JP3267937B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットプ
リンタに用いるインクジェットヘッドに関する。
リンタに用いるインクジェットヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】特開平９−２３４８６４号公報にインク
ジェットヘッドの一例が記載されている。それは、イン
クが供給される複数の加圧室を備えている。各加圧室
は、その一面の壁が振動板によって形成されており、該
振動板を圧電素子によって歪ませることによって加圧室
容積を減少させ、該加圧室につながったノズルからイン
クを吐出させるようにしたものである。上記振動板には
補強板が重ねられ、該補強板に圧電素子が重ねられてお
り、該圧電素子の表面に個別電極（上部電極）が形成さ
れ、裏面に共通電極（下部電極）が形成されている。加
圧室の水平断面形状は細長い短冊状に形成されており、
このインクジェットヘッドでは細長い加圧室が横に並ん
でいる。また、このインクジェットヘッドは、加圧室を
形成するブロックとインク溜めやインク吐出ノズルを形
成するブロックとが接合されて形成されている。
ジェットヘッドの一例が記載されている。それは、イン
クが供給される複数の加圧室を備えている。各加圧室
は、その一面の壁が振動板によって形成されており、該
振動板を圧電素子によって歪ませることによって加圧室
容積を減少させ、該加圧室につながったノズルからイン
クを吐出させるようにしたものである。上記振動板には
補強板が重ねられ、該補強板に圧電素子が重ねられてお
り、該圧電素子の表面に個別電極（上部電極）が形成さ
れ、裏面に共通電極（下部電極）が形成されている。加
圧室の水平断面形状は細長い短冊状に形成されており、
このインクジェットヘッドでは細長い加圧室が横に並ん
でいる。また、このインクジェットヘッドは、加圧室を
形成するブロックとインク溜めやインク吐出ノズルを形
成するブロックとが接合されて形成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のインク
ジェットヘッドの場合、階調性をもったインクの吐出を
行なうことができるように最大吐出量を多くしようとす
れば、圧力室のサイズがそれだけ大きくなり、ドットの
高密度化が図れず、また、ヘッド全体が大きくなるとい
う問題があった。
ジェットヘッドの場合、階調性をもったインクの吐出を
行なうことができるように最大吐出量を多くしようとす
れば、圧力室のサイズがそれだけ大きくなり、ドットの
高密度化が図れず、また、ヘッド全体が大きくなるとい
う問題があった。
【０００４】本発明は、このような問題を解決するもの
である。
である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
インクを供給するための供給口とインクを吐出するため
の吐出口とを有する複数の圧力室用凹部が形成されたヘ
ッド本体と、該ヘッド本体の各凹部を塞ぎ該凹部と共に
圧力室を構成するとともに電界誘起歪みを駆動源として
変形し該圧力室内のインクを吐出させる板状アクチュエ
ータとを備えているインクジェットヘッドにおいて、上
記複数の圧力室は３列以上の圧力室列に並んで配設さ
れ、上記３列以上の圧力室列のうちの端に位置する圧力
室列の外側に、上記アクチュエータの各圧力室に対して
個別に設けられた個別電極のための電気接点群が設けら
れ、上記端の圧力室列より内側に位置する２列以上の異
なる圧力室列に配設された複数の圧力室の個別電極と上
記電気接点群の対応する接点とをそれぞれ結ぶ複数本の
導体が、上記端の圧力室列における相隣る圧力室間のヘ
ッド表面側を通っていることを特徴とする。
インクを供給するための供給口とインクを吐出するため
の吐出口とを有する複数の圧力室用凹部が形成されたヘ
ッド本体と、該ヘッド本体の各凹部を塞ぎ該凹部と共に
圧力室を構成するとともに電界誘起歪みを駆動源として
変形し該圧力室内のインクを吐出させる板状アクチュエ
ータとを備えているインクジェットヘッドにおいて、上
記複数の圧力室は３列以上の圧力室列に並んで配設さ
れ、上記３列以上の圧力室列のうちの端に位置する圧力
室列の外側に、上記アクチュエータの各圧力室に対して
個別に設けられた個別電極のための電気接点群が設けら
れ、上記端の圧力室列より内側に位置する２列以上の異
なる圧力室列に配設された複数の圧力室の個別電極と上
記電気接点群の対応する接点とをそれぞれ結ぶ複数本の
導体が、上記端の圧力室列における相隣る圧力室間のヘ
ッド表面側を通っていることを特徴とする。
【０００６】すなわち、複数の圧力室を３列以上に並べ
るようにすれば、ドット密度を高めることができる。し
かし、それらの個別電極の電気接点を各圧力室近傍に配
設するならば、圧力室まわりに接点スペースを確保する
必要から、該圧力室を密に配設することができなくな
り、インク吐出孔が広く分散することになるとともに、
ヘッドの大型化を招く。そこで、この発明では、相隣る
圧力室を隔てる隔壁の上側（ヘッド表面側）を配線スペ
ースとして利用することにより、電気接点を端の圧力室
列の外側に集めて該接点に対する配線を容易にするとと
もに、圧力室を密に配設できるようにしたものである。
るようにすれば、ドット密度を高めることができる。し
かし、それらの個別電極の電気接点を各圧力室近傍に配
設するならば、圧力室まわりに接点スペースを確保する
必要から、該圧力室を密に配設することができなくな
り、インク吐出孔が広く分散することになるとともに、
ヘッドの大型化を招く。そこで、この発明では、相隣る
圧力室を隔てる隔壁の上側（ヘッド表面側）を配線スペ
ースとして利用することにより、電気接点を端の圧力室
列の外側に集めて該接点に対する配線を容易にするとと
もに、圧力室を密に配設できるようにしたものである。
【０００７】請求項２に係る発明は、請求項１に記載さ
れているインクジェットヘッドにおいて、上記アクチュ
エータの各圧力室を構成する可動部分の厚さが８μｍ以
下、上記複数の圧力室は複数列に並びその列数が６〜１
０列、並びに当該ヘッドの主走査方向に１パスで打つこ
とができる該主走査方向に直交する副走査方向のドット
密度が３００ｄｐｉ以上という３条件を満足することを
特徴とする。
れているインクジェットヘッドにおいて、上記アクチュ
エータの各圧力室を構成する可動部分の厚さが８μｍ以
下、上記複数の圧力室は複数列に並びその列数が６〜１
０列、並びに当該ヘッドの主走査方向に１パスで打つこ
とができる該主走査方向に直交する副走査方向のドット
密度が３００ｄｐｉ以上という３条件を満足することを
特徴とする。
【０００８】すなわち、所定長さのスペースにできるだ
け多くの圧力室を並べようとしても、所望の圧力室容積
を確保する必要上自ずとその並設個数に限界があり、ド
ット密度３００ｄｐｉ以上を実現するには圧力室を複数
の列に並べて配設する必要がある。しかし、圧力室の列
数が多くなるとそれだけヘッドの大型化を招く。この発
明は、圧力室の列数を６〜１０にすれば、アクチュエー
タの可動部分の厚さを抑えることによって、ヘッドの大
型化を招くことなく３００ｄｐｉ以上の高ドット密度を
実現できることをとらえた点に特徴がある。
け多くの圧力室を並べようとしても、所望の圧力室容積
を確保する必要上自ずとその並設個数に限界があり、ド
ット密度３００ｄｐｉ以上を実現するには圧力室を複数
の列に並べて配設する必要がある。しかし、圧力室の列
数が多くなるとそれだけヘッドの大型化を招く。この発
明は、圧力室の列数を６〜１０にすれば、アクチュエー
タの可動部分の厚さを抑えることによって、ヘッドの大
型化を招くことなく３００ｄｐｉ以上の高ドット密度を
実現できることをとらえた点に特徴がある。
【０００９】この点を具体的に説明すると、この発明で
は、まずアクチュエータの可動部分の厚さを抑えること
によって、圧力室用凹部の開口面積（可動部分の面積）
が小さくても必要な吐出量を確保することができるよう
にしている。そして、可動部分の面積を小さくすること
によって１列で並ぶ圧力室数を多くすることができるよ
うにしている。ここに、ドット密度が例えば３００ｄｐ
ｉから６００ｄｐｉになると、単純計算で１列に倍の圧
力室を並べる必要を生ずるが、ドット密度が倍になると
各圧力室が吐出するインク吐出量を半分以下、場合によ
っては１／４以下に抑えることができ、上記可動部分の
面積も小さくなる。このため、１列で並ぶ圧力室数が多
くなり、圧力室列数を過度に増やす必要がない。
は、まずアクチュエータの可動部分の厚さを抑えること
によって、圧力室用凹部の開口面積（可動部分の面積）
が小さくても必要な吐出量を確保することができるよう
にしている。そして、可動部分の面積を小さくすること
によって１列で並ぶ圧力室数を多くすることができるよ
うにしている。ここに、ドット密度が例えば３００ｄｐ
ｉから６００ｄｐｉになると、単純計算で１列に倍の圧
力室を並べる必要を生ずるが、ドット密度が倍になると
各圧力室が吐出するインク吐出量を半分以下、場合によ
っては１／４以下に抑えることができ、上記可動部分の
面積も小さくなる。このため、１列で並ぶ圧力室数が多
くなり、圧力室列数を過度に増やす必要がない。
【００１０】請求項３に係る発明は、請求項２に記載さ
れているインクジェットヘッドにおいて、上記アクチュ
エータの最大厚さが２〜８μｍ、上記複数の圧力室は複
数列に並びその列数が６〜１０列、並びにドット密度が
３００〜１２００ｄｐｉという３条件を満足することを
特徴とする。
れているインクジェットヘッドにおいて、上記アクチュ
エータの最大厚さが２〜８μｍ、上記複数の圧力室は複
数列に並びその列数が６〜１０列、並びにドット密度が
３００〜１２００ｄｐｉという３条件を満足することを
特徴とする。
【００１１】請求項４に係る発明は、請求項２又は請求
項３に記載されているインクジェットヘッドにおいて、
上記アクチュエータは、上記ヘッド本体の各凹部を塞ぎ
該凹部と共に圧力室を構成する振動板と、当該複数の圧
力室に対して個別に設けられ該振動板の各圧力室を構成
する可動部分に接合され該可動部分を変形させて該圧力
室内のインクを吐出させる薄膜圧電素子と、これら圧電
素子に個別に設けられ各圧電素子に電圧を印加するため
の個別電極とを備え、上記振動板の可動部分の厚さが１
〜５μｍであることを特徴とする。
項３に記載されているインクジェットヘッドにおいて、
上記アクチュエータは、上記ヘッド本体の各凹部を塞ぎ
該凹部と共に圧力室を構成する振動板と、当該複数の圧
力室に対して個別に設けられ該振動板の各圧力室を構成
する可動部分に接合され該可動部分を変形させて該圧力
室内のインクを吐出させる薄膜圧電素子と、これら圧電
素子に個別に設けられ各圧電素子に電圧を印加するため
の個別電極とを備え、上記振動板の可動部分の厚さが１
〜５μｍであることを特徴とする。
【００１２】請求項５に係る発明は、インクを供給する
ための供給口とインクを吐出するための吐出口とを有す
る複数の圧力室用凹部が形成されたヘッド本体と、該ヘ
ッド本体の各凹部を塞ぎ該凹部と共に圧力室を構成する
とともに電界誘起歪みを駆動源として変形し該圧力室内
のインクを吐出させる板状アクチュエータとを備えてい
るインクジェットヘッドにおいて、上記複数の圧力室は
複数の圧力室列に並んで配設され、上記アクチュエータ
は、上記ヘッド本体の各凹部を塞ぎ該凹部と共に圧力室
を構成する振動板と、当該複数の圧力室に対して個別に
設けられ該振動板の各圧力室を構成する可動部分に接合
され該可動部分を変形させて該圧力室内のインクを吐出
させる薄膜圧電素子と、これら圧電素子に個別に設けら
れ各圧電素子に電圧を印加するための個別電極とを備
え、上記圧電素子と個別電極とは、互いに重なった状態
で上記振動板表面に同一のパターンを描いて、該振動板
の各圧力室を構成する可動部分に該可動部分を変形させ
るための駆動部を形成しているとともに、該駆動部から
上記複数の圧力室列のうちの端に位置する圧力室列の外
側へ延びる導体部を形成し、且つ上記端の圧力室列より
も内側に位置する圧力室列の圧力室の駆動部から延びる
導体部が該端の圧力室列における相隣る圧力室間を通っ
ていることを特徴とする。
ための供給口とインクを吐出するための吐出口とを有す
る複数の圧力室用凹部が形成されたヘッド本体と、該ヘ
ッド本体の各凹部を塞ぎ該凹部と共に圧力室を構成する
とともに電界誘起歪みを駆動源として変形し該圧力室内
のインクを吐出させる板状アクチュエータとを備えてい
るインクジェットヘッドにおいて、上記複数の圧力室は
複数の圧力室列に並んで配設され、上記アクチュエータ
は、上記ヘッド本体の各凹部を塞ぎ該凹部と共に圧力室
を構成する振動板と、当該複数の圧力室に対して個別に
設けられ該振動板の各圧力室を構成する可動部分に接合
され該可動部分を変形させて該圧力室内のインクを吐出
させる薄膜圧電素子と、これら圧電素子に個別に設けら
れ各圧電素子に電圧を印加するための個別電極とを備
え、上記圧電素子と個別電極とは、互いに重なった状態
で上記振動板表面に同一のパターンを描いて、該振動板
の各圧力室を構成する可動部分に該可動部分を変形させ
るための駆動部を形成しているとともに、該駆動部から
上記複数の圧力室列のうちの端に位置する圧力室列の外
側へ延びる導体部を形成し、且つ上記端の圧力室列より
も内側に位置する圧力室列の圧力室の駆動部から延びる
導体部が該端の圧力室列における相隣る圧力室間を通っ
ていることを特徴とする。
【００１３】すなわち、相隣る圧力室の隔壁のヘッド表
面側を配線スペースとする場合、該スペースに絶縁層を
介して導体を配設し、該導体を圧力室の圧電素子に重ね
て接続することが考えられる。しかし、そのようにする
と、当該接続部に段差を生じ断線の原因となり易い。こ
の導体を薄膜にしようとすると特にその傾向が顕著にな
る。しかも、そのような接続配線は一般に難しい。
面側を配線スペースとする場合、該スペースに絶縁層を
介して導体を配設し、該導体を圧力室の圧電素子に重ね
て接続することが考えられる。しかし、そのようにする
と、当該接続部に段差を生じ断線の原因となり易い。こ
の導体を薄膜にしようとすると特にその傾向が顕著にな
る。しかも、そのような接続配線は一般に難しい。
【００１４】そこで、この発明では、薄膜圧電素子と個
別電極とは、互いに重なった状態で振動板表面に同一の
パターンを描いて、該振動板の各圧力室を構成する可動
部分に該可動部分を歪ませるための駆動部を形成してい
るとともに、該駆動部から上記複数の圧力室列のうちの
端に位置する圧力室列の外側へ延びる導体部を形成し、
且つ上記端の圧力室列よりも内側に位置する圧力室列の
圧力室の駆動部から延びる導体部が該端の圧力室列の相
隣る圧力室間を通るようにしているものである。これに
より、上記段差を生じなくなるとともに、上記パターン
の形成には圧電素子及び個別電極材の膜を積層した状態
に形成した後に、同時にパターニングするという手法を
採用することができるから、製造面でも有利になる。
別電極とは、互いに重なった状態で振動板表面に同一の
パターンを描いて、該振動板の各圧力室を構成する可動
部分に該可動部分を歪ませるための駆動部を形成してい
るとともに、該駆動部から上記複数の圧力室列のうちの
端に位置する圧力室列の外側へ延びる導体部を形成し、
且つ上記端の圧力室列よりも内側に位置する圧力室列の
圧力室の駆動部から延びる導体部が該端の圧力室列の相
隣る圧力室間を通るようにしているものである。これに
より、上記段差を生じなくなるとともに、上記パターン
の形成には圧電素子及び個別電極材の膜を積層した状態
に形成した後に、同時にパターニングするという手法を
採用することができるから、製造面でも有利になる。
【００１５】請求項６に係る発明は、請求項５に記載さ
れているインクジェットヘッドにおいて、上記アクチュ
エータの上記振動板の各圧力室を構成する可動部分と上
記駆動部とを合わせた厚さが８μｍ以下、上記複数の圧
力室は複数列に並びその列数が６〜１０列、並びに当該
ヘッドの主走査方向に１パスで打つことができる該主走
査方向に直交する副走査方向のドット密度が３００ｄｐ
ｉ以上という３条件を満足することを特徴とする。
れているインクジェットヘッドにおいて、上記アクチュ
エータの上記振動板の各圧力室を構成する可動部分と上
記駆動部とを合わせた厚さが８μｍ以下、上記複数の圧
力室は複数列に並びその列数が６〜１０列、並びに当該
ヘッドの主走査方向に１パスで打つことができる該主走
査方向に直交する副走査方向のドット密度が３００ｄｐ
ｉ以上という３条件を満足することを特徴とする。
【００１６】すなわち、所定長さのスペースにできるだ
け多くの圧力室を並べようとしても、所望の圧力室容積
を確保する必要上自ずとその並設個数に限界があり、ド
ット密度３００ｄｐｉ以上を実現するには圧力室を複数
の列に並べて配設する必要がある。しかし、圧力室の列
数が多くなるとそれだけヘッドの大型化を招く。この発
明は、圧力室の列数を６〜１０にすれば、アクチュエー
タの上記振動板の各圧力室を構成する可動部分と上記駆
動部とを合わせたの厚さを抑えることによって、ヘッド
の大型化を招くことなく３００ｄｐｉ以上の高ドット密
度を実現できることをとらえた点に特徴がある。
け多くの圧力室を並べようとしても、所望の圧力室容積
を確保する必要上自ずとその並設個数に限界があり、ド
ット密度３００ｄｐｉ以上を実現するには圧力室を複数
の列に並べて配設する必要がある。しかし、圧力室の列
数が多くなるとそれだけヘッドの大型化を招く。この発
明は、圧力室の列数を６〜１０にすれば、アクチュエー
タの上記振動板の各圧力室を構成する可動部分と上記駆
動部とを合わせたの厚さを抑えることによって、ヘッド
の大型化を招くことなく３００ｄｐｉ以上の高ドット密
度を実現できることをとらえた点に特徴がある。
【００１７】この点を具体的に説明すると、この発明で
は、まずアクチュエータの上記振動板の各圧力室を構成
する可動部分と上記駆動部とを合わせた厚さを抑えるこ
とによって、圧力室用凹部の開口面積（可動部分の面
積）が小さくても必要な吐出量を確保することができる
ようにしている。そして、可動部分の面積を小さくする
ことによって１列で並ぶ圧力室数を多くすることができ
るようにしている。ここに、ドット密度が例えば３００
ｄｐｉから６００ｄｐｉになると、単純計算で１列に倍
の圧力室を並べる必要を生ずるが、ドット密度が倍にな
ると各圧力室が吐出するインク吐出量を半分以下、場合
によっては１／４以下に抑えることができ、上記可動部
分の面積も小さくなる。このため、１列で並ぶ圧力室数
が多くなり、圧力室列数を過度に増やす必要がない。
は、まずアクチュエータの上記振動板の各圧力室を構成
する可動部分と上記駆動部とを合わせた厚さを抑えるこ
とによって、圧力室用凹部の開口面積（可動部分の面
積）が小さくても必要な吐出量を確保することができる
ようにしている。そして、可動部分の面積を小さくする
ことによって１列で並ぶ圧力室数を多くすることができ
るようにしている。ここに、ドット密度が例えば３００
ｄｐｉから６００ｄｐｉになると、単純計算で１列に倍
の圧力室を並べる必要を生ずるが、ドット密度が倍にな
ると各圧力室が吐出するインク吐出量を半分以下、場合
によっては１／４以下に抑えることができ、上記可動部
分の面積も小さくなる。このため、１列で並ぶ圧力室数
が多くなり、圧力室列数を過度に増やす必要がない。
【００１８】請求項７に係る発明は、請求項６に記載さ
れているインクジェットヘッドにおいて、上記アクチュ
エータの上記振動板の各圧力室を構成する可動部分と上
記駆動部とを合わせた最大厚さが２〜８μｍ、上記複数
の圧力室は複数列に並びその列数が６〜１０列、並びに
ドット密度が３００〜１２００ｄｐｉという３条件を満
足することを特徴とする。
れているインクジェットヘッドにおいて、上記アクチュ
エータの上記振動板の各圧力室を構成する可動部分と上
記駆動部とを合わせた最大厚さが２〜８μｍ、上記複数
の圧力室は複数列に並びその列数が６〜１０列、並びに
ドット密度が３００〜１２００ｄｐｉという３条件を満
足することを特徴とする。
【００１９】請求項８に係る発明は、請求項６又は請求
項７に記載されているインクジェットヘッドにおいて、
上記振動板の可動部分の厚さが１〜５μｍであることを
特徴とする。
項７に記載されているインクジェットヘッドにおいて、
上記振動板の可動部分の厚さが１〜５μｍであることを
特徴とする。
【００２０】請求項９に係る発明は、インクを供給する
ための供給口とインクを吐出するための吐出口とを有す
る複数の圧力室用凹部が形成されたヘッド本体と、該ヘ
ッド本体の各凹部を塞ぎ該凹部と共に圧力室を構成する
とともに電界誘起歪みを駆動源として変形し該圧力室内
のインクを吐出させる板状アクチュエータと、該アクチ
ュエータの各圧力室に対して個別に設けられた個別電極
のための電気接点群とを備えたインクジェットヘッドで
あって、上記各圧力室は３列以上の圧力室列に並んで配
設され、上記３列以上の圧力室列のうちの端に位置する
第１列よりも内側に位置する第２列の圧力室に対して設
けられた前記個別電極と前記電気接点群の対応する接点
とを結ぶ導体が、上記第１列における相隣る圧力室間を
通っていることを特徴とする。
ための供給口とインクを吐出するための吐出口とを有す
る複数の圧力室用凹部が形成されたヘッド本体と、該ヘ
ッド本体の各凹部を塞ぎ該凹部と共に圧力室を構成する
とともに電界誘起歪みを駆動源として変形し該圧力室内
のインクを吐出させる板状アクチュエータと、該アクチ
ュエータの各圧力室に対して個別に設けられた個別電極
のための電気接点群とを備えたインクジェットヘッドで
あって、上記各圧力室は３列以上の圧力室列に並んで配
設され、上記３列以上の圧力室列のうちの端に位置する
第１列よりも内側に位置する第２列の圧力室に対して設
けられた前記個別電極と前記電気接点群の対応する接点
とを結ぶ導体が、上記第１列における相隣る圧力室間を
通っていることを特徴とする。
【００２１】従って、請求項１に係る発明と同様に電気
接点に対する配線が容易になるとともに、圧力室を密に
配設できる。
接点に対する配線が容易になるとともに、圧力室を密に
配設できる。
【００２２】請求項１０に係る発明は、請求項１〜９の
いずれか一に記載されているインクジェットヘッドにお
いて、上記圧力室用凹部の開口部の形状が小判形である
ことを特徴とする。
いずれか一に記載されているインクジェットヘッドにお
いて、上記圧力室用凹部の開口部の形状が小判形である
ことを特徴とする。
【００２３】従って、従来の開口部の形状を短冊形にし
た従来のものに比べて、圧力室用凹部の開口部に対応す
る板状アクチュエータの可動部分が小面積であっても、
その変形量を大きくしてインク吐出量を多くすることが
容易になり、階調性をもったインクの吐出制御に有利に
なり、また、圧力室用凹部の開口部を小面積にしてドッ
トの高密度化、ヘッドの小型化を図る上で有利になる。
た従来のものに比べて、圧力室用凹部の開口部に対応す
る板状アクチュエータの可動部分が小面積であっても、
その変形量を大きくしてインク吐出量を多くすることが
容易になり、階調性をもったインクの吐出制御に有利に
なり、また、圧力室用凹部の開口部を小面積にしてドッ
トの高密度化、ヘッドの小型化を図る上で有利になる。
【００２４】請求項１１に係る発明は、請求項１〜１０
のいずれか一に記載されているインクジェットヘッドに
おいて、上記各圧力室列の圧力室は隣の圧力室列の相隣
る圧力室の間に対応する部位に存するように千鳥状に配
置されていることを特徴とする。
のいずれか一に記載されているインクジェットヘッドに
おいて、上記各圧力室列の圧力室は隣の圧力室列の相隣
る圧力室の間に対応する部位に存するように千鳥状に配
置されていることを特徴とする。
【００２５】すなわち、圧力室が千鳥状に配設されてい
るから該圧力室の配置が密になり、ヘッドの小型化に有
利になる。
るから該圧力室の配置が密になり、ヘッドの小型化に有
利になる。
【００２６】請求項１２に係る発明は、請求項５に記載
されているインクジェットヘッドの製造方法であって、
基板の表面に上記個別電極用の膜を形成する工程と、上
記個別電極用の膜の表面に上記圧電素子用の膜を形成す
る工程と、上記個別電極用の膜及び上記圧電素子用の膜
に対してパターニングすることにより、上記駆動部及び
導体部を形成する工程と、上記駆動部及び導体部の表面
を覆う振動板を形成する工程と、上記振動板の表面に上
記圧力室形成用のプレートを接合する工程と、上記基板
を除去する工程とを備えていることを特徴とする。
されているインクジェットヘッドの製造方法であって、
基板の表面に上記個別電極用の膜を形成する工程と、上
記個別電極用の膜の表面に上記圧電素子用の膜を形成す
る工程と、上記個別電極用の膜及び上記圧電素子用の膜
に対してパターニングすることにより、上記駆動部及び
導体部を形成する工程と、上記駆動部及び導体部の表面
を覆う振動板を形成する工程と、上記振動板の表面に上
記圧力室形成用のプレートを接合する工程と、上記基板
を除去する工程とを備えていることを特徴とする。
【００２７】これにより、薄膜圧電素子と個別電極と
は、互いに重なった状態で振動板表面に同一のパターン
を描いて、該振動板の各圧力室を構成する可動部分に該
可動部分を歪ませるための駆動部を形成しているととも
に、該駆動部から上記複数の圧力室列のうちの端に位置
する圧力室列の外側へ延びる導体部を形成し、且つ上記
端の圧力室列よりも内側に位置する圧力室の駆動部から
延びる導体部が該端の圧力室列の相隣る圧力室間を通る
インクジェットヘッドを得ることができる。
は、互いに重なった状態で振動板表面に同一のパターン
を描いて、該振動板の各圧力室を構成する可動部分に該
可動部分を歪ませるための駆動部を形成しているととも
に、該駆動部から上記複数の圧力室列のうちの端に位置
する圧力室列の外側へ延びる導体部を形成し、且つ上記
端の圧力室列よりも内側に位置する圧力室の駆動部から
延びる導体部が該端の圧力室列の相隣る圧力室間を通る
インクジェットヘッドを得ることができる。
【００２８】また、相隣る圧力室の隔壁のヘッド表面側
を配線スペースとする場合、該スペースに絶縁層を介し
て導体を配設し、該導体を圧力室の圧電素子に重ねて接
続することが考えられるが、当該接続部に段差を生じ断
線の原因となり易く、この導体を薄膜にしようとすると
特にその傾向が顕著になり、しかも、そのような接続配
線は一般に難しいが、本発明によれば、これらの問題が
解決される。
を配線スペースとする場合、該スペースに絶縁層を介し
て導体を配設し、該導体を圧力室の圧電素子に重ねて接
続することが考えられるが、当該接続部に段差を生じ断
線の原因となり易く、この導体を薄膜にしようとすると
特にその傾向が顕著になり、しかも、そのような接続配
線は一般に難しいが、本発明によれば、これらの問題が
解決される。
【００２９】請求項１３に係る発明は、請求項１２に記
載されているインクジェットヘッドの製造方法におい
て、上記個別電極用の膜の形成はスパッタリングによっ
て行なうことを特徴する。
載されているインクジェットヘッドの製造方法におい
て、上記個別電極用の膜の形成はスパッタリングによっ
て行なうことを特徴する。
【００３０】請求項１４に係る発明は、請求項１２又は
請求項１３に記載されているインクジェットヘッドの製
造方法において、上記圧電素子用の膜の形成はスパッタ
リングによって行なうことを特徴とする。
請求項１３に記載されているインクジェットヘッドの製
造方法において、上記圧電素子用の膜の形成はスパッタ
リングによって行なうことを特徴とする。
【００３１】請求項１５に係る発明は、請求項１２〜１
４のいずれか一に記載されているインクジェットヘッド
の製造方法において、上記振動板の形成はスパッタリン
グによって行なうことを特徴とする。
４のいずれか一に記載されているインクジェットヘッド
の製造方法において、上記振動板の形成はスパッタリン
グによって行なうことを特徴とする。
【００３２】請求項１６に係る発明は、請求項１２〜１
５のいずれか一に記載されているインクジェットヘッド
の製造方法において、上記パターニングは化学エッチン
グ又はイオンミリングによって行なうことを特徴とす
る。
５のいずれか一に記載されているインクジェットヘッド
の製造方法において、上記パターニングは化学エッチン
グ又はイオンミリングによって行なうことを特徴とす
る。
【００３３】請求項１７に係る発明は、請求項１〜１１
のいずれか一に記載されているインクジェットヘッド
と、記録紙を搬送する記録紙搬送装置とを備えているこ
とを特徴とするインクジェットプリンタである。
のいずれか一に記載されているインクジェットヘッド
と、記録紙を搬送する記録紙搬送装置とを備えているこ
とを特徴とするインクジェットプリンタである。
【００３４】
【発明の効果】以上のように、請求項１に係る発明によ
れば、電界誘起歪みを駆動源として変形し圧力室内のイ
ンクを吐出させる板状アクチュエータを備えているイン
クジェットヘッドにおいて、複数の圧力室を３列以上の
圧力室列に並べ、該３列以上の圧力室列のうちの端の圧
力室列の外側に個別電極用の電気接点群を設け、該端の
圧力室列より内側に位置する２列以上の異なる圧力室列
に配設された圧力室の個別電極と上記電気接点群の対応
する接点とを結ぶ導体が、上記ヘッド本体表面側の上記
端の圧力室列の相隣る圧力室間を複数本通るようにした
から、電気接点に対する配線が容易になるとともに、圧
力室を密に配設できるようになり、ドットの高密度化及
びヘッドの小型化に有利になる。
れば、電界誘起歪みを駆動源として変形し圧力室内のイ
ンクを吐出させる板状アクチュエータを備えているイン
クジェットヘッドにおいて、複数の圧力室を３列以上の
圧力室列に並べ、該３列以上の圧力室列のうちの端の圧
力室列の外側に個別電極用の電気接点群を設け、該端の
圧力室列より内側に位置する２列以上の異なる圧力室列
に配設された圧力室の個別電極と上記電気接点群の対応
する接点とを結ぶ導体が、上記ヘッド本体表面側の上記
端の圧力室列の相隣る圧力室間を複数本通るようにした
から、電気接点に対する配線が容易になるとともに、圧
力室を密に配設できるようになり、ドットの高密度化及
びヘッドの小型化に有利になる。
【００３５】請求項２に係る発明によれば、請求項１に
記載されているインクジェットヘッドにおいて、上記ア
クチュエータの可動部分の厚さが８μｍ以下、複数の圧
力室が複数列に並びその列数が６〜１０列、並びに当該
ヘッドの主走査方向に１パスで打つことができる該主走
査方向に直交する副走査方向のドット密度が３００ｄｐ
ｉ以上という３条件を満足するものであるから、ヘッド
の大型化を招くことなく３００ｄｐｉ以上の高ドット密
度を実現することができる。
記載されているインクジェットヘッドにおいて、上記ア
クチュエータの可動部分の厚さが８μｍ以下、複数の圧
力室が複数列に並びその列数が６〜１０列、並びに当該
ヘッドの主走査方向に１パスで打つことができる該主走
査方向に直交する副走査方向のドット密度が３００ｄｐ
ｉ以上という３条件を満足するものであるから、ヘッド
の大型化を招くことなく３００ｄｐｉ以上の高ドット密
度を実現することができる。
【００３６】請求項３に係る発明によれば、請求項２に
記載されているインクジェットヘッドにおいて、上記ア
クチュエータの可動部分の最大厚さが２〜８μｍ、上記
複数の圧力室は複数列に並びその列数が６〜１０列、並
びにドット密度が３００〜１２００ｄｐｉという３条件
を満足するものであるから、請求項２に係る発明と同様
の効果が得られる。
記載されているインクジェットヘッドにおいて、上記ア
クチュエータの可動部分の最大厚さが２〜８μｍ、上記
複数の圧力室は複数列に並びその列数が６〜１０列、並
びにドット密度が３００〜１２００ｄｐｉという３条件
を満足するものであるから、請求項２に係る発明と同様
の効果が得られる。
【００３７】請求項４に係る発明によれば、請求項２又
は請求項３に記載されているインクジェットヘッドにお
いて、上記アクチュエータを構成する振動板の可動部分
の厚さが１〜５μｍであるから、請求項２又は請求項３
に係る発明と同様の効果を得ることができる。
は請求項３に記載されているインクジェットヘッドにお
いて、上記アクチュエータを構成する振動板の可動部分
の厚さが１〜５μｍであるから、請求項２又は請求項３
に係る発明と同様の効果を得ることができる。
【００３８】請求項５に係る発明によれば、電界誘起歪
みを駆動源として変形し圧力室内のインクを吐出させる
板状アクチュエータを備えているインクジェットヘッド
において、複数の圧力室を複数の圧力室列に並べ、上記
アクチュエータを構成する薄膜圧電素子と個別電極と
が、互いに重なった状態で振動板表面に同一のパターン
を描いて、振動板の可動部分を歪ませる駆動部並びに該
駆動部から上記複数の圧力室列のうちの端の圧力室列の
外側へ延びる導体部を形成し、且つ内側の圧力室列の圧
力室の駆動部から延びる導体部が端の圧力室列の相隣る
圧力室間を通るようにしたから、請求項１に係る発明と
同様に電気接点に対する配線が容易になるとともに、ド
ットの高密度化及びヘッドの小型化に有利になり、しか
も断線が避けられるとともに、製造面でも有利になる。
みを駆動源として変形し圧力室内のインクを吐出させる
板状アクチュエータを備えているインクジェットヘッド
において、複数の圧力室を複数の圧力室列に並べ、上記
アクチュエータを構成する薄膜圧電素子と個別電極と
が、互いに重なった状態で振動板表面に同一のパターン
を描いて、振動板の可動部分を歪ませる駆動部並びに該
駆動部から上記複数の圧力室列のうちの端の圧力室列の
外側へ延びる導体部を形成し、且つ内側の圧力室列の圧
力室の駆動部から延びる導体部が端の圧力室列の相隣る
圧力室間を通るようにしたから、請求項１に係る発明と
同様に電気接点に対する配線が容易になるとともに、ド
ットの高密度化及びヘッドの小型化に有利になり、しか
も断線が避けられるとともに、製造面でも有利になる。
【００３９】請求項６に係る発明によれば、請求項５に
記載されているインクジェットヘッドにおいて、上記ア
クチュエータの上記振動板の各圧力室を構成する可動部
分と上記駆動部とを合わせた厚さが可動部分の厚さが８
μｍ以下、複数の圧力室が複数列に並びその列数が６〜
１０列、並びに当該ヘッドの主走査方向に１パスで打つ
ことができる該主走査方向に直交する副走査方向のドッ
ト密度が３００ｄｐｉ以上という３条件を満足するもの
であるから、ヘッドの大型化を招くことなく３００ｄｐ
ｉ以上の高ドット密度を実現することができる。
記載されているインクジェットヘッドにおいて、上記ア
クチュエータの上記振動板の各圧力室を構成する可動部
分と上記駆動部とを合わせた厚さが可動部分の厚さが８
μｍ以下、複数の圧力室が複数列に並びその列数が６〜
１０列、並びに当該ヘッドの主走査方向に１パスで打つ
ことができる該主走査方向に直交する副走査方向のドッ
ト密度が３００ｄｐｉ以上という３条件を満足するもの
であるから、ヘッドの大型化を招くことなく３００ｄｐ
ｉ以上の高ドット密度を実現することができる。
【００４０】請求項７に係る発明によれば、請求項６に
記載されているインクジェットヘッドにおいて、上記ア
クチュエータの上記振動板の各圧力室を構成する可動部
分と上記駆動部とを合わせた可動部分の最大厚さが２〜
８μｍ、上記複数の圧力室は複数列に並びその列数が６
〜１０列、並びにドット密度が３００〜１２００ｄｐｉ
という３条件を満足するものであるから、請求項６に係
る発明と同様の効果が得られる。
記載されているインクジェットヘッドにおいて、上記ア
クチュエータの上記振動板の各圧力室を構成する可動部
分と上記駆動部とを合わせた可動部分の最大厚さが２〜
８μｍ、上記複数の圧力室は複数列に並びその列数が６
〜１０列、並びにドット密度が３００〜１２００ｄｐｉ
という３条件を満足するものであるから、請求項６に係
る発明と同様の効果が得られる。
【００４１】請求項８に係る発明によれば、請求項６又
は請求項７に記載されているインクジェットヘッドにお
いて、上記アクチュエータを構成する振動板の可動部分
の厚さが１〜５μｍであるから、請求項６又は請求項７
に係る発明と同様の効果を得ることができる。
は請求項７に記載されているインクジェットヘッドにお
いて、上記アクチュエータを構成する振動板の可動部分
の厚さが１〜５μｍであるから、請求項６又は請求項７
に係る発明と同様の効果を得ることができる。
【００４２】請求項９に係る発明によれば、電界誘起歪
みを駆動源として変形し該圧力室内のインクを吐出させ
る板状アクチュエータと、該アクチュエータの各圧力室
に対して個別に設けられた個別電極のための電気接点群
とを備えたインクジェットヘッドにおいて、上記各圧力
室は３列以上の圧力室列に並んで配設され、該３列以上
の圧力室列のうちの端に位置する第１列よりも内側に位
置する第２列の圧力室に対して設けられた前記個別電極
と前記電気接点群とを結ぶ導体が、上記第１列における
相隣る圧力室間を通っているから、請求項１に係る発明
と同様に電気接点に対する配線が容易になるとともに、
圧力室を密に配設できるようになり、ドットの高密度化
及びヘッドの小型化に有利になる。
みを駆動源として変形し該圧力室内のインクを吐出させ
る板状アクチュエータと、該アクチュエータの各圧力室
に対して個別に設けられた個別電極のための電気接点群
とを備えたインクジェットヘッドにおいて、上記各圧力
室は３列以上の圧力室列に並んで配設され、該３列以上
の圧力室列のうちの端に位置する第１列よりも内側に位
置する第２列の圧力室に対して設けられた前記個別電極
と前記電気接点群とを結ぶ導体が、上記第１列における
相隣る圧力室間を通っているから、請求項１に係る発明
と同様に電気接点に対する配線が容易になるとともに、
圧力室を密に配設できるようになり、ドットの高密度化
及びヘッドの小型化に有利になる。
【００４３】請求項１０に係る発明によれば、請求項１
〜９のいずれか一に記載されているインクジェットヘッ
ドにおいて、上記圧力室用凹部の開口部の形状が小判形
であるから、階調性をもったインクの吐出制御、ドット
の高密度化、ヘッドの小型化を図る上で有利になる。
〜９のいずれか一に記載されているインクジェットヘッ
ドにおいて、上記圧力室用凹部の開口部の形状が小判形
であるから、階調性をもったインクの吐出制御、ドット
の高密度化、ヘッドの小型化を図る上で有利になる。
【００４４】請求項１１に係る発明は、請求項１〜１０
のいずれか一に記載されているインクジェットヘッドに
おいて、各圧力室列の圧力室は隣の圧力室列の相隣る圧
力室の間に対応する部位に存するように千鳥状に配置さ
れているから、ドット密度の確保に有利になり、また、
ヘッドの小型化に有利になる。
のいずれか一に記載されているインクジェットヘッドに
おいて、各圧力室列の圧力室は隣の圧力室列の相隣る圧
力室の間に対応する部位に存するように千鳥状に配置さ
れているから、ドット密度の確保に有利になり、また、
ヘッドの小型化に有利になる。
【００４５】請求項１２に係る発明によれば、請求項５
に記載されているインクジェットヘッドの製造方法であ
って、基板の表面に上記個別電極用の膜を形成する工程
と、上記個別電極用の膜の表面に上記圧電素子用の膜を
形成する工程と、上記個別電極用の膜及び上記圧電素子
用の膜に対してパターニングすることにより、上記駆動
部及び導体部を形成する工程と、上記駆動部及び導体部
の表面を覆う振動板を形成する工程と、上記振動板の表
面に上記圧力室形成用のプレートを接合する工程と、上
記基板を除去する工程とを備えているから、薄膜圧電素
子と個別電極とが、互いに重なった状態で振動板表面に
同一のパターンを描いて、該振動板の各圧力室を構成す
る可動部分に該可動部分を歪ませるための駆動部を形成
しているとともに、該駆動部から上記複数の圧力室列の
うちの端に位置する圧力室列の外側へ延びる導体部を形
成し、且つ上記端の圧力室列よりも内側に位置する圧力
室の駆動部から延びる導体部が該端の圧力室列の相隣る
圧力室間を通るインクジェットヘッドを得ることができ
る。また、相隣る圧力室の隔壁のヘッド表面側を配線ス
ペースとする場合、該スペースに絶縁層を介して導体を
配設し、該導体を圧力室の圧電素子に重ねて接続するこ
とが考えられるが、当該接続部に段差を生じ断線の原因
となり易く、この導体を薄膜にしようとすると特にその
傾向が顕著になり、しかも、そのような接続配線は一般
に難しいが、本発明によれば、これらの問題が解決され
る。
に記載されているインクジェットヘッドの製造方法であ
って、基板の表面に上記個別電極用の膜を形成する工程
と、上記個別電極用の膜の表面に上記圧電素子用の膜を
形成する工程と、上記個別電極用の膜及び上記圧電素子
用の膜に対してパターニングすることにより、上記駆動
部及び導体部を形成する工程と、上記駆動部及び導体部
の表面を覆う振動板を形成する工程と、上記振動板の表
面に上記圧力室形成用のプレートを接合する工程と、上
記基板を除去する工程とを備えているから、薄膜圧電素
子と個別電極とが、互いに重なった状態で振動板表面に
同一のパターンを描いて、該振動板の各圧力室を構成す
る可動部分に該可動部分を歪ませるための駆動部を形成
しているとともに、該駆動部から上記複数の圧力室列の
うちの端に位置する圧力室列の外側へ延びる導体部を形
成し、且つ上記端の圧力室列よりも内側に位置する圧力
室の駆動部から延びる導体部が該端の圧力室列の相隣る
圧力室間を通るインクジェットヘッドを得ることができ
る。また、相隣る圧力室の隔壁のヘッド表面側を配線ス
ペースとする場合、該スペースに絶縁層を介して導体を
配設し、該導体を圧力室の圧電素子に重ねて接続するこ
とが考えられるが、当該接続部に段差を生じ断線の原因
となり易く、この導体を薄膜にしようとすると特にその
傾向が顕著になり、しかも、そのような接続配線は一般
に難しいが、本発明によれば、これらの問題が解決され
る。
【００４６】請求項１３に係る発明に係る発明によれ
ば、請求項１２に記載されているインクジェットヘッド
の製造方法において、上記個別電極用の膜の形成はスパ
ッタリングによって行なうから、請求項１２に係る発明
と同様の効果が得られる。
ば、請求項１２に記載されているインクジェットヘッド
の製造方法において、上記個別電極用の膜の形成はスパ
ッタリングによって行なうから、請求項１２に係る発明
と同様の効果が得られる。
【００４７】請求項１４に係る発明によれば、請求項１
２又は請求項１３に記載されているインクジェットヘッ
ドの製造方法において、上記圧電素子用の膜の形成はス
パッタリングによって行なうから、請求項１２又は請求
項１３に係る発明と同様の効果が得られる。
２又は請求項１３に記載されているインクジェットヘッ
ドの製造方法において、上記圧電素子用の膜の形成はス
パッタリングによって行なうから、請求項１２又は請求
項１３に係る発明と同様の効果が得られる。
【００４８】請求項１５に係る発明によれば、請求項１
２〜１４いずれか一に記載されているインクジェットヘ
ッドの製造方法において、上記振動板の形成はスパッタ
リングによって行なうから、請求項１２〜１４の各発明
と同様の効果が得られる。
２〜１４いずれか一に記載されているインクジェットヘ
ッドの製造方法において、上記振動板の形成はスパッタ
リングによって行なうから、請求項１２〜１４の各発明
と同様の効果が得られる。
【００４９】請求項１６に係る発明によれば、請求項１
２〜１５いずれか一に記載されているインクジェットヘ
ッドの製造方法において、上記パターニングは化学エッ
チング又はイオンミリングによって行なうから、請求項
１２〜１５の各発明と同様の効果が得られる。
２〜１５いずれか一に記載されているインクジェットヘ
ッドの製造方法において、上記パターニングは化学エッ
チング又はイオンミリングによって行なうから、請求項
１２〜１５の各発明と同様の効果が得られる。
【００５０】請求項１７に係る発明によれば、請求項１
〜１１のいずれか一に記載されているインクジェットヘ
ッドと、記録紙を搬送する記録紙搬送装置とを備えてい
ることを特徴とするインクジェットプリンタであるか
ら、請求項１〜１１の各効果を有するインクジェットプ
リンタが得られる。
〜１１のいずれか一に記載されているインクジェットヘ
ッドと、記録紙を搬送する記録紙搬送装置とを備えてい
ることを特徴とするインクジェットプリンタであるか
ら、請求項１〜１１の各効果を有するインクジェットプ
リンタが得られる。
【００５１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
に基づいて説明する。
【００５２】図１に示すインクジェットプリンタにおい
て、１はインクジェットヘッドであり、キャリッジ２に
搭載されキャリッジ軸３に案内されながら駆動手段（図
示省略）により往復動するようになっている。このキャ
リッジ２とキャリッジ軸３とはインクジェットヘッド１
と記録紙７とを相対移動させる手段を構成している。こ
の相対移動方向Ｘがインクジェットヘッド１の主走査方
向である。
て、１はインクジェットヘッドであり、キャリッジ２に
搭載されキャリッジ軸３に案内されながら駆動手段（図
示省略）により往復動するようになっている。このキャ
リッジ２とキャリッジ軸３とはインクジェットヘッド１
と記録紙７とを相対移動させる手段を構成している。こ
の相対移動方向Ｘがインクジェットヘッド１の主走査方
向である。
【００５３】４はインクジェットヘッド１に対向するよ
うに配置された対向電極であり、該インクジェットヘッ
ド１と対向電極４とには、インクジェットヘッド１側が
接地された状態で電源５によって所定の高電圧（例えば
−１．８ＫＶ）が印加されるようになっている。６は記
録紙７をキャリッジ軸３に対して垂直方向に搬送する記
録紙搬送装置であり、記録紙７はインクジェットヘッド
１と対向電極４との間を搬送される。この搬送方向Ｙが
上記主走査方向に直交する副走査方向となる。
うに配置された対向電極であり、該インクジェットヘッ
ド１と対向電極４とには、インクジェットヘッド１側が
接地された状態で電源５によって所定の高電圧（例えば
−１．８ＫＶ）が印加されるようになっている。６は記
録紙７をキャリッジ軸３に対して垂直方向に搬送する記
録紙搬送装置であり、記録紙７はインクジェットヘッド
１と対向電極４との間を搬送される。この搬送方向Ｙが
上記主走査方向に直交する副走査方向となる。
【００５４】上記高電圧はインクジェットヘッド１の後
述するノズル板と対向電極４との間に印加されるもので
あり、これにより、ノズル板から吐出するインク液滴が
正に帯電し、ノズル板と対向電極４との間の静電界によ
り、インク液滴は加速されながら記録紙７に飛翔するこ
とになる。
述するノズル板と対向電極４との間に印加されるもので
あり、これにより、ノズル板から吐出するインク液滴が
正に帯電し、ノズル板と対向電極４との間の静電界によ
り、インク液滴は加速されながら記録紙７に飛翔するこ
とになる。
【００５５】インクジェットヘッド１の具体的構成は図
２以下に示されている。図２においに示すインクジェッ
トヘッド１において、１１はインクを吐出させるための
多数の圧力室１２が形成されたヘッド本体（基板）、１
３は各圧力室１２のアクチュエータ１４の圧電素子に電
圧を印加するためのＩＣチップである。同例では多数の
圧力室１２が副走査方向の８列に並んで配設されてい
る。
２以下に示されている。図２においに示すインクジェッ
トヘッド１において、１１はインクを吐出させるための
多数の圧力室１２が形成されたヘッド本体（基板）、１
３は各圧力室１２のアクチュエータ１４の圧電素子に電
圧を印加するためのＩＣチップである。同例では多数の
圧力室１２が副走査方向の８列に並んで配設されてい
る。
【００５６】ヘッド本体１１は、図３に示すように、圧
力室形成用の貫通孔を有する第１プレート１５、インク
供給口１６及びインク吐出口１７を有する第２プレート
１８、インク供給用流路１９及びインク吐出用流路２０
を形成するための第３及び第４の各プレート２１，２
２、並びにインク吐出孔２３を有する第５プレート（ノ
ズル板）２４が上下に重ね接合されて構成されている。
すなわち、第１プレート１５と第２プレート１８とによ
ってインク供給口１６とインク吐出口１７とを底面に有
する圧力室用凹部２５が形成され、第２〜第４プレート
１８，２１，２２によって上記インク供給口１６につな
がるインク供給用流路１９及び上記インク吐出口１７に
つながるインク吐出用流路２０が形成され、該インク吐
出用流路２０は第５プレート２４のインク吐出孔２３に
つながっている。そうして、上記第１プレート１５の上
に上記圧力室用凹部２５の開口を塞ぐようにアクチュエ
ータ１４が設けられて、上記圧力室１２が形成されてい
る。
力室形成用の貫通孔を有する第１プレート１５、インク
供給口１６及びインク吐出口１７を有する第２プレート
１８、インク供給用流路１９及びインク吐出用流路２０
を形成するための第３及び第４の各プレート２１，２
２、並びにインク吐出孔２３を有する第５プレート（ノ
ズル板）２４が上下に重ね接合されて構成されている。
すなわち、第１プレート１５と第２プレート１８とによ
ってインク供給口１６とインク吐出口１７とを底面に有
する圧力室用凹部２５が形成され、第２〜第４プレート
１８，２１，２２によって上記インク供給口１６につな
がるインク供給用流路１９及び上記インク吐出口１７に
つながるインク吐出用流路２０が形成され、該インク吐
出用流路２０は第５プレート２４のインク吐出孔２３に
つながっている。そうして、上記第１プレート１５の上
に上記圧力室用凹部２５の開口を塞ぐようにアクチュエ
ータ１４が設けられて、上記圧力室１２が形成されてい
る。
【００５７】上記圧力室用凹部２５の開口部の形状は図
４に具体的に示されている。それは、長径Ｌと短径Ｓと
の比Ｌ／Ｓが１〜３の小判形であり、長径Ｌが主走査方
向になるように設けられている。
４に具体的に示されている。それは、長径Ｌと短径Ｓと
の比Ｌ／Ｓが１〜３の小判形であり、長径Ｌが主走査方
向になるように設けられている。
【００５８】上記アクチュエータ１４は、図５に示すよ
うに、多数の圧力室用凹部２５を覆うように設けられた
薄膜の振動板３１と、該振動板３１の各圧力室１２を構
成する可動部分３１ａの上に重ねて接合された薄膜の圧
電素子３２と、該圧電素子３２の上に重ねて接合された
薄膜の個別電極３３とによって構成されている。この場
合、振動板３１はＣｒ又はＣｒ系材料によって形成され
た厚さ１〜５μｍのものであり、全ての圧力室１２のイ
ンク吐出に兼用される共通電極になっている。これに対
し、圧電素子３２及び個別電極３３は各圧力室１２に個
別に設けられている。圧電素子３２はＰＺＴによって形
成されていて、その厚さは１〜７μｍである。個別電極
３３はＰｔ又はＰｔ系材料によって形成されていて、そ
の厚さは１μｍ以下、例えば０．１μｍである。
うに、多数の圧力室用凹部２５を覆うように設けられた
薄膜の振動板３１と、該振動板３１の各圧力室１２を構
成する可動部分３１ａの上に重ねて接合された薄膜の圧
電素子３２と、該圧電素子３２の上に重ねて接合された
薄膜の個別電極３３とによって構成されている。この場
合、振動板３１はＣｒ又はＣｒ系材料によって形成され
た厚さ１〜５μｍのものであり、全ての圧力室１２のイ
ンク吐出に兼用される共通電極になっている。これに対
し、圧電素子３２及び個別電極３３は各圧力室１２に個
別に設けられている。圧電素子３２はＰＺＴによって形
成されていて、その厚さは１〜７μｍである。個別電極
３３はＰｔ又はＰｔ系材料によって形成されていて、そ
の厚さは１μｍ以下、例えば０．１μｍである。
【００５９】上記インクジェットヘッド１の圧力室１２
等の具体的な配置は図６に示されている。同図は８列の
圧力室列のうちの図１における左側４列を示すものであ
り、いずれの圧力室１２もその長径Ｌが列方向と直交す
るように設けられている。また、同図において左端に位
置する第１列の圧力室１２の群に対して第２列目の各圧
力室１２は第１列目の相隣る圧力室１２，１２の間に対
応する部位に配置されており、第２列目の圧力室１２の
配置と第３列目の圧力室１２の配置との関係、及び第３
列目の圧力室１２の配置と第４列目の圧力室１２の配置
との関係も、上記第１列目の圧力室１２の配置と第２列
目の圧力室１２の配置との関係と同じである。すなわ
ち、多数の圧力室１２は複数の列に並べて且つ隣り合う
列の圧力室同士の位置がずれた千鳥状になるように配置
されている。
等の具体的な配置は図６に示されている。同図は８列の
圧力室列のうちの図１における左側４列を示すものであ
り、いずれの圧力室１２もその長径Ｌが列方向と直交す
るように設けられている。また、同図において左端に位
置する第１列の圧力室１２の群に対して第２列目の各圧
力室１２は第１列目の相隣る圧力室１２，１２の間に対
応する部位に配置されており、第２列目の圧力室１２の
配置と第３列目の圧力室１２の配置との関係、及び第３
列目の圧力室１２の配置と第４列目の圧力室１２の配置
との関係も、上記第１列目の圧力室１２の配置と第２列
目の圧力室１２の配置との関係と同じである。すなわ
ち、多数の圧力室１２は複数の列に並べて且つ隣り合う
列の圧力室同士の位置がずれた千鳥状になるように配置
されている。
【００６０】但し、各列の圧力室１２は当該列方向と直
交する同一直線上に並ぶことはなく、互いに列方向に少
しずつずれている。これは、互いのドット位置を副走査
方向にずらすためである。
交する同一直線上に並ぶことはなく、互いに列方向に少
しずつずれている。これは、互いのドット位置を副走査
方向にずらすためである。
【００６１】図６に示す左側４列だけでなく、図１にお
ける右側４列の圧力室１２も千鳥状に配置されている
が、これら右側４列の圧力室１２も互いに列方向に少し
ずつずれており且つ上記左側４列のいずれの圧力室１２
との関係でも同一直線上に並ぶことがないように互いに
列方向にずれている。
ける右側４列の圧力室１２も千鳥状に配置されている
が、これら右側４列の圧力室１２も互いに列方向に少し
ずつずれており且つ上記左側４列のいずれの圧力室１２
との関係でも同一直線上に並ぶことがないように互いに
列方向にずれている。
【００６２】次に上記各圧力室１２に個別に設けられた
圧電素子３２及び個別電極３３は、互いに重なった状態
で振動板３１の表面に同一のパターンを描いて、該振動
板３１の可動部分３１ａに該可動部分３１ａを変形させ
るための駆動部３５を形成し、該駆動部３５から上記左
端の圧力室列の外側へ延びる導体部３６を形成し、さら
に、この左端圧力室列の外側に電気接点部３７を形成し
ている。この場合、共通電極である振動板３１と個別電
極３３とは圧電素子３２によって絶縁されていることに
なる。各電気接点部３７はＩＣチップ１３の電極部（ボ
ンディングパッド）に導線３８で接続されている（ワイ
ヤボンディング）。
圧電素子３２及び個別電極３３は、互いに重なった状態
で振動板３１の表面に同一のパターンを描いて、該振動
板３１の可動部分３１ａに該可動部分３１ａを変形させ
るための駆動部３５を形成し、該駆動部３５から上記左
端の圧力室列の外側へ延びる導体部３６を形成し、さら
に、この左端圧力室列の外側に電気接点部３７を形成し
ている。この場合、共通電極である振動板３１と個別電
極３３とは圧電素子３２によって絶縁されていることに
なる。各電気接点部３７はＩＣチップ１３の電極部（ボ
ンディングパッド）に導線３８で接続されている（ワイ
ヤボンディング）。
【００６３】そうして、上記左端の圧力室列よりも内側
に位置する各列の圧力室１２の駆動部３５から延びる導
体部３６は、他の列の相隣る圧力室１２，１２の間又は
隣り合う列の圧力室１２，１２の間を通っている。
に位置する各列の圧力室１２の駆動部３５から延びる導
体部３６は、他の列の相隣る圧力室１２，１２の間又は
隣り合う列の圧力室１２，１２の間を通っている。
【００６４】すなわち、このインクジェットヘッド１で
は、多数の圧力室１２が複数列に且つ相隣る列の圧力室
が千鳥状になるように並べられて最も密になるように配
置されているとともに、相隣る圧力室１２，１２同士を
隔てる隔壁のヘッド表面側部分が導体部３６の配設スペ
ースに利用されているものである。そして、端の圧力室
列の内側に３列の圧力室列が設けられているから、図５
に示すように、左端の圧力室列の相隣る圧力室１２，１
２間には導体部３６が３本通っている。
は、多数の圧力室１２が複数列に且つ相隣る列の圧力室
が千鳥状になるように並べられて最も密になるように配
置されているとともに、相隣る圧力室１２，１２同士を
隔てる隔壁のヘッド表面側部分が導体部３６の配設スペ
ースに利用されているものである。そして、端の圧力室
列の内側に３列の圧力室列が設けられているから、図５
に示すように、左端の圧力室列の相隣る圧力室１２，１
２間には導体部３６が３本通っている。
【００６５】このような圧電素子３２及び個別電極３３
のパターンは、右側４列の圧力室１２の場合も同じであ
り、この右側４列では導体部３６が右端圧力室列の外側
に延びていて、右端の圧力室列の外側に電気接点群が設
けられている。
のパターンは、右側４列の圧力室１２の場合も同じであ
り、この右側４列では導体部３６が右端圧力室列の外側
に延びていて、右端の圧力室列の外側に電気接点群が設
けられている。
【００６６】次に上記パターンの形成方法を図７を参照
しながら説明する。図７は当該方法の各工程を工程順に
上から下に並べて描いたものである。
しながら説明する。図７は当該方法の各工程を工程順に
上から下に並べて描いたものである。
【００６７】同図のＡは、パターニング用の基板４１を
準備する工程を示す。基板４１としては例えば厚さ２０
ｍｍのものを用いる。
準備する工程を示す。基板４１としては例えば厚さ２０
ｍｍのものを用いる。
【００６８】同図のＢは、個別電極用のＰｔ膜４２を上
記基板４１の表面に形成する工程を示す。その形成はス
パッタリングによって行ない、Ｐｔ膜厚は例えば０．１
μｍにする。
記基板４１の表面に形成する工程を示す。その形成はス
パッタリングによって行ない、Ｐｔ膜厚は例えば０．１
μｍにする。
【００６９】同図のＣは、圧電素子用のＰＺＴ膜４３を
上記Ｐｔ膜４２の表面に形成する工程を示す。その形成
はスパッタリングによって行ない、ＰＺＴ膜厚は例えば
２〜３μｍにする。
上記Ｐｔ膜４２の表面に形成する工程を示す。その形成
はスパッタリングによって行ない、ＰＺＴ膜厚は例えば
２〜３μｍにする。
【００７０】同図のＤは、上記Ｐｔ膜４２及びＰＺＴ膜
４３に対する同時パターニング工程を示す。これは、上
記圧電素子３２及び個別電極３３のパターンを形成する
工程である。このパターニングは化学エッチング又はイ
オンミリングによって行なう。エッチング後に表面の平
坦化を行なう。
４３に対する同時パターニング工程を示す。これは、上
記圧電素子３２及び個別電極３３のパターンを形成する
工程である。このパターニングは化学エッチング又はイ
オンミリングによって行なう。エッチング後に表面の平
坦化を行なう。
【００７１】同図のＥは、プラスチックスのコーティン
グ工程を示す。これは、上記パターニングによって除去
された部分を絶縁材（プラスチックス）４４で埋めて個
別電極間を絶縁する工程である。このプラスチックスと
しては例えばポリイミドを用いる。
グ工程を示す。これは、上記パターニングによって除去
された部分を絶縁材（プラスチックス）４４で埋めて個
別電極間を絶縁する工程である。このプラスチックスと
しては例えばポリイミドを用いる。
【００７２】同図のＦは、上記圧電素子３２、個別電極
３３及び絶縁材４４の表面に振動板３１を形成する工程
である。この形成はＣｒのスパッタリングによって行な
い、振動板厚は例えば２μｍとする。
３３及び絶縁材４４の表面に振動板３１を形成する工程
である。この形成はＣｒのスパッタリングによって行な
い、振動板厚は例えば２μｍとする。
【００７３】同図のＧは、圧力室形成用の第１プレート
１５を上記振動板３１の表面に接合する工程を示す。こ
の接合は熱硬化性の接着剤を用いて行なう。また、この
接合の後に基板４１を除去する。
１５を上記振動板３１の表面に接合する工程を示す。こ
の接合は熱硬化性の接着剤を用いて行なう。また、この
接合の後に基板４１を除去する。
【００７４】
【実施例】表１は、高ドット密度を実現すべく、上記振
動板３１の厚さを２μｍ、圧電素子３２の厚さを３μｍ
として、振動板３１の小判形可動部分３１ａの長径Ｌ、
短径Ｓを種々に変えた場合の、比Ｌ／Ｓ、該可動部分３
１ａの面積Ａ（μｍ2 ）と最大吐出量Ｖ（ｐｌ）との比
Ａ／Ｖ、必要な圧力室深さ、その隔壁厚さ、必要な圧力
室列数（千鳥配置の列数）を示す。
動板３１の厚さを２μｍ、圧電素子３２の厚さを３μｍ
として、振動板３１の小判形可動部分３１ａの長径Ｌ、
短径Ｓを種々に変えた場合の、比Ｌ／Ｓ、該可動部分３
１ａの面積Ａ（μｍ2 ）と最大吐出量Ｖ（ｐｌ）との比
Ａ／Ｖ、必要な圧力室深さ、その隔壁厚さ、必要な圧力
室列数（千鳥配置の列数）を示す。
【００７５】
【表１】
【００７６】同表において、ノズルピッチＰは実現すべ
きドット密度から定まり、また、ドット密度が高くなる
につれて該最大吐出量は小さくなる。さらに、最大吐出
量が少なくなれば、振動板３１の可動部分３１ａの面積
も小さくて済むから、ドット密度が高くなるにつれて該
可動部分３１ａの長径Ｌ及び短径Ｓも小さくなってい
る。但し、この長径Ｌ及び短径Ｓは、その比Ｌ／Ｓが
「１」、「２」及び「３」の３通りにしている。
きドット密度から定まり、また、ドット密度が高くなる
につれて該最大吐出量は小さくなる。さらに、最大吐出
量が少なくなれば、振動板３１の可動部分３１ａの面積
も小さくて済むから、ドット密度が高くなるにつれて該
可動部分３１ａの長径Ｌ及び短径Ｓも小さくなってい
る。但し、この長径Ｌ及び短径Ｓは、その比Ｌ／Ｓが
「１」、「２」及び「３」の３通りにしている。
【００７７】また、圧力室深さが最大吐出量に応じて変
わっているが、これはその量のインクを応答性良く吐出
させるためである。つまり、吐出すべきインク量が多く
なれば、それに応じて圧力室１２の容積を大きくしない
とインクが供給されなくなることから、圧力室を深くし
ているものである。また、圧力室１２の深さが深くなる
とそれだけ圧力室隔壁の面積が大きくなってその剛性が
低下することから、一つの圧力室１２のインクを吐出さ
せた際に隔壁が撓んで隣の圧力室１２のインクが動くこ
とがないように、圧力室１２が深いほど隔壁厚Ｔを厚く
している。
わっているが、これはその量のインクを応答性良く吐出
させるためである。つまり、吐出すべきインク量が多く
なれば、それに応じて圧力室１２の容積を大きくしない
とインクが供給されなくなることから、圧力室を深くし
ているものである。また、圧力室１２の深さが深くなる
とそれだけ圧力室隔壁の面積が大きくなってその剛性が
低下することから、一つの圧力室１２のインクを吐出さ
せた際に隔壁が撓んで隣の圧力室１２のインクが動くこ
とがないように、圧力室１２が深いほど隔壁厚Ｔを厚く
している。
【００７８】圧力室列数Ｎは、ノズルピッチＰ、振動板
３１の可動部分３１ａの短径Ｓ及び圧力室１２の隔壁厚
Ｔから次式によって求めることができるが、小数点以下
の端数が出るため、実際には端数を切り上げた数とな
る。
３１の可動部分３１ａの短径Ｓ及び圧力室１２の隔壁厚
Ｔから次式によって求めることができるが、小数点以下
の端数が出るため、実際には端数を切り上げた数とな
る。
【００７９】 Ｎ＝（Ｓ＋Ｔ）÷Ｐ 同表の比較例は、振動板厚さが９μｍ、圧電素子厚さが
１２μｍ、可動部分（圧力室用凹部の開口形状）が短冊
形であるときを示す。
１２μｍ、可動部分（圧力室用凹部の開口形状）が短冊
形であるときを示す。
【００８０】同表から、振動板３１及び圧電素子３２が
実施例のように薄いものである場合には比Ａ／Ｖを小さ
くすることができ、特に比Ｌ／Ｓが１〜３のときに比Ａ
／Ｖが小さくなることがわかる。また、ドット密度の高
低に拘わらず、そのときの圧力室１２の列数を６〜１０
にすることによって、ドット密度３００〜１２００ｄｐ
ｉを実現することができることがわかる。
実施例のように薄いものである場合には比Ａ／Ｖを小さ
くすることができ、特に比Ｌ／Ｓが１〜３のときに比Ａ
／Ｖが小さくなることがわかる。また、ドット密度の高
低に拘わらず、そのときの圧力室１２の列数を６〜１０
にすることによって、ドット密度３００〜１２００ｄｐ
ｉを実現することができることがわかる。
【００８１】また、振動板３１の可動部分３１ａが比Ｌ
／Ｓ＝１〜３の小判形であれば、それが短冊形である場
合に比べて比Ａ／Ｖを小さくしながら、圧力室１２を密
に配置してヘッドの小型化を図ることができることが上
記表及び図６からわかる。特に小判形であるということ
は、圧力室１２の列数を多くしても主走査方向に圧力室
１２が広く散らばらないから、各圧力室１２の直下にノ
ズル（インク吐出孔２３）を設けても、ノズルが主走査
方向に広く散らばらないため、ドットを選択的に打つた
めの信号処理が容易になることがわかる。
／Ｓ＝１〜３の小判形であれば、それが短冊形である場
合に比べて比Ａ／Ｖを小さくしながら、圧力室１２を密
に配置してヘッドの小型化を図ることができることが上
記表及び図６からわかる。特に小判形であるということ
は、圧力室１２の列数を多くしても主走査方向に圧力室
１２が広く散らばらないから、各圧力室１２の直下にノ
ズル（インク吐出孔２３）を設けても、ノズルが主走査
方向に広く散らばらないため、ドットを選択的に打つた
めの信号処理が容易になることがわかる。
【００８２】また、上記圧力室１２の多列千鳥配置にお
いて、相隣る圧力室１２，１２の隔壁部分を個別電極３
３の配線スペースに利用したから、圧力室１２が主走査
方向及び副走査方向に広く散らばることを避けることが
できているものである。また、このように、隔壁部分を
配線スペースに利用したから、電気接点を圧力室列郡の
外側に集めることができ、ＩＣチップ１３とのワイヤボ
ンディングに有利になっているものである。
いて、相隣る圧力室１２，１２の隔壁部分を個別電極３
３の配線スペースに利用したから、圧力室１２が主走査
方向及び副走査方向に広く散らばることを避けることが
できているものである。また、このように、隔壁部分を
配線スペースに利用したから、電気接点を圧力室列郡の
外側に集めることができ、ＩＣチップ１３とのワイヤボ
ンディングに有利になっているものである。
【００８３】なお、上記インクジェットヘッド１ではイ
ンク吐出孔２３が各圧力室１２の直下に設けられている
が、各列の圧力室１２のインク吐出孔を集合させて副走
査方向に並べ、各圧力室１２から対応する各インク吐出
孔にインク吐出流路を延設するようにしてもよい。
ンク吐出孔２３が各圧力室１２の直下に設けられている
が、各列の圧力室１２のインク吐出孔を集合させて副走
査方向に並べ、各圧力室１２から対応する各インク吐出
孔にインク吐出流路を延設するようにしてもよい。
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェットプリン
タの斜視図。
タの斜視図。
【図２】同プリンタのインクジェットヘッドの一部を示
す斜視図。
す斜視図。
【図３】同インクジェットヘッドのヘッド本体及びアク
チュエータの各々の一部を示す分解斜視図。
チュエータの各々の一部を示す分解斜視図。
【図４】同ヘッド本体圧力室用凹部の開口部の形状（ア
クチュエータの可動部分又は振動板の可動部分の形状で
もある。）を示す平面図。
クチュエータの可動部分又は振動板の可動部分の形状で
もある。）を示す平面図。
【図５】同インクジェットヘッドの圧力室を副走査方向
に切断した断面図（図６のＺ−Ｚ断面図）。
に切断した断面図（図６のＺ−Ｚ断面図）。
【図６】同圧力室の配列等を示す平面図。
【図７】同圧力室の圧電素子及び個別電極のパターン形
成方法を工程順に断面図。
成方法を工程順に断面図。
１ インクジェットヘッド １１ ヘッド本体 １２ 圧力室 １４ アクチュエータ １６ インク供給口 １７ インク吐出口 ２３ インク吐出孔 ２５ 圧力室用凹部 ３１ 振動板 ３１ａ 可動部分 ３２ 圧電素子 ３３ 個別電極 ３５ 駆動部 ３６ 導体部 ３７ 電気接点部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 深野 明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平７−276630（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−164675（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055
Claims (17)
- 【請求項１】 インクを供給するための供給口とインク
を吐出するための吐出口とを有する複数の圧力室用凹部
が形成されたヘッド本体と、該ヘッド本体の各凹部を塞
ぎ該凹部と共に圧力室を構成するとともに電界誘起歪み
を駆動源として変形し該圧力室内のインクを吐出させる
板状アクチュエータとを備えているインクジェットヘッ
ドにおいて、 上記複数の圧力室は３列以上の圧力室列に並んで配設さ
れ、 上記３列以上の圧力室列のうちの端に位置する圧力室列
の外側に、上記アクチュエータの各圧力室に対して個別
に設けられた個別電極のための電気接点群が設けられ、 上記端の圧力室列より内側に位置する２列以上の異なる
圧力室列に配設された複数の圧力室の個別電極と上記電
気接点群の対応する接点とをそれぞれ結ぶ複数本の導体
が、上記端の圧力室列における相隣る圧力室間のヘッド
表面側を通っていることを特徴とするインクジェットヘ
ッド。 - 【請求項２】 請求項１に記載されているインクジェッ
トヘッドにおいて、 上記アクチュエータの各圧力室を構成する可動部分の厚
さが８μｍ以下、上記複数の圧力室は複数列に並びその
列数が６〜１０列、並びに当該ヘッドの主走査方向に１
パスで打つことができる該主走査方向に直交する副走査
方向のドット密度が３００ｄｐｉ以上という３条件を満
足することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項３】 請求項２に記載されているインクジェッ
トヘッドにおいて、 上記アクチュエータの最大厚さが２〜８μｍ、上記複数
の圧力室は複数列に並びその列数が６〜１０列、並びに
ドット密度が３００〜１２００ｄｐｉという３条件を満
足することを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項４】 請求項２又は請求項３に記載されている
インクジェットヘッドにおいて、 上記アクチュエータは、上記ヘッド本体の各凹部を塞ぎ
該凹部と共に圧力室を構成する振動板と、当該複数の圧
力室に対して個別に設けられ該振動板の各圧力室を構成
する可動部分に接合され該可動部分を変形させて該圧力
室内のインクを吐出させる薄膜圧電素子と、これら圧電
素子に個別に設けられ各圧電素子に電圧を印加するため
の個別電極とを備え、上記振動板の可動部分の厚さが１
〜５μｍであることを特徴とするインクジェットヘッ
ド。 - 【請求項５】 インクを供給するための供給口とインク
を吐出するための吐出口とを有する複数の圧力室用凹部
が形成されたヘッド本体と、該ヘッド本体の各凹部を塞
ぎ該凹部と共に圧力室を構成するとともに電界誘起歪み
を駆動源として変形し該圧力室内のインクを吐出させる
板状アクチュエータとを備えているインクジェットヘッ
ドにおいて、 上記複数の圧力室は複数の圧力室列に並んで配設され、 上記アクチュエータは、上記ヘッド本体の各凹部を塞ぎ
該凹部と共に圧力室を構成する振動板と、当該複数の圧
力室に対して個別に設けられ該振動板の各圧力室を構成
する可動部分に接合され該可動部分を変形させて該圧力
室内のインクを吐出させる薄膜圧電素子と、これら圧電
素子に個別に設けられ各圧電素子に電圧を印加するため
の個別電極とを備え、 上記圧電素子と個別電極とは、互いに重なった状態で上
記振動板表面に同一のパターンを描いて、該振動板の各
圧力室を構成する可動部分に該可動部分を変形させるた
めの駆動部を形成しているとともに、該駆動部から上記
複数の圧力室列のうちの端に位置する圧力室列の外側へ
延びる導体部を形成し、且つ上記端の圧力室列よりも内
側に位置する圧力室列の圧力室の駆動部から延びる導体
部が該端の圧力室列における相隣る圧力室間を通ってい
ることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項６】 請求項５に記載されているインクジェッ
トヘッドにおいて、 上記アクチュエータの上記振動板の各圧力室を構成する
可動部分と上記駆動部とを合わせた厚さが８μｍ以下、
上記複数の圧力室は複数列に並びその列数が６〜１０
列、並びに当該ヘッドの主走査方向に１パスで打つこと
ができる該主走査方向に直交する副走査方向のドット密
度が３００ｄｐｉ以上という３条件を満足することを特
徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項７】 請求項６に記載されているインクジェッ
トヘッドにおいて、 上記アクチュエータの上記振動板の各圧力室を構成する
可動部分と上記駆動部とを合わせた最大厚さが２〜８μ
ｍ、上記複数の圧力室は複数列に並びその列数が６〜１
０列、並びにドット密度が３００〜１２００ｄｐｉとい
う３条件を満足することを特徴とするインクジェットヘ
ッド。 - 【請求項８】 請求項６又は請求項７に記載されている
インクジェットヘッドにおいて、 上記振動板の可動部分の厚さが１〜５μｍであることを
特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項９】 インクを供給するための供給口とインク
を吐出するための吐出口とを有する複数の圧力室用凹部
が形成されたヘッド本体と、該ヘッド本体の各凹部を塞
ぎ該凹部と共に圧力室を構成するとともに電界誘起歪み
を駆動源として変形し該圧力室内のインクを吐出させる
板状アクチュエータと、該アクチュエータの各圧力室に
対して個別に設けられた個別電極のための電気接点群と
を備えたインクジェットヘッドであって、 上記各圧力室は３列以上の圧力室列に並んで配設され、 上記３列以上の圧力室列のうちの端に位置する第１列よ
りも内側に位置する第２列の圧力室に対して設けられた
前記個別電極と前記電気接点群の対応する接点とを結ぶ
導体が、上記第１列における相隣る圧力室間を通ってい
ることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項１０】 請求項１〜９のいずれか一に記載され
ているインクジェットヘッドにおいて、 上記圧力室用凹部の開口部の形状が小判形であることを
特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項１１】 請求項１〜１０のいずれか一に記載さ
れているインクジェットヘッドにおいて、 各圧力室列の圧力室は隣の圧力室列の相隣る圧力室の間
に対応する部位に存するように千鳥状に配置されている
ことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項１２】 請求項５に記載されているインクジェ
ットヘッドの製造方法であって、 基板の表面に上記個別電極用の膜を形成する工程と、 上記個別電極用の膜の表面に上記圧電素子用の膜を形成
する工程と、 上記個別電極用の膜及び上記圧電素子用の膜に対してパ
ターニングすることにより、上記駆動部及び導体部を形
成する工程と、 上記駆動部及び導体部の表面を覆う振動板を形成する工
程と、 上記振動板の表面に上記圧力室形成用のプレートを接合
する工程と、 上記基板を除去する工程とを備えていることを特徴とす
るインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項１３】 請求項１２に記載されているインクジ
ェットヘッドの製造方法において、 上記個別電極用の膜の形成はスパッタリングによって行
なうことを特徴するインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項１４】 請求項１２又は請求項１３に記載され
ているインクジェットヘッドの製造方法において、 上記圧電素子用の膜の形成はスパッタリングによって行
なうことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方
法。 - 【請求項１５】 請求項１２〜１４のいずれか一に記載
されているインクジェットヘッドの製造方法において、 上記振動板の形成はスパッタリングによって行なうこと
を特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項１６】 請求項１２〜１５のいずれか一に記載
されているインクジェットヘッドの製造方法において、 上記パターニングは化学エッチング又はイオンミリング
によって行なうことを特徴とするインクジェットヘッド
の製造方法。 - 【請求項１７】 請求項１〜１１のいずれか一に記載さ
れているインクジェットヘッドと、記録紙を搬送する記
録紙搬送装置とを備えていることを特徴とするインクジ
ェットプリンタ。
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