JP3486490B2

JP3486490B2 - 放射線検出装置

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Publication number: JP3486490B2
Application number: JP25024695A
Authority: JP
Inventors: 晃多胡
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-09-04
Filing date: 1995-09-04
Publication date: 2004-01-13
Anticipated expiration: 2015-09-04
Also published as: JPH0973144A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、対象物に照射され
る放射線量を最適に検出し得る放射線検出装置及び放射
線撮影装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】対象物に放射線を照射し、対象物を透過
した放射線の強度分布を検出し、対象物の放射線画像を
得る方法は、工業用の非破壊検査や医療診断の場で広く
一般に利用されている。

【０００３】対象物の放射線画像を得るための具体的な
撮影方法で最も一般的な方法は、放射線で蛍光を発する
蛍光板（又は増感紙）と銀塩フィルムを組み合わせ、放
射線を対象物を介して照射し、蛍光板で放射線を可視光
に変え、銀塩フィルム上に潜像を形成した後に、この銀
塩フィルムを化学処理し、放射線画像を得る方法であ
る。この撮影方法で得られた放射線画像はアナログ写真
である。

【０００４】一方、近年のデジタル技術の進歩により、
放射線画像を電気画像信号に変換し、この電気画像信号
に画像処理を施した後に可視像としてＣＲＴ等に再生す
ることにより、診断能の高い高画質の放射線画像を得る
ことが行われている。

【０００５】放射線画像を電気信号に変換する方法の一
例として、例えば前述のように蛍光板と銀塩フィルムを
組み合わせて撮影して、得られた放射線写真フィルムに
記録された放射線画像に光を照射し、放射線写真フィル
ムを透過した光をＣＣＤ等で光電的に読み取り電気画像
信号に変換する方法があり、装置としては所謂フィルム
ディジタイザと呼ばれている。

【０００６】また、近年の半導体プロセス技術の進歩に
より、石英ガラスから成る基板上にアモルファス半導体
膜を挟んで透明導電膜と導電膜から成る固体光検出素子
をマトリクス状に配列した固体光検出器の製作が可能に
なり、この固体光検出器と放射線を可視光に変換するシ
ンチレータを積層した放射線検出器が、特開昭５９−２
１１２６３号公報で提案されている。

【０００７】この放射線検出器においては、対象物を透
過した放射線を照射することにより、放射線がシンチレ
ータで可視光に変換され、この可視光が固体光検出素子
の光電変換部により電気信号として検出される。この電
気信号は各固体光検出素子から所定の読出方法により読
み出され、この信号をＡ／Ｄ変換し放射線画像信号を得
る。この放射線画像信号は後段の画像信号処理装置によ
り種々の信号処理がなされた後に、ＣＲＴ等の再生手段
により放射線画像として再生され、医者によって読影、
診断される。

【０００８】一方、米国特許第５，３８１，０１４号で
は、石英ガラスから成る基板上にアモルファス半導体膜
を挟んで透明導電膜と導電膜から成る固体検出素子をマ
トリクス状に配列した固体検出器を１枚の基台上に複数
枚接合することによって、１４インチ×１７インチの大
型のセンサを実現している。この米国特許第５，３８
１，０１４号では、放射線検出層としてはセレニウム層
が用いられている。

【０００９】ところで、医療診断に用いられる放射線撮
影において重要なことの１つに、被検体に対する放射線
被曝を最小にしながら、最大の診断能を有する高画質の
放射線画像を得るということがある。

【００１０】銀塩フィルム／蛍光板（又は増感紙）を用
いた撮影方法では、銀塩フィルム／蛍光板（又は増感
紙）から成る放射線検出器の放射線量に対するダイナミ
ックレンジが狭いため、被検体を透過し銀塩フィルム／
蛍光板（又は増感紙）に入射する放射線の量が不適切で
あると露光アンダや露光オーバを生じ、診断に適さない
放射線画像になってしまうという問題点がある。

【００１１】このため、従来の銀塩フィルム／蛍光板
（又は増感紙）を放射線検出器として用いた撮影では、
所謂フォトタイマを用いた撮影方法が行われている。こ
のフォトタイマは一般的には放射線検出器とは別体に構
成され、被検体と放射線検出器の間に配置される。フォ
トタイマの一例としては、アクリル樹脂板から成る基板
に蛍光体を薄く塗り、この蛍光体の放射線照射による発
光をアクリル樹脂板をライトガイドとして端面に取り出
し、電子増倍管に導いて検出して電気信号に変換し、こ
の電気信号量に基づいて、放射線の照射時間を制御する
という方法がある。

【００１２】一方、固体光検出素子をマトリクス状に配
列した固体光検出器と放射線を可視光に変換するシンチ
レータを積層した放射線検出器は、銀塩フィルム／蛍光
板（又は増感紙）から成る放射線検出器に比べると、放
射線量に対するダイナミックレンジは広く、また電気信
号に変換された画像信号を画像処理することができる。
従って、銀塩フィルム／蛍光板（又は増感紙）を使用す
る撮影方法に比べて、入射放射線量の制御は厳密である
必要はない。

【００１３】しかし、放射線検出器への入射放射線量が
少ないと、放射線光子の揺らぎにより放射線画像の粒状
性が悪化し、診断能を低下させるという問題がある。ま
た、放射線量を予め多く設定しておけば、粒状性の良い
高画質の放射線画像が常に得られるが、被検体の被曝線
量が増えるという問題が生ずる。特に、この被検体に体
する被曝線量の低減は、今日の放射線診断において重要
な課題のうちの１つである。

【００１４】従って、固体光検出素子をマトリクス状に
配列した固体光検出器と放射線を可視光に変換するシン
チレータを積層した放射線検出器を用いた撮影方法に
も、同様に被検体に対する放射線被曝を最小に抑えなが
ら、高画質の放射線画像を得るためにフォトタイマを使
用することが望ましい。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、フォト
タイマを放射線検出器と別体に設けると、コストの上
昇、装置の複雑化、大型化を招くという欠点を有する。
また、フォトタイマを被検体と放射線検出器の間に設け
ると、フォトタイマで放射線が吸収されるため、その分
だけ被検体の放射線被曝が増えるという欠点も有する。

【００１６】また、フォトタイマに入射した放射線がフ
ォトタイマ内で散乱し、所謂散乱Ｘ線を全方位に生ずる
ため、この散乱Ｘ線が放射線検出器に入射し、放射線画
像のコントラストの低下を招くという欠点を有する。

【００１７】フォトタイマを放射線検出器の放射線源に
対する反対側、即ち放射線検出器の後方に配置する方法
も考えられる。米国特許第５，３８１，０１４号に記載
されているように、大型の固体光検出器を半導体プロセ
スで製作するためには、基台の上に複数枚のガラス基板
上に半導体プロセスで固体検出素子を形成した固体光検
出器を端面を接して接合するという方法が、現在の半導
体固体光検出器の製造プロセスを考えると一般的であ
る。例えば、１４インチ×１７インチというような大面
積の光検出器を１枚で構成しようとすると、特別に大型
の半導体製造装置の導入、製造上の歩留りという点から
見て、実現性は困難である。

【００１８】同様に、例えば固体光検出器とシンチレー
タを組み合わせた放射線検出器で１４インチ×１７イン
チというような大型の放射線検出器を製作するために
は、基台上の複数枚のガラス基板上に半導体プロセスで
固体光検出素子を形成した固体光検出器を端面を接して
接合する方法が適当である。このとき、基台と固体光検
出器のガラス基板の熱膨張係数を揃えるため、基台の材
質は基板と同材質であるガラスが一般的には用いられ
る。基台の厚さは機械的強度を保つために、例えば３ｍ
ｍの厚さのものが用いられる。

【００１９】上述のようなガラス基板とガラス基台の後
方にフォトタイマを配置すると、放射線診断に使用する
４０ｋｅＶ〜８０ｋｅＶのエネルギを持つ放射線のフォ
トタイマへの入射放射線量は、固体光検出素子への入射
放射線量の１／１０以下になってしまい、感度が不足す
るという問題点がある。

【００２０】このような問題点を解決するために特開平
７−７２２５９号公報では、放射線検出器に放射線が照
射されている最中に、放射線検出器の固体光検出器を構
成する多数の固体光検出素子のうち、検出器全面に渡っ
て予め設定された固体光検出素子からの出力を、短い周
期で複数回読み出し、その信号に基づいて放射線の放射
線源からの照射を遮断する方法が提案されている。この
中の実施例では、固体光検出素子の構造として、所謂ｐ
ｉｎ構造の半導体素子が説明されているが、光検出素子
にはｐｉｎ構造以外の構造のものもあり、ショットキー
型はその一例である。

【００２１】このように、固体光検出素子には種々の構
造のものがあるが、構造によっては前述の特開平７−７
２２５９号公報に開示されたように、放射線検出器に放
射線が照射されている最中に固体光検出素子からの出力
を読み出すと、固体光検出素子のＳ／Ｎ比が低下するも
のもある。このような構造の固体光検出素子では、放射
線の照射が終了した後に、各固体光検出素子から信号を
一括して読み出すことが望ましい。このような信号読出
方法が望ましい固体光検出素子を、二次元状に配置した
固体光検出器とシンチレータを組み合わせた放射線検出
器においては、特開平７−７２２５９号公報に開示され
た方法により被検体に対する放射線量を制御すること
は、放射線画像の画質の低下を招くので望ましくない。

【００２２】一方、本出願人は注入阻止層が１個所のみ
で光の入射量が検出することができ、プロセスの最適化
が容易でかつ歩留まりを向上し、製造コストの低減が可
能で、Ｓ／Ｎ比の高い低コストの固体光検出素子を提案
している。

【００２３】本発明の第１の目的は、上記の欠点に鑑み
て、コストの上昇、装置の複雑化、大型化、また被検体
の被曝線量の増大、放射線画像の画質低下を招かずに、
適切な放射線量の照射を受けるための放射線検出を行う
ことを可能とした放射線検出装置及び放射線撮影装置を
提供することにある。

【００２４】本発明の第２の目的は、固体光検出素子と
して如何なる構造の固体光検出素子を用いた場合でも、
被検体に対する放射線量を最小に保ちながら、高画質、
高Ｓ／Ｎ比の放射線画像を得ることのできるような放射
線検出が可能な放射線検出装置及び放射線撮影装置を提
供することにある。

【００２５】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明に係る放射線検出装置は、放射線源から発せ
られ対象物を透過した放射線の強度分布を検出する放射
線検出装置であって、放射線の強度分布に応じて発光す
るシンチレータと、該シンチレータの後方に配した透明
な基板上の前面に二次元状に固体光検出素子を形成した
光像検出手段と、該光像検出手段の後方に配し前記シン
チレータからの発光光のうち前記基板を透過した光量を
検出する光量モニタ手段とを有することを特徴とする。

【００２６】また、上述の目的を達成するための本発明
に係る放射線撮影装置は、放射線源から発せられ対象物
を透過した放射線により放射線画像を得る放射線撮影装
置であって、放射線の強度分布に応じて発光するシンチ
レータと、該シンチレータの後方に配した透明な基板上
の前面に二次元状に固体光検出素子を形成した光像検出
手段と、該光像検出手段の後方に配置し前記シンチレー
タからの発光光のうち前記基板を透過した光量を検出す
る光量モニタ手段と、該光量モニタ手段の出力に応じて
放射線照射を遮断するための信号を出力する放射線遮断
信号出力手段とを有することを特徴とする。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下に本発明を図示の実施例に基
づいて詳細に説明する。図１は本発明の放射線検出装置
による放射線撮影状態の構成図であり、被撮影者Ｓの胸
部放射線像を撮影する場合を示している。放射線Ｘを発
生する放射線源１の前方に支持手段２に支持された撮像
装置３が配置され、撮像装置３の放射線入射面４には放
射線診断を受ける被撮影者Ｓが位置する。

【００２８】図２は撮像装置３の第１の実施例の構成図
である。撮像装置３内には鎖線で示した放射線検出器が
設けられ、放射線入射面４側から、被撮影者Ｓを透過し
た放射線Ｘにより発光する平面状のシンチレータ５、光
像検出部６、光量モニタ部７が配置されている。

【００２９】シンチレータ５としては、ＧｄＯ_２Ｓ：Ｔ
ｂ、ＣａＷＯ_４、ＣｓＩ：Ｔｌ、ＣａＩ：Ｎａ等の蛍光
体や、蛍光体をファイバプレート中にドーピングした所
謂シンチレーションファイバ等の種々のものが用いられ
る。光像検出部６はシンチレータ５と接合され、透明な
ガラス基板８の前面にフォトリソグラフィ法によって二
次元状に多数個の固体光検出素子が形成されている。ま
た、光量モニタ部７はガラス基板８の後面に固体光検出
素子がフォトリソグラフィ法により形成されていて、シ
ンチレータ５によって放射線Ｘが変換された光のうち、
ガラス基板８を透過してガラス基板８の後面に達する光
を検出するようになっている。

【００３０】図３は光量モニタ部７の正面図であり、光
量モニタ部７を構成する光検出素子の配置を示してい
る。光量モニタ部７のセンサ部はフォトタイマの採光野
に相当し、この採光野の形状、大きさ、配置位置、個数
は、被撮影者Ｓの対象となる撮影部位によって様々な種
類とすることができる。図３では胸部放射線撮影に好適
な一例であり、光量モニタ部７は３個の光検出素子７
ａ、７ｂ、７ｃで構成されている。光検出素子７ａ、７
ｂ、７ｃのそれぞれの大きさは、例えば３０×５０ｍｍ
である。なお、破線Ｓ’は被撮影者Ｓの胸部像を示し、
光検出素子７ａは右肺野部に、７ｂは左肺野部に、７ｃ
は縦隔部に相当するようにそれぞれ配置されている。

【００３１】１枚のガラス基板の両面に光検出素子をフ
ォトリソグラフィ法で形成すると、最初に素子を形成し
た面は、他面に素子を形成する際のベース面となるため
に傷付き易いが、膜厚、電極寸法等に十分に余裕を持た
せることによって、この問題を克服できる。つまり、多
少の傷が付いても光検出素子としての機能が保持できる
ようにプロセス設計を行えばよい。従って、本実施例に
おいては、先ず光検出素子７ａ、７ｂ、７ｃを透明なガ
ラス基板８にプロセスし、次に光像検出部６を形成する
固体光検出素子６ａをプロセスするという手順を採るこ
とが好適である。

【００３２】これらの光検出素子７ａ、７ｂ、７ｃの出
力は、検出回路１１、３個の積分回路１２ａ、１２ｂ、
１２ｃ、演算回路１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、放射線遮断
信号を出力する比較回路１４に順次に接続されている。
なお、これらの電気回路は撮像装置３内に収納されてい
るが、比較回路１４に接続されている設定回路１５は撮
像装置３の外部に設けられている。

【００３３】図４は光像検出部６及び光量モニタ部７を
構成する固体光検出素子の一例としてのｐｉｎ型フォト
ダイオードのセンサ構造を示している。光像検出部６を
構成する固体光検出素子６ａにおいては、透明なガラス
基板８の面８ａにフォトリソグラフィ法によりパターン
形成した導電膜から成る信号線２１、２２が設けられ、
アモルファスシリコン２３と透明電極２４から成る光電
変換部としてのｐｉｎ型フォトダイオード部２５と、ア
モルファスシリコン２６内に転送電極２７を有する転送
部としての薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）２８とにより構
成されている。

【００３４】転送電極２７はゲートであり図示しない走
査線に接続され、信号線２２はドレインであり図示しな
い信号線に接続されている。そして、このように構成さ
れた複数個の固体光検出素子６ａはマトリクス状に配置
されている。なお、転送電極２７、信号線２２は透明な
電極でも不透明な電極でもよいが、透明な電極のほうが
ガラス基板８を透過する光が多くなるので望ましい。

【００３５】光像検出部６では、放射線の照射により発
光したシンチレータ５の光がフォトダイオード部２５に
入射し、このフォトダイオード部２５において入射した
光の強度に対応した量の信号電荷が発生し蓄積される。
次に、走査線に接続された図示しない信号読出回路から
走査線に所定の走査信号が送られ、走査線に接続された
ゲートとしての転送電極２７に電圧が印加され、信号線
２１、２２間を電流が流れる状態となる。即ち、フォト
ダイオード部２５で発生した信号電荷は、薄膜トランジ
スタ２８を通じて、図示しない転送レジスタに転送され
て出力されることになる。

【００３６】一方、光量モニタ部７を構成する光検出素
子７ａ、７ｂ、７ｃにおいては、ガラス基板８の光像検
出部６が配置された面８ａと反対側の面８ｂ上に、フォ
トリソグラフィ法によりパターン形成したＩＴＯ膜等の
透明導電膜から成る信号線２９、３０が設けられ、アモ
ルファスシリコン３１と透明電極３２から成る光電変換
部としてのｐｉｎ型フォトダイオード部３３と、アモル
ファスシリコン３４内に転送電極３５を有する転送部と
しての薄膜トランジスタ３６とにより構成されている。
なお、転送電極３５はゲートであり図示しない走査線に
接続され、信号線３０はドレインであり図示しない信号
線に接続されている。

【００３７】光量モニタ部７においては、放射線Ｘの照
射により発光したシンチレータ５の光のうち、光像検出
部６及びガラス基板８を透過した光が、フォトダイオー
ド部３３に入射し、このフォトダイオード部３３におい
て入射した光の強度に対応した量の信号電荷が発生し蓄
積される。次に、走査線に接続された図示しない信号読
出回路から走査線に所定の走査信号が送られ、走査線に
接続されたゲートとしての転送電極３５に電圧が印加さ
れ、信号線２９、３０間を電流が流れる状態となる。即
ち、フォトダイオード部３３で発生した信号電荷は、薄
膜トランジスタ３６を通じて検出される。

【００３８】放射線撮影に際して、先ず光像検出部６及
び光量モニタ部７の各素子の各出力値がリセットされ、
暗電流の影響を除去する。次いで、放射線Ｘが放射線源
１から出射され被撮影者Ｓに照射される、この放射線Ｘ
の被撮影者Ｓに対する照射とほぼ同時に、フォトダイオ
ード部３３の走査線に接続された検出回路１１から、走
査線に所定の走査信号が送られ、走査線に接続されたゲ
ートとしての転送電極３５に電圧が印加され、信号線２
９、３０間を電流が流れる状態となる。

【００３９】放射線Ｘは被撮影者Ｓで一部が吸収される
が、被撮影者Ｓを透過した放射線Ｘは被撮影者Ｓの放射
線画像情報を担っている。被撮影者Ｓを透過した放射線
Ｘは、光密に保たれた撮像装置３の放射線入射面４を透
過した後に、放射線検出器に入射する。放射線検出器に
入射した放射線Ｘはシンチレータ５に入射し可視光に変
換される。この可視光は被撮影者Ｓの放射線画像情報を
有し、光像検出部６のフォトダイオード部２５により検
出される。その検出信号はシンチレータ５の発光強度に
応じた電荷として、各固体光検出素子６ａに蓄積され
る。

【００４０】一方、放射線Ｘの照射により発光したシン
チレータ５による光のうち、光像検出部６及びガラス基
板８を透過した光は、面８ｂ上の光量モニタ部７のフォ
トダイオード部３３に入射する。フォトダイオード部３
３において信号線２９は透明電極であるため、フォトダ
イオード部３３に入射した光の強度に対応した量の信号
電荷が発生する。

【００４１】フォトダイオード部３３には、既に走査線
に接続された検出回路１１から走査線に所定の走査信号
が送られ、走査線に接続されたゲートとしての転送電極
３５に電圧が印加し、信号線２９、３０間を電流が流れ
る状態となっている。従って、フォトダイオード部３３
で発生した信号電荷は、薄膜トランジスタ３６を通じて
検出回路１１によって連続的に検出され、積分回路１２
ａ、１２ｂ、１２ｃでそれぞれ加算される。このように
して、シンチレータ５が発光した光のうちガラス基板８
を透過した光を光量モニタ部７で検出することにより、
照射された放射線の量をほぼリアルタイムに検出するこ
とができる。

【００４２】積分回路１２ａ、１２ｂ、１２ｃの各出力
は、演算回路１３ａ、１３ｂ、１３ｃでそれぞれ重み付
けが行われ、その出力は比較回路１４において設定回路
１５より予め設定された最適値である設定値と比較され
る。この比較の結果、出力が設定値に達していない場合
は、放射線検出器への放射線Ｘの照射は継続され、設定
値に達した場合は、比較回路１４から放射線Ｘの照射を
遮断すべき旨の遮断信号を出力し、例えば放射線源１の
動作を停止して放射線照射を遮断する。

【００４３】上述の作用により、被撮影者Ｓの放射線画
像を高画質で得るための放射線量をリアルタイムに最適
に制御することができる。その後に、光像検出部６の固
体光検出素子６ａのフォトダイオード部２５の走査線に
接続された図示しない画像情報読出回路から走査線に所
定の走査信号が送られ、走査線に接続されたゲートとし
ての転送電極２７に電圧が印加し、信号線２１、２２間
を電流が流れる状態となる。従って、フォトダイオード
部２５で発生した信号電荷は、薄膜トランジスタ２８を
通じて画像情報読出回路によって読み出され、被撮影者
Ｓの放射線画像情報を得ることができる。

【００４４】実施例の説明では、光像検出部６及び光量
モニタ部７の光検出素子の一例として、図４に示すよう
な構造の固体光検出素子を示したが、固体光検出素子の
構造はこれに限るものではなく、シンチレータ５で発光
した光を検出できるものであれば、この構造に限定され
るものではない。また、光量モニタ部７は固体光検出素
子に限定されるものではなく、フォトダイオード等の一
般的な光検出素子をガラス基板８の後方に配置したもの
でもよい。

【００４５】本実施例では、放射線照射量制御のための
光量モニタ部７からの信号の読出方法としては、光量モ
ニタ部７から連続的に出力を検出する方法を説明した
が、特開平７−７２２５９号公報に開示されたものと同
様に、光量モニタ部７からの出力を短い周期で複数回読
み出す方法でもよい。また本実施例では、光量モニタ部
７からの出力信号をアナログ処理したが、検出回路１１
で信号を検出した後に、Ａ／Ｄ変換を行いデジタル信号
に変換した出力信号を同様に処理してもよい。

【００４６】図５は第２の実施例を示している。第１の
実施例においては、光量モニタ部７は光像検出部６のガ
ラス基板８の後ににフォトリソグラフィ法により構成し
たが、この第２の実施例においては別のガラス基板４１
上に固体光検出素子が設けられている。

【００４７】この場合は、ガラス基板８と光像検出部
６、シンチレータ５より構成される画像情報を検出する
検出手段と、基板４１と光量モニタ部７で構成される光
量モニタ部は、それぞれ個別にフォトリソグラフィ法に
より作成され、組み立ての段階で接着又はビス止め等の
固着手段によって所定の位置関係に組み立てられる。な
お、この場合には光量モニタ部７の電極は透明とする必
要はなく、その他の構成及び作用は第１の実施例と同様
である。

【００４８】図６は第３の実施例であり、例えば１４イ
ンチ×１７インチ等の大型の放射線検出器に適用した例
である。基板４２の前面には、図３に示すような光検出
素子７ａ、７ｂ、７ｃから成る光量モニタ部７がフォト
リソグラフィ法により形成されている。更に、ガラス基
板８の放射線入射面側に二次元状に配列された固体光検
出素子で構成される光像検出部６、具体的には例えば７
×８．５インチの４枚のガラス基板８に光像検出部６が
マトリクス状に形成され、ガラス基板８の端面を介して
接合したものが基板４２の前面側に接着等の手段により
取り付けられている。接着剤は透明又は半透明な接着剤
が用いられ、更に光像検出部６の前面にはシンチレータ
５が配置されている。

【００４９】この実施例は、複数枚の光像検出部６を接
合するための１枚の基板４２に、光量モニタ部７を形成
した点に特長がある。その作用は第１の実施例に準ずる
が、被撮影者Ｓの放射線画像情報は複数枚の光像検出部
６により検出された情報を合成して得られる点が異な
る。

【００５０】以上説明したように本発明に係る放射線検
出装置及び放射線撮影装置は、放射線の照射によりシン
チレータで発光した光のうち、光像検出部を透過した光
を光像検出部の基板の後方に構成した光量モニタ部でリ
アルタイムに検出するため、この値を用いて適切な放射
線量を得ることができる。このため、従来用いてきたフ
ォトタイマが不要になり、コストの低減及び小型化に寄
与できる。

【００５１】また、従来の方法でフォトタイマを用いた
場合に、フォトタイマで放射線が吸収されるため、その
分だけ被検体の放射線被曝が増え、またフォトタイマに
入射した放射線がフォトタイマ内で散乱し、所謂散乱放
射線を全方位に生ずる問題点があるが、本発明ではこの
フォトタイマを用いずにシンチレータで発光した光のう
ち、透明基板を透過した光を検出する構成のため、これ
らの問題点を解決することができる。更に、シンチレー
タで発光した光のうち透明基板を透過した光を検出する
構成のため、フォトタイマのための高価なシンチレータ
層をフォトタイマ用として設ける必要がなく、低コスト
となる。

【００５２】また、フォトタイマのための新たなシンチ
レータ層を設ける必要がなく、必要最小限のシンチレー
タで放射線照射量を最適に制御できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】放射線検出器を用いた放射線撮影状態の構成図
である。

【図２】第１の実施例の撮像装置内部の構成図である。

【図３】光量モニタ部の正面図である。

【図４】光像検出部及び光量モニタ部を構成する固体光
検出素子の構造図である。

【図５】第２の実施例の構成図である。

【図６】第３の実施例の構成図である。

【符号の説明】

１放射線源３撮像装置５シンチレータ６光像検出部７光量モニタ部８ガラス基板１１検出回路１２積分回路１３演算回路１４比較回路１５設定回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01T 1/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】放射線源から発せられ対象物を透過した
放射線の強度分布を検出する放射線検出装置であって、
放射線の強度分布に応じて発光するシンチレータと、該
シンチレータの後方に配した透明な基板上の前面に二次
元状に固体光検出素子を形成した光像検出手段と、該光
像検出手段の後方に配し前記シンチレータからの発光光
のうち前記基板を透過した光量を検出する光量モニタ手
段とを有することを特徴とする放射線検出装置。
【請求項２】前記光量モニタ手段は固体光検出素子か
ら成る請求項１に記載の放射線検出装置。
【請求項３】前記光量モニタ手段は前記基板を透過す
る光のうち或る特定の範囲の透過光を検出する請求項１
に記載の放射線検出装置。
【請求項４】前記光像検出手段の固体光検出素子から
信号を読み出すための信号線は透明電極とした請求項１
に記載の放射線検出装置。
【請求項５】前記光量モニタ手段の固体光検出素子の
電極を透明とした請求項２に記載の放射線検出装置。
【請求項６】放射線源から発せられ対象物を透過した
放射線により放射線画像を得る放射線撮影装置であっ
て、放射線の強度分布に応じて発光するシンチレータ
と、該シンチレータの後方に配した透明な基板上の前面
に二次元状に固体光検出素子を形成した光像検出手段
と、該光像検出手段の後方に配置し前記シンチレータか
らの発光光のうち前記基板を透過した光量を検出する光
量モニタ手段と、該光量モニタ手段の出力に応じて放射
線照射を遮断するための信号を出力する放射線遮断信号
出力手段とを有することを特徴とする放射線撮影装置。