素子によって、90%以上の外部量子効率を確保しつつ、20GHz未満の高速応答が可能な半導体受光素子を提供することができる。
【0020】
また、本発明の半導体受光素子によって、1ボルト未満の低電圧動作が可能になるとともに、高い信頼性と安定した暗電流特性とを得ることができる。
【0021】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体受光素子の一の実施の形態を模式的に示す説明図で、(イ)は、全体斜視図、(ロ)は、断面図である。
【図2】従来の半導体受光素子の一例を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
1:n−−InGaAs光吸収層
2:n+−InGaAsPクラッド層
3:n+−InGaAsPクラッド層
4:p+−InP
5:n+−InP層
6:n+−InP窓層
7:半絶縁性InP基板
8:SiNx保護膜
9:p側電極
10:n側電極
20:半絶縁性InP基板
21:n+−InGaAsP層
22:アンドープトn−InGaAs層
23:p+−InGaAs層
24:p+−InGaAsP層
25:p+−InP層
26:p+−InGaAsP層
27a:ポリイミド
27b:ポリイミド
28:n側コンタクト(AGeNi)
29:p側コンタクト(AuZnNi)
Claims (5)
- 受光領域を形成する導波路構造を備えた半導体受光素子において、前記導波路構造が、薄膜化した一導電型のInGaAs光吸収層と、前記光吸収層を上下から挟持した一導電型のInGaAsPクラッド層と、前記光吸収層及び前記クラッド層を上下から挟持した逆導電型のInP層及び一導電型のInP層とからなるエピタキシャル構造を多層に積層した構成を有することを特徴とする半導体受光素子。
- 前記導波路構造が、その端面にn−InP窓層を備えた構成を有する請求項1に記載の半導体受光素子。
- 前記光吸収層が、その厚さが0.2±0.05μmである構成を有する請求項1又は2に記載の半導体受光素子。
- 前記導波路構造が、前記エピタキシャル構造を5層〜20層積層した構成を有する請求項1〜3のいずれかに記載の半導体受光素子。
- 前記導波路構造が、n+−InP、n+−InGaAsPクラッド層、n−−InGaAs光吸収層、n+−InGaAsPクラッド層、p+−InP、n+−InGaAsPクラッド層、n−−InGaAs光吸収層、n+−InGaAsPクラッド層を順次積層した、5層のエピタキシャル構造を含む受光領域を有する請求項1〜4のいずれかに記載の半導体受光素子。
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