JP3507597B2 - 感光性組成物及び感光性着色組成物 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、印刷工業における各種
の製版材料やＵＶ硬化インキ、電子工業における精密部
品加工のためのフォトレジスト等へ広く利用されている
感光性組成物に関するものであり、更に詳しくは、カラ
ー液晶ディスプレイ、又は、カラービデオカメラ用に使
用されるカラーフィルタを製造する際に用いる感光性組
成物及び感光性着色組成物に関する。

【０００２】

【従来の技術】色素、主に顔料を用いたカラーフィルタ
の製造方法としては、以下の（Ａ）〜（Ｃ）の方法が知
られている。

【０００３】（Ａ）顔料をアクリル樹脂中に分散剤等に
より分散し（以下、この状態で着色組成物と称する）、
この着色組成物をガラス基板にコートして乾燥後、その
上に、感光性レジスト材料（ヘキスト（株）製：「Ａ
Ｚ」等のポジレジスト）をコートして乾燥し、次いでマ
スクを用いて露光し、その後現像してレジストのパター
ンを形成し、更に、レジストのない部分をエッチングに
より除去して、着色物組成物のパターンを形成する。そ
の後、着色組成物のパターン上の不要となったレジスト
を剥離してカラーフィルタを完成させる方法（特開昭６
０−２３７４０３号公報参照）。

【０００４】（Ｂ）上記（Ａ）と同様の着色組成物中
に、ビスアジド化合物、ジアゾ化合物等の感光剤を添加
して着色組成物に感光性を付与し、これを基板上にコー
トし、乾燥後、露光・現像を行い、着色パターンを得る
形成方法（特開平２−１８１７０４号公報参照）。

【０００５】（Ｃ）上記（Ａ）と同様の着色組成物中
に、感光剤として光重合開始剤と光重合性モノマーを添
加して着色組成物に感光性を付与し、これを基板上にコ
ート、乾燥後、ＰＶＡ等からなる酸素遮断膜を形成し、
露光・現像を行い着色パターンを得る方法（特開平２−
１４４５０２号参照）。この場合、光重合開始剤として
は、アセトフェノン、ベンジルジメチルケタール等が使
用される。

【０００６】尚、この（Ｃ）の方法において、酸素遮断
膜を形成するのは次のような理由による。すなわち、光
重合開始剤を着色組成物に添加するこの方法では、光重
合反応が連鎖的に進むため、着色組成物を露光する際の
感度が上記（Ｂ）のタイプよりも多少高い。しかし、こ
の（Ｃ）の方法の着色組成物は酸素によって光重合反応
が阻害されるため、酸素雰囲気下ではパターニングがし
難く、かなり多くの露光量が必要となる。そこで、この
ような影響を着色組成物が受けないようにするためＰＶ
Ａ等の酸素遮断膜を形成する。

【０００７】しかしながら、上述したような組成物を用
いる従来のカラーフィルタの製造方法において、（Ａ）
の製造方法では、着色組成物自体に感光性がないため
に、着色組成物とは別個に感光性レジストをコートし、
パターニング、その後エッチングし、最後に不要となっ
たレジストを剥離する必要があり工程が長く、収率が低
下するという製造上の不利益がある。

【０００８】（Ｂ）の製造方法では、着色組成物自体に
感光性を持たせているので、（Ａ）のような不利益はな
いが、アクリル樹脂中に色素が含まれており感度が低
く、かなりの露光量を必要とするという欠点がある。ま
た、現像液の一部として有機溶媒を用いている為、材料
コスト、廃液処理、取り扱い方法等いくつかの問題があ
る。

【０００９】（Ｃ）の製造方法では、上記（Ｂ）同様ア
クリル樹脂中に色素が含まれており感度が低く多くの露
光量が必要である。また、ＰＶＡ等の酸素遮断膜の形成
が必要であり工程が長く、収率が低下する等製造上の不
利益がある。

【００１０】そこで、上述したような問題点の解決策と
して、重合開始剤にトリアジン系重合開始剤、光重合性
モノマー、有機重合結合体、色素から成る感光性組成物
を用いて製造する方法（特開平０６−２０１９１３号公
報参照）があるが、用いられている光重合開始剤は経時
とともに感光層表面に移動して析出し、更には凝集し結
晶化する現象が起こり、経時安定性が悪いという問題点
がある。また、溶剤に対する溶解性が低いため、感光性
組成物を調合する際、加熱、又は長時間攪拌しなければ
ならず、作業性が悪い。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題点を解決するためになされたものであり、その課題と
するところは、高信頼性、高感度であり、経時安定性が
高く、また溶解性が高いため、作業性良く調合できる感
光性組成物及び感光性着色組成物を提供することにあ
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１に係
る発明は、光重合性モノマー、溶剤、及び

【化２】 ［但し、式中、Ｒは、Ｃ_nＨ_2n+1（ｎは０〜８の整
数）、ＣＨ₂ＣＯＯＣ_nＨ_2n+1（ｎは０〜８の整数）、Ｃ
Ｈ₂ＣＯＯＣ_nＨ_2nＯＣ_mＨ_2m+1（ｎは２〜８の整数、ｍ
は１〜８の整数）、ＣＨ₂ＣＯＯ-cyclo-Ｃ_nＨ_2n-1（ｎ
は５〜８の整数）、又は、Ｃ_nＨ_2nＯＣ₆Ｈ₅（ｎは１〜
８の整数）を表す。］に示される光重合開始剤を主成分
とすることを特徴とする感光性組成物であり、請求項２
記載の発明に係る感光性組成物は、アクリル系共重合
体、光重合性モノマー、溶剤、及び、請求項１に記載の
化学式（１）に示される光重合開始剤を主成分とするこ
とを特徴とし、また、請求項３記載の発明に係る感光性
組成物は、イソシアネート基を有するスチレン−アクリ
ル系共重合体、光重合性モノマー、溶剤、及び、請求項
１に記載の化学式（１）に示される光重合開始剤を主成
分とすることを特徴とする。

【００１３】 次に、請求項４に係る発明は、アクリル
系共重合体、光重合性モノマー、色素、分散剤、溶剤、
及び、請求項１に記載の化学式（１）に示される光重合
開始剤を主成分とすることを特徴とする感光性着色組成
物であり、請求項５記載の発明に係る感光性着色組成物
は、イソシアネート基を有するスチレン−アクリル系共
重合体、光重合性モノマー、色素、分散剤、溶剤、及
び、請求項１に記載の化学式（１）に示される光重合開
始剤を主成分とすることを特徴とし、また、請求項６に
係る発明は、請求項４又は５記載の発明に係る感光性着
色組成物を前提とし、上記分散剤が顔料の誘導体である
ことを特徴とするものである。

【００１４】以下、本発明について詳細に説明すると、
まず、本発明において適用される光重合性モノマーとし
ては、２官能、３官能、多官能モノマーがあり、２官能
モノマーとして、１，６−ヘキサンジオールジアクリレ
ート、エチレングリコールジアクリレート、ネオペンチ
ルグリコールジアクリレート、トリエチレングリコール
ジアクリレート等があり、３官能モノマーとして、トリ
メチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリ
トールトリアクリレート等があり、多官能モノマーとし
て、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ジ
ペンタエリスリトールペンタアクリレート等があり、こ
れらのモノマーは、昭和高分子（株）、東亜合成化学工
業（株）、日本化薬（株）等の市販品がある。尚、以下
に述べるアクリル系共重合体等と併用される場合、この
光重合性モノマーの添加量は、特に限定されるものでは
ないが、アクリル系共重合体１００重量部に対して２０
〜１５０重量部程度である。

【００１５】また、上記溶剤としては、メタノール、エ
タノール、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテ
ート、ジグライム、シクロヘキサノン、エチルベンゼ
ン、キシレン、酢酸イソアミル、酢酸ｎアミル、プロピ
レングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコ
ールモノエチルエーテル、ジエチレングリコール、ジエ
チレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリ
コールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ
ブチルエーテル、トリエチレングリコール、トリエチレ
ングリコールモノメチルエーテル、液体ポリエチレング
リコール、１ーメトキシー２ープロパノール、ジプロピ
レングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリ
コールモノエチルエーテル、乳酸エステル等が用いられ
るが、併用されるアクリル系共重合体のモノマー組成、
光重合開始剤等によって異なるので単一又は複数の溶剤
組成の溶剤を適宜選択される。

【００１６】次に、本発明において適用される光重合開
始剤は、

【化３】 ［但し、式中、Ｒは、Ｃ_nＨ_2n+1（ｎは０〜８の整
数）、ＣＨ₂ＣＯＯＣ_nＨ_2n+1（ｎは０〜８の整数）、Ｃ
Ｈ₂ＣＯＯＣ_nＨ_2nＯＣ_mＨ_2m+1（ｎは２〜８の整数、ｍ
は１〜８の整数）、ＣＨ₂ＣＯＯ-cyclo-Ｃ_nＨ_2n-1（ｎ
は５〜８の整数）、又は、Ｃ_nＨ_2nＯＣ₆Ｈ₅（ｎは１〜
８の整数）を表す。］で示される化合物であり、具体的
には、２−（９−ｎ−ブチル−３−カルバゾリル）−
４，６−ビス−トリクロルメチル−ｓ−トリアジン、２
−（９−エトキシカルボニルメチル−３−カルバゾリ
ル）−４，６−ビス−トリクロルメチル−ｓ−トリアジ
ン、２−（９−ｎ−オクチル−３−カルバゾリル）−
４，６−ビス−トリクロルメチル−ｓ−トリアジン、２
−〔９−（２−フェノキシエチル）−３−カルバゾリ
ル〕−４，６−ビス−トリクロルメチル−ｓ−トリアジ
ン等が例示されると共に、下記化学式（２）で示される
２−（Ｎ−イソアミロキシカルボニルメチル−３’−カ
ルバゾリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ
−トリアジン、下記化学式（３）で示される２−〔Ｎ−
（２”−メトキシ−１”−メチルエトキシカルボニルメ
チル）−３’−カルバゾリル〕−４，６−ビス（トリク
ロロメチル）−ｓ−トリアジン、下記化学式（４）で示
される２−（Ｎ−シクロヘキシロキシカルボニルメチル
−３’−カルバゾリル）−４，６−ビス（トリクロロメ
チル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。

【００１７】

【化４】

【化５】

【化６】 また、上記化学式（１）で示される光重合開始剤に、ア
セトフェノン系化合物として、２−メチル−２−モルホ
リノ（４−チオメチルフェニル）プロパン１−オン、ジ
エトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル
−１−フェニル（４−ドデシル）プロパン−１−オン
等、ベンゾフェノン系化合物として、ベンゾフェノン、
３、３−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、ｏ−
ベンゾイル安息香酸メチル等、イミダゾール系化合物と
して、２−（２，３−ジクロロフェニル）−４，５−ジ
フェニル−イミダゾール二量体、２−（２，３−ジクロ
ロフェニル）−４，５−ビス（３−メトキシフェニル）
−イミダゾール二量体、２−（２，３−ジクロロフェニ
ル）−４，５−ビス（４−メトキシフェニル）−イミダ
ゾール二量体、２−（２，３−ジクロロフェニル）−
４，５−ビス（４−クロロフェニル）−イミダゾール二
量体、２−（２，３−ジクロロフェニル）−４，５−ジ
（２−フリル）−イミダゾール、２，２’−ビス（２−
クロロフェニル）−４，５，４’，５’−テトラフェニ
ル−１−２’−ビイミダゾール等、チオキサンソン系化
合物として、２，４−ジエチルチオキサンソン、２，４
−ジイソプロピルチオキサンソン、２，４−ジメチルチ
オキサンソン等、ベンゾイン系化合物として、ベンジル
メチルケタール、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベ
ンゾインイソブチルエーテル等、アミン系化合物とし
て、４，４−ジエチルアミノフェノン、４−ジメチルア
ミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソ
アミル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシ
ル、４，４−ジメチルアミノベンゾフェノン等から１種
又は２種以上の化合物を混合し光重合開始剤として用い
てもよい。

【００１８】尚、光重合開始剤の添加量については特に
限定されるものではないが、上記化学式（１）で示され
る化合物は光重合性モノマー１００重量部に対して１〜
５０重量部、好ましくは５〜３０重量部、アセトフェノ
ン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、イミダゾール系
化合物、チオキサンソン系化合物、ベンゾイン系化合
物、アミン系化合物については、光重合性モノマー１０
０重量部に対して１〜４０重量部、好ましくは５〜２０
重量部の割合で添加される。

【００１９】次に、請求項２若しくは４に係る発明にお
いて適用されるアクリル系共重合体としては、モノマー
の一般式が

【化７】 からなる（ａ）（ｂ）（ｃ）を少なくとも１種ずつ含
み、（ａ）１０〜２５重量部、（ｂ）１０〜３０重量部
（ｃ）４０〜８０重量部の共重合体が耐熱性、現像性等
の点から好ましく使用できる。

【００２０】また、請求項３若しくは５に係る発明にお
いて適用されるイソシアネート基を有するスチレン−ア
クリル系共重合体としては、モノマーの一般式が

【化８】 からなる（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）を少なくとも１種ず
つ含み、（ａ）５〜５５重量部、（ｂ）１０〜４０重量
部、（ｃ）１０〜３０重量部、（ｄ）０〜７５重量部か
らなるビニル系共重合体に、イソシアネートエチルアク
リレート、メタクリロイルイソシアネート等イソシアネ
ート基と少なくとも１個以上のビニル基を有する化合物
を５〜２５モル％反応させて得られる酸価５０〜１５０
の感光性共重合体が耐熱性、現像性等の点から好ましく
使用できる。

【００２１】次に、請求項４〜６記載の発明に係る感光
性着色組成物に適用される色素としては染料や顔料があ
るが、耐熱性、耐光性の面から顔料が望ましい。

【００２２】上記顔料としては、ＲｅｄとしてはＣ．
Ｉ．Ｎo.９、９７、１２２、１２３、１４９、１６８、
１７７、１８０、１９２、２１５等、Ｇｒｅｅｎとして
はＣ．Ｉ．Ｐｉｇ．７、３６、ＢｌｕｅとしてはＣ．
Ｉ．Ｎo.１５、２２、６０、６４等、Ｙｅｌｌｏｗとし
てはＣ．Ｉ．Ｎｏ．２０、２４、８３、８６、９３、１
０９、１１０、１１７、１３９、１５３等、バイオレッ
トとしては、Ｃ．Ｉ．Ｎｏ．１９、２３、２９、３０、
４０、５０等、ブラックとしてはＣ．Ｉ．Ｎｏ．７等が
一般的に用いられる。

【００２３】また、この感光性着色組成物に適用される
分散剤としては、界面活性剤、顔料の中間体、染料の中
間体、ソルスパース［ゼネカ（株）社製商品名］等の広
範囲のものが使用される。好ましくは、有機色素の誘導
体であり、母体となる有機色素としてはアゾ系、フタロ
シアニン系、キナクリドン系、アントラキノン系、ベリ
レン系、チオインジコ系、ジオキサン系、金属錯塩系で
ある。これらの有機色素に置換基を有し、色素の分散に
有効な誘導体が用いられる。置換基としては、水酸基、
カルボキシル基、スルホン基、カルボンアミド基、スル
ホンアミド基、あるいは、

【化９】 で示されるいずれかの置換基である。これらの置換基か
ら選ばれる少なくとも１種の置換基を有する誘導体が用
いられる。

【００２４】尚、本発明に使用する色素と分散剤の母体
有機色素とは、通常相の関係から同一のものが組み合わ
されるが、必ずしも一致している必要はない。

【００２５】また、分散の際の組成の割合は、特に限定
されるものではないが、アクリル系共重合体に対する顔
料の添加量はアクリル系共重合体１００重量部に対して
５０〜１５０重量部程度であり、分散剤は顔料１００重
量部に対して１〜１０重量部程度である。また、カラー
フィルタの分光調整の為には任意の顔料を２〜３点混ぜ
合わせて調整する。

【００２６】 この様に請求項１〜６に係る発明によれ
ば、請求項１に記載の化学式（１）で示される光重合開
始剤が適用されその感光性が良好なため、この感光性組
成物若しくは感光性着色組成物は、酸素遮断膜なしでも
パターンの形成が可能であり、また、経時による上記光
重合開始剤の感光層表面での析出がないため経時安定性
に優れている。

【００２７】 更に、請求項１に記載の化学式（１）で
示される光重合開始剤は溶剤に対する溶解性が高く、感
光性組成物の調合が容易なため、液晶ディスプレイ用の
カラーフィルタやスキャナー等のカラーフィルタを製造
するに際しその作業性の改善が図れる。

【００２８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て具体的実施例を挙げて説明する。

【００２９】［実施例１］アクリル系共重合体［（ａ）
メタクリル酸２０重量部、（ｂ）ヒドロキシエチルメタ
クリレート１５重量部、（ｃ）メチルメタクリレート１
０重量部、（ｃ）ブチルメタクリレート５５重量部をエ
チルセロソルブ３００重量部に溶解し、窒素雰囲気下で
アゾビスイソブチルニトリル０．７５重量部を加えて７
０℃、５時間反応により得られたアクリル樹脂］を樹脂
濃度１０％になるようにエチルセロソルブで希釈した。
この希釈樹脂９０．１ｇに対し、顔料９．０ｇ、分散剤
０．９ｇを添加して、３本ロールで十分混練して、青
色、赤色、緑色の着色組成物を作成した。

【００３０】次に、各着色組成物１００ｇに対し、 トリメチロールプロパンアクリレート ０．４ｇ

【化１０】 ０．０２ｇ ２，２−ビス（２−クロロフェニル）− ４，５，４’，５’−テトラフェニル− １−２’−ビイミダゾール ０．０２ｇ を加えて良く攪拌し感光性着色組成物とした。

【００３１】次いで、基板上にｒ−グリシドキシプロピ
ルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン
乾燥させ、かつ、各感光性着色組成物をスピンコート
（１０００r.p.ｍ、４０秒間）し乾燥させた。７０℃で
２０分間プリベークを行った後、画素サイズ３０μｍ×
１００μｍのマスクを用いて露光した。次に、２．５％
炭酸ナトリウム溶液で現像後良く水洗し、かつ、柔らか
いスポンジでこすり基板に付着した顔料を除去し、更に
水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定
着させた。尚、各色の露光量は共に１５０ｍＪ／cm² で
あった。

【００３２】また、各感光性着色組成物をスピンコート
した後、１０日以上放置しても光重合開始剤の析出はな
かった。

【００３３】［実施例２］スチレン−アクリル系感光性
共重合体［（ａ）スチレン２６．３重量部、（ｂ）２−
ヒドロキシメタクリレート４３．８重量部、（ｃ）メタ
クリル酸３５重量部、（ｄ）メタクリル酸エチル７０重
量部をエチルセロソルブ１７５重量部に溶解し、窒素雰
囲気下でアゾビスイソブチルニトリル０．７５重量部を
加え９０℃、５時間反応させた。次いで、イソシアネー
トエチルメタクリレート２３．５重量部、オクチル酸錫
０．１１重量部をエチルセロソルブ２０重量部で溶解し
たものを約１０分で滴下し、滴下後２時間反応させ、得
られたスチレン−アクリル系感光性共重合体］を樹脂濃
度１０％になるようにエチルセロソルブで希釈した。こ
の感光性共重合体９０．１ｇに対し、顔料９．０ｇ、分
散剤０．９ｇを添加して、３本ロールで十分混練し青
色、赤色、緑色の着色組成物を作成した。

【００３４】次に、各着色組成物１００ｇに対し、 トリメチロールプロパンアクリレート ０．４ｇ

【化１１】 ０．０２ｇ を加えて良く攪拌し、感光性着色組成物とした。

【００３５】次いで、基板上にｒ−グリシドキシプロピ
ルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン
乾燥させ、かつ、各感光性着色組成物をスピンコート
（１０００r.p.ｍ、４０秒間）し乾燥させた。７０℃で
２０分間プリベークを行った後、画素サイズ３０μｍ×
１００μｍのマスクを用いて露光した。次に、２．５％
炭酸ナトリウム溶液で現像後良く水洗し、かつ、柔らか
いスポンジでこすり基板に付着した顔料を除去し、更に
水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定
着させた。尚、各色の露光量は共に１５０ｍＪ／cm² で
あった。

【００３６】また、各感光性着色組成物をスピンコート
した後、１０日以上放置しても光重合開始剤の析出はな
かった。

【００３７】［実施例３］上記化学式（５）で示される
化合物に代えて下記化学式（３）で示される２−〔Ｎ−
（２”−メトキシ−１”−メチルエトキシカルボニルメ
チル）−３’−カルバゾリル〕−４，６−ビス（トリク
ロロメチル）−ｓ−トリアジンを適用し、かつ、実施例
１と同一の配合割合並びに製造条件で感光性着色組成物
を得た。

【００３８】

【化１２】 そして、基板上にｒ−グリシドキシプロピルメチルエト
キシシランをスピンコートして良くスピン乾燥させ、か
つ、各感光性着色組成物をスピンコート（１０００r.p.
ｍ、４０秒間）し乾燥させた。７０℃で２０分間プリベ
ークを行った後、画素サイズ３０μｍ×１００μｍのマ
スクを用いて露光した。次に、２．５％炭酸ナトリウム
溶液で現像後良く水洗し、かつ、柔らかいスポンジでこ
すり基板に付着した顔料を除去し、更に水洗乾燥後、２
３０℃で１時間ベークしてパターンを定着させた。尚、
各色の露光量は共に１５０ｍＪ／cm² であった。

【００３９】また、各感光性着色組成物をスピンコート
した後、１０日以上放置しても光重合開始剤の析出はな
かった。

【００４０】［実施例４］上記化学式（５）で示される
化合物に代えて下記化学式（３）で示される２−〔Ｎ−
（２”−メトキシ−１”−メチルエトキシカルボニルメ
チル）−３’−カルバゾリル〕−４，６−ビス（トリク
ロロメチル）−ｓ−トリアジンを適用し、かつ、実施例
２と同一の配合割合並びに製造条件で感光性着色組成物
を得た。

【００４１】

【化１３】 そして、この実施例に係る各色別の感光性着色組成物に
ついて実施例２と同一の条件でその適用を試みたとこ
ろ、実施例２に係る感光性着色組成物と同一の特性を具
備していた。また、各感光性着色組成物をスピンコート
した後、１０日以上放置しても実施例２と同様に光重合
開始剤の析出はなかった。

【００４２】［比較例１］実施例１と同一の条件で青、
緑、赤の着色組成物を作製した。

【００４３】次に、各着色組成物１００ｇに対して、ジ
ペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート
０．４ｇ、「イルガキュア９０７」［従来例（Ｃ）に係
るチバガイギー社製光重合開始剤の商品名］０．０２ｇ
を加えて良く攪拌し、感光性着色組成物とした。

【００４４】次いで、基板上にｒ−グリシドキシプロピ
ルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン
乾燥させ、かつ、各感光性着色組成物をスピンコート
（１３００r.p.ｍ、５０秒間）し乾燥させた。７０℃で
２０分間プリベークを行った後、ポリビニルアルコール
５％溶液をコートして酸素遮断膜とした。７０℃２０分
間の乾燥後、所定のマスクを用いて露光後、２．５％炭
酸ナトリウム溶液で現像後良く水洗した。次に柔らかい
スポンジでこすり基板に付着した顔料を除去し、かつ、
水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定
着させた。尚、各色の露光量は、青色；１２００ｍＪ／
cm² 、緑色；２３００ｍＪ／cm² 、赤色；１０００ｍＪ
／cm² であり、実施例１に較べて感度があまりよくなか
った。

【００４５】［比較例２］実施例２と同一の条件で作製
された青、緑、赤の着色組成物が適用されている点を除
き比較例１と同一の条件で感光性着色組成物を得た。

【００４６】尚、この感光性着色組成物は比較例１に係
る感光性着色組成物と同一の特性を有しており実施例２
に較べて感度があまりよくなかった。

【００４７】［比較例３］実施例１と同一の条件で青、
緑、赤の着色組成物を作製した。

【００４８】次に、各着色組成物１００ｇに対して、 トリメチロールプロパンアクリレート ０．４ｇ ２−（ｐ−メトキシスチリル）− ４，６−ビス（トリクロロメチル）− ｓ−トリアジン（従来例に係るトリアジン系重合開始剤） ０．０２ｇ ２，２−ビス（２−クロロフェニル）− ４，５，４’，５’−テトラフェニル− １−２’−ビイミダゾール ０．０２ｇ を加えて良く攪拌し感光性着色組成物とした。

【００４９】次いで、基板上にｒ−グリシドキシプロピ
ルメチルエトキシシランをスピンコートして良くスピン
乾燥させ、かつ、各感光性着色組成物をスピンコート
（１０００r.p.ｍ、４０秒間）し乾燥させた。７０℃で
２０分間プリベークを行った後、画素サイズ３０μｍ×
１００μｍのマスクを用いて露光した。次に、２．５％
炭酸ナトリウム溶液で現像後良く水洗し、かつ、柔らか
いスポンジでこすり基板に付着した顔料を除去し、更に
水洗乾燥後、２３０℃で１時間ベークしてパターンを定
着させた。尚、各色の露光量は、青色；１５０ｍＪ／cm
² ，緑色；２００ｍＪ／cm² ，赤色；１００ｍＪ／cm²
でありその感度は良好であった。

【００５０】しかし、各感光性着色組成物をスピンコー
トした後、２日以上放置すると光重合開始剤の析出が起
こった。

【００５１】［比較例４］実施例２と同一の条件で作製
された青、緑、赤の着色組成物が適用されている点を除
き比較例３と同一の条件で感光性着色組成物を得た。

【００５２】尚、この感光性着色組成物は比較例３に係
る感光性着色組成物と同一の特性を有しており、各感光
性着色組成物をスピンコートした後、２日以上放置する
と光重合開始剤の析出が確認された。

【００５３】

【発明の効果】請求項１〜６に係る発明によれば、請求
項１に記載の化学式（１）で示される光重合開始剤が適
用されているためその感光性が向上し、この感光性組成
物若しくは感光性着色組成物を用いた場合、酸素遮断膜
なしでもパターンの形成が可能となり、かつ、そのパタ
ーン精度の改善も図れる効果を有している。また、上記
光重合開始剤は経時による感光層表面への析出がないた
め、経時安定性に優れた効果を有している。

【００５４】 更に、請求項１に記載の化学式（１）で
示される光重合開始剤は溶剤に対する溶解性が高く、感
光性組成物の調合が容易なため作業性が良い。従って、
本発明に係る感光性組成物若しくは感光性着色組成物を
用いたカラーフィルタ等の製造方法では工程が短くな
り、従来に較べて作業性、生産性が向上する効果を有し
ている。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１ Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１ Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５０５ Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５０５ (72)発明者 冨永 信秀 埼玉県浦和市白幡５丁目２番13号 旭電 化工業株式会社内 (72)発明者 岩倉 収二 埼玉県浦和市白幡５丁目２番13号 旭電 化工業株式会社内 (72)発明者 川原 真樹 埼玉県浦和市白幡５丁目２番13号 旭電 化工業株式会社内 (56)参考文献 特開 平６−201913（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−4787（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−165213（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−133428（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−63054（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−32540（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−212643（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−167804（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−230212（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−200536（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/00 - 7/42

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光重合性モノマー、溶剤、及び 【化１】 ［但し、式中、Ｒは、Ｃ_nＨ_2n+1（ｎは０〜８の整
   数）、ＣＨ₂ＣＯＯＣ_nＨ_2n+1（ｎは０〜８の整数）、Ｃ
   Ｈ₂ＣＯＯＣ_nＨ_2nＯＣ_mＨ_2m+1（ｎは２〜８の整数、ｍ
   は１〜８の整数）、ＣＨ₂ＣＯＯ-cyclo-Ｃ_nＨ_2n-1（ｎ
   は５〜８の整数）、又は、Ｃ_nＨ_2nＯＣ₆Ｈ₅（ｎは１〜
   ８の整数）を表す。］に示される光重合開始剤を主成分
   とすることを特徴とする感光性組成物。
2. 【請求項２】アクリル系共重合体、光重合性モノマー、
   溶剤、及び、請求項１に記載の化学式（１）に示される
   光重合開始剤を主成分とすることを特徴とする感光性組
   成物。
3. 【請求項３】イソシアネート基を有するスチレン−アク
   リル系共重合体、光重合性モノマー、溶剤、及び、請求
   項１に記載の化学式（１）に示される光重合開始剤を主
   成分とすることを特徴とする感光性組成物。
4. 【請求項４】アクリル系共重合体、光重合性モノマー、
   色素、分散剤、溶剤、及び、請求項１に記載の化学式
   （１）に示される光重合開始剤を主成分とすることを特
   徴とする感光性着色組成物。
5. 【請求項５】イソシアネート基を有するスチレン−アク
   リル系共重合体、光重合性モノマー、色素、分散剤、溶
   剤、及び、請求項１に記載の化学式（１）に示される光
   重合開始剤を主成分とすることを特徴とする感光性着色
   組成物。
6. 【請求項６】上記分散剤が顔料の誘導体であることを特
   徴とする請求項４又は５記載の感光性着色組成物。