JP3381925B2

JP3381925B2 - 容器内部の洗浄装置

Info

Publication number: JP3381925B2
Application number: JP53238096A
Authority: JP
Inventors: 正男森川; 芳雄飯野
Original assignee: 住友化学工業株式会社
Priority date: 1995-06-08
Filing date: 1996-06-06
Publication date: 2003-03-04
Anticipated expiration: 2016-06-06
Also published as: TW315327B; US6125864A; KR19990022624A; WO1996041688A1

Description

【発明の詳細な説明】技術分野本発明は、容器の内部を洗浄するための装置に関す
る。

背景技術半導体製造等に使用されるいわゆる電子工業薬品に
は、硫酸や過酸化水素水を始めとする液体状のものがあ
る。これら液体状の電子工業薬品に要求される品質の一
つとしては、不純物として薬品中に含まれる粒子の濃度
が低いことがある。この要求は、近年の集積回路の微細
化や高密度化等に伴って、より一層強くなっている。か
かる要求を満たすため、従来においては、薬品を精密濾
過することにより、薬品中の粒子を除去する方法が採ら
れている。しかしながら、電子工業薬品は、精密濾過さ
れたとしても、容器に充填され使用地点まで輸送される
と、使用地点での薬品中の粒子濃度が増加していること
がある。これは、容器の内部に粒子が存在しているから
と考えられる。

勿論、容器の内部は、薬品が充填される前に洗浄され
る。従来の容器内部の洗浄方法としては、回転ノズルヘ
ッドを用いたウォータジェット方式が採用されている。
回転ノズルヘッドは多数の洗浄液噴出孔を有し、比較的
剛性のあるパイプの一端に回転可能に取り付けられたも
のであり、パイプの他端から導入された洗浄液、典型的
には超純水の圧力により回転されるよう構成されてい
る。従って、超純水を回転ノズルヘッドの噴出孔から噴
出させながら、回転ノズルヘッドを容器内に挿入して開
口部と底部との間で往復動させると、噴出された超純水
は容器の内面全体に当たり、効率的に洗浄が行われる。
しかし、回転ノズルヘッドを用いて超純水で長時間にわ
たり洗浄を行っても、容器の内部に微量の粒子が残留す
るという事実がある。

発明の概要そこで、本発明の目的は、比較的少量の洗浄液で容器
内部全体を極めて清浄に洗浄することのできる洗浄装置
を提供することにある。

本願発明者らは、前記事実を考察した結果、ノズルヘ
ッドの回転部が洗浄液の流路に露出されているため、こ
の回転部の摩擦によって形成された微小な粒子が洗浄液
を汚染し、ひいては容器を汚染することを見出した。本
発明は、かかる知見に基づき為され、細長い剛性を有す
るパイプと、多数の噴出孔が形成され前記パイプの一端
に固着されたノズルヘッドとを有する洗浄ノズルを用
い、ノズルヘッドの噴出孔から噴出される洗浄液により
容器の内部を洗浄する方法であって、ノズルヘッドが容
器内に配置されるよう、洗浄ノズルを容器の開口から容
器内に挿入するステップと、洗浄ノズルのパイプの他端
から洗浄液を供給してノズルヘッドの噴出孔からジェッ
ト流として噴出させるステップと、洗浄ノズルをその長
手方向軸線に沿って往復直線運動させると共に、洗浄ノ
ズルをその長手方向軸線を中心として時計回り方向及び
反時計回り方向に交互に回転させるステップとを備える
容器内部の洗浄方法に係るものである。

そして、本発明は、容器の内部を洗浄するための装置
を提供するもので、容器を支持するための容器台座と、
細長い剛性を有するパイプ、及び、多数の噴出孔が形成
されパイプの一端に固着されたノズルヘッドを有する洗
浄ノズルと、洗浄ノズルをその長手方向軸線に沿って直
線的に往復動可能に移動させる移動手段と、洗浄ノズル
をその長手方向軸線を中心として時計回り方向及び反時
計回り方向に交互に回転させる回転手段とを備え、洗浄
ノズルが、移動手段により移動された場合にノズルヘッ
ドが容器台座に支持された容器の開口を通して該容器の
内部に挿入され得るように配置されていることを特徴と
している。

本発明によれば、洗浄ノズルがそれ自体で往復直線運
動と往復回転運動を行うため、洗浄ノズルには摺動部分
がなく、摩擦により生ずる粒子が洗浄液に混入すること
がなく、効率的に容器内を洗浄することができる。

本発明のこれらの特徴や利点及びその他の特徴や利点
は、図面に沿っての以下の詳細な説明から明かとなろ
う。

図面の簡単な説明以下の詳細な説明においては、次の添付図面が参照さ
れることとなる。

図１は、本発明による容器洗浄装置を示す斜視図であ
る。

図２は、図１の容器洗浄装置を示す縦断面図である。

図３は、本発明の容器洗浄装置に用いられる洗浄ノズ
ルの一部を示す拡大断面図である。

図４は、図３のIV−IV線に沿って見た矢視図であり、
ノズルヘッドの先端部分に設けられた噴出孔の配列を示
している。

図５は、図３のＶ−Ｖ線に沿っての断面図であり、ノ
ズルヘッドの先端部分に設けられた噴出孔の配列を示し
ている。

図６は、図２のVI−VI線に沿って見た支持プレート及
びその関連部材の側面図であり、装置の他の部分は明瞭
化のために省略している。

図７は、洗浄ノズルを回転させる他の機構を示す概略
図である。

発明を実施するための最良の形態図１及び図２は、本発明による容器洗浄装置10を示し
ている。この容器洗浄装置10は、図２においてより明瞭
に示されるように、電子工業薬品用の容器12を洗浄する
ためのものである。一般的に、この種の容器12は、内径
が200〜600mm、長さ（高さ）が300〜900mmである円筒中
空体であり、ステンレススチール或はポリエチレン、テ
フロン等から作られている。また、容器12の略円形の上
端板14には、２つの同形の開口16,18が当該上端板14の
周縁の近傍に形成されている。これらの開口16,18は、
上端板14の中心点を中心とした点対称で配置されてい
る。通常、一方の開口は内容液の注入及び排出に用いら
れ、他方の開口は、内容液の注入及び排出に伴う空気の
流通を助けるために用いられる。

容器洗浄装置10は、洗浄中に前記容器12を支持するた
めの容器台座20を有している。この台座20は、容器12の
上端板14が当接される第１部分22と、この第１部分22の
一側縁から直角に延び、容器12の側面を支持する第２部
分24とから構成されている。台座20の第１部分22には、
第２部分24から離れた位置及び第２部分24に近い位置に
貫通孔26,28が設けられている。これらの貫通孔26,28
は、特定の寸法及び形状を有する電子工業薬品用容器12
を台座20の所定位置に配置した場合、容器12の２つの開
口16,18とそれぞれ一致するように位置決めされてい
る。

容器台座20は、第１部分22が垂直上方に延び且つ第２
部分24が水平となる状態と、第１部分22が水平となり第
２部分24が垂直上方に延びる状態との間で傾動し得るよ
う、基台30に取り付けられている。台座20の第１部分22
と基台30のタイバー32との間には、台座20を傾動させる
ためのアクチュエーターとして空気圧シリンダー34が取
り付けられている。空気圧シリンダー34には、図示しな
い空気圧回路が接続されており、この空気圧回路を制御
して空気圧シリンダー34に対する加圧空気の給排を調節
することで、空気圧シリンダー34は伸縮され、もって台
座20の傾斜角度が調節されるようになっている。ここ
で、台座20の傾斜角度とは台座20の第２部分24と水平面
とのなす角度αをいうものとする（図２参照）。

この容器洗浄装置10は、洗浄液、好ましくは超純水を
台座20に支持された容器12内に導入し、ジェット流とし
て吹き付けるための洗浄ノズル36を有している。洗浄ノ
ズル36は、細長いパイプ38と、このパイプ38を通して運
ばれてきた超純水をジェット噴射するためにパイプ38の
一端に固着されたノズルヘッド40とから構成されてい
る。

パイプ38は、台座20の貫通孔26を通り台座20上の容器
12の開口16を通って容器12内に挿入されるよう、その外
径は貫通孔26及び容器12の開口16,18の内径よりも小さ
くされている。パイプ38の内径は、洗浄液の供給圧力が
0.5〜35kg/cm²Gである場合、通常７〜45mm程度である。
また、パイプ38の全長は、容器12の全長が300〜900mmで
ある場合、100〜900mm程度が好ましい。更に、パイプ38
は、洗浄中に撓むことがないよう、ある程度の剛性を有
する必要があり、例えばステンレススチールから作られ
るのが好適である。パイプ38の他端には、洗浄液供給装
置42から延びる可撓性のホース44が接続されている。こ
こで、このホース44とパイプ38との接続は直接的に或は
可動部分のない管継手（図示せず）を介して行われるこ
とが好ましく、自在継手のような摺動部分を有するよう
な管継手を介して接続してはならないことに注意すべき
である。

ノズルヘッド40の先端部分46には、好ましくは線状の
ジェット流を噴出するための多数の噴出孔48が形成され
ている。噴出孔48の数や配列及びノズルヘッド40の形状
は適宜定められるものであるが、図３〜図５に示すよう
なノズルヘッドが好適である。図３〜図５に明示するよ
うに、ノズルヘッド40の先端部分46は好ましくは球形で
あり、その外径は、台座20に支持された容器12内にパイ
プ38と共に挿入され得るよう、台座20の貫通孔26及び容
器12の開口16,18の内径よりも小さくされている。

噴出孔48は、図４及び図５から理解され得るように、
洗浄ノズル36の長手方向軸線上にプロットされた複数の
点のそれぞれを通り且つ前記軸線に対して直角に交差す
る面と、ノズルヘッド40の外表面とが交差して作る各基
準円RC₁〜RC₇に沿って、等間隔に設けられている。各基
準円RC₁〜RC₇における隣合う噴射孔48,48の角度的間
隔、すなわち隣合う噴射孔48,48のそれぞれから前記軸
線に延びる垂線のなす角度βは、小さいほど、一定時間
における洗浄効果を高めるが、瞬時流量を増加させる。
一方、この角度βを大きくした場合、一定時間における
洗浄効果が低下してしまう。このため、角度βは20〜90
度であるのが好適である。同様に、流量と洗浄効果の関
係から、基準円の数は３〜８であることが好ましい。従
って、噴出孔48の全数は30〜100個となる。更に、同様
の理由から、噴出孔48の径は0.1〜2.0mmであることが好
ましく、より好ましくは0.5〜1.5mmである。

ホース44が接続された側のノズルパイプ38の端部部分
は支持プレート50に設けられた１対の軸受52,54によっ
て支持されている。これらの軸受52,54は、洗浄ノズル3
6をその長手方向軸線を中心として回転可能に支持する
が、当該軸線に沿う方向については移動できないよう支
持するものである。軸受52,54間に位置するパイプ38の
外周面には揺動アーム56が取り付けられている。揺動ア
ーム56は、洗浄ノズル36の長手方向軸線に直角な方向に
延び、このアーム56を揺動させることで、洗浄ノズル36
を時計回り方向と反時計回り方向に交互に回転させるこ
とができるようになっている。図６に示すように、アー
ム56を揺動させるためのアクチュエーターとして、空気
圧シリンダー58が支持プレート50に設けられている。よ
り詳細には、空気圧シリンダー58のピストンロッド60の
端部がアーム56の先端に枢着され、シリンダーチューブ
62の端部が支持プレート50上に枢着されている。この実
施形態では、空気圧シリンダー58の最大の１ストローク
でアーム56は約120度の範囲で揺動するようになってい
る。この空気圧シリンダー58は、加圧空気の給排を制御
するための適当な空気圧回路（図示せず）に接続されて
いる。従って、空気圧回路を制御することで、アーム56
の揺動角度γ、ひいては洗浄ノズル36の回転角度γを調
節することが可能である。

支持プレート50は、台座20の第１部分22の下面側、す
なわち第２部分24とは反対の側に配置されている。ま
た、支持プレート50は、洗浄ノズル36のパイプ38と同方
向に延び且つパイプ38よりも長い１対の案内シャフト6
4,66を有している。これらの案内シャフト64,66は、台
座20の第１部分22の隅部に設けられた案内ブロック68の
対応の案内孔70,72に摺動可能に挿入され、これによっ
て支持プレート50は台座20に対して往復動可能に支持さ
れる。支持プレート50を往復動させるために、空気圧シ
リンダー74のようなアクチュエーターが設けられてい
る。空気圧シリンダー74のシリンダーチューブ76は、案
内孔70,72と平行な関係で案内ブロック68に固定され、
シリンダーチューブ76から延びるピストンロッド78の先
端は支持プレート50に接続されている。この空気圧シリ
ンダー74を適当な空気圧回路により制御することで、支
持プレート50を所望のストロークで往復直線運動をさせ
ることが可能となる。

案内ブロック68の各案内孔70,72及び空気圧シリンダ
ー74は、台座20の第１部分22に形成された貫通孔26の中
心軸線と平行に延びている。また、洗浄ノズル36は、貫
通孔26と同軸となるように位置決めされている。従っ
て、支持プレート50を空気圧シリンダー74により往復直
線運動させると、洗浄ノズル36を貫通孔26に対して出し
入れすることができる。なお、案内シャフト64,66が案
内ブロック68から脱落しないように、案内シャフト64,6
6の自由端に、拡径されたストッパ80を設けておくのが
好適である。

次に、上述したような容器洗浄装置10を用いて、電子
工業薬品用容器12の内部を洗浄する方法について説明す
る。

まず、容器台座20に、洗浄すべき容器12を配置する。
この際、容器12の上端板14に設けられた一方の開口16を
台座20の貫通孔26と一致させ、他方の開口18を台座20の
貫通孔28と一致させた状態で配置する。また、容器12が
台座20から脱落しないよう、締付けベルト等により固定
することが好ましい。

次いで、空気圧シリンダー34を動作させ、容器台座20
を傾動させ、台座20の傾斜角度αを所望の角度とする。
この角度αは、容器の形状や開口の位置に応じて０〜90
度の範囲内から適宜選ぶことができるが、図２に明示す
る容器12の場合、開口18が洗浄液の排出口となるため、
20〜70度程度が好ましい。

この後、空気圧シリンダー74を制御して、洗浄ノズル
36を、台座20の第１部分22の下面側から台座20の貫通孔
16及び容器12の開口16を通して容器12内に挿入する。そ
して、洗浄液供給装置42から、例えば0.5〜35kg/cm²G、
好ましくは10〜20kg/cm²Gの供給圧力をもって、洗浄液
としての超純水を供給する。この超純水は、可撓性ホー
ス44、洗浄ノズル362パイプ38を通り、ノズルヘッド40
の各噴出孔48からジェット流となって噴出される。

超純水の供給が開始されたならば、空気圧シリンダー
58,74のそれぞれを制御して、洗浄ノズル36を所望の回
転角度γの範囲で時計回り方向と反時計回り方向に交互
に回転させると共に、支持プレート50を往復直線運動さ
せて、ノズルヘッド40を容器12の開口16から容器12内の
所定位置までの間で往復動させる。

支持プレート50を移動させずに、洗浄ノズル36のみを
その長手方向軸線を中心として一定方向に回すと、ノズ
ルヘッド40の各噴出孔48からのジェット流が容器12の内
壁面に衝突する点は、容器12の内壁面を周方向に直線的
に移動する。洗浄ノズル36の一定方向の回転を続ける
と、一の噴出孔48からのジェット流の容器壁面に対する
衝撃点は、やがて、同一の基準円RCにおける隣接の噴射
孔48からのジェット流れの衝撃点の始点に到達する。従
って、それ以上はその方向に洗浄ノズル36を回転させる
必要はなく、この時に洗浄ノズル36の回転方向を逆転さ
せると、同一高さレベルにおける容器12の内壁面全体に
ジェット流が繰り返し当たることとなる。よって、洗浄
ノズル36の回転角度γは、ノズルヘッドの隣合う噴射孔
の角度的間隔βと等しくすればよく、噴出孔48の加工精
度等を配慮すれば、角度γは角度βよりも僅かに、例え
ば４度程度大きな値とするのがより好ましい。

また、各ジェット流の容器内壁面に対する衝撃点の最
大移動速度は、洗浄効果及び洗浄液の流量等を考慮する
と、1000mm/s以下とするのが好適である。従って、洗浄
ノズル36が正逆両方向に１回だけ回転するのに要する時
間、すなわち洗浄ノズル36の回線速度T₁は600秒／サイ
クル以下であるのが好ましく、より好ましくは120秒／
サイクル以下である。なお、この速度T₁が過小である
と、超純水が当たらない部分がでる場合があるので、速
度T₁は20秒／サイクル以上であることが望ましい。

洗浄ノズル36は回転のみならず、その軸線方向に往復
動するため、各ジェット流の容器内壁面に対する衝撃点
はサインカーブを描きながら、容器12の長手方向に沿っ
て移動する。全ジェット流についての軌跡が容器12の内
壁面の全体を実質的にカバーするためには、各軌跡が洗
浄ノズル36の往復直線運動に伴ってずれていくことが重
要となる。この条件は、コンピューター等を用いてシミ
ュレーションすることで容易に求め得るが、次式の条件
を満たすことが好ましい。

Δ＝2S×T₁/T₂（mm） 10≦Δ≦30 ここで、T₂は、洗浄ノズル36が前後に１回だけ往復する
のに要する時間、すなわち洗浄ノズル36の往復直線運動
の速度（秒／サイクル）であり、Ｓは洗浄ノズル36のス
トロークである。

更に、洗浄効果及び洗浄液の消費流量を考慮すると、
容器12の開口16から底面までの距離Ｌに対する洗浄ノズ
ル36のストロークＳの割合S/Lは、0.1〜1.0が好まし
く、0.2〜0.5とするのがより好適である。

以上のような条件の下で洗浄を続けると、ノズルヘッ
ド40からのジェット流は効率よく容器12の内壁面全体に
衝突する。しかも、超純水の通る流路、すなわちホース
44及び洗浄ノズル36の内部空間には、回転部のような摺
動部分が存在しないため、摩擦により生じた粒子が超純
水に混入するということがなく、二次汚染の心配もな
い。よって、短時間で且つ非常に少量の超純水で所望の
洗浄効果を得ることができる。

容器12の開口16を用いての洗浄が終了したならば、容
器12を180度回転させ、開口18を台座20の貫通孔26に合
せる、そして、洗浄ノズル36を開口18に挿入して上記と
同様にして洗浄を行い、洗浄作業を完了する、勿論、以
上の動作は、各アクチュエーター34,58,74に関連させる
空気圧回路を自動制御することで、自動化を図ることが
可能である。

なお、洗浄に用いられた超純水は容器12の開口18又は
16及び台座20の貫通孔28を通って外部に排出される。

次に、上記構成の容器洗浄装置を用いて実際に容器を
洗浄した結果を示す。

実施例洗浄すべき容器（12）として、図２に示す形状のポリ
エチレン製電子工業薬品用容器を用いた。また、この容
器の内径は約580mmであり、容器の開口から底面までの
長さ（Ｌ）は約900mm、開口（16,18）の内径は58mmであ
った。用いた容器洗浄装置（10）は、図１及び図２に示
す構成を有しており、洗浄ノズル（36）のパイプ（38）
の内径は27.2mm、長さは450mmであった。ノズルヘッド
（40）の形状は図３〜図５に示すものと実質的に同一で
あり、噴出孔（48）の数は67個、孔径は0.8mmであっ
た。

洗浄は上記の手順に従って行った。その際、洗浄ノズ
ルの回転速度（γ）は40度とし、回転速度（T₁）は1.5
秒／サイクルとした。また、洗浄ノズルのストローク
（Ｓ）と容器の長さ（Ｌ）との間の関係をS/L＝0.5が成
立する関係とした。更に、洗浄ノズルの往復直線運動の
速度（T₂）を40秒／サイクルとした。洗浄液としては超
純水を用いた。超純水の供給流量は0.08m³/分、供給圧
力は10kg/cm²Gとした。各開口（16,18）を用いての洗浄
時間はそれぞれ10分間とした。

洗浄終了後、容器に超純水を充填し、一時間経過後の
超純水中における粒径0.2μｍ以上の微粒子の濃度（個/
ml）を光散乱方式のパーティカルカウンターを用いて測
定した。

上記条件下で４本の容器に対して洗浄を行った結果、
各容器についての微粒子濃度は、それぞれ、15.7、8.
3、9.6及び10.3であり、その平均値は11.0であった。

比較例１ノズルヘッドを容器の長手方向のほぼ中心位置に配置
した状態で洗浄ノズルを固定ないしは静止させた点を除
き、前記実施例と同じ条件で４本の容器に対して洗浄を
行った。その結果、各容器についての微粒子濃度は、そ
れぞれ、49.4、16.2、31.7及び23.9であり、その平均値
は30.3であった。

比較例２洗浄ノズルを、パイプと、このパイプの先端に回転可
能に取り付けられたノズルヘッドとから成るものを用
い、超純水の流体圧力によりノズルヘッドを回転させな
がら洗浄する従来一般の装置を用いたこと以外、前記実
施例と同様に行った。その結果、各容器についての微粒
子濃度は、それぞれ、76.4、144、319及び102であり、
その平均値は160であった。

以上の結果から、本発明によれば、容器の内部の全面
を極めて清浄に洗浄することができ、よって、液体を容
器に充填して保存する際の液体中の粒子濃度の増加を極
めて低い水準に維持することができることが分る。ま
た、本発明によれば、所望の洗浄効果を得るために必要
な洗浄液の流量も少なくて済み、効率的に且つ経済的に
容器内部の洗浄を行うことができる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、
本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでも
ない。例えば、本発明は、開口が１つだけの容器等、他
の型式の容器にも適用可能である。勿論、開口が１つし
かない円筒形容器の場合、台座の第１部分に設けられる
貫通孔は１つだけでよく、その寸法や位置、或は、洗浄
時の台座の傾斜角度等は適宜選択されることとなる。ま
た、上記実施形態では、洗浄ノズルはリンク機構により
回転されるが、例えば図７に示すように、洗浄ノズル36
のパイプ38の外周面に歯車90を同軸に固着し、その歯車
90にモータ92の小歯車94を噛合させた構成により、洗浄
ノズルを回転させてもよい。図７の構成では、洗浄ノズ
ルの最大回転角度を360度程度まで大きくすることも可
能である。更に、洗浄液は超純水に限られず、容器に充
填される液体と同種の液体を用いてもよい。このよう
に、上記実施形態は一例に過ぎず、本発明の範囲及び精
神を逸脱することなく形態、構成及び配列を種々変形し
得ることは、明らかであろう。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B08B 9/093

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】容器の内部を洗浄するための装置であっ
て、前記容器を支持するための容器台座と、細長い剛性を有するパイプ、及び、多数の噴出孔が形成
され前記パイプの一端に固着されたノズルヘッドを有す
る洗浄ノズルと、前記洗浄ノズルをその長手方向軸線に沿って直線的に往
復動可能に移動させる移動手段と、前記洗浄ノズルをその長手方向軸線を中心として時計回
り方向及び反時計回り方向に交互に回転させる回転手段
と、を備え、前記洗浄ノズルは、前記移動手段により移動された場合
に前記ノズルヘッドが前記容器台座に支持された容器の
開口を通して該容器の内部に挿入され得るように配置さ
れており、前記移動手段は、前記容器台座に対して往復動自在に設
けられ、前記洗浄ノズルの前記パイプを支持する支持プ
レートと、前記支持プレートを往復直線運動させるアク
チュエーターとを有している、容器内部の洗浄装置。
【請求項２】前記アクチュエーターが空気圧シリンダー
である請求項１に記載の容器内部の洗浄装置。
【請求項３】前記回転手段が、前記支持プレートに前記洗浄ノズルを回転可能に支持す
る軸受と、前記支持プレート上に設けられたアクチュエーターと、前記アクチュエーターの駆動力を伝動して前記洗浄ノズ
ルを回転させる伝動機構と、を備える請求項１に記載の容器内部の洗浄装置。
【請求項４】前記回転手段の前記アクチュエータが空気
圧シリンダーであり、前記伝動機構が前記洗浄ノズルの
前記パイプの外周面に固着された揺動アームを含んでい
る請求項３に記載の容器内部の洗浄装置。
【請求項５】前記容器台座に支持された容器の開口が下
向きとなるように該容器台座を傾動可能に支持する基台
と、前記容器台座の傾斜角度を調節するために前記容器台座
を傾動させる傾動手段とを備える請求項１〜４のいずれ
か１項に記載の容器内部の洗浄装置。
【請求項６】前記ノズルヘッドの前記噴出孔が該ノズル
ヘッドの略球状の先端部分に形成されている請求項１〜
５のいずれか１項に記載の容器内部の洗浄装置。
【請求項７】前記噴出孔の孔径が0.1〜2.0mmである請求
項１〜６のいずれか１項に記載の容器内部の洗浄装置。
【請求項８】前記噴出孔が、前記洗浄ノズルの長手方向
軸線を中心とした該洗浄ノズルの回転方向に沿って等間
隔に配置されている請求項１〜７のいずれか１項に記載
の容器内部の洗浄装置。
【請求項９】前記洗浄ノズルの時計回り方向及び反時計
回り方向のそれぞれについての回転の角度（γ）が、隣
合う前記噴出孔のそれぞれから前記洗浄ノズルの長手方
向軸線に延びる垂線により画成される角度（β）以上で
ある請求項８に記載の容器内部の洗浄装置。
【請求項１０】前記洗浄ノズルの時計回り方向及び反時
計回り方向のそれぞれについての回転の角度（γ）が10
〜360度である請求項１〜９のいずれか１項に記載の容
器内部の洗浄装置。
【請求項１１】洗浄液供給装置と、前記洗浄液供給装置からの洗浄液を移送する可撓性のホ
ースと、を備え、前記ホースを前記洗浄ノズルの前記パイプの他
端に直接的に接続した請求項１〜10のいずれか１項に記
載の容器内部の洗浄装置。