JP3570672B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、いわゆるチップ・オン・チップ構造の半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
第1の半導体チップ(親チップ)上に、第2の半導体チップ(子チップ)をたとえばフェースダウンで接合することにより、チップ・オン・チップ構造の半導体装置を構成することが提案されている。この場合、第1および第2の半導体チップ相互間の電気接続は、各チップの表面に設けられたバンプ同士を接合することにより達成される。また、樹脂等のパッケージにチップ・オン・チップ構造を収容した後の外部接続は、リードフレームの端子部と上記第1の半導体チップの外部接続用パッドとの間をワイヤボンディングなどで接続することにより達成される。第1の半導体チップは、リードフレームのアイランド部にダイボンディングされる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような構成では、第2の半導体チップが、バイポーラトランジスタを内蔵したドライバ回路の場合や、フラッシュメモリ回路の場合のように、電力消費量が大きく、その発熱量の大きいものである場合には、リードフレームを介する放熱が不十分になる。そのため、第2の半導体チップの動作特性が劣化したり、第2の半導体チップからの熱が第1の半導体チップに悪影響を及ぼしたりするおそれがあり、半導体装置全体として良好な動作特性を実現できない場合がある。
【0004】
そこで、この発明の目的は、上述の技術的課題を解決し、放熱対策のされたチップ・オン・チップ構造の半導体装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記の目的を達成するための請求項1記載の発明は、第1の半導体チップと、この第1の半導体チップに重ね合わせ、バンプを介して接合された第2の半導体チップと、上記第1の半導体チップと上記第2の半導体チップとの間に設けられ、上記第1の半導体チップおよび第2の半導体チップの少なくともいずれか一方の表面保護膜上に上記バンプよりも大きく形成された金属膜からなり、上記第2の半導体チップが発生する熱の放熱経路を形成する熱伝導体と、この熱伝導体を放熱部に熱的に接続する接続部材とを含み、上記金属膜が上記バンプと同じ材料で形成されていることを特徴とする半導体装置である。
【0006】
この構成により、第2の半導体チップから発生した熱は、第1および第2の半導体チップ間に設けられた熱伝導体および接続部材を伝導して、放熱部へと導かれる。熱伝導体は、第1の半導体チップおよび第2の半導体チップの少なくともいずれか一方の表面保護膜上にバンプよりも大きく形成された金属膜からなっている。このようにして、放熱対策のされたチップ・オン・チップ構造の半導体装置が実現され、第2の半導体チップの発熱量が大きい場合でも、装置全体として良好な動作特性を実現できる。すなわち、第2の半導体チップの放熱を良好に行うことができるから、その動作特性を良好に保持できるうえ、第1の半導体チップに第2の半導体チップから発生した熱が悪影響を与えるおそれがない。
また、第1および/または第2の半導体チップの表面に形成されるバンプと同じ材料(たとえば、金)で金属膜を形成するようにしているので、バンプの形成時において、同時に熱伝導体としての金属膜を表面保護膜上に形成することができる。
【0007】
なお、上記放熱部は、ヒートシンクであってもよい。この場合に、前記接続部材は、ヒートシンクと熱伝導体との間を接続するボンディングワイヤであってもよい。
前記熱伝導体は、熱伝導率の高い金属(たとえば、金)で形成されることが好ましい。
第1の半導体チップと第2の半導体チップの両方に金属膜が形成される場合は、これらを接触または接合させることが好ましい。この場合、さらに、第1の半導体チップに形成された金属膜と放熱部とをボンディングワイヤなどの接続部材で熱的に接続すればよい。
【0008】
また、第1の半導体チップが第2の半導体チップよりも大きく形成されていて、金属膜が第2の半導体チップの熱源付近から第1の半導体チップにおいて第2の半導体チップにより覆われていない領域まで引き出されていることが好ましい。この場合、当該引き出し部分と放熱部とをボンディングワイヤなどで熱的に接続すればよい。
【0009】
第1の半導体チップと第2の半導体チップとは、各活性表面同士が対向して接合されていることが好ましい。この構成を採用すれば、活性表面側に通常設けられるバンプの形成工程において上述の金属膜を各チップ表面に形成しておくことにより、第1および第2の半導体チップ同士の接合の際に、各チップ上の金属膜同士を接触または接合させることができる。
また、第1の半導体チップは、リードフレームにダイボンディングされていることが好ましい。これにより、第1の半導体チップの放熱は、リードフレームを介して良好に行える。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、この発明の一実施形態に係る半導体装置の図解的な断面図であり、図2は、この半導体装置の図解的な平面図である。この半導体装置は、第1の半導体チップとしての親チップ1と、第2の半導体チップとしての子チップ2(図2では二点鎖線で示す。)とを、互いの活性表面を対向させて接合したチップ・オン・チップ構造を有している。この場合、活性表面とは、トランジスタなどの能動素子や抵抗などの受動素子を含む機能素子が形成された活性表層領域側の表面を指す。親チップ1および子チップ2は、いずれもシリコンチップであってもよいが、ゲルマニウム半導体や化合物半導体(ガリウム砒素やガリウム燐など)などの他の種類の半導体チップであってもよいし、親チップ1と子チップ2との半導体の種類が一致している必要もない。
【0011】
親チップ1および子チップ2の各活性表面には、相互接続のためのチップ間接続パッドPC1,PC2が形成されており、親チップ1の活性表面には、さらに外部接続パッドPEが形成されている。親チップ1および子チップ2の活性表面の最表面には、窒化シリコン膜などからなる表面保護膜(図示せず)が形成されていて、パッドPC1,PC2,PEは表面保護膜に形成された開口から露出している。そして、親チップ1と子チップ2との電気的接続および機械的接合は、親チップ1および子チップ2のチップ間接続パッドPC1,PC2の両方または一方に配置されたバンプBを用いて達成されるようになっている。
【0012】
親チップ1の外部接続パッドPEは、ボンディングワイヤWを介して、リードフレームFの端子部Ftに接続される。リードフレームFは、半導体チップをダイボンディングするためのアイランド部Fiと、半導体装置のパッケージ内外の接続のための端子部Ftとを有している。そして、親チップ1は、アイランド部Fiにダイボンディングされており、この親チップ1から発生した熱は、リードフレームFを通って外部に放出されるようになっている。
【0013】
親チップ1および子チップ2の活性表面には、子チップ2から発生した熱を放熱するための放熱経路を形成する金属膜11,12がそれぞれ形成されている。具体的には、子チップ2内に形成されたバイボーラトランジスタなどの熱源HSの近傍の子チップ2の最表面を覆うように、たとえば、金などからなる金属膜12(図2では図示を省略した。)がバンプBよりも大きく形成されている。また、親チップ1には、子チップ2の表面に形成された金属膜12に接触または接合するように、たとえば、金などからなる金属膜11が最表面にバンプBよりも大きく形成されている。これらの金属膜11,12は、バンプBと同じ材料で形成することが好ましく、この場合には、バンプBの形成工程において、金属膜11,12を同時に形成することができる。
【0014】
親チップ1は、平面視において、子チップ2よりも大きく、金属膜11は、金属膜12と接触または接合する位置から、子チップ2に覆われていない領域まで引き出されて形成されている。そして、1本または複数本のボンディングワイヤWによって、ヒートシンクの接続部20(放熱部)に熱的に接続されている。
組立ての際には、親チップ1および子チップ2をバンプBにより互いに接合するとともに、金属膜11,12を互いに接触させる。そして、親チップ1をアイランド部Fiにダイボンディングし、さらに、親チップ1と端子部Ftとのワイヤボンディングおよび金属膜11とヒートシンクの接続部20との間のワイヤボンディングを行う。その後、親チップ1および子チップ2のチップ・オン・チップ構造を適当な樹脂を用いてパッケージ5内に封止する。このとき、同時に、アイランド部Fi、端子部Ftの一部、ヒートシンクの接続部20、およびボンディングワイヤWも、パッケージ5内に封止されることになる。
【0015】
上述のとおり、この実施形態では、子チップ2の熱源HSから発生した熱は、金属膜11,12およびボンディングワイヤWを介してヒートシンクの接続部20に導かれ、パッケージ5外のヒートシンク本体から放出される。したがって、とくに、子チップ2がバイポーラトランジスタを内臓したドライバ回路やフラッシュメモリ回路などのように発熱量が大きいものである場合に、その放熱を良好に行うことができるから、子チップ2の温度上昇およびこれに接合された親チップ1の温度上昇を抑制できる。その結果、親チップ1および子チップ2を良好に動作させることが可能になり、半導体装置の信頼性を向上することができる。
【0016】
以上、この発明の一実施形態について説明したが、この発明は他の形態でも実施することができる。たとえば、上述の実施形態では、親チップ1および子チップ2の両方の活性表面に金属膜11,12を形成し、これらを接触または接合させる構成としているが、たとえば、親チップ1側にのみ金属膜11を形成し、これを子チップ2の熱源近傍の表面に接触させるようにしてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態に係る半導体装置の図解的な断面図である。
【図2】上記半導体装置の図解的な平面図である。
【符号の説明】
1 親チップ(第1の半導体チップ)
2 子チップ(第2の半導体チップ)
11 金属膜
12 金属膜
20 ヒートシンクの接続部
B バンプ
F リードフレーム
W ボンディングワイヤ
【発明の属する技術分野】
この発明は、いわゆるチップ・オン・チップ構造の半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
第1の半導体チップ(親チップ)上に、第2の半導体チップ(子チップ)をたとえばフェースダウンで接合することにより、チップ・オン・チップ構造の半導体装置を構成することが提案されている。この場合、第1および第2の半導体チップ相互間の電気接続は、各チップの表面に設けられたバンプ同士を接合することにより達成される。また、樹脂等のパッケージにチップ・オン・チップ構造を収容した後の外部接続は、リードフレームの端子部と上記第1の半導体チップの外部接続用パッドとの間をワイヤボンディングなどで接続することにより達成される。第1の半導体チップは、リードフレームのアイランド部にダイボンディングされる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような構成では、第2の半導体チップが、バイポーラトランジスタを内蔵したドライバ回路の場合や、フラッシュメモリ回路の場合のように、電力消費量が大きく、その発熱量の大きいものである場合には、リードフレームを介する放熱が不十分になる。そのため、第2の半導体チップの動作特性が劣化したり、第2の半導体チップからの熱が第1の半導体チップに悪影響を及ぼしたりするおそれがあり、半導体装置全体として良好な動作特性を実現できない場合がある。
【0004】
そこで、この発明の目的は、上述の技術的課題を解決し、放熱対策のされたチップ・オン・チップ構造の半導体装置を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記の目的を達成するための請求項1記載の発明は、第1の半導体チップと、この第1の半導体チップに重ね合わせ、バンプを介して接合された第2の半導体チップと、上記第1の半導体チップと上記第2の半導体チップとの間に設けられ、上記第1の半導体チップおよび第2の半導体チップの少なくともいずれか一方の表面保護膜上に上記バンプよりも大きく形成された金属膜からなり、上記第2の半導体チップが発生する熱の放熱経路を形成する熱伝導体と、この熱伝導体を放熱部に熱的に接続する接続部材とを含み、上記金属膜が上記バンプと同じ材料で形成されていることを特徴とする半導体装置である。
【0006】
この構成により、第2の半導体チップから発生した熱は、第1および第2の半導体チップ間に設けられた熱伝導体および接続部材を伝導して、放熱部へと導かれる。熱伝導体は、第1の半導体チップおよび第2の半導体チップの少なくともいずれか一方の表面保護膜上にバンプよりも大きく形成された金属膜からなっている。このようにして、放熱対策のされたチップ・オン・チップ構造の半導体装置が実現され、第2の半導体チップの発熱量が大きい場合でも、装置全体として良好な動作特性を実現できる。すなわち、第2の半導体チップの放熱を良好に行うことができるから、その動作特性を良好に保持できるうえ、第1の半導体チップに第2の半導体チップから発生した熱が悪影響を与えるおそれがない。
また、第1および/または第2の半導体チップの表面に形成されるバンプと同じ材料(たとえば、金)で金属膜を形成するようにしているので、バンプの形成時において、同時に熱伝導体としての金属膜を表面保護膜上に形成することができる。
【0007】
なお、上記放熱部は、ヒートシンクであってもよい。この場合に、前記接続部材は、ヒートシンクと熱伝導体との間を接続するボンディングワイヤであってもよい。
前記熱伝導体は、熱伝導率の高い金属(たとえば、金)で形成されることが好ましい。
第1の半導体チップと第2の半導体チップの両方に金属膜が形成される場合は、これらを接触または接合させることが好ましい。この場合、さらに、第1の半導体チップに形成された金属膜と放熱部とをボンディングワイヤなどの接続部材で熱的に接続すればよい。
【0008】
また、第1の半導体チップが第2の半導体チップよりも大きく形成されていて、金属膜が第2の半導体チップの熱源付近から第1の半導体チップにおいて第2の半導体チップにより覆われていない領域まで引き出されていることが好ましい。この場合、当該引き出し部分と放熱部とをボンディングワイヤなどで熱的に接続すればよい。
【0009】
第1の半導体チップと第2の半導体チップとは、各活性表面同士が対向して接合されていることが好ましい。この構成を採用すれば、活性表面側に通常設けられるバンプの形成工程において上述の金属膜を各チップ表面に形成しておくことにより、第1および第2の半導体チップ同士の接合の際に、各チップ上の金属膜同士を接触または接合させることができる。
また、第1の半導体チップは、リードフレームにダイボンディングされていることが好ましい。これにより、第1の半導体チップの放熱は、リードフレームを介して良好に行える。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、この発明の一実施形態に係る半導体装置の図解的な断面図であり、図2は、この半導体装置の図解的な平面図である。この半導体装置は、第1の半導体チップとしての親チップ1と、第2の半導体チップとしての子チップ2(図2では二点鎖線で示す。)とを、互いの活性表面を対向させて接合したチップ・オン・チップ構造を有している。この場合、活性表面とは、トランジスタなどの能動素子や抵抗などの受動素子を含む機能素子が形成された活性表層領域側の表面を指す。親チップ1および子チップ2は、いずれもシリコンチップであってもよいが、ゲルマニウム半導体や化合物半導体(ガリウム砒素やガリウム燐など)などの他の種類の半導体チップであってもよいし、親チップ1と子チップ2との半導体の種類が一致している必要もない。
【0011】
親チップ1および子チップ2の各活性表面には、相互接続のためのチップ間接続パッドPC1,PC2が形成されており、親チップ1の活性表面には、さらに外部接続パッドPEが形成されている。親チップ1および子チップ2の活性表面の最表面には、窒化シリコン膜などからなる表面保護膜(図示せず)が形成されていて、パッドPC1,PC2,PEは表面保護膜に形成された開口から露出している。そして、親チップ1と子チップ2との電気的接続および機械的接合は、親チップ1および子チップ2のチップ間接続パッドPC1,PC2の両方または一方に配置されたバンプBを用いて達成されるようになっている。
【0012】
親チップ1の外部接続パッドPEは、ボンディングワイヤWを介して、リードフレームFの端子部Ftに接続される。リードフレームFは、半導体チップをダイボンディングするためのアイランド部Fiと、半導体装置のパッケージ内外の接続のための端子部Ftとを有している。そして、親チップ1は、アイランド部Fiにダイボンディングされており、この親チップ1から発生した熱は、リードフレームFを通って外部に放出されるようになっている。
【0013】
親チップ1および子チップ2の活性表面には、子チップ2から発生した熱を放熱するための放熱経路を形成する金属膜11,12がそれぞれ形成されている。具体的には、子チップ2内に形成されたバイボーラトランジスタなどの熱源HSの近傍の子チップ2の最表面を覆うように、たとえば、金などからなる金属膜12(図2では図示を省略した。)がバンプBよりも大きく形成されている。また、親チップ1には、子チップ2の表面に形成された金属膜12に接触または接合するように、たとえば、金などからなる金属膜11が最表面にバンプBよりも大きく形成されている。これらの金属膜11,12は、バンプBと同じ材料で形成することが好ましく、この場合には、バンプBの形成工程において、金属膜11,12を同時に形成することができる。
【0014】
親チップ1は、平面視において、子チップ2よりも大きく、金属膜11は、金属膜12と接触または接合する位置から、子チップ2に覆われていない領域まで引き出されて形成されている。そして、1本または複数本のボンディングワイヤWによって、ヒートシンクの接続部20(放熱部)に熱的に接続されている。
組立ての際には、親チップ1および子チップ2をバンプBにより互いに接合するとともに、金属膜11,12を互いに接触させる。そして、親チップ1をアイランド部Fiにダイボンディングし、さらに、親チップ1と端子部Ftとのワイヤボンディングおよび金属膜11とヒートシンクの接続部20との間のワイヤボンディングを行う。その後、親チップ1および子チップ2のチップ・オン・チップ構造を適当な樹脂を用いてパッケージ5内に封止する。このとき、同時に、アイランド部Fi、端子部Ftの一部、ヒートシンクの接続部20、およびボンディングワイヤWも、パッケージ5内に封止されることになる。
【0015】
上述のとおり、この実施形態では、子チップ2の熱源HSから発生した熱は、金属膜11,12およびボンディングワイヤWを介してヒートシンクの接続部20に導かれ、パッケージ5外のヒートシンク本体から放出される。したがって、とくに、子チップ2がバイポーラトランジスタを内臓したドライバ回路やフラッシュメモリ回路などのように発熱量が大きいものである場合に、その放熱を良好に行うことができるから、子チップ2の温度上昇およびこれに接合された親チップ1の温度上昇を抑制できる。その結果、親チップ1および子チップ2を良好に動作させることが可能になり、半導体装置の信頼性を向上することができる。
【0016】
以上、この発明の一実施形態について説明したが、この発明は他の形態でも実施することができる。たとえば、上述の実施形態では、親チップ1および子チップ2の両方の活性表面に金属膜11,12を形成し、これらを接触または接合させる構成としているが、たとえば、親チップ1側にのみ金属膜11を形成し、これを子チップ2の熱源近傍の表面に接触させるようにしてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態に係る半導体装置の図解的な断面図である。
【図2】上記半導体装置の図解的な平面図である。
【符号の説明】
1 親チップ(第1の半導体チップ)
2 子チップ(第2の半導体チップ)
11 金属膜
12 金属膜
20 ヒートシンクの接続部
B バンプ
F リードフレーム
W ボンディングワイヤ
Claims (1)
- 第1の半導体チップと、
この第1の半導体チップに重ね合わせ、バンプを介して接合された第2の半導体チップと、
上記第1の半導体チップと上記第2の半導体チップとの間に設けられ、上記第1の半導体チップおよび第2の半導体チップの少なくともいずれか一方の表面保護膜上に上記バンプよりも大きく形成された金属膜からなり、上記第2の半導体チップが発生する熱の放熱経路を形成する熱伝導体と、
この熱伝導体を放熱部に熱的に接続する接続部材とを含み、
上記金属膜が上記バンプと同じ材料で形成されていることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (2)
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JP31408399A JP3570672B2 (ja) | 1999-11-04 | 1999-11-04 | 半導体装置 |
US09/702,870 US6720662B1 (en) | 1999-11-04 | 2000-11-01 | Semiconductor device of chip-on-chip structure with a radiation noise shield |
Applications Claiming Priority (1)
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JP31408399A JP3570672B2 (ja) | 1999-11-04 | 1999-11-04 | 半導体装置 |
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JP2003120448A Division JP2003282820A (ja) | 2003-04-24 | 2003-04-24 | 半導体装置 |
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JP2001135783A JP2001135783A (ja) | 2001-05-18 |
JP3570672B2 true JP3570672B2 (ja) | 2004-09-29 |
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JP31408399A Expired - Fee Related JP3570672B2 (ja) | 1999-11-04 | 1999-11-04 | 半導体装置 |
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