JPH0839058A - 半導体洗浄排水の処理方法 - Google Patents
半導体洗浄排水の処理方法Info
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- JPH0839058A JPH0839058A JP6176776A JP17677694A JPH0839058A JP H0839058 A JPH0839058 A JP H0839058A JP 6176776 A JP6176776 A JP 6176776A JP 17677694 A JP17677694 A JP 17677694A JP H0839058 A JPH0839058 A JP H0839058A
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- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W10/00—Technologies for wastewater treatment
- Y02W10/10—Biological treatment of water, waste water, or sewage
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- Biological Treatment Of Waste Water (AREA)
- Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 有機アルカリを含む半導体洗浄排水を工業用
水と混合して生物処理した後、一次純水製造装置及び二
次純水製造装置に通水して高純度超純水を製造する。 【構成】 有機アルカリを含む半導体洗浄排水をカチオ
ン交換樹脂でカチオン交換処理した後、工業用水と混合
して生物処理する。 【効果】 生物処理で除去し難く、しかも、他の有機物
の除去を阻害する有機アルカリをカチオン交換樹脂によ
り予め除去することにより、生物処理効率を高めること
が可能とされる。
水と混合して生物処理した後、一次純水製造装置及び二
次純水製造装置に通水して高純度超純水を製造する。 【構成】 有機アルカリを含む半導体洗浄排水をカチオ
ン交換樹脂でカチオン交換処理した後、工業用水と混合
して生物処理する。 【効果】 生物処理で除去し難く、しかも、他の有機物
の除去を阻害する有機アルカリをカチオン交換樹脂によ
り予め除去することにより、生物処理効率を高めること
が可能とされる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体洗浄排水の処理方
法に係り、特に、半導体製造工程から回収された有機ア
ルカリを含む半導体洗浄排水を工業用水と混合して生物
処理する方法において、生物処理工程での有機物の除去
効率を高める方法に関する。
法に係り、特に、半導体製造工程から回収された有機ア
ルカリを含む半導体洗浄排水を工業用水と混合して生物
処理する方法において、生物処理工程での有機物の除去
効率を高める方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び先行技術】従来の超純水製造装置は、
基本的に、前処理装置、一次純水製造装置及び二次純水
製造装置から構成される。このうち、前処理装置は、凝
集、浮上、濾過装置で構成される。一次純水製造装置
は、２基の逆浸透膜分離装置及び混床式イオン交換装
置、或いは、イオン交換純水装置及び逆浸透膜分離装置
で構成され、また、二次純水製造装置は、低圧紫外線酸
化装置、混床式イオン交換装置及び限外濾過膜分離装置
で構成される。
基本的に、前処理装置、一次純水製造装置及び二次純水
製造装置から構成される。このうち、前処理装置は、凝
集、浮上、濾過装置で構成される。一次純水製造装置
は、２基の逆浸透膜分離装置及び混床式イオン交換装
置、或いは、イオン交換純水装置及び逆浸透膜分離装置
で構成され、また、二次純水製造装置は、低圧紫外線酸
化装置、混床式イオン交換装置及び限外濾過膜分離装置
で構成される。
【０００３】上記従来の超純水製造装置により製造され
た超純水中には、ＴＯＣが２〜５ｐｐｂ程度存在する。
本出願人は、この原因について検討した結果、従来の超
純水製造装置は、原水中に存在する尿素を除去し難く、
これが超純水中のＴＯＣの低減を阻む原因となっている
ことを見出した。そして、この尿素を除去するべく更に
検討を重ねた結果、原水中に存在する尿素を低減する方
法として生物処理手段が好適であるとの知見を得、かか
る知見を基として、生物処理手段を含む前処理装置、一
次純水製造装置及び二次純水製造装置を備える超純水製
造装置について、先に特許出願を行なった（特願平４−
２２５６８１号。以下「先願Ｉ」という。）。
た超純水中には、ＴＯＣが２〜５ｐｐｂ程度存在する。
本出願人は、この原因について検討した結果、従来の超
純水製造装置は、原水中に存在する尿素を除去し難く、
これが超純水中のＴＯＣの低減を阻む原因となっている
ことを見出した。そして、この尿素を除去するべく更に
検討を重ねた結果、原水中に存在する尿素を低減する方
法として生物処理手段が好適であるとの知見を得、かか
る知見を基として、生物処理手段を含む前処理装置、一
次純水製造装置及び二次純水製造装置を備える超純水製
造装置について、先に特許出願を行なった（特願平４−
２２５６８１号。以下「先願Ｉ」という。）。
【０００４】そして、更に、上記先願Ｉの装置におい
て、生物処理手段における尿素分解速度については、原
水中に酢酸、酢酸ナトリウム、メタノール、エタノー
ル、アセトン等の易分解性有機物（Ｃ源）を添加するこ
とにより、尿素の分解速度を向上させることができるこ
とを知見し、一方、半導体製造工程から回収した半導体
洗浄排水中には、通常、洗浄のために使用されたイソプ
ロピルアルコール、酢酸、アセトン等の有機物がＴＯＣ
として数１００ｐｐｂ〜数ｐｐｍ含有されていることか
ら、この半導体洗浄排水を工水に混合することにより、
別途有機物添加のための設備や作業を必要とすることな
く、尿素の分解速度を向上させることができることを見
出し、半導体洗浄排水と工業用水とを混合して生物処理
した後、一次純水製造装置及び二次純水製造装置に通水
する超純水の製造方法について、特許出願した（特願平
５−２２３１２号。以下「先願II」という。）。
て、生物処理手段における尿素分解速度については、原
水中に酢酸、酢酸ナトリウム、メタノール、エタノー
ル、アセトン等の易分解性有機物（Ｃ源）を添加するこ
とにより、尿素の分解速度を向上させることができるこ
とを知見し、一方、半導体製造工程から回収した半導体
洗浄排水中には、通常、洗浄のために使用されたイソプ
ロピルアルコール、酢酸、アセトン等の有機物がＴＯＣ
として数１００ｐｐｂ〜数ｐｐｍ含有されていることか
ら、この半導体洗浄排水を工水に混合することにより、
別途有機物添加のための設備や作業を必要とすることな
く、尿素の分解速度を向上させることができることを見
出し、半導体洗浄排水と工業用水とを混合して生物処理
した後、一次純水製造装置及び二次純水製造装置に通水
する超純水の製造方法について、特許出願した（特願平
５−２２３１２号。以下「先願II」という。）。
【０００５】図２は先願IIの超純水の製造方法の実施に
好適な超純水製造装置の一例を示す系統図であり、図２
（ａ）に示す超純水製造装置は、前処理装置Ａとして生
物処理装置１とメンブレンフィルター、即ち限外濾過
（ＵＦ）又は精密濾過（ＭＦ）膜分離装置２を、一次純
水製造装置Ｂとして第１逆浸透（ＲＯ）膜分離装置３と
第２逆浸透（ＲＯ）膜分離装置４と混床式イオン交換装
置５を、また、二次純水製造装置Ｃとして（タンク６
と）低圧紫外線酸化装置７と、混床式イオン交換装置８
とＵＦ膜分離装置９を設け、この順で直列に設置したも
のである。２０は工業用水と半導体洗浄排水との混合水
の導入配管を示す。
好適な超純水製造装置の一例を示す系統図であり、図２
（ａ）に示す超純水製造装置は、前処理装置Ａとして生
物処理装置１とメンブレンフィルター、即ち限外濾過
（ＵＦ）又は精密濾過（ＭＦ）膜分離装置２を、一次純
水製造装置Ｂとして第１逆浸透（ＲＯ）膜分離装置３と
第２逆浸透（ＲＯ）膜分離装置４と混床式イオン交換装
置５を、また、二次純水製造装置Ｃとして（タンク６
と）低圧紫外線酸化装置７と、混床式イオン交換装置８
とＵＦ膜分離装置９を設け、この順で直列に設置したも
のである。２０は工業用水と半導体洗浄排水との混合水
の導入配管を示す。
【０００６】図２（ｂ）に示す超純水製造装置は、一次
純水製造装置Ｂがイオン交換純水装置１０とＲＯ膜分離
装置１１で構成されること以外は図２（ａ）に示す超純
水製造装置と同様の構成とされている。
純水製造装置Ｂがイオン交換純水装置１０とＲＯ膜分離
装置１１で構成されること以外は図２（ａ）に示す超純
水製造装置と同様の構成とされている。
【０００７】上記先願IIの方法によれば、半導体洗浄排
水中に存在する有機成分を生物処理のＣ源として有効に
利用して、生物処理における尿素の分解効率を向上させ
ると共に、当該有機成分をも分解除去するため、半導体
洗浄排水及び工業用水の各々に含有される、除去・低減
化の目的物質を、単一装置にて同時に分解除去すること
ができるという優れた効果が奏される。
水中に存在する有機成分を生物処理のＣ源として有効に
利用して、生物処理における尿素の分解効率を向上させ
ると共に、当該有機成分をも分解除去するため、半導体
洗浄排水及び工業用水の各々に含有される、除去・低減
化の目的物質を、単一装置にて同時に分解除去すること
ができるという優れた効果が奏される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、上記先
願IIの方法について更に詳細な検討を行った結果、半導
体洗浄排水中にトリメチルアンモニウムハイドロオキサ
イド（ＴＭＡＨ）やコリン等の有機アルカリが混入して
いると、これらは生物処理では除去しにくい上に、他の
有機物の分解を阻害し、この結果、二次純水製造装置に
おける低圧紫外線酸化装置への負荷が増大するとともに
電力コストが嵩むことを見出した。
願IIの方法について更に詳細な検討を行った結果、半導
体洗浄排水中にトリメチルアンモニウムハイドロオキサ
イド（ＴＭＡＨ）やコリン等の有機アルカリが混入して
いると、これらは生物処理では除去しにくい上に、他の
有機物の分解を阻害し、この結果、二次純水製造装置に
おける低圧紫外線酸化装置への負荷が増大するとともに
電力コストが嵩むことを見出した。
【０００９】本発明は、上記半導体洗浄排水中の有機ア
ルカリによる問題を解決するべく、有機アルカリを効率
的に除去して、ＴＯＣを低減する方法を提供することを
目的とする。
ルカリによる問題を解決するべく、有機アルカリを効率
的に除去して、ＴＯＣを低減する方法を提供することを
目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の半導体洗浄排水
の処理方法は、有機アルカリを含む半導体洗浄排水を工
業用水と混合して生物処理する半導体洗浄排水の処理方
法において、有機アルカリを含む半導体洗浄排水をカチ
オン交換樹脂でカチオン交換処理した後、工業用水と混
合することを特徴とする。
の処理方法は、有機アルカリを含む半導体洗浄排水を工
業用水と混合して生物処理する半導体洗浄排水の処理方
法において、有機アルカリを含む半導体洗浄排水をカチ
オン交換樹脂でカチオン交換処理した後、工業用水と混
合することを特徴とする。
【００１１】
【作用】カチオン交換樹脂は、有機アルカリの除去に有
効であり、このため、有機アルカリを含有する半導体洗
浄排水をカチオン交換樹脂でカチオン交換処理して予め
有機アルカリを除去した後、工業用水と混合して生物処
理することにより、生物処理効率を高めることができ
る。
効であり、このため、有機アルカリを含有する半導体洗
浄排水をカチオン交換樹脂でカチオン交換処理して予め
有機アルカリを除去した後、工業用水と混合して生物処
理することにより、生物処理効率を高めることができ
る。
【００１２】
【実施例】以下に図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１３】図１は、本発明における半導体洗浄排水の
前処理工程、即ち、工業用水との混合に到るまでの工程
の一実施例を示す系統図であり、図中、２１は活性炭
塔、２２は弱アニオン交換樹脂塔、２３はカチオン交換
樹脂塔、２４は混合槽であり、３１〜３５の各符号は配
管を示す。
前処理工程、即ち、工業用水との混合に到るまでの工程
の一実施例を示す系統図であり、図中、２１は活性炭
塔、２２は弱アニオン交換樹脂塔、２３はカチオン交換
樹脂塔、２４は混合槽であり、３１〜３５の各符号は配
管を示す。
【００１４】即ち、本実施例の方法では、半導体洗浄排
水は、配管３１より活性炭塔２１に導入されて、過酸化
水素の分解除去等の処理がなされた後、配管３２より弱
アニオン交換樹脂塔２２に導入されてアニオン交換処理
され、次いで配管３３よりカチオン交換樹脂塔２３に導
入される。このカチオン交換樹脂塔２３にて有機アルカ
リがカチオン交換により除去された水は、配管３４より
混合槽２４に導入され、配管３５から導入される工業用
水と混合される。混合水は、配管２０より、図２（ａ）
又は図２（ｂ）に示す装置の生物処理装置１に導入さ
れ、更に処理される。
水は、配管３１より活性炭塔２１に導入されて、過酸化
水素の分解除去等の処理がなされた後、配管３２より弱
アニオン交換樹脂塔２２に導入されてアニオン交換処理
され、次いで配管３３よりカチオン交換樹脂塔２３に導
入される。このカチオン交換樹脂塔２３にて有機アルカ
リがカチオン交換により除去された水は、配管３４より
混合槽２４に導入され、配管３５から導入される工業用
水と混合される。混合水は、配管２０より、図２（ａ）
又は図２（ｂ）に示す装置の生物処理装置１に導入さ
れ、更に処理される。
【００１５】即ち、例えば、図２（ａ）の生物処理装置
１に導入されて生物処理され、尿素等の有機物が分解除
去される。
１に導入されて生物処理され、尿素等の有機物が分解除
去される。
【００１６】この生物処理装置１においては、半導体洗
浄排水中の有機成分を利用して、効率的に尿素の分解が
進行すると共に、半導体洗浄排水中の有機成分の分解も
行なわれる。この生物処理に当り、半導体洗浄排水中の
有機アルカリは予め除去されており、有機アルカリの残
留或いは有機アルカリによる分解阻害の問題はない。こ
の生物処理水は生物処理装置１から流出する菌体の除去
のためにＵＦ又はＭＦ膜分離装置２に導入され、膜分離
される。
浄排水中の有機成分を利用して、効率的に尿素の分解が
進行すると共に、半導体洗浄排水中の有機成分の分解も
行なわれる。この生物処理に当り、半導体洗浄排水中の
有機アルカリは予め除去されており、有機アルカリの残
留或いは有機アルカリによる分解阻害の問題はない。こ
の生物処理水は生物処理装置１から流出する菌体の除去
のためにＵＦ又はＭＦ膜分離装置２に導入され、膜分離
される。
【００１７】このような前処理装置Ａで処理された前処
理水は、次いで一次純水製造装置Ｂにおいて、まず、第
１ＲＯ膜分離装置３及び第２ＲＯ膜分離装置４にて２段
ＲＯ膜分離処理され、更に混床式イオン交換装置５でイ
オン交換される。
理水は、次いで一次純水製造装置Ｂにおいて、まず、第
１ＲＯ膜分離装置３及び第２ＲＯ膜分離装置４にて２段
ＲＯ膜分離処理され、更に混床式イオン交換装置５でイ
オン交換される。
【００１８】更に、一次純水製造装置Ｂの処理水は、二
次純水製造装置Ｃにて、タンク６を経て低圧紫外線酸化
装置７に導入され、含有されるＴＯＣがイオン化ないし
分解され、このうち、イオン化された有機物は、後段の
混床式イオン交換装置８で除去される。この混床式イオ
ン交換装置８の処理水は更にＵＦ膜分離装置９で膜分離
処理され、超純水が得られる。
次純水製造装置Ｃにて、タンク６を経て低圧紫外線酸化
装置７に導入され、含有されるＴＯＣがイオン化ないし
分解され、このうち、イオン化された有機物は、後段の
混床式イオン交換装置８で除去される。この混床式イオ
ン交換装置８の処理水は更にＵＦ膜分離装置９で膜分離
処理され、超純水が得られる。
【００１９】図１に示す前処理工程において、カチオン
交換樹脂塔２３に用いられるカチオン交換樹脂としては
弱カチオン交換樹脂、強カチオン交換樹脂のいずれでも
良く、その構造、仕様、通水再生条件には特に制限はな
い。
交換樹脂塔２３に用いられるカチオン交換樹脂としては
弱カチオン交換樹脂、強カチオン交換樹脂のいずれでも
良く、その構造、仕様、通水再生条件には特に制限はな
い。
【００２０】本発明方法を採用した超純水製造装置にお
いては、図１に示すような前処理を施した半導体洗浄排
水を工業用水と混合して生物処理装置を設けた前処理装
置に通水すること以外は、基本的に従来の超純水製造装
置と同様の構成とすることができ、一次純水製造装置及
び二次純水製造装置におけるＲＯ膜分離装置やイオン交
換純水装置等の各装置単位の組み合せや構成は従来のも
のをそのまま採用することができる。
いては、図１に示すような前処理を施した半導体洗浄排
水を工業用水と混合して生物処理装置を設けた前処理装
置に通水すること以外は、基本的に従来の超純水製造装
置と同様の構成とすることができ、一次純水製造装置及
び二次純水製造装置におけるＲＯ膜分離装置やイオン交
換純水装置等の各装置単位の組み合せや構成は従来のも
のをそのまま採用することができる。
【００２１】なお、通常、有機廃水を処理する生物処理
手段としては活性汚泥法等があるが、工業用水のように
低濃度に有機物を含む水にこのような方法を適用して
も、菌体を保持することが不可能で、ＴＯＣ低減化法と
しては利用できない。
手段としては活性汚泥法等があるが、工業用水のように
低濃度に有機物を含む水にこのような方法を適用して
も、菌体を保持することが不可能で、ＴＯＣ低減化法と
しては利用できない。
【００２２】これに対して、特殊担体を上向流で流動化
させ、担体表面に菌体を固定化させる接触酸化方式の上
向流式生物分解装置は、菌体を流出させない生物処理手
段として有効である。この場合には、生物分解槽内に設
けた、活性炭又はアンスラサイト、砂、ゼオライト、イ
オン交換樹脂、プラスチック製成形品等の被処理水への
溶出成分を無視し得るような担体表面に菌体を保持さ
せ、生物分解槽の下部より前記混合水と、別途設けた曝
気槽の流出液とによる上向流で流動させて生物処理を行
なえば良い。
させ、担体表面に菌体を固定化させる接触酸化方式の上
向流式生物分解装置は、菌体を流出させない生物処理手
段として有効である。この場合には、生物分解槽内に設
けた、活性炭又はアンスラサイト、砂、ゼオライト、イ
オン交換樹脂、プラスチック製成形品等の被処理水への
溶出成分を無視し得るような担体表面に菌体を保持さ
せ、生物分解槽の下部より前記混合水と、別途設けた曝
気槽の流出液とによる上向流で流動させて生物処理を行
なえば良い。
【００２３】なお、生物処理装置は上向流通水方式のも
のに限らず、下向流通水方式のものであっても良い。
のに限らず、下向流通水方式のものであっても良い。
【００２４】図示の超純水製造装置は本発明方法を採用
した好適な装置の一例であって、本発明方法はその要旨
を超えない限り、何ら図示のものに限定されるものでは
ない。例えば、工業用水と半導体洗浄排水との混合は、
混合槽を設けて行なう他、配管への直接供給でも良い。
また、生物処理装置の前段又は後段に凝集沈殿装置や凝
集濾過装置を設けても良い。
した好適な装置の一例であって、本発明方法はその要旨
を超えない限り、何ら図示のものに限定されるものでは
ない。例えば、工業用水と半導体洗浄排水との混合は、
混合槽を設けて行なう他、配管への直接供給でも良い。
また、生物処理装置の前段又は後段に凝集沈殿装置や凝
集濾過装置を設けても良い。
【００２５】更に、生物処理装置の後段に設ける生物処
理装置から流出する菌体の除去手段としては、メンブレ
ンフィルターの他、砂濾過装置等を用いても良い。
理装置から流出する菌体の除去手段としては、メンブレ
ンフィルターの他、砂濾過装置等を用いても良い。
【００２６】なお、本発明の方法において工業用水と
は、いわゆる工水に限らず、市水、井水を含むものであ
り、また、本発明は、ＴＭＡＨやコリンなどの有機アル
カリを０．５ｐｐｍ以上含む半導体洗浄排水に有効であ
る。このような半導体洗浄排水と工業用水との混合比率
には特に制限はないが、通常の場合、工業用水に対して
半導体洗浄排水を４０〜８０体積％混合するのが好まし
い。
は、いわゆる工水に限らず、市水、井水を含むものであ
り、また、本発明は、ＴＭＡＨやコリンなどの有機アル
カリを０．５ｐｐｍ以上含む半導体洗浄排水に有効であ
る。このような半導体洗浄排水と工業用水との混合比率
には特に制限はないが、通常の場合、工業用水に対して
半導体洗浄排水を４０〜８０体積％混合するのが好まし
い。
【００２７】以下に具体的な実施例及び比較例を挙げて
本発明をより詳細に説明する。
本発明をより詳細に説明する。
【００２８】実施例１ 純水に試薬を添加して、フッ酸（ＨＦ）２０ｐｐｍ，硫
酸（Ｈ2 ＳＯ4 ）２０ｐｐｍ，メタノール１ｐｐｍ（Ｔ
ＯＣ：０．３８ｐｐｍ），コリン１ｐｐｍ（ＴＯＣ：
０．５ｐｐｍ）又は５ｐｍｍ（ＴＯＣ：２．５ｐｐｍ）
に調整したものを半導体洗浄排水とした。
酸（Ｈ2 ＳＯ4 ）２０ｐｐｍ，メタノール１ｐｐｍ（Ｔ
ＯＣ：０．３８ｐｐｍ），コリン１ｐｐｍ（ＴＯＣ：
０．５ｐｐｍ）又は５ｐｍｍ（ＴＯＣ：２．５ｐｐｍ）
に調整したものを半導体洗浄排水とした。
【００２９】一方、工業用水としては厚木市水（ＴＯ
Ｃ：０．８０ｐｐｍ）を用いた。
Ｃ：０．８０ｐｐｍ）を用いた。
【００３０】半導体洗浄排水に図１に示す前処理を施し
た後、混合槽にて半導体洗浄排水：市水＝１：１の割合
で混合し、混合水を図２（ａ）に示す装置の生物処理装
置１に２リットル／ｈｒの流量で通水して処理した。
た後、混合槽にて半導体洗浄排水：市水＝１：１の割合
で混合し、混合水を図２（ａ）に示す装置の生物処理装
置１に２リットル／ｈｒの流量で通水して処理した。
【００３１】なお、各処理工程の仕様及び運転条件は次
の通りであり、生物処理装置の後段にはＵＦ膜分離装置
を設けた。
の通りであり、生物処理装置の後段にはＵＦ膜分離装置
を設けた。
【００３２】活性炭塔：クリコールＷＧ−１６０ １０
Ｘ３２（栗田工業（株）商標）を充填した固定床に、Ｓ
Ｖ＝１０ｈｒ-1で下向流通水した。
Ｘ３２（栗田工業（株）商標）を充填した固定床に、Ｓ
Ｖ＝１０ｈｒ-1で下向流通水した。
【００３３】弱アニオン交換樹脂塔：ダイヤイオンＷＡ
−３０（三菱化成（株）製）を充填し、ＳＶ＝１５ｈｒ
-1で下向流通水した。
−３０（三菱化成（株）製）を充填し、ＳＶ＝１５ｈｒ
-1で下向流通水した。
【００３４】強カチオン交換樹脂塔：ダイヤイオンＳＫ
−１Ｂ（三菱化成（株）製）を充填し、ＳＶ＝１５ｈｒ
-1で下向流通水した。
−１Ｂ（三菱化成（株）製）を充填し、ＳＶ＝１５ｈｒ
-1で下向流通水した。
【００３５】生物処理装置：クリコールＷＧ−１６０
２０Ｘ４２（栗田工業（株）商標）１リットルに菌体を
担持させた上向流式生物分解装置に滞留時間３０分で通
水した。
２０Ｘ４２（栗田工業（株）商標）１リットルに菌体を
担持させた上向流式生物分解装置に滞留時間３０分で通
水した。
【００３６】生物処理装置の入口水と出口水のＴＯＣを
測定し、この測定値に基き生物処理によるＴＯＣ除去率
を算出し、結果を表１に示した。
測定し、この測定値に基き生物処理によるＴＯＣ除去率
を算出し、結果を表１に示した。
【００３７】比較例１ 実施例１において、強カチオン交換樹脂塔を設けず、即
ち、半導体洗浄排水を活性炭塔及び弱アニオン交換樹脂
塔に通水した後、厚木市水と混合したこと以外は同様に
行って、同様にＴＯＣ及びＴＯＣ除去率を調べ結果を表
１に示した。
ち、半導体洗浄排水を活性炭塔及び弱アニオン交換樹脂
塔に通水した後、厚木市水と混合したこと以外は同様に
行って、同様にＴＯＣ及びＴＯＣ除去率を調べ結果を表
１に示した。
【００３８】
【表１】
【００３９】表１の比較例１の結果から、明らかなよう
に、コリンは生物処理により除去されない上に、他の有
機物の除去をも阻害することが明らかである。一方、実
施例１の結果から、本発明に従って、コリンを予めカチ
オン交換樹脂により除去することにより、生物処理効率
を高め、高純度の超純水を得ることができることが明ら
かである。
に、コリンは生物処理により除去されない上に、他の有
機物の除去をも阻害することが明らかである。一方、実
施例１の結果から、本発明に従って、コリンを予めカチ
オン交換樹脂により除去することにより、生物処理効率
を高め、高純度の超純水を得ることができることが明ら
かである。
【００４０】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の方法によれ
ば、有機アルカリを含む半導体洗浄排水を工業用水と混
合して生物処理する際、生物処理で除去し難く、しか
も、他の有機物の除去を阻害する有機アルカリをカチオ
ン交換樹脂により予め除去することにより、生物処理効
率を高めることができる。
ば、有機アルカリを含む半導体洗浄排水を工業用水と混
合して生物処理する際、生物処理で除去し難く、しか
も、他の有機物の除去を阻害する有機アルカリをカチオ
ン交換樹脂により予め除去することにより、生物処理効
率を高めることができる。
【図１】本発明方法の半導体洗浄排水の処理工程の一例
を示す系統図である。
を示す系統図である。
【図２】本発明方法を採用した好適な超純水製造装置の
一例を示す系統図である。
一例を示す系統図である。
Ａ 前処理装置 Ｂ 一次純水製造装置 Ｃ 二次純水製造装置 １ 生物処理装置 ２ ＵＦ又はＭＦ膜分離装置 ３ 第１ＲＯ膜分離装置 ４ 第２ＲＯ膜分離装置 ５，８ 混床式イオン交換装置 ６ タンク ７ 低圧紫外線酸化装置 ９ ＵＦ膜分離装置 １０ イオン交換純水装置 １１ ＲＯ膜分離装置 ２１ 活性炭塔 ２２ 弱アニオン交換樹脂塔 ２３ カチオン交換樹脂塔 ２４ 混合槽
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０２Ｆ 9/00 ＺＡＢ ５０１ Ｚ ５０２ Ｊ ５０３ Ｇ ５０４ Ａ
Claims (1)
- 【請求項１】 有機アルカリを含む半導体洗浄排水を工
業用水と混合して生物処理する半導体洗浄排水の処理方
法において、 有機アルカリを含む半導体洗浄排水をカチオン交換樹脂
でカチオン交換処理した後、工業用水と混合することを
特徴とする半導体洗浄排水の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6176776A JPH0839058A (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 半導体洗浄排水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6176776A JPH0839058A (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 半導体洗浄排水の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0839058A true JPH0839058A (ja) | 1996-02-13 |
Family
ID=16019639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6176776A Pending JPH0839058A (ja) | 1994-07-28 | 1994-07-28 | 半導体洗浄排水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0839058A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006181445A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Kurita Water Ind Ltd | 排水の処理装置 |
| WO2008126300A1 (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-23 | Hitachi Plant Technologies, Ltd. | 有機性廃水の再生方法及びその装置 |
| JP2017087184A (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-25 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 水処理装置、超純水製造装置及び水処理方法 |
| US9868656B2 (en) | 2011-12-28 | 2018-01-16 | Mitsubishi Heavy Industries Mechatronics Systems | Wastewater treatment device |
| CN111795884A (zh) * | 2020-06-12 | 2020-10-20 | 广东省测试分析研究所（中国广州分析测试中心） | 一种针对化工废水可溶有机质分析的分级分离处理方法 |
-
1994
- 1994-07-28 JP JP6176776A patent/JPH0839058A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2006181445A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Kurita Water Ind Ltd | 排水の処理装置 |
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| JP2017087184A (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-25 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 水処理装置、超純水製造装置及び水処理方法 |
| WO2017086252A1 (ja) * | 2015-11-16 | 2017-05-26 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 水処理装置、超純水製造装置及び水処理方法 |
| CN108349764A (zh) * | 2015-11-16 | 2018-07-31 | 野村微科学股份有限公司 | 水处理装置、超纯水制造装置及水处理方法 |
| CN111795884A (zh) * | 2020-06-12 | 2020-10-20 | 广东省测试分析研究所（中国广州分析测试中心） | 一种针对化工废水可溶有机质分析的分级分离处理方法 |
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