JP3305189B2

JP3305189B2 - カラー表示装置及び該カラー表示装置の製造方法

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Publication number: JP3305189B2
Application number: JP5214596A
Authority: JP
Inventors: 誠亀山; 俊明吉川; 博幸鈴木; 光治沢村
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-03-08
Filing date: 1996-03-08
Publication date: 2002-07-22
Anticipated expiration: 2016-03-08
Also published as: JPH09244014A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、少なくともカラー
フィルタと遮光手段とを備えたカラー表示装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、液晶表示素子や、プラズマ表
示素子、さらにはＥＬ表示素子等によるカラー表示装置
は種々提案されている。これらのカラー表示装置は、３
原色（赤、緑、青）のカラーフィルタを備えており、こ
れらの３原色の組み合わせによって種々の色を表示する
ように構成されている。また、これらのカラーフィルタ
の境界部には遮光膜（ブラックマトリクス）が設けられ
ており、色の混ざり等の防止、及びコントラストの向上
が図られている。

【０００３】ところで、この遮光膜の材質に関しては種
々提案されており、特開平４−２４０８１８号公報等に
は、Ｃｒ，Ａｌ，Ｔａ，Ｎｉ，Ｔｉ等の金属膜を遮光膜
として用いた透過型のカラー液晶表示素子が開示されて
いる。そして、バックライト装置からの光（以下、“バ
ックライト光”とする）がこれらの金属膜によって適正
に遮光されるように構成されている。

【０００４】しかし、この遮光膜は反射性に優れた金属
製であるため、液晶表示素子を屋外などの明るい場所で
使用した場合には、観察側からの光（バックライト光と
は逆方向の光であり、以下“外光”とする）が遮光膜に
よって反射され、表示が見にくくなってしまうという問
題があった。

【０００５】特開平２−１４４５２５号公報等において
は、反射率の低い金属酸化膜を観察側（外光の入射する
側）に配置して、遮光膜を金属酸化膜と金属膜との積層
構造とし、外光の反射を低減して表示内容の視認を容易
にした液晶表示素子が提案されている。なお、遮光膜を
金属膜との積層構造としたのは、金属酸化膜自体は光吸
収係数が小さく、それ自体では外光やバックライト光を
透過してしまうため、遮光を完全にするためである。こ
こで、遮光膜には、Ｃｒ，Ａｌ，Ｔａ等の金属が用いら
れている。

【０００６】また、可染性の合成樹脂をパターニングし
て黒色染料で染色する方法や、印刷法によって塗布した
黒色インキをパターニング形成する方法なども提案され
ている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のよう
な合成樹脂を黒色染料で染色して遮光膜を形成する方法
や、黒色インキによって遮光膜を形成する方法では、薄
膜では十分な遮光性が確保されない場合があった。ま
た、特に後者の場合には、パターン精度や位置合せ精度
が悪いという問題もあった。

【０００８】一方、遮光膜を金属酸化膜と金属膜との積
層構造とした場合には、フォトリソグラフィ法にてパタ
ーニング（エッチング）を行なうが、両膜の耐エッチン
グ性が異なるために遮光膜幅が一定とはならず、その結
果、金属酸化膜と金属膜との間に段差が生じてしまい、
パターン形状が適正なものとならず種々の問題を生じて
いた。

【０００９】また、外光反射を低減するためには、成膜
工程において、金属酸化膜の消衰係数ｋを適正な範囲内
になるように酸素含有量を適正値に制御する必要がある
が、Ｃｒ等の金属が酸素に対して非常に活性であるため
にその制御は困難であり、適正な品質のカラー表示装置
を得るのが困難であった。その結果、製品の歩留りが悪
くなり、製造コストが上昇してしまうという問題があっ
た。

【００１０】本発明は、上記事情を考慮してなされたも
のであり、高精度で低反射率であり且つ安定して形成可
能なカラーフィルタ基板及びこれを用いたカラー表示装
置を提供することを目的とする。

【００１１】そこで、本発明は、透明基板を透過してき
た光の第１層による反射や透過を低減し、特に屋外等の
明るい場所における表示品位が向上されるカラー表示装
置を提供することを目的とするものである。

【００１２】また、本発明は、遮光手段を金属と該金属
の炭酸化物とによって構成することにより、エッチング
の際における段差の発生を防止するカラー表示装置を提
供することを目的とするものである。

【００１３】

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、上述事情に鑑
みなされたものであって、透明基板と、該透明基板上に
所定の間隙を開けて配置された多数のカラーフィルタ
と、これらカラーフィルタの間隙に形成された遮光手段
と、を備え、前記カラーフィルタを透過する光の組み合
わせにより種々の情報をカラー表示してなるカラー表示
装置において、前記遮光手段が、前記透明基板上に形成
される第１層と、金属によって該第１層を覆うように形
成される第２層と、該第２層を覆うように形成される第
３層と、からなり、該第１層及び第３層が金属炭酸化膜
である、ことを特徴とする。この場合、前記第１層にお
ける炭素及び酸素のそれぞれの含有量が、該層の厚さ方
向にわたってほぼ均一である、ようにしても良い。ま
た、前記第１層における炭素及び酸素のそれぞれの含有
量が、前記透明基板の側から前記第２層の側にかけてそ
の厚さ方向に減少する、ようにすると好ましい。また、
前記第３層が、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗ及びこれらの合金のいず
れかの金属の炭酸化膜であるようにすると好ましい。一
方、本発明は、透明基板と、該透明基板上に所定の間隙
を開けて配置された多数のカラーフィルタと、これらカ
ラーフィルタの間隙に形成された遮光手段と、を備え、
前記カラーフィルタを透過する光の組み合わせにより種
々の情報をカラー表示してなるカラー表示装置におい
て、前記遮光手段が、前記透明基板上に形成される第１
層と、金属によって該第１層を覆うように形成される第
２層と、からなり、前記第１層が、Ｍｏの炭酸化膜又は
Ｍｏ合金の炭酸化膜にて形成され、かつ、前記第２層が
Ｍｏ又はＭｏ合金にて形成される、ことを特徴とする。

【００１５】

【００１６】［作用］以上構成に基づき、カラー表示装置を駆動すると、カラ
ーフィルタを透過する光の組み合わせにより種々の情報
がカラー表示される。一方、透明基板の側から外光が照
射されても、前記遮光手段の第１層は金属炭酸化膜によ
って形成されているため、主として前記第１層が外光の
反射を低減するべく機能し、また一方、遮光手段は、金
属によって形成された第２層を有しているため、バック
ライト光や外光の透過が抑制されるべく機能する。さら
に、金属炭酸化膜によって第３層が形成されているた
め、バックライト光の反射も抑制でき、該反射光による
カラー表示装置の誤動作を防止できる。こうしてカラー
表示装置によって低反射化と遮光性の向上がバランス良
く同時に実現される。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、図面に沿って、本発明の実
施の形態について説明する。

【００１８】まず、本発明の第１の実施の形態につい
て、図１乃至図３に沿って説明する。

【００１９】本実施の形態に係るカラー液晶表示素子
（カラー表示装置）１は、図１に示すように、透明なガ
ラス基板（透明基板）２を備えている。このガラス基板
２は、その両面が研磨されて平滑にされており、その厚
さは１ｍｍである。なお、本実施の形態においては、コ
ーニング社製の ^#７０５９や、青板ガラスが用いられて
いる。

【００２０】また、ガラス基板２の表面には、図２に詳
示するように、２層構造の遮光膜（遮光手段）３，…が
所定間隙を開けて形成されおり（詳細は後述）、それら
の間隙には、顔料分散タイプの赤、緑、青のフィルタ
（以下、“カラーフィルタ”とする）５，…が多数形成
されている。さらに、これらの遮光膜３，…やカラーフ
ィルタ５，…は、ポリアミド系樹脂又はシロキサン系、
シリカ系の保護膜６によって被覆されており、この保護
膜６の表面には、多数の帯状電極７，…が形成されてい
る。

【００２１】一方、このガラス基板２に対向する位置に
は、同材質の対向基板９が配置されており、この対向基
板９の表面には、多数の帯状電極１０，…が形成されて
いる。そして、これらの両基板２，９の間には液晶１１
が挟持されて、カラー液晶表示素子１が構成されてい
る。

【００２２】また、本実施の形態においては、遮光膜
３，…の第１層（ガラス基板２に接する側の層をいい、
以下“金属炭酸化膜”とする）３ａ，…は、炭素及び酸
素の両方を含有するＭｏＴａ合金（１５ｗｔ％）によっ
て形成されており、第２層（以下“金属膜”とする）３
ｂ，…はＭｏＴａ合金（１５ｗｔ％）によって形成され
ている。なお、本実施の形態においては、金属炭酸化膜
３ａ，…及び金属膜３ｂ，…の光学定数は表１に示す通
りである。なお、表１に示す値は、波長が５５０ｎｍの
光を当ててエリプソメータにより測定したものである。

【００２３】

【表１】また、金属炭酸化膜３ａ，…の膜厚は６３．５ｎｍと
し、金属膜３ｂ，…の膜厚は８２．５ｎｍとしている。

【００２４】次に、液晶表示素子１の製造方法、特に遮
光膜３，…の製造方法について説明する。

【００２５】まず、液晶表示素子１の製造に際してはガ
ラス基板２を十分に洗浄する。そして、洗浄したガラス
基板２をスパッタリング成膜装置にセットする。なお、
本実施の形態においては、直流マグネトロンスパッタ装
置を使用している。〈金属炭酸化膜３ａの形成（第１層形成工程）〉スパッ
タリングターゲットをＭｏＴａ（１５ｗｔ％）合金と
し、ＡｒとＣＯ₂との混合ガスを雰囲気ガスとして、反
応性スパッタリングを行なっている。また、スパッタ条
件は表２に示す条件を用いた。

【００２６】

【表２】なお、このスパッタリングにより、酸素や炭素のそれぞ
れの含有量は、金属炭酸化膜３ａの厚さ方向にわたって
ほぼ均一なものとなる。〈金属膜３ｂの形成（第２層形成工程）〉スパッタリン
グターゲットをＭｏＴａ（１５ｗｔ％）合金とし、雰囲
気ガスにはＡｒガスを使用し、反応性スパッタリングを
行なっている。また、スパッタ条件は表３に示す条件を
用いた。

【００２７】

【表３】〈その他〉遮光膜の表面には、フォトリソグラフィ法に
よってレジストパターンを形成し、エッチング液により
パターニングを行なって、所定間隙を有する遮光膜３，
…を形成する。なお、エッチング液には、Ｈ₃ ＰＯ₄ 、
ＨＮＯ₃ ＣＨ₃ ＣＯＯＨからなる混酸エッチング液を使
用した。

【００２８】そして、カラーフィルタ５や保護膜６、さ
らには電極等が形成され、ガラス基板２と対向基板９と
は貼り合わせられる。その後、液晶１１が注入されて液
晶表示素子１が製造される。

【００２９】次に、本実施の形態の作用について説明す
る。

【００３０】いま、液晶表示素子１を駆動すると、不図
示のバックライト装置によって図示Ｂの側から光（バッ
クライト光）が照射され、カラーフィルタ５，…を透過
するバックライト光の組み合わせにより種々の情報がカ
ラー表示される。一方、外光が図示Ａの側から照射され
てガラス基板２を透過しても、金属炭酸化膜３ａ，…の
反射率は低いため、金属炭酸化膜３ａ，…による外光の
反射光量は低減される。また、バックライト光や外光は
遮光膜３，…（特に、金属膜３ｂ，…）によって遮光さ
れる。

【００３１】次に、本実施の形態の効果について説明す
る。

【００３２】本実施の形態によれば、金属炭酸化膜３
ａ，…の反射率は低いため、外光の金属炭酸化膜３ａ，
…による反射は低減され、屋外等の明るい場所における
液晶表示素子１の表示品位が向上される。なお、本発明
者が、遮光膜３，…をパターニングする前において、ガ
ラス基板側（図示Ａ側）からの分光反射率特性を測定し
たところ、図３に示すように、可視光線の範囲内（波
長：約４００〜７００ｎｍ）において反射率は１０％以
下に抑えられることが確認された。これにより、屋外等
の明るい場所でも高品位の画像を得ることができる。

【００３３】また、本実施の形態によれば、遮光膜３，
…は遮光性に優れた金属膜３ｂ，…を有しているため、
バックライト光や外光の透過が抑制される。したがっ
て、従来の黒色染料で染色する方法や、黒色インキを印
刷・パターニングする方法と比べて、上述した低反射特
性に加えて遮光性に優れ、これらの特性のバランスの良
好な表示性能の良い液晶表示素子を得ることができる。
さらに、黒色インキを印刷・パターニングする方法と比
べて位置精度に優れる。

【００３４】またさらに、本実施の形態によれば、金属
炭酸化膜３ａ，…と金属膜３ｂ，…とによって遮光膜
３，…を形成したため、エッチングによる段差がなく、
高精度の遮光膜３，…を得ることができる。

【００３５】また、本実施の形態によれば、金属炭酸化
膜３ａ，…においては、酸素のみを添加する場合に比べ
て、同一成膜条件での消衰係数ｋのばらつきが小さく、
安定した外光反射特性を得ることができる。そのため、
液晶表示素子１の表示品質も向上され、製造過程におけ
る歩留りも良くなる。

【００３６】さらに、本実施の形態においては、Ａｒガ
スとＣＯ₂ ガスを用いた反応性スパッタリング法を用い
ているため、制御性、再現性に優れており、容易に特性
の良好な金属炭酸化膜３ａ，…を得ることができ、かつ
ＣＯ₂ ガスの供給をストップするだけで容易に金属膜３
ｂ，…を形成でき、製造コストが安くなる。

【００３７】ついで、本発明の第２実施の形態につい
て、図４及び図５に沿って説明する。なお、図１及び図
２に示すものと同一部分は同一符号を付して説明を省略
する。

【００３８】本実施の形態に係るカラー液晶表示素子
（カラー表示装置）１２においては、遮光膜（遮光手
段）１３，…は、図４に示すように３層構造となってお
り、金属膜３ｂ，…の表面には、第３層として金属炭酸
化膜３ｃ，…が形成されている。なお、本実施の形態に
おいては、金属炭酸化膜（第１層）３ａ、金属膜（第２
層）３ｂ及び金属炭酸化膜（第３層）３ｃの光学定数
（但し、波長５５０ｎｍ）や、膜厚は、表４に示す通り
である。また、金属炭酸化膜（第３層）３ｃは、金属炭
酸化膜（第１層）３ａとほぼ同様の方法によって製造さ
れ、具体的には、炭素及び酸素の両方を含有したＭｏＴ
ａ（１５ｗｔ％）合金によって金属膜３ｂを覆うように
形成される。

【００３９】

【表４】また、本実施の形態においては、ガラス基板２及び保護
膜６の屈折率は、共に１．５２程度とした。

【００４０】さらに、金属炭酸化膜（第１層）３ａのス
パッタ条件は、表５に示す通りとした。

【００４１】

【表５】次に、本実施の形態の効果について説明する。

【００４２】本実施の形態によれば、金属膜３ｂ，…の
表面（図示Ｂ側の表面）に金属炭酸化膜３ｃ，…が形成
されているため、バックライト光の反射が低減され（図
５参照）、該反射に伴う液晶表示素子１２の誤動作を防
止できる。なお、本実施の形態においては、ガラス基板
２及び保護膜６の屈折率が共に１．５２程度であるた
め、図示Ａ側から測定した分光特性と、図示Ｂ側から測
定した分光特性とが、ほぼ同じになる。

【００４３】また、本実施の形態においても、上述第１
実施の形態と同様の効果が得られる。すなわち、金属炭
酸化膜３ａ，…によって外光の反射が低減され、液晶表
示素子１２の屋外等の明るい場所における表示品位が向
上される。さらに、外光やバックライト光は遮光膜１
３，…の金属膜３ｂ，…によって遮断されるため、従来
の黒色染料で染色する方法や、黒色インキを印刷・パタ
ーニングする方法と比べて、上述した低反射特性に加え
て遮光性に優れ、バランス良く表示性能の向上した液晶
表示素子１２を得ることができる。またさらに、黒色イ
ンキを印刷・パターニングする方法と比べて位置精度に
優れる。また、本実施の形態によれば、遮光膜１３，…
は金属膜と金属炭酸化膜との積層構造であるため、エッ
チングによる段差がなく、高精度の遮光膜１３，…を得
ることができる。さらに、本実施の形態によれば、金属
炭酸化膜３ａ，…，３ｃ，…においては、酸素のみを添
加する場合に比べて、同一成膜条件での消衰係数ｋのば
らつきが小さく、安定した外光反射特性を得ることがで
きる。そのため、液晶表示素子１２の表示品質も向上さ
れ、製造過程における歩留りも良くなる。またさらに、
ＡｒガスとＣＯ₂ ガスを用いた反応性スパッタリング法
を用いているため、制御性、再現性に優れており、容易
に特性の良好な金属炭酸化膜３ａ，…，３ｃ，…を得る
ことができ、かつＣＯ₂ ガスの供給をストップするだけ
で容易に金属膜３ｂ，…を形成でき、製造コストが安価
になる。

【００４４】ついで、本発明の第３実施の形態につい
て、図６に沿って説明する。

【００４５】本実施の形態においては、金属炭酸化膜３
ａ，…を形成する工程（第１層形成工程）にて、Ａｒガ
スの流量を一定にし、ＣＯ₂ ガスの流量をマスフローに
より流量制御して徐々に減少させ、金属炭酸化膜３ａ，
…における炭素及び酸素のそれぞれの含有量が、ガラス
基板２の側から金属膜３ｂ，…の側にかけてその厚さ方
向に減少するように構成されている。なお、ここで記載
する以外の構成や製造方法は、第１実施の形態又は第２
実施の形態と同様である。

【００４６】ここで、その際のスパッタ条件は、表６に
示す。

【００４７】

【表６】なお、金属炭酸化膜３ａ，…の膜厚は１１５ｎｍとし
た。また、金属膜３ｂ，…は、ＣＯ₂ 流量をゼロとして
Ａｒガスのみでスパッタリングを行なうことにより形成
した。ここで、金属膜３ｂ，…の膜厚は５０ｎｍとし
た。

【００４８】次に、本実施の形態の効果について説明す
る。

【００４９】本実施の形態によれば、外光の反射率はよ
り一層低減され、明るい場所での表示品位に優れた液晶
表示素子を得ることができる。図６は、観察側から測定
した分光特性を示したものであるが、図３に示した分光
特性に比べても優れていることが理解できる。

【００５０】また、本実施の形態によれば、上述第１実
施の形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、
外光やバックライト光は金属膜３ｂ，…によって遮断さ
れるため、従来の黒色染料で染色する方法や、黒色イン
キを印刷・パターニングする方法と比べて、遮光性に優
れて表示性能の良い液晶表示素子を得ることができる。
また、黒色インキを印刷・パターニングする方法と比べ
て位置精度に優れる。さらに、本実施の形態によれば、
遮光膜は金属膜と金属炭酸化膜との積層構造であるた
め、エッチングによる段差がなく、高精度の遮光膜を得
ることができる。またさらに、本実施の形態によれば、
金属炭酸化膜３ａ，…においては、酸素のみを添加する
場合に比べて、同一成膜条件での消衰係数ｋのばらつき
が小さく、安定した外光反射特性を得ることができる。
そのため、液晶表示素子の表示品質も向上され、製造過
程における歩留りも良くなる。また、ＡｒガスとＣＯ₂
ガスを用いた反応性スパッタリング法を用いているた
め、制御性、再現性に優れており、容易に特性の良好な
金属炭酸化膜３ａ，…を得ることができ、かつＣＯ₂ ガ
スの供給をストップするだけで容易に金属膜３ｂ，…を
形成でき、製造コストが安価になる。

【００５１】なお、上述実施の形態においてはＭｏＴａ
合金（１５ｗｔ％）を用いたが、もちろんこれに限る必
要はなく、Ｍｏ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗ等の金属
を合金でない状態で用いても良く、さらにはＭｏＴａ合
金の他のいずれの合金を用いても良い。但し、Ｍｏ，Ｃ
ｒ，Ａｌ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｗの炭酸化膜における反射率の
最小値（本発明者が測定したものであり、光の波長は５
５０ｎｍ）は表７のようになり、特に、Ｍｏ及びＣｒが
外光反射低減の効果に優れていることが理解できる。ま
た、これらＭｏ及びＣｒの合金でも同等の効果が得られ
る。さらに、ＣｒやＣｒ合金は処理コスト（製造コス
ト）がかかるため、この点からはＭｏやＭｏ合金を用い
る方が良い。

【００５２】

【表７】一方、上述実施の形態においては雰囲気ガスとしてＡｒ
とＣＯ₂ との混合ガスを用いたが、もちろんこれに限る
必要はなく、ＡｒガスにＣＨ₄ とＯ₂ とを混合させたも
のを用いても良い。

【００５３】また、上述実施の形態においてはスパッタ
リングターゲットにＭｏＴａ合金を用いたが、もちろん
これに限る必要はなく、炭素を含有させたＭｏＴａ合金
や、酸素を含有させたＭｏＴａ合金や、さらには炭素及
び酸素の両方を含有させたＭｏＴａ合金を用いても良
い。

【００５４】さらに、金属炭酸化膜の消衰係数ｋは、上
述第１実施の形態においては０．３１９とし、上述第２
実施の形態においては０．７５３としたが、もちろんこ
れに限る必要はなく、０．２〜１．０の範囲であれば、
いずれの値を取るようにしてもよい。なお、この０．２
〜１．０の範囲が適正であることを、本発明者は実験に
より求めた。以下、該実験について説明する。

【００５５】本実験においては、Ａｒガスの流量を一定
（５０Ｓｃｃｍ）にして、ＣＯ₂ ガスの流量を表８に示
すように変化させ、６種類の条件下で金属炭酸化膜を作
成した。また、この金属炭酸化膜の表面には金属膜を形
成して、上述第１実施の形態と同様の液晶表示素子を作
成した。なお、実験に用いたスパッタ条件は、ＣＯ₂ガ
スの流量以外は上述第１実施の形態と同様にした。

【００５６】

【表８】そして、消衰係数ｋをエリプソメータ（波長５５０ｎ
ｍ）にて測定し（図７参照）、波長５５０ｎｍでの反射
率を測定した（図８参照）。そして、組み立てた複数の
液晶表示素子につき、外光反射率の低減の効果を目視に
より比較した。この実験により、消衰係数ｋが０．２
２，０．３２，０．７５，０．９５のものは表示品位が
優れており、消衰係数ｋが０．１，１．２７のものは表
示品位が劣っていたことが確認された。すなわち、消衰
係数ｋは０．２〜１．０の範囲が適正範囲であることが
確認された。

【００５７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
第１層に金属炭酸化膜を用いたため、透明基板を透過し
てきた光の第１層による反射は低減され、屋外等の明る
い場所におけるカラー表示装置の表示品位が向上され
る。また、遮光手段は遮光性に優れた金属層（第２層）
を有しているため、バックライト光や外光の透過が抑制
される。したがって、低反射性が向上し遮光性に優れた
表示性能の良いカラー表示装置を得ることができる。さ
らに、金属炭酸化膜からなる第１層と、金属により形成
された第２層とは、それらの耐エッチング性が類似す
る。したがって、遮光手段をエッチングする場合におい
ても段差が生じにくく、高精度の遮光手段を得ることが
できる。またさらに、第１層においては、炭酸化膜によ
り反射低減を図っているため、酸素のみを添加する場合
に比べて消衰係数ｋのばらつきが小さく、安定した外光
反射特性を得ることができる。そのため、カラー表示装
置の表示品質も向上され、製造過程における歩留りも良
くなる。

【００５８】一方、前記第１層における炭素及び酸素の
それぞれの含有量が透明基板の側から第２層の側にかけ
てその厚さ方向に減少するようにした場合には、前記第
１層による反射光量が一層低減され、明るい場所におけ
るカラー表示装置の表示品位がさらに向上される。

【００５９】また、金属炭酸化膜によって前記第２層を
覆うように第３層を形成しているため、バックライト光
の反射も抑制でき、該反射光によるカラー表示装置の誤
動作を防止できる。

【００６０】

【００６１】

【００６２】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施の形態に係るカラー液晶表示
素子の構造を示す断面図。

【図２】第１実施の形態に係るカラー液晶表示素子の構
造を示す部分拡大断面図。

【図３】第１実施の形態の効果を説明するための図であ
り、金属炭酸化膜の分光反射率特性を示す図。

【図４】本発明の第２実施の形態に係るカラー液晶表示
素子の構造を示す断面図。

【図５】第２実施の形態の効果を説明するための図。

【図６】第３実施の形態の効果を説明するための図。

【図７】ガス流量比と消衰係数との関係を示す図。

【図８】消衰係数と反射率との関係を示す図。

【符号の説明】

１カラー液晶表示素子（カラー表示装置）２ガラス基板（透明基板）３，… 遮光膜（遮光手段）３ａ，… 金属炭酸化膜（第１層）３ｂ，… 金属膜（第２層）３ｃ，… 金属炭酸化膜（第３層）５，… カラーフィルタ９対向基板１２カラー液晶表示素子（カラー表示装置）１３，… 遮光膜（遮光手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者鈴木博幸東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (72)発明者沢村光治東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内 (56)参考文献特開昭63−307693（ＪＰ，Ａ) 特開平２−144525（ＪＰ，Ａ) 特開平４−1727（ＪＰ，Ａ) 特開平８−220522（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】透明基板と、該透明基板上に所定の間隙
を開けて配置された多数のカラーフィルタと、これらカ
ラーフィルタの間隙に形成された遮光手段と、を備え、
前記カラーフィルタを透過する光の組み合わせにより種
々の情報をカラー表示してなるカラー表示装置におい
て、前記遮光手段が、前記透明基板上に形成される第１層
と、金属によって該第１層を覆うように形成される第２
層と、該第２層を覆うように形成される第３層と、から
なり、該第１層及び第３層が金属炭酸化膜である、こと
を特徴とするカラー表示装置。
【請求項２】前記第１層における炭素及び酸素のそれ
ぞれの含有量が、該層の厚さ方向にわたってほぼ均一で
ある、ことを特徴とする請求項１記載のカラー表示装置。
【請求項３】前記第１層における炭素及び酸素のそれ
ぞれの含有量が、前記透明基板の側から前記第２層の側
にかけてその厚さ方向に減少する、ことを特徴とする請求項１記載のカラー表示装置。
【請求項４】前記第３層が、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｗ及びこれ
らの合金のいずれかの金属の炭酸化膜である請求項１乃
至３のいずれか１項に記載のカラー表示装置。
【請求項５】透明基板と、該透明基板上に所定の間隙
を開けて配置された多数のカラーフィルタと、これらカ
ラーフィルタの間隙に形成された遮光手段と、を備え、
前記カラーフィルタを透過する光の組み合わせにより種
々の情報をカラー表示してなるカラー表示装置におい
て、前記遮光手段が、前記透明基板上に形成される第１層
と、金属によって該第１層を覆うように形成される第２
層と、からなり、前記第１層が、Ｍｏの炭酸化膜又はＭｏ合金の炭酸化膜
にて形成され、かつ、前記第２層がＭｏ又はＭｏ合金に
て形成される、ことを特徴とするカラー表示装置。