JP3334142B2 - フッ素含有水の処理方法 - Google Patents
フッ素含有水の処理方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフッ素含有水の処理方法
に係り、特に、低濃度フッ素含有水及び高濃度フッ素含
有水が排出される系において、各々のフッ素含有水を効
率的に処理する方法に関する。
に係り、特に、低濃度フッ素含有水及び高濃度フッ素含
有水が排出される系において、各々のフッ素含有水を効
率的に処理する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造分野やその関連分野、各種金
属材料、単結晶材料、光学系材料等の表面処理分野で
は、多量のエッチング剤が使われる。このエッチング剤
としては、主として、フッ化水素或いはフッ化水素及び
フッ化アンモニウムを主成分とするエッチング剤が使用
されている。
属材料、単結晶材料、光学系材料等の表面処理分野で
は、多量のエッチング剤が使われる。このエッチング剤
としては、主として、フッ化水素或いはフッ化水素及び
フッ化アンモニウムを主成分とするエッチング剤が使用
されている。
【０００３】フッ化水素を主成分とするエッチング剤
は、フッ素をＨＦとして０．９％程度含むエッチング剤
であって、大量に使用される。一方、フッ化水素及びフ
ッ化アンモニウムを含むエッチング剤（バッファードフ
ッ酸）は、その使用量は少ないものの、フッ素をＨＦと
して７％程度含有するものであり、廃水系統へ移行した
際問題となる。即ち、廃水系統へは、これらのエッチン
グ剤がそのまま流出し、高濃度フッ素含有廃液となる。
は、フッ素をＨＦとして０．９％程度含むエッチング剤
であって、大量に使用される。一方、フッ化水素及びフ
ッ化アンモニウムを含むエッチング剤（バッファードフ
ッ酸）は、その使用量は少ないものの、フッ素をＨＦと
して７％程度含有するものであり、廃水系統へ移行した
際問題となる。即ち、廃水系統へは、これらのエッチン
グ剤がそのまま流出し、高濃度フッ素含有廃液となる。
【０００４】一方、エッチング途中や終了時にはこれら
のエッチング剤で処理された材料を大量の洗浄水で洗浄
するため、その洗浄工程からは、大量の低濃度フッ素含
有廃液が排出される。
のエッチング剤で処理された材料を大量の洗浄水で洗浄
するため、その洗浄工程からは、大量の低濃度フッ素含
有廃液が排出される。
【０００５】従来、これらの高濃度フッ素含有廃液及び
低濃度フッ素含有廃液は、混合されて一括処理されてい
た。このフッ素含有廃水の処理には、水酸化カルシウム
（Ｃａ（ＯＨ）2 ）等のカルシウム塩を添加してフッ化
カルシウム（ＣａＦ2 ）として沈殿除去する方法が一般
に用いられている。
低濃度フッ素含有廃液は、混合されて一括処理されてい
た。このフッ素含有廃水の処理には、水酸化カルシウム
（Ｃａ（ＯＨ）2 ）等のカルシウム塩を添加してフッ化
カルシウム（ＣａＦ2 ）として沈殿除去する方法が一般
に用いられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の方法によ
り、フッ素を排水基準値以下に処理するためには、大過
剰のカルシウム塩の添加が必要である。しかも、このカ
ルシウム塩を添加するだけでは、短時間で効率良く処理
することは極めて困難であった。
り、フッ素を排水基準値以下に処理するためには、大過
剰のカルシウム塩の添加が必要である。しかも、このカ
ルシウム塩を添加するだけでは、短時間で効率良く処理
することは極めて困難であった。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決し、低濃
度フッ素含有廃水及び高濃度フッ素含有廃水が排出され
る系において、これらフッ素含有廃水を短時間で効率的
に処理し、高純度処理水を得る方法を提供することを目
的とする。
度フッ素含有廃水及び高濃度フッ素含有廃水が排出され
る系において、これらフッ素含有廃水を短時間で効率的
に処理し、高純度処理水を得る方法を提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１のフッ素含有水
の処理方法は、フッ素含有水をカルシウム化合物とフッ
素吸着樹脂とを用いて処理するフッ素含有水の処理方法
において、フッ素含有水を、フッ素濃度５０ｍｇ−ＨＦ
／lit.よりもフッ素濃度の低い低濃度フッ素含有水とそ
れよりもフッ素濃度の高い高濃度フッ素含有水に分別す
る工程、低濃度フッ素含有水をフッ素イオンと錯化合物
を形成する金属イオンを吸着した吸着剤であるフッ素吸
着樹脂と接触させる工程、フッ素吸着樹脂を再生処理す
る工程、高濃度フッ素含有水に前記フッ素吸着樹脂の再
生廃液を添加した後、ｐＨをアルカリ側に調整し、カル
シウム化合物を加えて凝集処理し、次いで固液分離する
工程、及び固液分離により得られる汚泥の一部を前記直
前の凝集処理の反応槽へ返送する工程、を備えることを
特徴とする。
の処理方法は、フッ素含有水をカルシウム化合物とフッ
素吸着樹脂とを用いて処理するフッ素含有水の処理方法
において、フッ素含有水を、フッ素濃度５０ｍｇ−ＨＦ
／lit.よりもフッ素濃度の低い低濃度フッ素含有水とそ
れよりもフッ素濃度の高い高濃度フッ素含有水に分別す
る工程、低濃度フッ素含有水をフッ素イオンと錯化合物
を形成する金属イオンを吸着した吸着剤であるフッ素吸
着樹脂と接触させる工程、フッ素吸着樹脂を再生処理す
る工程、高濃度フッ素含有水に前記フッ素吸着樹脂の再
生廃液を添加した後、ｐＨをアルカリ側に調整し、カル
シウム化合物を加えて凝集処理し、次いで固液分離する
工程、及び固液分離により得られる汚泥の一部を前記直
前の凝集処理の反応槽へ返送する工程、を備えることを
特徴とする。
【０００９】請求項２のフッ素含有水の処理方法は、請
求項１の方法において、固液分離して得られた分離水を
フッ素吸着樹脂と接触させることを特徴とする。
求項１の方法において、固液分離して得られた分離水を
フッ素吸着樹脂と接触させることを特徴とする。
【００１０】以下に図面を参照して本発明を詳細に説明
する。
する。
【００１１】図１は本発明のフッ素含有水の処理方法の
一実施方法を示す系統図である。
一実施方法を示す系統図である。
【００１２】図中、１は吸着塔、２は第１の反応槽、３
は第１の沈殿槽、４は第２の反応槽、５は第２の沈殿槽
である。１１は低濃度フッ素含有水を吸着塔１に導入す
る配管、１２は高濃度フッ素含有水を第１の反応槽２に
導入する配管、１３は第１の反応槽２内の反応液を第１
の沈殿槽３に送給する配管、１４は第１の沈殿槽３の分
離水を第２の反応槽４に送給する配管、１５は第２の反
応槽４内の反応液を第２の沈殿槽５に送給する配管、１
６は第２の沈殿槽５の分離水を吸着塔１に送給する配管
である。１７は吸着塔１に再生剤を送給する配管であ
り、１８は再生廃液を第１の反応槽２に送給する配管で
ある。１９は第１の沈殿槽３の汚泥の抜き出し配管であ
り、汚泥処理系へ排出する配管１９Ａと、第１の反応槽
２に汚泥を返送する配管１９Ｂとに分岐している。２０
は第２の沈殿槽５の汚泥の抜き出し配管であり、汚泥処
理系へ排出する配管２０Ａと、第２の反応槽４に汚泥を
返送する配管２０Ｂとに分岐している。２１、２２はそ
れぞれ第１の反応槽２及び第２の反応槽４にカルシウム
化合物を添加する配管である。また、２３は処理水の排
出管である。
は第１の沈殿槽、４は第２の反応槽、５は第２の沈殿槽
である。１１は低濃度フッ素含有水を吸着塔１に導入す
る配管、１２は高濃度フッ素含有水を第１の反応槽２に
導入する配管、１３は第１の反応槽２内の反応液を第１
の沈殿槽３に送給する配管、１４は第１の沈殿槽３の分
離水を第２の反応槽４に送給する配管、１５は第２の反
応槽４内の反応液を第２の沈殿槽５に送給する配管、１
６は第２の沈殿槽５の分離水を吸着塔１に送給する配管
である。１７は吸着塔１に再生剤を送給する配管であ
り、１８は再生廃液を第１の反応槽２に送給する配管で
ある。１９は第１の沈殿槽３の汚泥の抜き出し配管であ
り、汚泥処理系へ排出する配管１９Ａと、第１の反応槽
２に汚泥を返送する配管１９Ｂとに分岐している。２０
は第２の沈殿槽５の汚泥の抜き出し配管であり、汚泥処
理系へ排出する配管２０Ａと、第２の反応槽４に汚泥を
返送する配管２０Ｂとに分岐している。２１、２２はそ
れぞれ第１の反応槽２及び第２の反応槽４にカルシウム
化合物を添加する配管である。また、２３は処理水の排
出管である。
【００１３】本発明においては、高濃度フッ素含有水と
低濃度フッ素含有水とを混合することなく、分別処理す
る。
低濃度フッ素含有水とを混合することなく、分別処理す
る。
【００１４】ここで、高濃度フッ素含有水及び低濃度フ
ッ素含有水としては、例えば、前述したエッチング剤を
用いる処理工程廃水とその洗浄廃水が挙げられる。な
お、高濃度フッ素含有水の目安は、５０ｍｇ−ＨＦ／li
t.以上の廃水、低濃度フッ素含有水の目安は、５０ｍｇ
−ＨＦ／lit.以下の廃水である。
ッ素含有水としては、例えば、前述したエッチング剤を
用いる処理工程廃水とその洗浄廃水が挙げられる。な
お、高濃度フッ素含有水の目安は、５０ｍｇ−ＨＦ／li
t.以上の廃水、低濃度フッ素含有水の目安は、５０ｍｇ
−ＨＦ／lit.以下の廃水である。
【００１５】図示の実施例においては、低濃度フッ素含
有廃水は、配管１１を経て吸着塔１に送給し、フッ素吸
着樹脂と接触させて吸着処理する。これにより、低濃度
フッ素含有廃水は、もとよりそのフッ素含有量が少ない
ことから、容易に放流水基準値（１５ｍｇ／lit.）以下
に処理され、処理水は排出管２３より排出される。
有廃水は、配管１１を経て吸着塔１に送給し、フッ素吸
着樹脂と接触させて吸着処理する。これにより、低濃度
フッ素含有廃水は、もとよりそのフッ素含有量が少ない
ことから、容易に放流水基準値（１５ｍｇ／lit.）以下
に処理され、処理水は排出管２３より排出される。
【００１６】ここで、フッ素吸着樹脂は、フッ素イオン
と錯化合物を形成する金属イオンを吸着した吸着剤であ
り、例えば、セリウム、ハフニウム、チタン、ジルコニ
ウム、鉄、アルミニウム、ランタニド等のフッ素イオン
と錯化合物を形成する金属イオンを吸着した樹脂、活性
炭、活性アルミナ、含水酸化チタン、ゼオライト、マグ
ネシア系吸着剤などが挙げられる。また、吸着処理条件
は特に限定されないが、例えば、ＳＶ０．５〜３０ｈｒ
−１程度で処理される。
と錯化合物を形成する金属イオンを吸着した吸着剤であ
り、例えば、セリウム、ハフニウム、チタン、ジルコニ
ウム、鉄、アルミニウム、ランタニド等のフッ素イオン
と錯化合物を形成する金属イオンを吸着した樹脂、活性
炭、活性アルミナ、含水酸化チタン、ゼオライト、マグ
ネシア系吸着剤などが挙げられる。また、吸着処理条件
は特に限定されないが、例えば、ＳＶ０．５〜３０ｈｒ
−１程度で処理される。
【００１７】吸着塔１は、必要に応じて、吸着処理を停
止すると共に配管１７より再生剤を供給して再生処理す
る。再生剤としては、水酸化カリウム、塩酸、炭酸ナト
リウム等の水溶液が用いられる。この再生処理により得
られる、フッ素成分を多量に含有する濃厚再生廃液は、
配管１８を経て後述の第１の反応槽２に送給され高濃度
フッ素含有水と共に処理される。
止すると共に配管１７より再生剤を供給して再生処理す
る。再生剤としては、水酸化カリウム、塩酸、炭酸ナト
リウム等の水溶液が用いられる。この再生処理により得
られる、フッ素成分を多量に含有する濃厚再生廃液は、
配管１８を経て後述の第１の反応槽２に送給され高濃度
フッ素含有水と共に処理される。
【００１８】一方、高濃度フッ素含有水は、配管１２よ
り第１の反応槽２に送給され、配管１８からの再生廃液
と共に処理される。この第１の反応槽では、ｐＨをアル
カリ側に調整し、配管２１より被処理液中のフッ素
（Ｆ）量に対して１〜２倍当量程度のカルシウム化合物
を添加すると共に、配管１９Ｂより次工程の第１の沈殿
槽３で得られた汚泥の一部を添加して、被処理液中のＦ
をＣａＦ2 として凝集させる。
り第１の反応槽２に送給され、配管１８からの再生廃液
と共に処理される。この第１の反応槽では、ｐＨをアル
カリ側に調整し、配管２１より被処理液中のフッ素
（Ｆ）量に対して１〜２倍当量程度のカルシウム化合物
を添加すると共に、配管１９Ｂより次工程の第１の沈殿
槽３で得られた汚泥の一部を添加して、被処理液中のＦ
をＣａＦ2 として凝集させる。
【００１９】ここで、第１の沈殿槽３からの汚泥の循環
により、凝集性が向上し、固液分離時間が大幅に短縮さ
れるため、極めて有利である。
により、凝集性が向上し、固液分離時間が大幅に短縮さ
れるため、極めて有利である。
【００２０】カルシウム化合物としては、酸化カルシウ
ム（ＣａＯ）、水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）等
の塩基性カルシウム化合物の他、塩化カルシウム（Ｃａ
Ｃｌ2 ）を用いることができる。ＣａＣｌ2を用いる場
合には、必要に応じて、適当なアルカリ剤を併用してｐ
Ｈ調整を行なう。
ム（ＣａＯ）、水酸化カルシウム（Ｃａ（ＯＨ）2 ）等
の塩基性カルシウム化合物の他、塩化カルシウム（Ｃａ
Ｃｌ2 ）を用いることができる。ＣａＣｌ2を用いる場
合には、必要に応じて、適当なアルカリ剤を併用してｐ
Ｈ調整を行なう。
【００２１】第１の反応槽２における反応条件には特に
制限はないが、通常の場合、滞留時間１０分〜２時間程
度で、急速撹拌下処理される。
制限はないが、通常の場合、滞留時間１０分〜２時間程
度で、急速撹拌下処理される。
【００２２】第１の反応槽２の反応液（懸濁液）は、次
いで配管１３より第１の沈殿槽３に送給されて固液分離
され、分離された上澄水は配管１４を経て第２の反応槽
４に送給される。一方、汚泥は配管１９より抜き出さ
れ、一部は配管１９Ｂより第１の反応槽２に返送され、
残部は配管１９Ａより排出されて、常法に従ってＣａＦ
2 の回収処理等の処理に付される。ここで得られる汚泥
は、高濃度フッ素含有水の凝集処理により得られたもの
であるため、ＣａＦ2 含有率が高く、容易にＣａＦ2 を
回収してフッ化水素酸製造用原料等として再使用するこ
とができる。
いで配管１３より第１の沈殿槽３に送給されて固液分離
され、分離された上澄水は配管１４を経て第２の反応槽
４に送給される。一方、汚泥は配管１９より抜き出さ
れ、一部は配管１９Ｂより第１の反応槽２に返送され、
残部は配管１９Ａより排出されて、常法に従ってＣａＦ
2 の回収処理等の処理に付される。ここで得られる汚泥
は、高濃度フッ素含有水の凝集処理により得られたもの
であるため、ＣａＦ2 含有率が高く、容易にＣａＦ2 を
回収してフッ化水素酸製造用原料等として再使用するこ
とができる。
【００２３】配管１４を経て第２の反応槽４に導入され
た液は、配管２２よりカルシウム化合物が添加されると
共に、配管２０Ｂより次工程の第２の沈殿槽５で得られ
た汚泥の一部が添加されて、液中のＦがＣａＦ2 として
凝集される。
た液は、配管２２よりカルシウム化合物が添加されると
共に、配管２０Ｂより次工程の第２の沈殿槽５で得られ
た汚泥の一部が添加されて、液中のＦがＣａＦ2 として
凝集される。
【００２４】この第２の反応槽４で使用されるカルシウ
ム化合物、反応条件等は、第１の反応槽２におけるもの
と同様である。
ム化合物、反応条件等は、第１の反応槽２におけるもの
と同様である。
【００２５】第２の反応槽４の反応液（懸濁液）は、次
いで配管１５より第２の沈殿槽５に送給されて固液分離
される。そして、分離された上澄水は配管１６を経て吸
着塔１に送給されて吸着処理され、処理水は排出管２３
より排出される。一方、汚泥は配管２０より抜き出さ
れ、一部は配管２０Ｂより第２の反応槽４に返送され、
残部は配管２０Ａより排出されて、配管１９Ａからの汚
泥と同様に常法に従って処理される。
いで配管１５より第２の沈殿槽５に送給されて固液分離
される。そして、分離された上澄水は配管１６を経て吸
着塔１に送給されて吸着処理され、処理水は排出管２３
より排出される。一方、汚泥は配管２０より抜き出さ
れ、一部は配管２０Ｂより第２の反応槽４に返送され、
残部は配管２０Ａより排出されて、配管１９Ａからの汚
泥と同様に常法に従って処理される。
【００２６】排出管２３より排出される、低濃度フッ素
含有水及び／又は第２の沈殿槽５の上澄水を吸着塔１で
処理して得られる処理水は、放流水基準値以下であるの
で、このまま放流しても良く、また、超純水製造用原
水、その他工業用水として回収再使用することも可能で
ある。
含有水及び／又は第２の沈殿槽５の上澄水を吸着塔１で
処理して得られる処理水は、放流水基準値以下であるの
で、このまま放流しても良く、また、超純水製造用原
水、その他工業用水として回収再使用することも可能で
ある。
【００２７】なお、図１に示す例は、本発明のフッ素含
有水の処理方法の一実施例であって、本発明は何ら図示
の方法に限定されるものではない。
有水の処理方法の一実施例であって、本発明は何ら図示
の方法に限定されるものではない。
【００２８】例えば、図示の方法では、反応槽及び沈殿
槽をそれぞれ２槽設けて凝集沈殿、固液分離処理を２段
階で行なっているが、この凝集沈殿、固液分離処理は１
段処理でも十分な効果を得ることができる場合には、１
段処理でも良い。或いは、必要に応じて３段以上処理を
繰り返しても良い。また、沈殿槽の上澄水が放流水基準
値以下まで処理されていれば、更に吸着塔１に送給する
必要はなく、そのまま放流しても良い。さらに、固液分
離手段も沈殿槽５を用いて行なっているが、それに限ら
れず、例えば逆浸透膜や限外濾過膜又は精密濾過膜を用
いた膜分離装置を用いても良い。
槽をそれぞれ２槽設けて凝集沈殿、固液分離処理を２段
階で行なっているが、この凝集沈殿、固液分離処理は１
段処理でも十分な効果を得ることができる場合には、１
段処理でも良い。或いは、必要に応じて３段以上処理を
繰り返しても良い。また、沈殿槽の上澄水が放流水基準
値以下まで処理されていれば、更に吸着塔１に送給する
必要はなく、そのまま放流しても良い。さらに、固液分
離手段も沈殿槽５を用いて行なっているが、それに限ら
れず、例えば逆浸透膜や限外濾過膜又は精密濾過膜を用
いた膜分離装置を用いても良い。
【００２９】
【作用】本発明のフッ素含有水の処理方法においては、
低濃度フッ素含有水と高濃度フッ素含有水とを混合する
ことなく分別処理し、各々のフッ素濃度に応じて、最適
な処理を行なえる。即ち、低濃度フッ素含有水は吸着処
理により、容易に放流水基準値以下の高純度水とするこ
とができる。一方、高濃度フッ素含有水は、高濃度フッ
素含有再生廃液と混合してカルシウム化合物を添加する
ことにより、効率的に凝集沈殿処理することができる。
この場合、カルシウム化合物は高濃度フッ素含有水及び
再生廃液の処理のみに用いるため、その使用量を低減で
きる。しかも、同時に再生廃液の処理も行なえる。しか
して、得られる汚泥は、高濃度フッ素含有水を適量のカ
ルシウム化合物で凝集処理してなるものであるため、Ｃ
ａＦ2 含有量が多く、不純物含有量が少ないため、容易
にＣａＦ2 を回収してフッ化水素酸製造用原料等として
有効に再使用することができる。また、吸着処理により
得られる処理水も、極めて高純度であることから、超純
水製造用原水等として有効に再使用することができる。
低濃度フッ素含有水と高濃度フッ素含有水とを混合する
ことなく分別処理し、各々のフッ素濃度に応じて、最適
な処理を行なえる。即ち、低濃度フッ素含有水は吸着処
理により、容易に放流水基準値以下の高純度水とするこ
とができる。一方、高濃度フッ素含有水は、高濃度フッ
素含有再生廃液と混合してカルシウム化合物を添加する
ことにより、効率的に凝集沈殿処理することができる。
この場合、カルシウム化合物は高濃度フッ素含有水及び
再生廃液の処理のみに用いるため、その使用量を低減で
きる。しかも、同時に再生廃液の処理も行なえる。しか
して、得られる汚泥は、高濃度フッ素含有水を適量のカ
ルシウム化合物で凝集処理してなるものであるため、Ｃ
ａＦ2 含有量が多く、不純物含有量が少ないため、容易
にＣａＦ2 を回収してフッ化水素酸製造用原料等として
有効に再使用することができる。また、吸着処理により
得られる処理水も、極めて高純度であることから、超純
水製造用原水等として有効に再使用することができる。
【００３０】特に、高濃度フッ素含有水の凝集、固液分
離処理により得られた分離水（上澄水）を更に吸着処理
することにより、より一層高純度な処理水を確保するこ
とが可能とされる。
離処理により得られた分離水（上澄水）を更に吸着処理
することにより、より一層高純度な処理水を確保するこ
とが可能とされる。
【００３１】
【実施例】以下に実施例を挙げて、本発明をより具体的
に説明する。なお、以下において、フッ素濃度はＨＦ換
算値で示す。
に説明する。なお、以下において、フッ素濃度はＨＦ換
算値で示す。
【００３２】実施例１ フッ化水素酸とバッファードフッ酸を含むエッチング剤
を使用する工程から排出された、０．８％のフッ素を含
む高濃度フッ素含有廃液１０ｋｇ／ｈｒと、エッチング
後の洗浄工程で発生した、フッ素を３５ｍｇ／lit.含む
ｐＨ３．５の低濃度フッ素廃液１５００ｋｇ／ｈｒとを
本発明の方法により処理した。
を使用する工程から排出された、０．８％のフッ素を含
む高濃度フッ素含有廃液１０ｋｇ／ｈｒと、エッチング
後の洗浄工程で発生した、フッ素を３５ｍｇ／lit.含む
ｐＨ３．５の低濃度フッ素廃液１５００ｋｇ／ｈｒとを
本発明の方法により処理した。
【００３３】まず、低濃度フッ素含有水はセリウム系フ
ッ素吸着剤（旭硝子（株）製のＲＥＡＤ−Ｆ）を５０ｍ
lit.充填した吸着塔にＳＶ１５ｈｒ-1で通水したとこ
ろ、フッ素濃度１０ｍｇ／lit.以下の処理水が得られ
た。通水２５時間後に通水を止め、１．６％のＮａＯＨ
水溶液１lit.を用いてＳＶ５ｈｒ-1で再生したところ、
フッ素を６５０ｍｇ／lit.含む再生廃液が得られた。
ッ素吸着剤（旭硝子（株）製のＲＥＡＤ−Ｆ）を５０ｍ
lit.充填した吸着塔にＳＶ１５ｈｒ-1で通水したとこ
ろ、フッ素濃度１０ｍｇ／lit.以下の処理水が得られ
た。通水２５時間後に通水を止め、１．６％のＮａＯＨ
水溶液１lit.を用いてＳＶ５ｈｒ-1で再生したところ、
フッ素を６５０ｍｇ／lit.含む再生廃液が得られた。
【００３４】一方、高濃度フッ素廃液に上記再生廃液を
添加し、廃液の分離汚泥５０ｇを混合したものにＣａ
（ＯＨ）2 を液中のフッ素と当量添加し（ｐＨ７．
２）、急速撹拌下３０分間凝集処理した後、沈殿槽に送
って固液分離した。
添加し、廃液の分離汚泥５０ｇを混合したものにＣａ
（ＯＨ）2 を液中のフッ素と当量添加し（ｐＨ７．
２）、急速撹拌下３０分間凝集処理した後、沈殿槽に送
って固液分離した。
【００３５】上澄水のフッ素濃度は５０ｍｇ／lit.であ
ったのでもう一度Ｃａ（ＯＨ）2 を添加して固液分離す
る工程（再生廃液を添加しないこと以外、条件は上記工
程と同様）を繰り返したところ、フッ素濃度１０ｍｇ／
lit.の上澄液が得られた。
ったのでもう一度Ｃａ（ＯＨ）2 を添加して固液分離す
る工程（再生廃液を添加しないこと以外、条件は上記工
程と同様）を繰り返したところ、フッ素濃度１０ｍｇ／
lit.の上澄液が得られた。
【００３６】実施例２ 実施例１において、高濃度フッ素含有水に再生廃液を添
加した後凝集沈殿、固液分離処理して得られたフッ素濃
度５０ｍｇ／lit.の上澄水を吸着塔に送給して処理した
こと以外は同様にして処置を行なった。その結果、フッ
素濃度１．１ｍｇ／lit.の処理水が得られた。
加した後凝集沈殿、固液分離処理して得られたフッ素濃
度５０ｍｇ／lit.の上澄水を吸着塔に送給して処理した
こと以外は同様にして処置を行なった。その結果、フッ
素濃度１．１ｍｇ／lit.の処理水が得られた。
【００３７】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明のフッ素含有
水の処理方法によれば、高濃度フッ素含有水及び低濃度
フッ素含有水が排出される系において、各フッ素含有水
をそれぞれ最適な方法により短時間で効率的かつ低コス
トに処理し、高純度処理水及び高濃度フッ素含有汚泥を
回収することが可能とされる。しかも、吸着塔の再生廃
液も同時に処理することができ、工業的に極めて有利で
ある。
水の処理方法によれば、高濃度フッ素含有水及び低濃度
フッ素含有水が排出される系において、各フッ素含有水
をそれぞれ最適な方法により短時間で効率的かつ低コス
トに処理し、高純度処理水及び高濃度フッ素含有汚泥を
回収することが可能とされる。しかも、吸着塔の再生廃
液も同時に処理することができ、工業的に極めて有利で
ある。
【図１】本発明のフッ素含有水の処理方法の一実施方法
を示す系統図である。
を示す系統図である。
１ 吸着塔 ２ 第１の反応槽 ３ 第１の沈殿槽 ４ 第２の反応槽 ５ 第２の沈殿槽
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前野 又五郎 大阪府大阪市西区西本町２丁目３番６号 橋本化成株式会社内 (72)発明者 後藤 忠一 東京都新宿区西新宿３丁目４番７号 栗 田工業株式会社内 (72)発明者 恵藤 良弘 東京都新宿区西新宿３丁目４番７号 栗 田工業株式会社内 (72)発明者 阪田 正博 東京都新宿区西新宿３丁目４番７号 栗 田工業株式会社内 審査官 宮坂 初男 (56)参考文献 特開 昭54−121561（ＪＰ，Ａ) 特公 昭62−1797（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C02F 1/28 C02F 1/42 C02F 1/52 C02F 1/58 C02F 9/00
Claims (2)
- 【請求項１】 フッ素含有水をカルシウム化合物とフッ
素吸着樹脂とを用いて処理するフッ素含有水の処理方法
において、 フッ素含有水を、フッ素濃度５０ｍｇ−ＨＦ／lit.より
もフッ素濃度の低い低濃度フッ素含有水とそれよりもフ
ッ素濃度の高い高濃度フッ素含有水に分別する工程、 低濃度フッ素含有水をフッ素イオンと錯化合物を形成す
る金属イオンを吸着した吸着剤であるフッ素吸着樹脂と
接触させる工程、 フッ素吸着樹脂を再生処理する工程、 高濃度フッ素含有水に前記フッ素吸着樹脂の再生廃液を
添加した後、ｐＨをアルカリ側に調整し、カルシウム化
合物を加えて凝集処理し、次いで固液分離する工程、 及び固液分離により得られる汚泥の一部を前記直前の凝
集処理の反応槽へ返送する工程、 を備えることを特徴とするフッ素含有水の処理方法。 - 【請求項２】 請求項１の方法において、固液分離して
得られた分離水をフッ素吸着樹脂と接触させることを特
徴とするフッ素含有水の処理方法。
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|---|---|---|---|
| JP25350091A JP3334142B2 (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | フッ素含有水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25350091A JP3334142B2 (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | フッ素含有水の処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0592187A JPH0592187A (ja) | 1993-04-16 |
| JP3334142B2 true JP3334142B2 (ja) | 2002-10-15 |
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ID=17252247
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25350091A Expired - Fee Related JP3334142B2 (ja) | 1991-10-01 | 1991-10-01 | フッ素含有水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3334142B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016035101A1 (en) * | 2014-09-02 | 2016-03-10 | Council Of Scientific And Industrial Research | A process for the defluoridation of drinking water |
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| JP2005193167A (ja) * | 2004-01-08 | 2005-07-21 | Sophia Co Ltd | 排水浄化方法及び浄化方法 |
| JP5157040B2 (ja) * | 2005-03-15 | 2013-03-06 | 栗田工業株式会社 | フッ素含有排水の処理方法及び処理装置 |
| JP4752351B2 (ja) * | 2005-06-23 | 2011-08-17 | 栗田工業株式会社 | フッ素含有水の処理方法及び装置 |
| JP4590383B2 (ja) * | 2006-09-04 | 2010-12-01 | オルガノ株式会社 | フッ素を含む排水の晶析処理方法 |
| KR101803470B1 (ko) | 2017-03-20 | 2017-11-30 | 박찬경 | 오버랩 구조의 컨테이너백 제조방법 및 그 제조방법으로 제조된 컨테이너백 |
| KR101803469B1 (ko) | 2017-03-20 | 2017-11-30 | 박찬경 | 외피에 삽입된 내피를 갖는 인서트 구조의 컨테이너백 |
| CN107698092A (zh) * | 2017-11-25 | 2018-02-16 | 昆明有色冶金设计研究院股份公司 | 一种可移动式含氟废水处理方法及装置 |
| CN109637687A (zh) * | 2018-12-27 | 2019-04-16 | 中核四0四有限公司 | 一种用于铀转化含氟废水的处理装置 |
| CN113582430B (zh) * | 2021-08-10 | 2023-06-20 | 福建省清流县东莹化工有限公司 | 一种含氟工业废水处理工艺及其末级处理装置及工艺 |
-
1991
- 1991-10-01 JP JP25350091A patent/JP3334142B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2016035101A1 (en) * | 2014-09-02 | 2016-03-10 | Council Of Scientific And Industrial Research | A process for the defluoridation of drinking water |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0592187A (ja) | 1993-04-16 |
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