JP3633474B2 - 赤外線カメラ - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は常温で動作する赤外線撮像素子、特に熱型の赤外線撮像素子であるボロメータを用いた赤外線カメラの低消費電力化に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図13は従来の赤外線カメラの一実施例の構成を示すブロック図である。図中、1は赤外光学系、2は筐体、3は赤外光学系1の結像面上に設置した検出器アレイ、4は素子温度センサである。検出器アレイ3はボロメータを2次元に配列したものである。5は赤外光学系1と検出器アレイ3との間に設置したシャッタ、6はドライバ回路、7は増幅回路、8はA/D変換回路、9はオフセット補正メモリ、10は表示処理回路、11は検出器アレイ3及び素子温度センサ4に接触させて設置した素子温度制御手段、12は素子温度検出回路、13は基準電圧源、14は差動増幅回路、15は比較回路、16はタイミング発生回路である。素子温度制御手段11はペルチェ効果を利用した電子冷却器である。
【0003】
次に動作について説明する。まず、電源を投入すると基準電圧源13は検出器アレイ3の動作温度の設定値に相当する電圧信号を差動増幅器14に出力する。一方、素子温度検出回路12は素子温度センサ4の温度に対応した電圧信号を差動増幅回路14に出力する。電源投入時には素子温度センサ4の温度は周囲の環境温度に等しい。一方、検出器アレイ3は2次元のボロメータアレイであり、撮像中は素子温度制御手段11により一定温度に制御される。一般に環境温度と動作温度の設定値とは異なるため、電源の投入により差動増幅回路14は素子温度制御手段11に電流を供給し、素子温度制御手段11は検出器アレイ3及び素子温度センサ4を加熱、又は冷却し、検出器アレイ3及び素子温度センサ4の温度を設定値に近づける。比較回路15は素子温度検出回路12と基準電圧源13の出力の差が十分小さくなると検出器アレイ3の温度が設定値に達したと判断し、温度制御が完了したことを示す信号をタイミング発生回路16に送る。タイミング発生回路16はドライバ回路6を介して検出器アレイ3に駆動クロックを送り、次にシャッタ5を閉じる信号をシャッタ5に送る。検出器アレイ3はシャッタ5を閉じた状態での各画素を構成する検出器の温度に対応した電圧を出力し、上記信号電圧を増幅回路7で増幅した後、A/D変換回路8でA/D変換し、各画素ごとのデータとしてオフセット補正メモリ9に記憶する。次にシャッタ5を開き、被撮像物が放射する赤外線を赤外光学系1により検出器アレイ3上に結像する。被撮像物の放射量の差により各画素間には微小な温度差が生じ、検出器アレイ3は各画素の温度に対応した電圧を出力する。上記信号電圧を増幅回路7で増幅した後、A/D変換回路8でA/D変換し、表示処理回路10においてオフセット補正メモリ9に記憶されたデータを各画素ごとに減算し、シャッタ5を閉じた時の信号レベルを基準としたビデオ信号を出力する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来の赤外線カメラは上記のように構成されており、電源投入時の検出器アレイの温度は一般に動作温度の設定値と異なるため、検出器アレイの温度を設定値まで冷却、又は加熱するまでに多くの電力を消費し、又、設定値に達した後も周囲と検出器アレイとの間に温度差が存在するため、熱流入、又は熱放出が生じ、素子温度制御手段の消費電力が大きくなるという難点があった。
【0005】
この発明は上記のような難点を解決するためになされたもので、検出器アレイを電源投入時の検出器アレイの温度、又は電源投入時の筐体温度、又は撮像時の筐体温度とすることにより、低消費電力の赤外線カメラを得ることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
第1の発明による赤外線カメラは、赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの動作温度を、温度制御開始前に検出された上記検出器アレイの温度制御する素子温度制御手段とを備えたものである。
【0007】
また、第2の発明による赤外線カメラは、赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの温度を測定する素子温度センサと、上記素子温度センサで計測される検出温度と温度制御開始前に検出された上記素子温度センサの検出温度との差に応じて、上記検出器アレイを冷却、又は加熱して、上記検出器アレイの温度を温度制御開始前に検出された上記素子温度センサの検出温度になるように制御する素子温度制御手段とを備えたものである。
【0008】
また、第3の発明による赤外線カメラは、赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの温度を測定する素子温度センサと、検出器アレイの出力から生成される映像データにおけるブランキング期間中に上記素子温度センサで計測される検出温度と温度制御開始前に検出された上記素子温度センサの検出温度との差に応じて、上記検出器アレイの温度を温度制御開始前に検出された上記素子温度センサの検出温度に制御する素子温度制御手段とを備えたものである。
【0009】
また、第4の発明による赤外線カメラは、赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの温度を測定する素子温度センサと、上記素子温度センサからの検出データを記憶する制御温度メモリと、上記制御温度メモリの記憶データと上記素子温度センサで計測される検出温度との差に応じて、上記検出器アレイを冷却、又は加熱して、上記検出器アレイの温度を上記制御温度メモリが記憶した温度になるように制御する素子温度制御手段とを備えて、上記制御温度メモリは、上記素子温度制御手段による温度制御開始前の上記素子温度センサからの検出データを記憶するものである。
【0010】
また、第5の発明による赤外線カメラは、第4の発明において、上記検出器アレイの出力から生成される映像データにおけるブランキング期間中に、上記素子温度センサからの検出データを選択出力するマルチプレクサを備え、上記素子温度制御手段は、上記マルチプレクサにより選択出力された上記素子温度センサからの検出データと、上記素子温度制御手段による温度制御開始前の上記素子温度センサからの検出データとの差に応じて、温度を制御するものである。
【0011】
また、第6の発明による赤外線カメラは、第4または第5の発明において、赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの収容される筐体の温度を計測する筐体温度センサと、上記検出器アレイの動作温度を、上記筐体温度センサで計測された筐体の温度に達するように制御する素子温度制御手段とを備えたものである。
【0012】
また、第7の発明による赤外線カメラは、赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの温度を測定する素子温度センサと、上記検出器アレイの収容される筐体の温度を計測する筐体温度センサと、上記筐体温度センサからの検出データを記憶する制御温度メモリと、上記制御温度メモリの記憶データと上記素子温度センサで計測された検出温度との差に応じて、上記検出器アレイの温度を上記制御温度メモリが記憶した温度に制御する素子温度制御手段とを備え、上記制御温度メモリは、上記素子温度センサからの出力と上記筐体温度センサからの出力とを比較し、その差が所定値を超えたときの上記筐体温度センサからの出力を記憶するものである。
【0013】
また、第8の発明による赤外線カメラは、赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの温度を測定する素子温度センサと、上記検出器アレイの収容される筐体の温度を計測する筐体温度センサと、上記筐体温度センサからの検出データを記憶する制御温度メモリと、上記制御温度メモリの記憶データと上記素子温度センサで計測された検出温度との差に応じて、上記検出器アレイの温度を上記制御温度メモリが記憶した温度に制御する素子温度制御手段とを備え、上記制御温度メモリは、上記素子温度制御手段による温度制御開始前の上記筐体温度センサからの検出データを記憶するものである。
【0014】
また、第9の発明による赤外線カメラは、第7または第8の発明において、上記検出器アレイの出力から生成される映像データにおけるブランキング期間中に、上記素子温度センサからの検出データを選択出力するマルチプレクサを備え、上記素子温度制御手段は、上記マルチプレクサにより選択出力された上記素子温度センサからの検出データと、上記制御温度メモリの記憶データとの差に応じて、温度を制御するものである。
【0015】
また、第10の発明による赤外線カメラは、第8の発明において、上記素子温度センサからの出力と上記筐体温度センサからの出力とを比較し、その差が所定値を超えたときの上記筐体温度センサからの出力を上記制御温度メモリに記憶するものである。
【0016】
また、第11の発明による赤外線カメラは、第1から第10のいずれかの発明において、赤外光学系を具備し、上記検出器アレイを、当該赤外光学系の結像面に位置させるものである。
【0017】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
図1はこの発明による赤外線カメラの実施の形態1の構成を示すブロック図である。図中、1〜12、14、16は従来の装置と同じものである。17はマルチプレクサ、18は素子温度制御回路である。素子温度制御回路18は制御温度メモリ19、D/A変換回路20、差動増幅回路14から構成される。
【0018】
次にこの発明による赤外線カメラの動作について説明する。図2はこの発明による赤外線カメラの実施の形態1の動作を示すフローチャート、図3はこの発明による赤外線カメラの実施の形態1に設置したマルチプレクサ17の動作を示すタイミングチャートである。電源投入前、赤外光学系1及び筐体2内部の構成要素は周囲と熱平衡状態にあり、周囲の環境温度と等しい温度になっている。電源を投入すると(ステップ27)、素子温度検出回路12は素子温度センサ4の温度、すなわち環境温度を表わす電圧信号を出力する。タイミング発生回路16の指令により、マルチプレクサ17は電源投入後一定の時間が経過するまでは素子温度検出回路12の出力をA/D変換回路8の入力に接続する(ステップ28及び図3の期間A)。上記期間中、A/D変換回路8は素子温度検出回路12の出力をA/D変換し、データは制御温度メモリ19に記憶される(ステップ29)。記憶完了後、D/A変換回路20は撮像が終了し電源OFFとなるまで制御温度メモリ19の記憶データをD/A変換し、差動増幅回路14に出力し続ける。差動増幅回路14は素子温度検出回路12の出力とD/A変換回路20の出力との差を増幅し、素子温度制御手段11に所望の大きさ、方向の電流を供給し、検出器アレイ3と素子温度センサ4を冷却、又は加熱し、それらの温度は制御温度メモリ19が記憶している電源投入直後の温度に制御する(ステップ30)。
【0019】
次にタイミング発生回路16の指令により、マルチプレクサ17は撮像が終了し電源OFFとなるまで増幅回路7の出力をA/D変換回路8の入力に接続し続ける(ステップ31)。その後オフセット補正メモリ9の補正データを取得し、ビデオ信号を出力するまでの動作は従来の装置と同じである(ステップ32〜37)。以上のように、実施の形態1によれば検出器アレイ3の温度を電源投入直後の温度に制御して撮像を行なうため、検出器アレイ3の温度が動作温度の設定値に達するまでに消費する電力が少なく、又、設定値に達した後も周囲と検出器アレイ3との温度差が小さいため、周囲から検出器アレイ3への熱流入、又は熱放出量が少なく、低消費電力化が図れる効果が有る。
【0020】
実施の形態2.
図4はこの発明による赤外線カメラの実施の形態2の構成を示すブロック図である。図中、1〜12、16は従来の装置と同じものである。17、19、20は実施の形態1と同じものである。21は素子温度制御回路、22は素子温度制御回路21内に設けた差分算出回路である。素子温度制御回路21は制御温度メモリ19、差分算出回路22、D/A変換回路20から構成される。
【0021】
次にこの発明による赤外線カメラの動作を説明する。図5はこの発明による赤外線カメラの実施の形態2の動作を示すフローチャート、図6はこの発明による赤外線カメラの実施の形態2に設置したマルチプレクサ17の動作を示すタイミングチャートである。電源投入後、環境温度に等しい検出器アレイ3の温度を制御温度メモリ19に記憶するまでの動作は実施の形態1と同じである(ステップ38〜40及び図6の期間A)。制御温度メモリ19への温度データの記憶が完了すると、マルチプレクサ17はタイミング発生回路16の指令により、増幅回路7の出力と素子温度検出回路12の出力を映像データ出力期間とブランキング期間とに分けて交互にA/D変換回路8に接続する(ステップ41及び図6の期間B)。A/D変換回路8は映像データ出力期間中は増幅回路7の出力をA/D変換して表示処理回路10へ伝送し、ブランキング期間中は素子温度検出回路12の出力をA/D変換して差分算出回路22に伝送し、この動作を撮像終了まで繰り返す。差分算出回路22は制御温度メモリ19から出力される制御温度の目標値データとブランキング期間中にA/D変換器8から出力される素子温度検出回路12のA/D変換後のデータとの差を算出し、D/A変換回路20に送る。素子温度制御手段11はD/A変換回路22の出力に応じて検出器アレイ3と素子温度センサ4の温度を制御温度メモリ19が記憶している電源投入直後の検出器アレイ3の温度に制御する(ステップ42)。映像データ出力期間中はマルチプレクサ17が増幅回路7の出力をA/D変換回路8の入力に接続し、映像データ出力期間中のA/D変換回路8の出力により従来の装置と同様にオフセット補正メモリ10に記憶するデータの取得とビデオ信号の出力が行なわれる(ステップ43〜48)。
【0022】
以上のように、実施の形態2によれば実施の形態1と同様に、検出器アレイ3の温度を電源投入直後の検出器アレイ3の温度に制御して撮像を行なうため、検出器アレイ3の温度が動作温度の設定値に達するまでに消費する電力が少なく、又、設定値に達した後も周囲と検出器アレイ3との温度差が小さいため、周囲から検出器アレイ3への熱流入、又は熱放出量が少なく、低消費電力化が図れる効果がある。
【0023】
実施の形態3.
図7はこの発明による赤外線カメラの実施の形態3の構成を示すブロック図である。図中、1〜12、16は従来の装置と同じものである。14、17〜20は実施の形態1と同じものである。23は筐体2に設置した筐体温度センサ、24は筐体温度検出回路、25は温度差検出回路である。
【0024】
次にこの発明による赤外線カメラの動作について説明する。図8はこの発明による赤外線カメラの実施の形態3の動作を示すフローチャート、図9はこの発明による赤外線カメラの実施の形態3に設置したマルチプレクサ17の動作を示すタイミングチャートである。電源投入前、赤外光学系1及び体2内部の構成要素は周囲と熱平衡状態にあり、周囲の環境温度と等しい温度となっている。電源を投入すると筐体温度センサ23は筐体2の温度を測定し、筐体温度検出回路24は筐体温度センサ23の温度、すなわち環境温度を表わす電圧信号を出力する。電源投入後一定の時間が経過するまではマルチプレクサ17はタイミング発生回路16の指令により、筐体温度検出回路24の出力をA/D変換回路8の入力に接続し、筐体温度検出回路24の出力をA/D変換したデータを制御温度メモリ19に記憶する(ステップ49〜51及び図9の期間A)。その後、実施の形態1と同様の動作により、検出器アレイ3及び素子温度センサ4を電源投入直後の筐体2の温度に制御する(ステップ52)。
【0025】
次にタイミング発生回路16の指令によりマルチプレクサ17を切り替え、増幅回路7の出力を示すようにA/D変換回路8に入力する(ステップ53及び図9の期間B)。次にシャッタ5を閉じてオフセット補正メモリ9に記憶する補正データの取得を行ない、シャッタ5を開き表示処理回路10からのビデオ信号の出力を行なう(ステップ54〜57)。環境温度の変化や筐体2内部の構成要素の発熱により筐体2温度が電源投入時の温度から上昇、又は下降すると、検出器アレイ3への熱の流入又は流出が生じ、素子温度制御手段11の消費電力が増加する。上記のような消費電力の増加を防止するため、温度差検出回路25は筐体温度検出回路24の出力と素子温度検出回路12の出力との差を検出し、一定の値を越えると、筐体温度検出回路25の新たな出力を制御温度メモリ19に記憶する信号をタイミング発生回路16に伝達する(ステップ58の”NO”)。マルチプレクサ17はタイミング発生回路16の指令により示すように再び筐体温度検出回路24の出力をA/D変換回路8の入力に接続し、A/D変換回路8は筐体温度検出回路24の出力をA/D変換し、制御温度メモリ19に新たなデータとして記憶し、検出器アレイ3の動作目標温度を変更する(ステップ50〜52及び図9の期間C)。検出器アレイ3の動作温度が変わると出力信号のオフセットレベルも変化するが、これを補正するため再度シャッタ5を閉じ、オフセット補正メモリ9に新たな補正データを記憶し、表示処理回路10ビデオ信号を出力する(ステップ53〜57)。
【0026】
以上のように、検出器アレイ3の温度を電源投入直後の筐体2の温度に制御して撮像を行ない、さらに、筐体2の温度変化により検出器アレイ3と検出器アレイ3の周囲との温度差が一定値を越えた際には検出器アレイ3の温度をその時の筐体2の温度に制御するため、検出器アレイ3の温度が設定値に達するまでに消費する電力が少なく、かつ、筐体温度が変化した際にも周囲と検出器アレイとの温度差が小さいため、周囲から検出器アレイ3への熱流入又は熱放出量が少なく、低消費電力化が図れる効果がある。
【0027】
実施の形態4.
図10はこの発明による赤外線カメラの実施の形態4の構成を示すブロック図である。図中、1〜12、16は従来の装置と同じものである。19〜22は実施の形態2と同じものである。23〜25は実施の形態3と同じものである。26は3系統の入力を有するマルチプレクサである。
【0028】
次にこの発明による赤外線カメラの動作について説明する。図11はこの発明による赤外線カメラの実施の形態4の動作を示すフローチャート、図12はこの発明による赤外線カメラの実施の形態4に設置したマルチプレクサ26の動作を示すタイミングチャートである。電源投入前、赤外光学系1及び筐体2の構成要素は周囲と熱平衡状態にあり、周囲の環境温度と等しい温度となっている。電源を投入すると筐体温度センサ23は筐体2の温度を測定し、筐体温度検出回路24は筐体温度センサ23の温度、すなわち環境温度に対応した信号を出力する。電源投入後一定の期間はタイミング発生回路16の指令により、マルチプレクサ26は筐体温度検出回路24の出力をA/D変換回路8の入力に接続する(ステップ61〜62及び図12の期間A)。
【0029】
A/D変換回路8は筐体温度検出回路24の出力をA/D変換し、制御温度メモリ19に記憶する(ステップ63)。制御温度メモリ19への温度データの記憶完了後、マルチプレクサ26は素子温度検出回路12の出力と増幅回路7の出力を映像データ出力期間とブランキング期間に分けてA/D変換器8の入力に接続する。A/D変換回路8は増幅回路7の出力と素子温度検出回路12の出力をマルチプレクサ26の切換により時分割してA/D変換し、実施の形態2と同様に映像データ出力期間中は増幅回路7の出力を表示処理回路10へ伝送し、ブランキング期間中は素子温度検出回路12の出力を差分算出回路22に伝送する(ステップ64及び図12の期間B)。差分算出回路22は制御温度メモリ19から出力される制御温度の目標値とA/D変換回路8からブランキング期間中に出力される検出器アレイ3の温度との差を算出し、D/A変換回路20に送り、検出器アレイ3の温度を制御温度メモリ19が記憶している電源投入直後の筐体2の温度に制御する(ステップ65)。その後、実施の形態2と同じ動作により、オフセット補正メモリ9に記憶するデータの取得、表示処理回路10からのビデオ信号の出力を行なう(ステップ66〜69)。
【0031】
環境温度の変化や筐体2内部の構成要素の発熱により筐体2の温度が電源投入時の温度と比較して上昇又は下降すると、検出器アレイ3への熱の流入又は流出が生じ素子温度制御手段11の消費電力が増加する。上記のような消費電力の増加を防止するため、温度差検出回路25は筐体内温度検出回路24の出力と素子温度検出回路12の出力との差を検出し、一定の値を越えると、筐体温検出回路25の新たな出力を制御温度メモリ19に記憶する信号をタイミング発生回路16に伝達する(ステップ70の”NO”)。マルチプレクサ26はタイミング発生回路16の指令により再び筐体温度検出回路24の出力をA/D変換回路8の入力に接続し、A/D変換回路8は筐体温度検出回路24の出力をA/D変換し、制御温度メモリ19に新たなデータとして記憶し、検出器アレイ3の動作目標温度を変更する(ステップ62〜65及び図12の期間C)。検出器アレイ3の動作温度が変わると出力信号のオフセットレベルも変化するが、これを補正するため再度シャッタ5を閉じ、オフセット補正メモリ9に新たな補正データを記憶し、表示処理回路10ビデオ信号を出力する(図9の66〜69)。
【0032】
以上のようにこの発明は検出器アレイ3の温度を電源投入直後の筐体2の温度に制御して撮像を行ない、さらに筐体2の温度変化により検出器アレイ3と検出器アレイ3の周囲温度との差が一定値を越えた際には検出器アレイ3の温度をその時の筐体2の温度に制御するため、検出器アレイ3の温度が設定値に達するまでに消費する電力が少なく、かつ、筐体温度が変化した際にも周囲と検出器アレイ3との温度差が小さいため、周囲から検出器アレイ3への熱流入又は熱放出量が少なく、低消費電力化が図れる効果がある。
【0033】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、検出器アレイの動作温度を撮像素子の温度に制御して撮像を行なうため、低消費電力の赤外線カメラが得られる効果がある。
【0034】
また、この発明によれば、検出器アレイの動作温度を筐体温度に制御して撮像を行なうため、低消費電力である赤外線カメラが得られる効果がある。
【0035】
さらに、筐体温度が変化して撮像素子の動作温度との差が一定値を越えた際には動作温度をその時の筐体温度に変更することにより、より低消費電力である赤外線カメラが得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明による赤外線カメラの実施の形態1の構成を示すブロック図である。
【図2】この発明による赤外線カメラの実施の形態1の動作を示すフローチャートである。
【図3】この発明による赤外線カメラの実施の形態1のマルチプレクサの動作を示すタイミングチャートである。
【図4】この発明による赤外線カメラの実施の形態2の構成を示すブロック図である。
【図5】この発明による赤外線カメラの実施の形態2の動作を示すフローチャートである。
【図6】この発明による赤外線カメラの実施の形態2のマルチプレクサの動作を示すタイミングチャートである。
【図7】この発明による赤外線カメラの実施の形態3の構成を示すブロック図である。
【図8】この発明による赤外線カメラの実施の形態3の動作を示すフローチャートである。
【図9】この発明による赤外線カメラの実施の形態3のマルチプレクサの動作を示すタイミングチャートである。
【図10】この発明による赤外線カメラの実施の形態4の構成を示すブロック図である。
【図11】この発明による赤外線カメラの実施の形態4の動作を示すフローチャートである。
【図12】この発明による赤外線カメラの実施の形態4のマルチプレクサの動作を示すタイミングチャートである。
【図13】従来の赤外線カメラの一実施例の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
1 赤外光学系、2 筐体、3 検出器アレイ、4 素子温度センサ、5 シャッタ、6 ドライバ回路、7 増幅回路、8 A/D変換回路、9 オフセット補正メモリ、10 表示処理回路、11 素子温度制御手段、12 素子温度検出回路、14 差動増幅回路、16 タイミング発生回路、17 マルチプレクサ、18 素子温度制御回路、19 制御温度メモリ、20 D/A変換回路、21 素子温度制御回路、22 差分算出回路、23 筐体温度センサ、24筐体温度検出回路、25 温度差検出回路 26 マルチプレクサ。

Claims (11)

  1. 赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの動作温度を、温度制御開始前に検出された上記検出器アレイの温度になるように制御する素子温度制御手段とを備えた赤外線カメラ。
  2. 赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの温度を測定する素子温度センサと、上記素子温度センサで計測される検出温度と温度制御開始前に検出された上記素子温度センサの検出温度との差に応じて、上記検出器アレイを冷却、又は加熱して、上記検出器アレイの温度を温度制御開始前に検出された上記素子温度センサの検出温度になるように制御する素子温度制御手段とを備えた赤外線カメラ。
  3. 赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの温度を測定する素子温度センサと、検出器アレイの出力から生成される映像データにおけるブランキング期間中に上記素子温度センサで計測される検出温度と温度制御開始前に検出された上記素子温度センサの検出温度との差に応じて、上記検出器アレイの温度を温度制御開始前に検出された上記素子温度センサの検出温度に制御する素子温度制御手段とを備えた赤外線カメラ。
  4. 赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの温度を測定する素子温度センサと、上記素子温度センサからの検出データを記憶する制御温度メモリと、上記制御温度メモリの記憶データと上記素子温度センサで計測される検出温度との差に応じて、上記検出器アレイを冷却、又は加熱して、上記検出器アレイの温度を上記制御温度メモリが記憶した温度になるように制御する素子温度制御手段とを備え、
    上記制御温度メモリは、上記素子温度制御手段による温度制御開始前の上記素子温度センサからの検出データを記憶することを特徴とした赤外線カメラ。
  5. 上記検出器アレイの出力から生成される映像データにおけるブランキング期間中に、上記素子温度センサからの検出データを選択出力するマルチプレクサを備え
    上記素子温度制御手段は、上記マルチプレクサにより選択出力された上記素子温度センサからの検出データと、上記素子温度制御手段による温度制御開始前の上記素子温度センサからの検出データとの差に応じて、温度を制御することを特徴とする請求項4に記載の赤外線カメラ。
  6. 赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの収容される筐体の温度を計測する筐体温度センサと、上記検出器アレイの動作温度を、上記筐体温度センサで計測された筐体の温度に達するように制御する素子温度制御手段とを備えた赤外線カメラ。
  7. 赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの温度を測定する素子温度センサと、上記検出器アレイの収容される筐体の温度を計測する筐体温度センサと、上記筐体温度センサからの検出データを記憶する制御温度メモリと、上記制御温度メモリの記憶データと上記素子温度センサで計測された検出温度との差に応じて、上記検出器アレイの温度を上記制御温度メモリが記憶した温度に制御する素子温度制御手段とを備え、
    上記制御温度メモリは、上記素子温度センサからの出力と上記筐体温度センサからの出力とを比較し、その差が所定値を超えたときの上記筐体温度センサからの出力を記憶することを特徴とした赤外線カメラ。
  8. 赤外線を検出する検出器アレイと、上記検出器アレイの温度を測定する素子温度センサと、上記検出器アレイの収容される筐体の温度を計測する筐体温度センサと、上記筐体温度センサからの検出データを記憶する制御温度メモリと、上記制御温度メモリの記憶データと上記素子温度センサで計測された検出温度との差に応じて、上記検出器アレイの温度を上記制御温度メモリが記憶した温度に制御する素子温度制御手段とを備え、
    上記制御温度メモリは、上記素子温度制御手段による温度制御開始前の上記筐体温度センサからの検出データを記憶することを特徴とした赤外線カメラ。
  9. 上記検出器アレイの出力から生成される映像データにおけるブランキング期間中に、上記素子温度センサからの検出データを選択出力するマルチプレクサを備え
    上記素子温度制御手段は、上記マルチプレクサにより選択出力された上記素子温度センサからの検出データと、上記制御温度メモリの記憶データとの差に応じて、温度を制御することを特徴とする請求項7または請求項8に記載の赤外線カメラ。
  10. 上記素子温度センサからの出力と上記筐体温度センサからの出力とを比較し、その差が所定値を超えたときの上記筐体温度センサからの出力を上記制御温度メモリに記憶することを特徴とした請求項8に記載の赤外線カメラ。
  11. 赤外光学系を具備し、上記検出器アレイは、当該赤外光学系の結像面に位置することを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の赤外線カメラ。
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