JP3533066B2 - 作業装置の位置補正装置及びその方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は，作業装置を搭載し
た移動体を，規則的なパターンが形成された床面上の所
定の作業位置に停止させ，予め上記移動体を上記作業位
置の基準停止位置に停止させた状態で教示された上記作
業装置の教示データに従って所定の作業を行う作業装置
の位置補正装置及びその方法に関し，例えば，無人搬送
車上に搭載された搬送物移載用のアームの動作教示デー
タを，上記無人搬送車の停止位置のズレに基づいて補正
する装置及びその方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から，製造工程等では，ロボット
（作業装置）を搭載した無人搬送車（移動体）を所定の
作業位置に停止させ，該停止位置にて上記作業ロボット
により所定の作業を行わせる無人搬送車搭載ロボット等
が用いられている。この種の装置では，上記ロボットは
予め上記無人搬送車を上記作業位置に停止させた状態で
教示された教示データに従って作業を行う。ところが，
通常，上記無人搬送車の位置決め精度は低く，上記無人
搬送車を上記教示データ取得時の停止位置に正確に停止
させることが困難なため，無人搬送車の停止位置と作業
対象位置との相対位置関係はその都度変化する。従っ
て，上記教示データに上記無人搬送車の停止位置の誤差
分を吸収するような補正を行う必要がある。このような
無人搬送車搭載ロボットの位置補正方法として，例えば
特公平８−９１５１号公報に記載の発明（以下，従来技
術という）がある。

【０００３】上記従来技術に係るアーム付無人搬送車Ａ
０は，図９に示すように構成されている。無人搬送車３
１にはアーム３２が搭載されており，該アーム３２は，
水平旋回，前後回動，及び上下回動可能に構成されてい
る。また，上記アーム３２の先端部には，撮像部３３と
ハンド３４とが取り付けられている。更に，作業台３５
上の所定位置には，上記アーム３２のハンド３４により
把持されて移動されるワーク３６が載置されている。ま
た，上記作業台３５の上面には２点３７ａ，３７ｂより
なるマーク３７が設けられている。上記無人搬送車３１
は複数の作業台３５の間を走行し，各作業台３５の前の
所定位置に停止して上記アーム３２により上記ワーク３
６に対して，予め教示された教示データに従って所定の
作業を行う。以上のような構成を有するアーム付無人搬
送車Ａ０において，各作業台３５の前の停止位置の上記
教示データ取得時の停止位置からの誤差量に関わらず，
上記アーム３２による作業を正確に行うための方法につ
いて説明する。まず，作業に先立って行われるアーム３
２への動作教示時に，通常の作業対象位置の教示と共に
上記マーク３７の読み取り作業点を教示する。即ち，撮
像部３３をマーク３７の真上に移動し，この位置を教示
すると共に，撮像部３３によるマーク３７の撮像を行
い，得られた撮像画像に所定の画像処理を施して，上記
マーク３７ａ，３７ｂの上記撮像画像上の座標位置（教
示時座標位置とする）を求め，記憶する。

【０００４】次に，作業時において，無人搬送車３１が
上記作業台３５の前に停止した後，まず上記アーム３２
は上記教示された手順に従って撮像部３３をマーク３７
の上方に移動させてマーク３７を撮像し，得られた撮像
画像に所定の画像処理を施して，上記マーク３７ａ，３
７ｂの上記撮像画像上の座標位置（作業時座標位置とす
る）を求める。ここで，無人搬送車３１の位置決め精度
は一般に低いため，上記教示時に求めた上記教示時座標
位置と上記作業時座標位置とは一致しないことが多い。
その場合には，上記教示時座標位置と上記作業時座標位
置のずれ量に基づいて変換式を求め，該変換式により上
記アーム３２の教示データ（作業対象位置を示すデー
タ）を補正する。以上の処理を行うことにより，無人搬
送車３１の停止位置のずれ量に関わらず，上記アーム３
２による作業を正確に行うことが可能となる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが，上記従来技
術に係る方法では，無人搬送車３１が作業台３５の前に
停止した後，上記アーム３２による実際の作業を開始す
る前に，該アーム３２を動作させることにより以下の処
理を行う必要がある。アーム３２を動作させて撮像部
３３をマーク３７の上方に移動させる。上記撮像部３
３によりマーク３７を撮像し，画像処理を行う。教示
データの補正を行う。これらの処理は，アーム３２の動
作を伴うために時間がかかり，またその間は次の作業に
移ることができないため，システム全体の作業時間の増
加の要因となっていた。尚，アームにはリンク部や駆動
部等，制御誤差の原因となる部分が多いため，アームを
ワークに対して正確に動作させるためには，作用点に最
も近いアーム先端部において誤差修正をするのが精度上
理想的であり，従来もその考えに則った上述のような補
正処理が行われてきた。ところが，近年の技術向上によ
り，上記制御誤差を小さくすることが可能となり，必ず
しもアーム先端部において誤差修正を行う必要がなくな
ってきたという背景もある。本発明は上記事情に鑑みて
なされたものであり，その目的とするところは，システ
ム全体の作業時間を増加させることなく移動体の停止位
置のズレによる作業装置の位置ズレを補正して，常に正
確な作業を行うことが可能な作業装置の位置補正装置及
びその方法を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の装置は，作業装置を搭載した移動体を，規則
的なパターンが形成された床面上の所定の作業位置に停
止させ，予め上記移動体を上記作業位置の基準停止位置
に停止させた状態で教示された上記作業装置の教示デー
タに従って所定の作業を行う作業装置の位置補正装置に
おいて，上記移動体側の上記床面近傍に設置され，上記
移動体が停止する床面上の画像を撮像する撮像手段と，
上記作業装置の教示データの教示時に，上記移動体を上
記作業位置の基準停止位置に停止させた状態で上記撮像
手段により得られた上記規則的なパターンと床面上の上
記所定の作業位置近傍に上記規則的なパターンとは別に
各作業位置毎に設けられた認識マークとの画像を含む教
示時撮像画像を取得する教示時画像取得手段と，上記移
動体の停止時に，その停止位置で上記撮像手段により得
られた上記規則的なパターンと上記認識マークとの画像
を含む停止時撮像画像を取得する停止時画像取得手段
と，上記教示時画像取得手段により得られた教示時撮像
画像中の上記規則的なパターンと，上記停止時画像取得
手段により得られた停止時撮像画像中の上記規則的なパ
ターンとを，上記認識マークの位置に基づいて比較し，
該比較結果に基づいて上記作業装置の教示データを補正
する教示データ補正手段とを具備してなることを特徴と
する作業装置の位置補正装置として構成されている。ま
た，上記教示データ補正手段は，上記教示時撮像画像中
の上記規則的なパターンより得られた所定の位置情報，
若しくは画像情報と，上記停止時撮像画像中の上記規則
的なパターンより得られた所定の位置情報，若しくは画
像情報とを比較し，該比較結果に基づいて上記作業装置
の教示データを補正するように構成することができる。
また，上記所定のパターンが形成された床面としては，
半導体クリーンルーム等で通常用いられているパンチン
グ材，若しくはグレーチング材をそのまま用いることが
できる。

【０００７】また，上記目的を達成するために本発明の
方法は，作業装置を搭載した移動体を，規則的なパター
ンが形成された床面上の所定の作業位置に停止させ，予
め上記移動体を上記作業位置の基準停止位置に停止させ
た状態で教示された上記作業装置の教示データに従って
所定の作業を行う作業装置の位置補正方法において，上
記作業装置の教示データの教示時に，上記移動体を上記
作業位置の基準停止位置に停止させた状態で，上記移動
体側の上記床面近傍に設置された撮像手段により，上記
移動体が停止する床面上の上記規則的なパターンと床面
上の上記所定の作業位置近傍に設けられた認識マークと
を含む画像を撮像する教示時撮像工程と，上記移動体の
停止時に，その停止位置で上記撮像手段により，上記移
動体が停止する床面上の上記規則的なパターンと上記認
識マークとを含む画像を撮像する停止時撮像工程と，上
記教示時画像工程で得られた撮像画像中の上記規則的な
パターンと，上記停止時撮像工程で得られた撮像画像中
の上記規則的なパターンとを，上記認識マークの位置に
基づいて比較し，該比較結果に基づいて上記作業装置の
教示データを補正する教示データ補正工程とを具備して
なることを特徴とする作業装置の位置補正方法として構
成されている。

【０００８】

【作用】本発明に係る作業装置の位置補正装置では，ま
ず，作業装置に対する動作教示時に，移動体を作業位置
の基準停止位置に停止させた状態で，撮像手段により，
規則的なパターンと認識マークとの画像を含む床面の画
像が撮像され，その撮像画像は教示時画像取得手段によ
り取得される。次に，実際の作業時には，移動体の停止
時に，その停止位置で上記撮像手段により規則的なパタ
ーンと認識マークとの画像を含む床面の画像が撮像さ
れ，その撮像画像は停止時画像取得手段により取得され
る。そして，教示データ補正手段により，上記教示時画
像取得手段により得られた撮像画像中の上記規則的なパ
ターンと，上記停止時画像取得手段により得られた撮像
画像中の上記規則的なパターンとが，上記認識マークの
位置に基づいて比較され，該比較結果に基づいて作業装
置の教示データが補正される。その際，上記教示データ
補正手段は，上記教示時撮像画像中の上記規則的なパタ
ーンより得られた所定の位置情報，若しくは画像情報
と，上記停止時撮像画像中の上記規則的なパターンより
得られた所定の位置情報，若しくは画像情報とを比較
し，該比較結果に基づいて上記作業装置の教示データを
補正する。以上のように，作業装置などの可動部を動作
させることなく，移動体の停止後，作業装置の動作開始
までの僅かな時間で高速に補正処理が行われる。従っ
て，作業装置は既に補正された教示データに従ってすぐ
に移載作業を開始できるため，システム全体の作業時間
を増加させることがない。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面を参照して，本発明
の実施の形態及び実施例につき説明し，本発明の理解に
供する。尚，以下の実施の形態及び実施例は本発明を具
体化した一例であって，本発明の技術的範囲を限定する
性格のものではない。ここに，図１は本発明の実施の形
態に係るアーム付無人搬送車Ａ１の概略構成を示す模式
図，図２は上記アーム付無人搬送車Ａ１による停止位置
補正処理の手順を示すフローチャート，図３は教示時の
位置情報（位置座標（Ｘ_０，Ｙ_０），回転角θ_０）の算
出方法の一例を示す説明図，図４は作業時の位置情報
（位置座標（Ｘ_１，Ｙ_１），回転角θ_１）の算出方法の
一例を示す説明図，図５〜図８はパンチング床（グレー
チング床）のパターンの一例を示す図である。本実施の
形態では，半導体クリーンルーム内において，半導体製
造装置間，或いは半導体製造装置−ストッカ間でウェー
ハの搬送，及び移載を行うアーム付無人搬送車Ａ１を例
にあげて説明する。上記アーム付無人搬送車Ａ１では，
図１に示すように，無人搬送車１（移動体の一例）の上
部に，先端部にハンド３を有するアーム２（作業装置の
一例）が搭載されている。該アーム２は，上記従来技術
のアーム３２（図９）と同様の作業を行うように構成さ
れているが，撮像部３３は設置されていない。また，上
記無人搬送車１の下部中央部付近（照明等の影響を受け
にくい位置）には，床面９に対向するように，リング状
の照明装置５を有する撮像部４が固定的に設置されてお
り，更に，画像処理部６，記憶部７，及び教示データ補
正部８が設けられている。また，半導体クリーンルーム
等では通常行われているように，上記床面９には，図５
〜図８に示すような所定のパターンで穿孔されたパンチ
ング床が敷かれている（以下の説明では，図５に示すパ
ンチング床材を用いる）。図５に示すように，該パンチ
ング床９には，穿孔１１により，直行する横枠１２と縦
枠１３とがそれぞれ平行に複数形成されている。更に該
パンチング床９には，上記無人搬送車１の停止位置付近
で，且つ任意の上記横枠１２と縦枠１３との交差部１４
付近に，図５に示すような認識マーク１０が設けられて
いる。該認識マーク１０は上記交差部１４を特定できる
程度に該交差部１４付近に適当に設ければよい。

【００１０】上記各構成要素について，更に詳しく説明
する。上記アーム２には，予め，所定の作業位置に上記
無人搬送車１を停止させた状態で，ウェーハ（不図示）
を無人搬送車１から作業台（不図示）へ移載する動作が
教示される。実際の移載作業時には，上記アーム２はそ
の教示データに従って作業を行う。上記撮像部４では，
上記アーム２の動作教示時，及び移載作業時の所定の作
業位置での停止時に，上記認識マーク１０を含む上記パ
ンチング床９の画像が撮像される。上記画像処理部６で
は，上記撮像部４による撮像後，上記撮像部４から取り
込まれた撮像画像に画像処理を施すことにより，上記認
識マーク１０が設けられた交差部１４を形成している横
枠１２及び縦枠１３より直線Ｈ，直線Ｖがそれぞれ抽出
され，撮像画像上の局所座標系における上記直線Ｈと直
線Ｖとの交点Ｑの位置座標，及び回転角（以下，位置情
報という）が求められる。上記アーム２の動作教示時に
得られた上記位置情報は，記憶部７に記憶される。上記
教示データ補正部８では，移載作業時に上記無人搬送車
１が所定の作業位置に停止して上記画像処理部６による
処理がなされた後，上記記憶部７に予め記憶された上記
位置情報と今回上記画像処理部６により得られた位置情
報との差，即ち上記無人搬送車１の停止位置のずれ量に
基づいて，上記アーム２の教示データの補正が行われ
る。

【００１１】以下，アーム付無人搬送車Ａ１における位
置補正動作について，図２に示すフローチャートを用い
て更に具体的に説明する。まず，実際の移載作業に先立
って，所定の作業位置に上記無人搬送車１を停止させた
状態で，上記アーム２に対して，ウェーハ（不図示）を
無人搬送車１から作業台（不図示）へ移載する動作が教
示される。その際，撮像部４により，パンチング床９の
画像が撮像される（ステップＳ１）。続いて，画像処理
部６において，上記撮像部４から取り込まれた撮像画像
に画像処理を施すことにより，上記認識マーク１０が設
けられた交差部１４を形成している横枠１２及び縦枠１
３より直線Ｈ，直線Ｖがそれぞれ抽出され，撮像画像上
の局所座標系における上記直線Ｈと直線Ｖとの交点Ｑの
位置情報（位置座標（Ｘ_０，Ｙ_０），回転角θ_０）が求
められる（ステップＳ２）。該位置情報は，図３に示す
ように，撮像領域Ｐの局所座標系ＣＳにおける上記交点
Ｑの位置座標（Ｘ_０，Ｙ_０），及び上記直線Ｈと上記局
所座標系ＣＳのＸ軸とのなす回転角θ_０の形で求められ
る。このようにして求められた上記位置情報は記憶部７
に記憶される（ステップＳ３）。

【００１２】次に，実際の作業時においては，無人搬送
車１が所定の作業位置に停止した時に，撮像部４によ
り，パンチング床９の画像が撮像される（ステップＳ
４）。続いて，画像処理部６において，上記撮像部４か
ら取り込まれた撮像画像に画像処理を施すことにより，
上記認識マーク１０が設けられた交差部１４を形成して
いる横枠１２及び縦枠１３より直線Ｈ，直線Ｖがそれぞ
れ抽出され，撮像画像上の局所座標系における上記直線
Ｈと直線Ｖとの交点Ｑの位置情報（位置座標（Ｘ_１，Ｙ
_１），回転角θ_１）が求められる（ステップＳ５）。該
位置情報は，上記ステップＳ２と同様，図４に示すよう
に，撮像領域Ｐの局所座標系ＣＳにおける上記交点Ｑの
位置座標（Ｘ_１，Ｙ_１），及び上記直線Ｈと上記局所座
標系ＣＳのＸ軸とのなす回転角θ_１の形で求められる。
ここで，無人搬送車１の位置決め精度は一般に低いた
め，上記教示時のステップＳ２で求めた上記位置情報
（位置座標（Ｘ_０，Ｙ_０），回転角θ_０）と，このステ
ップＳ５で求めた位置情報（位置座標（Ｘ_１，Ｙ_１），
回転角θ_１）とは一致しないことが多い。そこで，教示
データ補正部８において，上記教示時のステップＳ２で
求められ記憶部７に記憶された位置情報（位置座標（Ｘ
_０，Ｙ_０），回転角θ_０）と，このステップＳ５で求め
た位置情報（位置座標（Ｘ_１，Ｙ_１），回転角θ_１）と
の差，即ち無人搬送車１の，教示時と作業時の停止位置
のズレ量が求められ，それに基づいて上記アーム２の教
示データが修正される（ステップＳ６）。上記アーム２
は，ステップＳ６で補正された教示データに従って移載
作業を行う（ステップＳ７）。以後，無人搬送車１の移
動の都度，上記ステップＳ４〜Ｓ７が繰り返される。

【００１３】以上説明したように，本実施の形態に係る
アーム付無人搬送車Ａ１は，無人搬送車１の床面近傍に
設置された撮像部４により得られる床面の撮像画像を用
いてアーム２の教示データが補正されるため，アーム２
等の可動部の動作を伴わないで高速に補正処理が行われ
る。また，上記教示データの補正処理は，無人搬送車１
が停止してからアーム２が移載動作を開始するまでの間
に存在する動作切り換え時間内に行うことができ，また
アーム２は既に補正された教示データに従って移載作業
を開始できるため，システム全体の作業時間を増加させ
ることがない。また，半導体クリーンルーム等で通常用
いられているパンチング床のパターンと，該パンチング
床に設けられた認識マークとを用いているため，半導体
製造装置等の作業対象位置付近に認識マーク等を設ける
必要がなく，スペース効率が向上する。更に，撮像部４
が照明等の影響を受けにくい無人搬送車１の下部に設置
されるため，照明条件を一定にすることができ，安定し
た画像が得られ，常に正確な処理が可能となる。

【００１４】

【実施例】上記実施の形態では，教示時，及び作業時
に，それぞれ撮像画像より得られた位置情報（位置座
標，及び回転角）を求めて記憶し，それらの差に基づい
てアーム２の教示データの修正が行われるが，教示時，
及び作業時の撮像画像の画像情報そのものをそれぞれ記
憶し，該画像情報を直接比較してその差を求め，それに
基づいてアーム２の教示データの修正を行うようにして
もよい。また，上記実施の形態では，上記直線Ｈと直線
Ｖとの交点Ｑの位置情報を用いているが，交点Ｑではな
く認識マーク１０の位置情報を用いるようにしてもよ
い。また，上記実施の形態では，半導体クリーンルーム
等に通常用いられているパンチング床のパターンと，そ
の一部に設けられた認識マークとを用いて上記位置情報
（位置座標，及び回転角）を求めたが，これに限られる
ものではなく，床面に対する撮像領域の位置と傾きが特
定できるものであればよい。例えば，模様の入った床，
モザイク床などでもよい。また，床面全体にわたってパ
ターンや模様が形成されている必要はなく，例えば，２
つの点，長方形，矢印等の認識マークを無人搬送車の停
止位置近傍のみに設けてもよい。

【００１５】

【発明の効果】以上説明したように，本発明は，作業装
置を搭載した移動体を，規則的なパターンが形成された
床面上の所定の作業位置に停止させ，予め上記移動体を
上記作業位置の基準停止位置に停止させた状態で教示さ
れた上記作業装置の教示データに従って所定の作業を行
う作業装置の位置補正装置において，上記移動体側の上
記床面近傍に設置され，上記移動体が停止する床面上の
画像を撮像する撮像手段と，上記作業装置の教示データ
の教示時に，上記移動体を上記作業位置の基準停止位置
に停止させた状態で上記撮像手段により得られた上記規
則的なパターンと床面上の上記所定の作業位置近傍に上
記規則的なパターンとは別に各作業位置毎に設けられた
認識マークとの画像を含む教示時撮像画像を取得する教
示時画像取得手段と，上記移動体の停止時に，その停止
位置で上記撮像手段により得られた上記規則的なパター
ンと上記認識マークとの画像を含む停止時撮像画像を取
得する停止時画像取得手段と，上記教示時画像取得手段
により得られた教示時撮像画像中の上記規則的なパター
ンと，上記停止時画像取得手段により得られた停止時撮
像画像中の上記規則的なパターンとを，上記認識マーク
の位置に基づいて比較し，該比較結果に基づいて上記作
業装置の教示データを補正する教示データ補正手段とを
具備してなることを特徴とする作業装置の位置補正装置
として構成されているため，作業装置等の可動部の動作
を伴わないで高速に補正処理が行われる。また，上記教
示データの補正処理は，移動体が停止してから作業装置
が動作を開始するまでの間に存在する動作切り換え時間
を利用して行うことができ，また作業装置は既に補正さ
れた教示データに従って移載作業を開始できるため，シ
ステム全体の作業時間を増加させることがない。また，
撮像手段が照明等の影響を受けにくい移動体の床面近傍
に設置されるため，照明条件を一定にすることができ，
安定した画像が得られ，常に正確な処理が可能となる。
更に，作業対象位置付近に認識マーク等を設ける必要が
ないため，スペース効率が向上する。

【００１６】また，上記教示データ補正手段が，上記教
示時撮像画像中の上記規則的なパターンより得られた所
定の位置情報，若しくは画像情報と，上記停止時撮像画
像中の上記規則的なパターンより得られた所定の位置情
報，若しくは画像情報とを比較し，該比較結果に基づい
て上記作業装置の教示データを補正するため，容易，且
つ高速な処理が可能となる。また，上記所定のパターン
が形成された床面として，通常半導体クリーンルーム等
で用いられているパンチング材，若しくはグレーチング
材をそのまま利用すれば，特別な工事等は必要ない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態に係るアーム付無人搬送
車Ａ１の概略構成を示す模式図。

【図２】 上記アーム付無人搬送車Ａ１による停止位置
補正処理の手順を示すフローチャート。

【図３】 教示時の位置情報（位置座標（Ｘ_０，
Ｙ_０），回転角θ_０）の算出方法の一例を示す説明図。

【図４】 作業時の位置情報（位置座標（Ｘ_１，
Ｙ_１），回転角θ_１）の算出方法の一例を示す説明図。

【図５】 パンチング床（グレーチング床）のパターン
の一例を示す図。

【図６】 パンチング床（グレーチング床）のパターン
の一例を示す図。

【図７】 パンチング床（グレーチング床）のパターン
の一例を示す図。

【図８】 パンチング床（グレーチング床）のパターン
の一例を示す図。

【図９】 従来のアーム付無人搬送車Ａ０の概略構成を
示す模式図。

【符号の説明】

１…無人搬送車（移動体の一例） ２…アーム（作業装置の一例） ３…ハンド ４…撮像部 ５…リング状照明装置 ６…画像処理部（教示時画像取得手段，停止時画像取得
手段を構成） ７…記憶部 ８…教示データ補正部 ９…床面（パンチング床） １０…認識マーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−191904（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−80842（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−266268（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B25J 9/10 B25J 5/00 B25J 13/08 G05B 19/19

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 作業装置を搭載した移動体を，規則的な
   パターンが形成された床面上の所定の作業位置に停止さ
   せ，予め上記移動体を上記作業位置の基準停止位置に停
   止させた状態で教示された上記作業装置の教示データに
   従って所定の作業を行う作業装置の位置補正装置におい
   て， 上記移動体側の上記床面近傍に設置され，上記移動体が
   停止する床面上の画像を撮像する撮像手段と， 上記作業装置の教示データの教示時に，上記移動体を上
   記作業位置の基準停止位置に停止させた状態で上記撮像
   手段により得られた上記規則的なパターンと床面上の上
   記所定の作業位置近傍に上記規則的なパターンとは別に
   各作業位置毎に設けられた認識マークとの画像を含む教
   示時撮像画像を取得する教示時画像取得手段と， 上記移動体の停止時に，その停止位置で上記撮像手段に
   より得られた上記規則的なパターンと上記認識マークと
   の画像を含む停止時撮像画像を取得する停止時画像取得
   手段と， 上記教示時画像取得手段により得られた教示時撮像画像
   中の上記規則的なパターンと，上記停止時画像取得手段
   により得られた停止時撮像画像中の上記規則的なパター
   ンとを，上記認識マークの位置に基づいて比較し，該比
   較結果に基づいて上記作業装置の教示データを補正する
   教示データ補正手段とを具備してなることを特徴とする
   作業装置の位置補正装置。
2. 【請求項２】 上記教示データ補正手段が，上記教示時
   撮像画像中の上記規則的なパターンより得られた所定の
   位置情報と，上記停止時撮像画像中の上記規則的なパタ
   ーンより得られた所定の位置情報とを比較し，該比較結
   果に基づいて上記作業装置の教示データを補正する請求
   項１記載の作業装置の位置補正装置。
3. 【請求項３】 上記教示データ補正手段が，上記教示時
   撮像画像中の上記規則的なパターンの画像情報と，上記
   停止時撮像画像中の上記規則的なパターンの画像情報と
   を比較し，該比較結果に基づいて上記作業装置の教示デ
   ータを補正する請求項１記載の作業装置の位置補正装
   置。
4. 【請求項４】 上記規則的なパターンが形成された床面
   が，パンチング材，若しくはグレーチング材により構成
   される請求項１〜３のいずれかに記載の作業装置の位置
   補正装置。
5. 【請求項５】 作業装置を搭載した移動体を，規則的な
   パターンが形成された床面上の所定の作業位置に停止さ
   せ，予め上記移動体を上記作業位置の基準停止位置に停
   止させた状態で教示された上記作業装置の教示データに
   従って所定の作業を行う作業装置の位置補正方法におい
   て， 上記作業装置の教示データの教示時に，上記移動体を上
   記作業位置の基準停止位置に停止させた状態で，上記移
   動体側の上記床面近傍に設置された撮像手段により，上
   記移動体が停止する床面上の上記規則的なパターンと床
   面上の上記所定の作業位置近傍に設けられた認識マーク
   とを含む画像を撮像する教示時撮像工程と， 上記移動体の停止時に，その停止位置で上記撮像手段に
   より，上記移動体が停止する床面上の上記規則的なパタ
   ーンと上記認識マークとを含む画像を撮像する停止時撮
   像工程と， 上記教示時画像工程で得られた撮像画像中の上記規則的
   なパターンと，上記停止時撮像工程で得られた撮像画像
   中の上記規則的なパターンとを，上記認識マークの位置
   に基づいて比較し，該比較結果に基づいて上記作業装置
   の教示データを補正する教示データ補正工程とを具備し
   てなることを特徴とする作業装置の位置補正方法。