JP3239505B2 - 薄膜センサーの取付け方法 - Google Patents
薄膜センサーの取付け方法Info
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- JP3239505B2 JP3239505B2 JP00412093A JP412093A JP3239505B2 JP 3239505 B2 JP3239505 B2 JP 3239505B2 JP 00412093 A JP00412093 A JP 00412093A JP 412093 A JP412093 A JP 412093A JP 3239505 B2 JP3239505 B2 JP 3239505B2
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- thin film
- film sensor
- layer
- heat
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、高温下で使用される機
械部品の表面温度などを検出する薄膜センサーの取付け
方法に係り、特に耐熱性を向上できる薄膜センサーの取
付け方法に関するものである。
械部品の表面温度などを検出する薄膜センサーの取付け
方法に係り、特に耐熱性を向上できる薄膜センサーの取
付け方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】温度，圧力，歪みなどの物理変化量を計
測する薄膜センサーは、機械部品に直接貼付でき、しか
も機械部品の表面形状を損なうことなく使用できるので
種々の測定に使用されている。
測する薄膜センサーは、機械部品に直接貼付でき、しか
も機械部品の表面形状を損なうことなく使用できるので
種々の測定に使用されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、薄膜セ
ンサーを３５０℃以上の高温下の機械部品に貼付して使
用できる接着剤は開発されていない。
ンサーを３５０℃以上の高温下の機械部品に貼付して使
用できる接着剤は開発されていない。
【０００４】従来、アルミナ，窒化ケイ素，シリカなど
の絶縁薄膜で薄膜センサーを貼け付けることがなされて
いるが、機械部品とアルミナなどの絶縁薄膜と薄膜セン
サーとの熱膨張差があるため、センサーが機械部品から
剥れてしまう問題がある。
の絶縁薄膜で薄膜センサーを貼け付けることがなされて
いるが、機械部品とアルミナなどの絶縁薄膜と薄膜セン
サーとの熱膨張差があるため、センサーが機械部品から
剥れてしまう問題がある。
【０００５】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、耐熱性の良好な薄膜センサーの取付け方法を提供す
ることにある。
し、耐熱性の良好な薄膜センサーの取付け方法を提供す
ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、機械部品の温度などを計測すべく薄膜セン
サーを取付ける方法において、部品表面に耐熱金属層を
形成し、その耐熱金属層上に、窒化ケイ素層とアルミナ
層または窒化ケイ素層と窒化ホウ素層とを交互に積層し
た絶縁薄膜を形成すると共にその絶縁薄膜に薄膜センサ
ーを取り付けたものである。
に本発明は、機械部品の温度などを計測すべく薄膜セン
サーを取付ける方法において、部品表面に耐熱金属層を
形成し、その耐熱金属層上に、窒化ケイ素層とアルミナ
層または窒化ケイ素層と窒化ホウ素層とを交互に積層し
た絶縁薄膜を形成すると共にその絶縁薄膜に薄膜センサ
ーを取り付けたものである。
【０００７】
【作用】上記構成によれば、耐熱金属層上に、窒化ケイ
素層とアルミナ層または窒化ケイ素層と窒化ホウ素層と
を交互に積層した絶縁薄膜を形成して薄膜センサーを取
付けることで高温下で使用しても剥れのない耐熱性に富
んだ取付けができる。
素層とアルミナ層または窒化ケイ素層と窒化ホウ素層と
を交互に積層した絶縁薄膜を形成して薄膜センサーを取
付けることで高温下で使用しても剥れのない耐熱性に富
んだ取付けができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【０００９】図１において、１はジェットエンジンのタ
ービンブレードの固定翼などの機械部品で、その表面に
耐熱金属層２が形成される。この耐熱金属層２は、厚さ
が、０．１〜１μｍで、ＮｉＣｒ，Ｎｉ，Ｔｉ，ＴｉＡ
ｌなど一種又は複数種混合したものからなる。この耐熱
金属層２に窒化ケイ素（ＳｉＮ3 ）層３，アルミナ（Ａ
ｌ2 Ｏ3 ）層４，窒化ケイ素層５，アルミナ層６を順次
積層して絶縁薄膜７を形成する。この各層３〜６は、厚
さ０．１〜３ｎμｍ，好ましくは０．５〜２．０μｍか
らなり、耐熱金属層２を含めて全体の厚さ２〜１５μ
ｍ，好ましくは５〜６μｍに形成する。
ービンブレードの固定翼などの機械部品で、その表面に
耐熱金属層２が形成される。この耐熱金属層２は、厚さ
が、０．１〜１μｍで、ＮｉＣｒ，Ｎｉ，Ｔｉ，ＴｉＡ
ｌなど一種又は複数種混合したものからなる。この耐熱
金属層２に窒化ケイ素（ＳｉＮ3 ）層３，アルミナ（Ａ
ｌ2 Ｏ3 ）層４，窒化ケイ素層５，アルミナ層６を順次
積層して絶縁薄膜７を形成する。この各層３〜６は、厚
さ０．１〜３ｎμｍ，好ましくは０．５〜２．０μｍか
らなり、耐熱金属層２を含めて全体の厚さ２〜１５μ
ｍ，好ましくは５〜６μｍに形成する。
【００１０】この各層３〜６はスパッタリングやプラズ
マＣＶＤなどで成膜し、その絶縁薄膜８上に温度などを
計測する薄膜センサー９を形成する。
マＣＶＤなどで成膜し、その絶縁薄膜８上に温度などを
計測する薄膜センサー９を形成する。
【００１１】以上において、窒化ケイ素（ＳｉＮ3 ）層
３は、高温下においても耐熱金属層２との接合が良好で
有り、またアルミナ層４は絶縁性に優れこれらを交互に
積層して絶縁薄膜８を形成し、その絶縁薄膜８に薄膜セ
ンサー９を形成することで、耐熱性を５００℃まで高め
ることができる。
３は、高温下においても耐熱金属層２との接合が良好で
有り、またアルミナ層４は絶縁性に優れこれらを交互に
積層して絶縁薄膜８を形成し、その絶縁薄膜８に薄膜セ
ンサー９を形成することで、耐熱性を５００℃まで高め
ることができる。
【００１２】図２は本発明の他の実施例を示すもので、
機械部品１の表面に、耐熱金属層２を形成し、その上部
に窒化ケイ素（ＳｉＮ3 ）層１０と窒化ホウ素（ＢＮ）
層１１，窒化ケイ素層１１とを順次積層して絶縁薄膜１
３を形成し、その表面に薄膜センサー９を形成したもの
である。
機械部品１の表面に、耐熱金属層２を形成し、その上部
に窒化ケイ素（ＳｉＮ3 ）層１０と窒化ホウ素（ＢＮ）
層１１，窒化ケイ素層１１とを順次積層して絶縁薄膜１
３を形成し、その表面に薄膜センサー９を形成したもの
である。
【００１３】この場合、窒化ケイ素（ＳｉＮ3 ）層１０
は、高温下においても耐熱金属層２との接合が良好で有
り、また窒化ホウ素層１１は絶縁性に優れこれらを交互
に積層して絶縁薄膜１３を形成し、その絶縁薄膜１３に
薄膜センサー９を形成することで、耐熱性を６５０℃ま
で高めることができる。
は、高温下においても耐熱金属層２との接合が良好で有
り、また窒化ホウ素層１１は絶縁性に優れこれらを交互
に積層して絶縁薄膜１３を形成し、その絶縁薄膜１３に
薄膜センサー９を形成することで、耐熱性を６５０℃ま
で高めることができる。
【００１４】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、耐熱金属
層上に、窒化ケイ素とアルミナ層または窒化ケイ素と窒
化ホウ素とを交互に積層した絶縁薄膜を形成して薄膜セ
ンサーを取付けることで高温下で使用しても剥れのない
耐熱性に富んだ取付けができる。
層上に、窒化ケイ素とアルミナ層または窒化ケイ素と窒
化ホウ素とを交互に積層した絶縁薄膜を形成して薄膜セ
ンサーを取付けることで高温下で使用しても剥れのない
耐熱性に富んだ取付けができる。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す断面図である。
１ 機械部品 ２ 耐熱金属層 ３，５，１０，１２ 窒化ケイ素層 ４，６ アルミナ層 ９ 薄膜センサー １１ 窒化ホウ素層
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−318420（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−103167（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−102146（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−251755（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01D 21/00 G01K 1/00 - 19/00 G01L 1/00 - 27/02
Claims (2)
- 【請求項１】 機械部品の温度などを計測すべく薄膜セ
ンサーを取付ける方法において、部品表面に耐熱金属層
を形成し、その耐熱金属層上に窒化ケイ素層とアルミナ
層とを交互に積層した絶縁薄膜を形成すると共にその絶
縁薄膜に薄膜センサーを取り付けたことを特徴とする薄
膜センサーの取付け方法。 - 【請求項２】 機械部品の温度などを計測すべく薄膜セ
ンサーを取付ける方法において、部品表面に耐熱金属層
を形成し、その耐熱金属層上に窒化ケイ素層と窒化ホウ
素層とを交互に積層した絶縁薄膜を形成すると共にその
絶縁薄膜に薄膜センサーを取り付けたことを特徴とする
薄膜センサーの取付け方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00412093A JP3239505B2 (ja) | 1993-01-13 | 1993-01-13 | 薄膜センサーの取付け方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00412093A JP3239505B2 (ja) | 1993-01-13 | 1993-01-13 | 薄膜センサーの取付け方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06213690A JPH06213690A (ja) | 1994-08-05 |
| JP3239505B2 true JP3239505B2 (ja) | 2001-12-17 |
Family
ID=11575932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00412093A Expired - Fee Related JP3239505B2 (ja) | 1993-01-13 | 1993-01-13 | 薄膜センサーの取付け方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3239505B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3527688A1 (en) * | 2018-02-15 | 2019-08-21 | Rolls-Royce plc | Coated substrate |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100448714B1 (ko) * | 2002-04-24 | 2004-09-13 | 삼성전자주식회사 | 다층 나노라미네이트 구조를 갖는 반도체 장치의 절연막및 그의 형성방법 |
| US7510742B2 (en) | 2005-11-18 | 2009-03-31 | United Technologies Corporation | Multilayered boron nitride/silicon nitride fiber coatings |
| WO2014083630A1 (ja) * | 2012-11-28 | 2014-06-05 | 株式会社日立製作所 | 遮熱コーティング部材 |
-
1993
- 1993-01-13 JP JP00412093A patent/JP3239505B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3527688A1 (en) * | 2018-02-15 | 2019-08-21 | Rolls-Royce plc | Coated substrate |
| US11131016B2 (en) | 2018-02-15 | 2021-09-28 | Rolls-Royce Plc | Coated substrate |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06213690A (ja) | 1994-08-05 |
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Legal Events
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