WO1996041688A1

WO1996041688A1 - Procede et dispositif de lavage de l'interieur d'un recipient

Info

Publication number: WO1996041688A1
Application number: PCT/JP1996/001532
Authority: WO
Inventors: Masao Morikawa; Yoshio Iino
Original assignee: Sumitomo Chemical Company, Limited
Priority date: 1995-06-08
Filing date: 1996-06-06
Publication date: 1996-12-27
Also published as: TW315327B; US6125864A; JP3381925B2; KR19990022624A

Description

明細書容器内部の洗浄方法及び洗浄装置技術分野

本発明は、容器の内部を洗浄するための装置及び方法に関する。

背景技術

半導体製造等に使用されるいわゆる電子工業薬品には、硫酸や過酸化水素水を始めとする液体状のものがある。これら液体状の電子工業薬品に要求される品質の一つとしては、不純物として薬品中に含まれる粒子の濃度が低いことがある。この要求は、近年の集積回路の微細化や高密度化等に伴って、より一層強くなつている。かかる要求を満たすため、従来においては、薬品を精密濾過することにより、薬品中の粒子を除去する方法が採られている。しかしながら、電子工業薬品は、精密濾過されたとしても、容器に充填され使用地点まで輸送されると、使用地点での薬品中の粒子濃度が増加していることがある。これは、容器の内部に粒子が存在しているからと考えられる。

勿論、容器の内部は、薬品が充填される前に洗浄される。従来の容器内部の洗浄方法としては、回転ノズルへッドを用いたウォー夕ジエツト方式が採用されている。回転ノズルヘッドは多数の洗浄液噴出孔を有し、比較的剛性のあるパイプの一端に回転可能に取り付けられたものであり、パイプの他端から導入された洗浄液、典型的には超純水の圧力により回転されるよう構成されている。従って、超純水を回転ノズルへッドの噴出孔から噴出させながら、回転ノズルへッドを容器内に挿入して開口部と底部との間で往復動させると、噴出された超純水は容器の内面全体に当たり、効率的に洗浄が行われる。しかし、回転ノズルヘッドを用いて超純水で長時間にわたり洗浄を行っても、容器の内部に微量の粒子が残留するという事実がある。発明の概要

そこで、本発明の目的は、比較的少量の洗浄液で容器内部全体を極めて清浄に洗浄することのできる洗浄装置及び洗浄方法を提供することにある。

本願発明者らは、前記事実を考察した結果、ノズルヘッドの回転部が洗浄液の流路に露出されているため、この回転部の摩擦によって形成された微小な粒子が洗浄液を汚染し、ひいては容器を汚染することを見出した。本発明は、かかる知見に基づき為され、細長い剛性を有するパイプと、多数の噴出孔が形成され前記パイプの一端に固着されたノズルへッドとを有する洗浄ノズルを用い、ノズルへッドの噴出孔から噴出される洗浄液により容器の内部を洗浄する方法であって、ノズルへッドが容器内に配置されるよう、洗浄ノズルを容器の開口から容器内に挿入するステツプと、洗浄ノズルのパイプの他端から洗浄液を供給してノズルへッドの噴出孔からジエツト流として噴出させるステップと、洗浄ノズルをその長手方向軸線に沿って往復直線運動させると共に、洗浄ノズルをその長手方向軸線を中心として時計回り方向及び反時計回り方向に交互に回転させるステップとを備える容器内部の洗浄方法を特徴としている。

また、本発明の他の面は、容器の内部を洗浄するための装置を提供するもので、容器を支持するための容器台座と、細長い剛性を有するパイプ、及び、多数の噴出孔が形成されパイプの一端に固着されたノズルヘッドを有する洗浄ノズルと、洗浄ノズルをその長手方向軸線に沿って直線的に往復動可能に移動させる移動手段と、洗浄ノズルをその長手方向軸線を中心として時計回り方向及び反時計回り方向に交互に回転させる回転手段とを備え、洗浄ノズルが、移動手段により移動された場合にノズルへッドが容器台座に支持された容器の開口を通して該容器の内部に挿入され得るように配置されていることを特徴としている。

本発明によれば、洗浄ノズルがそれ自体で往復直線運動と往復回転運動を行うため、洗浄ノズルには摺動部分がなく、摩擦により生ずる粒子が洗浄液に混入することがなく、効率的に容器内を洗浄することができる。本発明のこれらの特徴や利点及びその他の特徴や利点は、図面に沿っての以下の詳細な説明から明かとなろう。

図面の簡単な説明

以下の詳細な説明においては、次の添付図面が参照されることとなる。

図 1は、本発明による容器洗浄装置を示す斜視図である。

図 2は、図 1の容器洗浄装置を示す縦断面図である。

図 3は、本発明の容器洗浄装置に用いられる洗浄ノズルの一部を示す拡大断面図である。

図 4は、図 3の IV— IV線に沿って見た矢視図であり、ノズルヘッドの先端部分に設けられた噴出孔の配列を示している。

図 5は、図 3の V— V線に沿っての断面図であり、ノズルヘッドの先端部分に設けられた噴出孔の配列を示している。

図 6は、図 2の VI— VI線に沿って見た支持プレート及びその関連部材の側面図であり、装置の他の部分は明瞭化のために省略している。

図 7は、洗浄ノズルを回転させる他の機構を示す概略図である。

発明を実施するための最良の形態

図 1及び図 2は、本発明による容器洗浄装置 1 0を示している。この容器洗浄装置 1 0は、図 2においてより明瞭に示されるように、電子工業薬品用の容器 1 2を洗浄するためのものである。一般的に、この種の容器 1 2は、内径が 2 0 0 〜6 0 0 mm、長さ（高さ）が 3 0 0〜 9 0 0 mmである円筒中空体であり、ステンレススチール或はポリエチレン；テフロン等から作られている。また、容器 1 2の略円形の上端板 1 4には、 2つの同形の開口 1 6， 1 8が当該上端板 1 4 の周縁の近傍に形成されている。これらの開口 1 6 , 1 8は、上端板 1 4の中心点を中心とした点対称で配置されている。通常、一方の開口は内容液の注入及び排出に用いられ、他方の開口は、内容液の注入及び排出に伴う空気の流通を助けるために用いられる。容器洗浄装置 1 0は、洗浄中に前記容器 1 2を支持するための容器台座 2 0を有している。この台座 2 0は、容器 1 2の上端板 1 4が当接される第 1部分 2 2 と、この第 1部分 2 2の一側縁から直角に延び、容器 1 2の側面を支持する第 2 部分 2 4とから構成されている。台座 2 0の第 1部分 2 2には、第 2部分 2 4から離れた位置及び第 2部分 2 4に近い位置に貫通孔 2 6 , 2 8が設けられている _c これらの貫通孔 2 6， 2 8は、特定の寸法及び形状を有する電子工業薬品用容器 1 2を台座 2 0の所定位置に配置した場合、容器 1 2の 2つの開口 1 6， 1 8とそれぞれ一致するように位置決めされている。

容器台座 2 0は、第 1部分 2 2が垂直上方に延び且つ第 2部分 2 4が水平となる状態と、第 1部分 2 2が水平となり第 2部分 2 4が垂直上方に延びる状態との間で傾動し得るよう、基台 3 0に取り付けられている。台座 2 0の第 1部分 2 2 と基台 3 0の夕ィバ一 3 2との間には、台座 2 0を傾動させるためのァクチユエ一夕一として空気圧シリンダ一 3 4が取り付けられている。空気圧シリンダー 3 4には、図示しない空気圧回路が接続されており、この空気圧回路を制御して空気圧シリンダー 3 4に対する加圧空気の給排を調節することで、空気圧シリンダ —3 4は伸縮され、もって台座 2 0の傾斜角度が調節されるようになっている。ここで、台座 2 0の傾斜角度とは台座 2 0の第 2部分 2 4と水平面とのなす角度ひをいうものとする（図 2参照）。

この容器洗浄装置 1 0は、洗浄液、好ましくは超純水を台座 2 0に支持された容器 1 2内に導入し、ジェヅト流として吹き付けるための洗浄ノズル 3 6を有している。洗浄ノズル 3 6は、細長いパイプ 3 8と、このパイプ 3 8を通して運ばれてきた超純水をジエツト噴射するためにパイプ 3 8の一端に固着されたノズルへヅド 4 0とから構成されている。

パイプ 3 8は、台座 2 0の貫通孔 2 6を通り台座 2 0上の容器 1 2の開口 1 6 を通って容器 1 2内に挿入されるよう、その外径は貫通孔 2 6及び容器 1 2の開口 1 6 , 1 8の内径よりも小さくされている。パイプ 3 8の内径は、洗浄液の供給圧力が 0 . 5〜3 5 k gZ c m² Gである場合、通常 7〜 4 5 mm程度である。また、パイプ 3 8の全長は、容器 1 2の全長が 3 0 0〜9 0 O mmである場合、 1 0 0〜9 0 0 mm程度が好ましい。更に、パイプ 3 8は、洗浄中に橈むことがないよう、ある程度の剛性を有する必要があり、例えばステンレススチールから作られるのが好適である。パイプ 3 8の他端には、洗浄液供給装置 4 2から延びる可撓性のホース 4 4が接続されている。ここで、このホース 4 4とパイプ 3 8 との接続は直接的に或は可動部分のない管継手（図示せず）を介して行われることが好ましく、自在継手のような摺動部分を有するような管継手を介して接続してはならないことに注意すべきである。

ノズルへッド 4 0の先端部分 4 6には、好ましくは線状のジエツト流を噴出するための多数の噴出孔 4 8が形成されている。噴出孔 4 8の数や配列及びノズルへッド 4 0の形状は適宜定められるものであるが、図 3〜図 5に示すようなノズルヘッドが好適である。図 3〜図 5に明示するように、ノズルヘッド 4 0の先端部分 4 6は好ましくは球形であり、その外径は、台座 2 0に支持された容器 1 2 内にパイプ 3 8と共に挿入され得るよう、台座 2 0の貫通孔 2 6及び容器 1 2の開口 1 6 , 1 8の内径よりも小さくされている。

噴出孔 4 8は、図 4及び図 5から理解され得るように、洗浄ノズル 3 6の長手方向軸線上にプロットされた複数の点のそれそれを通り且つ前記軸線に対して直角に交差する面と、ノズルへッド 4 0の外表面とが交差して作る各基準円

〜R C ₇に沿って、等間隔に設けられている。各基準円 R C i R C ?における隣合う噴射孔 4 8， 4 8の角度的間隔、すなわち隣合う噴射孔 4 8， 4 8のそれそれから前記軸線に延びる垂線のなす角度5は、小さいほど、一定時間における洗浄効果を高めるが、瞬時流量を増加させる。一方、この角度/?を大きくした場合、 —定時間における洗浄効果が低下してしまう。このため、角度/?は 2 0 ~ 9 0度であるのが好適である。同様に、流量と洗浄効果の関係から、基準円の数は 3〜 8であることが好ましい。従って、噴出孔 4 8の全数は 3 0〜1 0 0個となる。更に、同様の理由から、噴出孔 4 8の径は 0 . 1〜2 . 0 mmであることが好ましく、より好ましくは 0 . 5〜1 . 5 mmである。

ホース 4 4が接続された側のノズルパイプ 3 8の端部部分は支持プレート 5 0 に設けられた 1対の軸受 5 2， 5 4によって支持されている。これらの軸受 5 2 ₃ 5 4は、洗浄ノズル 3 6をその長手方向軸線を中心として回転可能に支持するが、当該軸線に沿う方向については移動できないよう支持するものである。軸受 5 2 ,

5 4間に位置するパイプ 3 8の外周面には揺動アーム 5 6が取り付けられている _c 摇動アーム 5 6は、洗浄ノズル 3 6の長手方向軸線に直角な方向に延び、このァーム 5 6を摇動させることで、洗浄ノズル 3 6を時計回り方向と反時計回り方向に交互に回転させることができるようになつている。図 6に示すように、アーム 5 6を揺動させるためのァクチユエ一夕一として、空気圧シリンダ一 5 8が支持プレート 5 0に設けられている。より詳細には、空気圧シリンダー 5 8のピストンロッド 6 0の端部がアーム 5 6の先端に枢着され、シリンダ一チューブ 6 2の端部が支持プレート 5 0上に枢着されている。この実施形態では、空気圧シリンダ一 5 8の最大の 1ストロークでアーム 5 6は約 1 2 0度の範囲で揺動するようになっている。この空気圧シリンダー 5 8は、加圧空気の給排を制御するための適当な空気圧回路（図示せず）に接続されている。従って、空気圧回路を制御することで、アーム 5 6の揺動角度ァ、ひいては洗浄ノズル 3 6の回転角度ァを調節することが可能である。

支持プレート 5 0は、台座 2 0の第 1部分 2 2の下面側、すなわち第 2部分 2 4とは反対の側に配置されている。また、支持プレート 5 0は、洗浄ノズル 3 6 のパイプ 3 8と同方向に延び且つパイプ 3 8よりも長い 1対の案内シャフト 6 4 ,

6 6を有している。これらの案内シャフト 6 4 , 6 6は、台座 2 0の第 1部分 2 2の隅部に設けられた案内ブロック 6 8の対応の案内孔 7 0 , 7 2に摺動可能に挿入され、これによつて支持プレート 5 0は台座 2 0に対して往復動可能に支持される。支持プレート 5 0を往復動させるために、空気圧シリンダー 7 4のようなァクチユエ一夕一が設けられている。空気圧シリンダー 7 4のシリンダーチュ —ブ 7 6は、案内孔 7 0 , 7 2と平行な関係で案内ブロック 6 8に固定され、シリンダーチューブ 7 6から延びるビストンロッド 7 8の先端は支持プレート 5 0 に接続されている。この空気圧シリンダ一 7 4を適当な空気圧回路により制御することで、支持プレート 5 0を所望のストロークで往復直線運動をさせることが可能となる。

案内ブロック 6 8の各案内孔 7 0， 7 2及び空気圧シリンダー 7 4は、台座 2 0の第 1部分 2 2に形成された貫通孔 2 6の中心軸線と平行に延びている。また、洗浄ノズル 3 6は、貫通孔 2 6と同軸となるように位置決めされている。従って、支持プレート 5 0を空気圧シリンダー 7 4により往復直線運動させると、洗浄ノズル 3 6を貫通孔 2 6に対して出し入れすることができる。なお、案内シャフト 6 4， 6 6が案内ブロック 6 8から脱落しないように、案内シャフト 6 4 , 6 6 の自由端に、拡径されたストッパ 8 0を設けておくのが好適である。

次に、上述したような容器洗浄装置 1 0を用いて、電子工業薬品用容器 1 2の内部を洗浄する方法について説明する。

まず、容器台座 2 0に、洗浄すべき容器 1 2を配置する。この際、容器 1 2の上端板 1 4に設けられた一方の開口 1 6を台座 2 0の貫通孔 2 6と一致させ、他方の開口 1 8を台座 2 0の貫通孔 2 8と一致させた状態で配置する。また、容器 1 2が台座 2 0から脱落しないよう、締付けベルト等により固定することが好ましい。

次いで、空気圧シリンダー 3 4を動作させ、容器台座 2 0を傾動させ、台座 2 0の傾斜角度ひを所望の角度とする。この角度ひは、容器の形状や開口の位置に応じて 0〜 9 0度の範囲内から適宜選ぶことができるが、図 2に明示する容器 1 2の場合、開口 1 8が洗浄液の排出口となるため、 2 0〜 7 0度程度が好ましい。この後、空気圧シリンダー 7 4を制御して、洗浄ノズル 3 6を、台座 2 0の第 1部分 2 2の下面側から台座 2 0の貫通孔 1 6及び容器 1 2の開口 1 6を通して容器 1 2内に挿入する。そして、洗浄液供給装置 4 2から、例えば 0 . 5〜3 5 k g/ c m² G、好ましくは 1 0〜2 0 k g/ c m² Gの供給圧力をもって、洗浄液としての超純水を供給する。この超純水は、可撓性ホース 4 4、洗浄ノズル 3 6 2パイプ 3 8を通り、ノズルへヅド 4 0の各噴出孔 4 8からジェット流となつて噴出される。

超純水の供給が開始されたならば、空気圧シリンダー 5 8， 7 4のそれそれを制御して、洗浄ノズル 3 6を所望の回転角度ァの範囲で時計回り方向と反時計回り方向に交互に回転させると共に、支持プレート 5 0を往復直線運動させて、ノズルへヅド 4 0を容器 1 2の開口 1 6から容器 1 2内の所定位置までの間で往復動させる。

支持プレート 5 0を移動させずに、洗浄ノズル 3 6のみをその長手方向軸線を中心として一定方向に回すと、ノズルへヅド 4 0の各噴出孔 4 8からのジエツト流が容器 1 2の内壁面に衝突する点は、容器 1 2の内壁面を周方向に直線的に移動する。洗浄ノズル 3 6の一定方向の回転を続けると、一の噴出孔 4 8からのジェヅト流の容器壁面に対する衝撃点は、やがて、同一の基準円 R Cにおける隣接の噴射孔 4 8からのジェット流れの衝撃点の始点に到達する。従って、それ以上はその方向に洗浄ノズル 3 6を回転させる必要はなく、この時に洗浄ノズル 3 6 の回転方向を逆転させると、同一高さレベルにおける容器 1 2の内壁面全体にジエツト流が繰り返し当たることとなる。よって、洗浄ノズル 3 6の回転角度ァは、ノズルへッドの隣合う噴射孔の角度的間隔/?と等しくすればよく、噴出孔 4 8の加工精度等を配慮すれば、角度ァは角度よりも僅かに、例えば 4度程度大きな値とするのがより好ましい。

また、各ジェット流の容器内壁面に対する衝撃点の最大移動速度は、洗浄効果及び洗浄液の流量等を考慮すると、 1 0 0 O mm/s以下とするのが好適である。従って、洗浄ノズル 3 6が正逆両方向に 1回だけ回転するのに要する時間、すなわち洗浄ノズル 3 6の回転速度は 6 0 0秒/サイクル以下であるのが好ましく、より好ましくは 1 2 0秒/サイクル以下である。なお、この速度 1\が過小であると、超純水が当たらない部分がでる場合があるので、速度は 2 0秒/ サイクル以上であることが望ましい。

洗浄ノズル 3 6は回転のみならず、その軸線方向に往復動するため、各ジェヅト流の容器内壁面に対する衝撃点はサインカーブを描きながら、容器 1 2の長手方向に沿って移動する。全ジエツト流についての軌跡が容器 1 2の内壁面の全体を実質的にカバーするためには、各軌跡が洗浄ノズル 3 6の往復直線運動に伴つてずれていくことが重要となる。この条件は、コンビユー夕一等を用いてシミュレーシヨンすることで容易に求め得るが、次式の条件を満たすことが好ましい。

1 0≤Δ≤3 0

ここで、 Τ ₂は、洗浄ノズル 3 6が前後に 1回だけ往復するのに要する時間、すなわち洗浄ノズル 3 6の往復直線運動の速度（秒 /サイクル）であり、 Sは洗浄ノズル 3 6のストロークである。

更に、洗浄効果及び洗浄液の消費流量を考慮すると、容器 1 2の開口 1 6から底面までの距離 Lに対する洗浄ノズル 3 6のストロ一ク Sの割合 S/Lは、 0 . 1〜 1 . 0が好ましく、 0 . 2〜 0 . 5とするのがより好適である。

以上のような条件の下で洗浄を続けると、ノズルへッド 4 0からのジェット流は効率よく容器 1 2の内壁面全体に衝突する。しかも、超純水の通る流路、すなわちホース 4 4及び洗浄ノズル 3 6の内部空間には、回転部のような摺動部分が存在しないため、摩擦により生じた粒子が超純水に混入するということがなく、二次汚染の心配もない。よって、短時間で且つ非常に少量の超純水で所望の洗浄効果を得ることができる。

容器 1 2の開口 1 6を用いての洗浄が終了したならば、容器 1 2を 1 8 0度回転させ、開口 1 8を台座 2 0の貫通孔 2 6に合せる。そして、洗浄ノズル 3 6を開口 1 8に挿入して上記と同様にして洗浄を行い、洗浄作業を完了する。勿論、以上の動作は、各ァクチユエ一ター 34, 58, 74に関連させる空気圧回路を自動制御することで、自動化を図ることが可能である。

なお、洗浄に用いられた超純水は容器 12の開口 18又は 16及び台座 20の貫通孔 28を通って外部に排出される。

次に、上記構成の容器洗浄装置を用いて実際に容器を洗浄した結果を示す。実施例

洗浄すべき容器（12) として、図 2に示す形状のポリエチレン製電子工業薬品用容器を用いた。また、この容器の内径は約 58 Ommであり、容器の開口から底面までの長さ（L) は約 900mm、開口（ 16， 18) の内径は 58mm であった。用いた容器洗浄装置（10) は、図 1及び図 2に示す構成を有しており、洗浄ノズル（36) のパイプ（38) の内径は 27. 2mm. 長さは 450 mmであった。ノズルヘッド（40)の形状は図 3〜図 5に示すものと実質的に同一であり、噴出孔（48) の数は 67個、孔径は 0. 8mmであった。

洗浄は上記の手順に従って行った。その際、洗浄ノズルの回転角度（ァ）は 4 0度とし、回転速度（1\) は 1. 5秒サイクルとした。また、洗浄ノズルのストローク（S) と容器の長さ（L) との間の関係を S/L = 0. 5が成立する関係とした。更に、洗浄ノズルの往復直線運動の速度（T₂) を 40秒/サイクルとした。洗浄液としては超純水を用いた。超純水の供給流量は 0. 08m³/ 分、供給圧力は 10kg/cm²Gとした。各開口（16， 18) を用いての洗浄時間はそれそれ 10分間とした。

洗浄終了後、容器に超純水を充填 'し、一時間経過後の超純水中における粒径 0. 2 111以上の微粒子の濃度（個/ ml) を光散乱方式のパーティクルカウンターを用いて測定した。

上記条件下で 4本の容器に対して洗浄を行った結果、各容器についての微粒子濃度は、それそれ、 15. 7、 8. 3、 9. 6及び 10. 3であり、その平均値は 11. 0であった。比較例 1

ノズルへッドを容器の長手方向のほぽ中心位置に配置した状態で洗浄ノズルを固定ないしは静止させた点を除き、前記実施例と同じ条件で 4本の容器に対して洗浄を行った。その結果、各容器についての微粒子濃度は、それぞれ、 4 9 . 4、 1 6 . 2、 3 1 . 7及び 2 3 . 9であり、その平均値は 3 0 . 3であった。

比較例 2

洗浄ノズルを、パイプと、このパイプの先端に回転可能に取り付けられたノズルへッドとから成るものを用い、超純水の流体圧力によりノズルへッドを回転させながら洗浄する従来一般の装置を用いたこと以外、前記実施例と同様に行ったその結果、各容器についての微粒子濃度は、それそれ、 7 6 . 4、 1 4 4、 3 1 9及び 1 0 2であり、その平均値は 1 6 0であった。

以上の結果から、本発明によれば、容器の内部の全面を極めて清浄に洗浄することができ、よって、液体を容器に充填して保存する際の液体中の粒子濃度の増加を極めて低い水準に維持することができることが分る。また、本発明によれば、所望の洗浄効果を得るために必要な洗浄液の流量も少なくて済み、効率的に且つ経済的に容器内部の洗浄を行うことができる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。例えば、本発明は、開口が 1つだけの容器等、他の型式の容器にも適用可能である。勿論、開口が 1つしかない円筒形容器の場合、台座の第 1部分に設けられる貫通孔は 1つだけでよく、その寸法や位置、或は、洗浄時の台座の傾斜角度等は適宜選択されることとなる。また、上記実施形態では、洗浄ノズルはリンク機構により回転されるが、例えば図 7に示すように、洗浄ノズル 3 6のパイプ 3 8の外周面に歯車 9 0を同軸に固着し、その歯車 9 0にモ一夕 9 2の小歯車 9 4を嚙合させた構成により、洗浄ノズルを回転させてもよい。図 7の構成では、洗浄ノズルの最大回転角度を 3 6 0度程度まで大きくすることも可能である。更に、洗浄液は超純水に限られず、容器に充填される液体と同種の液体を用いてもよい。このように、上記実施形態は一例に過ぎず、本発明の範囲及び精神を逸脱することなく形態、構成及び配列を種々変形し得ることは、明らかであろう。

Claims

請求の範囲

1 . 細長い剛性を有するパイプと、多数の噴出孔が形成され前記パイプの一端に固着されたノズルへッドとを有する洗浄ノズルを用い、前記ノズルへッドの噴出孔から噴出される洗浄液により容器の内部を洗浄する方法であって、

前記ノズルへッドが前記容器内に配置されるよう、前記洗浄ノズルを該容器の開口から前記容器内に挿入するステップと、

前記パイプの他端から洗浄液を供給して前記ノズルへッドの噴出孔からジエツト流として噴出させるステップと、

前記洗浄ノズルをその長手方向軸線に沿って往復直線運動させると共に、前記洗浄ノズルをその長手方向軸線を中心として時計回り方向及び反時計回り方向に交互に回転させるステップと、

を備える容器内部の洗浄方法。

2 . 前記容器を、その開口を下向きとした状態で固定するステップを備える請求項 1記載の容器内部の洗浄方法。

3 . 前記容器の前記開口から該容器の底面までの長さ（L ) に対する前記洗浄ノズルの前記往復直線運動のストローク（S ) の割合（SZL ) が 0 .

0である請求項 1記載の容器内部の洗浄方法。

4 . 前記洗浄ノズルの前記往復直線運動の速度が 2 0〜 6 0 0秒ノサイクルである請求項 1記載の容器内部の洗浄方法。

5 . 前記洗浄ノズルの時計回り方向及び反時計回り方向のそれそれについての回転の角度（ァ）は 1 0〜3 6 0度である請求項 1記載の容器内部の洗浄方法。

6 . 前記洗浄ノズルの前記回転の速度が 0 . 5〜 1 5秒/サイクルである請求項 1記載の容器内部の洗浄方法。

7 . 前記容器が電子工業薬品用容器である請求項 1記載の容器内部の洗浄方

8 . 容器の内部を洗浄するための装置であって、

前記容器を支持するための容器台座と、

細長い剛性を有するパイプ、及び、多数の噴出孔が形成され前記パイプの一端に固着されたノズルへッドを有する洗浄ノズルと、

前記洗浄ノズルをその長手方向軸線に沿って直線的に往復動可能に移動させる移動手段と、

前記洗浄ノズルをその長手方向軸線を中心として時計回り方向及び反時計回り方向に交互に回転させる回転手段と、

を備え、前記洗浄ノズルは、前記移動手段により移動された場合に前記ノズルへッドが前記容器台座に支持された容器の開口を通して該容器の内部に揷入され得るように配置されている容器内部の洗浄装置。

9 . 前記容器台座に支持された容器の開口が下向きとなるように該容器台座を傾動可能に支持する基台と、

前記容器台座の傾斜角度を調節するために前記容器台座を傾動させる傾動手段とを備える請求項 8記載の容器内部の洗浄装置。

1 0 . 前記ノズルへッドの前記噴出孔が該ノズルへッドの略球状の先端部分に形成されている請求項 8記載の容器内部の洗浄装置。

1 1 . 前記噴出孔の孔径が 0 . 1〜2 . 0 mmである請求項 8記載の容器内部の洗浄装置。

1 2 . 前記噴出孔が、前記洗浄ノズルの長手方向軸線を中心とした該洗浄ノズルの回転方向に沿って等間隔に配置されている請求項 8記載の容器内部の洗浄装置。

1 3 . 前記洗浄ノズルの時計回り方向及び反時計回り方向のそれそれについての回転の角度（ァ）が、隣合う前記噴出孔のそれそれから前記洗浄ノズルの長手方向軸線に延びる垂線により画成される角度（ ? ) 以上である請求項 1 2記載の容器内部の洗浄装置。

1 4 . 前記洗浄ノズルの時計回り方向及び反時計回り方向のそれそれについての回転の角度（ァ）が 1 0〜3 6 0度である請求項 8記載の容器内部の洗浄装置 _c 1 5 . 前記移動手段が、

前記容器台座に対して往復動自在に設けられ、前記洗浄ノズルの前記パイプを支持する支持プレートと、

前記支持プレートを往復直線運動させるァクチユエ一夕一と、

を備える請求項 8記載の容器内部の洗浄装置。

1 6 . 前記ァクチユエ一夕一が空気圧シリンダーである請求項 1 5記載の容器内部の洗浄装置。

1 7 . 前記回転手段が、

前記支持プレートに前記洗浄ノズルを回転可能に支持する軸受と、

前記支持プレート上に設けられたァクチユエ一夕一と、

前記ァクチユエ一夕一の駆動力を伝動して前記洗浄ノズルを回転させる伝動機構と、

を備える請求項 1 5記載の容器内部の洗浄装置。

1 8 . 前記回転手段の前記ァクチユエ一夕が空気圧シリンダーであり、前記伝動機構が前記洗浄ノズルの前記パイプの外周面に固着された揺動アームを含んでいる請求項 1 7記載の容器内部の洗浄装置。

1 9 . 洗浄液供給装置と、

前記洗浄液供給装置からの洗浄液を移送する可撓性のホースと、

を備え、前記ホースを前記洗浄ノズルの前記パイブの他端に直接的に接続した請求項 8記載の容器内部の洗浄装置。