JP3573040B2 - 赤外線カメラ及び赤外線カメラシステム - Google Patents

赤外線カメラ及び赤外線カメラシステム Download PDF

Info

Publication number
JP3573040B2
JP3573040B2 JP35445599A JP35445599A JP3573040B2 JP 3573040 B2 JP3573040 B2 JP 3573040B2 JP 35445599 A JP35445599 A JP 35445599A JP 35445599 A JP35445599 A JP 35445599A JP 3573040 B2 JP3573040 B2 JP 3573040B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
switching
temperature
operating temperature
infrared camera
switching means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP35445599A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2001028710A (ja
Inventor
訓生 大川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP35445599A priority Critical patent/JP3573040B2/ja
Priority to CA002307459A priority patent/CA2307459C/en
Priority to AU31296/00A priority patent/AU745298B2/en
Priority to EP00109469A priority patent/EP1051031A1/en
Priority to US09/564,481 priority patent/US6504155B1/en
Publication of JP2001028710A publication Critical patent/JP2001028710A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3573040B2 publication Critical patent/JP3573040B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/60Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
    • H04N25/68Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to defects
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/20Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from infrared radiation only
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/60Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
    • H04N25/63Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to dark current
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/60Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
    • H04N25/67Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise applied to fixed-pattern noise, e.g. non-uniformity of response
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00Details of television systems
    • H04N5/30Transforming light or analogous information into electric information
    • H04N5/33Transforming infrared radiation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)
  • Studio Devices (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は赤外線カメラ及び当該赤外線カメラと当該赤外線カメラで得られた画像信号を表示する表示装置とを備えた赤外線システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
赤外線カメラは、例えば火災検知、侵入監視、設備監視等の他に、図7に示すように赤外線カメラCを車両等の移動体Mに搭載し、移動体Mの前方の画像を取得し、表示して障害物の検出に用いられている。また、赤外線カメラCを移動体の後方あるいは側方に搭載し、後続の移動体を検知あるいは側方の移動体や障害物の検知等にも用いられている。また、他の用途として、図8に示すように、赤外線カメラCとこの赤外線カメラCで得られる画像を表示する表示装置Dを搭載した、頭部に着脱可能なヘルメットHを消防隊員等の人間頭部に装着し、バッテリBにより当該赤外線カメラCと表示装置Dに供給することにより熱源例えば火災の検知等に使用されている。
【0003】
図9は従来の赤外線カメラのブロック図である。図中、Mは被写体、1は赤外光学系、2は赤外光学系1の結像面に位置する撮像素子、3は撮像素子2に熱的に接続した素子温度モニタ、4は撮像素子2に接続した直流バイアス電源、5は撮像素子2に接続した素子出力レベル設定回路、6は撮像素子2に接続したドライバ回路、7は撮像素子2に接続した増幅回路、8は増幅回路7に接続したオフセットレベル設定回路、9は増幅回路7に接続した表示処理回路、10は表示処理回路9に接続した感度補正データメモリ、11は表示処理回路9に接続した欠陥補正データメモリ、12は撮像素子2に熱的に接続した熱電素子、13は素子動作温度設定回路、14は素子温度モニタ3と素子動作温度設定回路13と熱電素子12に接続した電力供給回路である。感度補正データメモリ10及び欠陥補正データメモリ11はカメラの試験・調整の時点で補正データをROMに記録して格納しているものである。15は赤外光学系1と撮像素子2の間の光路中に設置したシャッタ、16はドライバ回路6、表示処理回路9、シャッタ15に接続したタイミング発生回路、17は撮像素子2と素子温度モニタ3と熱電素子12を収納する素子パッケージ、18は赤外線を透過する赤外窓、19は筐体である。素子パッケージ17と赤外窓18で密閉された空間は真空に保持されており、このような実装方法に関する従来の技術例としては特表平7−508384号公報がある。
【0004】
図10は撮像素子2の構成であり、説明の簡素化のため2×2画素のものを示した。図中20〜23は赤外線検知素子、24〜27はダイオード、28〜32はトランジスタ、33は水平走査回路、34は垂直走査回路である。赤外線検知素子20〜23は例えば特表平7−509057に記載されている中空構造を有するマイクロボロメータである。
【0005】
図11は表示処理回路9の構成であり、図中35はA/D変換回路、36はオフセット補正データメモリ、37はオフセット補正回路、38は感度補正回路、39は欠陥補正回路、40はD/A変換回路である。
【0006】
次に動作について説明する。電源を投入すると電力供給回路14は素子温度モニタ3の出力と素子動作温度設定回路13の出力との差に応じた電力を熱電素子12に供給し、撮像素子2の温度を素子動作温度設定回路13により設定される室温の一定温度に安定化させる。通常この温度は20〜40℃の間の値である。次にタイミング発生回路16が生成するクロックをドライバ回路6経由で撮像素子2に送る。上記クロックは水平走査回路33と垂直走査回路34に供給され、トランジスタ28〜31を順次導通状態にすることにより、素子出力レベル設定手段5の出力とトランジスタ32の特性により決まるバイアス電流を直流バイアス電源4から赤外線検知素子20〜23に順次供給する。ダイオード24〜27の存在によりバイアス電流は選択した1個の赤外線検知素子とトランジスタ32を経由してグランドへ流れ、各赤外線検知素子の抵抗値に応じた信号をトランジスタ32とグランドとの間に生じる電位差として出力し、上記信号を増幅回路7で増幅した後表示処理回路9へ入力する。
【0007】
次にシャッタ15を一旦閉じ、赤外線検知素子20〜23に一様な赤外線を入射した際の出力、すなわち赤外線検知素子20〜23の抵抗値固有のばらつきに相当する電圧をA/D変換回路35でデイジタル信号に変換し、オフセット補正データメモリ36に記憶する。次にシャッタ15を開き、被写体Mが放射する赤外線を赤外光学系1により集光し、赤外窓18を透過した後赤外線検知素子20〜23に結像する。これにより被写体からの放射赤外線の強度に応じた数mk程度の微小な温度上昇が赤外線検知素子20〜23に生じ、抵抗値が各検知素子毎に変化する。この状態でオフセット補正回路37においてオフセット補正データを各赤外線検知素子毎に減算し、オフセットの補正を行う。
【0008】
次に感度補正データメモリ10には各赤外線検知素子の目標温度差に対する感度のばらつきに関するデータが記憶されており、感度補正回路38において記憶データを各赤外線検知素子毎に掛け合わせることにより感度の補正を行う。さらに欠陥補正データメモリ11には感度が規定の範囲から逸脱する画素すなわち欠陥画素のアドレスが記憶されており、欠陥画素に対しては左隣の画素の出力を連続して出力し欠陥画素の補正を行う。上記のような補正を実施した後D/A変換回路40においてアナログのビデオ信号に変換して出力する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
従来の赤外線カメラは上記のように構成されているため、例えば−10℃以下や+60℃以上等、撮像素子2の動作温度から離れた環境動作の中で動作させる際には、撮像素子2と素子パッケージ17の間の熱抵抗を介して流出入する熱や、撮像素子2及び温度モニタ3の外部との電気的接続部分の熱抵抗を介して流出入する熱の量が大きくなり、撮像素子2を一定温度に安定化するために必要な熱電素子12の発熱量または吸熱量が多くなり、消費電力が大きくなるという難点があった。また、撮像素子2の動作温度と環境温度との差が大きく、熱の流出入量が熱電素子12のヒートポンプとしての能力を超えるような環境温度下では撮像素子2を規定の動作温度に安定化できなくなるという難点があった。さらに、撮像素子2の動作設定温度から離れた環境温度下では、電源投入後の立ち上げ時に撮像素子を起動前の温度から目標の動作温度まで昇温、または冷却するために必要な時間が長くなるという難点があった。
【0010】
この発明は上記のような難点を解決するためになされたものであり、撮像素子2を複数の素子動作温度設定値の中から選択した値に安定化させて動作させることにより、低温または高温の環境下においても消費電力が少なく、広い温度範囲で動作可能で、立ち上げ時間の短い赤外線カメラ及び赤外線カメラシステムを提供するものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
第1の発明の赤外線カメラは、赤外光学系と、上記赤外光学系の結像面に位置する撮像素子と、上記撮像素子に熱的に接続した熱電素子と、上記撮像素子に熱的に接続した素子温度モニタと、上記撮像素子、上記熱電素子、上記素子温度モニタとを収納する素子パッケージと、素子動作温度の設定値が異なる複数の素子動作温度設定手段と、上記複数の素子動作温度設定手段の出力を切り換える素子動作温度切換手段と、上記素子動作温度切換手段により切り換えられた当該出力と上記素子温度モニタの出力とに基づいて上記熱電素子を駆動制御する駆動制御手段と、上記撮像素子を駆動する駆動手段と、上記撮像素子からの出力を増幅する増幅手段とを備えたものである。
【0012】
また、第2の発明の赤外線カメラは、上記撮像素子の出力レベルが一定となるように調整する素子出力レベル補償手段を備えたものである。
【0013】
第3の発明の赤外線カメラは、上記素子出力レベル補償手段を、バイアス電圧の設定値が異なる複数の直流バイアス電源と、上記複数の直流バイアス電源の出力を選択して上記撮像素子に供給する直流バイアス電源切換手段とにより構成したものである。
【0014】
また、第4の発明の赤外線カメラは、上記素子出力レベル補償手段を、素子出力レベルの設定値が異なる複数の素子出力レベル設定手段と、上記複数の素子出力レベル設定手段の出力を選択して上記撮像素子へ出力する素子出力レベル切換手段とにより構成したものである。
【0015】
第5の発明の赤外線カメラは、オフセットレベルの設定値が異なる複数のオフセットレベル設定手段と、上記複数のオフセットレベル設定手段の出力を選択して上記増幅手段に出力するオフセットレベル切換手段とを備えたものである。
【0016】
また、第6の発明の赤外線カメラは、上記増幅手段の出力を処理し、画像信号を出力する表示処理手段と、上記複数の素子動作温度設定手段により設定される複数の動作温度に対応する複数の感度補正データが記憶された複数のメモリと、上記複数のメモリを選択して上記表示処理手段に出力する感度補正データ切換手段とを備えたものである。
【0017】
第7の発明の赤外線カメラは、上記複数の素子動作温度設定手段により設定される複数の動作温度に対応する複数の欠陥補正データが記憶された複数のメモリと、上記複数のメモリを選択して上記表示処理手段に出力する欠陥補正データ切換手段とを備えたものである。
【0018】
また、第8の発明の赤外線カメラは、上記素子動作温度切換手段と上記直流バイアス電源切換手段の接続先を連動させて切り換える信号を出力する外部スイッチを設けたものである。
【0019】
第9の発明の赤外線カメラは、上記素子動作温度切換手段と上記素子出力レベル切換手段の接続先を連動させて切り換える信号を出力する外部スイッチを設けたものである。
【0020】
また、第10の発明の赤外線カメラは、上記素子動作温度切換手段と上記オフセットレベル切換手段の接続先を連動させて切り換える信号を出力する外部スイッチを設けたものである。
【0021】
第11の発明の赤外線カメラは、上記素子動作温度切換手段と上記感度補正データ切換手段の接続先を連動させて切り換える信号を出力する外部スイッチを設けたものである。
【0022】
また、第12の発明の赤外線カメラは、上記素子動作温度切換手段と上記欠陥補正データ切換手段の接続先を連動させて切り換える信号を出力する外部スイッチを設けたものである。
【0023】
第13の発明の赤外線カメラは、温度センサと、切換温度を設定する切換温度設定手段と、上記温度センサで測定された温度と上記切換温度設定手段により設定された温度とを比較し、その比較結果により直流バイアス電源切換手段に切換信号を出力する比較手段とを備えた素子動作温度自動切換手段を設けたものである。
【0024】
また、第14の発明の赤外線カメラは、温度センサと、切換温度を設定する切換温度設定手段と、上記温度センサで測定された温度と上記切換温度設定手段により設定された温度とを比較し、その比較結果により素子出力レベル切換手段に切換信号を出力する比較手段とを備えた素子動作温度自動切換手段を設けたものである。
【0025】
第15の発明の赤外線カメラは、温度センサと、切換温度を設定する切換温度設定手段と、上記温度センサで測定された温度と上記切換温度設定手段により設定された温度とを比較し、その比較結果によりオフセットレベル切換手段に切換信号を出力する比較手段を備えたものである。
【0026】
また、第16の発明の赤外線カメラは、温度センサと、切換温度を設定する切換温度設定手段と、上記温度センサで測定された温度と上記切換温度設定手段により設定された温度とを比較し、その比較結果により感度補正データ切換手段に切換信号を出力する比較手段とを備えた素子動作温度自動切換手段を設けたものである。
【0027】
第17の発明の赤外線カメラは、温度センサと、切換温度を設定する切換温度設定手段と、上記温度センサで測定された温度と上記切換温度設定手段により設定された温度とを比較し、その比較結果により欠陥補正データ切換手段に切換信号を出力する比較手段とを備えた素子動作温度自動切換手段を設けたものである。
【0028】
また、第18の発明の赤外線カメラは、少なくとも上記素子パッケージを収納する筐体の内側に上記温度センサを設けたものである。
【0029】
第19の発明の赤外線カメラは、少なくとも上記素子パッケージを収納する筐体の外側に上記温度センサを設けたものである。
【0030】
また、第20の発明の赤外線カメラシステムは、請求項1〜19いずれかの発明の赤外線カメラを搭載した移動体と、上記赤外線カメラで得られた画像を表示する表示手段とを具備したものである。
【0031】
第21の発明の赤外線カメラシステムは、請求項1〜19いずれかの発明の赤外線カメラとこの赤外線カメラで得られる画像を表示する表示手段とを搭載し、人間に着脱可能に取り付ける固定手段と、上記赤外線カメラ及び表示手段に電源を供給するバッテリとを具備したものである。
【0032】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1はこの発明による赤外線カメラの実施の形態1を示すブロック図である。図中1〜3,5〜12,14〜19は従来の赤外線カメラと同じものである。41は素子動作温度設定回路、42は素子動作温度設定回路41と異なる動作温度を設定する素子動作温度設定回路、43は素子動作温度設定回路41と素子動作温度設定回路42に接続した素子動作温度切換スイッチ、61は素子出力レベル補償回路である。素子出力レベル補償回路61は直流バイアス電源62と、直流バイアス電源62と異なる電圧を出力する直流バイアス電源63と、直流バイアス電源62と直流バイアス電源63に接続した直流バイアス電源切換スイッチ64とから構成される。また、47は筐体19に固定され素子動作温度切換スイッチ43と直流バイアス電源切換スイッチ64とに接続した外部スイッチである。
【0033】
次にこの発明による赤外線カメラの動作について説明する。電源投入前に外部スイッチ47を操作して素子動作温度切換スイッチ43の接続先を素子動作温度設定回路41または素子動作温度設定回路42から選択する。具体的には素子動作温度設定手段41による設定温度は20℃、素子動作温度設定手段42による設定温度は40℃であり、電源投入後筐体19の内部が熱平衡状態になるまでの10℃程度の温度上昇を考慮し、環境温度すなわち筐体19(素子パッケージ17)の周囲温度が20℃未満の場合には20℃を、20℃以上の場合には40℃を選択する。
【0034】
次に電源を投入し、従来の装置と同様に撮像を行う。撮像素子2の動作温度を20℃に選択した場合と40℃に選択した場合とでは赤外線検知素子20〜23の抵抗値が大きく異なり、撮像素子2の出力レベルが変化するため増幅回路7や表示処理回路9が飽和して正常な画像を出力することができない。そのため直流バイアス電源切換スイッチ64を素子動作温度切換スイッチ43に連動して切り換えることにより撮像素子2に供給する電圧を切り換え、赤外線検知素子20〜23に流すバイアス電流の量を切り換えて撮像素子2の出力レベルが一定になるよう調整する。
【0035】
この選択の組み合わせは、素子動作温度設定回路41と直流バイアス電源62、または素子動作温度設定回路42と直流バイアス電源63である。撮像中に環境温度が20℃の前後で変化し、撮像素子2の動作温度を20℃から40℃、あるいは40℃から20℃に変更したほうが消費電力が少なくなる状況になった場合には外部スイッチ47を操作して素子動作温度設定スイッチ43と直流バイアス電源切換スイッチ64の接続先を連動して変更する。その後に再びシャッタ15を閉じ、オフセット補正データ36を新規に取得し直し従来の装置と同様に撮像を継続する。
【0036】
なお、図10に示す撮像素子の構成例において、素子動作温度設定回路41の設定温度を20℃、素子動作温度設定回路42の設定温度を40℃とした場合、直流バイアス電源62の出力電圧と直流バイアス電源63の出力電圧の大小関係は、直流バイアス電源62の出力電圧>直流バイアス電源63の出力電圧となる。
【0037】
実施の形態2.
図2はこの発明による赤外線カメラの実施の形態2を示すブロック図である。図中1〜4,6〜12,14〜19は従来の赤外線カメラと同じものである。41,42,43,47は実施の形態1と同じものである。61は素子出力レベル補償回路であり、素子出力レベル補償回路61は、素子出力レベル設定回路44、素子出力レベル設定回路44と異なる値を設定する素子出力レベル設定回路45、素子出力レベル設定回路44と素子出力レベル設定回路45とに接続した素子出力レベル切換スイッチ46とから構成される。
【0038】
次にこの発明による赤外線カメラの動作について説明する。電源投入前に外部スイッチ47を操作し、実施の形態1と同様に環境温度すなわち筐体19の周囲温度に応じて素子動作温度切換スイッチ43の接続先の選択を行い、撮像を行う。実施の形態1と同様に撮像素子2の動作温度を20℃に選択した場合と40℃に選択した場合とでは赤外線検知素子20〜23の抵抗値が大きく異なり、撮像素子2の出力レベルが変化するため増幅回路7や表示処理回路9が飽和して正常な画像を出力することができない。そのため素子出力レベル切換スイッチ46を素子動作温度切換スイッチ43に連動して切り換えることにより撮像素子2中のトランジスタ32に供給する電圧を切り換え赤外線検知素子20〜23に流すバイアス電流の量を切り換えて撮像素子2の出力レベルが一定になるよう調整する。
【0039】
この選択の組み合わせは、素子動作温度設定回路41と素子出力レベル設定回路44、または素子動作温度設定回路42と素子出力レベル設定回路45である。撮像中に環境温度が20℃を前後に変化し、撮像素子2の動作温度を20℃から40℃、あるいは40℃から20℃に変更したほうが消費電力が少なくなる状況になった場合には外部スイッチ47を操作して素子動作温度設定スイッチ43と素子出力レベル設定スイッチ46の接続先を連動して変更する。その後に再びシャッタ15を閉じ、オフセット補正データ36を新規に取得し直し従来の装置と同様に撮像を継続する。
【0040】
なお、図10に示す撮像素子の構成例において、素子動作温度設定回路41の設定温度を20℃、素子動作温度設定回路42の設定温度を40℃とした場合、素子出力レベル設定回路44の出力電圧と素子出力レベル設定回路45の出力電圧の大小関係は、素子出力レベル設定回路44の出力電圧<素子出力レベル設定回路45の出力電圧となる。
【0041】
実施の形態3.
図3はこの発明による赤外線カメラの実施の形態3を示すブロック図である。図中1〜7,9〜12,14〜19は従来の赤外線カメラと同じものである。また、41〜43及び47は実施の形態1と同じものである。48はオフセットレベル設定回路、49はオフセットレベル設定手段48と異なる値を出力するオフセットレベル設定回路、50はオフセットレベル設定回路48とオフセットレベル設定回路49に接続したオフセットレベル切換スイッチである。
【0042】
次にこの発明による赤外線カメラの動作について説明する。電源投入前に外部スイッチ47を操作し、実施の形態1と同様に環境温度すなわち筐体19の周囲温度に応じて素子動作温度切換スイッチ43の接続先を選択し撮像を行う。撮像素子2の動作温度を20℃に選択した場合と40℃に選択した場合とでは赤外線検知素子20〜23の抵抗値が大きく異なり、撮像素子2全体の出力レベルが変化するため増幅回路7や表示処理回路9が飽和して正常な画像を出力することができない。そのためオフセットレベル切換スイッチ50を素子動作温度切換スイッチ43に連動して切り換えることにより増幅回路7に供給するオフセットレベルを切り換えて増幅回路7の出力レベルを一定に調整する。
【0043】
この選択の組み合わせは、素子動作温度設定回路41とオフセットレベル設定回路48、または素子動作温度設定回路42とオフセットレベル設定回路49である。撮像中に環境温度が20℃の前後で変化し、撮像素子2の動作温度を20℃から40℃、あるいは40℃から20℃に変更したほうが消費電力が少なくなる状況になった場合には外部スイッチ47を操作して素子動作温度設定スイッチ43と素子出力レベル設定スイッチ46の接続先も連動して変更する。その後に再びシャッタ15を閉じ、オフセット補正データ36を新規に取得し直し従来の装置と同様に撮像を継続する。
【0044】
なお、図10に示す撮像素子の構成例において、素子動作温度設定回路41の設定温度を20℃、素子動作温度設定回路42の設定温度を40℃とした場合、オフセットレベル設定回路48の出力電圧とオフセットレベル設定回路49の出力電圧の大小関係は、オフセットレベル設定回路48の出力電圧<オフセットレベル設定回路49の出力電圧となる。
【0045】
実施の形態4.
図4はこの発明による赤外線カメラの実施の形態4を示すブロック図である。図中1〜4,6〜9,12,14,15〜19は従来の赤外線カメラと同じものである。また、41〜43と47は実施の形態1、44〜46と61は実施の形態2と同じものである。51は素子動作温度設定回路41で設定される素子動作温度に対応する感度補正データが記憶された感度補正データメモリ、52は素子動作温度設定回路42で設定される素子動作温度に対応する感度補正データが感度補正データメモリ、53は感度補正データメモリ51と感度補正データメモリ52に接続した感度補正データ切換スイッチ、54は素子動作温度設定回路41で設定される素子動作温度に対応する欠陥補正データが記憶された欠陥補正データメモリ、55は素子動作温度設定回路42で設定される素子動作温度に対応する欠陥補正データが記憶された欠陥補正データメモリ、56は欠陥補正データメモリ54と欠陥補正データメモリ55に接続した欠陥補正データ切換スイッチである。感度補正データメモリ51,52及び欠陥補正データメモリ54,55はカメラの試験・調整の時点で補正データをROMに記録して格納しているものである。
【0046】
次にこの発明による赤外線カメラの動作について説明する。電源投入前に外部スイッチ47を操作して実施の形態1と同様に素子動作温度切換スイッチ43の接続先を選択し、撮像を行う。撮像素子2の動作温度を20℃に選択した場合と40℃に選択した場合とでは赤外線検知素子20〜23の感度ばらつきの値の分布は異なるため、感度補正データ切換スイッチ53を素子動作温度切換スイッチ43に連動して切り換えることにより撮像素子2の動作温度に対応した適正な感度補正データを表示処理回路9に供給し、撮像素子2の動作温度の変化による感度補正ずれに起因する固定パターンノイズの発生を防止する。この選択の組み合わせは、素子動作温度設定回路41と感度補正データメモリ51、または素子動作温度設定回路42と感度補正データメモリ52である。同様に撮像素子2の動作温度が20℃の場合と40℃の場合とでは赤外線検知素子20〜23の欠陥画素の分布も異なったものになるため、欠陥補正データ切換スイッチ56を素子動作温度切換スイッチ43に連動して切り換えることにより撮像素子2の動作温度に対応した適正な欠陥補正データを表示処理回路9に供給し、撮像素子2の動作温度の変化による欠陥補正ずれに起因する固定パターンノイズの発生を防止する。
【0047】
この選択の組み合わせは、素子動作温度設定回路41と欠陥補正データメモリ54、または素子動作温度設定回路42と欠陥補正データメモリ55である。撮像中に環境温度が20℃を前後に変化し、撮像素子2の動作温度を20℃から40℃、あるいは40℃から20℃に変更したほうが消費電力が少なくなる状況になった場合には外部スイッチ47を操作して素子動作温度設定スイッチ43と素子出力レベル設定スイッチ46、感度補正データ切換スイッチ53、欠陥補正データ切換スイッチ56の接続先を連動して変更する。その後に再びシャッタ15を閉じ、オフセット補正データメモリ36へのオフセット補正データを新規に取得し直し従来の装置と同様に撮像を継続する。
【0048】
実施の形態5.
図5はこの発明による赤外線カメラの実施の形態5を示すブロック図である。図中1〜4,6〜9,12,14,15〜19は従来の赤外線カメラと同じものである。また、41〜43は実施の形態1、44〜46と61は実施の形態2、51〜56は実施の形態4と同じもの、60は素子動作温度自動切換回路である。素子動作温度自動切換回路60は、素子動作温度切換スイッチ43と素子出力レベル切換スイッチ46と感度補正データ切換スイッチ53と欠陥補正データ切換スイッチ56とに接続した比較回路57と、比較回路57に接続した温度センサ58と、比較回路57に接続した切換温度設定回路59とにより構成される。温度センサ58は、素子パッケージ17と素子パッケージ17に接着した赤外窓18とその他の構成要素を収納する筐体19の内側に設置されている。
【0049】
次にこの発明による赤外線カメラの動作について説明する。電源投入後直ちに温度センサ58により筐体19の内部の温度を測定し、比較回路57において切換温度設定回路59から出力される切換温度と比較して素子動作温度切換スイッチ43、素子出力レベル切換スイッチ46、感度補正データ切換スイッチ53、欠陥補正データ切換スイッチ56の接続先を選択する。電源投入後筐体19の内部が熱平衡状態になるまでの温度上昇は10℃程度であるため、具体的には素子動作温度設定回路41による設定温度は20℃、素子動作温度設定回路42による設定温度は40℃、切換温度設定回路59が設定する切換温度は20℃であり、筐体19の内部の温度が20℃未満の場合には20℃を、20℃以上の場合は40℃を撮像素子の動作温度として選択する。
【0050】
次に素子動作温度設定回路41または素子動作温度設定回路42により設定した温度に撮像素子2を安定化し、実施の形態4と同様に撮像を開始する。撮像中に筐体19の周囲温度の変化や自己発熱の影響により筐体19の内部の温度が変化し切換温度の設定値の前後を通過した場合(切換温度の設定値を越えた場合または設定値を下回った場合)には、比較回路57が素子動作温度切換スイッチ43、素子出力レベル設定スイッチ46、感度補正データ切換スイッチ53、欠陥補正データ切換スイッチ56の接続先を連動して変更する。その後に再びシャッタ15を閉じ、オフセット補正データ36を新規に取得し直し従来の装置と同様に撮像を継続する。
なお、自動的に撮像素子2の動作温度を変えることにより撮像が例えば数秒〜数秒間途切れることがある。上記の動作が運用上不都合な場合、赤外線カメラの立ち上げ時において上記自動で切換った接続の組み合わせの状態を維持することにより上記撮像を途切らすことなく撮像を行うことができる。
【0051】
実施の形態6.
図6はこの発明による赤外線カメラの実施の形態6を示すブロック図である。図中、1〜4,6〜9,12,14,15〜19は従来の赤外線カメラと同じものである。また、41〜43は実施の形態1、44〜46と61は実施の形態2、51〜56は実施の形態4、57〜60は実施の形態5と同じものである。温度センサ58は筐体19の外側に筐体19と熱的に絶縁して設置されている。
【0052】
次にこの発明による赤外線カメラの動作について説明する。電源投入後直ちに温度センサ58により筐体19の内部の温度を測定し、比較回路57において切換温度設定回路59から出力される切換温度と比較して素子動作温度切換スイッチ43、素子出力レベル切換スイッチ46、感度補正データ切換スイッチ53、欠陥補正データ切換スイッチ56の接続先を選択する。以降は実施の形態5と同様に撮像を行うが、撮像中に筐体19の周囲の温度が変化して切換温度の値を通過した場合には、比較回路57が素子動作温度設定スイッチ43、素子出力レベル設定スイッチ46、感度補正データ切換スイッチ53、欠陥補正データ切換スイッチ56の接続先を連動して変更する。その後に再びシャッタ15を閉じ、オフセット補正データ36を新規に取得し直し、実施の形態5と同様に撮像を継続する。
【0053】
この発明による赤外線カメラをバッテリを用いて駆動する場合等、電力消費量の低減が特に強く要求される場合にはバッテリの消耗を防止するために一連の撮像を終了後撮像の必要がない時間帯は電源を一旦切り、筐体19内部が周囲の温度と等しくなるまでの時間を経過せずに再び電源を投入するような運用を行う場合がある。実施の形態5のように温度センサ58を筐体19の内部に設置している場合に例えば周囲温度15℃のもとで撮像素子2の動作温度を20℃に設定して撮像を開始したとすると、熱平衡に達した時点での筐体19内部の温度は25℃程度となる。この時点で一旦電源を切り、筐体19内部の温度が20℃以下になる前に十分な冷却時間を置かずに再度電源を投入すると、周囲温度は依然15℃であるのに撮像素子2の動作温度は40℃となってしまい、低消費電力化が図れなくなる。この発明による赤外線カメラでは温度センサ58を筐体19の外部に設置しているため、上記のような運用においても撮像素子2の動作温度は20℃となり、常に低消費電力化の図れる動作温度に設定して撮像を行う。
【0054】
実施の形態7.
上記実施の形態1〜6の赤外線カメラを図7に示す赤外線カメラシステムに適用、すなわち移動体Mに搭載することにより画質の良い画像が得られ、障害物や後続の移動体の検出に有効である。
また、特に実施の形態1〜6の赤外線カメラが、赤外線カメラ搭載の移動体(例えば車両)のバッテリから電源供給を受ける場合、この発明の赤外線カメラは低消費電力化が図れるので移動体のバッテリの消費電力を少なくすることができる。
【0055】
実施の形態8.
上記実施の形態1〜6の赤外線カメラを図8に示す赤外線カメラシステムに適用、すなわちこの発明の赤外線カメラCと当該赤外線カメラCで得られる画像を表示する表示装置Dを搭載した、頭部に着脱可能なヘルメットHを消防隊員等の人間頭部に装着し、バッテリBにより当該赤外線カメラCと表示装置Dに供給することにより熱源例えば火災の検知等を行うことができる。またこの発明の赤外線カメラは低消費電力化が図れるのでバッテリの消費電力を少なくすることができ、例えば火災検知活動、捜索活動や消防活動を従来に比べて長い時間継続することが可能となる。
【0056】
【発明の効果】
第1の発明によれば、低温または高温の環境下においても撮像素子からの熱の流出入量が減少し、消費電力が少なく、広い温度範囲で動作可能で、立ち上げ時間の短い赤外線カメラが得られる効果がある。
【0057】
また、第2〜第12の発明によれば、低温または高温の環境下においても消費電力が少なく、広い環境温度範囲で動作可能で、立ち上げ時間が短く、かつ、画質の良い赤外線カメラが得られる効果がある。
【0058】
第13〜第18の発明によれば、低温または高温の環境下においても消費電力が少なく、広い環境温度範囲で動作可能で、立ち上げ時間が短く、かつ、取り扱いが容易な赤外線カメラが得られる効果がある。
【0059】
また、第19の発明によれば、低温または高温の環境下においても消費電力が少なく、広い環境温度範囲で動作可能で、立ち上げ時間が短く、かつ、頻繁な電源のON、OFFを実行しても低消費電力を維持できる赤外線カメラが得られる効果がある。
【0060】
第20,21の発明によれば、画質の良い画像が得られ、またバッテリを電源として使用する場合に特に効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による赤外線カメラの実施の形態1の構成を示すブロック図である。
【図2】この発明による赤外線カメラの実施の形態2の構成を示すブロック図である。
【図3】この発明による赤外線カメラの実施の形態3の構成を示すブロック図である。
【図4】この発明による赤外線カメラの実施の形態4の構成を示すブロック図である。
【図5】この発明による赤外線カメラの実施の形態5の構成を示すブロック図である。
【図6】この発明による赤外線カメラの実施の形態6の構成を示すブロック図である。
【図7】赤外線カメラを移動体に搭載した赤外線カメラシステムを示す図である。
【図8】赤外線カメラを搭載したヘルメットを人間頭部に装着した赤外線カメラシステムを示す図である。
【図9】従来の赤外線カメラの構成を示すブロック図である。
【図10】従来の赤外線カメラにおける撮像素子2の構成を示す図である。
【図11】従来の赤外線カメラにおける表示処理回路9の構成を示す図である。
【符号の説明】
1 赤外光学系、2 撮像素子、3 素子温度モニタ、4 直流バイアス電源、6 ドライバ回路、7 増幅回路、9 表示処理回路、12 熱電素子、14電力供給回路、16 タイミング発生回路、17 素子パッケージ、18 赤外窓、41 素子動作温度設定回路、42 素子動作温度設定回路、43 素子動作温度切換スイッチ、44 素子出力レベル設定回路、45 素子出力レベル設定回路、46 素子出力レベル切換スイッチ、48 オフセットレベル設定回路、49 オフセットレベル設定回路、50 オフセットレベル切換スイッチ、51 感度補正データメモリ、52 感度補正データメモリ、53 感度補正データ切換スイッチ、54 欠陥補正データメモリ、55 欠陥補正データメモリ、56 欠陥補正データ切換スイッチ、57 比較回路、58 温度センサ、59 切換温度設定回路、60 素子温度自動切換回路、61 素子出力レベル補償回路、62 直流バイアス電源、63 直流バイアス電源、64 直流バイアス電源切換スイッチ、B バッテリ、C 赤外線カメラ、D 表示装置、H ヘルメット、M 移動体。

Claims (18)

  1. 赤外光学系と、上記赤外光学系の結像面に位置する撮像素子と、上記撮像素子に熱的に接続した熱電素子と、上記撮像素子に熱的に接続した素子温度モニタと、上記撮像素子、上記熱電素子、上記素子温度モニタとを収納する素子パッケージと、素子動作温度の設定値が異なる複数の素子動作温度設定手段と、上記複数の素子動作温度設定手段の出力を切り換える素子動作温度切換手段と、上記素子動作温度切換手段により切り換えられた当該出力と上記素子温度モニタの出力とに基いて上記熱電素子を駆動制御する駆動制御手段と、上記撮像素子を駆動する駆動手段と、上記撮像素子からの出力を増幅する増幅手段と、上記素子動作温度切換手段に連動して上記撮像素子の出力レベルを調整する複数の設定値を切換選択することにより上記撮像素子の出力レベルを調整する素子出力レベル補償手段とを備えたことを特徴とする赤外線カメラ。
  2. 上記素子出力レベル補償手段は、バイアス電圧の設定値が異なる複数の直流バイアス電源と、上記複数の直流バイアス電源の出力を選択して上記撮像素子に供給する直流バイアス電源切換手段とを備え、
    上記直流バイアス電源切換手段は上記素子動作温度切換手段に連動して上記複数の直流バイアス電源を選択し、上記バイアス電圧の設定値を切換選択することを特徴とする請求項1記載の赤外線カメラ。
  3. 上記素子出力レベル補償手段は、上記素子出力レベルの設定値が異なる複数の素子出力レベル設定手段と、上記複数の素子出力レベル設定手段の出力を選択して上記撮像素子へ出力する素子出力レベル切換手段とを備え、
    上記素子出力レベルは、切換選択した素子出力レベル設定手段によって撮像素子中のトランジスタに供給される電圧により設定若しくは変更され、
    上記素子出力レベル切換手段は上記素子動作温度切換手段に連動して上記複数の素子出力レベル設定手段を選択し、上記素子出力レベルの設定値を切換選択することを特徴とする請求項1または2記載の赤外線カメラ。
  4. オフセットレベルの設定値が異なる複数のオフセットレベル設定手段と、上記複数のオフセットレベル設定手段の出力を選択して上記増幅手段に出力するオフセットレベル切換手段とを備え、
    上記オフセットレベル切換手段は上記素子動作温度切換手段に連動して上記複数のオフセットレベル設定手段を選択し、上記オフセットレベルの設定値を切換選択することを特徴とする請求項1〜3いずれか記載の赤外線カメラ。
  5. 上記増幅手段の出力を処理し画像信号を出力する表示処理手段と、上記複数の素子動作温度設定手段により設定される複数の動作温度に対応する複数の感度補正データが記憶された複数のメモリと、上記複数のメモリを選択して上記表示処理手段に出力する感度補正データ切換手段とを備え、
    上記感度補正データ切換手段は上記素子動作温度切換手段に連動して上記複数の感度補正データが記憶された上記メモリを切換選択することを特徴とする請求項1〜4いずれか記載の赤外線カメラ。
  6. 上記複数の素子動作温度設定手段により設定される複数の動作温度に対応する複数の欠陥補正データが記憶された複数のメモリと、上記複数のメモリを選択して上記表示処理手段に出力する欠陥補正データ切換手段とを備え、
    上記欠陥補正データ切換手段は上記素子動作温度切換手段に連動して上記複数の欠陥補正データが記憶された上記メモリを切換選択することを特徴とする請求項1〜5いずれか記載の赤外線カメラ。
  7. 上記素子動作温度切換手段と上記直流バイアス電源切換手段の接続先を連動させて切り換える信号を出力する外部スイッチを設けたことを特徴とする請求項2記載の赤外線カメラ。
  8. 上記素子動作温度切換手段と上記素子出力レベル切換手段の接続先を連動させて切り換える信号を出力する外部スイッチを設けたことを特徴とする請求項3記載の赤外線カメラ。
  9. 上記素子動作温度切換手段と上記オフセットレベル切換手段の接続先を連動させて切り換える信号を出力する外部スイッチを設けたことを特徴とする請求項4記載の赤外線カメラ。
  10. 上記素子動作温度切換手段と上記感度補正データ切換手段の接続先を連動させて切り換える信号を出力する外部スイッチを設けたことを特徴とする請求項5記載の赤外線カメラ。
  11. 上記素子動作温度切換手段と上記欠陥補正データ切換手段の接続先を連動させて切り換える信号を出力する外部スイッチを設けたことを特徴とする請求項6記載の赤外線カメラ。
  12. 温度センサと、切換温度設定手段と、比較手段とからなる素子動作温度自動切換手段を備え、
    上記素子動作温度自動切換手段は、上記切換温度設定手段が設定する切換温度を基準温度として、上記切換温度と上記温度センサで測定した温度とを上記比較手段において比較し、上記比較の結果により、上記素子動作温度切換手段と上記直流バイアス電源切換手段の接続先を連動させて切換える信号を自動で出力することを特徴とする請求項2記載の赤外線カメラ。
  13. 温度センサと、切換温度設定手段と、比較手段とからなる素子動作温度自動切換手段を備え、
    上記素子動作温度自動切換手段は、上記切換温度設定手段が設定する切換温度を基準温度として、上記切換温度と上記温度センサで測定した温度とを上記比較手段において比較し、上記比較の結果により、上記素子動作温度切換手段と上記素子出力レベル切換手段の接続先を連動させて切換える信号を自動で出力することを特徴とする請求項3記載の赤外線カメラ。
  14. 温度センサと、切換温度設定手段と、比較手段とからなる素子動作温度自動切換手段を備え、
    上記素子動作温度自動切換手段は、上記切換温度設定手段が設定する切換温度を基準温度として、上記切換温度と上記温度センサで測定した温度とを上記比較手段において比較し、上記比較の結果により、上記素子動作温度切換手段と上記オフセットレベル切換手段の接続先を連動させて切換える信号を自動で出力することを特徴とする請求項4記載の赤外線カメラ。
  15. 温度センサと、切換温度設定手段と、比較手段とからなる素子動作温度自動切換手段を備え、
    上記素子動作温度自動切換手段は、上記切換温度設定手段が設定する切換温度を基準温度として、上記切換温度と上記温度センサで測定した温度とを上記比較手段において比較し、上記比較の結果により、上記素子動作温度切換手段と上記感度補正データ切換手段の接続先を連動させて切換える信号を自動で出力することを特徴とする請求項5記載の赤外線カメラ。
  16. 温度センサと、切換温度設定手段と、比較手段とからなる素子動作温度自動切換手段を備え、
    上記素子動作温度自動切換手段は、上記切換温度設定手段が設定する切換温度を基準温度として、上記切換温度と上記温度センサで測定した温度とを上記比較手段において比較し、上記比較の結果により、上記素子動作温度切換手段と上記欠陥補正データ切換手段の接続先を連動させて切換える信号を自動で出力することを特徴とする請求項6記載の赤外線カメラ。
  17. 少なくとも上記素子パッケージを収納する筐体の内側に上記温度センサを設けたことを特徴とする請求項12〜16いずれか記載の赤外線カメラ。
  18. 少なくとも上記素子パッケージを収納する筐体の外側に上記温度センサを設けたことを特徴とする請求項12〜16いずれか記載の赤外線カメラ。
JP35445599A 1999-05-07 1999-12-14 赤外線カメラ及び赤外線カメラシステム Expired - Lifetime JP3573040B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35445599A JP3573040B2 (ja) 1999-05-07 1999-12-14 赤外線カメラ及び赤外線カメラシステム
CA002307459A CA2307459C (en) 1999-05-07 2000-05-03 Infrared camera and infrared camera system
AU31296/00A AU745298B2 (en) 1999-05-07 2000-05-03 Infrared camera and infrared camera system
EP00109469A EP1051031A1 (en) 1999-05-07 2000-05-04 Infrared camera and infrared camera system
US09/564,481 US6504155B1 (en) 1999-05-07 2000-05-04 Infrared camera and infrared camera system having temperature selecting switch

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP12683399 1999-05-07
JP11-126833 1999-05-07
JP35445599A JP3573040B2 (ja) 1999-05-07 1999-12-14 赤外線カメラ及び赤外線カメラシステム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2001028710A JP2001028710A (ja) 2001-01-30
JP3573040B2 true JP3573040B2 (ja) 2004-10-06

Family

ID=26462945

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP35445599A Expired - Lifetime JP3573040B2 (ja) 1999-05-07 1999-12-14 赤外線カメラ及び赤外線カメラシステム

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6504155B1 (ja)
EP (1) EP1051031A1 (ja)
JP (1) JP3573040B2 (ja)
AU (1) AU745298B2 (ja)
CA (1) CA2307459C (ja)

Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3591445B2 (ja) * 2000-10-16 2004-11-17 三菱電機株式会社 赤外線カメラ
US6628337B1 (en) * 2001-04-18 2003-09-30 Eastman Kodak Company Electronic camera with internal temperature increase controlled
JP2002354340A (ja) * 2001-05-24 2002-12-06 Olympus Optical Co Ltd 撮像装置
US20030090787A1 (en) * 2001-11-09 2003-05-15 Dottle Samuel A. Optical assembly for viewing at night or under other vision impaired conditions
US20040179098A1 (en) * 2003-02-25 2004-09-16 Haehn Craig S. Image reversing for infrared camera
US8483567B2 (en) * 2004-04-09 2013-07-09 Immediate Response Technologies, Inc Infrared communication system and method
DE102004054072A1 (de) * 2004-11-09 2006-05-11 Siemens Ag Sensorsystem zur Erfassung eines Fußgängeraufpralls
US7718967B2 (en) * 2005-01-26 2010-05-18 Analog Devices, Inc. Die temperature sensors
US8487260B2 (en) * 2005-01-26 2013-07-16 Analog Devices, Inc. Sensor
US7807972B2 (en) * 2005-01-26 2010-10-05 Analog Devices, Inc. Radiation sensor with cap and optical elements
US7326932B2 (en) * 2005-01-26 2008-02-05 Analog Devices, Inc. Sensor and cap arrangement
US7692148B2 (en) * 2005-01-26 2010-04-06 Analog Devices, Inc. Thermal sensor with thermal barrier
ES2536750T3 (es) * 2005-02-25 2015-05-28 Kevin Liddiard Sensor de seguridad infrarrojo con microbolómetro
JP5017989B2 (ja) * 2006-09-27 2012-09-05 ソニー株式会社 撮像装置、撮像方法
US7764324B2 (en) * 2007-01-30 2010-07-27 Radiabeam Technologies, Llc Terahertz camera
JP5194501B2 (ja) * 2007-03-16 2013-05-08 株式会社豊田中央研究所 撮像素子、障害物検出装置及び方法
US8523427B2 (en) 2008-02-27 2013-09-03 Analog Devices, Inc. Sensor device with improved sensitivity to temperature variation in a semiconductor substrate
US8124937B2 (en) * 2009-01-15 2012-02-28 Raytheon Company System and method for athermal operation of a focal plane array
WO2012116862A1 (en) * 2011-03-03 2012-09-07 Paul Scherrer Institut Automatic hot pixel recognition and correction for digital cameras and other pixel detectors
US8610062B2 (en) 2011-03-24 2013-12-17 Raytheon Company Apparatus and method for multi-spectral imaging
CN102868850B (zh) * 2012-08-16 2015-10-14 浙江宇视科技有限公司 一种摄像机加热装置
KR101731287B1 (ko) 2015-09-16 2017-04-28 주식회사 콕스 적외선 디텍터의 출력 보정 방법 및 장치
US9936106B2 (en) 2015-11-12 2018-04-03 Sensors Unlimited, Inc. Pixel non-uniformity correction
US10018504B2 (en) 2015-11-12 2018-07-10 Sensors Unlimited, Inc. Gain normalization
US9992432B2 (en) 2016-01-04 2018-06-05 Sensors Unlimited, Inc. Gain normalization and non-uniformity correction
US10295230B2 (en) 2016-04-15 2019-05-21 Sensors Unlimited, Inc. Thermoelectric cooling management
EP3447461B1 (en) * 2016-04-19 2020-04-01 Mitsubishi Electric Corporation Infrared imaging element and infrared camera
US20170374321A1 (en) * 2016-06-24 2017-12-28 Dominique Ross Video Surveillance System
JP6826719B2 (ja) * 2016-09-12 2021-02-10 深田工業株式会社 炎検知器
CN116887028A (zh) * 2023-06-20 2023-10-13 信扬科技(佛山)有限公司 摄像模组及电子设备
CN117433644B (zh) * 2023-12-20 2024-03-08 山东沂光集成电路有限公司 集成电路生产用温度测量设备

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3914610A (en) * 1972-11-21 1975-10-21 Us Army IR-detector gain control with ambient temperature compensating means
US4587563A (en) * 1984-09-28 1986-05-06 Rca Corporation Cooler control for a solid-state imager camera
US4703442A (en) 1985-09-25 1987-10-27 Rca Corporation Temperature tracking defect corrector for a solid-state imager
JPH04286479A (ja) 1991-03-15 1992-10-12 Fujitsu Ltd 赤外線固体撮像装置
FR2679654B1 (fr) * 1991-07-23 1996-02-09 Thomson Csf Systeme d'imagerie a mesure integree de l'usure de ses elements optiques travaillant en transmission, et equipement optronique d'imagerie comportant un tel systeme d'imagerie.
JP3261617B2 (ja) 1992-06-19 2002-03-04 ハネウエル・インコーポレーテッド 赤外線カメラ
US5450727A (en) 1994-05-27 1995-09-19 Hughes Aircraft Company Thermoelectric cooler controller, thermal reference source and detector
JP3344163B2 (ja) * 1995-06-06 2002-11-11 三菱電機株式会社 赤外線撮像素子
GB2310952B (en) 1996-03-05 1998-08-19 Mitsubishi Electric Corp Infrared detector
JPH09325073A (ja) * 1996-06-05 1997-12-16 Mitsubishi Electric Corp 赤外線カメラ
JP3380683B2 (ja) * 1996-07-24 2003-02-24 日本アビオニクス株式会社 赤外線カメラにおける温度ドリフト補正装置
JP3517811B2 (ja) 1996-10-09 2004-04-12 富士通株式会社 赤外線撮像装置
JPH10122956A (ja) 1996-10-22 1998-05-15 Mitsubishi Electric Corp 赤外線カメラ
US6144031A (en) * 1997-04-21 2000-11-07 Inframetrics Inc. Infrared video camera system with uncooled focal plane array and radiation shield

Also Published As

Publication number Publication date
AU3129600A (en) 2000-11-23
CA2307459A1 (en) 2000-11-07
US6504155B1 (en) 2003-01-07
JP2001028710A (ja) 2001-01-30
EP1051031A1 (en) 2000-11-08
AU745298B2 (en) 2002-03-21
CA2307459C (en) 2003-12-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3573040B2 (ja) 赤外線カメラ及び赤外線カメラシステム
US6353223B1 (en) Infrared camera
US5994699A (en) Thermal camera for infrared imaging
JPH10122956A (ja) 赤外線カメラ
JP3633474B2 (ja) 赤外線カメラ
JP2007318735A (ja) 撮像装置の感度補正方法および感度補正装置
JP3948956B2 (ja) 赤外線カメラ
US20080310468A1 (en) Laser Diode control method, laser Diode control device, and camcorder
JP4250323B2 (ja) 赤外線撮像装置
JP2012049596A (ja) 撮像装置及び撮像素子の冷却方法
CA2393017C (en) Infrared camera
JP2004282299A (ja) 赤外線カメラ
JPH09325073A (ja) 赤外線カメラ
JP3974902B2 (ja) 熱型赤外線検出素子
JP2002195883A (ja) 赤外線カメラ
JP2004304545A (ja) 赤外線カメラ
JP3005527B1 (ja) 赤外線画像撮像装置
JP2006226699A (ja) 非冷却赤外線カメラ
JP5361434B2 (ja) 赤外線カメラ装置
JPH10262186A (ja) 赤外線カメラ
JPH1198413A (ja) 赤外線カメラ
JP5899793B2 (ja) 半導体集積回路、赤外線撮像装置及び読み出し方法
JPH10271398A (ja) 固体撮像素子の暗電流制御装置及びスチルビデオカメラ
JPH09261534A (ja) 赤外線撮像装置
JP2005181206A (ja) 非冷却赤外線カメラ

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040311

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040316

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20040514

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20040608

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20040621

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 3573040

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070709

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080709

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090709

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100709

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100709

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110709

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110709

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120709

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120709

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130709

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term