JP3480797B2 - 排水処理方法 - Google Patents
排水処理方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
造工程から排出されるモノエタノールアミン及びジメチ
ルスルホキシドを含有する排水から、ＴＯＣが低減され
た良質の水を効率的に得る方法に関するものである。
造工程から排出されるモノエタノールアミン及びジメチ
ルスルホキシドを含有する排水から、ＴＯＣが低減され
た良質の水を効率的に得る方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、モノエタノールアミン（ＭＥＡ）
及びジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）を含有する排水
（原水）を処理する方法としては、例えば、(1) 逆浸透
膜装置とイオン交換装置を組み合わせて処理する方法、
(2) 紫外線酸化と逆浸透膜装置、イオン交換装置等の脱
塩処理とを組み合わせて処理する方法、(3) フェントン
酸化処理等の湿式酸化を用いる方法等が挙げられる。
及びジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）を含有する排水
（原水）を処理する方法としては、例えば、(1) 逆浸透
膜装置とイオン交換装置を組み合わせて処理する方法、
(2) 紫外線酸化と逆浸透膜装置、イオン交換装置等の脱
塩処理とを組み合わせて処理する方法、(3) フェントン
酸化処理等の湿式酸化を用いる方法等が挙げられる。
【０００３】上記(1) の逆浸透膜装置とイオン交換装置
を組み合わせて処理する方法は、まず、逆浸透膜装置に
より排水中のＤＭＳＯを除去し、次いで透過水中のＭＥ
Ａをイオン交換樹脂により除去し、ＴＯＣが低減された
水を得るものである。このようにするのは、ＤＭＳＯは
逆浸透膜で除去できるがＭＥＡは除去が不充分であるの
に対し、ＭＥＡはイオン性を帯びているため陽イオン交
換樹脂によって容易に除去できるからである。また、上
記逆浸透膜より出るＤＭＳＯ濃縮廃液及び上記イオン交
換樹脂より出る再生廃液はフェントン酸化処理等の湿式
酸化処理を行っていた。しかしながら、該(1) の方法で
は、逆浸透膜装置とイオン交換装置の２種類の設備が必
要となり、運転コストの上昇及び運転管理上煩雑となる
等好ましくない。
を組み合わせて処理する方法は、まず、逆浸透膜装置に
より排水中のＤＭＳＯを除去し、次いで透過水中のＭＥ
Ａをイオン交換樹脂により除去し、ＴＯＣが低減された
水を得るものである。このようにするのは、ＤＭＳＯは
逆浸透膜で除去できるがＭＥＡは除去が不充分であるの
に対し、ＭＥＡはイオン性を帯びているため陽イオン交
換樹脂によって容易に除去できるからである。また、上
記逆浸透膜より出るＤＭＳＯ濃縮廃液及び上記イオン交
換樹脂より出る再生廃液はフェントン酸化処理等の湿式
酸化処理を行っていた。しかしながら、該(1) の方法で
は、逆浸透膜装置とイオン交換装置の２種類の設備が必
要となり、運転コストの上昇及び運転管理上煩雑となる
等好ましくない。
【０００４】上記(2) の紫外線酸化と逆浸透膜装置、イ
オン交換装置等の脱塩処理とを組み合わせて処理する方
法において、後処理の逆浸透膜装置、イオン交換装置等
の脱塩処理により出るＤＭＳＯ濃縮廃液等は上記(1) と
同様湿式酸化処理される。しかし、該(2) の方法では、
紫外線酸化の際、悪臭が出るため環境対策が必要であ
る。また、紫外線照射コストが高く、処理コストが上昇
するといった問題がある。
オン交換装置等の脱塩処理とを組み合わせて処理する方
法において、後処理の逆浸透膜装置、イオン交換装置等
の脱塩処理により出るＤＭＳＯ濃縮廃液等は上記(1) と
同様湿式酸化処理される。しかし、該(2) の方法では、
紫外線酸化の際、悪臭が出るため環境対策が必要であ
る。また、紫外線照射コストが高く、処理コストが上昇
するといった問題がある。
【０００５】上記(3) の方法は、原水を逆浸透膜装置、
イオン交換装置及び紫外線酸化等の処理をすることな
く、直接フェントン酸化処理等の湿式酸化処理する方法
で、処理工程の簡略化が図れる。しかしながら、処理水
の回収ができず、また、原水中のＤＭＳＯ及びＭＥＡ濃
度が薄く、流量が多いため処理設備は大きくなるといっ
た問題がある。
イオン交換装置及び紫外線酸化等の処理をすることな
く、直接フェントン酸化処理等の湿式酸化処理する方法
で、処理工程の簡略化が図れる。しかしながら、処理水
の回収ができず、また、原水中のＤＭＳＯ及びＭＥＡ濃
度が薄く、流量が多いため処理設備は大きくなるといっ
た問題がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、ＤＭＳＯ及びＭＥＡを含有する排水処理において、
最終のＤＭＳＯ及びＭＥＡ濃縮水の処理はフェントン酸
化処理等の湿式酸化処理に委ねるものの、実質的に単一
の設備で、効率よく処理水中のＴＯＣを低減できる排水
方法を提供することにある。
は、ＤＭＳＯ及びＭＥＡを含有する排水処理において、
最終のＤＭＳＯ及びＭＥＡ濃縮水の処理はフェントン酸
化処理等の湿式酸化処理に委ねるものの、実質的に単一
の設備で、効率よく処理水中のＴＯＣを低減できる排水
方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かかる実情において、本
発明者は鋭意検討を行った結果、ＤＭＳＯ及びＭＥＡを
含有する排水はｐＨ１０以上のアルカリ領域にあり、こ
れを酸でｐＨ８．５以下に調整して、逆浸透膜装置に通
水するだけで効率よく処理水中のＴＯＣを低減できるこ
とを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本
発明は、モノエタノールアミン及びジメチルスルホキシ
ドを含有する排水に酸を添加して、該排水のｐＨを８．
５以下に調整し、これを逆浸透膜装置で処理する排水処
理方法又は前記逆浸透膜装置で処理された透過水を、再
度、逆浸透膜装置で処理することを特徴とする排水処理
方法を提供するものである。
発明者は鋭意検討を行った結果、ＤＭＳＯ及びＭＥＡを
含有する排水はｐＨ１０以上のアルカリ領域にあり、こ
れを酸でｐＨ８．５以下に調整して、逆浸透膜装置に通
水するだけで効率よく処理水中のＴＯＣを低減できるこ
とを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本
発明は、モノエタノールアミン及びジメチルスルホキシ
ドを含有する排水に酸を添加して、該排水のｐＨを８．
５以下に調整し、これを逆浸透膜装置で処理する排水処
理方法又は前記逆浸透膜装置で処理された透過水を、再
度、逆浸透膜装置で処理することを特徴とする排水処理
方法を提供するものである。
【０００８】また、本発明は、前記再度、逆浸透膜装置
で処理された濃縮水を原水側に戻すことを特徴とする排
水処理方法を提供するものである。
で処理された濃縮水を原水側に戻すことを特徴とする排
水処理方法を提供するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態におけ
る排水処理方法を図１を参照して説明する。図１中、１
は逆浸透膜装置、２は酸注入装置、３は原水、４はｐＨ
調整された原水、５は透過水、７は濃縮水、６は酸液で
ある。原水３はモノエタノールアミン（以下、ＭＥＡと
略す。）及びジメチルスルホキシド（以下、ＤＭＳＯと
略す。）を含有する排水である。当該排水としては、Ｍ
ＥＡ及びＤＭＳＯを含有するものであれば、特に制限さ
れず、例えば、半導体製造装置から排出されるＭＥＡ及
びＤＭＳＯの希釈排水であって、ｐＨ１０前後ものが挙
げられる。この原水３は酸注入装置２から注入される酸
液６により、ｐＨ値を８．５以下、好ましくは４．０〜
７．０の範囲に調整される。ｐＨ値が８．５を越えると
ＭＥＡの除去効率が悪くなり、また、ｐＨ値を４以下と
してもＭＥＡの除去率はそれ程増加しないので、酸の無
駄使いとなる。次いでこの調整液４を逆浸透膜を用いた
逆浸透膜装置１に加圧下で流入させると、透過側に透過
水５を、濃縮側にＭＥＡ及びＤＭＳＯの濃縮水７をそれ
ぞれ分離することができる。透過水５は原水中のＭＥＡ
及びＤＭＳＯをそれぞれ９０％以上除去されたものとな
り、ＴＯＣが低く、純水製造装置等の原水側に戻され
る。一方、ＭＥＡ及びＤＭＳＯの濃縮水７は、例えばフ
ェントン酸化処理され有機物分解される。
る排水処理方法を図１を参照して説明する。図１中、１
は逆浸透膜装置、２は酸注入装置、３は原水、４はｐＨ
調整された原水、５は透過水、７は濃縮水、６は酸液で
ある。原水３はモノエタノールアミン（以下、ＭＥＡと
略す。）及びジメチルスルホキシド（以下、ＤＭＳＯと
略す。）を含有する排水である。当該排水としては、Ｍ
ＥＡ及びＤＭＳＯを含有するものであれば、特に制限さ
れず、例えば、半導体製造装置から排出されるＭＥＡ及
びＤＭＳＯの希釈排水であって、ｐＨ１０前後ものが挙
げられる。この原水３は酸注入装置２から注入される酸
液６により、ｐＨ値を８．５以下、好ましくは４．０〜
７．０の範囲に調整される。ｐＨ値が８．５を越えると
ＭＥＡの除去効率が悪くなり、また、ｐＨ値を４以下と
してもＭＥＡの除去率はそれ程増加しないので、酸の無
駄使いとなる。次いでこの調整液４を逆浸透膜を用いた
逆浸透膜装置１に加圧下で流入させると、透過側に透過
水５を、濃縮側にＭＥＡ及びＤＭＳＯの濃縮水７をそれ
ぞれ分離することができる。透過水５は原水中のＭＥＡ
及びＤＭＳＯをそれぞれ９０％以上除去されたものとな
り、ＴＯＣが低く、純水製造装置等の原水側に戻され
る。一方、ＭＥＡ及びＤＭＳＯの濃縮水７は、例えばフ
ェントン酸化処理され有機物分解される。
【００１０】本発明で用いられる逆浸透膜としては、特
に制限されず、ポリアミド系のもの等が挙げられ、ま
た、その形状もスパイラル状、管状等いずれの形状のも
のも用いることができる。また、処理条件としても、慣
用条件に従えばよく、圧力数kg/cm2〜７０kg/cm2、常温
下で行えばよい。また、上記酸としては、特に制限され
ず、塩酸、硫酸等の無機酸が挙げられる。
に制限されず、ポリアミド系のもの等が挙げられ、ま
た、その形状もスパイラル状、管状等いずれの形状のも
のも用いることができる。また、処理条件としても、慣
用条件に従えばよく、圧力数kg/cm2〜７０kg/cm2、常温
下で行えばよい。また、上記酸としては、特に制限され
ず、塩酸、硫酸等の無機酸が挙げられる。
【００１１】本発明の第１の実施の形態における排水処
理方法によれば、最終のＤＭＳＯ及びＭＥＡ濃縮水の処
理はフェントン酸化処理等の湿式酸化処理に委ねるもの
の、実質的に単一の設備で、極めて効率よく処理水中の
ＴＯＣを低減できる。また、排水処理フローが簡略化で
き、従来の紫外線酸化による悪臭等の心配もない。
理方法によれば、最終のＤＭＳＯ及びＭＥＡ濃縮水の処
理はフェントン酸化処理等の湿式酸化処理に委ねるもの
の、実質的に単一の設備で、極めて効率よく処理水中の
ＴＯＣを低減できる。また、排水処理フローが簡略化で
き、従来の紫外線酸化による悪臭等の心配もない。
【００１２】次に、本発明の第２の実施の形態における
排水処理方法を図２を参照して説明する。図２中、図１
と同一構成要素には同一記号を付してその説明を省略
し、異なる点についてのみ説明する。すなわち、第１の
実施の形態と異なるところは、更に、もう一つの逆浸透
膜装置１（第２段）を第１段目の下流側に直列に配置し
処理させる点及び第２段の逆浸透膜装置１から出る濃縮
水９を原水３に戻す点にある。
排水処理方法を図２を参照して説明する。図２中、図１
と同一構成要素には同一記号を付してその説明を省略
し、異なる点についてのみ説明する。すなわち、第１の
実施の形態と異なるところは、更に、もう一つの逆浸透
膜装置１（第２段）を第１段目の下流側に直列に配置し
処理させる点及び第２段の逆浸透膜装置１から出る濃縮
水９を原水３に戻す点にある。
【００１３】本発明の第２の実施の形態における排水処
理方法によれば、上記第１の実施の形態と同様の効果を
奏する他、更に、第２段の逆浸透膜装置を設けたことか
ら、原水のＭＥＡ及びＤＭＳＯ濃度が高い場合であって
も安定した良質の透過水を得ることができる。また、第
２段の逆浸透膜装置からでる濃縮水はＭＥＡ及びＤＭＳ
Ｏ濃度が薄くなっていることから、これを原水側へ戻す
ことによって全体の水の回収率を向上させることができ
る。
理方法によれば、上記第１の実施の形態と同様の効果を
奏する他、更に、第２段の逆浸透膜装置を設けたことか
ら、原水のＭＥＡ及びＤＭＳＯ濃度が高い場合であって
も安定した良質の透過水を得ることができる。また、第
２段の逆浸透膜装置からでる濃縮水はＭＥＡ及びＤＭＳ
Ｏ濃度が薄くなっていることから、これを原水側へ戻す
ことによって全体の水の回収率を向上させることができ
る。
【００１４】本発明の方法によれば、ＭＥＡ及びＤＭＳ
Ｏを含有する排水に酸を添加して、該排水のｐＨを８．
５以下に調整し、これを逆浸透膜装置で処理するため、
ＭＥＡがイオンとして存在でき、逆浸透膜装置で効果的
に除去できる。このため、排水中のＭＥＡ及びＤＭＳＯ
を実質的に単一の逆浸透膜装置で同時に除去することが
可能である。このため、透過水中に含まれるＴＯＣは充
分に排除され、良好な水質のものを得ることができる。
Ｏを含有する排水に酸を添加して、該排水のｐＨを８．
５以下に調整し、これを逆浸透膜装置で処理するため、
ＭＥＡがイオンとして存在でき、逆浸透膜装置で効果的
に除去できる。このため、排水中のＭＥＡ及びＤＭＳＯ
を実質的に単一の逆浸透膜装置で同時に除去することが
可能である。このため、透過水中に含まれるＴＯＣは充
分に排除され、良好な水質のものを得ることができる。
【００１５】
【実施例】次に、実施例を挙げて、本発明を更に具体的
に説明するが、これは単に例示であって本発明を制限す
るものではない。 実施例１〜３及び比較例１ 表１に示す濃度のＭＥＡ及びＤＭＳＯを含む原水を酸で
pH８．０（実施例１）、pH７．１（実施例２）、pH４．
０（実施例３）に調整し、該調整液を１段の逆浸透膜装
置に流入させて、透過水と濃縮水を得た。逆浸透膜装置
に用いた逆浸透膜はES-20 （日東電工社製）であり、圧
力７kg/cm2、水の回収率８５％の条件で行った。ただ
し、比較例１はpH 未調整のものである。結果を表１に
示した。
に説明するが、これは単に例示であって本発明を制限す
るものではない。 実施例１〜３及び比較例１ 表１に示す濃度のＭＥＡ及びＤＭＳＯを含む原水を酸で
pH８．０（実施例１）、pH７．１（実施例２）、pH４．
０（実施例３）に調整し、該調整液を１段の逆浸透膜装
置に流入させて、透過水と濃縮水を得た。逆浸透膜装置
に用いた逆浸透膜はES-20 （日東電工社製）であり、圧
力７kg/cm2、水の回収率８５％の条件で行った。ただ
し、比較例１はpH 未調整のものである。結果を表１に
示した。
【００１６】実施例４〜５、比較例２
表１に示す濃度のＭＥＡ及びＤＭＳＯを含む原水を酸で
pH６．９（実施例４）、pH４．０（実施例５）に調整
し、該調整液を１段目の逆浸透膜装置に流入させ、次い
で１段目の透過水を２段目の逆浸透膜装置に流入させ
て、透過水と濃縮水を得た。逆浸透膜装置に用いた逆浸
透膜はES-20 （日東電工社製）であり、圧力７kg/cm2、
水の回収率８５％の条件で行った。ただし、比較例２は
pH 未調整のものである。結果を表１に示した。
pH６．９（実施例４）、pH４．０（実施例５）に調整
し、該調整液を１段目の逆浸透膜装置に流入させ、次い
で１段目の透過水を２段目の逆浸透膜装置に流入させ
て、透過水と濃縮水を得た。逆浸透膜装置に用いた逆浸
透膜はES-20 （日東電工社製）であり、圧力７kg/cm2、
水の回収率８５％の条件で行った。ただし、比較例２は
pH 未調整のものである。結果を表１に示した。
【００１７】
【表１】
【００１８】表１から、実施例１〜３はＭＥＡの除去率
がそれぞれ９６％〜９７％と高く、ＴＯＣの低い良質の
透過水が得られた。pH 未調整の比較例１の該除去率は
１６％と低かった。また、原水中、ＭＥＡ及びＤＭＳＯ
濃度が高くても、２段階の逆浸透膜処理により、ＴＯＣ
の低い良質の透過水が得られた（実施例４及び５）。
がそれぞれ９６％〜９７％と高く、ＴＯＣの低い良質の
透過水が得られた。pH 未調整の比較例１の該除去率は
１６％と低かった。また、原水中、ＭＥＡ及びＤＭＳＯ
濃度が高くても、２段階の逆浸透膜処理により、ＴＯＣ
の低い良質の透過水が得られた（実施例４及び５）。
【００１９】
【発明の効果】本発明の方法によれば、最終のＤＭＳＯ
及びＭＥＡ濃縮水の処理はフェントン酸化処理等の湿式
酸化処理に委ねるものの、実質的に単一の設備で、極め
て効率よく処理水中のＴＯＣを低減できる。また、排水
処理フローが簡略化でき、従来の紫外線酸化による悪臭
等の心配もない。また、更に、第２段目の逆浸透膜装置
を設けて処理すれば、原水のＭＥＡ及びＤＭＳＯ濃度が
高い場合であっても安定した良質の透過水を得ることが
できる。また、第２段目の逆浸透膜装置からでる濃縮水
は、これを原水側へ戻すことによって全体の水の回収率
を向上させることができる。
及びＭＥＡ濃縮水の処理はフェントン酸化処理等の湿式
酸化処理に委ねるものの、実質的に単一の設備で、極め
て効率よく処理水中のＴＯＣを低減できる。また、排水
処理フローが簡略化でき、従来の紫外線酸化による悪臭
等の心配もない。また、更に、第２段目の逆浸透膜装置
を設けて処理すれば、原水のＭＥＡ及びＤＭＳＯ濃度が
高い場合であっても安定した良質の透過水を得ることが
できる。また、第２段目の逆浸透膜装置からでる濃縮水
は、これを原水側へ戻すことによって全体の水の回収率
を向上させることができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態における排水処理手
順を示すブロック図である。
順を示すブロック図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態における排水処理手
順を示すブロック図である。
順を示すブロック図である。
１ 逆浸透膜装置
２ 酸注入装置
３ 原水
４ pH調整された原水
５ 第１段逆浸透膜透過水
６ 酸液
７ 第１段逆浸透膜から出る濃縮水
８ 第２段逆浸透膜透過水
９ 第２段逆浸透膜から出る濃縮水
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
C02F 1/44
B01D 61/00 - 65/10
Claims (3)
- 【請求項１】 モノエタノールアミン及びジメチルスル
ホキシドを含有する排水に酸を添加して、該排水のｐＨ
を８．５以下に調整し、これを逆浸透膜装置で処理する
ことを特徴とする排水処理方法。 - 【請求項２】 前記逆浸透膜装置で処理された透過水
を、再度、逆浸透膜装置で処理することを特徴とする請
求項１記載の排水処理方法。 - 【請求項３】 前記再度、逆浸透膜装置で処理された濃
縮水を原水側に戻すことを特徴とする請求項２記載の排
水処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21711897A JP3480797B2 (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 排水処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21711897A JP3480797B2 (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 排水処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1142479A JPH1142479A (ja) | 1999-02-16 |
| JP3480797B2 true JP3480797B2 (ja) | 2003-12-22 |
Family
ID=16699146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21711897A Expired - Lifetime JP3480797B2 (ja) | 1997-07-28 | 1997-07-28 | 排水処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3480797B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130101279A (ko) * | 2012-03-05 | 2013-09-13 | 웅진케미칼 주식회사 | 산업폐수에서의 디메틸포름아미드 분리회수방법 |
| KR20130101278A (ko) * | 2012-03-05 | 2013-09-13 | 웅진케미칼 주식회사 | 산업폐수에 함유된 ｎｍｐ 분리회수방법 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3958888B2 (ja) * | 1999-03-31 | 2007-08-15 | 株式会社神鋼環境ソリューション | ジメチルスルホキシド含有廃水の処理方法 |
| JP4508317B2 (ja) * | 1999-09-02 | 2010-07-21 | 栗田工業株式会社 | ジメチルスルホキシド含有排水の処理方法及び処理装置 |
| US7320756B2 (en) | 2001-05-05 | 2008-01-22 | Debasish Mukhopadhyay | Method and apparatus for treatment of feedwaters by membrane separation under acidic conditions |
| JP5245626B2 (ja) * | 2008-08-04 | 2013-07-24 | 栗田工業株式会社 | アミノ基を有する水溶性有機溶媒の回収方法及び装置 |
| WO2010061811A1 (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-03 | 栗田工業株式会社 | アミノ基を有する水溶性有機溶媒の分離回収装置及び方法 |
| CN102531247B (zh) * | 2011-12-26 | 2013-06-19 | 浙江天蓝环保技术股份有限公司 | 一种醇胺法烟气脱硫过程中产生的废水的处理方法 |
-
1997
- 1997-07-28 JP JP21711897A patent/JP3480797B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130101279A (ko) * | 2012-03-05 | 2013-09-13 | 웅진케미칼 주식회사 | 산업폐수에서의 디메틸포름아미드 분리회수방법 |
| KR20130101278A (ko) * | 2012-03-05 | 2013-09-13 | 웅진케미칼 주식회사 | 산업폐수에 함유된 ｎｍｐ 분리회수방법 |
| KR101599864B1 (ko) | 2012-03-05 | 2016-03-04 | 도레이케미칼 주식회사 | 산업폐수에서의 디메틸포름아미드 분리회수방법 |
| KR101599862B1 (ko) | 2012-03-05 | 2016-03-04 | 도레이케미칼 주식회사 | 산업폐수에 함유된 ｎｍｐ 분리회수방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1142479A (ja) | 1999-02-16 |
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