SE521278C2 - Förfarande och anordning för överföring av elektrisk ström till en ugn - Google Patents

Förfarande och anordning för överföring av elektrisk ström till en ugn

Info

Publication number
SE521278C2
SE521278C2 SE0203844A SE0203844A SE521278C2 SE 521278 C2 SE521278 C2 SE 521278C2 SE 0203844 A SE0203844 A SE 0203844A SE 0203844 A SE0203844 A SE 0203844A SE 521278 C2 SE521278 C2 SE 521278C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
current
devices
furnace
wall
cross
Prior art date
Application number
SE0203844A
Other languages
English (en)
Other versions
SE0203844D0 (sv
SE0203844L (sv
Inventor
Thomas Lewin
Original Assignee
Sandvik Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sandvik Ab filed Critical Sandvik Ab
Priority to SE0203844A priority Critical patent/SE521278C2/sv
Publication of SE0203844D0 publication Critical patent/SE0203844D0/sv
Publication of SE521278C2 publication Critical patent/SE521278C2/sv
Publication of SE0203844L publication Critical patent/SE0203844L/sv
Priority to ES03776143T priority patent/ES2297239T3/es
Priority to KR1020057011864A priority patent/KR20050089849A/ko
Priority to JP2004562176A priority patent/JP4528630B2/ja
Priority to EP03776143A priority patent/EP1576855B1/en
Priority to PCT/SE2003/001886 priority patent/WO2004057917A1/en
Priority to AU2003283927A priority patent/AU2003283927A1/en
Priority to US10/540,679 priority patent/US8071921B2/en
Priority to CNB2003801073048A priority patent/CN100493265C/zh
Priority to DE60317707T priority patent/DE60317707T2/de

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62Heating elements specially adapted for furnaces
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00Ohmic-resistance heating
    • H05B3/02Details

Description

70 15 20 25 30 5212278 dessa don tillverkade av metall, och är därför goda värmele- dare. Vidare behövs, i det fall donen» är strömuttag, ofta stora kontaktytor på grund av den starka ström som erfordras för att värma upp ugnen till önskad temperatur.
Typiska arbetsbetingelser för en “viss typ av strömuppvärmd rörugn är 500 - 1200°C. Vid dessa temperaturer är en typisk högsta acceptabla avvikelse från den förutbestämda tempera- turfördelningen i ugnen 10 - 20 °C. Vid uppvärmning av gods för enkristalltillväxt genom diffusion kan temperaturinter- vallet vara 500 - 1400 °C med en noggrannhet av +/- 0.1 °C.
För att uppnå arbetstemperatur krävs så starka strömmar att relativt kraftiga strömuttag erfordras.
Andra typer av^ ugnar kan vara uppvärmda på andra sätt än genom tillförsel av elenergi i ugnshöljet. Dessutom kan olika don som normalt sett inte är strömförande anbringas på ugnens hölje, och därigenom orsaka punktvisa utflöden av värmeenergi från ugnens uppvärmda volym.
Föreliggande uppfinning hänför sig sålunda till ett förfaran- de för överföring av elektrisk ström till en ugn, som helt eller delvis uppvärmes genom i ugnens vägg transporterad ström, där ström överförs genom ett mot ugnsväggen anliggande eller förbundet don, och utmärks av att åtminstone ett av donen har ett avsnitt nära ugnsväggen med en ndndre tvär- snittsarea än resterande del av donet ifråga, och av att strömmen genom det mindre tvärsnittet medför en värmeutveck- ling i området för det mindre avsnittet som väsentligen eller helt motsvarar den värmetransport som skulle ske från ugns- väggen till donet i avsaknad av nämnda mindre tvärsnittsarea.
Vidare hänför sig uppfinningen till en anordning av det slag och med de huvudsakliga särdrag som anges i patentkaravet 8.
K: \Patenï\OZOZIOSEÄSLUCEÖIQIäggande 03-06-17.doc 70 75 20 25 30 35 521 2378 Nedan beskrivs uppfinningen närmare, delvis i samband med i bifogade ritningar visade utföringsexempel av uppfinningen, där: Fig. l är en översiktsvy av en föredragen utföringsform av föreliggande uppfinning; Fig. 2-6 är tvärsnittsvyer av olika exempel på föredragna utföringsformer av strömuttag enligt uppfinningen; och Fig. 7 är en mer detaljerad tvärsnittsvy av ett exempel på en föredragen utföringsform av ett strömuttag enligt uppfinning- en.
Fig. l visar en rörugn enligt en utföringsform av föreliggan- de uppfinning sedd från sidan, med. dimensionsangivelser i Ugnen är av så kallad genomdragningstypf och är ett så kallat glödg- millimeter. utformad som en lång, öppen cylinder, ningsrör, vars mantelyta l utgör ugnens hölje mot processen.
Höljet består av ett elektriskt ledande material, företrädes- vis en metall eller en metallegering. I dylika ugnar glödgas exempelvis tråd.
Uppfinningen kan likväl användas vid en rörugn för satsvis värmning, vilken ugn under drift har tillslutna rörändar.
Dylika ugnar används exempelvis vid framställning av elektro- niska kretsar.
En vanlig metallegering vid ugnstillverkning är NiCr. Ett problem med denna metallegering är dock att den på grund av materialoxidation sprätter vid höga temperaturer. Denna sprättning påverkar ugnshöljets massfördelning och därmed dess elektriska motstånd. Detta medför i sin tur en svårighet i t-mperaturregleringen av ugnen genom den tillförda strömef- fekten. Av denna anledning är FeCrAl ett föredraget material för rörugnar enligt föreliggande uppfinning. Detta material sprätter inte.
K: \Patent\02Û210SE\SlutfOre1äggande 03-D6-17.doc 70 75 20 25 30 35 521 278 Till ugnens hölje ansluts ett antal strömuttag 2-6, varav vissa strömuttag 2-4 är strömratare och där övriga strömuttag 5,6 är strömavledare. Genom att en elektrisk spänning läggs över strömmatarna 2-4 och strömavledarna 5,6 bringas en ström flyta in i_ ugnshöljet 1 genoni strömmatarna 2-4, och in: ur röret genom strömavledarna 5,6. Denna ström uppvärmer, genom effektutveckling i ugnens hölje 1 som en följd av höljets 1 elektriska motstånd, ugnens inneslutna volym.
Spänningen, över varje par av strömmatare och strömavledare kan individuellt justeras, så att strömmen. mellan. dem kan styras. Därigenom uppnår man syftet att kunna styra uppvärm- ningen av ugnens inneslutna volym, så att uppvärmningseffek- ten är olika stor på olika ställen längs med rörugnens längs- gående axel 9.
Genom att Välja placering och spänning på strömmatarna 2-4 och -avledarna 5,6 kan fackmannen sålunda på ett mycket exakt sätt reglera ugnens effekttillförsel och därmed temperatur- fördelning. Den volym som på detta sätt önskas temperatursty- ras i rörugnen i Fig. l kan vara den del av ugnens inneslutna volym som befinner sig mellan strömuttaget 2 och strömuttaget 4 eller 5 och 3 respektive 3 och 6.
Ett problem med denna konstruktion är att värme avleds genom strömuttagen från ugnens hölje 1, eftersom strömuttaget står i direkt kontakt med ugnshöljet. Denna värmeavledning bidrar till att rubba den förutbestämda temperaturfördelning som är önskvärd i ugnens inneslutna volym.
För att balansera denna värmeförlust är de strömuttag 2-4 som är placerade i närheten av den region av ugnens inneslutna volym som skall temperaturstyras konstruerade med en nudja 10-12. Med andra ord finns ett område 10-12 på varje sådant K: \Patent\02021OSE\Slutföreläqgande 03-06-17 ,doc 70 15 20 25 30 521 278 strömuttag 2-4 vars tvärsnittsarea väsentligen avviker från tvärsnittsarean hos strömuttaget 2-4 i övrigt. På grund av midjans 10-12 minskade tvärsnittsarea är det elektriska mot- ståndet genoni strömuttaget 2-4 större i. midjan 10-12 än i resterande delar av strömuttaget 2-4. Eftersom ström flyter genom strömuttaget 2-4 uppstår en effektutveckling till följd av strömuttagets elektriska resistans och den ström som fly- ter genom strömuttaget 2-4. Denna effektutveckling bidrar till ett värmeöverskott i varje strömuttag 2-4, som därigenom 1 punktvis i kontaktytan. mellan uppvärmer rörugnens hölje strömuttaget 2-4 och höljet 1. Genom att justera midjans 10- 12 tvärsnittsarea kan fackmannen balansera denna energitill- försel till ugnens hölje 1 mot energiförlusterna till följd av värmeledningen genom strömuttagen 2-4, och därigenom uppnå ändamålet att nettoströmningen av värmeenergi från ugnen, genom strömuttaget 2-4, till omgivningen är noll. Därigenom kommer detta nettobidrag till uppvärmningen av ugnens inne- slutna volym inte att påverka temperaturfördelningen inne i ugnen. För att minska den yta hos strömuttaget som är belägen mellan midjan och röret, vilken yta kyls av omgivningen är midjan belägen nära rörets mantelyta.
I stället för att utforma en midja, kan strömtätheten ökas genom att borttaga material från uttagets centrala parti genom att exempelvis upptaga ett hål i uttaget.
För att hålla rörugnen i önskat läge kan olika typer av stöd (ej visade i Figuren) användas. Dessa stöd står i direktkon- takt med ugnens mantelyta, och bidrar därför, liksom strömut- tagen, till att värmeenergi strömmar ut från ugnens yta 1, genom stödens kontaktytor med ugnshöljet 1, till omgivningen med temperaturobalans i ugnens uppvärmda volym som följd.
K: \Patent\020210SE\Slutförelàggande 03-06-17.doc 10 75 20 25 30 521 2738 Genom att, på liknande sätt som för strömuttagen 2-4, utforma stöden i ett elektriskt ledande material, och genom att lägga en spänning över stöden så att en ström bringas att flyta genom. dessa, kommer denna tillförda ström. att genonr resi- stansverkan bidraga till ett värmeflöde in i ugnshöljet l genom stödets tvärsnittsarea. Genom att reglera den pålagda spänningen, och stödets tvärsnittsarea, kan nettovärmeström- ningen bringas att vara noll. Stödets resistans påverkas i en föredragen utföringsform genom att på stödet, i närheten av kontaktytan med rörhöljet l, tillföra en midja med, mindre tvarsnittsarea än resterande delar av stödet. Denna midja bidrar till att öka stödets resistans och därigenom den upp- Givetvis kan stöden komna värmeströmningen. in i. rörhöljet. och strömuttagen integreras med varandra. Även andra, värmeledande detaljer som står i direkt kontakt med ugnsrörets yta rubbar energibalansen inne i ugnen. Genom alla sådana detaljer kan en ström ledas, vilken i kombination med en lämpligt vald dimension på detaljen eller dess midja bringas att stå i värmeenergijämvikt med ugnens yta l. I Fi- guren visas två sådana detaljer 7,8.
Fig. 2-6 visar fem olika utföranden av strömuttag 2-6 enligt uppfinningen, med dimensionsangivelser i millimeter. Som kan ses är stromuttagens 2-6 dimensioner i förhållande till rö- rets diameter inte ringa. Uttagens 2-6 tvärsnittsarea måste vara åtminstone av en viss storleksordning på grund av den uppvärmande strömmens styrka. Eftersom kontaktytan mellan strömuttagen och röret är av väsentlig storlek blir värmeför- lusterna genom strömuttagen inte försumbara.
Strömuttagens 2-6 kontaktytors geometriska form kan väljas godtyckligt för att passa resterande utföringsforms betingel- K:\Patent\O202lG5E\Slutföreläggande 03-O6-17.doc 10 75 20 25 5217278 ser, under förutsättning att den är av en storleksordning som möjliggör föreliggande syften.
I Figurerna kan midjorna 10-12 hos de i närheten av den tem- peraturstyrda delen av 'ugnens inneslutna. volym 1. placerade strömuttagen 2-4 tydligt ses.
Fig. 7 visar en mer detaljerad sidovy av ett strömuttag 2 enligt uppfinningen. I denna Figur studeras den vertikala energibalansen genom ett horisontellt plan i strömuttagets 2, i höjd med midjan 10. Värmeförlusterna från ugnen till omgiv- ningen, genom strömuttaget, åskàdliggörs av pilen 14. Ström- men som flyter igenom strömuttagets midja ger upphov till ett balanserande varmeflöde in i rörets hölje. Detta kompenseran- de värmeflöde illustreras av' pilen 15. Genoni att välja en lämplig storlek på midjans 10 tvärsnittsarea, i förhållande till driftstemperatur i rörugnens hölje 1 och till strömstyr- ka vid drift av ugnen, kan nettovärmebidraget av energiflöde- na illustrerade av pilarna 14,15 styras att vara noll.
Ovan har ett antal utföringsexempel beskrivits. Emellertid kan strömuttagens form varieras liksom antalet strömuttag och strömavledare. Vidare kan midjornas utformning varieras.
Föreliggande uppfinning skall således inte anses begränsad till ovan angivna utföringsexempel, utan kan varieras inom dess av bifogade patentkrav angivna ram.
K: \PatenL\0202l0SE\Slut förelaggande 03-06-17 .doc

Claims (14)

1. 0 75 20 25 30 35 521 2378 P A T E N T K R A V l. Förfarande för överföring av elektrisk ström till en ugn, som, helt eller delvis uppvärmes genom. i ugnens vägg (1) där ströni bringas att överföras genom förbundet don (2-8), transporterad ström, ett mot ugnsväggen anliggande eller k ä n -n e t e c k n a t av att åtminstone ett av donen (2- 4) har ett avsnitt (lO-12) nära ugnsväggen (l) med en mindre tvärsnittsarea än resterande del av donet (2-4) ifråga, och av att strömmen genom det mindre tvärsnittet (10-12) bringas att medföra en värmeutveckling i området för det mindre av- snittet (lO-l2), som väsentligen eller helt motsvarar den värmetransport (14) som skulle ske från ugnsväggen (l) till donet (2-4) i avsaknad av nämnda mindre tvärsnittsarea.
2. Förfarande enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a t av att noll eller flera av de don (5-8) som saknar ett sådant av- snitt med mindre tvärsnittsarea också bringas att vara ström- förande, och att dessa noll eller flera don är dimensionerade så att värmeutvecklingen i dem väsentligen bringas att mot- svara den värmetransport (14) som skulle ske från ugnsväggen (l) till donen (5-8) i avsaknad av nämnda ström i kombination med donens dimensionering.
3. Förfarande enligt krav ]_ eller 2, k ä n n e t e c k - n a t av att de nwt ugnsväggen (l) anliggande, elektriskt ledande donen (2-8) bringas att vara strömuttag, stöd, mätan- ordningar eller andra anordningar, eller en blandning därav.
4. Förfarande enligt krav 1, 2 eller 3, k ä n n e t e c k - n a t av att de med ugnsväggen (l) i direkt kontakt stående donens (2-8) tvärsnittsytor bringas att vara av samma eller olika, kvadratiska, cirkulära eller av annan form, samt att tvärsnittsytorna bringas att vara av samma eller olika stor- lek. K: \Patent\020210SE\Slutforeläggande 03-06-17.doc W Ü 20 25 30 35 LW )| _; Nå “J Û
5. Förfarande enligt krav 1, 2, 3 eller 4, k ä n n e - t e c k n a t av "tt ett eller flera av donen (2-8) “ringas att vara strömuttag, och att ett eller flera av donen (2-8) bringas att vara strömàterförare, och där strömmen bringas att flyta genom ugnens vägg (1) genom att tillföras genom det eller de don som är strömuttag och att återföras genom det eller de don som är strömåterförare.
6. Förfarande enligt krav 1, 2, 3, 4 eller 5, k ä n n e - t e c k n a t av att de don som är placerade i närheten av som önskas precisionstemperatur- (2-4) den volym av ugnsväggen (1) styras antingen är bringade att a) ha midjor av lämplig dimension för att upprätta energibalans mellan ugnens vägg eller b) vara strömförande och dimensione- och strömuttaget, rade på sådant sätt att den ström som bringas att flyta genom donet i fråga bidrar till en värmeutveckling som upprättar energibalans mellan ugnens vägg och strömuttaget.
7. Förfarande enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a t av att rörugnen bringas att vara utförd i ett FeCrAl-material.
8. Anordning för överföring av elektrisk ström till en ugn, som helt eller delvis uppvärmes genom. i ugnens vägg (1) transporterad ström, där ström överförs genom mot ugnsväggen (2_8)/ (2-4) k ä n n e t e c k n a d av att åtmin- (10-12) anliggande don stone ett av donen har ett avsnitt nära ugns- väggen (l) med en mindre tvärsnittsarea än resterande del av (2-4) tet ifråga, och av att strömmen genonx det mindre (lO-12) donet tvärsni medför en värmeutveckling i området för rcnwttet v var... (10-12 \/ som väsentligen eller helt mot- svarar den värmetransport (14) som skulle ske från ugnsväggen (1) till donet (2-4) i avsaknad av nämnda mindre tvärsnitts- area. K: \Patenr.\02021OSEXSIUtfÖrel-äggande D3-06-l7.doc W Ü 20 25 30 35 521 2Y<8
9. Anordning enligt krav 8, kännetecknad av att noll eller flera av de don (5-8) som saknar ett sådant avsnitt med din - re tvärsnittsarea också är strömförande, och att dessa noll eller flera don är dimensionerade så att värmeutvecklingen i dem väsentligen motsvarar den värmetransport (14) som skulle ske från ugnsväggen (1) till donen (5-8) i avsaknad av nämnda ström i kombination med donens dimensionering. k ä n n e t e c k - elektriskt
10. Anordning' enligt krav' 8 eller 9, att de mot ugnsväggen (1) anliggande, (2-8) n a d av ledande donen är strömuttag, stöd, mätanordningar eller andra anordningar, eller en blandning därav.
11. Anordning enligt krav 8, 9 eller 10, k ä n n e t e c k - n a d av att de med ugnsväggen (1) i direkt kontakt stående donens (2-8) tvärsnittsytor är av samma eller olika, kvadra- tiska, cirkulära eller av annan form, samt att tvärsnitts- ytorna är av samma eller olika storlek. 10 eller 11, k ä n n e - (2-8) är
12. Anordning enligt krav 8, 9, t e c k n a d av att ett eller flera av donen strömuttag, och att ett eller flera av donen (2-8) är ström- återförare, och. där strömmen flyter genonl ugnens vägg (1) genom att tillföras genom det eller de don som är strömuttag och att återföras genom det eller de don som är strömåterfö- rare.
13. Anordning enligt krav 8, 9, 10, 11 eller 12, k ä n n e - t e c k n a d av att de don som är placerade i närheten av som önskas precisionstemperatur- (2-4) den volym av ugnsväggen (1) styras antingen a) har midjor av lämplig dimension för att upprätta energibalans mellan ugnens vägg och strömutta- eller b) sätt att den ström som flyter genom donet i fråga bidrar till get, är strömförande och dimensionerade på sådant K:\Patenfl020210SE\Slutförelàqgande O3~O6-17.doc 52111278 en värmeutveckling som upprättar energibalans mellan ugnens vägg och strömuttaget.
14. Anordning enligt något av kraven 8 - 13, k ä n n e - t e c k n a d av att rörugnen är utförd i ett FeCrAl-mate- rial. K:\Patenfl020210SE\Slutföreläggande 03-06-l7.doc
SE0203844A 2002-12-23 2002-12-23 Förfarande och anordning för överföring av elektrisk ström till en ugn SE521278C2 (sv)

Priority Applications (10)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0203844A SE521278C2 (sv) 2002-12-23 2002-12-23 Förfarande och anordning för överföring av elektrisk ström till en ugn
DE60317707T DE60317707T2 (de) 2002-12-23 2003-12-04 Verfahren zur stromversorgung eines rohrofens
CNB2003801073048A CN100493265C (zh) 2002-12-23 2003-12-04 供给电流到管式炉的方法
US10/540,679 US8071921B2 (en) 2002-12-23 2003-12-04 Method to supply electric current to a tube furnace
KR1020057011864A KR20050089849A (ko) 2002-12-23 2003-12-04 관형 노에 전류를 공급하는 방법
ES03776143T ES2297239T3 (es) 2002-12-23 2003-12-04 Metodo para el suministro de corriente electrica a un horno tubular.
JP2004562176A JP4528630B2 (ja) 2002-12-23 2003-12-04 管状炉に電流を供給する方法
EP03776143A EP1576855B1 (en) 2002-12-23 2003-12-04 Method to supply electric current to a tube furnace
PCT/SE2003/001886 WO2004057917A1 (en) 2002-12-23 2003-12-04 Method to supply electric current to a tube furnace
AU2003283927A AU2003283927A1 (en) 2002-12-23 2003-12-04 Method to supply electric current to a tube furnace

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0203844A SE521278C2 (sv) 2002-12-23 2002-12-23 Förfarande och anordning för överföring av elektrisk ström till en ugn

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE0203844D0 SE0203844D0 (sv) 2002-12-23
SE0203844L SE0203844L (sv) 2003-10-14
SE521278C2 true SE521278C2 (sv) 2003-10-14

Family

ID=20289993

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0203844A SE521278C2 (sv) 2002-12-23 2002-12-23 Förfarande och anordning för överföring av elektrisk ström till en ugn

Country Status (10)

Country Link
US (1) US8071921B2 (sv)
EP (1) EP1576855B1 (sv)
JP (1) JP4528630B2 (sv)
KR (1) KR20050089849A (sv)
CN (1) CN100493265C (sv)
AU (1) AU2003283927A1 (sv)
DE (1) DE60317707T2 (sv)
ES (1) ES2297239T3 (sv)
SE (1) SE521278C2 (sv)
WO (1) WO2004057917A1 (sv)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8828776B2 (en) 2009-04-16 2014-09-09 Tp Solar, Inc. Diffusion furnaces employing ultra low mass transport systems and methods of wafer rapid diffusion processing
CN102356458B (zh) * 2009-04-16 2014-10-15 Tp太阳能公司 利用极低质量运送系统的扩散炉及晶圆快速扩散加工处理的方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3271561A (en) * 1964-03-02 1966-09-06 Martin Marietta Corp Apparatus for thermally evaporating various materials in vacuums for producing thin films
DE2340225A1 (de) * 1973-08-08 1975-02-20 Siemens Ag Verfahren zum herstellen von aus halbleitermaterial bestehenden, direkt beheizbaren hohlkoerpern
IT1093108B (it) * 1978-02-16 1985-07-19 Rigatti Lochini Luchino Forno elettrico a sistema joule per fusioni orafe,dentali e simili
US4286142A (en) * 1979-10-22 1981-08-25 Theta Industries, Inc. Electric tube furnace
JP2998903B2 (ja) * 1990-11-14 2000-01-17 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置
DE4411591C2 (de) * 1994-03-30 1996-06-05 Mannesmann Ag Bodenelektrode eines mit Gleichstrom beheizten Ofens
US5869810A (en) * 1995-05-23 1999-02-09 Victor Reynolds Impedance-heated furnace
JP3388306B2 (ja) * 1996-02-01 2003-03-17 株式会社ニッカトー 電気炉
US6042370A (en) * 1999-08-20 2000-03-28 Haper International Corp. Graphite rotary tube furnace

Also Published As

Publication number Publication date
DE60317707D1 (de) 2008-01-03
CN100493265C (zh) 2009-05-27
SE0203844D0 (sv) 2002-12-23
JP4528630B2 (ja) 2010-08-18
KR20050089849A (ko) 2005-09-08
JP2006511779A (ja) 2006-04-06
EP1576855A1 (en) 2005-09-21
US20090020519A1 (en) 2009-01-22
SE0203844L (sv) 2003-10-14
US8071921B2 (en) 2011-12-06
AU2003283927A1 (en) 2004-07-14
ES2297239T3 (es) 2008-05-01
EP1576855B1 (en) 2007-11-21
DE60317707T2 (de) 2008-09-25
WO2004057917A1 (en) 2004-07-08
CN1729717A (zh) 2006-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3030042B1 (en) Induction hob
TW200812422A (en) Heating element for a hot air device
CZ2011671A3 (cs) Termoelektrický cluster, zpusob jeho cinnosti, mechanismus spojení aktivního elementu s tepelným elektrickým vodicem, generátor a tepelné cerpadlo zhotovené na jeho základe
KR101974671B1 (ko) 유리 모재용 가열로
SE521278C2 (sv) Förfarande och anordning för överföring av elektrisk ström till en ugn
US11638330B2 (en) Food preparation apparatus with electrical PTC thermistors connected in parallel
SE419334B (sv) Apparat for upphettning av smelt, termoplastiskt material, serskilt smelt glas
US7378621B2 (en) Molybdenum silicide type element
KR102581102B1 (ko) 세라믹 히터
US4531218A (en) Glass melting furnace
US20130175251A1 (en) Compensating Heating Element Arrangement for a Vacuum Heat Treating Furnace
US20130160808A1 (en) Thermoelectric generating apparatus and module
US8263914B2 (en) Cartridge heater and method of use
KR102608397B1 (ko) 미들 영역 독립 제어 세라믹 히터
CN212655816U (zh) 感应热处理机构
CN208079429U (zh) 一种高温烧结炉的加热器
AU2010267750B2 (en) A low resistance electric heating system
CN111424138A (zh) 感应热处理机构
RU2061302C1 (ru) Резистивный цилиндрический прямонакальный нагреватель из листового материала для высокотемпературных малоинерционных электропечей
JP2022138982A (ja) 導電性容器及び通電加熱装置
TW201442549A (zh) 一種高溫長晶爐所使用的三相電阻式加熱器
KR20000015758U (ko) 금속, 비금속물질을 전기유도 방식에 의한 열판가열장치
SE445693B (sv) Forfarande for likriktning av vexelstrom och anordning for genomforande av forfarandet

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed