JP3448623B2 - 荷電粒子ビーム露光方法及び装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、荷電粒子ビーム露光方
法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体集積回路の素子微細化に伴い、電
子ビーム露光装置が用いられている。この装置によれ
ば、０．０５μｍ以下の微細加工を、０．０２μｍ以下
の位置合わせ精度で行うことができる。しかし、電子ビ
ームを半導体ウェーハ上で走査させて露光するので、光
露光よりも露光時間が長くなる。このため、電子ビーム
露光のスループットを向上させる必要がある。

【０００３】そこで、大偏向が可能な電磁型主偏向器に
鋸波形の電流を供給して電子ビームを連続的に一方向へ
例えば幅２ｍｍ走査させ、同時にこれと直角な方向へ、
半導体ウェーハが搭載されたステージを例えば１００ｍ
ｍ／ｓで連続的に移動させ、レーザ干渉測長器でステー
ジ位置を検出し、小偏向であるが応答速度に優れた静電
型副偏向器でステージ移動に追従して電子ビームを偏向
させる（ステージフィードバックさせる）走査方法が提
案されている。

【０００４】市販のレーザ干渉測長器として、測定精度
がλ／１２０で固定のものと、測定精度がプログラムで
λ／５１２、λ／１０２４又はλ／２０４８のいずれか
を選択できるものとがある。ここにλはレーザ光の波長
であり、例えば０．６３μｍである。測定精度がλ／１
２０のものはパルス出力型であり、ステージが０．６３
／１２０μｍ＝０．００５３μｍ移動する毎に１個のパ
ルスを出力する。このパルスをカウンタで計数し、その
計数値と所定値との差がデジタルのステージフィードバ
ック量となる。１パルス毎のステージフィードバック量
の変化は１であり、ステージ移動速度によらない。した
がって、このデジタルのステージフィードバック量をＤ
／Ａ変換器でアナログ化しローパスフィルタでスムーズ
化することにより、パルス間のステージフィードバック
量が補間される。

【０００５】これに対し、測定精度をプログラムで選択
できるものは、並列データ出力型であり、出力データの
更新周期を設定可変であるが最短の場合でも１／１０Ｍ
Ｈｚ＝１００ｎｓと比較的長い。例えば、測定精度をλ
／１０２４、出力データの更新周期を最短の１／１０Ｍ
Ｈｚに設定すると、ステージ移動速度が１００ｍｍ／ｓ
＝０．０１μｍ／１００ｎｓの場合、ステージが０．０
１μｍ移動する毎にレーザ干渉測長器の出力が更新され
る。レーザ干渉測長器の出力値と所定値との差がデジタ
ルのステージフィードバック量となる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】このため、デジタル的
にはステージフィードバックの周期が、上記測定精度λ
／１２０のものよりも長くなり、かつ、ステージ移動速
度に応じてデジタルのステージフィードバック変化量が
異なる。したがって、このデジタルのステージフィード
バック量を、Ｄ／Ａ変換器でアナログ化しローパスフィ
ルタでスムーズ化した場合、レーザ干渉測長器の出力の
更新周期１００ｎｓ内でのステージフィードバック量の
アナログ的な補間が不正確となり、結果として露光位置
精度が不正確となり、より微細なパターンの露光が制限
される。

【０００７】このような問題は、一般に、ステップ変化
するデジタル値又はアナログ波形の隣合う対応する端点
間を略直線的に補間したものに基づいて偏向器で荷電粒
子ビームを連続的に偏向させようとする場合に生ずる。
本発明の目的は、このような場合において、スムージン
グによる補間をより正確に行うことにより露光位置精度
を向上させることが可能な荷電粒子ビーム露光方法及び
装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段及びその作用】本発明で
は、ステップ変化するデジタル値又はアナログ波形の隣
合う対応する端点間を、スムージング回路で略直線的に
補間し、該スムージング回路の出力に基づいて偏向器で
荷電粒子ビームを連続的に偏向させる荷電粒子ビーム露
光装置であって、該スムージング回路は、該端点間の傾
きに応じた制御信号が制御入力端に供給され、該制御信
号により電流値が可変である定電流源と、一端が該定電
流源に結合され、他端の電位が一定にされたコンデンサ
と、入力端が該コンデンサの該一端に結合された出力バ
ッファ回路と、を有する。

【０００９】この荷電粒子ビーム露光装置を用い、ステ
ップ変化するデジタル値又はアナログ波形の隣合う対応
する端点間の傾きを求めて、上記スムージング回路の定
電流源に供給する制御信号値を決定し、該傾きの直線で
該端点間を直線的に補間する。これにより、該端点間を
直線的に結ぶようにコンデンサが定電流源で充電又は放
電されるので、該端点間の補間を、ローパスフィルタで
スムージングする場合よりも正確に行うことができる。
従って、露光位置精度が向上し、より微細パターンを露
光することが可能になる。

【００１０】上記スムージング回路の前段に、上記デジ
タル値をアナログ値に変換するＤ／Ａ変換器が結合さ
れ、上記スムージング回路はさらに、第１ダイオードと
第２ダイオードの両アノードが互いに結合され、第３ダ
イオードと第４ダイオードの両カソードが互いに結合さ
れ、該第１ダイオードのカソードが該第３ダイオードの
アノードに結合され、該第２ダイオードのカソードが該
第４ダイオードのアノードに結合されたダイオードブリ
ッジ回路を有し、上記定電流源は、電流出力端が該第１
ダイオードのアノードに結合された第１定電流源と、電
流入力端が該第３ダイオードのカソードに結合された第
２定電流源とを有し、該第１ダイオードのカソードが該
Ｄ／Ａ変換器の出力端に結合されている。

【００１１】この構成によれば、第３ダイオードのカソ
ード電位が第１ダイオードのカソード電位に等しくなる
と、コンデンサへの充放電が停止されるので、コンデン
サに対する過度の充放電が防止される。上記スムージン
グ回路はさらに、上記第１定電流源の電流出力端と上記
第１ダイオードのアノードとの間に結合され、制御信号
によりオン／オフされる第１スイッチ素子と、上記第３
ダイオードのカソードと上記第２定電流源の電流入力端
との間に結合され、制御信号によりオン／オフされる第
２スイッチ素子と、を有する。

【００１２】この構成によれば、Ｄ／Ａ変換器の出力に
含まれるグリッチ波形を、第１及び第２のスイッチ素子
をオフにすることにより除去することができる。上記ス
ムージング回路はさらに、上記第１定電流源の電流出力
端に結合され、該第１電流源から出力される電流をオン
／オフさせるための第３スイッチ素子と、上記第２定電
流源の電流入力端に結合され、該第２電流源へ入力され
る電流をオン／オフさせるための第４スイッチ素子と、
を有する。

【００１３】この構成によれば、第１と第３のスイッチ
素子の一方をオンにするとき同時に他方をオフにし、第
２と第４のスイッチ素子の一方をオンにするとき同時に
他方をオフにすることにより、定電流源を常に動作状態
で使用することができるので、スイッチ素子のオン／オ
フに対する応答が高速になる。上記スムージング回路
は、上記第３スイッチ素子と上記第４スイッチ素子とが
直列に結合されている。

【００１４】この構成では、第１及び第２のスイッチ素
子をオフにし、かつ、第３及び第４のスイッチ素子をオ
ンにすると、第１定電流源から第３及び第４のスイッチ
素子を通って第２定電流源へ電流が流れる。この構成に
よれば、ダイオードブリッジに対する電流バイパス構成
が簡単になる。上記スムージング回路は、上記第１スイ
ッチ素子と上記第４スイッチ素子とが直列に結合され、
上記第２スイッチ素子と上記第３スイッチ素子とが直列
に結合され、上記ダイオードブリッジ回路はさらに、第
５ダイオードのカソードが上記第１ダイオードのアノー
ドに結合され、第６ダイオードのアノード及びカソード
がそれぞれ上記第３ダイオードのカソード及び第５ダイ
オードのアノードに結合され、上記出力バッファ回路
は、一対の入力の一方が上記コンデンサの上記一端及び
上記第２ダイオードのカソードに結合され、該一対の入
力の他方が該第６ダイオードのカソード及び演算増幅回
路の出力端に結合された演算増幅回路である。

【００１５】この構成によれば、出力バッファ回路の出
力のオフセットを、ダイオードブリッジ回路の動作によ
り自動的に除去することができる。他の発明では、ステ
ップ変化するＤ／Ａ変換器出力波形をスムージング回路
に通した後、荷電粒子ビームを偏向させる偏向器へ供給
する荷電粒子ビーム露光装置において、該スムージング
回路は、出力バッファ回路と、一端が該出力バッファ回
路の入力端に結合された抵抗と、一端が該抵抗の他端に
結合され、他端の電位が一定にされたコンデンサと、該
出力バッファ回路の出力端に結合されたローパスフィル
タと、を有し、入力端が該出力バッファ回路の入力端で
ある。

【００１６】この構成によれば、Ｄ／Ａ変換器出力波形
の対応する端点間の補間を、ローパスフィルタ単独でス
ムージングする場合よりも正確に行うことができる。上
記抵抗又はコンデンサの容量の値が制御信号により切り
換え自在である。この構成によれば、抵抗又はコンデン
サの容量を適当な値に切り換えることにより、Ｄ／Ａ変
換器出力波形の対応する端点間の補間をより正確に行う
ことができる。

【００１７】上記Ｄ／Ａ変換器と上記スムージング回路
との間に、上記アナログ値をサンプリングするサンプル
ホールド回路が結合されている。少なくとも上記Ｄ／Ａ
変換器の出力がステップ変化を開始してから一定時間経
過するまでの間、該サンプルホールド回路をホールド状
態にさせ、該サンプルホールド回路の出力波形の隣合う
対応する端点間の傾きを求めて、上記スムージング回路
の定電流源に供給する制御信号値を決定し、該傾きの直
線で該端点間を直線的に補間する。

【００１８】この構成によれば、サンプルホールド回路
の出力に、Ｄ／Ａ変換器の出力に含まれるグリッチ波形
を含ませないようにすることができる。上記Ｄ／Ａ変換
器と第１の上記スムージング回路との間に、第２の、上
記第１定電流源及び上記第２定電流源の制御入力端に供
給される信号を一定にした上記スムージング回路が結合
されている。

【００１９】この構成に対し、（１）少なくとも該Ｄ／
Ａ変換器の出力がステップ変化を開始してから一定時間
経過するまでの間、該第１スムージング回路のスイッチ
素子を制御して該第１スムージング回路の入出力間をオ
フ状態にさせ、該第１スムージング回路の出力波形の隣
合う対応する端点間の傾きを求めて、上記第２スムージ
ング回路の定電流源に供給する制御信号値を決定し、該
傾きの直線で該端点間を直線的に補間し、又は、（２）
少なくとも上記Ｄ／Ａ変換器の出力がステップ変化を開
始してから一定時間経過するまでの間、上記第１スムー
ジング回路のスイッチ素子を制御して該第１スムージン
グ回路の入出力間をオフ状態にさせ、該Ｄ／Ａ変換器の
出力がステップ変化を開始してから該一定時間経過する
までの間のみ、上記第２スムージング回路のスイッチ素
子を制御して該第２スムージング回路の入出力間をオフ
状態にさせ、該第１スムージング回路の出力波形の隣合
う対応する端点間の傾きを求めて、該第２スムージング
回路の定電流源に供給する制御信号値を決定し、略該傾
きの直線で該端点間を直線的に補間する。

【００２０】このようにすれば、例えば図１４に示すよ
うに、サンプルホールド回路を用いた図１１の場合より
も、第２スムージング回路の出力に含まれる傾き０の部
分を狭くすることができ。また、（２）の場合には、第
１スムージング回路に対するスイッチ制御により第１ス
ムージング回路の出力にノイズがのっても、これが第２
スムージング回路を通過するのを防止することができ
る。

【００２１】上記荷電粒子ビーム露光装置は、露光対象
物が搭載される移動ステージと、該移動ステージの位置
を検出する位置検出器とを有し、上記デジタル値の変化
量は、該移動ステージの検出位置の変化量に等しい。こ
の場合、ステージ移動に対する偏向器へのフィードバッ
ク補正がより正確となる。

【００２２】上記荷電粒子ビーム露光装置は、上記荷電
粒子ビームを偏向させる主偏向器と、該荷電粒子ビーム
を偏向させる副偏向器と、該主偏向器により該荷電粒子
ビームを第１方向へ周期的に走査させ、該移動ステージ
を該第１方向と直角な第２方向へ連続的に移動させ、該
露光対象物上で該第１方向に沿って露光するために、該
副偏向器により該荷電粒子ビームを、該移動ステージの
移動に追従して該第１方向へ偏向させる制御手段と、を
有する。

【００２３】この場合、ステージ移動に対する副偏向器
へのフィードバック補正がより正確となる。また、上記
端点間の傾きが、該移動ステージの検出位置の変化率に
略等しくなるので、端点間の傾きを容易に求めることが
できる。

【００２４】

【実施例】以下、図面に基づいて本発明の実施例を説明
する。異なる図において、互いに対応する同一又は類似
の構成要素には、同一又は類似の符号を付している。 ［第１実施例］図１は、荷電粒子ビーム露光装置の要部
構成を示す。

【００２５】露光対象物としての半導体ウェーハ２１
は、移動ステージ２２上に載置されている。移動ステー
ジ２２は、ステージ制御回路２３で移動制御され、移動
ステージ２２の位置がステージ位置検出器２４で検出さ
れる。ステージ位置検出器２４はレーザ干渉測長器であ
り、微細パターンを連続露光する為に、例えば上述の、
１ＬＳＢがレーザ光の波長０．６３μｍの１／１０２４
の並列データを出力し、この出力を周期１／１０ＭＨｚ
＝１００ｎｓで更新するものを用いる。

【００２６】半導体ウェーハ２１上にはレジスト膜が被
着されており、これに、荷電粒子ビームとしての電子ビ
ームＥＢを照射することにより、露光が行われる。半導
体ウェーハ２１上での電子ビームＥＢの走査は、移動ス
テージ２２と、移動ステージ２２の上方に配置された主
偏向器２５及び副偏向器２６とにより行われる。通常、
主偏向器２５は、応答速度は遅いが大偏向が可能な電磁
型であり、副偏向器２６は、小偏向であるが応答速度が
電磁型より高速な静電型である。

【００２７】半導体ウェーハ２１上での電子ビームＥＢ
の走査は、例えば図２に示すように行われる。すなわ
ち、電子ビームＥＢは、主偏向器２５により方向Ｂへ連
続的に偏向され、これと並行して移動ステージ２２は、
方向Ｂと直角な方向Ｃへ連続的に移動される。さらに、
１走査領域であるバンドＢＮＤが半導体ウェーハ２１上
でＢ方向になるように、電子ビームＥＢは副偏向器２６
により、移動ステージ２２の移動に追従して方向Ｃへ連
続的に偏向される。バンドＢＮＤは、例えば、幅１０μ
ｍ、長さ２ｍｍである。

【００２８】斜線で示す領域の露光パターンには各種の
ものがあり、例えば、電子ビームＥＢのワンショットで
露光される矩形パターン、主偏向器２５の上方に配置さ
れた当業者に周知のステンシルマスクの開口パターンを
電子ビームＥＢが通過して形成される微細パターン、又
は、図１に示す如く主偏向器２５及び副偏向器２６の上
方にアパーチャ２７を介して配置されるブランキングア
パーチャアレイ２８を用いて得られる任意の微細パター
ンである。

【００２９】ブランキングアパーチャアレイ２８は、図
２に示す如く、薄い基板に開口６０が千鳥格子状に形成
され、各開口６０が、基板上に形成された共通電極６１
とブランキング電極６２とで囲まれている。例えば、開
口６０は一辺が２５μｍの正方形であり、開口の個数は
１６×６４である。ブランキングアパーチャアレイ２８
上の一点鎖線で示す全範囲に、略均一の電流密度の電子
ビームＥＢが投射される。１つの開口６０を通った電子
ビームの半導体ウェーハ２１上での照射点は、例えば、
一辺が０．０８μｍの略正方形である。

【００３０】共通電極６１とブランキング電極６２との
間の電圧を０又は一定値Ｖsとすることにより、共通電
極６１とブランキング電極６２とで囲まれた開口６０を
通過する電子ビームがアパーチャ２７を通過し半導体ウ
ェーハ２１上に照射され又は図１に示す如く偏向されて
アパーチャ２７で遮られる。この作用を図３に示す。図
３中、６４は電磁レンズであり、また、同種の異なる構
成要素の番号にＡ〜Ｃを付記している。電極電位は、例
えば、共通電極６１Ａ〜６１Ｃ、ブランキング電極６２
Ａ及び６２Ｃが０、ブランキング電極６２ＢがＶsであ
る。

【００３１】図２において、開口６０を千鳥格子状に配
置しているのは、主偏向器２５で電子ビームＥＢを方向
Ｂへ１ピッチ走査させた後に、例えばブランキングアパ
ーチャアレイ２８の第２列６３２の開口を通った電子ビ
ームによる露光パターンの列方向隙間を、第１列６３１
の開口を通った電子ビームによる露光パターンで埋める
ためである。このことは、他の列についても同様であ
る。全ブランキング電極６２には、露光しようとするパ
ターンに応じた電圧パターンがブランキング制御回路２
９から供給される。

【００３２】このような構成によれば、全ブランキング
電極６２に印加する電圧パターンに応じた任意の微細パ
ターンを、半導体ウェーハ２１上に露光させることがで
きる。パターンが微細であるが故に、上述の、Ｄ／Ａ変
換器の出力のスムージングの正確化が問題となる。図４
は、ステージ移動方向Ｙに関する、ステージ検出位置Ｙ
ｄと走査中の第ｊバンドのＹ方向の位置Ｙｊと副偏向器
２６に対するステージフィードバック量Ｙｄ−Ｙｊとの
関係を、理想的な場合について示す。ステージフィード
バック量Ｙｄ−Ｙｊは、副偏向器２６のＹ方向偏向量を
０と仮定したときの電子ビーム照射位置に対する、走査
中のバンドの位置である。時点ｔ１は走査中の第ｊバン
ドの始端に対応し、時点ｔ３はこのバンドの終端に対応
している。また、時点ｔ２では、副偏向器２６のＹ方向
偏向量が０で電子ビーム照射位置が第ｊバンド上となっ
ている。

【００３３】図１において、減算器３０の被減数入力端
及び減数入力端にはそれぞれステージ検出位置Ｙｄ及び
バンド位置レジスタ３１の出力Ｙｊが供給される。バン
ド位置レジスタ３１には、１バンド走査開始直前に、不
図示のメモリから読み出されたバンド位置が保持され
る。１バンド走査開始時点での減算器３０の出力Ｙｄ−
Ｙｊは、理想的な場合、−Ｙｗ／２となる。減算器３０
の出力Ｙｄ−Ｙｊは、ステージフィードバック量として
加算器３２の一方の入力端に供給される。

【００３４】加算器３２の他方の入力端には、後述のオ
フセット補正値ΔＹが供給される。加算器３２の出力Ｙ
ｄ−Ｙｊ＋ΔＹは、Ｄ／Ａ変換器４０に供給され、図６
（Ｃ）に示す変換開始クロックφ１の立ち上がりのタイ
ミングでＤ／Ａ変換が開始されて、アナログ電圧Ｖ１と
なる。電圧Ｖ１には、図６（Ａ）に示す如く、ステップ
変化する際に、グリッチ波形が含まれる。このグリッチ
波形は、Ｄ／Ａ変換器４０の内部において、複数のスイ
ッチ素子のオン／オフのタイミングのずれによるもので
あり、Ｄ／Ａ変換器４０の入力の変化の前後の値に応じ
た波形となる。

【００３５】このグリッチ波形を除去するために、遅延
回路４１及びサンプルホールド回路４２を備えている。
変換開始クロックφ１は、遅延回路４１により一定時間
ｔｄ、例えばステップ変化の際の整定時間の最大値だけ
遅延され、サンプルクロックφ２としてサンプルホール
ド回路４２の制御入力端に供給される。サンプルホール
ド回路４２は、図５に示す如く、演算増幅器の反転入力
端子と出力端子との間を短絡させた増幅率１のボルテー
ジホロア４２１を有し、その非反転入力端が、一方では
コンデンサＣ０を介してグランド線に接続され、他方で
はアナログスイッチＳ０を介して図１のＤ／Ａ変換器４
０の出力端に接続されている。

【００３６】サンプルクロックφ２が高レベルの間、ア
ナログスイッチＳ０がオンになって、コンデンサＣ０が
入力電圧Ｖ１で充電又は放電され、サンプルクロックφ
２が低レベルの間、アナログスイッチＳ０がオフになっ
て、コンデンサＣ０の端子間電圧が保持される。これに
より、サンプルホールド回路４２の出力電圧Ｖ２は、図
６（Ｂ）中の実線で示すステップ波形となり、電圧Ｖ１
に含まれていたグリッチ波形が除去される。

【００３７】図５に示す如く、電圧Ｖ２は、スム−ジン
グ回路４３に供給される。スム−ジング回路４３は、増
幅率１のボルテージホロア４３１を有し、その非反転入
力端が、一方では抵抗Ｒを介しアナログスイッチＳ１〜
Ｓ４の一端に接続され、他方ではボルテージホロア４２
１の出力端に接続されている。アナログスイッチＳ１〜
Ｓ４の他端は、それぞれコンデンサＣ１〜Ｃ４を介して
グランド線に接続されている。ボルテージホロア４３１
の出力端には、ローパスフィルタＦが接続されている。

【００３８】コンデンサＣ１〜Ｃ４の容量比は、例えば
１：２：４：８となっている。制御信号ＳＳによるアナ
ログスイッチＳ１〜Ｓ４のオン・オフの組み合わせによ
り、積分時定数をｎＲＣ１、ｎ＝１〜１５とすることが
できる。ボルテージホロア４３１の出力ＶＩは、図６
（Ｂ）中の一点鎖線で示す如くなる。ｎの値は、ローパ
スフィルタＦの出力電圧Ｖ３が、できるだけ直線に近づ
くように、電圧Ｖ２のステップ変化量、すなわち移動ス
テージ２２の移動速度に応じて定められる。

【００３９】なお、スム−ジング回路４３は、コンデン
サの容量を切り換える代わりに、抵抗を切り換える構成
にしてもよい。図１に示す如く、電圧Ｖ３は、増幅回路
４４で電圧増幅されて副偏向器２６に供給される。一
方、主偏向器２５には、不図示の回路の鋸波状出力を増
幅回路５４で電流増幅したものが供給される。

【００４０】上記オフセット補正値ΔＹは、電圧Ｖ２の
ステップ変化が電圧Ｖ１のそれよりも時間ｔｄ遅延して
いることや、この遅延がないときにステージ位置検出器
２４の出力の変化が増幅回路４４の出力まで伝播するの
に要する時間等により、増幅回路４４の出力が目標値よ
り小さくなるのを補正するためのものである。オフセッ
ト補正値ΔＹは、移動ステージ２２の移動速度による。
移動ステージ２２のＹ方向移動速度は、通常、１枚の半
導体ウェーハ２１に対し一定値であるが、電子ビームＥ
Ｂの電流密度及び半導体ウェーハ２１上のレジストの感
度等により異なる。

【００４１】本第１実施例では、Ｄ／Ａ変換器４０の出
力に含まれるグリッチ波形がサンプルホールド回路４２
で除去され、ステップ変化がスムージング回路４３でほ
ぼ除去されるので、スムージングによるステップ間の補
間が、ローパスフィルタのみを用いた従来の場合よりも
正確に行われる。したがって、露光位置精度がより高く
なり、より微細パターンを露光することが可能となる。

【００４２】［第２実施例］上記第１実施例では、直線
的な補完ができない。この補間はできるだけ直線的に行
った方が正確となる。そこで、第２実施例では、図５の
スム−ジング回路４３の代わりに、図７に示すようなス
ム−ジング回路４３Ａを用いている。このスム−ジング
回路４３Ａは、ダイオードＤ１及びＤ２の両アノードが
電流源４３２を介して電位＋Ｖccの電源配線に接続され
ている。ダイオードＤ１及びＤ２のカソードはそれぞ
れ、ダイオードＤ３及びＤ４のアノードに接続され、ダ
イオードＤ３及びＤ４の両カソードは電流源４３３を介
して電位−Ｖccの電源配線に接続されている。Ｖccは例
えば１５Ｖである。ダイオードＤ２のカソードは、コン
デンサＣ５の一端及びホルテージホロア４３１の非反転
入力端にも接続され、コンデンサＣ５の他端はグランド
線に接続されている。

【００４３】電流源４３２及び４３３は、これらに流れ
る電流Ｉが互いに等しくなるように制御される。電流源
４３２及び４３３は、例えばそれぞれ１つのＰＮＰトラ
ンジスタ及びＮＰＮトランジスタで構成され、その制御
入力端に１対の相補的な電位ＶＣ及び−ＶＣがそれぞれ
印加されて、電流Ｉが制御される。電位ＶＣ及び−ＶＣ
は、Ｄ／Ａ変換器４５により制御信号ＳＳがアナログ変
換されて得られる。

【００４４】スム−ジング回路４３Ａの入力端及び出力
端はそれぞれ、ダイオードＤ１のカソード及びボルテー
ジホロア４３１の出力端となっている。次に、上記の如
く構成されたスム−ジング回路４３Ａの動作を説明す
る。一般に、ダイオードに順方向電流が流れるときのダ
イオード端子間電圧ΔＶfは一定であり、約０．６Ｖで
ある。

【００４５】Ｖ２＝Ｖ３の状態から、Ｖ２がΔＶ０だけ
ステップ変化した場合を考える。Ｖ２＝Ｖ＋ΔＶ、Ｖ３
＝Ｖとする。ΔＶの初期値はΔＶ０である。ΔＶ＞０で
あるので、ダイオードＤ２及びＤ３に電流Ｉが流れ、ダ
イオードＤ２のアノード電位はＶ＋ΔＶf、ダイオード
Ｄ３のカソード電位はＶ＋ΔＶ−ΔＶfとなる。ダイオ
ードＤ１及びＤ４の端子間電圧はいずれもΔＶf−ΔＶ
となり、ΔＶfより小さくなるので、電流が流れない。

【００４６】したがって、電位Ｖ３は、図８に示す如
く、Ｖ２に等しくなるまで直線的に上昇する。この上昇
速度は電流Ｉに比例するので、電位Ｖ３の上昇速度を制
御信号ＳＳにより調整することができる。Ｖ３＝Ｖ２に
なると、ダイオードブリッジの電位分布が対称になるの
で、ダイオードＤ１〜Ｄ４にはいずれも電流Ｉ／２が流
れ、コンデンサＣ５への充電が停止される。

【００４７】この第２実施例によれば、電位Ｖ３を直線
的に変化させることができる。電位Ｖ３の傾きの最適値
は、図８において、電位Ｖ２のスッテップアップ開始点
間を結んだ直線の傾きであり、図１において、 ｛（加算器３２の今回の出力値）−（加算器３２の前回
の出力値）｝／（ステージ位置検出器２４の出力の周
期） となる。この値は、電位Ｖ２のステップ変化前に既知で
あるので、制御信号ＳＳにより、電位Ｖ３の傾きを常に
最適値にすることができる。

【００４８】なお、電位Ｖ３が直線的に変化することか
ら、変形例として、図１のサンプルホールド回路４２を
省略し、Ｄ／Ａ変換器４０の出力Ｖ１を直接、図７のス
ムージング回路に供給してもよい。この場合、電位Ｖ３
は電位Ｖ１に対し図９（Ａ）に示す如く変化する。但
し、電位Ｖ１がステップアップする際に、図９（Ｂ）に
示すようなアンダーシュートのグリッチ波形が存在する
場合には、Ｖ３＝Ｖ１となるまで、ダイオードＤ１及び
Ｄ４がオン、ダイオードＤ２及びＤ３がオフとなるの
で、この間、電位Ｖ３が低下する。このような場合は、
図１のサンプルホールド回路４２を用いた方が好まし
い。電位Ｖ１がステップダウンする際に、オーバ−シュ
ートのグリッチ波形が存在する場合についても同様であ
る。

【００４９】［第３実施例］図７のスム−ジング回路４
３Ａでは、その前段のサンプルホールド回路のスイッチ
ングにより電位Ｖ２が変動すると、この変動がコンデン
サＣ５へ伝達される。そこで、この第３実施例では、図
７のスム−ジング回路４３Ａの代わりに図１０に示すよ
うなスム−ジング回路４３Ｂを用い、前段のサンプルホ
ールド回路がスイッチングしている間、スム−ジング回
路４３Ｂの入出力間を遮断状態にしている。

【００５０】このスム−ジング回路４３Ｂでは、定電流
源４３２の電流出力端と、ダイオードＤ１及びＤ２の両
アノードとの間及びグランド線との間にそれぞれ、スイ
ッチング用の一対のＰＮＰトランジスタＱ１及びＱ２が
接続され、また、定電流源４３３の電流入力端と、ダイ
オードＤ３及びＤ４の両カソードとの間及びグランド線
との間にそれぞれ、スイッチング用の一対のＮＰＮトラ
ンジスタＱ３及びＱ４が接続されている。

【００５１】ＰＮＰトランジスタＱ１及びＱ２のベース
はそれぞれレベル変換回路４３４の反転出力端及び非反
転出力端に接続され、また、ＮＰＮトランジスタＱ３及
びＱ４のベースはそれぞれレベル変換回路４３５の非反
転出力端及び反転出力端に接続されている。レベル変換
回路４３４及び４３５の入力端には、クロック＊φ２が
供給される。クロック＊φ２は、図６（Ｄ）のサンプル
クロックφ２の論理レベルを反転したものである。レベ
ル変換回路４３４は、入力信号を、ＰＮＰトランジスタ
Ｑ１及びＱ２をオン／オフさせる１対の相補的な電位に
変換するものであり、また、レベル変換回路４３５は、
入力信号を、ＮＰＮトランジスタＱ３及びＱ４をオン／
オフさせる１対の相補的な電位に変換するものである。

【００５２】他の点は、図７のスム−ジング回路４３Ａ
と同一構成である。次に、上記の如く構成されたスム−
ジング回路４３Ｂの動作を、図１１を参照して説明す
る。クロック＊φ２が低レベルのとき、ＰＮＰトランジ
スタＱ２及びＮＰＮトランジスタＱ４がオン、ＰＮＰト
ランジスタＱ１及びＮＰＮトランジスタＱ３がオフにな
り、ダイオードブリッジＤ１〜Ｄ４には電流が流れず、
コンデンサＣ５の端子間電圧が保持され、電位Ｖ３は電
位Ｖ２に影響されない。このホールド状態で、電位Ｖ２
がΔＶ０だけステップアップする。

【００５３】クロック＊φ２が高レベルに遷移すると、
ＰＮＰトランジスタＱ１及びＮＰＮトランジスタＱ３が
オン、ＰＮＰトランジスタＱ２及びＮＰＮトランジスタ
Ｑ４がオフになり、上記第２実施例の場合と同様の動作
が行われる。なお、スム−ジング回路４３Ｂは、定電流
源４３２及び４３３の制御入力端に印加する電位ＶＣ及
び−ＶＣを一定にして、コンデンサＣ５を容量の小さい
ものにすることにより、図１のサンプルホールド回路４
２として用いることもできる。

【００５４】［第４実施例］図１０のスム−ジング回路
４３Ｂでは、ボルテージホロア４３１の出力にオフセッ
ト電圧が生ずると、これを除去できない。そこで、第４
実施例では、このスム−ジング回路４３Ｂの代わりに、
図１２に示すようなスム−ジング回路４３Ｃを用いて、
このオフセット電圧を除去している。

【００５５】スム−ジング回路４３Ｃでは、ダイオード
Ｄ１のアノードにダイオードＤ５のカソードが接続さ
れ、ダイオードＤ３のカソードにダイオードＤ６のアノ
ードが接続され、ダイオードＤ６のカソードがダイオー
ドＤ５のアノードに接続されている。また、ＰＮＰトラ
ンジスタＱ２及びＮＰＮトランジスタＱ４の両コレクタ
がダイオードＤ６のアノードに接続され、ダイオードＤ
６のカソードがボルテージホロア４３１の反転入力端に
接続され、ダイオードＤ５のカソードがＰＮＰトランジ
スタＱ１及びＱ２のコレクタに接続されている。ＮＰＮ
トランジスタＱ３及びＱ４のベースにはそれぞれ、レベ
ル変換回路４３５の反転出力端及び非反転出力端が接続
されている。

【００５６】他の点は、図１０のスム−ジング回路４３
Ｂと同一構成である。次に、上記の如く構成されたスム
−ジング回路４３Ｃの動作を説明する。クロック＊φ２
が低レベルのとき、ＰＮＰトランジスタＱ２及びＮＰＮ
トランジスタＱ３がオン、ＰＮＰトランジスタＱ１及び
ＮＰＮトランジスタＱ４がオフになり、定電流源４３２
からの電流Ｉは、ＰＮＰトランジスタＱ２、ダイオード
Ｄ６、ダイオードＤ５及びＮＰＮトランジスタＱ３を通
って定電流源４３３へ流れ、ダイオードＤ１〜Ｄ４には
電流が流れず、コンデンサＣ５の端子間電圧が保持さ
れ、電位Ｖ３は電位Ｖ２に影響されない。

【００５７】ダイオードＤ６のカソード電位及びアノー
ド電位はそれぞれＶ３及びＶ３−ΔＶfであり、ダイオ
ードＤ４のアノード電位はＶ２である。したがって、ダ
イオードＤ４のアノード・カソード間の電圧は、Ｖ２−
（Ｖ３−ΔＶf）＝ΔＶf＋Ｖ２−Ｖ３となる。ボルテー
ジホロア４３１のオフセット電圧が０であればＶ２＝Ｖ
３である。もし、Ｖ２−Ｖ３＞０であれば、ダイオード
Ｄ４に電流が流れてダイオードＤ４のアノード電位が低
下し、Ｖ２＝Ｖ３となってボルテージホロア４３１のオ
フセット電圧が除去される。

【００５８】次に、電位Ｖ２がΔＶ０だけステップアッ
プする。クロック＊φ２を高レベルに遷移させると、Ｐ
ＮＰトランジスタＱ１及びＮＰＮトランジスタＱ４がオ
ン、ＰＮＰトランジスタＱ２及びＮＰＮトランジスタＱ
３がオフになる。この場合、ダイオードＤ５、Ｄ６、Ｄ
１及びＤ４がオフ、ダイオードＤ２及びＤ３がオンとな
り、ダイオードＤ２及びＤ３に電流Ｉが流れ、図１０の
場合と同様の動作になる。

【００５９】電位Ｖが上昇してΔＶ＝０になると、ダイ
オードＤ１〜Ｄ４にはいずれも電流Ｉ／２が流れる。し
たがって、電位Ｖ３は図１１に示すように変化する。 ［第５実施例］図１１において、電位Ｖ３が一定値にな
る期間をできるだけ短くした方が、ススムージングによ
る補間がより正確になる。そこで、第５実施例では、図
１３に示す如く、図５のサンプルホールド回路４２の代
わりに図１０のスムージング回路４３Ｂを用い、図５の
スムージング回路４３の代わりに図１２のスムージング
回路４３Ｃを用いている。

【００６０】スムージング回路４３Ｂについては、その
電流源に流れる電流を一定にしている。また、図１４
（Ｂ）に示すように、Ｖ２の傾斜がＶ３の傾斜よりも必
ず大きくなるようにしている。スムージング回路４３Ｂ
及び４３Ｃを、図１４（Ｄ）に示すような、クロックφ
１の立ち上がりで立ち下がる、負パルスのクロックφ３
で電流の流れをスイッチング制御している。クロックφ
３のパルス幅は、図１４（Ａ）に示すように、電位Ｖ１
がステップアップする際のアンダーシュートの幅（電位
Ｖ１がステップダウンする際のオーバーシュートの幅）
にほぼ等しくなっており、比較的狭い。このようにすれ
ば、図１４（Ａ）に示すように、電位Ｖ３がステップア
ップする際に実線で示すように変化しても、２点鎖線で
示すように変化しても、電位Ｖ２にグリッチ波形が含ま
れないようにすることができる。

【００６１】なお、本発明には外にも種々の変形例が含
まれる。例えば、加算器３２を除き、減算器３０の出力
をＤ／Ａ変換器４０に供給し、オフセット補正値をバン
ド位置レジスタ３１の内容から差し引く構成であっても
よい。また、本発明は、他の電子ビーム走査方法及び主
偏向器に対する駆動回路にも適用可能である。

【００６２】

【発明の効果】以上説明した如く、本発明に係る荷電粒
子ビーム露光方法及び装置は、以下のような効果を奏す
る。 （１）請求項１及び１３の発明によれば、ステップ変化
するデジタル値又はアナログ波形の隣合う対応する端点
間を直線的に結ぶようにコンデンサが定電流源で充電又
は放電されるので、該端点間の補間を、ローパスフィル
タでスムージングする場合よりも正確に行うことができ
る。従って、露光位置精度が向上し、より微細パターン
を露光することが可能になる。

【００６３】（２）請求項２の発明によれば、第３ダイ
オードのカソード電位が第１ダイオードのカソード電位
に等しくなると、コンデンサへの充放電が停止されるの
で、コンデンサに対する過度の充放電が防止される。 （３）請求項３の発明によれば、Ｄ／Ａ変換器の出力に
含まれるグリッチ波形を、第１及び第２のスイッチ素子
をオフにすることにより除去することができる。

【００６４】（４）請求項４の発明によれば、定電流源
を常に動作状態で使用することができるので、スイッチ
素子のオン／オフに対する応答が高速になる。 （５）請求項５の発明によれば、ダイオードブリッジに
対する電流バイパス構成が簡単になる。 （６）請求項６の発明によれば、出力バッファ回路の出
力のオフセットを、ダイオードブリッジ回路の動作によ
り自動的に除去することができる。

【００６５】（７）請求項７の発明によれば、Ｄ／Ａ変
換器出力波形の対応する端点間の補間を、ローパスフィ
ルタ単独でスムージングする場合よりも正確に行うこと
ができる。 （８）請求項８の発明によれば、抵抗又はコンデンサの
容量を適当な値に切り換えることにより、Ｄ／Ａ変換器
出力波形の対応する端点間の補間をより正確に行うこと
ができる。

【００６６】（９）請求項９及び１４の発明によれば、
サンプルホールド回路の出力に、Ｄ／Ａ変換器の出力に
含まれるグリッチ波形を含ませないようにすることがで
きる。 （１０）請求項１０、１５及び１６の発明によれば、サ
ンプルホールド回路を用いた場合よりも、第２スムージ
ング回路の出力に含まれる傾き０の部分を狭くすること
ができる。また、請求項１６の場合には、第１スムージ
ング回路に対するスイッチ制御により第１スムージング
回路の出力にノイズがのっても、これが第２スムージン
グ回路を通過するのを防止することができる。

【００６７】（１１）請求項１１の発明によれば、ステ
ージ移動に対する偏向器へのフィードバック補正がより
正確となる。 （１２）請求項１２及び１７の発明によれば、ステージ
移動に対する副偏向器へのフィードバック補正がより正
確となる。また、上記端点間の傾きが、移動ステージの
検出位置の変化率に略等しくなるので、該端点間の傾き
を容易に求めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の荷電粒子ビーム露光装置
要部構成図である。

【図２】電子ビーム走査方向説明図である。

【図３】ブランキングアパーチャアレイの作用説明図で
ある。

【図４】ステージ検出位置と副偏向器に対するステージ
フィードバック量との関係を示す図である。

【図５】本発明の第１実施例のサンプルホールド回路及
びスムージング回路を示す図である。

【図６】図５中の電圧Ｖ１〜Ｖ３、ＶＩの波形図及びこ
れらとクロックφ１、φ２との関係を示す図である。

【図７】本発明の第２実施例のスムージング回路図であ
る。

【図８】図７の回路の動作を示す波形図である。

【図９】図７の回路の前段のサンプルホールド回路を省
略した場合の動作を示す波形図である。

【図１０】本発明の第３実施例のスムージング回路図で
ある。

【図１１】図１０の回路の動作を示す波形図である。

【図１２】本発明の第４実施例のスムージング回路図で
ある。

【図１３】本発明の第５実施例のスムージング回路図で
ある。

【図１４】図１３中の電圧Ｖ１〜Ｖ３、ＶＩの波形図及
びこれらとクロックφ１、φ３との関係を示す図であ
る。

【符号の説明】

２１ 半導体ウェーハ ２２ 移動ステージ ２３ ステージ制御回路 ２４ ステージ位置検出器 ２５ 主偏向器 ２６ 副偏向器 ２８ ブランキングアパーチャアレイ ４０ Ｄ／Ａ変換器 ４１ 遅延回路 ４２ サンプルホールド回路 ４３、４３Ａ〜４３Ｃ スムージング回路 ４４、５４ 増幅回路 ６０ 開口 ６１ 共通電極 ６２ ブランキング電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭55−72032（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−190431（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−312338（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01L 21/027

Claims (17)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ステップ変化するデジタル値又はアナロ
   グ波形の隣合う対応する端点間を、スムージング回路で
   略直線的に補間し、該スムージング回路の出力に基づい
   て偏向器で荷電粒子ビームを連続的に偏向させる荷電粒
   子ビーム露光装置であって、該スムージング回路は、 該端点間の傾きに応じた制御信号が制御入力端に供給さ
   れ、該制御信号により電流値が可変である定電流源と、 一端が該定電流源に結合され、他端の電位が一定にされ
   たコンデンサと、 入力端が該コンデンサの該一端に結合された出力バッフ
   ァ回路と、 を有することを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。
2. 【請求項２】 前記スムージング回路の前段に、前記デ
   ジタル値をアナログ値に変換するＤ／Ａ変換器が結合さ
   れ、前記スムージング回路はさらに、 第１ダイオードと第２ダイオードの両アノードが互いに
   結合され、第３ダイオードと第４ダイオードの両カソー
   ドが互いに結合され、該第１ダイオードのカソードが該
   第３ダイオードのアノードに結合され、該第２ダイオー
   ドのカソードが該第４ダイオードのアノードに結合され
   たダイオードブリッジ回路を有し、 前記定電流源は、電流出力端が該第１ダイオードのアノ
   ードに結合された第１定電流源と、電流入力端が該第３
   ダイオードのカソードに結合された第２定電流源とを有
   し、 該第１ダイオードのカソードが該Ｄ／Ａ変換器の出力端
   に結合されていることを特徴とする請求項１記載の荷電
   粒子ビーム露光装置。
3. 【請求項３】 前記スムージング回路はさらに、 前記第１定電流源の電流出力端と前記第１ダイオードの
   アノードとの間に結合され、制御信号によりオン／オフ
   される第１スイッチ素子と、 前記第３ダイオードのカソードと前記第２定電流源の電
   流入力端との間に結合され、制御信号によりオン／オフ
   される第２スイッチ素子と、 を有することを特徴とする請求項２記載の荷電粒子ビー
   ム露光装置。
4. 【請求項４】 前記スムージング回路はさらに、 前記第１定電流源の電流出力端に結合され、該第１電流
   源から出力される電流をオン／オフさせるための第３ス
   イッチ素子と、 前記第２定電流源の電流入力端に結合され、該第２電流
   源へ入力される電流をオン／オフさせるための第４スイ
   ッチ素子と、 を有することを特徴とする請求項３記載の荷電粒子ビー
   ム露光装置。
5. 【請求項５】 前記スムージング回路は、前記第３スイ
   ッチ素子と前記第４スイッチ素子とが直列に結合されて
   いることを特徴とする請求項４記載の荷電粒子ビーム露
   光装置。
6. 【請求項６】 前記スムージング回路は、前記第１スイ
   ッチ素子と前記第４スイッチ素子とが直列に結合され、
   前記第２スイッチ素子と前記第３スイッチ素子とが直列
   に結合され、 前記ダイオードブリッジ回路はさらに、第５ダイオード
   のカソードが前記第１ダイオードのアノードに結合さ
   れ、第６ダイオードのアノード及びカソードがそれぞれ
   前記第３ダイオードのカソード及び第５ダイオードのア
   ノードに結合され、 前記出力バッファ回路は、一対の入力の一方が前記コン
   デンサの前記一端及び前記第２ダイオードのカソードに
   結合され、該一対の入力の他方が該第６ダイオードのカ
   ソード及び演算増幅回路の出力端に結合された演算増幅
   回路であることを特徴とする請求項４記載の荷電粒子ビ
   ーム露光装置。
7. 【請求項７】 ステップ変化するＤ／Ａ変換器出力波形
   をスムージング回路に通した後、荷電粒子ビームを偏向
   させる偏向器へ供給する荷電粒子ビーム露光装置におい
   て、該スムージング回路は、 出力バッファ回路と、 一端が該出力バッファ回路の入力端に結合された抵抗
   と、 一端が該抵抗の他端に結合され、他端の電位が一定にさ
   れたコンデンサと、 該出力バッファ回路の出力端に結合されたローパスフィ
   ルタと、 を有し、入力端が該出力バッファ回路の入力端であるこ
   とを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。
8. 【請求項８】 前記抵抗又はコンデンサの容量の値が制
   御信号により切り換え自在であることを特徴とする請求
   項７記載の荷電粒子ビーム露光装置。
9. 【請求項９】 前記Ｄ／Ａ変換器と前記スムージング回
   路との間に、前記アナログ値をサンプリングするサンプ
   ルホールド回路が結合されていることを特徴とする請求
   項２乃至８のいずれか１つに記載の荷電粒子ビーム露光
   装置。
10. 【請求項１０】 前記Ｄ／Ａ変換器と第１の前記スムー
    ジング回路との間に、第２の、前記第１定電流源及び前
    記第２定電流源の制御入力端に供給される信号を一定に
    した請求項３乃至６のいずれか１つに記載のスムージン
    グ回路が結合されていることを特徴とする請求項２乃至
    ８のいずれか１つに記載の荷電粒子ビーム露光装置。
11. 【請求項１１】 露光対象物が搭載される移動ステージ
    と、 該移動ステージの位置を検出する位置検出器とを有し、 前記デジタル値の変化量は、該移動ステージの検出位置
    の変化量に等しいことを特徴とする請求項１乃至１０の
    いずれか１つに記載の荷電粒子ビーム露光装置。
12. 【請求項１２】 前記荷電粒子ビーム露光装置は、 前記荷電粒子ビームを偏向させる主偏向器と、 該荷電粒子ビームを偏向させる副偏向器と、 該主偏向器により該荷電粒子ビームを第１方向へ周期的
    に走査させ、該移動ステージを該第１方向と直角な第２
    方向へ連続的に移動させ、該露光対象物上で該第１方向
    に沿って露光するために、該副偏向器により該荷電粒子
    ビームを、該移動ステージの移動に追従して該第１方向
    へ偏向させる制御手段と、 を有することを特徴とする請求項１１記載の荷電粒子ビ
    ーム露光装置。
13. 【請求項１３】 請求項１乃至６のいずれか１つに記載
    の荷電粒子ビーム露光装置を用い、ステップ変化するデ
    ジタル値又はアナログ波形の隣合う対応する端点間の傾
    きを求めて、前記スムージング回路の定電流源に供給す
    る制御信号値を決定し、該傾きの直線で該端点間を直線
    的に補間することを特徴とする荷電粒子ビーム露光方
    法。
14. 【請求項１４】 請求項９記載の荷電粒子ビーム露光装
    置を用い、 少なくとも前記Ｄ／Ａ変換器の出力がステップ変化を開
    始してから一定時間経過するまでの間、前記サンプルホ
    ールド回路をホールド状態にさせ、 該サンプルホールド回路の出力波形の隣合う対応する端
    点間の傾きを求めて、前記スムージング回路の定電流源
    に供給する制御信号値を決定し、該傾きの直線で該端点
    間を直線的に補間することを特徴とする荷電粒子ビーム
    露光方法。
15. 【請求項１５】 請求項１０記載の荷電粒子ビーム露光
    装置を用い、 少なくとも前記Ｄ／Ａ変換器の出力がステップ変化を開
    始してから一定時間経過するまでの間、前記第１スムー
    ジング回路のスイッチ素子を制御して該第１スムージン
    グ回路の入出力間をオフ状態にさせ、 該第１スムージング回路の出力波形の隣合う対応する端
    点間の傾きを求めて、前記第２スムージング回路の定電
    流源に供給する制御信号値を決定し、該傾きの直線で該
    端点間を直線的に補間することを特徴とする荷電粒子ビ
    ーム露光方法。
16. 【請求項１６】 請求項１０記載の荷電粒子ビーム露光
    装置を用い、 少なくとも前記Ｄ／Ａ変換器の出力がステップ変化を開
    始してから一定時間経過するまでの間、前記第１スムー
    ジング回路のスイッチ素子を制御して該第１スムージン
    グ回路の入出力間をオフ状態にさせ、 該Ｄ／Ａ変換器の出力がステップ変化を開始してから該
    一定時間経過するまでの間のみ、前記第２スムージング
    回路のスイッチ素子を制御して該第２スムージング回路
    の入出力間をオフ状態にさせ、 該第１スムージング回路の出力波形の隣合う対応する端
    点間の傾きを求めて、該第２スムージング回路の定電流
    源に供給する制御信号値を決定し、略該傾きの直線で該
    端点間を直線的に補間することを特徴とする荷電粒子ビ
    ーム露光方法。
17. 【請求項１７】 露光対象物を移動ステージに搭載し、
    該移動ステージの位置を位置検出器で検出し、主偏向器
    により荷電粒子ビームを第１方向へ周期的に走査させ、
    該移動ステージを該第１方向と直角な第２方向へ連続的
    に移動させ、該露光対象物上で該第１方向に沿って露光
    するために、該副偏向器により該荷電粒子ビームを、該
    移動ステージの移動に追従して該第１方向へ偏向させ、前記端点間の傾きは、該移動ステージの検出位置の変化
    率に略等しいことを特徴とする請求項１３乃至１６のい
    ずれか１つに記載の荷電粒子ビーム露光方法。