JP3523258B2 - 高純度フルオロエラストマー配合物 - Google Patents
高純度フルオロエラストマー配合物Info
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Description
592,784号に記載されたようなフルオロエラストマー(f
luoroelastmers)は商業的に大成功を達成し、異常環境
下、例えば高温やアグレッシブな薬品に遭遇する幅広い
用途で使用されている。このような成功は、特にヘキサ
フルオロプロピレン、および任意にテトラフルオロエチ
レンと共重合したビニリデンフッ化物に基づいたフルオ
ロエラストマーでなされている。そのようなフルオロエ
ラストマーに対して種々の架橋法が知られている。特に
有用なフルオロエラストマーがムーアー(Moore)の米
国特許第5,032,655号に記載されており、該エラストマ
ーはポリマー基本構造に臭素およびヨウ素の両方が含ま
れている。一方、アポテッカー(Apotheker)らの米国
特許第4,035,565号では特に有用なパーフルオロエラス
トマー(perfluoroelastomers)が記載されている。
製造工程に使用される構成部品をたいへん厳重に封じ込
めることが要求される。従来のフルオロエラストマーお
よび加硫系(curing system)はこのような要求に応え
られなかった。
るような用途に有効に用いられるフルオロエラストマー
配合物(fluoroelastomer compositions)を提供する。
(peroxide−curable elastomeric)フルオロポリマー
と、該エラストマーフルオロポリマーに対して、 (B)約0.1〜5.0phrの有機酸受容体と、 (C)約0.1〜5.0phrの有機過酸化物と、 (D)約0.1〜10.0phrの有機過酸化物混合試薬(coagen
t)とを含むもので、また該配合物は抽出金属および金
属化合物を実質的に含まない。
マーを含む多様なエラストマーフルオロポリマーを本発
明の配合物に用いることができる。フルオロポリマー
は、過酸化物硬化系を用いることによってポリマーを架
橋形成可能となるものとする部分を有する。
般にビニリデンフルオリド(VF2)モノマーを基本とす
る。もっとも一般的な水素含有フルオロポリマーはヘキ
サフルオロプロピレン(HPFP)および選択的にテトラフ
ルオロエチレン(TFE)とVF2との共重合体である。しか
し、他のフルオロモノマーおよびフッ素を含まないモノ
マーがよく知られている。使用できる他のモノマーとし
てはクロロトリフルオロエチレン(CTFE)、エチレン
(E)あるいはプロピレン(P)のようなヒドロカルボ
ンオレフィン、および式 CF2=CFO(CF2FXO)nRf、 式中、XはFまたはCF3、nは0〜5、そしてRfは1〜
6炭素原子のパーフルオロアルキル基、で表されるパー
フルオロ(アルキルビニル)エーテル(PAVE)が含まれ
る。水素含有フルオロエラストマーに使用される好まし
いPAVEは、パーフルオロ(メチルビニル)エーテル(PM
VE)である。そのようなモノマーを取り込むフルオロポ
リマーとしてはTFE/VF2/PMVE、E/TFE/PMVE、TFE/P、お
よびTFE/P/VF2が含まれる。
パーフルオロポリマーは、TFEと一以上のPAVEとから合
成されるものが含まれる。TFEのマイナーな部分は、他
のパーハロオレフィン、例えばCTFEと置き換えられる。
本発明で好適に用いられるPAVEは、(PMVE)、パーフル
オロ(プロピルビニル)エーテル(PPVE)、および上記
式中nが零ではないある種のPAVEである。
てテトラフルオロエチレン(TFE)または他のフルオロ
オレフィンとアルキル基が1ないし5炭素原子であるパ
ーフルオロ(アルキルビニル)エーテルとのような2以
上の過フッ素化されたモノマーから合成される。そのよ
うな反応体の典型はパーフルオロ(メチルビニル)エー
テル(PMVE)とパーフルオロ(プロピルビニル)エーテ
ル(PPVE)である。これらのモノマーは通常、架橋を促
進するコモノマーと組み合わせて使用される。また、過
フッ素化されていない少量のモノマーも使用される。一
般に、そのようなモノマーは所望の架橋特性を得るため
に用いられ、約3モル%未満の濃度でもって存在するで
あろう。そのようなモノマーの例としてブロモテトラフ
ルオロブテン、ブロモトリフルオロエチレン、ビニリデ
ンフルオリド、およびシアノ基を持つモノマーが含まれ
る。
とするフラグメントをポリマーに導入するために過フッ
素化されていない連鎖移動剤が重合反応に用いられ、か
つ本発明の文脈において熟考された硬化位置部分とな
る。そのような試薬として、ポリマーにヨウ素が結合、
通常は分子の末端に結合するジ・ヨウ素化合物が含まれ
る。
ロポリマーがアポテッカー(Apotheker)らの米国特許
第4,035,565号;タテモト(Tatemoto)らの米国特許第
4,243,770号;アルビン(Albin)の米国特許第4,564,66
2号;アルセラ(Arcella)らの米国特許第4,745,154
号;ムーアー(Moore)の米国特許第4,948,852号;ムー
アー(Moore)の米国特許第4,973,633号;ロゴテチス
(Logothetis)らの米国特許第4,948,853号;ブリージ
ール(Breazeale)の米国特許第4,281,092号;フィンレ
イ(Finlay)の米国特許第4,529,784号;ロゴテチス(L
ogothetis)の米国特許第4,972,038号;およびアルセラ
(Arcella)らの米国特許第5,177,148号に記載されてお
り、各特許を本願で援用する。
の有機酸受容体をさらに含む。
なくとも12である強有機性塩基である限り、幅広い範囲
の酸受容体が用いられる。特に満足できるそのような塩
基の一つとして、プロトンスポンジ(Proton Sponge)
としてアルドリッヒ・ケミカル社(Aldrich Chemical C
ampany)から商業的に入手可能な1,8−ビス−(ジメチ
ルアミノ)ナフタレンがある。特に満足のゆく他の酸受
容体としては、アーメーン(Armeen)18−Dとしてアク
ゾ・ケミカル社(Akzo Chemical Company)から商業的
に入手可能なオクタデシルアミンがある。使用可能なさ
らに他の有機酸受容体として本願で援用されるマックラ
クラン(MacLachlan)の米国特許第4,271,275号に記載
されたオキシランがある。特に満足のゆくものは、ビス
フェノールAとエピクロロヒドリンとの縮合産物である
グリシジル樹脂である。3−グリシドオキシプロピルト
リメトキシシランのような有機シランも使用可能であ
る。有機塩基は硬化促進剤、加工助剤、および掃酸剤と
して作用する。硬化性フルオロエラストマーの物理的特
性を改善することが認められた。また、硬化性フルオロ
エラストマーのアニオン性の抽出物(extractables)、
特にフッ化物が実質的に減少することが認められた。一
般に、0.1ないし0.5phrの有機酸受容体を用い、さらに
約0.1ないし1.0phrの範囲が特に好適であることが認め
られた。
phrの少なくとも一つの有機過酸化物をさらに含む。幅
広い種類の有機過酸化物が使用かつ提供され、該有機過
酸化物はアルカリタイプのものである。特に満足できる
有機過酸化物は、2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチル
パーオキシ)ヘキサンであり、アトケム社(Atochem,In
c)からルペルソル(Lupersol)101として商業的に入手
可能である。この有機過酸化物の濃度が約1〜3phrであ
ることが特に好ましい。有機過酸化物は不活性担体上で
いくつかの形状をとることが可能であるけれども、例え
ばルペルコ(Luperco)101−XL(45%活性成分)、この
濃度は100%活性有機過酸化物にもとづくものである。
助けるために、さらに有機混合試薬(organic coagen
t)を含む。一般に、有機混合試薬は約0.1から10phr、
好ましくは2から5phrまでの範囲内の量で存在する。幅
広い範囲の有機混合試薬を使うことができる。例えば、
トリアリルイソシアヌレート、トリメチルアリルイソシ
アヌレート、およびトリメチロールプロパントリメタク
リレートであり、これらのうちでトリメチルアリルイソ
シアヌレートが特に満足のゆくものである。トリアリル
イソシアヌレートおよびトリメチルアリルイソシアヌレ
ートはデュポン(DuPont)社からダイアク(Diak)#7
およびダイアク(Diak)#8として商業的に入手可能で
ある。トリメチロールプロパントリメタクリレートはソ
ートマー(Sartomer)社からサレト(Saret)350として
商業的に入手可能である。
ー配合物はさらに約1ないし50phrのフルオロポリマー
充填材(filler)、および好ましくは少なくとも約2phr
の充填材をさらに含む。
ルオロポリマー充填材は最終的に分割し、容易に分散し
た可塑性フルオロポリマーのいずれでもよく、該可塑性
フルオロポリマーはフルオロポリマー配合物の製造およ
び硬化で使用される最も高い温度でもって固化する。固
化によって部分的に結晶が生じた場合、フルオロ可塑物
はゴム弾性フルオロポリマーを加工する温度よりも高い
結晶溶融温度を有する。また、固化によってアモルファ
スが生じた場合、フルオロ可塑物はゴム弾性フルオロポ
リマーを加工する温度よりも高いガラス転移温度を有す
る。そのような最終的に分割し、容易に分散されたフル
オロポリマーは一般に微粉末(micropowder)またはフ
ルオロ添加剤(fluoroadditive)と呼ばれる。微粉末は
通常、部分的に結晶ポリマーである。
エチレン(TFE)ポリマーとして知られるポリマーから
なる群に基づいたものを含む。この群は、TFE(PTFE)
のホモポリマー、および樹脂が非溶融加工性(non−mel
t−fabricable)のままである共重合可能で、かつ小量
の修飾モノマーとTFEとの共重合体(修飾PTFE)を含
む。例えば、この修飾モノマーは、ヘキサフルオロプロ
ピレン(HFP)、パーフルオロ(プロピルビニル)エー
テル(PPVE)、パーフルオロ(ブチルエチレン)、クロ
ロトリフルオロエチレン、または分子内に側基を与える
他のモノマーである。そのような修飾体の濃度は一般に
1モル%未満である。
ら誘導されるものおよび乳化重合から誘導されるものを
含む。TFEポリマーの群は、PTFEの融点よりも顕著に低
い融点とするために、一種類以上の共重合可能なモノマ
ーを十分な量有するTFEの溶融加工性共重合体(melt−f
abricable copolymers)も含む。そのような共重合体の
溶融粘度は通常0.5〜60×103Pa−sの範囲にある。しか
し、この範囲外の粘度も知られている。TFEとのコモノ
マーは、例えばパーフルオロオレフィンおよびパーフル
オロ(アルキルビニル)エーテルを含むことができ、か
つ合成することができる。過フッ素化されたコモノマー
のなかで、HFPおよびPPVEが最も好ましい。
すために一般に電離放射線処理される。このことは、上
記PTFEが懸濁重合方法によって合成される場合に細砕を
促進し、かつ脆砕性を高める。また、上記PTFEが乳化重
合方法によって合成される場合はデアグロメーションを
高める。また、上記乳化重合方法における分子量を適当
に制御することによってTFEを直接PTFE微粉末に重合す
ることも可能である。モーガン(Morgan)は米国特許第
4,879,362号において、選択された高純度フルオロエラ
ストマー配合物で使用される乳化(分散)重合方法によ
て合成された非溶融加工性可能で、かつ非フィブリル化
したTFE共重合体を開示している。このポリマーは、フ
ィブリル化のかわりに、エラストマー配合物中にシャー
ブレンディングで小板を形成する。モーガンおよびスチ
ュワート(Morgan & Stewart)は、米国特許第4,904,7
26号でエラストマーと配合されたモーガンのポリマー
(Morgan's polymer)の利用について開示しており、機
械的性質、特に引裂き強度に関して有益なものとなるこ
とが示されている。本発明の高純度配合物のホストフル
オロエラストマーの粘度が高い場合、モーガンのポリマ
ーによって粘度が許容不可能な値まで増加するであろ。
また、この場合、別の微粉末を選択しなければならな
い。
体)およびPFA(TFE/PPVE共重合体)もまた本発明の高
純度フルオロエラストマーで用いられる。粉末度が許容
範囲内、または寸法が大きな素材から適当な粉末度にま
で細砕された場合、こられらの共重合体は重合媒体から
単離された粉末状のものとして用いられる。
ーに対して少なくとも約2phr、一般には約50phr未満の
フルオロポリマー充填材が用いられる。好ましくは、約
5〜35phrのフルオロポリマー充填材が本発明の配合物
に使用される。デュポン社からテフロン(Teflon)(登
録商標)MP−1500およびテフロン(登録商標)MP1600フ
ルオロ添加物として商業的に入手可能であるこれらのフ
ルオロポリマー充填材は、本発明において特に申し分の
ないものである。
めの添加剤を上記配合物に加えることができる。本発明
の配合物は、さらに少なくとも約1phr、通常は約20phr
未満のの可塑剤を含む。一般に、約10phr未満であるこ
とが好ましい。パーフルオロポリエーテルを含む可塑剤
が特に申し分のないものである。
の濃度が僅かであるか、あるいは該成分が含まれない場
合に、申し分のない性質を有するものとなる。フルオロ
エラストマー配合物に特に、金属および金属化合物が実
質的に含まれてはならない。そのような金属および金属
化合物の例は、実施例および比較例に報告された結果の
金属および金属化合物である。一般に金属抽出物全体の
濃度を約500部/ビリオン(ppb)未満とすべきであり、
また金属抽出物の濃度が200ppb未満の場合に特に必要と
するパフォーマンス特性が得られる。
的環境での使用に適しており、また既知の配合物と比較
して金属性、アニオン性、およびTOC抽出物が顕著に少
ない。その結果、高純度での他の用途と同様に半導体ウ
エットケミカルプロセスにおいて特に好適に用いられ
る。以下の試験方法によって抽出物を調べた。
じ込み蓋付き広口びん)に超純脱イオン水を満たし、ね
じ込み式の蓋で封をするとともに、16時間、80℃でもっ
て窒素浄化オーブンに静置した。すすぎのたびに脱イオ
ン水を捨てた。上記抽出容器の試験準備を有効なものと
するために、上記の手順を5回繰り返した。さらに、抽
出容器に適当な試験用液体を満たし、80℃で72時間にわ
たり炉に静置した。試験用液体を破棄し、上記手順を繰
り返した。以下の高純度級の化学物質を本研究での抽出
試験用液体として用いた。
1(v/v) 超音波槽中のポリプロピレン容器内でO−リング試験
試料を脱イオン水に20分間浸して最初に試験準備を行っ
た後、脱イオン水で試料をすすいだ。試験準備された抽
出容器に適当な試験用液体を100ml加えた。一個のAS568
Aサイズ214のO−リング[(全表面積9.935cm2(1.540
平方インチ);推定接触面積8.935cm2(1.385平方イン
チ)を試験用液体中に置き、そして抽出容器の蓋を閉め
た。このO−リングを80℃で1カ月間、試験用液体に浸
した。2個のO−リング試料を、表2および4に挙げた
各化合物例ごとに試験した。試験用液体に対して3通り
の空試験(試験液体のみ)を行った。
イオン水で濯ぐことによって試験用液体を除去した。抽
出物に対して、いくつかの異なる分析方法を用いてアニ
オン性、金属性、および全有機炭素抽出物に関する分析
を行った。金属性抽出物分析をICP−MS(誘導結合プラ
ズマ質量分析)を用いて行った。カルシウムおよび鉄の
分析は、GFAA(グラファイト加熱炉原子吸光)を用いて
行った。アニオン性およびカチオン性の抽出物分析はイ
オンクロマトグラフィを用いて行った。TOC(全有機炭
素)分析は、TOCアナライザーを用いて行った。試験結
果を表3、4、7、および8に示す。すべてお試験結果
に対して空試験値補正を行った。結果は、約80℃、1カ
月で一つのOリングから100mlの試験用液体に浸出したp
pb(pearts per billion)として表す。
い。また、本配合物では全有機炭素含有量が低い。
対して用いることができる。そのような用途の典型なも
のが、電子、光学、医学、および製薬産業に見いだされ
る。本配合物の物理的性質、硬化特性、および純度の組
み合わせは今まで知られていなかった。
特定の成分との配合物を、特定の被処理ポリマーに応じ
て、約60℃を越えない程度の温度で加熱されたロールを
有する2本ローラーゴム粉砕器(two roll rubber mil
l)上で作製した。ミル混合プロセスでは、フルオロエ
ラストマーポリマーを単独でまずロールニップ(roll n
ip)に誘導し、バンドが形成されポリマーが十分混合さ
れるまで粉砕し、そして回転バンクがミル上に維持され
るまで粉砕した。事前に量り分けられたテフロン(登録
商標)フルオロ添加物等の添加物をニップに加え、さら
に得られた配合物を均一になるまで粉砕した。
ることによって物理的性質試験に適当な形状に変換し
た。硬化および後硬化は色々な実施例に概説された手順
に従った。表1にまとめた試験方法によって必要とされ
るように物理的性質試験用試料を打ち抜きシート素材か
ら合成した。
E、および8−CNVEからなるエラストマー共重合体であ
り、これらの中で8−CNVEはキュアサイト(cure sit
e)・モノマー・パーフルオロ(8−シアノ−5−メチ
ル−3、6−ジオキサ−1−オクテン)である。それを
米国特許第4,281,092号の記載におおむね従って合成し
た。ポリマーAを、カーボンブラック、テトラフェニル
チン、および表2に表示された他の成分と混合し、成形
/後硬化し、さらに上記した手順にもとづいて試験し
た。O−リング試験用試料を210℃で20分間にわたりプ
レス硬化し、続いて90℃で60分間にわたり空気循環炉中
かつ窒素大気下で後硬化し、さらに10時間以上305℃お
よび26時間305℃で順番に均一遷移を行った。物理的性
質の試験結果を表2に示す。“未乾燥(Wet)”化学抽
出試験の結果を表3および表4に示す。表2に示した結
果は、3つの試験用試料の平均値に基づいている。表3
および表4に示した未乾燥化学抽出試験は試験した2つ
の試料の平均値に基づいている。
E、およびVF2からなるエラストマー共重合体であり、こ
れらの中でVF2はキュアサイト・モノマー・ビニリデン
フルオリドである。それを米国特許第4,529,784号の記
載におおむね従って製造した。ポリマーBを、カーボン
ブラック、酸化亜鉛、および表2に表示された他の成分
と混合し、成形/後硬化し、さらに上記した手順にもと
づいて試験した。O−リング試験用試料を210℃で30分
間にわたりプレス硬化し、続いて最初に温度を室温から
260℃へ徐々に増加させて40時間以上にわたり空気循環
炉中かつ窒素大気下で後硬化し、さらに8時間、260℃
で後硬化した。物理的性質の試験結果を表2に示す。
“未乾燥(Wet)”化学抽出試験の結果を表3および表
4に示す。表2に示した結果は、3つの試験用試料の平
均値に基づいている。表3および表4に示した未乾燥化
学抽出試験は試験した2つの試料の平均値に基づいてい
る。
E、およびBTFBからなるエラストマー共重合体であり、
これらの中でBTFBはキュアサイト・モノマー・4−ブロ
モ−3,3,4,4−テトラフルオロブテンである。それを米
国特許第4,035,065号の記載におおむね従って合成し
た。ポリマーCを、トリメチルアリルイソシアヌレート
(TMAIC)および表2に表示された他の成分と混合し、
成形/後硬化し、さらに上記した手順にもとづいて試験
した。O−リング試験用試料を打ち抜きシート素材から
調製した。試料を177℃で10分間にわたりプレス硬化
し、続いて最初に温度を室温から232℃へ徐々に増加さ
せて40時間以上にわたり空気循環炉中かつ窒素大気下で
後硬化し、さらに8時間、232℃で後硬化した。物理的
性質の試験結果を表2に示す。“未乾燥(Wet)”化学
抽出試験の結果を表3および表4に示す。表2に示した
結果は、3つの試験用試料の平均値に基づいている。表
3および表4に示した未乾燥化学抽出試験は試験した2
つの試料の平均値に基づいている。
E、およびパーフルオロ−(8−シアノ−5−メチル−
3,6−ジオキサ−1−オクテン)(8−CNVE)からなる
エラストマー共重合体であり、ポリマー鎖のいくつかの
端部にヨウ素部分を有する。それを米国特許第4,972,03
8号の記載におおむね従って合成した。ポリマーDを、
トリメチルアリルイソシアヌレート(TMAIC)および表
2に表示された他の成分と混合し、成形/後硬化し、さ
らに上記した手順にもとづいて試験した。O−リング試
験用試料を打ち抜きシート素材から調製した。試料を17
7℃で10分間にわたりプレス硬化し、続いて最初に温度
を室温から232℃へ徐々に増加させて40時間以上にわた
り空気循環炉中かつ窒素大気下で後硬化し、さらに8時
間、232℃で後硬化した。物理的性質の試験結果を表2
に示す。“未乾燥(Wet)”化学抽出試験の結果を表3
および4に示す。表2に示した結果は、3つの試験用試
料の平均値に基づいている。表3および表4に示した未
乾燥化学抽出試験は試験した2つの試料の平均値に基づ
いている。
び0.18%ヨウ素の混合物を有する過酸化物硬化性エラス
トマーフルオロポリマーEを合成した。ムーニー粘度を
測定したところ、ML−10(121℃)=25であった。
下記の成分: 100重量部のフルオロポリマーE、3部のトリアリル
イソシアヌレート(TAIC)、2部の“ルバーソル(Lupe
rsol)"101過酸化物(2,5,−ジメチル−2,5−ジ(t−
ブチルパーオキシ)ヘキサン)、および0.5部のオクタ
デシルアミンを混合することによって、硬化性フルオロ
エラストマー配合物を作製した。この混合物を硬化し、
硬化特性をASTM D 2084(3deg.arc)にもとづいて硬
化時間12分、177℃で、励起ディスクレオメーター(OD
R)で測定した。t'90で決定される硬化状態が90%とな
るのに必要な時間は2.4分であった。試験試料を10分
間、177℃でプレス硬化し、24時間、200℃で空気循環炉
で後硬化した。応力−歪関係は、 100% 弾性率、M100=1.2MPa 破断点引張強度、TB=3.2MPa 破断点伸び率、EB=186% と決定した。
=52ポイントとして決定した。ASTM D 1414にもとづ
いて空気中でO−リングに対して測定された圧縮永久歪
は、200℃で70時間後に41%であった。結果を表5に示
す。
た。実施例4では、過酸化物硬化性フルオロポリマーF
を50%VF2、29%HFP、20%TFE、0.6%BTFB、および0.2
%ヨウ素から合成した。ムーニー粘度はML−10(121
℃)=25として測定された。
記の成分: 100重量部のフルオロポリマーE、3部のトリアリル
イソシアヌレート(TAIC)、2部の“ルペルコ(Luperc
o)"101−XL過酸化物、および0.5部のオクタデシルアミ
ン を混合することによって、硬化性フルオロエラストマー
配合物を合成した。この配合物の硬化特性をASTM D
2084(3deg.arc)にもとづいて硬化時間12分、177℃
で、励起ディスクレオメーター(ODR)で測定した。t'9
0で決定される硬化状態が90%となるのに必要な時間は
3.4分であった。試験試料を10分間、177℃でプレス硬化
し、24時間、200℃で空気循環炉で後硬化した。応力−
歪関係は、ASTM D 412にもとづいて、 100% 弾性率、M100=1.4MPa 破断点引張強度、TB=5.2MPa 破断点伸び率、EB=186% と決定した。
=52ポイントとして決定した。ASTM D 1414にもとづ
いて空気中でO−リングに対して測定された圧縮永久歪
は、200℃、70時間後で41%であった。結果を表6に示
す。
と比較するために、2価の金属を含有するビスフェノー
ル硬化系と架橋形成した典型的なビニルフルオリド/ヘ
キサフルオロプロピレン・フルオロポリマーGを合成し
た。ここでは、実施例3と同様の手順および硬化条件で
合成し、結果は表6、表7、および表8に示した。
較するために、無機顔料を含むフルオロポリマーEを合
成した。実施例3の手順および硬化条件で合成し、結果
を表6、表7、および表8に示した。
属性酸受容体および架橋剤、元素性炭素充填材、無機顔
料等)が未乾燥化学環境下でのパフォーマンスに対する
効果を示す。試験されたフルオロエラストマー配合物の
実施例に関しては、比較例A〜Dとは反対に実施例1〜
4では顕著に低い金属性、アニオン性、およびTOC抽出
物が脱イオン水中および“ピランハ(piranha)”中で
認められた。比較例Aは脱イオン水中で高アニオン性お
よびTOC抽出物を表し、かつ、“ピランハ”中で高金属
性(Ti)抽出物を与えた。“ピランハ”での高Ti抽出物
は、比較例Aでの金属性架橋触媒の使用に直接貢献する
ことができる。比較例Bは脱イオン水中での高金属性
(亜鉛およびカリウム)と“ピランハ”中での高金属性
(亜鉛)抽出物とを与えた。脱イオン水および“ピラン
ハ”の両方におけるこの高亜鉛抽出物は、比較例Bの金
属酸化物酸受容体および金属性架橋剤の使用に直接貢献
する。
オン水中で与えられ、また高金属製性(カルシウムおよ
びマグネシウム)抽出物が“ピランハ”中で与えられ
る。このことは、比較例Cにおける酸受容体/硬化促進
剤として水酸化カルシウムおよび酸化マグネシウムを用
いることに直接貢献する。金属酸化物は、一般にフルオ
ロエラストマー配合物の酸受容体として用いられる。そ
れらは、主として“掃酸剤”として働き、硬化プロセス
の副産物として発生するフルオロ水素を吸収する。しか
し、それらは未乾燥化学プロセス環境での抽出物の潜在
的な出所としても働く。比較例Dは、“ピランハ”中で
高金属性(チタニウム)抽出物を与える。このことは比
較例Dにおいて無機顔料として二酸化チタニウムの使用
に貢献する。実施例1ないし4は、特に半導体未乾燥化
学プロセス用とで使用されるように配合されている。新
規な配合方法を使用する際にそれらは金属酸化物酸受容
体および金属性架橋材の利用を排除する。
Claims (15)
- 【請求項1】(A)少なくとも一つの過酸化物硬化性エ
ラストマーフルオロポリマー、および該エラストマーフ
ルオロポリマーに基づいて、 (B)0.1〜5.0phrの有機酸受容体; (C)0.1〜5.0phrの有機過酸化物; (D)0.1〜10.0phrの該有機過酸化物用混合剤;および (E)1〜50phrのフルオロポリマー微粉末充填材; とを含むフルオロエラストマー配合物であつて、上記フ
ルオロポリマー微粉末充填材はテトラフルオロエチレン
ホモポリマーまたはテトラフルオロエチレンとヘキサフ
ルオロプロピレン、パーフルオロ(プロピルビニルエー
テル)、パーフルオロ(ブチルエチレン)およびクロロ
トリフルオロエチレンよりなる群から選ばれたモノマー
との共重合体であり、かつ、上記配合物はカーボンブラ
ツクを含まないものであり、さらに、18メガ・オーム超
純脱イオン水または96%硫酸と30%過酸化水素とが3:1
(v/v)の液体中に100mlの試験液体当たり80℃で1カ月
間浸した一個のAS568Aサイズ214のO−リング試料[全
表面積9.935cm2(1.540平方インチ);推定接触面積8.9
35cm2(1.385平方インチ)]から抽出できる抽出金属お
よび金属化合物は500ppb未満の量で存在することを特徴
とする、フルオロエラストマー配合物。 - 【請求項2】前記フルオロポリマー微粉末充填材は少な
くとも2phrの量で存在する、請求項1のフルオロエラス
トマー配合物。 - 【請求項3】前記フルオロポリマー微粉末充填材がテト
ラフルオロエチレンのポリマーから主になる、請求1の
フルオロエラストマー配合物。 - 【請求項4】前記エラストマーフルオロポリマーはパー
フルオロポリマーである、請求項1のフルオロエラスト
マー配合物。 - 【請求項5】前記エラストマーフルオロポリマーは水素
含有フルオロポリマーである、請求項1のフルオロエラ
ストマー配合物。 - 【請求項6】前記フルオロポリマー微粉末充填材はテト
ラフルオロエチレンとパーフルオロ(プロピルビニル)
エーテルとの共重合体から主になる、請求項1のフルオ
ロエラストマー配合物。 - 【請求項7】前記フルオロポリマー微粉末充填材はテト
ラフルオロエチレンとヘキサフルオロプロピレンとの共
重合体から主になる、請求項1のフルオロエラストマー
配合物。 - 【請求項8】前記有機酸受容体は少なくとも一つのオキ
シランから主になる、請求項1のフルオロエラストマ
ー。 - 【請求項9】前記有機酸受容体は1,8−ビス−(ジメチ
ルアミノ)ナフタレンから主になる、請求項1のフルオ
ロエラストマー配合物。 - 【請求項10】前記有機酸受容体はオクタデシルアミン
から主になる、請求項1のフルオロエラストマー配合
物。 - 【請求項11】さらに、少なくとも1phrの可塑剤を含
む、請求項1のフルオロエラストマー配合物。 - 【請求項12】前記可塑剤はパーフルオロポリエーテル
から主になる、請求項11のフルオロエラストマー配合
物。 - 【請求項13】前記抽出金属および金属化合物は200ppb
未満の量で存在する、請求項1のフルオロエラストマー
配合物。 - 【請求項14】前記フルオロエラストマー配合物は無機
化合物を含まないものである、請求項1のフルオロエラ
ストマー配合物。 - 【請求項15】請求項1の配合物から製造された硬化
物。
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