JP2004205520A - 流動センサー素子およびその使用 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも1個の白金薄膜抵抗を有する少なくとも1個の温度測定素子および少なくとも1個の白金薄膜抵抗を有する少なくとも1個の発熱素子を備え、少なくとも1個の温度測定素子および少なくとも1個の発熱素子がセラミックフィルムラミネートまたは幾つかの部分から構成されているセラミック構造部材から形成されている担体素子上に配置されており、この担体素子が少なくとも1個の温度測定素子ならびに少なくとも1個の発熱素子の電気的接触のために電気的帯状導体および電気的接続面を備えている、流動センサー素子の場合に、少なくとも1個の温度測定素子および少なくとも1個の発熱素子は、それぞれ電気絶縁性被覆を有する金属担体フィルムを備えており、この電気絶縁性被覆上に白金薄膜抵抗が配置されている。
【選択図】なし
Description
1a セラミックフィルム、
1b 第2のセラミックフィルム、
1c 第3のセラミックフィルム、
1d 第4のセラミックフィルム、
2 温度測定素子、
2′ 他の温度測定素子、
2a 白金薄膜素子、
2b リード線、
2c、3c 担体フィルム、
3 発熱素子、
4a、4b、5a、5b 電気的帯状導体、
4a′、4b′、5a′、5b′、9a′、9b′、10a′、10b′ 接続面、
6′ 範囲、
11、11′ 二重発熱素子、
12 環状導管、
13a、13b 管状シェル、
14a、14b セラミック板、
15a、15b 空隙、
16 接続フランジ
A−A′ 横断面、
Claims (30)
- 少なくとも1個の白金薄膜抵抗を有する少なくとも1個の温度測定素子および少なくとも1個の白金薄膜抵抗を有する少なくとも1個の発熱素子を備えている流動センサー素子であって、この場合少なくとも1個の温度測定素子および少なくとも1個の発熱素子は、担体素子上に配置されており、この担体素子は、セラミックフィルムラミネートまたは幾つかの部分から構成されているセラミック構造部材から形成されており、この場合この担体素子は、少なくとも1個の温度測定素子ならびに少なくとも1個の発熱素子の電気的接触のために電気的帯状導体および電気的接続面を備えている、流動センサー素子において、少なくとも1個の温度測定素子(2、2′、8)および少なくとも1個の発熱素子(3、3′、7、11、11′)がそれぞれ電気絶縁性被覆を有する金属担体フィルム(2c、3c、7c、8c、11c)を備えており、この電気絶縁性被覆上に白金薄膜抵抗(2a、3a、7a、8a、11a、11a′)が配置されていることを特徴とする、流動センサー素子。
- 金属担体フィルム(2c、3c、7c、8c、11c)が30μm〜80μmの範囲内の厚さを有する、請求項1記載の流動センサー素子。
- 金属担体フィルム(2c、3c、7c、8c、11c)がニッケル、クロムおよびアルミニウムの含量を有するニッケル合金または鉄合金から形成されている、請求項1または2記載の流動センサー素子。
- 電気絶縁性被覆が2μm〜5μmの範囲内の厚さを有する、請求項1から3までのいずれか1項に記載の流動センサー素子。
- 電気絶縁性被覆がセラミックから形成されている、請求項1から4までのいずれか1項に記載の流動センサー素子。
- 電気絶縁性被覆がAl2O3および/またはSiOおよび/またはSiO2からの単独層から形成されているかまたは電気絶縁性被覆が少なくとも2つの異なる単独層から形成されており、この場合単独層は、Al2O3および/またはSiOおよび/またはSiO2から形成されている、請求項5記載の流動センサー素子。
- 白金薄膜抵抗(2a、3a、7a、8a、11a、11a′)がそれぞれ0.5μm〜1.2μmの範囲内の厚さを有する、請求項1から6までのいずれか1項に記載の流動センサー素子。
- 白金薄膜抵抗(2a、3a、7a、8a、11a、11a′)がそれぞれ不動態化層で被覆されている、請求項1から7までのいずれか1項に記載の流動センサー素子。
- 不動態化層は、有利に1μm〜5μmの範囲内の厚さを有する、請求項8記載の流動センサー素子。
- 不動態化層がAl2O3および/またはSiOおよび/またはSiO2からの単独層から形成されているかまたは不動態化層が少なくとも2つの異なる単独層から形成されており、この場合単独層は、Al2O3および/またはSiOおよび/またはSiO2から形成されている、請求項9記載の流動センサー素子。
- 担体フィルム(2c、3c、7c、8c、11c)、電気絶縁性被覆、少なくとも1つの白金薄膜抵抗(2a、3a、7a、8a、11a、11a′)および温度測定素子(2、2′、8)または発熱素子(3、3′、7、11、11′)の不動態化層が10μm〜100μmの範囲内の全厚を有する、請求項1から10までのいずれか1項に記載の流動センサー素子。
- 少なくとも1個の温度測定素子(2、2′、8)が2つの長い縁部および2つの狭い縁部を有する長方形の担体フィルム(2c、8c)を備え、担体フィルム(2c、8c)がセラミックフィルムラミネート(1)のセラミックフィルム(1a、1b、1c、1d)間またはセラミック構造部材(13a、13b、14a、14b)の少なくとも2個の部材(14a、14b)の間の狭い縁部の1つの範囲内に配置されている、請求項1から11までのいずれか1項に記載の流動センサー素子。
- 少なくとも1個の発熱素子(3、3′、7、11、11′)が2つの長い縁部および2つの狭い縁部を有する長方形の担体フィルム(3c、7c、11c)を備え、担体フィルム(3c、7c、11c)がセラミックフィルムラミネート(1)のセラミックフィルム間またはセラミック構造部材(13a、13b、14a、14b)の少なくとも2個の部材(14a、14b)の間の狭い縁部の1つの範囲内に配置されている、請求項1から12までのいずれか1項に記載の流動センサー素子。
- 発熱素子(3、3′、7、11、11′)の白金薄膜抵抗(3a、7a、11a、11a′)が温度測定素子(2、2′、8)の少なくとも1個の白金薄膜抵抗(2a、8a)よりはるかにセラミックフィルムラミネート(1)またはセラミック構造部材(13a、13b、14a、14b)から離反して配置されている、請求項12または13記載の流動センサー素子。
- 少なくとも1個の発熱素子(3、3′、7、11、11′)の担体フィルム(2c、3c、7c、8c、11c)および少なくとも1個の温度測定素子(2、2′、8)の担体フィルム(2c、3c、7c、8c、11c)が、互いに距離をもって連続的に同じセラミックフィルム間またはセラミック構造部材の部材間に配置されている、請求項14記載の流動センサー素子。
- セラミックフィルムラミネート(1)が2枚のセラミックフィルム(1a、1b)から形成されている、請求項15記載の流動センサー素子。
- セラミック構造部材(13a、13b、14a、14b)が、横断面でそれぞれ半月の輪郭の壁面を有する2個のセラミック管(13a、14a;13b、14b)から形成されている、請求項15記載の流動センサー素子。
- 温度測定素子(2)、2個の発熱素子(3、7;11、11′)および温度測定素子(8)が連続して配置されている、請求項15から17までのいずれか1項に記載の流動センサー素子。
- セラミックフィルムラミネート(1)が3枚のセラミックフィルム(1a、1b、1c)から形成されている、請求項14記載の流動センサー素子。
- 少なくとも1個の発熱素子(3、3′)の担体フィルム(2c、3c、7c、8c、11c)および少なくとも1個の温度測定素子(2、2′)の担体フィルム(2c、3c、7c、8c、11c)が、セラミックフィルム(1b、1c)によって互いに距離をもって、および互いに平行に配置されている、請求項19記載の流動センサー素子。
- 発熱素子(3)が第1のセラミックフィルム(1a)と第2のセラミックフィルム(1b)との間に配置され、温度測定素子(2)が3枚のセラミックフィルム(1a、1b、1c)の第2のセラミックフィルム(1b)と第3のセラミックフィルム(1c)との間に配置されており、この場合発熱素子(3)および温度測定素子(2)は、セラミックフィルムラミネート(1)と同じ高さで並存して配置されている、請求項20記載の流動センサー素子。
- 発熱素子(3)が3枚のセラミックフィルム(1a、1b、1c)の第1のセラミックフィルム(1a)と第2のセラミックフィルム(1b)との間に配置され、2個の温度測定素子(2、2′)が3枚のセラミックフィルム(1a、1b、1c)の第2のセラミックフィルム(1b)と第3のセラミックフィルム(1c)との間に配置されており、この場合この発熱素子(3)は、温度測定素子(2、2′)の間に配置されている、請求項20記載の流動センサー素子。
- セラミックフィルムラミネート(1)が4枚のセラミックフィルム(1a、1b、1c、1d)から形成されている、請求項14記載の流動センサー素子。
- 第1の温度測定素子(2)が4枚のセラミックフィルム(1a、1b、1c、1d)の第1のセラミックフィルム(1a)と第2のセラミックフィルム(1b)との間に配置され、第2の温度測定素子(2′)が4枚のセラミックフィルム(1a、1b、1c、1d)の第3のセラミックフィルム(1c)と第4のセラミックフィルム(1d)との間に配置されており、発熱素子(3)が第2のセラミックフィルム(1b)と第3のセラミックフィルム(1c)との間に配置されており、この場合発熱素子(3)および温度測定素子(2、2′)は、セラミックフィルムラミネート(1)と同じ高さで並存して配置されている、請求項23記載の流動センサー素子。
- 第1の温度測定素子(2)が4枚のセラミックフィルム(1a、1b、1c、1d)の第1のセラミックフィルム(1a)と第2のセラミックフィルム(1b)との間に配置され、第2の温度測定素子(2′)が4枚のセラミックフィルム(1a、1b、1c、1d)の第3のセラミックフィルム(1c)と第4のセラミックフィルム(1d)との間に配置され、発熱素子(3)が第2のセラミックフィルム(1b)と第3のセラミックフィルム(1c)との間に配置されており、この場合温度測定素子(2、2′)は、セラミックフィルムラミネート(1)と同じ高さで並存して配置されており、発熱素子(3)は、温度測定素子(2、2′)に対してずれて配置されている、請求項23記載の流動センサー素子。
- 担体フィルム(2c、3c、7c、8c、11c)が、媒体の流動方向と平行に配置されている場合に、管状導管(12)を通してガス状または液状媒体の質量貫流量を測定するための請求項1から25までのいずれか1項に記載の流動センサー素子の使用。
- ガス状媒体が−40℃〜+800℃の範囲内の温度を有する、請求項26記載の使用。
- ガス状媒体が内燃機関の排ガスである、請求項26または27記載の使用。
- 液状媒体が0℃〜150℃の範囲内の温度を有する、請求項26記載の使用。
- 媒体が時間間隔で変化する流動方向を有する、請求項26から29までのいずれか1項に記載の使用。
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