JP3513383B2 - 位置検出装置 - Google Patents
位置検出装置Info
- Publication number
- JP3513383B2 JP3513383B2 JP04366398A JP4366398A JP3513383B2 JP 3513383 B2 JP3513383 B2 JP 3513383B2 JP 04366398 A JP04366398 A JP 04366398A JP 4366398 A JP4366398 A JP 4366398A JP 3513383 B2 JP3513383 B2 JP 3513383B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- quadrants
- quadrant
- interpolation position
- interpolation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Description
けられたエンコーダから得られる2相信号をもとに、そ
の周期以上の分解能を得るための位置検出装置に関す
る。
号公報に示された構成図である。図において、1はエン
コーダで、検出対象の位置を入力して2相信号(sin信
号およびcos信号)を出力する。2はA/D変換器、3
は上記2相信号を矩形波に整形するコンパレータ、4は
矩形波の立ち上がりおよび立ち下がりを計数するカウン
タである。5はマイクロプロセッサで、ディジタル変換
された2相信号を入力して内挿位置を求める内挿処理部
5a、および上記カウンタ4からのカウンタ値と上記内
挿位置との和を求めて合成位置とする位置演算部5bと
からなる。
作について、図10の波形を用いて説明する。図におい
て、およびがエンコーダ1から得られるsin信号お
よびcos信号の波形で、これらをA/D変換器2で変換
した後、マイクロプロセッサ5に取り込み、内挿処理部
5aにおいて内挿処理を行う。これにより得られた内挿
位置の波形がに示したもので、sin信号およびcos信号
の周期で0から1まで連続している。またこの処理と平
行して、上記sin信号およびcos信号をコンパレータ3に
よっておよびに示したような矩形波に整形する。そ
して、カウンタ4において矩形波の立ち上がりおよび立
ち下がりを計数して、に示したようなカウンタ値を出
力する。この場合は、立ち上がり2回と立ち下がり2回
を計数した時にカウンタを+1している。最後に、で
示した内挿位置とで示したカウンタ値とを加算して、
合成位置を求める。この合成位置が求める検出対象の
位置である。
置検出装置においては、2相信号の内挿処理と基本周期
の計数が完全に同期して実行され、合成する時に内挿位
置とカウンタ値の象限が一致していなければならない。
しかし、図11に示すように、検出対象が高速移動した
場合には、A/D変換処理やカウンタの処理時間に差が
有る場合、内挿位置及びカウンタ値の間に位相差が生じ
る(斜線部)。このとき、内挿位置の象限(1象限)と
カウンタ値の象限(4象限)とが異なっているため、合
成位置には瞬間的に不連続な誤差が生じる問題がある。
ためになされたもので、その目的は、検出対象が高速移
動した場合においても、誤差の発生を防止できる高精度
な位置検出装置を得るものである。
装置においては、内挿位置は、任意の数pに対して
「p」から「p+2」まで連続して増加し、ある象限と
次の象限との象限境界で「p+2」から「p」に初期化
されるものとし、カウンタは、上記象限境界に相当する
位置以外での2相信号の矩形波の立ち上がりまたは立ち
下がりに対して、上記2相信号の基本周期を2逓倍で計
数するものとし、カウンタ値が上記象限境界またはその
近傍に相当する位置における値である場合、その時の内
挿位置が上記象限境界直前の象限の値であれば当該カウ
ンタ値を「1」減算し、当該内挿位置が上記象限境界直
後の象限の値であれば当該カウンタ値を「1」加算する
ものである。
1象限の間を象限境界として内挿位置を初期化し、カウ
ンタはcos矩形波の立ち上がりおよび立ち下がりでカウ
ントするものとし、カウンタ値の偶数/奇数の種別によ
り、上記内挿位置が初期化される象限境界を挟む2つの
象限(以下、第1の2象限と称す)か、それ以外の2つ
の象限(以下、第2の2象限と称す)かを判別し、該第
2の2象限では、当該カウンタ値と当該内挿位置との和
を合成値とし、上記第1の2象限では、当該内挿位置が
上記象限境界の直前の値であれば当該カウンタ値を
「1」減算した値と当該内挿位置との和を合成値とし、
当該内挿位置が上記象限境界直後の値であれば当該カウ
ンタ値を「1」加算した値と当該内挿位置との和を合成
値とするものである。
4象限の間を象限境界として内挿位置を初期化し、カウ
ンタはsin矩形波の立ち上がりおよび立ち下がりでカウ
ントするものとし、カウンタ値の偶数/奇数の種別によ
り、上記内挿位置が初期化される象限境界を挟む2つの
象限(以下、第1の2象限と称す)か、それ以外の2つ
の象限(以下、第2の2象限と称す)かを判別し、該第
2の2象限では、当該カウンタ値と当該内挿位置との和
を合成値とし、上記第1の2象限では、当該内挿位置が
上記象限境界の直前の値であれば当該カウンタ値を
「1」減算した値と当該内挿位置との和を合成値とし、
当該内挿位置が上記象限境界直後の値であれば当該カウ
ンタ値を「1」加算した値と当該内挿位置との和を合成
値とするものである。
タ処理との処理時間差によって両者の間に±1象限分を
こえる位相差が生じる場合、検出対象の上記処理時間差
分の移動距離を求めて内挿位置に加算し、この加算値が
内挿位置の最大値「p+2」より大きい場合は、上記加
算値から「2」を減算した値を補正内挿位置とし、上記
加算値が内挿位置の最小値「p」より小さい場合は、上
記加算値に「2」を加算した値を補正内挿位置とし、そ
れ以外は上記加算値を補正内挿位置とすることにより得
られる「p」から「p+2」まで連続して増加する補正
内挿位置を新たに内挿位置とするものである。
ライバと上記検出対象の位置を制御する位置制御手段と
を備え、電源投入後に少なくとも1回内挿位置信号をフ
ィードバックした位置制御系を構成し、上記内挿位置が
設定された値になるように上記検出対象を移動させた
後、上記カウンタ値に設定された値を設定することで上
記カウンタ値を初期化するものである。
実施の一形態例による位置検出装置の構成を示す図で、
図中1〜3は図11で示した従来のものと同一または相
当部分である。また、マイクロプロセッサ5は、内挿位
置を発生させる内挿位置演算部5c、およびカウンタ値
と内挿位置とを合成して合成位置を求める合成位置演算
部5dからなる。6は、サンプルホールド回路で、入力
した2相信号をタイミングパルス発生器7から出力され
るタイミングパルスによってサンプルホールドされ、A
/D変換器2に取り込まれる。また、8は入力した矩形
波のうちcos矩形波の立ち上がりおよび立ち下がりを計
数し、cos信号の周期の2逓倍でカウントする2逓倍U/D
カウンタである。また、このカウンタ値はラッチ回路9
に入力され、タイミングパルス発生器7から出力される
タイミングパルスによってラッチされた後、マイクロプ
ロセッサ5に取り込まれる。
る動作について、図2の波形を用いて説明する。図にお
いて、およびがエンコーダ1から得られるsin信号
およびcos信号の波形で、これらはサンプルホールド回
路6に入力される。そして、タイミングパルス発生器7
から出力されるタイミングパルスによってサンプルホー
ルドされた値は、高分解能のA/D変換器2でディジタ
ル値に変換された後、マイクロプロセッサ5に取り込ま
れる。内挿位置演算部5cでは、入力値にもとづいて象
限(1象限〜4象限)を判断し、例えば象限の進行につ
れて4つの象限分で「−1」から「+1」まで連続して
増加し、2象限と3象限との象限境界で不連続(「−
1」に初期化)となるような内挿位置mを求める。これ
は、予め用意した内挿テーブルを参照することで得られ
る。得られた内挿位置mの波形をに示す。この時点
で、内挿位置と2相信号との間にS/H(サンプルホール
ド)時間による位相差が生じている。またこの処理と平
行して、上記sin信号およびcos信号をコンパレータ3に
よっておよびに示したような矩形波に整形したあ
と、2逓倍U/Dカウンタ8においてcos矩形波の立ち上が
りおよび立ち下がりが計数される。このカウンタ値nは
に示すように、cos矩形波の立ち上がりまたは立ち下
がりを1回計数するごとにカウンタを+1しており、2
逓倍(cos信号の1周期で2カウント)で計数されてい
る。このカウンタ値nと2相信号との間にも、カウンタ
処理時間による位相差が生じている。このように2逓倍
で計数されたカウンタ値nはラッチ回路9に入力され、
タイミングパルス発生器7から出力されるタイミングパ
ルスによってラッチされた後、マイクロプロセッサ5の
合成位置演算部5dに取り込まれる。カウンタは1つの
cos矩形波の立ち上がり(たとえば3象限と4象限の間
に相当する位置)で0と設定するなど、カウンタ値は
「偶数」のとき2相信号の位相が4象限か1象限で、
「奇数」のときは2象限か3象限となるように初期化し
ておく。
位置mとカウンタ値nとから合成位置を求める。この処
理の流れを図3のフローチャートを参照しながら説明す
る。まず、カウンタ値nが不連続(「1」をカウント)
となる1象限と2象限の間や3象限と4象限の間におい
て象限を判別するため、カウンタ値が「偶数」の場合と
「奇数」の場合に分ける。カウンタ値nが「偶数」の場
合は(S1でYesのとき)、内挿位置は4象限か1象
限なので不連続がないため、カウンタ値は修正されず、
修正カウンタ値n’=nとする(S2)。カウンタ値n
が「奇数」の場合は(S1でNoのとき)、2象限と3
象限の間で内挿位置は「−1」に初期化されて不連続と
なるため、さらに、内挿位置と定数Kとを比較すること
で2象限と3象限に場合分けする。なお、定数Kは1象
限か4象限の値なら何でもよく、本実施の形態例ではK
=0にしている。内挿位置mが定数Kより大きい場合は
(S3でYesのとき)、内挿位置mは2象限なので、
カウンタ値は「1」減算され、修正カウンタ値n’=n
−1とする(S4)。また、内挿位置mが定数K以下の
場合は(S3でNoのとき)、内挿位置は3象限なの
で、カウンタ値は「1」加算され、修正カウンタ値n’
=n+1とする(S5)。最後に、修正カウンタ値n’
と内挿位置mとを加算することにより、合成位置lが得
られる(S6)。修正カウンタ値および合成位置の波形
を図2のおよびに示す。以上のように、合成位置の
波形は連続した誤差のない波形となり、内挿位置とカウ
ンタ値の間の位相差(S/H時間による位相差−カウンタ
処理時間による位相差)が±90度以下(±1象限分以
下)の場合には、内挿位置とカウンタ値との和からなる
合成位置の不連続が補正され、高速移動時にも、高分解
能な位置検出が可能となる。
は、内挿位置の最小値が「−1」で最大値が「+1」と
なる内挿テーブルを用いたが、任意のオフセットPを加
算して最小値が「P−1」で最大値が「P+1」となる
内挿テーブルを用いてもよい。この場合、上記説明にお
いて、内挿位置に関係する値にオフセットPを加算すれ
ば同様である。また、上記実施の形態1では、内挿処理
において2象限と3象限の間に不連続がある内挿テーブ
ルを使用したが、1象限と4象限の間に不連続がある内
挿テーブルを使用してもよい。この場合、上記説明にお
いて、4象限と2象限、1象限と3象限を読み替えれば
よい。さらに、上記実施の形態1では、1つの矩形波の
立ち上がり(3象限と4象限の間に相当する位置)で0
と設定して、カウンタ値が「偶数」のとき2相信号の位
相が4象限か1象限になるように初期化したが、1つの
cos矩形波の立ち下がり(1象限と2象限の間に相当す
る位置)で0と設定して、カウンタ値が「奇数」のとき
に2相信号の位相が4象限か1象限になるように初期化
しても、同様の処理によって、誤差のない連続した合成
位置を得ることができる。この場合は、実施の形態1に
おいての、「偶数」と「奇数」を読み替えればよい。
よび2においては、内挿位置を2象限と3象限の間、ま
たは1象限と4象限との間に不連続がある内挿テーブル
を使用し、カウンタはcos矩形波の立ち上がりおよび立
ち下がりをカウントするものとしたが、1象限と2象限
の間、または3象限と4象限の間に不連続がある内挿テ
ーブルを使用し、カウンタはsin矩形波の立ち上がりお
よび立ち下がりでカウントするものとしても、全く同様
のことが可能である。
おいては、内挿位置とカウンタ値の間の位相差が±90
度以下(±1象限分以下)の場合に、内挿位置とカウン
タ値の不連続が補正されることを示したが、本実施の形
態4においては、S/H時間とカウンタの処理時間との大
きさによって、内挿位置とカウンタ値の間に±90度を
こえる位相差が発生した場合に、その位相差を低減する
方法について説明する。図4は、この実施の形態4によ
る位置検出装置の構成を示す図で、図1に示した実施の
形態1のものと同一部分または相当部分には、同一符号
を付している。マイクロプロセッサ5内には、実施の形
態1の構成に加えて、移動速度を検出する速度検出部5
eと、内挿位置演算部5cからの内挿位置を上記移動速
度に応じて補正し、補正後の内挿位置を合成位置演算部
5dに出力する位相補正演算部5fとを設けている。
位置を求める処理、および2相信号を矩形波に整形し
て、2逓倍で計数されたカウンタ値をその「偶数」「奇
数」によって修正する処理については、実施の形態1と
同一であるので、説明を省略する。ここでは、求められ
た上記内挿位置を検出対象の移動速度に応じて補正する
位相補正演算部5fの処理について、図5のフローチャ
ートおよび図6の波形を参照しながら説明する。まず、
速度検出部5eが得た移動速度vに定数Lを積算した値
を内挿位置演算部5cで求めた内挿位置mに加算し、
m’とする(T1)。この定数Lは、カウンタ処理時間
からS/H時間を減じた値である。これにより、図6の
で示した内挿位置mの波形に対して、m’の波形はで
示したようになる。この場合は、S/H時間がカウンタ処
理時間より長いため定数Lが負の値をとるため、m’の
波形はmの波形よりvLの大きさだけ下がったものとな
る。
越えている場合は(T2でYesのとき)、m’は2象
限の値ではなくて3象限か4象限の値なので、内挿位置
m’から「2」を減算した値を補正後の内挿位置m”と
する(T3)。また、m’が内挿位置の最小値P1より
小さい場合は(T2でNo、T4でYesのとき)、
m’は3象限の値ではなくて2象限か1象限の値なの
で、内挿位置m’に「2」を加算した値を補正後の内挿
位置m”とする(T5)。m’が内挿位置の最小値から
最大値の間の値であれば(T2でNo、T4でNoのと
き)、m’をそのまま補正後の内挿位置m”に代入する
(T6)。最後に、求めた補正後の内挿位置m”の値を
合成位置演算部5dに出力する(T7)。図6の場合で
は(P1=−1,P2=1)、に示したm’の波形
で、内挿位置の最小値P1=−1より小さくなる部分
(斜線部)が発生するので、その部分を+2することに
より、−1から+1まで連続した補正後の内挿位置m”
の波形が得られる。また、S/H時間による位相遅れが低
減されている。以上により、内挿位置とカウンタ値の位
相差が±90度をこえる場合でも、位相補正後の内挿位
置とカウンタ値との位相差は±90度以下に低減するこ
とができる。位相差が±90度以下になれば、得られた
補正後の内挿位置m”を新たに内挿位置として上記実施
の形態1と同様の処理を行うことにより、誤差のない位
置検出が可能となる。
電が発生した場合には、そのときの検出対象の位置、内
挿位置、およびカウンタ値の情報が消滅してしまうの
で、電源復帰時には、再度検出対象の位置に応じたカウ
ンタ値の設定を行う必要がある。そこで、電源投入時に
少なくとも1回、検出対象の内挿位置に基づいてカウン
タ値を初期化することにより、停電時のバッテリバック
アップが無くても、常に正確な位置検出が可能となる。
本実施の形態5による位置検出装置の構成を図7に示
す。これは、図4に示した実施の形態4の構成に加え
て、モータを駆動するドライバ10、およびその位置を
制御する位置制御演算部5gと、フィードバック信号を
切り替えるスイッチ5hとをマイクロプロセッサ5内に
設けたものである。このような位置検出装置において
は、まず電源投入時に、図8のフローチャートに示す処
理を行うことによりカウンタ値の初期化を行う。まず、
上記スイッチ5hを内挿位置側にし(U1)、上記位置
制御演算部5gの指令位置として1象限か4象限の内挿
位置Mを設定し(U2)、上記ドライバ10と上記位置
制御演算部5gを有効にする(U3)。モータが駆動さ
れその内挿位置が上記指令位置Mに近づいたら(U4で
Yesのとき)、カウンタ値を「偶数」に初期化し(U
5)、上記スイッチ5hを合成位置側にする(U6)。
以上により、以後モータが移動しても、カウンタ値が
「偶数」のとき2相信号は1象限か4象限になり、「奇
数」のときは2象限か3象限になるため、正常に合成位
置が検出できる。ただし、上記説明において「偶数」と
「奇数」を読み替えても、4象限と2象限、1象限と3
象限とを読み替えてもよい。
れているので、以下に示すような効果を奏する。
コーダから得られる2相信号をもとに、ある象限と次の
象限との象限境界で初期化されるような内挿位置と、上
記2相信号の矩形波を上記象限境界に相当する位置以外
において基本周期の2逓倍で計数したカウンタ値に対し
て、カウンタ値が上記象限境界またはその近傍に相当す
る位置における値である場合には、その時の内挿位置が
上記象限境界直前の象限の値であればカウンタ値を
「1」減算し、内挿位置が上記象限境界直後の象限の値
であればカウンタ値を「1」加算し、このカウンタ値と
上記内挿位置との和を合成位置として検出するようにし
たので、内挿位置とカウンタ値の位相差が生じた場合に
も連続した合成位置が得られ、誤差のない位置検出が可
能となる。
2象限と3象限の間または4象限と1象限の間とし、カ
ウンタはcos矩形波の立ち上がりおよび立ち下がりをカ
ウントするものとし、カウンタ値の偶数/奇数の種別に
より、上記内挿位置が初期化される象限境界を挟む2つ
の象限(以下、第1の2象限と称す)か、それ以外の2
つの象限(以下、第2の2象限と称す)かを判別し、上
記第1の2象限では、その時の内挿位置が2象限または
4象限の値であればカウンタ値を「1」減算し、内挿位
置が3象限または1象限の値であればカウンタ値を
「1」加算するようにしたので、内挿位置とカウンタ値
の位相差が生じた場合にも連続した合成位置が得られ、
誤差のない位置検出が可能となる。
1象限と2象限の間または3象限と4象限の間とし、カ
ウンタはsin矩形波の立ち上がりおよび立ち下がりをカ
ウントするものとし、カウンタ値の偶数/奇数の種別に
より、上記内挿位置が初期化される象限境界を挟む2つ
の象限(以下、第1の2象限と称す)か、それ以外の2
つの象限(以下、第2の2象限と称す)かを判別し、上
記第1の2象限では、その時の内挿位置が1象限または
3象限の値であればカウンタ値を「1」減算し、内挿位
置が2象限または4象限の値であればカウンタ値を
「1」加算するようにしたので、内挿位置とカウンタ値
の位相差が生じた場合にも連続した合成位置が得られ、
誤差のない位置検出が可能となる。
間差によって両者の間±1象限分をこえる位相差が生じ
る場合、検出対象の上記処理時間差分の移動距離を求め
て内挿位置に加算し、この加算値が内挿位置の最大値よ
り大きい場合は上記加算値から「2」減算した値を補正
内挿位置とし、上記加算値が内挿位置の最小値より小さ
い場合は、上記加算値に「2」を加算した値を補正内挿
位置とすることにより、上記位相差を1象限分以下に補
正することができるので、高速移動時にも連続で高分解
能な位置検出が可能となる。
と上記検出対象の位置を制御する位置制御手段とを備
え、電源投入後に少なくとも1回内挿位置を制御し、カ
ウンタ値を初期化するようにしたので、電源OFF時に
カウンタのバッテリバックアップが不要である。
検出装置の構成を示す図である。
成の過程を示す図である。
とカウンタ値との位相差を修正する処理の流れを示すフ
ローチャートである。
の構成を示す図である。
とカウンタ値との位相差を修正する処理の流れを示すフ
ローチャートである。
成の過程を示す図である。
の構成を示す図である。
自動初期化処理の流れを示すフローチャートである。
の過程を示す図である。
カウンタ値との位相差によって生じる誤差を示す図であ
る。
タ、5 マイクロプロセッサ、5c 内挿位置演算部、
5d 合成位置演算部、5e 速度検出部、5f スイ
ッチ、5g 位置制御演算部、8 2逓倍U/Dカウン
タ、10 ドライバ。
Claims (5)
- 【請求項1】 モータなど検出対象に取り付けられたエ
ンコーダから得られる2相信号(sin信号およびcos信
号)をA/D変換した値にもとづき象限(1象限〜4象
限)を判断し、その象限の進行につれて上記2相信号の
基本周期(4つの象限分)で連続して増加し、ある象限
と次の象限との象限境界で初期化される内挿位置と、上
記2相信号をコンパレータにより矩形波に整形し、その
矩形波の立ち上がりまたは立ち下がりをカウンタにより
計数したカウンタ値との合成値を上記検出対象の位置と
する位置検出装置において、 上記内挿位置は、任意の数pに対して「p」から「p+
2」まで連続して増加し、上記象限境界で「p+2」か
ら「p」に初期化されるものとし、上記カウンタは、上
記象限境界に相当する位置以外での上記矩形波の立ち上
がりまたは立ち下がりに対して、上記2相信号の基本周
期を2逓倍で係数(2つの象限分で「1」をカウント)
するものとし、上記カウンタ値が上記象限境界またはそ
の近傍に相当する位置における値である場合、その時の
内挿位置が上記象限境界直前の象限の値であれば当該カ
ウンタ値を「1」減算し、当該内挿位置が上記象限境界
直後の象限の値であれば当該カウンタ値を「1」加算す
ることを特徴とする位置検出装置。 - 【請求項2】 2象限と3象限の間または4象限と1象
限の間を象限境界として内挿位置を初期化し、カウンタ
はcos矩形波の立ち上がりおよび立ち下がりでカウント
するものとし、カウンタ値の偶数/奇数の種別により、
上記内挿位置が初期化される象限境界を挟む2つの象限
(以下、第1の2象限と称す)か、それ以外の2つの象
限(以下、第2の2象限と称す)かを判別し、該第2の
2象限では、当該カウンタ値と当該内挿位置との和を合
成値とし、上記第1の2象限では、当該内挿位置が上記
象限境界の直前(2象限または4象限)の値であれば当
該カウンタ値を「1」減算した値と当該内挿位置との和
を合成値とし、当該内挿位置が上記象限境界直後(3象
限または1象限)の値であれば当該カウンタ値を「1」
加算した値と当該内挿位置との和を合成値とすることを
特徴とする請求項1記載の位置検出装置。 - 【請求項3】 1象限と2象限の間または3象限と4象
限の間を象限境界として内挿位置を初期化し、カウンタ
はsin矩形波の立ち上がりおよび立ち下がりでカウント
するものとし、カウンタ値の偶数/奇数の種別により、
上記内挿位置が初期化される象限境界を挟む2つの象限
(以下、第1の2象限と称す)か、それ以外の2つの象
限(以下、第2の2象限と称す)かを判別し、該第2の
2象限では、当該カウンタ値と当該内挿位置との和を合
成値とし、上記第1の2象限では、当該内挿位置が上記
象限境界の直前(1象限または3象限)の値であれば当
該カウンタ値を「1」減算した値と当該内挿位置との和
を合成値とし、当該内挿位置が上記象限境界直後(2象
限または4象限)の値であれば当該カウンタ値を「1」
加算した値と当該内挿位置との和を合成値とすることを
特徴とする請求項1記載の位置検出装置。 - 【請求項4】 内挿位置を求める内挿処理とカウンタ処
理との処理時間差によって両者の間に±1象限分をこえ
る位相差が生じる場合、検出対象の上記処理時間差分の
移動距離を求めて内挿位置に加算し、この加算値が内挿
位置の最大値「p+2」より大きい場合は、上記加算値
から「2」を減算した値を補正内挿位置とし、上記加算
値が内挿位置の最小値「p」より小さい場合は、上記加
算値に「2」を加算した値を補正内挿位置とし、それ以
外は上記加算値を補正内挿位置とすることにより得られ
る「p」から「p+2」まで連続して増加する補正内挿
位置を新たに内挿位置とすることを特徴とする請求項1
ないし3のいずれかに記載の位置検出装置。 - 【請求項5】 モータなどの検出対象を駆動するドライ
バと上記検出対象の位置を制御する位置制御手段とを備
え、電源投入後に少なくとも1回内挿位置信号をフィー
ドバックした位置制御系を構成し、上記内挿位置が設定
された値になるように上記検出対象を移動させた後、上
記カウンタ値に設定された値を設定することで上記カウ
ンタ値を初期化することを特徴とする請求項1ないし4
のいずれかに記載の位置検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04366398A JP3513383B2 (ja) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | 位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP04366398A JP3513383B2 (ja) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | 位置検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11241927A JPH11241927A (ja) | 1999-09-07 |
JP3513383B2 true JP3513383B2 (ja) | 2004-03-31 |
Family
ID=12670103
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP04366398A Expired - Fee Related JP3513383B2 (ja) | 1998-02-25 | 1998-02-25 | 位置検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3513383B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4274751B2 (ja) | 2001-07-03 | 2009-06-10 | オリンパス株式会社 | エンコーダ |
JP5932285B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2016-06-08 | キヤノン株式会社 | エンコーダおよびこれを備えた装置 |
JP5936479B2 (ja) * | 2012-08-03 | 2016-06-22 | キヤノン株式会社 | 計測装置、リソグラフィー装置、および物品の製造方法 |
JP5936478B2 (ja) * | 2012-08-03 | 2016-06-22 | キヤノン株式会社 | 計測装置、リソグラフィー装置、および物品の製造方法 |
JP6077389B2 (ja) | 2013-05-28 | 2017-02-08 | 株式会社東芝 | 信号処理装置 |
CN114324824A (zh) * | 2022-01-04 | 2022-04-12 | 上海市地矿工程勘察(集团)有限公司 | 一种监测点位设置系统及方法 |
-
1998
- 1998-02-25 JP JP04366398A patent/JP3513383B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11241927A (ja) | 1999-09-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6278388B1 (en) | Method of converting an analog signal to digital signal by digitalizing error deviation | |
US5625310A (en) | Signal processing apparatus and displacement detecting apparatus using the same | |
JPH05292753A (ja) | Pwmインバータの電流検出方法 | |
GB1559457A (en) | Absolute resolver digitzer | |
JP3513383B2 (ja) | 位置検出装置 | |
EP1752740B1 (en) | Method and Circuit for interpolating an Encoder Output | |
US5079549A (en) | Digital resolver with a synchronous multiple count generation | |
JP3365063B2 (ja) | 回転角度検出方法 | |
JP2001197725A (ja) | Pwmパルスの発生方法 | |
JPH0947065A (ja) | モータ駆動制御装置 | |
JP2941790B1 (ja) | パルス計数器 | |
JP3007268B2 (ja) | 鋸歯状波発生装置及びそれを用いた信号補間装置 | |
US7088072B2 (en) | Motor control system | |
JP2943323B2 (ja) | Pwmインバータの出力電流検出方法 | |
JP3365913B2 (ja) | 位置検出装置 | |
JP2506856B2 (ja) | モ―タの回転速度制御装置 | |
EP2144041A2 (en) | A/B phase signal generator, RD converter, and angle detection unit | |
JP2574396B2 (ja) | 速度誤差検出装置 | |
JP2776972B2 (ja) | 回転角度信号処理装置 | |
JPH07294285A (ja) | センサ信号処理方法および装置 | |
JP2795443B2 (ja) | 位置検出信号の処理方式 | |
JP2007333669A (ja) | エンコーダ信号処理回路及びモータ制御システム | |
JPH0529045B2 (ja) | ||
JP3314793B2 (ja) | 位置決め制御装置 | |
JP3122457B2 (ja) | パルス分周器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20031224 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040109 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080116 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090116 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100116 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100116 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110116 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120116 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130116 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |