JP3388306B2 - 電気炉 - Google Patents
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Description
高温でも安定して使用でき、高い耐久性を有する電気炉
に関する。
まで速やかに昇温すること、高温酸化雰囲気中において
高い安定性を有すること、高温での連続使用や繰り返し
の昇降温に対する耐久性に優れていること、加熱室の均
熱帯幅が広いこと、取り扱い性に優れていることなどの
種々のものがある。
使用した電気炉は、図1に示す構造のものであり、加熱
室となる炉心管11の外周部に棒状発熱体10を複数本
配置し、該発熱体を耐熱管12、断熱層13、14及び
外部ケース15で順次囲んだ構造となっている。
は、加熱室である炉心管11の外側に設置された棒状発
熱体10からのジュール熱の輻射により加熱室を間接的
に加熱する方式であり、多数本の発熱体10を必要とす
るため、加熱室の有効体積に比べて、電気炉の構造が複
雑で、しかも大型となるという欠点がある。また、熱効
率が低いため、耐久性に劣るなどの問題点もあり、更
に、電気炉の構成材料等の熱容量が大きく所定の温度に
加熱、保持するのに要する電力が大きくなるため、発熱
体の寿命や経済性にも問題点を残している。
1400℃以上の高温でも安定して使用でき、耐久性、
経済性、取り扱い性等に優れた小型の電気炉を提供する
ことである。
題を解決すべく鋭意研究した結果、発熱体として、ラン
タンクロマイト系セラミックスからなる両端が開口した
中空状のセラミックスを用い、この両端部のセラミック
スの断面積を中央部のセラミックスの断面積よりも大き
くして端子部とし、この端子部に高温用電極及び金属リ
ード線を取り付けた構造とすることによって、熱効率の
改善、電気炉の小型・単純化等が可能となり、斯かる構
造の発熱体を用いて特定の構造の電気炉を形成すること
によって、耐久性、経済性、取り扱い性等に優れた電気
炉が得られることを見出した。更に、発熱体として用い
るランタンクロマイト系セラミックスとして、特定の組
成及び特性を有するものを用いる場合には、より耐久性
が改善された電気炉が得られることを見出し、本発明を
完成するに至った。
ランタンクロマイト系セラミックスからなり、両端部の
長さ方向に垂直な面のセラミックスの断面積を中央部の
長さ方向に垂直な面のセラミックスの断面積よりも大き
くして端子部とし、該端子部に高温用電極及び金属リー
ド線を取り付け、該端子部間を発熱部とした発熱体と、
該発熱体の外側に装着した断熱材と、該発熱体の中空部
内に装着した中空状のセラミックスとを備え、該中空状
セラミックスの中空部内を有効加熱室としたことを特徴
とする電気炉に係る。
明の電気炉について説明する。
図である。
た中空状のランタンクロマイト系セラミックスからな
り、その両端部の長さ方向に垂直な面のセラミックスの
断面積を、中央部の長さ方向に垂直な面のセラミックス
の断面積よりも大きくして端子部2とし、該端子部2に
高温用電極4及び金属リード線5を取り付け、端子部間
を発熱部3としたものである。
た中空状のランタンクロマイト系セラミックスの中空部
内を加熱部として利用するため、従来は複数本必要であ
った発熱体が1本となり、電気炉の構造を小型・単純化
することができる。しかも発熱体1では、外表面よりも
中空部内の方が高温になるため、その中空部内を利用す
ることにより、電力を効率よく熱に変換することがで
き、電気炉の構造が小型・単純化されることと相まっ
て、電気炉の最高使用温度を高く設定することが可能と
なり、長寿命化も達成される。また、発熱体1の中空部
内を加熱部として使用することによって、電力に対する
炉内温度のレスポンスが向上し、熱サイクルに対する耐
久性が改善される。
垂直な面のセラミックスの断面積を、中央部の長さ方向
に垂直な面のセラミックスの断面積よりも大きくして、
この両端部を端子部2とすることが必要である。斯かる
構造とすることによって、該端子部2が、発熱部3であ
る中央部よりも低抵抗となり、該端子部2に高温用電極
4及び金属リード線5を取り付けることによって、電極
部が高温になることが防止されて、電極4及び金属リー
ド線5の材料の劣化を抑制できる。その結果、電極4及
び金属リード線5の耐久性が良好になり、ひいては発熱
体1の耐久性、即ち、電気炉の耐久性が向上する。従
来、端子部と発熱部の組成を変えることにより、端子部
の抵抗を小さくしたものが発熱体として利用されている
が、この様な発熱体では端子部と発熱部の熱膨張係数が
異なるため、大きな熱応力が発生し、耐熱衝撃性に劣る
欠点があった。本発明では、上記したように発熱体の組
成を均一とし、形状の変化により発熱部と端子部の抵抗
を変化させているため、熱膨張係数に相違が生じること
が無く、耐熱衝撃性に優れたものとなる。
断面積は1〜2000mm2とすることが好ましい。中
空部の断面積が1mm2未満の場合には、電気炉として
利用することが実用的でなく、一方、断面積が2000
mm2を超える場合には、炉内温度分布が不均一となり
やすく、発熱体の耐久性等も不足しやすい。
断面が円形、角形等の各種の形状を有するものを使用で
きる。該発熱体の縦断面図の一例を図3に示す。又、図
4は、図3の発熱体の端子部2の横断面図、即ち、図3
のa−a’線断面図であり、図4(イ)は、断面が円形
の例、図4(ロ)は、断面が角形の例である。図5は、
図3の発熱体の発熱部3の横断面図、即ち、図3のb−
b’線断面図であり、図5(イ)は、断面が円形の例、
図5(ロ)は、断面が角形の例である。図4に示す端子
部2の断面積をS2とし、図5に示す発熱部3の断面積
をS3とすると、S2>S3となる。
ミックスの断面積比S2:S3は、1.2〜5:1程度が
好ましく、1.5〜3:1程度がより好ましい。断面積
比が1.2:1未満の場合は、端子部2が、発熱部3と
比べて十分に低抵抗とはならず、一方、断面積比が5:
1を超える場合は端子部の外寸法が大きくなり過ぎて熱
効率が低下し、また電気炉の形状も大きくなり過ぎるの
で好ましくない。尚、発熱体の発熱部の外寸法について
は、電気炉の仕様に応じて、その厚みが0.5〜10m
m程度となるように適宜設定すればよい。
一定ではなくてもよく、発熱体1の発熱部3の長さ方向
に垂直な面のセラミックスの断面積は、端子部2の長さ
方向に垂直な面のセラミックスの断面積よりも小さい範
囲内で一部分変化していても良い。この様な発熱体1の
縦断面図の一例を図6に示す。図6に示す発熱体1は、
端子部2の断面積をS2、発熱部3bの断面積をS3bと
した場合に、S2>S3a>S3bの範囲内となるように、
発熱部内に断面積S3aの発熱部3aを設けたものであ
る。この様な形状の発熱体を使用することによって、よ
り炉内の温度分布を良くし、温度分布がほぼ一定となる
均熱帯幅を広くすることができる。発熱部内におけるS
3aとS3bの断面積比は、炉の仕様に応じ適宜設定すれば
よいが、S3aがS3bに比べて大き過ぎると、加熱に要す
る消費電力が大きくなり、ひいては電気炉の寿命にも影
響を及ぼすので好ましくない。発熱部3bと発熱部3aの
面積比S3b:S3aは1:1.1〜3程度とすることが好
ましく、1:1.3〜2程度とすることがより好まし
い。尚、発熱部において、この様に少し大きな断面積を
有する箇所は、1箇所とは限らず、炉の仕様に応じて複
数設けても良い。
囲気において安定なランタンクロマイト系セラミックス
(LaCrO3)を使用することが必要であり、これに
より、1400℃以上の高温用電気炉としての使用が可
能になる。
ト系発熱体は、高温ではCrが蒸発するが、この蒸発は
表面拡散によるものであり、気孔率が大きいほど蒸発量
が多くなって発熱体の耐久性が劣るものとなるため、気
孔率が10%以下であることが好ましく、8%以下であ
ることがより好ましい。
系セラミックスとしては、特に、化学式:La1-XAXC
r1-Y-ZMgYAlZO3(式中、AはCa及びSrの少な
くとも1種であり、0≦x≦0.12、0≦y≦0.2
0、0<z≦0.50であり、且つ0.005≦x+y≦
0.20、0.03≦y+z≦0.50である)で表わさ
れる焼結体を用いることが好ましい。この様なランタン
クロマイト系セラミックスを用いることによって、より
耐久性が改善される。
aの一部をA成分(Ca及びSrの少なくとも1種)で
置換固溶するか、又はCrの一部をMgで置換固溶し、
或いは、Laの一部をA成分で置換固溶すると同時にC
rの一部をMgで置換固溶したものであり、この様な組
成とすることによって、良好な焼結性を有するものとな
り、又、導電性が向上して、室温から直接通電すること
が可能となる。但し、A成分の置換量であるxの値が増
加しすぎると、4価のCrが増加して高温でのCrの蒸
発が増加するため、炉内の汚染が進むと共に、発熱体の
劣化が促進されるので望ましくない。このためx値は、
0≦x≦0.12とし、0.005≦x≦0.08とする
ことが好ましく、0.01≦x≦0.05とすることがよ
り好ましい。MgはA成分と同様に導電性と焼結性の向
上に寄与するものであり、A成分がある程度多い場合に
は、y=0でもよいが、x=0またはx値が非常に小さ
い場合には、導電性を確保するため、y>0であること
が好ましい。また、yの値が0.2を超える場合には、
ペロブスカイト型構造単一相にはならないので好ましく
ない。よって、0≦y≦0.20とし、0≦y≦0.10
とすることが好ましい。ここで、A成分及びMgによる
合計置換量は、0.005≦x+y≦0.20の範囲内と
し、0.01≦x+y≦0.15とすることが好ましい。
x+yの値が0.005未満の場合には、焼結性と導電
性を十分に確保することができず、一方、x+yの値が
0.20を上回る場合には、高温でのCrの蒸発が増加
するのに加えて、発熱体としては導電性が高くなり過ぎ
て、小電圧、大電流駆動型の発熱体となり、その結果、
電極と金属リード線との接触抵抗や金属リード線等の配
線抵抗を低く抑えないと局部的に発熱するなどの新たな
問題点も発生するので好ましくない。
において、Alは焼結性を向上させて、気孔率を小さく
する効果があり、その置換量であるzの値は、0<z≦
0.50とし、0.02≦z≦0.40とすることが好ま
しく、0.03≦z≦0.30とすることがより好まし
い。zの値が0.50を上回る場合には、導電性が大き
く低下すると共に耐熱性も低下するので好ましくない。
ここで、Mg及びAlの合計置換量は、0.03≦y+
z≦0.50の範囲内とし、0.05≦y+z≦0.40
とすることが好ましい。y+zの値が0.03未満の場
合には、焼結性及び導電性向上の効果が小さく、一方、
0.50を上回る場合には、耐熱性及び導電性が低下す
るので好ましくない。
式:La1-XAXCr1-Y-ZMgYAlZO3で表わされると
同時に、気孔率が10%以下の焼結体が、耐久性が良好
となるのでより好ましい。
MgYAlZO3において、Laの1〜35モル%をイッ
トリウム及び原子番号58〜71の希土類元素の少なく
とも一種で置換固溶してもよく、この様な組成の焼結体
も優れた焼結性を示し、耐熱性と導電性の大きな低下も
生じない。
f/m■以上であることが好ましく、10kgf/m■以上で
あることがより好ましい。本発明では、特に、上記化学
式:La1-XAXCr1-Y-ZMgYAlZO3で表わされ、気
孔率10%以下であって、かつ強度8kgf/m■以上の焼
結体を発熱体1としてを使用する場合に、短時間で昇降
温させた場合にも、熱サイクルに対する耐久性が良好と
なり、さらに発熱体1の蒸発が抑制されるために、被加
熱物の汚染の影響も低減され、発熱体1の寿命も延長さ
れる。
ード線5を取り付けることが必要である。電極4及び金
属リード線5としては、従来から電気炉において用いら
れているものと同様の材料をいずれも用いることがで
き、例えば、金、銀等も使用できるが、特に、白金、ロ
ジウム、白金/ロジウム系合金等の高融点の金属材料を
使用することが望ましい。このような高融点の金属材料
を使用することによって、長寿命化が図れるばかりでな
く、従来型の電気炉のように電極部及び端子部の一部を
炉外に露出させる必要が少なくなり、しかも端子部の長
さも短くすることが可能となるので、発熱体の耐熱衝撃
性を大幅に向上させることができる。
ミックス6を装着し、この中空部内を有効加熱室とす
る。
となるものであり、この内部に被加熱物を置くことによ
り、発熱体1からの蒸発物によって被加熱物が汚染され
ることを防止できる。該中空状セラミックス6は、その
長さ方向に垂直な断面の形状は、円形、角形等の各種の
形状とすることができる。該中空状セラミックス6の厚
さは、炉の仕様に応じて、0.2〜5mm程度の範囲で
適宜設定すればよい。該中空状セラミックス6の長さに
ついても、電気炉の仕様に応じて、発熱体1と同じ長さ
にしても良く、発熱体1よりも長くしても良い。中空状
セラミックス6の外寸法は、電気炉の仕様に応じて適宜
決めればよく、中空状セラミックス6を発熱体1と密着
させても良いが、発熱部3では非接触とすることで、よ
り一層被加熱物への汚染防止効果が向上する。
心管として用いられている各種の公知のセラミックスに
より製造でき、純度、相対密度等についても特に限定は
されないが、特に、純度95%以上、相対密度93%以
上のアルミナ、ムライト、スピネル、安定化ジルコニア
(安定化剤も含めた純度が95%以上)、マグネシア又
はイットリアを使用することが望ましく、これらの材料
を用いることにより、中空状セラミックス6の耐熱性が
さらに向上すると共に、発熱体1との反応も抑制され、
被加熱物への汚染防止効果も向上する。これらのセラミ
ックスの純度は97%以上、相対密度は95%以上であ
ることがより好ましく、純度99%以上であることがよ
り一層好ましい。
する。
によって、電気炉の熱効率を上げることができる。しか
も本発明の電気炉は、その発熱体1において発熱部3よ
りも断面積の大きい端子部2を設けているため、炉の構
造によっては発熱部3と断熱材7の間に空間が形成され
て、断熱効果がより向上する。断熱材としては、特に限
定はなく、各種の公知の断熱材が使用でき、耐火煉瓦、
耐火断熱煉瓦、キャスタブル耐火物、セラミックファイ
バー成形体等の公知の各種の耐火物を使用できる。断熱
材の材質としては、特に限定は無いが、アルミナ系、ア
ルミナ/シリカ系、ジルコニア系等の断熱材を用いるこ
とが好ましく、これらの断熱材を用いることによって、
断熱材成分と発熱体1との反応を抑制することができ
る。又、セラミックファイバー成形体を使用する場合に
は、断熱性に優れ、蓄熱量が小さいために、電気炉の加
熱に要する電力を低減することができ、発熱体1を更に
長寿命化することが可能となる。断熱材7は、電気炉の
仕様に応じて、材質、純度、かさ密度、熱伝導率、熱膨
張係数、形態、形状などを適宜設定すれば良く、その種
類も一種類に限定されず、複数の断熱材を組み合わせて
用いることもできる。
面図である。
との間にセラミックス層8を形成した構造である。この
様な構造とすることによって、断熱材7と発熱体1との
反応をより一層少なくすることができる。特に、セラミ
ックファイバー成形体を断熱材7とする場合には、ファ
イバーが崩れやすいため、発熱体1と断熱材7との間に
セラミックス層8を形成することによって、ファィバー
成分と発熱体との反応をより一層抑制することができ
る。セラミックス層8は、例えば、前記した炉心管とし
て用いる中空状セラミックス6と同様の材質の中空状の
セラミックスを、発熱体1と断熱材7の間に装着するこ
とによって形成することができる。
装着した中空状セラミックス6及び断熱材7(発熱体1
と断熱材7の間にセラミックス層8を形成した場合は、
セラミックス層8を含む)の長さ方向の一部又は全長に
亘って被加熱物挿入用の穴又はスリットを設てもよい。
この様な穴又はスリットを設けることによって、被加熱
物の加熱室への挿入及び取り出しが容易となる場合があ
り、その場合には取り扱い性に優れた構造の電気炉とな
る。
が達成される。
る。
ることができる。
き、しかも均熱帯幅を広くすることができる。
説明する。
成及び特性を有し、内径5mm、端子部2の外径9mm
(長さ2.5mm)、発熱部3の外径7mm(長さ23
mm)、全長30mmの中空状ランタンクロマイト系セ
ラミックスを用い、その両端からそれぞれ1mmの部位
に幅1.2mm、深さ0.3mmの溝を設け、両端からそ
れぞれ2mmまでの部位(外周面及び端面)に白金ペー
ストを塗布して、その上から太さ0.5mm、長さ12
cmの白金線を2回巻き付け、さらにその上から白金ペ
ーストを塗布し、1300℃で焼き付けて、高温用電極
4及び金属リード線5を形成した。この発熱体1の中空
部内に純度99.5%、相対密度97%の中空状のアル
ミナセラミックス6(以下炉心管と呼ぶ)(外径4.5
mm×内径2mm×長さ40mm)を挿入し、発熱体1
の外側には断熱材7として、純度98%、かさ密度1.
4g/cm3のアルミナ耐火断熱煉瓦を幅30mm×高さ
30mm×長さ30mmの大きさで、中央部に9.5m
mの貫通孔を有する形状に加工して配置し、アルミナペ
ーストを炉心管6、発熱体1及び断熱材7のそれぞれ両
端部に塗布し、1500℃でアルミナペーストを焼結さ
せて、それらを固定することによって、電気炉を得た。
%の中空状のアルミナセラミックス8(外径11mm×
内径9.5mm×長さ30mm)を発熱体1の外側に装
着し、さらにその外側に純度95%のα−アルミナ質フ
ァイバーからなる、かさ密度0.7g/cm3の成形体
(幅30mm×高さ30mm×長さ30mm、中央部に
11mmの貫通孔付き)を断熱材7として装着したこと
以外は、実施例1と同様にして電気炉を作製した。
端子部2の外径9mm(長さ2.5mm)、発熱部3a
の外径8mm(長さ7mm)、発熱部3bの外径7mm
(長さ3.5mm)、全長30mmの中空状のランタン
クロマイト系セラミックスを用いたこと以外は、実施例
2と同様にして電気炉を作製した。
特性を有するランタンクロマイト系セラミックスで作製
し、発熱体1の中空部内に挿入した炉心管6、発熱体
1、その外側に配置したアルミナ管8及びアルミナ質フ
ァイバー成形体7のそれぞれに、全長に亘って幅1mm
のスリット9を形成したこと以外は実施例3と同様にし
て電気炉を得た。
ロマイト系セラミックスで作製し、高温用電極4及び金
属リード線5を白金80%/ロジウム20%合金で作製
し、発熱体1の中空部内に装着する炉心管6を純度97
%、相対密度96%のスピネルで作製したこと以外は実
施例3と同様にして、図8の電気炉を得た。
ロマイト系セラミックスで作製し、発熱体1の中空部内
に装着する炉心管6をジルコニアとY2O3の合計含有量
が99%、相対密度97%のY2O3安定化ジルコニアで
作製し、発熱体1の外側に、純度99.5%、相対密度
97%の中空状のアルミナセラミックス8(外径11m
m×内径9.5mm×長さ30mm)を装着し、さらに
その外側にアルミナ/シリカ系ファイバーからなる、か
さ密度0.5g/cm3の成形体(幅30mm×高さ30
mm×長さ30mm、中央部に11mmの貫通孔付き)
を断熱材7として装着したこと以外は実施例5と同様に
して、図8の電気炉を得た。
び太さ1.0mm、長さ12cmの金線を用いたこと以
外は実施例3と同様にして、図8の電気炉を得た。
%、相対密度92%のアルミナで作製したこと以外は実
施例5と同様にして、図8の電気炉を得た。
%、相対密度96%のムライトで作製したこと以外は実
施例5と同様にして、図8の電気炉を得た。
相対密度95%のイットリア安定化ジルコニアで作製し
たこと以外は実施例5と同様にして、図8の電気炉を得
た。
%、相対密度95%のマグネシアで作製したこと以外は
実施例5と同様にして、図8の電気炉を得た。
相対密度96%のイットリアで作製したこと以外は実施
例5と同様にして、図8の電気炉を得た。
ンクロマイト系セラミックスからなる発熱体に代えて、
市販の外径5mm、発熱部長さ23mm、全長60mm
の棒状ランタンクロマイト発熱体(発熱部組成:La
0.98Ca0.02CrO3、端子部組成:La0.90Ca0.10
CrO3:発熱部気孔率14%、発熱部曲げ強さ7kg
f/mm2、電極、金属リード線:銀)((株)ニッカ
トー製ケラマックス発熱体)を3本用い、実施例1の電
気炉と同一有効炉内容積を有する炉心管6(実施例1と
同材質、同サイズ)の外側に配置し、更にその外側に実
施例1と同一材質の耐火物を断熱材7(外径100mm
×内径23mm×長さ40mm)として配置して電気炉
を作製した。
イト系セラミックスを用いて、端子部を設けることな
く、内径5mm、外径7mm、全長30mmの中空状と
して発熱体1としたこと以外は実施例1と同様にして電
気炉を得た。
管を挿入しないこと以外は、実施例1と同様にして電気
炉を得た。
有効炉内中央での温度が1650℃となるように加熱し
て、消費電力、炉内の温度が1500℃以上を示してい
る温度帯幅(均熱帯幅)及び発熱体が破損するまでの時
間を求めた。その結果を表2に示す。
の電気炉は、耐久性に優れ、均熱帯幅が広いものであっ
た。しかも高強度であるため、1000℃から1650
℃の間を3分間で昇温させ、1650℃で3分間保持し
た後、再び1000℃まで3分間で降温させるパターン
で昇降温を繰り返した場合にも、優れた耐久性を示し
た。実施例2の電気炉は、断熱材としてアルミナ質ファ
イバー成形体を使用し、その内側に純度99.5%、相
対密度97%のアルミナセラミックスを設けたことによ
って、1650℃に加熱した場合の消費電力を大幅に低
減することができた。しかも発熱体とアルミナ質ファイ
バー成形体との間にアルミナセラミックスを配置したこ
とによって、発熱体がファイバー成形体の屑などによ
り、汚染・反応することが防止され、耐久性が大幅に向
上した。また、実施例3の電気炉は、発熱体の発熱部の
中央部分だけ、その長さ方向に垂直な面の断面積を大き
くしたことにより、均熱帯幅がさらに拡張された。実施
例4の電気炉は、発熱体の中空部内に挿入した炉心管
6、発熱体1、その外側に配置したアルミナ管8及びア
ルミナ質ファイバー成形体7の全長に亘って、被加熱物
挿入用として幅1mmのスリット9を形成したものであ
るが、実施例3の電気炉と同様に広い均熱帯幅と優れた
耐久性を有していた。実施例5〜12の電気炉について
も、実施例3の電気炉と同様に優れた性能を有してい
た。
販の棒状発熱体を3本設置した構造であり、炉の外寸法
がφ100mmとなり、本発明の電気炉と比べて非常に
大きく、かつ高価であり、しかも均熱帯幅が狭く、16
50℃まで昇温させるのに必要な電力は、実施例1の電
気炉の約1.9倍となり、1650℃まで昇温させるた
めの所要時間も3倍となった。また、耐久性にも劣るも
のであった。さらに、上記のような昇降温を繰り返した
場合には、特に昇温に対するレスポンスが悪く、消費電
力が更に大きくなり、本発明電気炉の1/3程度の耐久
性しかなかった。比較例2の電気炉は、発熱体に端子部
を設けていないため、電極部が高温になり、電極及びリ
ード線の劣化が大きく、耐久性も低下した。比較例3の
電気炉は、炉心管を用いていないため、炉内に発熱体か
らのCr蒸気が飛散し、クリーンな雰囲気で熱処理する
ことができなかったため、長時間の寿命試験は100時
間で中止した。
ト系セラミックスにより発熱体1を作製したこと以外は
実施例3と同様にして、図8の電気炉を得た。
ート系セラミックスにより発熱体1を作製したこと以外
は実施例3と同様にして、図8の電気炉を得た。
中央での温度が1650℃となるように加熱した場合の
消費電力、有効炉内の温度が1500℃以上を示してい
る温度帯幅(均熱帯幅)及び発熱体が破損するまでの時
間を求めた。その結果を表4に示す。
れ、均熱帯幅も広いものであった。しかも高強度である
ため、1000℃から1650℃の間を3分間で昇温さ
せ、1650℃で3分間保持した後、再び1000℃ま
で3分間で降温させるパターンで昇降温を繰り返した場
合にも、優れた耐久性を示した。特に、前記した化学
式:La1-XAXCr1-Y-ZMgYAlZO3で表される特定
の組成を有するセラミックスを用いた場合には、Cr成
分の蒸発がより一層抑制され、且つ小電流駆動型となる
ので、電気炉の耐久性が大幅に改善された。
多いランタンアルミネート系セラミックスによって作製
した発熱体を用いており、耐久性が非常に劣るものであ
った。
図1(B)は従来の管状型電気炉の横断面図。
(B)は本発明電気炉の横断面図。
縦断面図。
図、図7(B)は本発明電気炉の他の例の横断面図。
8(B)は実施例3の電気炉の横断面図。
9(B)は実施例4の電気炉の横断面図。
Claims (8)
- 【請求項1】両端が開口した中空状のランタンクロマイ
ト系セラミックスからなり、両端部の長さ方向に垂直な
面のセラミックスの断面積を中央部の長さ方向に垂直な
面のセラミックスの断面積よりも大きくして端子部と
し、該端子部に高温用電極及び金属リード線を取り付
け、該端子部間を発熱部とした発熱体と、該発熱体の外
側に装着した断熱材と、該発熱体の中空部内に装着した
中空状のセラミックスとを備え、該中空状セラミックス
の中空部内を有効加熱室としたことを特徴とする電気
炉。 - 【請求項2】発熱体を形成するランタンクロマイト系セ
ラミックスが、化学式:La1-XAXCr1-Y-ZMgYAl
ZO3(式中、AはCa及びSrの少なくとも1種であ
り、0≦x≦0.12、0≦y≦0.20、0<z≦0.
50であり、且つ0.005≦x+y≦0.20、0.0
3≦y+z≦0.50である)で表わされ、気孔率が1
0%以下の焼結体である請求項1に記載の電気炉。 - 【請求項3】発熱体を形成するランタンクロマイト系セ
ラミックスが、化学式:La1-XAXCr1-Y-ZMgYAl
ZO3において、Laの1〜35モル%をイットリウム及
び原子番号58〜71の希土類元素の少なくとも一種で
置換固溶したものである請求項2に記載の電気炉。 - 【請求項4】発熱体の長さ方向に垂直な面の中空部の断
面積が、1〜2000mm2であることを特徴とする請
求項1乃至3のいずれか一項に記載の電気炉。 - 【請求項5】高温用電極及び金属リード線が、それぞれ
白金、ロジウム又は白金/ロジウム系合金で形成されて
いることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に
記載の電気炉。 - 【請求項6】発熱体の中空部内に装着する中空状のセラ
ミックスが純度95%以上、相対密度93%以上のアル
ミナ、ムライト、スピネル、安定化ジルコニア、マグネ
シア又はイットリアであることを特徴とする請求項1乃
至5のいずれか一項に記載の電気炉。 - 【請求項7】発熱体の発熱部の長さ方向に垂直な面のセ
ラミックスの断面積が、端子部の長さ方向に垂直な面の
セラミックスの断面積よりも小さい範囲内で一部分変化
している請求項1乃至6のいずれか一項に記載の電気
炉。 - 【請求項8】発熱体、中空状セラミックス及び断熱材の
長さ方向の一部又は全長に亘って、被加熱物挿入用の孔
又はスリットを設けたことを特徴とする請求項1乃至7
のいずれか一項に記載の電気炉。
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