315327五、發明説明（》) [技術領域] 本發明係有 [背景技術] 使用於半辱 或«氧化氫水 工業藥品被要 中之粒子濃度 之微细化或高 要求，習知技 蕖品中粒子之 過濾，若將填 地點之蕖品中 容器內部仍有 當然，容器 技術之容器內 A7 B7 W淸洗容器內部所痛之裝置及方法 體製造 為首之 求的品 宜低。 密度化 術乃採 方法。 充遇的 粒子濃 粒子的 内部在 部之淸 等所諝霄子工 液《狀者。對 質之一，則K 造項要求由於 等，顯得更加 用藉將藥品進 但是，電子工 容器輸送到使用 度會有增加之 緣故。 填充藥品之前 洗方法，則採 業藥品 於這些 不纯物 随著近 強烈。 行精密 業槩品 地點時 情形。 ,見有 液體狀 含有在 年來積 為了滿 遇濾， 即使經 ,有時 此乃被 Μ睫酸 之電子 其藥品 體電路 足埴種 以去除 遇精密 在使用 認為在 已烴過清洗，按習知 用了使用遐轉唄嘴頭 請 先 閲 讀 背 fi 再 填 寫 本 頁 經濟部中央標準局貝工消费合作社印輦 啧在専成姮理而水量 之裝所構將復 ·純撤 安端之 ，往面 ,一轉出做內 孔另姮啧間之 出的來孔之器 嘖子力出部容 液管壓嗔底涸 洗從其之與整 濟，藉頭部到 數者，嘴 口射 多轉水嗔開噴 有娌盹轉在必 具可超迺而勢 係而的從内水 頭皤型邊器純 嘴一典水容超 嗔子為純於之 轉管則超入出 娌之液將插嗔 。 性洗，頭所 式期淸此嘴 , 方具之因嘖時 水較入。轉動 超有 K 留 頭然 «仍 嘖會 轉也 坦部 用内 使器 使容 即 ， ，上. 是實 但事 0 » 洗洗 淸淸 行行 ^a 地間 效時 有長 而 子 粒 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Μ規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印裝 五、發明説明（ > ) 1 1 [發明《要] 4 1 因 而 9 本 發 明 之 百 的 係 提 供 一 種 以 較 少 量 之 淸 洗 液 躭 *1 1 可將容器内部洗得極其乾淨之漳洗裝置及淸洗方法 0 /""V 請 · I 先 1 本 發 明 人 等 研 討 了 上 述 事 實 之 结 果 » 發 現 了 由 於 嘖 嘴 閲 Z | 頭 之 m 轉 部 露 出 於 淸 洗 液 之 潦 通 路 » 所 f 由 此 m 轉 部 背 面 1 I 之 1 之 摩 擦 所 造 成 之 微 小 粒 子 將 污 染 淸 洗 液 f 甚 至 於 污 染 容 注 f 1 | 器 0 本 發 明 乃 依 據 這 種 見 解 所 開 者 9 使 用 细 長 具 有 剛 性 Ψ 項, 再 1 | 之 管 子 • 與 具 有 固 定 於 形 成 多 數 嗔 出 孔 之 上 述 管 子 皤 寫 本 1 之 唄 嘴 頭 之 淸 洗 嗔 m » 由 噴 m 頭 之 唄 出 孔 所 噴 出 之 淸 洗 頁 1 I 液 來 淸 洗 容 器 内 部 之 方 法 • 其 特 擞 為 具 備 著 • 9 為 使 嗔 m 1 1 頭 能 配 置 於 容 器 內 » 將 淸 洗 嗔 m 從 容 器 開 □ 插 入 容 器 內 1 I 之 步 驟 * 從 清 洗 噴 管 之 他 皤 供 應 淸 洗 液 而 白 嗔 嘴 頭 之 嗔 1 訂 出 孔 Μ 嗔 射 潦 使 其 唄 出 之 步 驟 • 及 將 淸 洗 嗔 嘴 沿 著 其 畏 1 轴 籙 做 往 復 直 媒 蓮 動 9 同 時 参 將淸洗嘖嘴以其長向 袖 [ 1 線 為 中 心 朝 向 顚 時 針 方 向 與 反 時 針 方 向 做 交 互 娌 轉 之 步 1 1 驟 〇 又 本 發 明 之 其 他 面 係 提 供 一 種 為 淸 洗 容 器 内 部 之 裝 置 線 者 » 其 特 激 為 備 有 用 於 支 撐 容 器 之 容 器 台 座 细 長 又 1 1 具 有 m 性 之 管 子 » 具 有 形 成 多 數 m 出 孔 而 固 定 於 管 子 一 r 1 1 端 之 嗔 嘴 頭 之 淸 洗 噴 嘴 $ 使 淸 洗 啧 嘴 沿 著 其 長 向 軸 線 可 .1 直 線 性 往 復 動 移 動 之 移 動 手 段 1 與 將 淸 洗 啧 m 其 長 向 1 1 轴 線 為 中 心 朗 向 顯 時 針 方 向 及 反 時 針 方 向 交 互 渔 轉 之 垣 1 | 轉 手 段 • 淸 洗 噴 嘴 即 被 配 置 為 t 其 由 移 動 手 段 被 移 動 時 1 | 嘖 嘴 頭 即 通 過 被 容 器 台 座 所 支 撐 之 容 器 開 P 而 插 入 該 容 1 1 4 _ 1 1 1 1 本紙张尺度適用中囷國家揉隼（CNS ) A4规格（210X 297公鼇） 315327 A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印装 五、發明説明（ ) 1 1 器 之 内 部 〇 ?| 1 若 依 據 本 發 明 者 9 由 於 淸 洗 嘍 嘴 本 身 進 行 注 復 直 線 蓮 • 1 1 動 與 往 復 m 轉 蓮 動 t 淸 洗 唄 嘴 並 無 滑 動 部 分 9 又 無 因 摩 f—、 一 請 1 I 擦 所 產 生 之 粒 子 摻 混 到 淸 洗 液 9 故 可 有 效 率 地 清 洗 容 器 先 閲 1 I 1 內 〇 背 1 1 之 1 本 發 明 上 述 的 這 些 特 激 或 優 點 及 其 他 特 徴 或 優 點 得 從 注 意 1 | 據 98 面 的 以 下 詳 细 說 明 白 可 明 白 0 事 1 再 S 1 | [圖式之簡單說明] 寫 本 1 Μ 下 之 詳 细 說 明 » 可 參 照 下 面 之 附 圓 0 頁 1 | 圈 1 係 表 示 依 據 本 發 明 之 容 器 淸 洗 裝 置 之 斜 視 圔 0 1 1 匾 2 係 表 示 圖 1 之 容 器 淸 洗 裝 置 之 跋 剖 面 匾 〇 1 I 匾 3 係 表 示 使 用 於 本 發 明 之 容 器 清 洗 裝 置 之 清 洗 啧 嘴 1 訂 部 分 之 放 大 剖 面 圓 0 1 m 4 係 沿 著 匾 3 之 IV -IV線所視之箭頭視鼷， 而 表 示 裝 1 I 設 於 哦 嘴 頭 先 端 部 分 之 嗔 出 孔 配 列 0 1 1 m 5 係 沿 著 m 3 之 V -V線之剖面線， 而 表 示 裝 設 於 噴 1 嘴 頭 先 皤 部 分 之 噴 出 孔 配 列 〇 * 線 I 圏 6 係 沿 著 圓 2 之 VI - VI 線 所 視 之 V 支 撐 板 及 其 相 Μ 構 件 之 1 1 稱 面 圈 $ 裝 置 之 其 他 部 分 為 了 明 瞭 化 而 從 略 〇 * 1 1 匾 7 係 表 示 m 轉 洗 淸 啧 嘴 之 其 他 m 構 之 溉 略 _ 0 1 I [實施發明之最佳形態] 1 1 Η 1 及 匾 2 係 表 示 依 據 本 發 明 之 容 器 淸 洗 裝 置 10 〇 此 1 I 容 器 清 洗 装 置 10在 _ 2 表 示 得 更 加 明 瞭 » 而 是 用 於 清 洗 1 I 霣 子 X 業 藥 品 之 容 器 12者 〇 5 般 此 種 容 器 12的 内 徑 為 200 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局負工消費合作社印装 A7 B7五、發明説明〇 ) 〜600·»,長度（高度）為300〜900··之圓筒空心體，而由 不锈網或聚乙烯，聚四氟乙烯纖維等所製成。而且，在 容器12之略圼圆形之上皤板14,有2個同形之開口 16、 18形成於該上纗板14之周緣近旁。疽些開口 16、18係以 上端板14之中心點為中心之兩點對稱配置。通常，一方 開口係用於內容液之注入及排出另一開口即用於随者内 容液之注入及排出有肋於空氣之潦通。 容器清洗裝置10具有淸洗中為支撐上述容器12用的容 器台座20。此台座20乃由容器12之上雄[板14所抵接之第 1部分22,與從此第1部分22之一候（緣成直角的延伸， 而支撐容器12俩面之第2部分24所構成。在台座20之第 1部分22上，距第2部分24較适位置及較近位置開設有 穿通孔26、28。逭些穿通孔26、28係當具有特定之尺寸 及形狀之霣子工業藥品用容器12配置於台座20之預定位 置時，分別可對準容器12之2個開口 16、18般定位著。 容器台座20乃Μ第1部分22朝向垂直上方延伸且第2 部分24為水平狀態，與第1部分22變成水平而第2部分 24即向垂直上邊延伸狀態之間得以傾動般.安裝於基台 30。在台座20之第1部分22與基台30之繫桿32之間，作 為使台座20傾動所需之致動器乃安装有空氣懕汽缸（氣 缸）34。在氣缸34連接有並無圏示之空氣Κ渔路，控制 此空氣壓遲路而對於氣缸34之加壓空氣之供應或排出加 Μ調整，躭可伸鏞氣缸34, Μ調整台座20之傾斜角度。 在此，所謂台座20之傾斜角度係指台座20之第2部分24 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) f 裝·
、1T f 本紙張尺度適用中圉國家標準（CNS ) A4规格（210 X 297公釐） 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 A7 B7五、發明説明U ) 與水平面所造成之角度α(參照匾2 )諝之。 此容器淸洗裝置10係將淸洗液最好是超純水導入被台 座20所支撐之容器12内，而具有以噴射流噴射用之淸洗 嗔嘴36。洗清嗔嘴36係由细長管子38,與為使經由此管 子38所输送過來之超純水Μ嘖射流嘖射所需而固定於管 子38—皤之嗔嘴頭40所成。 管子38乃穿通台座20之穿通孔26通遇台座20上之台座 20之開口 16可插人於容器12内般，其外徑較諸穿通孔26 及容器12之開口 16、18之內徑為小。管子38之内徑，若 淸洗液之供應壓力為0 . 5〜3 5 k g / c G時，通常為7〜45祖 之程度。又管子38之總長若容器12之總長為300〜900 時，Μ 100〜900ι·程度較佳。並且為使管子38在淸洗 中不至於撓曲，需要具有某程度之剛性，例如由不锈» 所製造者較佳。在管子38之他纗連接有從淸洗液供應裝 置42延伸之可撓性軟管44。在此，钦管44與管子38之連 接以直接或隔著並無可動部分之管接頭（未圈示）來完成 為宜，必須注意的是不得隔著如萬能接頭那種有滑動部 分之管接頭來連接。 在嘖嘴頭40之先皤部分46最好是形成了可啧出線狀嗔 射流所需之多數啧出孔48。啧出孔48之數目或排列及嗔 嘴頭40之形狀雖可適序決定，但是，如圈3〜_5所示的 啧嘴頭最為壤當如圈3〜5所示般，嘖嘴頭40之先*部分 40之先皤部分46較佳為球形狀，其外徑被設定為連同管 子38—齊可插入由台座20所支撐之容器12內般.比台座 -7- (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) f .裝- f 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ规格（210X 297公釐） 315327 經濟部中央橾準局員工消费合作社印製 A7 B7五、發明説明（b ) 20之穿通孔26及容器12之開口 16、18之內徑較小。 噴出孔48可從圈4及圈5瞭解般，係分別通逢蝓示在 淸洗唄《36之長向袖線上之多數點，且沿著對上述袖線 交叉成直角之面與噴嘴頭40外表面所交叉形成之各基準 圓RC1〜RC7, K等間隔被穿設著。與在各基準圓RC1〜 RC7上相鄰之唄出孔48、48之角度性間隔，亦即分別從 相鄹之嘖出孔48、48朗向上述袖媒延伸之垂直線所形成 之角度/9愈小，雖可提高在一定期間之洗涛效果，但是 ，可增加瞬間流量。另一方面，若增大此角度/8時，在 一定期間之清洗效果就會降低。因此，角度/3為20〜90 度較佳。間樣地，從流Μ與淸洗效果之W係來看，基準 圆數為3〜8較佳。所Μ,嗔出孔48之總數為30〜100個。 並且，Κ同樣理由其噴出孔48之直徑為0 . 1〜2.0··較 · 佳，最好是0.5〜1.5··。 連接软管44邊側之嗔嘴管38之皤部部分乃以裝設於支 撐板50之1對袖承52、54所支撐。逭些袖承52、54係將 淸洗曠«36Μ其長向軸線為中心支掼成可垣轉，但是支 撐得未能沿著該袖線方向移動。在位於_承52、54間之 管子38外周面則安裝有振動霣桿56。摄動臂桿56係朝與 淸洗啧嘴36之長向袖線成直角方向延伸，而藉檯動此振 動臂桿56,躭使淸洗噴嘴36交替朝向顚時針方向與反時 針方向渔轉。如圓6所示，做為摄動提動货桿56之致動 器，有氣缸58裝設於支撐板50。更詳细的說，氣缸58之 活塞稈60皤部揠著於臂桿56先蟠，而氣缸管62的纗部即 -8- _ —«1 i - --1¾ · (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) r -裝-
、1T —f 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（？） 固定於支撐板50上，在此實施形態上·在氣缸58之最大 1 »程中其臀桿56可做約120度之範崮振動。此氣缸58 被速接到用於控制加颳空氣之供K或排出之遘當氣S酒 路（未鼷示）。從而，藉將氣壓邂路加以控制躭可調整臂 桿56之振動角度7,甚至可調整淸洗噴嘴36之迺轉角度 7 ° 支撐板50被配置於台座20之第1部分22下面邊供，亦 即被配置於與第2部分24之相反邊供。而且，支撐板50 係與清洗嗅嘴36之管子38相同方向延ί申具且有比管子38較 長之1對導軸64、66。疽些専軸64、66係可滑動地插入 在設於台座20第1部分22角隅部之導塊68上相對應之導 孔70、72,藉此支撐板50即被支撐得可對台座20做往復 埋動。為使支撐板50做注復運動乃装設有如氣缸74之致 動器。氣缸74之氣缸管76係以與導孔70、72平行之闞係固. 定於導塊68,從氣缸管76所延伸之活塞桿78之先皤即連 接於支撐板50。由於將此氣缸74藉缠當空壓坦路加以控 制，就可將支撐板50Μ所需銜程做往復直媒a動。 導塊68之各導孔70、72及氣缸74係與形成在台座20之 第1部分22之穿通孔26之中心袖線平行延伸。 又濟洗嘖嘴36被定位為能與穿通孔26成同一轴。因此 ，若由氣缸74使支撐板50往復直線運動者，躭可將淸洗 嘖嘴36進出入於穿通孔26。此外，為使導軸64、66不會 從導塊68脫落，在専軸64、66之自由端装配被擴徑之播 止器80為宜。 -9- 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 裝 Ί 訂 - (請先閲讀背面之注意事^再填寫本頁) 經濟部中央梂準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（多） 繼而，躭使用如上述容器淸洗裝置10淸洗®子工業藥 品用容器12内部之方法說明如下。 首先，在容器台座20配置欲淸洗之容器12。此時，將 設於容器12之上娥板14之一方開口 16對準台座20之穿通 孔26,再將他方之開口 18配置成與台座20之穿通孔28對 準之狀態。又為使容器12不會從台座20脫落，使用拴緊 皮箝等加以固定為妥。 接著，放動氣缸34使容器台座20傾動，將台座20之傾 斜角度α定為所需之角度。此角度α雖因應容器形狀或 開口位置可從0〜90度之範圍內缠當選擇，但是，若圈2 所示的容器12時，由於開口 18將成為清洗液之排出口， 所Μ , Μ 20〜70度程度較佳。 然後，控制氣缸74,將淸洗啧嘴36從台座20之第1部 分22下面邊側穿通台座20之穿通孔26及容器12之開口 16 插人容器12内。並且從淸洗液供應裝置42,例如，Μ〇.5 〜3 5 lc g / c m1 G ,最好以1 0〜2 0 k g / c in2 G之供應壓力，供應 做為淸洗液之超純水。此超纯水乃烴由可撓性软管44, 淸洗嘖嘴36及管子38,從嘖嘴頭40之各嘖出孔48變成嘖 射流啧出。 若開始供應超純水時，即控制氣缸58及74等，使淸洗 嗔嘴36在所需之邂轉角度的範匾内交替朝顚時針方向與 反時針方向邂轉，同時，使支撐板50進行往復直媒運動 ，而將啧嘴頭40從容器12之開口 16到容器12內之預定位 置之間進行往復蓮動。 -10- 本紙張尺度適用中國國家標率（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ^----- I —叫券 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T A7 B7 五、發明説明（9 ) 不移動支撐板50,而只將 中心朝一方向埋轉時，來自 12内壁面， 移動。若雄 流即衝突到容器 坚面朝周向直線 淸洗啧嘴36W其長 嘖嘴頭40各啧出孔 此一®突點躭可使 向軸線為 48之嗔射 容器12内 定方向姮 衝擊點， 孔48斷嗔 迺轉淸洗 ,嗔射流 面。所Κ 之嗔射孔 工精密度 程度之數 請 閲 背 面 之 注 意 事 項 再 寫 本 頁 訂 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 轉時，由一啧出孔48之噴射 不久，勢必到達 出之噴射流之街 喷嘴36,此時若 就可反復》到同 ，濟洗噴嘴36之 角度間隔/3相等 者，角度7僅僅 值就更佳。 而且，各嘖流 度，若考慮到濟 1 000u/s以下較 姮轉一次所花之 600秒/周期Μ下 若此速度Τ1過低 分，所以，速度 由於淸洗啧嘴 動，所Μ ,各啧 鎗正弦曲線邊， 之軌跡為使實質 從同一基準 擊點。從而 倒轉澝洗嗔 一高度位準 迴轉角度7 躭可Μ ,若 較諸角度/3 對於容器 洗效果及 佳。因此 間時，亦 較佳。更 時，由於 Τ1Μ 20 秒 36不僅是 射流對於 沿著容器 上能涵Μ 績淸洗 流對於 圓RC上 ,不必 嘴36之 之容器 只要與 考處嗔 稍大， 嘖嘴36在一 容器壁面之 之鄰接啧出 在其方向再 邂轉方向者 12整俚内壁 相鄰啧嘴頭 出孔48之加 例如大4度 内壁面之衡擊點 淸洙液之流量等 ,淸洗啧嘴36向 即淸洗嘖嘴36之 好為120秒/周期 可能會有衡擊不 /周期以上為宜 邂轉，因會朗其 各容器内壁面之 12之長向移動。 整個容器12之内 之最大移動速 項者，定為 正反兩方向只 迺轉速度Τ1為 以下。此外， 到超純水之部 > 軸鎳方向往復 衡擊點即邊描 W於全嘖射滾 壁面著想者， -11- 本紙張尺度適用中國固家梯準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐） 經濟部中失梂準局貝工消费合作社印裝 315327 A7 B7 五、發明説明（0 ) 各軌跡釀著淸洗嘖嘴36之往復直線蓮動逐渐锸差下去為 簠要之事。此一條件使用霣睡等進行横擬測驗就可容易 求得，但是，可滿足下式條件為宜。 Δ =2S X T1/T2 (») 10認△忘30 在此，T2為清洗嘖嘴36向前後往復一次所需之時間， 亦即潸洗噴嘴36之往復直線運動之速度（秒/周期），S為 淸洗啧嘴36之®程。 況且，考*到清洗效果及淸洗液之消費量時，從容器 12之開口 16到底面距離L之清洗噴嘴36之街程S之比例 S/L, K0.1〜1.0較佳，而定為0.2〜0.5更佳。 若在K上條件下纖續進行淸洗時，來自噴嘴頭40之唄 射流躭有效率地衡突到容器12之整個内壁面。並且，超 純水流烴之流通路，亦即，在軟管44及淸洗唄明36之内 部空間，由於不存在如迴轉部那樣的滑動部分，所以因 摩擦所產生之粒子就不會摻入超纯水，也沒有二次污染 之顧處。因而，就可在短時間且以非常少量之超純水獲 得所需之濟洗效果。 若使用容器12開口 16之淸洗结束時，躭把容器12酒轉 180度，而將開口 18對準台座20之穿通孔26。然後，將淸 洗啧嘴36插入開口 18而與上述同樣再進行淸洗，Μ结束 淸洗作業。當然，Κ上之動作由於相W的各致動器34、 58、74之氣壓邂路做自動控制，躭可達成自動化。 此外，用於澝洗的超純水係流經容器12之開口 18, 16 -12- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注^項再填寫本頁) f
T A7 B7 經濟部中央揉準局負工消費合作社印袈 五、發明説明（ ) 1 1 及 台 座 20之 穿 通 孔 28而 排 出 到 外 部 〇 ! 接 著 9 使 用 上 述 構 成 之 容 器 淸 洗 裝 置 » 將 實 際 上 洗 淸 J 1 器 之 结 果 表 示 如 下 〇 請 • I A 1 1 例 閲 I 讀 « i 1 作 為 欲 淸 洗 之 容 器 (12) » 使 用 了 圖 2 所 示 形 狀 之 聚 乙 背 1 之 1 烯 製 m 子 工 莱 藥 品 用 容 器 0 此 —- 容 器 之 内 徑 為 約 580· 霣 % 1 1 • 從 容 器 閭 P 到 底 面 之 長 度 L 為 約 900· 開口（16 18 事 1 1叫 ) 的 内 徑 為 58 〇 所 使 用 之 容 器 淸 洗 裝 置 10具 有 圓 1 及 填 寫 本 1 2 所 示 之 構 成 • 清 洗 嘖 嘴 (36) 之 管 子 (38) 内 徑 為 27 .2 頁 '—^ 1 I η η » 長 度 為 45 0· B c >噴嘴頭（40)之形狀係與圖3 圔 5 所 1 1 示 者 實 質 上 同 一 t 嗔 出 孔 48 數 為 67傾 9 孔 徑 為 0 . 8β R ( 1 I 清 洗 係 依 照 上 述 顒 序 進 行 〇 此 時 9 濟 洗 噴 嘴 之 娌 轉 角 1 訂 度 7 定 為 40度 9 迴 轉 速 度 (Τ1) 定 為 1 . 5秒/ 周 期 〇 又 將 淸 1 洗 嗔 嘴 之 m 程 S 與 容 器 長 度 L 間 之 關 係 定 為 能 成 立 S/L 1 I =0 .5之 係 0 並 且 9 將 淸 洗 噴 嘴 之 往 a 直 線 運 動 速 度 ( 1 1 1 Τ2)定為40秒/周 期 〇 做 為 濟 洗 液 乃 使 用 超 純 水 0 超 純 水 立1 之 供 應 潦 量 BP 為 0 . 08 3 / 分， 供應壓力為10k g/ c in2 G 〇 使 線 N I 用 各 開 P (16 , 18)之淸洗時間分別定為10分鐘。 1 1 结 果 淸 洗 後 » 在 容 器 填 充 超 純 水 將 經 通 一 小 時 後 在 Λ I • 超 約 水 中 之 粒 徑 0 . 2 u « Η 上 之 微 粒 子 m 度 (個/ η 1) 使 用 1 * I 光 敗 亂 方 式 之 粒 子 計 數 器 加 Μ m 定 0 1 1 在 上 述 條 件 下 對 於 4 偭 容 器 進 行 淸 洗 之 结 果 9 有 U 各 1 I 容 器 之 微 粒 子 濃 度 分 別 為 15 .7 8 . 3 、g .6及 10 .3 , 其 平 1 I 均 值 為 11 .C 〇 1 1 13- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央梂準局®C工消费合作社印装 A7 B7五、發明説明（^ )H-. » m ^ 將嘖《頭在配置於容器長向之約略中心位置狀態下， 除了固定清洗噴嘴或使其靜止之外，與上述實施例相同 條件下對於4涸容器進行淸洗。其结果，有醑各容器之 微粒子瀠度係分別為49 . 4、16 . 2、31 . 7及23 . 9 ,其平均 值為30 . 3。 比較例2 淸洗《嘴係使用由管與在此管先端安裝可垣轉之嘖« 頭所構成者，除使用藉超約水之流體壓力*遐轉唄嘴淸 洗之習知技術之一般装置外，與上述實施例同樣進行。 其结果，有閨各容器之微粒子湄度分別為76.4、144、 31.9及102，其平均值為160。 從K上之结果，若依據本發明者，可將容器内部之全 面淸洗得極其乾淨，所以，可明白將液體填充於容器而 保存時之液體中粒子濃度之增加可維持為極其低水準。 又若依據本發明即可獲得所期盼之溏洗效果所需之淸洗 液滾量儘量可減少，自可有效率且經濟地進行容器内部 之淸洗。 Μ上，雖就本發明之較佳實施形態做了說明，但本發 明並不只限於上述實施形態，自不符合。例如，本發明 亦可缠用於只有1涸開口之容器等其他型式之容器。當 然，開口只有一涸之圓茼形容器時，設於台座之第1部 分之穿通孔只要一個躭可，其尺寸或位置或淸洗時之台 座之傾斜角度等應做缠當選擇。又在上述實豳形態時， -14- (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) Τ. 裝- 訂 Η. 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） A7 B7 五、發明説明（β 淸洗嘖嘴係Μ連桿懺構所渔轉，但是，如匾7所示，在 淸洗噴嘴36之管子38之外周面同軸上固定齒輪90,使其 齒輪90嚙合馬達92之小齒輪94之溝成，來迴轉淸洗嗔嘴 亦可。匾7之構成上，可將淸洗嘖嘴的最大遇轉角度擴 大至36 0度左右。並且，濟洗液並不只限超純水，也可使 用與填充於容器之液體同種類之液體。似此，上述實施 形態只不過為一例，應可明白只要不脫離本發明之範醒 及精神者得將其形態、構成及排列等加Μ各種變形。 請 先 背 之 注 意 事 裝 訂 經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐〉