A7 B7 經濟部中央標準局員X消费含作社印製 五、 發明説明（1 ) 1 | ϋ. 明 所 1 技 術 η 域 1 本 發 明 為 有 關 —* 種 作 業 裝 置 之 位 置 修 正 裝 置 及 其 方 法 1 1 | * 更 具 艘 而 ， 係 用 >x 使 搭 載 了 作 業 裝 置 之 移 動 體 停 止 在 請 1 1 1 形 成 了 有 一 定 規 則 之 地 面 板 之 作 業 位 置 9 而 依 預 先 在 使 該 閱 1 1 I 移 動 級 停 止 在 該 作 業 位 置 之 基 準 停 止 位 置 之 吠 態 下 予 教 背 之 1 1 I 示 之 上 述 作 業 裝 置 之 教 示 資 料 進 行 —» 定 的 作 業 之 作 業 装 置 注 意 事 I 1 之 位 置 修 正 裝 置 及 其 方 法 » 例 如 將搭載於無人 搬 運 車 之 搬 項 再 填 1 1 裝 I 運 物 移 載 用 之 赞 桿 之 動 作 教 示 資 料 依 據 上 述 無 人 搬 運 車 本 百 之 停 止 位 置 之 偏 差 而 修 正 之 裝 置 Μ 及 其 方 法 者 〇 1 1 I )tL 杵 枝 術 1 | 以 注 有 一 種 在 製 造 程 序 中 所 使 用 之 使 搭 載 了 徹 器 人 ( 1 1 作 業 裝 置 ) 之 fcn* m 人 搬 運 車 (移送骽）停 止 於 —> 定 的 作 業 位 置 1 丁 1 ， 而 使 該 作 業 櫬 器 人 在 該 停 止 位 置 進 行 預 定 之 作 乘 之 搭 載 1 於 無 人 搬 運 車 之 櫬 器 人 0 此 種 裝 置 中 該 機 器 人 係 依 據 預 1 I 先 Μ 使 該 無 人 搬 運 車 停 止 在 上 述 作 m 位 置 之 狀 態 下 予 以 教 1 線 示 之 教 示 黄 料 進 行 作 業 0 然 而 該 無 人 搬 運 車 之 定 位 精 度 低 1 I 9 因 而 要 使 上 述 無 人 搬 運 車 正 確 停 止 於 上 述 教 示 η 料 取 得 1 1 時 之 停 止 位 置 很 困 難 » 而 無 人 搬 運 車 之 停 止 位 置 與 作 業 對 1 1 象 位 置 之 相 對 位 置 醐 係 每 次 教 示 會 改 變 〇 於 是 對 該 教 示 資 1 1 料 有 予 修 正 之 必 要 Μ 吸 收 上 述 無 人 搬 運 車 之 停 止 位 置 之 1 | 誤 差 部 分 〇 如 此 之 搭 於 無 人 搬 運 車 之 m 器 人 之 位 置 修 正 1 I 方 法 t 有 例 如 記 載 於 曰 本 特 開 平 8 - -9 1 5 1 號 公 報 之 發 明 ( 以 1 1 | 下 簡 稱 為 習 知 技 術 ) 0 1 1 I 上 述 習 知 技 術 之 附 有 桿 之 iuf 人 搬 運 車 A 0具 有 如 第 9 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 1 3 9 5 5 2 A7 B7 五、發明説明（2 ) 圖所示之構造，無人搬運車31上搭載赞桿32，而該臂稈32 係作成為可水平迴旋*前後轉動*以及上下轉動。上述臂 桿32之前端部裝設了攝像部33以及手部34。並且*作業台 35上之預定位置上載置了由上述臂桿32之手部34所把持而 移動之工件36。上述作業台35之上面設有由2個點37a ， 37b而成之標記37。上述無人搬運車31在複數之作業台35 之間行走並在各作業台35之前之預定位置停止而K上述臂 桿32依預先予Μ教示之教示資料對上述工件36進行所規定 之作業。 茲就具有如Μ上所述之構造之附臂桿無人搬運車Α0* 不論從各作業台35之前之停止位置之上述教示資料取得時 之停止位置之誤差量如何，Μ上述臂桿32正確進行作業之 方法。 經濟部中央標準杓只Μ消资合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 首先，在開始作衆之前*對臂捍32進行動作教示時， 就一般之作業對象位置予以教示之同時，也就上述標記37 之讀取作業點予Μ教示。亦即，將攝像部33移動到標記37 之正上方，將該位置予以教示，同時由攝像部33進行禰記 37之攝像，魷所獲得之攝像晝像施加晝像處理，而求出上 述搮記37a* 37b之上述攝像晝像上之座搮位置（當作教示 時座檷位置）並予Μ記憶。 繼而在作業時，無人搬運車31停止於上述作業台35之 前Μ後·首先以上述留桿32將攝像部33依照上述所教示之 順序移動到標記37之上方而將搮記37攝像·對所獲得之攝 像畫像施加規定之畫像處理•而求出上述澦記37a，37b之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ297公釐） 2 3 9 5 5 2 A7 B7 經濟部中央標隼局貞工消贽合作社印 五、發明説明（ 3 ) 1 1 上 逑 攝 像 晝 像 上 之 座 標 位 置 (當作作乘時座標位置） 0 在 此 1 1 時 因 為無人搬運車31之 定 位 精 確 度 _· 般 而 言 都 很 低 % 上 1 I 述 之 教 示 時 所 求 出 之 上 述 教 示 時 座 搮 位 置 與 上 述 作 業 時 座 請 1 1 槱 位 置 往 注 多 有 不 一 致 之 情 形 〇 在 該 情 形 則 依 據 上 述 教 示 先 閱 背 之 注 意 事 1 1 時 座 檷 位 置 與 上 述 作 業 時 座 檷 位 置 之 偏 FTTO 差 量 求 出 變 換 式 i 1 而 依 該 變 換 式 修 正 上 述 臂 桿32之教 示 資 料 ( 表 示 作 業 對 象 1 1 位 置 之 賁 料 ) > 項 再 填 寫 本 f 1 1 裝 1 藉 由 上 述 處 理 之 進 行 可 Μ 不 論 4nf m 人 搬 運 車 3 1之 停 止 位 置 之 偏 差 量 如 何 均 能 使 上 述 臂 捍 32正 確 地 進 行 作 業 〇 1 I 明 所 W 解 決 問 謝 l 1 然 而 依 據 上 述 之 習 知 技 術 之 方 法 時 無 人 搬 運 車 3 1停 1 1 止 於 作 業 台 之 刖 以 後 要 開 始 由 上 述 臂桿32進 行 實 際 之 作 訂 1 業 之 刖 有 使 該 臂 桿 32動 作 Μ 進 行 Μ 下 之 處 理 之 必 要 0 1 ① 使 臂 桿 32動作 而 將 攝 像 部33移 fftl. 動 到 標 記 37之 上 方 〇 1 1 ② Μ 上 述 攝 像 部 33將 禰 記 37攝 像 而 進 行 盡 像 斑 理 〇 1 線 ③ 進 行 教 示 資 料 之 修 正 0 1 1 逭 些 處 理 將 附 帶 臂 桿 32之 動 作 因 而 花 費 時 間 並 且 在 1 1 其 間 不 能 移 到 下 一 次 作 業 故 成 為 使 % 統 整 體 之 作 業 時 間 1 1 之 增 加 之 原 因 〇 1 1 另 外 臂 件 具 有 多 項 如 連 接 桿 部 與 驅 動 部 等 造 成 控 制 1 1 誤 差 之 原 因 之 部 分 因 而 要 使 η 桿 對 工 件 進 行 正 確 之 動 作 1 | 時 以 在 最 靠 近 作 用 點 之 贺 桿 前 斓 部 作 誤 差 修 正 為 在 精 度 1 I 上 最 理 想 而 以 往 也 是 一 向 基 於 上 述 之 考 量 進 行 如 上 述 之 1 1 1 修 正 處 理 〇 然 而 由 於 近 年 來 技 術 進 步 ， 要 減 小 上 述 之 控 剌 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） 3 9 5 5 2 A7 B7 經濟部中央樣準局w工消費合作.杜印裝 五、發明説明 ( 4 ) I I 誤 差 已 屬 可 行 在 技 術 背 景 中 已 有 未 必 在 臂 桿 前 端 部 作 誤 1 1 差 修 正 之 情 形 〇 1 1 本 發 明 係 有 鑑 於 上 述 而 作 者 其 巨 的 在 提 供 種 不 會 /·—X 1 I 請 1 1 增 加 糸 統 整 體 之 作 業 時 間 而 可 修 正 由 於 移 動 體 停 止 位 置 之 先 閱 1 I 1 ! 偏 差 所 引 起 之 作 業 裝 置 位 ΒΛ Μ 之 偏 差 Μ 使 作 業 能 經 常 正 確 背 1 1 之 1 地 進 行 之 作 業 裝 置 之 位 置 修 正 裝 置 及 其 方 法 〇 注 ! 事 1 解 決 問 直 手 段 項 再 1 1 為 了 埵 成 上 述 之 百 的 本 發 明 之 裝 置 為 ; 使 搭 載 了 作 填 寫 本 1 裝 業 装 置 之 移 動 體 停 止 於 形 成 了 有 規 則 之 画 圃 案 之 地 面 板 上 之 1 1 規 定 之 作 衆 位 置 預 先 依 該 移 動 體 停 止 於 上 述 作 業 位 置 之 1 1 基 準 停 止 位 置 之 狀 態 下 予 kk 教 示 之 上 述 作 業 裝 置 之 教 示 資 1 1 料 進 行 規 定 之 作 衆 之 作 業 裝 置 之 位 置 修 正 裝 置 » 其 中 具 備： 訂 I 設 置 於 上 述 移 動 Hitt 頒 側 之 上 述 地 面 板 附 近 而 用 將 該 移 1 1 I 動 體 停 止 時 之 地 板 面 上 之 晝 像 予 Μ 攝 像 之 攝 像 裝 置 1 1 用 Μ 獲 取 包 含 將 上 述 作 業 裝 置 之 教 示 資 料 予 Μ 教 示 1 1 時 在 使 上 述 移 動 體 停 止 於 上 述 作 業 位 置 之 基 準 停 止 位 置 線 1 之 狀 態 下 Μ 上 述 攝 像 裝 置 獲 得 之 上 述 有 規 則 之 ren _ 案 以 及 設 1 在 地 板 面 上 之 上 述 規 定 之 作 業 位 置 附 近 之 認 識 摞 記 之 圖 案 1 I 之 教 示 時 攝 像 畫 像 之 教 示 時 晝 像 獲 取 裝 置 1 I 用 以 獲 取 包 含 ： 在 上 述 移 動 體 停 止 時 在 該 停 止 位 置 由 1 1 上 述 攝 像 裝 置 所 獲 得 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 Κ 及 上 述 m 搮 記 1 1 之 畫 像 之 停 止 時 攝 像 盡 像 之 停 止 時 畫 像 獲 取 裝 置 ; Μ 及 1 ! 將 由 上 述 教 示 時 晝 像 獲 取 裝 置 所 獲 取 之 教 示 時 攝 像 盡 I 1 像 中 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 與 由 上 述 停 止 時 盡 像 獲 取 裝 置 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 4 3 9 5 5 2 A7 B7 經濟部中央慄準局K工消费合阼.(±印製 五、發明説明（ 5 ) 1 I 所 獲 取 之 停 止 時 攝 像 晝 像 中 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 • 依 據 上 1 1 I 述 認 識 摞 記 之 位 置 加 Μ 比 較 而 依 據 該 比 較 結 果 修 正 上 述 1 1 作 業 裝 置 之 教 示 資 料 之 教 示 資 料 修 正 裝 置 1 I 請 1 I 為 特 微 之 作 業 裝 置 之 位 置 修 正 裝 置 而 構 成 者 〇 先 閲 1 I 讀 1 | 上 述 教 示 資 料 修 正 裝 置 可 設 成 為 > 將 由 上 述 教 示 時 攝 背 面 1 之 1 像 晝 像 中 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 獲 得 之 規 定 之 位 置 實 訊 或 晝 注 意 1 Ψ 1 像 資 訊 9 與 由 上 述 停 止 時 攝 像 耋 像 中 之 上 述 有 規 則 之 圈 案 項 再 1 1 獲 得 之 規 定 之 位 置 資 訊 成 盡 像 資 訊 比 較 而 依 據 該 比 較 结 寫 裝 貪 1 果 修 正 上 述 作 業 装 置 之 教 示 賁 料 0 -·_^ 1 而 且 上 述 之 形 成 了 規 定 之 圖 案 之 地 板 面 可 直 接 使 用 1 1 通 常 在 半 導 體 所 使 用 之 衡 製 金 团 屬 板 (Ρ u η c h in g me t a 1)或 格 1 1 柵 板 (g r a t 1 n g S h e e t)( 訂 | 為 了 達 成 上 述 之 巨 的 本 發 明 之 方 法 乃 為 ： 將 搭 載 了 1 1 作 業 裝 置 之 移 動 體 停 止 於 形 成 了 有 規 則 之 圖 案 之 地 板 面 上 1 1 1 之 規 定 之 作 乘 位 置 依 據 預 先 在 將 上 述 移 動 艘 停 止 於 上 述 1 1 線 作 業 位 置 之 基 準 停 止 位 置 之 狀 態 予 Η 教 示 之 上 述 作 業 裝 置 1 之 教 示 資 料 進 行 規 定 之 作 乘 之 作 菜 裝 置 之 位 置 修 正 方 法 t 1 1 此 方 法 係 包 括 1 I 在 對 上 述 作 業 裝 置 予 Μ 教 示 資 料 之 教 示 時 在 將 上 述 1 I 移 動 朥 停 止 於 上 述 作 業 位 置 之 基 準 停 止 位 置 之 狀 態 下 » 以 I 1 I 設 置 在 上 述 移 動 艘 側 之 上 述 地 板 面 附 近 之 攝 像 裝 置 將 包 含 1 1 移 動 體 停 止 之 地 板 面 上 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 Μ 及 設 在 地 板 1 1 面 上 之 上 述 規 定 之 作 乘 位 置 附 近 之 認 識 m 記 之 盡 像 予 VX 攝 1 1 像 之 教 示 時 攝 像 步 驟 * 上 述 移 動 體 停 止 時 » 在 該 停 止 位 置 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX 297公釐） 5 3 9 5 5 2 A7 B7 經濟部肀央慄準局員工消费合阼社印梵 五、發明説明（ 6 ) 1 I K 上 述 攝 像 裝 置 將 包 含 上 述 移 動 體 停 止 之 地 板 面 上 之 上 述 1 1 有 規 則 之 圖 案 Κ 及 上 述 認 識 搮 記 之 晝 像 予 >λ 攝 像 之 停 止 時 1 1 攝 像 步 驟 ； 及 將 在 上 述 教 示 時 攝 像 步 驟 所 獲 得 之 攝 像 '—«V 1 I 請 1 I 晝 像 中 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 與 在 上 述 停 止 時 攝 像 步 驟 所 先 閲 1 I 讀 1 獲 得 之 攝 像 盡 像 中 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 依 據 上 述 認 識 槱 背 1¾ 1 之 1 記 之 位 置 加 以 比 較 而 依 據 該 比 較 结 果 修 正 上 述 作 業 裝 置 注 1 事 1 之 教 示 資 料 之 教 示 資 料 修 正 步 驟 ί 項 JL 1 填 1 為 特 徵 之 作 業 裝 置 之 位 置 修 正 方 法 〇 寫 本 裝 作 用 •一 1 1 有 關 本 發 明 之 作 業 装 置 之 位 置 修 正 裝 置 儀 首 先 在 對 作 1 1 業 裝 置 之 動 作 教 示 時 在 將 移 動 體 停 止 於 作 業 位 置 之 基 準 1 I 停 止 位 置 之 狀 態 Μ 攝 像 装 置 將 包 含 有 規 則 之 圖 案 及 認 訂 1 識 標 記 之 晝 像 之 地 板 面 之 晝 像 予 Η 攝 像 而 該 攝 像 晝 像 係 1 I 由 教 示 時 畫 像 獲 取 裝 置 所 獲 取 0 其 次 在 實 際 作 業 時 當 移 1 1 I 動 體 停 止 時 在 該 停 止 位 置 Μ 上 述 攝 像 裝 置 將 包 含 有 規 則 1 1 線 之 圖 菜 Μ 及 認 m 檷 記 之 地 板 面 之 晝 像 予 Μ 攝 像 而 該 攝 像 1 畫 像 係 由 停 止 時 晝 像 獲 取 裝 置 獲 取 〇 然 後 由 教 示 資 料 修 1 正 装 置 將 由 上 述 教 示 時 畫 像 獲 取 裝 置 所 獲 取 之 攝 像 盡 像 1 | 中 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 與 由 上 述 停 止 時 耋 像 獲 取 裝 置 所 獲 1 I 得 之 攝 像 盡 像 中 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 依 據 上 述 認 瑯 標 記 之 1 1 I 位 置 加 Μ 比 較 而 依 據 該 比 較 結 果 修 正 作 業 裝 置 之 教 示 資 1 1 料 〇 此 時 Μ 上 述 教 示 資 料 修 正 裝 置 將 由 上 述 教 示 時 攝 像 1 1 畫 像 中 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 所 獲 得 之 規 定 之 位 置 資 訊 或 盡 1 1 像 資 訊 與 由 上 述 停 止 時 攝 像 畫 像 中 之 上 述 有 規 則 之 脚 國 案 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X 297公釐） Q 3 9 5 5 2 Λ7 B7 經濟部中央礤"-局Μ工消f合作社印製 五、發明説明（ 7 ) 1 I 所 獲 得 之 規 定 之 位 置 資 訊 或 晝 像 資 訊 加 Μ 比 較 * 而 依 據 該 1 1 比 較 结 果 修 正 上 述 作 業 裝 置 之 教 示 資 料 〇 如 >λ 上 所 述 » 不 1 I 會 使 作 業 裝 置 等 之 可 動 部 動 作 * 而 在 白 移 動 體 之 停 止 後 至 1 作 業 裝 置 之 動 作 開 始 時 止 之 短 時 間 内 高 速 進 行 修 正 處 理 請 龙 Μ 1 1 | 0 於 是 1 作 業 裝 置 可 按 照 已 經 修 正 之 教 示 資 料 即 刻 開 始 移 ii 背 1 1 載 作 業 t 故 不 會 使 系 統 整 體 之 作 業 時 間 增 加 〇 之 注 意 事 項 1 1 明 莆 裥 形 m 1 | 再 填 % 本 I 以 下 參 照 附 圖 詳 细 說 明 本 發 明 之 實 施 形 態 Μ 及 實 腌 例 裝 1 俾 使 本 發 明 更 臻 明 瞭 0 惟 以 下 之 實 施 形 態 及 實 施 例 僅 為 1 '—· 1 1 將 本 發 明 具 體 化 之 一 範 例 而 已 而 不 是 用 界 定 本 發 明 之 1 1 技 術 範 Bat 圃 者 〇 1 | 第 1 圖 係 表 示 有 闞 本 發 明 之 實 施 形 態 之 附 臂 桿 無 人 搬 訂 | 運 車 A1之 概 略 構 成 之 模 式 圖 第 2 圖 為 表 示 上 述 附 臂 桿 無 1 1 I 人 搬 運 車 A1之 停 止 位 置 修 正 處 理 之 順 序 之 流 程 圖 第 3 圖 1 1 為 表 示 教 示 時 之 位 置 資 訊 (位置座搮（Χο > Υο ) 回轉角Θ 0 1 1 線 1 )之計算方法之- -例之說明圖； 第4圖 為 表 示 作 業 時 之 位 置 資 訊 (位置座檷（ X 1 Y 1 ) > 回 轉 角 Θ 1 ) 之 計 算 方 法 之 — 例 1 1 之 說 明 圖 ; 第 5圖至第8圖 為 表 示 Sift 衝 製 地 板 (柵格地板） 之 ΓΕίΤ 圖 1 | 菜 之 一 例 之 圖 〇 1 1 在 本 實 施 形 態 係 Η 半 導 體 無 塵 室 内 ， 半 導 體 製 造 裝 1 1 I 置 間 9 或 半 導 體 製 造 裝 置 與 儲 藏 室 之 間 進 行 晶 圓 之 搬 運 及 1 1 移 載 之 附 臂 桿 無 人 搬 運 車 A 1為 例 說 明 之 〇 1 1 上 述 之 附 臂 桿 無 人 搬 運 車 A1 * 係 如 第 1 圖 所 示 » 在 無 1 1 人 搬 運 車 1 (移 動 體 之 一 例 ) 之 上 面 搭 載 在 前 端 部 具 有 手 部 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐） 7 3 9 5 5 2 klB7 , ,五、發明説明（8 ) (hand)3之臂桿（arm)2。該臂桿2具有執行與上述習知技術 之臂桿32(第9圖）相同之作業之構成•但未設置攝像部33 人位 無之 述響 上影 〇 之 與 4 部 憶 置記 裝’ I 3 明 照 近之 附狀 部圈 央環 中有 方具 下置 之設Ms A 車 1 向 固 運 } 對 搬置相 9 面 板 地 部 理 處 像 I 有 設 外 另 等部以 明像 ， 照攝？ 到 受 易 容 不 之 5 8 部 正 修 料 資 示 教 及 如 面 板 地 述 上 用 使 8 第 至 圖 , 5 且第 並如 〇 係 所定 常 一 通有 室具 塵設 無敷 體示 導所 半圖 般 板 地 製 衝 之 樣第 模 Μ 孔乃 穿明 之說 案之 圖下 Θ e Μ 圖 5 示 所 圖 5 第 如 ο 例 為 板 地 製 衝 之 示 所 之 明 說 形板模標地予 11地述識當詳 孔製上認適素 穿衝之 之度要 由該意 示程成 藉。任所之構 係 列且圖14各 bh 9 5¾ 板行 地平 製成 衝各置設上 該13位近定
框止附特 縱停14能 可 定 規 於 止 停 車 be 遵 搬 人 無 述 上 使 以 先 預 2 桿 臂 述 上 對 台 業 作 向 (請先閱讀背面之注意事項再填ftt本頁) -裝
、1T 線 經濟部中央揉隼局Μ工消贤合阼杜印鉍 } 時 示業 圖作 未載 /|\ 移 之 際 實 在 車 。 運示 搬教 人 Μ 無予 由作 將動 , 之 態丨 狀 之 置 位圓 業晶 作載 之移 示 圖 未 2 桿 臂 2 述 桿上 臂對 述當 上 業 作 行 進 料 資 示 教 該 照 按 係 規 之 時 業 作 載 移 及W 時 示 教 作 動 作 標 諏 0 述 上 含 包 將 4 部 像 攝 述 上Μ 時 止 停 置 位 業 作 之 定 像 攝Κ 予 像 i 之 9 板 地 製 述 上 之 ο 11 記 由了 對成 ’ 形 後 自 像 ’ 攝理 成處 完像 4 I 加 施 像 像 攝 之 部収 理攝 處所 像 4 晝部 述像 上攝 述 上 部 像 攝 述 上 於 5¾ 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4^格（210:<297公筇） 8 3 9 5 5 2
經濟部中央標準局員工消t合作社印t 五、發明説明（9 ) 設有上述認識標記10之 線Η與直線V ，在攝像 Η與直線V之交點C1之位置座欏，Κ及回轉角（Κ下稱為位置 資訊）。在上述臂桿2之動作教示時所獲得之上述位置資訊 即記憶在記憶部7。 上述教示資料修正部8於移載作業時上述無人搬運車 1停止於規定之作業位置而由上述晝像處理部6完成盡像處 理後，依據預先記憶於上述記憶部7之上述位置資訊與此 次由上述畫像處理部6所獲得之位置資訊之差，亦即上述 無人搬運車1之停止位置之偏差量，進行上述臂桿2之教示 賣料之修正。 Μ下就附臂桿無人搬運車Α1之位置補正動作，使用第 2圖所示之流程圖更具體說明之。 首先在實際開始移載作業之前，以使上述無人搬運車 1停止於規定之作業位置之狀態，對上述臂桿2教示將晶圓 (未圖示）從無人搬運車1移載於作業台（未圖示）之動作。 此時，以攝像部4將衝製地板9之晝像予Κ攝像（步驟S1)。 繼之，由盡像處理部6對由上述攝像部4所攝取之攝像 施加盡像處理，而由形成有設了上述認識標記10之交f Γ i - 14之横框12以及縱框13分別拉出直線Η與直線V，並求、&在 攝像盡像上之局部座標糸之上述直線Η與直線V之交點Q之 位置賣訊（位置座摞（Χο，Υο)，回轉角Θ 〇)(步驟S2)。該 位置賣訊係如第3圖所示，Μ在攝像領域Ρ之局部座標糸CS 之上述交點Q之位置座標（Χ〇，Υ〇)，Μ及由上述直線Η與上 14之横框12與縱框13拉出直 之局部座標系求出上述直線
---------^------,ρ------Μ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公康） 9 3 9 5 5 2 Λ7 Λ7 M濟部中夾慄隼局Μ工消f合作社印製 B7 ‘ 五、發明説明（1G) 述局部座標糸CS之X軸所形成之回轉角0 0之形式求出。如 此求得之上述位置資訊即記憶於記憶部7(步驟S3)。 其次，在實際作業時，當無人搬運車1停止於規定之 作業位置時，由攝像部4就衝製地板9之盡像予Μ攝像（步 驟S4)。繼而由晝像處理部6對由上述攝像部4攝取之攝像 施加盡像處理，而從形成有設了上述認識標記1'0之交 14之横框12M及縱框13分別拉出直線Η與直線V，求出
Q之位置資訊（位置座標（Χι，Υι)，及回轉角0 ι)(步驟S5) 。該位置資訊係如同上述之步驟S2，並且如第4圖所示， Μ在攝像領域P之局部座標系CS之上述交點Q之位置座標（ Χι，Υι)，以及上述直線Η與上述局部座標系CS之X軸所形 成之回轉角0 t之形式求得。此時，無人搬運車1之定位精 確度一般都很低，因而在上述教示時之步驟S2所求得之上 述位置資訊（位置座標（Xo，Yo ·回轉角Θ 0)，與在步驟S5 所求得之倥置資訊（位置座標（Χι，Υι)，回轉角θι)多有 不一致之情形。於是，在上述教示資料修正部8 ，將在上 述教示時之步驟S2所求得而記憶於記憶部7之位置資訊（位 置座標U〇，Υο)，與回轉角0〇)與在步驟S5所求得之位置 資訊（位置座標（Χι，Υι)，回轉角θ 1)之間之差值，亦即 無人搬運車1之教示動作時與作樂時之停止位置之偏差量 ，依據該偏差量修正上述臂桿2之教示資訊（步驟S6)。上 述臂捍2則按照在步驟S6予以修正之教示資枓進行移動移 載（步驟7)。以後每次移動無人搬運車1時，反覆上述步驟 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210 X 297公趁） 1 0 3 9 5 5 2 ---------^------ΪΤ------i (請先閱讀背面之注意事項再填转本頁) Λ7 B7 經濟部中央標準局肖工消費合作社印狀 五、發明説明（ 11 ) 1 I S4 S7 0 1 1 如 以 上 所 述 ， 因 為 本 實 施 形 態 之 附 臂 桿 •fnr 撒 人 搬 運 車 1 1 1 係 使 用 設 置 在 無 人 搬 運 車 1之地板面附近之攝像部4所 攝 取 1 I 之 地 板 面 之 攝 像 盡 像 來 修. 正 臂 桿 2 之 教 示 資 料 9 故 不 會 附 請 k, 間 1 1 1 帶 產 生 窗 桿 2 等 之 可 動 部 之 動 作 而 Μ 高 速 度 進 行 修 正 p-*t> 斑 理 讀 背 1 1 〇 並 且 » 上 述 教 示 資 料 之 修 正 處 理 可 在 •far m 人 搬 運 車 1 停 止 意 事 項 再 填 寫 本 1 1 後 至 臂 桿 2 開 始 移 載 動 作 之 間 所 存 在 之 動 作 切 換 時 間 内 進 1 1 行 而 臂 桿 2 可 按 眧 一、、、 已 修 正 之 教 示 資 料 開 始 移 載 作 業 故 1 裝 不 會 使 系 統 整 艘 之 作 業 時 間 增 加 0 頁 •W-- 1 1 並 且 本 發 明 使 用 了 通 常 在 半 導 ΑΑ 趙 4nr m 塵 室 使 用 之 Λβ- 衝 製 1 1 地 板 (Ρ u η c h in g m e t a 1 f 1 0 0 Γ ) 圖 案 Μ 及 設 在 該 衝 製 地 板 之 1 I 認 識 標 記 故 不 必 在 半 導 體 製 造 裝 置 等 之 作 業 對 象 位 置 附 訂 I 近 設 置 認 識 標 記 可 提 高 空 間 之 利 用 率 〇 1 1 I 再 且 因 為 攝 像 部 4 係 設 在 不 容 易 受 到 昭 八、N 明 等 影 響 之 1 1 I 無 人 搬 運 車 1 之 下 面 可 將 照 明 條 件 設 定 成 為 一 定 而 能 1 1 獲 得 安 定 之 盪 像 可 進 行 經 常 是 正 確 的 處 理 〇 線 1 實 陁 例 1 1 在 上 述 之 實 施 形 態 係 由 分 別 於 教 示 時 與 作 業 時 攝 取 1 | 之 攝 像 晝 像 求 得 位 置 資 訊 (位置座標 > Μ及回轉角） 而 予 >λ 1 I 記 憶 並 依 據 其 差 值 進 行 赞 件 2 之 教 示 資 料 之 修 正 > 惟 分 1 1 I 別 將 教 示 時 Μ 及 作 業 時 之 攝 像 晝 像 之 晝 像 資 訊 本 身 之 數 據 1 1 予 >λ 記 憶 而 直 接 將 該 盡 像 資 訊 加 以 比 較 > 並 求 出 其 差 值 t 1 1 而 依 據 該 差 值 進 行 臂 桿 2之教示資料之修正亦可 0 1 1 再 且 » 在 上 述 之 實 拖 形 態 係 使 用 上 述 直 線 H與直1 泉V之 I i 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（：Ϊ10Χ2(;7公趁） 1 1 3 9 5 5 2 Λ7 B7 經濟部中央標準局Μ工消费合作社印裝 五、發明説明（ 12 ) 1 I 交 點 Q之位置資訊 惟不用交點Q而 使 用 認 識 標 記 1 0之 位 置 1 1 資 訊 亦 可 〇 1 1 再 且 在 上 述 之 實 拖 形 態 係 使 用 通 常 在 半 導 體 無 塵 室 /·、 1 I 所 使 用 之 衝 製 地 板 圖 案 Μ 及 設 在 該 衝 製 地 板 之 —- 部 分 之 認 請 先 閱 1 1 I 識 標 記 以 求 出 上 述 位 置 資 訊 (位置座標 以及回轉角） » 惟 背 1 1 並 不 限 定 於 此 方 式 只 要 是 能 將 對 地 板 面 之 攝 像 領 域 之 位 意 事 項 再 填 寫 本 1 1 置 與 傾 斜 度 予 Μ 特 正 者 均 可 使 用 〇 例 如 具 有 花 紋 之 地 板 9 1 1 拼 花 地 板 等 均 可 0 並 且 也 不 必 要 地 板 面 全 面 均 有 花 紋 或 1 裝 圖 案 者 例 如 僅 在 無 人 搬 運 車 之 停 止 位 置 附 近 設 置 2 個 點 頁 1 1 $ 長 方 形 箭 頭 等 認 識 標 記 亦 可 〇 1 1 明 之 效 果 1 如 以 上 所 說 明 本 發 明 之 裝 置 為 • 將 搭 載 了 作 業 裝 置 1 訂 I 之 移 動 體 停 止 於 形 成 了 有 塌 則 之 圖 案 之 地 板 面 上 之 規 定 1 I 位 置 而 依 據 預 先 在 將 上 述 移 動 體 停 止 於 上 述 作 業 位 置 之 1 1 1 基 準 停 止 位 置 之 狀 態 予 以 教 示 之 上 述 作 業 裝 置 之 教 示 資 料 1 1 進 行 規 定 之 作 業 之 作 業 裝 置 之 位 置 修 正 裝 置 此 裝 置 具 備 線 1 : 設 置 在 上 述 移 動 體 側 之 上 述 地 板 面 附 近 而 用 Κ 將 移 動 1 1 體 停 止 之 地 板 面 上 之 晝 像 予 Μ 攝 像 之 攝 像 裝 置 » 用 >λ 獲 取 1 | 包 含 在 上 述 作 業 裝 置 之 教 示 資 料 之 教 示 時 Η 將 該 移 動 體 1 I 停 止 在 上 述 作 業 位 置 之 基 準 停 止 位 置 之 狀 態 下 Μ 上 述 攝 像 1 1 1 裝 置 獲 取 之 上 述 有 規 則 之 圖 粟 以 及 設 在 該 地 板 面 上 之 上 述 1 規 定 之 作 業 位 置 附 近 之 認 識 標 記 之 盡 像 之 攝 像 耋 像 之 教 示 1 1 時 晝 像 獲 取 裝 置 ; 用 Μ 獲 取 包 含 上 述 移 動 體 停 止 時 Μ 上 述 1 攝 像 裝 置 在 該 停 止 位 置 攝 取 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 以 及 上 述 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21 OX 297公釐） 1 ? 3 9 5 5 2 Λ7 B7 經濟部中央標準局負工消t合作社印製 五、發明説明（ 13 ) 1 I 認 識 標 記 之 晝 像 之 停 止 時 攝 像 晝 像 之 停 止 時 畫 像 獲 取 裝 置 1 1 » 用 Μ 將 由 上 述 教 示 時 畫 像 獲 取 裝 置 所 獲 取 之 教 示 時 盡 像 1 1 中 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 » 與 由 上 述 停 止 時 盡 像 獲 取 裝 置 所 1 I 獲 取 之 停 止 時 攝 像 晝 像 中 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 1 依 據 上 述 請 先 間 1 1 I 認 識 標 記 之 位 置 加 Μ 比 較 脅 並 依 該 比 較 結 果 修 正 上 述 作 業 讀 背 1 1 I 裝 置 之 教 示 資 料 之 教 示 資 料 修 正 裝 置 為 特 徵 者 f 於 是 t 不 意 1 1 I 會 附 帶 產 生 作 業 裝 置 等 之 可 動 部 之 動 作 而 可 進 行 高 速 之 修 事 項 再 填 % 本 1 1 正 處 理 並 且 上 述 之 教 示 資 料 之 修 正 處 理 可 利 用 白 移 動 1 裝 體 停 止 至 作 業 裝 置 開 始 動 作 之 間 所 存 在 之 動 作 切 換 期 間 而 頁 1 進 行 而 且 作 業 裝 置 可 按 照 已 修 正 之 教 示 資 料 開 始 移 載 1 1 作 業 於 是 不 會 使 系 統 整 體 之 作 業 時 間 增 加 〇 再 且 攝 1 1 像 裝 置 係 設 在 不 容 易 受 照 明 等 之 影 響 之 移 動 ejn 體 之 地 板 面 附 | 近 故 可 將 贈 明 條 件 設 定 為 一 定 可 獲 得 安 定 之 晝 像 而 1 1 1 能 進 行 經 常 為 正 確 之 處 理 0 並 且 不 必 要 將 認 識 搮 記 設 在 1 1 I 作 業 對 象 位 置 附 近 因 而 可 提 高 空 間 之 利 用 率 〇 1 1 再 且 9 由 上 述 教 示 資 料 修 正 裝 置 將 由 上 述 教 示 時 攝 像 絲 1 耋 像 中 之 上 述 有 規 則 之 圖 案 所 獲 得 之 規 定 之 位 置 資 訊 或 晝 1 1 像 資 訊 與 由 上 述 停 止 時 攝 像 盡 像 中 之 上 述 有 規 則 之 ImI _ 案 1 I 所 獲 得 之 規 定 之 位 置 資 訊 或 晝 像 資 訊 相 比 較 ， 而 依 該 比 較 1 I 結 果 修 正 上 述 作 業 裝 置 之 教 示 資 料 t 於 是 可 進 行 容 易 而 高 1 1 1 速 之 處 理 〇 1 1 再 且 » 上 述 之 形 成 有 規 定 之 圖 案 之 地 板 面 ， 若 直 接 利 1 1 用 通 常 半 導 體 無 塵 室 等 場 所 所 使 用 之 衝 製 地 板 材 料 * 或 柵 1 1 路 材 料 則 不 必 作 特 別 之 ίΰ 工 0 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4現格（2 10 X 297公潑） 1 3 3 9 5 5 2 Λ7 B7 經濟部中央標隼局Μ工消f合作社印製 五、發明説明（14) 1 I _ 而 簡盟說 JL 1 1 第 1圖為 表 示 本 發 明 之 實 施 形 態 之 附 臂桿無 人 搬 運 車 1 I A1 之 概 略構成 之 横 式 面 _ 0 1 1 第 2圖為 表 示 第 1 圖 中 之 附 臂 4πγ m 人 搬 蓮車 進 行 停 止 請 £ 1 1 位 置 修 正處理 之 順 序 之 流 程 圖 〇 閱 讀 1 背 1 第 3圖為 表 示 教 示 時 之 位 置 資 訊 (位置座標X 0 ’ Y 0 ) % 之 1 回 轉 角 Θ 0 )之 算 出 方 法 之 例 之 說 明 圖 〇 意 1 I 事 1 第 4圖為 表 示 作 業 時 之 位 置 資 訊 (位置座標（XI 9 Y 1 ) 項 再 1 填 1 1 回 轉 角Θ 1: 丨之 算 出 方 法 之 —* 例 之 說 明 ΙΞ1 圏 0 % 本 裝 第 5圖表 示 衝 製 地 板 (柵格地板） 之 圖 案之一 例 之 圖 0 頁 1 1 第 6圖表 示 衝 製 地 板 (柵格地板） 之 面 _ 案之一 例 之 圖 〇 1 I 第 7圖表 示 衝 製 地 板 (柵格地板） 之 ng| 圓 案之一 例 之 圖 〇 1 1 第 8 '圖表 示 衝 製 地 板 (柵格地板） 之 圖 案之一 例 之 圖 〇 1 訂 第 9圖為 表 示 習 知 之 附 臂 無 人 搬 運 車 A0之概 略 構 成 之 1 I 模 式 闽 幽 〇 1 1 符 號 之 說明 1 I 1 無人 搬運車（ 移 動 體 之 一 例 ) 1 線 2 臂桿 (作 業 裝 置 之 —» 例 ) 1 3 手部 1 I 4 攝像 部 1 I 5 環圈 状照明裝置 1 1 6 盡像 班理部（ 構成教示時晝像獲取装置 ，及停止 1 1 時晝 像獲ί R裝置） 1 1 7 記憶 部 1 1 8 教示 賣 η 1 备正部 1 I 9 地板 面 (衝 製 地 板 ) 1 1 0 認識 標 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨OX 297公廣） 1 4 3 9 5 5 2