JP3234071B2 - オートマチックテストハンドラー用アラーム表示システムおよびアラーム表示方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、集積回路（ＩＣ）や半
導体チップ等の電子部品のオ−トマティックテストハン
ドラ−装置のアラ−ム表示システムおよびアラ−ム表示
方法に関し、特に、集積回路のテストの生産性と信頼性
を高めるように改良したＩＣ搬送、テストシ−ケンス及
びその分類機能を有すテストハンドラ−に生じたエラ−
の全体的位置の表示と詳細位置を表示する改良されたア
ラ−ム表示システムおよびアラ−ム表示方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子産業界では、集積回路や半導体チッ
プ等の電子部品を、より安く又小型化する為の要求が絶
えない。それらの電子部品の生産性を高め、ユニットコ
ストを減少させる為の方法の１つは、それら電子部品を
同時に複数個テストすることにより、テストスピ−ドを
上げることである。

【０００３】そのような電子部品テストシステム（例え
ばＩＣテスタ−）は、テストに応じて様々なテスト信号
を発生させその結果の出力信号を判定する為のマスタ−
ユニットと、自動的にテストする部品をテストヘッドに
移動してテストし、テスト済部品をテスト結果により分
類する為のオ−トマチックテストハンドラ−で構成され
ている。

【０００４】残念ながら最高のテクノロジ−を用いて
も、複数の部品を一度にテストするための複雑なテスト
システムでは、エラ−を皆無にすることはできない。例
えば、このタイプの機械装置では、２つ以上の電気部品
やキャリア−モジュ−ルなどが互いに又はテスト装置の
通路とくっつき合って離れない現象である「ジャミン
グ」と呼ばれるエラ−が生じやすい。このような「ジャ
ミング」が起きた場合、ジャミングを取り払う為に、通
常、テストシステムの動作を止めなくてはならず、大幅
な時間浪費と能率低下を免れない。他のタイプのエラ−
としてあげられるのは、機械的な不正確さやセンサ−の
エラ−、温度制御のエラ−、分類エラ−のような、テス
ト装置そのものが原因で、直接に被テスト部品とは関係
なく発生するものである。

【０００５】従って、そのような部品テスト装置やオ−
トマチックテストハンドラ−では、テスト装置のエラ−
を修正するために、そのエラ−が生じたことを指摘し且
つエラ−の起きた位置を早く正確に知らせることが重要
である。エラ−の起きた位置の探知と正常な動作状態へ
の回復が早いほど、部品テストはより能率的になり、そ
の結果部品の生産性を向上させる。このように本発明
は、電子部品テスト装置のオ−トマチックテストハンド
ラ−に使われるアラ−ム表示装置であり、テストにかか
る全体の時間の短縮により生産性を向上するための装置
に関するものである。

【０００６】多数の被試験電子部品をテストトレイ上に
乗せて、それに対応する多数のテストコンタクタ−（試
験用コンタクト端子）のついたテストヘッドプレ−トと
位置合わせ接触させて試験することは、試験技術の標準
になってきた。テストトレイにある電子部品の複数性を
テストするテスト装置の一例は、オコ−ナ−の米国特許
番号4,926,118 号に示されている。

【０００７】このオコ−ナ−米国特許では、試験する電
子部品がキャリア−モジュ−ルのシ−トに設置される。
各キャリア−モジュ−ルには１ないし２以上のシ−トが
設けられている。このような多数のキャリア−モジュ−
ルはテストトレイの上に縦横に並べられ。多数のキャリ
アモジュ−ルを有したテストトレイはテストフィクスチ
ャ−と垂直位置関係（その上又は下に）となるように配
置される。

【０００８】テストフィクスチャ−は、被テスト電子部
品のそれぞれのピンと接触し、テスト信号を供給しかつ
受け取るためのテストコンタクタ−（テストピン）を有
している。各キャリアモジュ−ルは、テストトレイまた
はテストフィクスチャ−の一方が他方に垂直に向かい合
うように動作したとき、コンタクタ−がキャリア−モジ
ュ−ルの中にある電子部品と接触することができるよう
に、それぞれ対応するテストコンタクタ−と位置合わせ
される。

【０００９】コンタクタ−は、被テスト電子部品のリ−
ドと電子的通信するための多数のテストピンかリ−ドを
有している。オ−トマチックテストハンドラ−は電子部
品テストシステムのマスタ−ユニットが電気的に接続さ
れている。そのマスタ−ユニットには、テスト電子部品
用のテスト信号を発生するテスト信号発生器と、そのテ
ストの結果を知る為の信号コンパレ−タ−が含まれてい
る。このテスト結果に基づいて、電子部品は次の工程に
送られ分類される。

【００１０】このオコ−ナ−の特許ではテストする部品
の「ジャミング」の場所やテストされた部品の「ジャミ
ング」、それぞれのテスト工程における部品の温度な
ど、テストシステムのそれぞれの動作状態やエラ−の場
所などをどのようにモニタ−するかは示されていない。
従って、エラ−位置を警告音やアラ−ム表示でモニタ−
をする適切な手段が無いために、かなりの時間がエラ−
位置の発見や、エラ−の修正に費やされる。

【００１１】従来のテストハンドラ−においても、テス
トシステムのエラ−位置を示すことができるアラ−ム表
示装置の例はあった。そのようなテストハンドラ−の例
が図１に示されている。図１は、集積回路（ＩＣ）のよ
うな電子部品を自動的にロ−ディング、テスト、分類、
アンロ−ディングする事の出来る従来のテストハンドラ
−の斜視図である。図１に示すテストハンドラ−１０に
おいて、テストされる電子部品は容器（一般にはマガジ
ンと呼ばれる）から取り出され、それぞれの自己の重力
で別々に分けられる。即ち、テストされる電子部品はま
ずマガジン１４に収容されて、ハウジング１３における
テストヘッド１９より上下方向に高い位置に配置されて
いる。その後、自己の重力によって、テストヘッド１９
に滑り落ちるように、他の電子部品と分離される。テス
トの後、電子部品はまた重力によって更に下降してテス
トヘッドの更に下方にあるハウジング１２の下方に行
き、テストの結果に基づいてアンロ−ダ−マガジン１８
ａ−１８ｇに振り分けられる。

【００１２】このような従来の、重力を使って電子部品
を移送、振り分けるデバイステストシステムは、部品が
重力で動かされており、且つ同時にテストする電子部品
数が例えば２個または４個と限られている。従って図１
の従来のテストシステム１０では表示装置１１を使って
ジャミングの場所を表示している。そのような表示装置
１１の例が図２に示されている。図２は、図１の従来の
オ−トマチックテストハンドラ−に使われるエラ−の位
置を示すためのアラ−ム表示器の略図である。図２の表
示装置はエラ−位置を示す為に、一般的には印刷された
プラスチック表示板に、発光ダイオ−ドやプラズマディ
スプレイパネル等を用いてテストシステムのエラ−位置
を表示する。例えば、テストシステムの機能ブロックを
それぞれ含むフロ−ダイグラム（流れ図）として表示パ
ネルに示した例を図２に示す。そのような機能ブロック
はロ−ダ−、ディストリビュ−タ−、トランスファ−、
コンタクタ−、ソ−タ−やアンロ−ダ−等である。それ
ぞれの機能ブロックには、対応する機能ブロックにエラ
−が生じたとき図２にあるパイロットランプＰＬ１−Ｐ
Ｌ６に光を点灯または点滅させる発光ダイオ−ド等によ
るアラ−ムポイントを有している。従って、テストシス
テムの使用者はアラ−ム表示や警告音などによって、エ
ラ−の存在、エラ−の全体的位置やエラ−の発生した機
能ブロックを知ることができる。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この種
のエラ−表示装置には本質的な不具合が３つある。第１
にそれは、システムの機能ブロックそれぞれを表す固定
された１の表示階層により表示パネルが作られているの
で、エラ−に関するテスタ−の全体的な位置または、機
能ブロックだけしかそのような表示では見分けられな
い。従って、アラ−ム表示装置がエラ−の存在とその全
体的位置を示せても、各機能ブロック内のより詳細な位
置やエラ−の種類等を示すことはできない。その結果、
このようなアラ−ム表示はより複雑なテストシステムに
は適当ではない。

【００１４】第２に、この様な旧型テストシステムのア
ラ−ム表示システムは、ただ１つの階層の表示システム
として特別に作られるため、より複雑なテストシステム
での各電子部品やテストトレイの詳細な位置を示すこと
はできない。このような複雑なテストシステムのテスト
トレイでは、大量の電子部品が同時に並行して、積み込
まれ、温度管理され、転送されてテストされ、積み卸さ
れる。このような場合、アラ−ム表示システムで詳細な
位置を示すためには、表示器を大きくすることが考えら
れるが、それは実現不可能な程の大きさとなる。そのた
め、詳細なエラ−を指摘できるアラ−ム表示システムを
従来のテストハンドラ−に取り付ける事は不可能であ
る。

【００１５】第３に、従来のテストハンドラ−における
そのようなアラ−ム表示システムは、特定のテストシス
テム用に個別に作られる為、異なるタイプのテストシス
テムを用いた場合には、アラ−ム表示システムはそのテ
ストシステム用に特別に作られたものと交換しなければ
なあない。従って従来のテストシステムのアラ−ム表示
システムは汎用性がなく、他のタイプのテストシステム
には使えない。

【００１６】従って、多数の電子部品が並行して同時に
テストを受けるオ−トマチックテストハンドラ−には、
直ちにエラ−を指摘し表示することができるアラ−ム表
示システムが必要である。同時に、集積回路をより安
く、更に生産性を高める要求が絶えない。更に、生産性
の向上に伴ってテストシステムはより複雑になる。従っ
て短時間でエラ−を修正する為にエラ−の個別の位置を
より早く指摘する必要がある。

【００１７】このように、電子部品業界やＩＣ製作者等
では上記した問題や不都合を解決する、オ−トマチック
テストハンドラ−用アラ−ム表示システムが強く求めら
れている。

【００１８】

【課題を解決するための手段】この発明は集積回路（Ｉ
Ｃ）半導体チップ等のオ−トマティックテストハンドリ
ングの為のアラ−ム表示システムで、不具合やエラ−の
発生や、発生したエラ−の位置の全体的位置や詳細位置
を知らせ、表示することができるものである。本発明の
アラ−ム表示システムを有するテストハンドラ−は、集
積回路のテストの生産性と信頼性を向上させるようにし
た、改良されたＩＣ搬送機能やより優れた分類能力やテ
ストシ−ケンスを含むものである。

【００１９】本発明は、エラ−の存在とその位置、更に
エラ−が無いときは全体的なテスト手順を管理し表示す
る改良した新型のアラ−ム表示システムである。本発明
のアラ−ム表示システムを構成するのは、全体的なハン
ドリングやテスト操作に加えて様々なセンサ−からの信
号に基づきテストハンドラ−内のエラ−を探知し表示す
る為の全体的な操作順序を制御するコントロ−ラ−と、
陰極線管やプラズマ表示のような、テストハンドラ−内
の誤動作やエラ−の発生、エラ−の全体的また詳細な位
置を表示するための汎用表示器と、テストハンドラ−内
の圧縮空気システムなどにある空気圧力や被テスト電子
部品の動作、温度チェンバ−内の温度等のパラメ−タ−
を検出するための複数のセンサ−である。

【００２０】本発明のアラ−ム表示システムはエラ−が
発生したときは、テストハンドラ−の機能ブロックの全
体的な位置や更に詳細な位置を多階層によるグラフィッ
ク表示する事ができる。本発明のアラ−ム表示システム
はエラ−が発生してないときは、テストハンドラ−の総
合的な動作状態を表示し、エラ−があるときには自動的
にアラ−ム表示状態に移行し、警告音や警告光を発生す
る。エラ−が起こったとき、アラ−ム表示はまずテスト
ハンドラ−の全体的機能ブロックが表示できるメインア
ラ−ムスクリ−ンにセットされる。そして表示器はエラ
−の発生した機能ブロックと対応するグラフィック表示
のインディケ−タ−を点滅させる。

【００２１】更に、本アラ−ム表示器は、複数の階層を
使うことで正確で詳細な位置を示す事ができる。メイン
アラ−ムスクリ−ン状態では、最初のメッセ−ジでどの
機能ブロックでエラ−が起こったかをテストハンドラ−
の使用者に知らせる。その後その使用者がメインアラ−
ムスクリ−ンにある機能キ−を押すことによってより詳
細な位置を知ることができる。詳細な位置のスクリ−ン
ではエラ−の存在を示す機能ブロックがより詳細に表示
される。その為、指定された機能ブロック内の可動部品
がシンボル、例えばエラ−の位置を示すために点滅する
インディケ−タ−等により表示される。

【００２２】また、本発明のアラ−ム表示システムは汎
用性のある制御ユニットと表示器の使用により最大の効
率と適応性を発揮することができる。つまり、従来のア
ラ−ム表示システムのような特別に印刷された表示パネ
ルと違い、本発明は市場で得られるマイクロコンピュ−
タ−ユニットを制御ユニットとして、また陰極線管やプ
ラズマディスプレイパネルのような従来の表示装置が使
用できる。この様に、このアラ−ム表示システムはテス
トハンドラ−の特殊な機能用に特別に作られた部品や構
成部分を使わずにアラ−ム表示機能を行える。

【００２３】最後に、メインアラ−ムスクリ−ンや下部
レベルスクリ−ンを使用しエラ−も含んだ機能ブロック
の詳細な表示ができる為、エラ−やジャミングの検出が
迅速にできるようになる。結果として、テストハンドラ
−のエラ−の修正やメインテイナンスは短時間で出来
る。この様に本発明のアラ−ム表示システムはテストハ
ンドラ−の無駄時間を省き効率を大きく向上させるとが
出来る。

【００２４】よって、本発明のアラ−ム表示システム
は、正確且つ適切にオ−トマチックテストハンドラ−の
エラ−位置を示すことにより電子部品テストのスル−プ
ットを向上させることできる。

【００２５】

【実施例】以下、図面についてまず、述べる。図３
（Ａ）は、本発明によるアラ−ム表示システムを適用す
るための近代的オ−トマチックテストハンドラ−の主な
構成部分の例を示す斜視図である。図３（Ｂ）は、図３
（Ａ）のオ−トマチックテストハンドラ−のカスタマ−
トレイとトレイマガジン、トレイエレベ−タ−の拡大図
である。図４は、図３（Ａ）のオ−トマチックテストハ
ンドラ−のソ−クチャンバ−、２つのテスト部、そして
イグジトチャンバ−の例を示す拡大背面図である。図５
は、図３（Ａ）のオ−トマチックテストハンドラ−の全
体的なテストハンドラ−の工程を示すフロ−ダイアグラ
ムである。図６は、図３（Ａ）のオ−トマチックテスト
ハンドラ−のカスタマ−トレイマガジンの入口部及び出
口部を主に示す正面拡大図である。図７は、図３（Ａ）
のオ−トマチックテストハンドラ−のロ−ダ−とアンロ
−ダ−、そしてそれらのピックアンドプレイスメカニズ
ムの平面図である。図８は、図３から図７のオ−トマチ
ックテストハンドラ−でよく使うピックアンドプレイス
とそれに関するドライブメカニズムの正面図である。図
９は、図３（Ａ）から図７に図示したオ−トマチックテ
ストハンドラ−で使う本発明のアラ−ム表示システムの
ハ−ドウェア構成を示すブロック図である。図１０は、
本発明に伴うアラ−ム表示システムのアラ−ム表示機能
と動作状態表示機能の表示階層を示すグラフィック表示
である。図１１は、テストハンドラ−にエラ−が無いと
きのオ−トマチックテストハンドラ−の作動状態を示す
本発明のアラ−ム表示システムのスクリ−ン表示であ
る。図１２は、テストハンドラ−の全体的な機能ブロッ
クの図示と、その機能ブロックに対応してオ−トマチッ
クテストハンドラ−のエラ−の存在を表示するインディ
ケ−タ−を示す本発明のアラ−ムディスプレイシステム
のメインアラ−ムスクリ−ンの１例である。図１３は、
ロ−ダ−部の部品それぞれとそれに対応する点滅インデ
ィケ−タ−を図示する、テストハンドラ−のロ−ダ−部
の詳細図な画面の例である。図１４は、ロ−ダ−ピック
アンドプレイス部にある対応するインディケ−タ−と各
素子をグラフィックに表すテストハンドラ−のロ−ダ−
ピックアンドプレイス部の詳細図の画面表示の例であ
る。図１５は、アンロ−ダ−ピックアンドプレイス部に
ある対応するインディケ−タ−と各素子をグラフィック
に示すテストハンドラ−のアンロ−ダ−ピックアンドプ
レイス部の詳細図の画面表示の例である。図１６は、本
発明のテスト動作順序とアラ−ム表示動作の全体的な動
作手順を示す概略フロ−チャ−トである。図１７は、メ
インアラ−ム画面と詳細アラ−ム画面のアラ−ム表示順
序との相互作用とアラ−ム工程でのエラ−の解除を主に
図示した本発明のアラ−ム表示システムの動作の概略フ
ロ−チャ−トである。

【００２６】本発明の理解を容易にする為に、本発明の
アラ−ム表示システムを使うオ−トマチックテストハン
ドラ−の説明をする。図３（Ａ）の斜視図は、本発明に
使われるオ−トマチックテストハンドラ−２０の主な構
成部品を示す。図５の概略図解は、図３（Ａ）のテスト
ハンドラ−２０による全体のテスト方法と順序を表す。
オ−トマチックテストハンドラ−の更に詳細に付いては
図４、図６、図７に示してある。本説明の全体の記述を
通してテストハンドラ−２０の正面図である図６を基準
にして「左」「右」呼称が使われている。

【００２７】ハンドラ−の概要 図３（Ａ）、図４を参照して、本発明のアラ−ム表示シ
ステムを使用するテストハンドラ−２０の主な構成は以
下である。テストハンドラ−２０は下部キャビネット２
２、中央部２４、及び上部２６で構成される。下部のキ
ャビネット２２は図３（Ａ）には部分的にしか示されて
いないが図４の背面図に全体が示されている。下部キャ
ビネット２２はパワ−供給部、ハンドラ−２０の中央部
２４と上部２６で主に行われるテスト機能と手順を制御
する電気接続とケ−ブル（図には無い）で構成されてい
る。

【００２８】主に図３（Ａ）において、中部２４の正面
左側には、トレイカセット（又はマガジン）入力エリア
２８が示されている。この入力エリア２８はテストハン
ドラ−の中央部２４の右側をにあるカセット出力エリア
３０と隣接している。カセット入力、出力エリアは、ハ
ンドラ−２０でテストするＩＣ３６が並べてある、複数
の重なったカスタマ−トレイ３４を含むカセット３２を
受け取る、複数のステ−ション３１で成る。そのような
カスタマ−トレイカセット３２とカスタマ−トレイ３４
は図３（Ｂ）の展開図に示されている。記述と図解を容
易にする為に、図３（Ａ）はマガジン入力エリア２８に
あるカスタマ−トレイカセット３２を一つだけ示してい
るが、カセット入力と出力エリア２８と３０は同様なカ
セット３２を更に有することができる。

【００２９】マガジン出力エリア３０の各ステ−ション
３１に、カセット３２に収容されたカスタマ−トレイ３
４を上昇させるカスタマ−トレイエレベ−タ−３８が供
給してある。入力エリア２８にはエレベ−タ−３８が１
つだけ備えてある。トレイカセット入力エリア２８が受
け取る二つのカセット３２はテストされるＩＣ３６が入
っているカスタマ−トレイ３４を含んでいる。マガジン
出力エリア３０のステ−ション３１すべてにあるカセッ
ト３２はテストされ、テスト結果により分類されたカス
タマ−トレイ３４を有するＩＣ３６を受け取る。図３
（Ａ）の例では、カセット出力エリア３０には全部で１
０個のステ−ション３１を有している。このテ−ション
の内で、例えば、１つのステ−ションを再テスト用に、
もう１つを空のカスタマ−トレイに残すようにし、８つ
の異なるカテゴリ−でＩＣをテストできる。とはいえ、
本発明の原理に従い、広範囲のカスタマ−トレイ入力と
出力の構成が可能である。

【００３０】図３（Ａ）及び図６のハンドラ−２０の中
央部２４に関して、トレイハンドラ−４２を２組有する
トランスファ−ア−ム４０が、カセット出力エリア３０
に図示されている。このトランスファ−ア−ム４０は上
下にも水平にも移動でき、ハンドラ−２０におけるカス
タマ−トレイ移動の仕事の大部分を実行するように、テ
ストハンドラ−の様々なセクションと相互作用する。こ
のトランスファ−ア−ム４０の動作は極めて知的であ
り、ハンドラ−２０の中央部２４の右側に示す表示モニ
タ−４４や制御モジュ−ル等の手段からの、適切ソフト
ウェアコマンドにより制御される。

【００３１】表示モニタ−４４は電子部品テスト操作を
始める時や、本発明のアラ−ム表示を含んだオ−トマチ
ックテストハンドラ−の作動状態をモニタ−する為の操
作情報やデ−タを入力するために使われる。ここには記
されてはいないが表示モニタ−４４とは別に操作コンソ
−ルのようなオプションをつけるとオ−トマチックテス
トハンドラ−の入力、制御、モニタ−、そして表示にと
ても便利である。キ−ボ−ド１０１はアラ−ムスクリ−
ンとアラ−ムメニュ−を変換する為のコマンドシグナル
やテスト情報を含んだ様々な信号を、オペレ−タ−が入
力する為に表示モニタ−４４と組合わせて用いられる。
アラ−ムライト４５は例えばテストハンドラ−の動作状
態を赤、緑、黄色で表すためにテストハンドラ−のハウ
ジングに付けられる。好ましくは、通常の動作状態のと
きは緑色を発し、エラ−を発見したときは赤色を発する
のがよい。

【００３２】ハンドラ−２０の上部２６はおもに上部表
面４６で構成される。そこではＩＣ３６のカスタマ−ト
レイ３４からテストトレイ４８へ、そして逆にテストト
レイ４８からカスタマ−トレイ３４へという移送動作が
行われる。上部表面４６の左側には、トレイキャッチャ
−５２とカスタマ−トレイバッファ−５４、デュアルロ
−ドステ−ジ５６ａと５６ｂが横１列に構成されたロ−
ダ−部５０が示されている。ロ−ダ−部５０のすぐ右側
には、テスト後に分類したＩＣ３６を扱うアンロ−ダ−
部６０がある。アンロ−ダ−６０は２組の隣り合ったア
ンロ−ドステ−ジで構成される。それは左側に位置して
いるアンロ−ドステ−ジ６２ａとアンロ−ドステ−ジ６
２ｂ、上部表面の右側に位置しているアンロ−ドステ−
ジ６４ａとアンロ−ドステ−ジ６４ｂを含む。上部表面
の右端には空のカスタマ−トレイをアンロ−ダ−ステ−
ジ６２ａ、ｂに送る時間を削減するための空カスタマ−
トレイバッファ−６６がある。

【００３３】図３（Ａ）において、ソ−クチャンバ−６
８がハンドラ−２０の中央部２４の左側に位置しており
上部表面４６のすぐ上に延びるようになっている。ソ−
クチャンバ−６８は上部表面４６からテストトレイ４８
を受け取る。テストトレイ４８はテストするＩＣ３６を
プレサイサ−７０（ＩＣを正確な間隔で並べる）から受
け取る。プレサイサ−７０はそれと同時にロ−ダ−セク
ション５０にあるロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂからＩＣを
受け取る。即ち、ＩＣ３６はロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂ
からプレサイサ−７０に、それからテストトレイ４８の
順に、ハンドラ−２０の上部表面４６の上で作動してい
るロ−ダ−ピックアンドプレイスによって移動される。

【００３４】ロ−ダ−ピックアンドプレイスのすぐ右に
は一組のアンロ−ダ−ピックアンドプレイスがある。そ
れは左アンロ−ダ−ピックアンドプレイス７４と右アン
ロ−ダ−ピックアンドプレイス７６である。アンロ−ダ
−ピックアンドプレイス７４、７６は、カセット出力エ
リア３０の下にある適切なカテゴリ−のカセット３２に
移動するために、テスト結果に基づきＩＣ３６を分類し
アンロ−ダステ−ジ６２、６４に置く。テストしたＩＣ
３６を有するテストトレイ４８はハンドラ−２０の右後
ろにある出口チャンバ−（アンソ−クチャンバ−）７８
からアンロ−ダ−ピックアンドプレイス７４、７６に移
される。

【００３５】図４の背面図において、ソ−クチャンバ−
６８（図４の右側にある）は、ハンドラ−２０にある上
部表面４６からテストトレイ４８を受け取り、エレベ−
タ−メカニズム８０により次第にハンドラ−２０の中央
部２４の下部表面８２に移動する。ソ−クチャンバ−の
仕事はＩＣ３６をテストの為の適切な温度にすることで
ある。その後テストトレイ４８はそれぞれのＩＣ部品３
６が所望のテストを受ける２つのテストヘッドチャンバ
−８４ａ、ｂに移動する。

【００３６】それぞれのテストヘッドチャンバ−８４
ａ、ｂではテストトレイ４８がテストコンタクタ−と垂
直に並んでいる。テストコンタクタ−にはＩＣテスタ−
（図には無い）からのテスト信号が供給される。垂直ド
ライブ機構（図には無い）の垂直運動によりテストトレ
イ４８はテストコンタクタ−に下降し、最終段階ではテ
ストされるＩＣの電子ピンがテストコンタクタ−の電子
リ−ドと接触しあう。テストコンタクタ−はテスト信号
を複数のＩＣに同時に送る。そしてＩＣからの結果信号
はテストコンタクタ−からＩＣテスタ−に送られ、基準
信号と比較評価される。

【００３７】その後テストトレイ４８は出口チャンバ−
７８（図４の左）に入る。出口チャンバ−ではテストト
レイは、少しずつハンドラ−２０の上部表面４６に上昇
すると共に周囲環境温度に戻る。出口チャンバ−７８で
は、テストトレイ４８にあるテストされるＩＣは室温
（テストハンドラ−外部の普通の温度）に変えられる。
各テストトレイ４８は出口チャンバ−７８を出ると、Ｉ
Ｃテスタ−の評価に基づき、ロ−ダ−ピックアンドプレ
イス機構７２のすぐ隣にあるアンロ−ダ−ピックアンド
プレイス機構７４、７６によるＩＣ分類が行われる。

【００３８】図８は図３（Ａ）、図４、図６、図７にあ
るテストハンドラ−２０のピックアンドプレイスの１例
を示す正面図である。図８にはロ−ダ−ピックアンドプ
レイス７２の構造しか図示されていないが、略同一の構
造がアンロ−ダ−ピックアンドプレイス７４と７６にも
用いられる。ロ−ダ−ピックアンドプレイス７２はビ−
ム９０に、ガイド１６４とベルト１６２で取り付けられ
る。ピックアンドプレイス７２のハウジング１５６の上
にあるホルダ−１５８は、コネクタ−１６０によってベ
ルト１６２とつながっている。ベルト１６２はプリ−１
６６の回転により水平に動くことができる。このように
ピックアンドプレイス７２はガイド１６４と一緒に水平
に移動する。ビ−ム９０は水平面をビ−ム７３ａと７４
ｂと一緒にプリ−１６６とベルト１６２と同様の方法
（図には無い）で前後に移動する。ビ−ム９０、７３
ａ、７３ｂの構造は図６、図７に示してある。ピックア
ンドプレイス７２は電気、機械分野で良く知られている
Ｘ−Ｙプロッタ−と似た動きで自由に水平に移動でき
る。

【００３９】ピックアンドプレイス７２はハウジング１
５６、ガイド１７６、複数の吸入孔１７０とスペ−ス調
整機構で構成される。図８の例では、ピックアンドプレ
イス１７０は最高８個の部品がカスタマ−トレイからテ
ストトレイへ同時に移動出来るように８つの吸入孔を持
つ。しかし、図８にある基本法則を使いこれ以外の構成
も可能である。例えば、図３（Ａ）のテストハンドラ−
ではロ−ダ−ピックアンドプレイスが８個の吸入孔を持
つのに対し、アンロ−ダ−ピックアンドプレイス７４と
７６は４個の吸入孔を用いている。エア−シリンダ−１
６６が各吸入孔１７０に供給されており、それにより吸
入孔が上下に移動し、近接したＩＣ部品を吸い上げる。
ＩＣを吸入孔に引きつける吸入力は真空システム源（図
には無い）等により供給される。

【００４０】８つの吸入孔１７０は交互に対称的にガイ
ド１７６と連結している。更に、吸入孔１７０はガイド
１７６上をスライドしてそれらの間隔を間隔調整機構に
より調整できるように構成されている。間隔調節機構
は、エアシリンダ−とパンタグラフ、可変性のストッパ
−（図には無い）により構成される。間隔調節機構の目
的は、カスタマ−トレイとテストトレイのシ−ト間隔の
相違を克服することにある。

【００４１】テストハンドラ−の主要部それぞれについ
ては更に詳述するが、本出願人が所有する特許出願にも
記述してある。例えば、全体構造と動作方法について
は、１９９１年１２月４日に出願された米国特許出願番
号８０３，１５９「オ−トマティックテストハンドラ−
の為の装置及び動作方法」の主題になっている。ロ−ダ
−アンロ−ダ−装置は１９９１年１２月４日に出願され
た米国特許出願番号８０３，１５４「テストハンドラ−
の為のロ−ダ−とアンロ−ダ−」の主題になっている。
更にロ−ダ−及びアンロ−ダ−ピックアンドプレイス機
構は１９９１年１２月３日に出願された米コック特許出
願番号８０１，８７５「テストハンドラ−の為のピック
アンドプレイスイス」の主題になっている。

【００４２】特に図示していないが、オ−トマチックテ
ストハンドラ−は、内部の機能ブロックと部品の状態を
モニタ−するための各種のセンサ−を含んでいる。例え
ば、テスト工程における被テスト部品やテストトレイの
動きを検出するための多数のフロ−センサ−がハンドラ
−の各位置に設けられている。そのようなフロ−センサ
−は、良く知られているように、例えば、発光ダイオ−
ドとフォト−ダイオ−ドの１組をウィンドウセンサ−と
して用いることができ、発光ダイオ−ドが被テスト部品
の動作通路を横切って光信号を発光し、部品の流れにギ
ャップができたときにフォトダイオ−ドがいつでもその
光信号を検出する。この他のセンサ−、例えばソ−クチ
ャンバ−と出口チャンバ−の温度をモニタ−する温度セ
ンサ−やピックアンドプレイスの吸入孔の空圧力をモニ
タ−する圧力センサ−等も使われる。この様なセンサ−
は周知であり、例えば、熱伝対やＰＴセンサ−（白金抵
抗温度計）が温度の計測に通常使われる。

【００４３】テスト方法の全般的説明 図３（Ａ），（Ｂ）のテストハンドラ−の動作は全体的
に図５の概要図で説明できる。叙述の便宜と容易の為
に、図５にある参照番号は図３、図４にあるテストハン
ドラ−の類似部と構造上に対応し、図示した各矢印で方
法の全般的ステップを表す。

【００４４】図５では簡略の為に１つのＩＣ「部品」の
みしか図示されていない。しかし図３の原理に基づき容
易に複数のＩＣ部品がテスト、もしくはハンドリングで
きる。カセット（又はマガジン）３２は、テストする為
のＩＣ部品３６が乗っている複数のカスタマ−トレイ３
４がトレイカセット入力エリア２８に積み込まれる。入
力エリア２８にあるエレベ−タ−３８は、最上にあるカ
スタマ−トレイ３４がカセット３２より上に行くように
カスタマ−トレイ３４を押し上げる。そしてロ−ド部５
０にあるトレイチャッチャ−５２は降下してテストされ
ていないＩＣ部品３６をもつカスタマ−トレイ３４をキ
ャッチする。

【００４５】トレイキャッチャ−５２は、その後カスタ
マ−トレイ３４をバッファ−５４に移動し、そこからカ
スタマ−トレイは、ロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂに移動す
る。図３、図６に示すトランスファ−ア−ム４０がカス
タマ−トレイ３４をバッファ−５４からロ−ドステ−ジ
５６ａ、ｂに運ぶ。ロ−ドピックアンドプレイス７２は
吸引力によりテストするＩＣ部品３６を吸着し、図７に
示すプレサイサ−７０に置く。そこでは電子部品３６を
テストトレイ４８に対し正確に位置合わせする。そして
ロ−ダ−ピックアンドプレイス７２は部品３６を再びプ
リサイサ−７０から取り、正確にテストトレイ４８に配
置する。

【００４６】ピックアンドプレイス７２によりテストす
るＩＣ３６が全て移送されると、空のカスタマ−トレイ
は、ロ−ドステ−ジ５６ａ、ｂから取り出されカセット
出力エリア３０の右端にある空マガジンステ−ション３
１、又は好ましくわアンロ−ド部６０の右端にある空カ
スタマ−トレイバッファ−６６に置かれる。空のカスタ
マ−トレイ３４はテスト結果によって決められた分類に
よりテストしたＩＣを格納する。この移動はトランスフ
ァ−ア−ム４０によって成される。

【００４７】その後テストトレイ４８はＩＣ３６が環境
条件を受ける為のソ−クチャンバ−６８に移動する。そ
してテストトレイ４８はデュアルテストヘッドチャンバ
−８４ａ、ｂに移動し、そこで電子テストが行われる。
その後テストトレイ４８は出口チャンバ−７８に上昇さ
れ周囲環境に排出される。それからハンドラ−２０は、
右アンロ−ダ−ピックアンドプレイス７６がテスト済Ｉ
Ｃを半分ほど分類しアンロ−ドテ−ジ６４ａか６４ｂの
いずれかへ移送する位置へ、テストトレイ４８を移動さ
せる。右アンロ−ダ−ピックアンドプレイス７６では分
類されない（ＩＣテスタ−やテストハンドラ−で得たテ
スト結果の統計と分類階層により決まる）ＩＣ３６は、
その後テストトレイ４８が左アンロ−ダ−ピックアンド
プレイス７４の下部に移動し、左アンロ−ダ−ピックア
ンドプレイス７４により残りのＩＣ部品全部を分類しア
ンロダ−ステ−ジ６２ａか６２ｂの一方へ移送する。

【００４８】所望の分類カテゴリ−とテスト結果により
分類したＩＣを受け取るために、カスタマ−トレイ３４
は各アンロ−ダ−ステ−ジ６２や６４上で待機してい
る。カスタマ−トレイ３４が満杯または分類の目的では
不必要になった場合、トランスファ−ア−ム４０はその
カスタマ−トレイをアンロ−ダ−ステ−ジ６２、６４か
ら移動し、ハンドラ−２０の上部サ−フェス４６の下に
あるカセット出力エリア３０内の分類カセット３２に設
置する。

【００４９】次に空のテストトレイ４８は、左アンロ−
ダ−ピックアンドプレイス７４の下部を離れ、テストす
るＩＣ部品３６を受け取るためにロ−ダ−ピックアンド
プレイス７２の下の位置に移動する。

【００５０】アラ−ムディスプレイシステム 図９は、本発明のアラ−ム表示システムのハ−ドウェア
構成示したブロック図である。アラ−ム表示システムは
マイクロプロセッサユニットの様なコントロ−ルユニッ
ト１００、表示モニタ−４４、複数のパネルスイッチ１
０２、キ−ボ−ド１０１、モ−タ−ドライブ１０６、エ
アバルブドライブ１０５、窒素の流れを制御する温度バ
ルブドライブ１０７、センサ−１０９と温度センサ−１
０８で構成される。

【００５１】どの様なマイクロプロセッサユニット、例
えばモトロ−ラＭＣ６８０００等でも本発明に使用する
事ができる。同様に表示モニタ−４４には陰極線管、プ
ラズマディスプレイパネルや液晶表示等の一般的な表示
デバイスも表示モニタ−４４として使える。モ−タ−ド
ライブ１０６は、第３図のオ−トマチックテストハンド
ラ−の様々な位置にある、モ−タ−の始動と停止や速度
の制御を行う。これらのモ−タ−は、ピックアンアンド
プレイス７２、７４、７６のＸ−Ｙ動作や、エレベ−タ
−３８の上下動作、トレイキャッチャ−５０やトラッス
ファ−ア−ム４０等のための動作機構に用いられる。エ
アバルブドライブ１０５は、例えば、ロ−ダ−ピックア
ンドプレイス７２、図３のアンロ−ダ−ピックアンドプ
レイス７４と７６、図４のテストヘッドチャンバ−８４
ａと８４ｂに搭載されたエアシリンダ−の動作を制御す
る。

【００５２】温度バルブドライブ１０７は例えば、ソ−
クチャンバ−や６８や出口チャンバ−７８の内部温度を
制御する為に供給する液体窒素の量を制御する。ウィン
ドウセンサ−１０９は、上記したように、オ−トマチッ
クテストハンドラ−内の可動部品の流れをモニタ−する
ために、発光ダイオ−ドとフォト−ディテクタ−との組
で構成される。温度センサ−１０８は、通常熱伝対やＰ
Ｔセンサ−（白金抵抗温度計）で構成され、ソ−クチャ
ンバ−６８や出口チャンバ−７８の内部温度を計るのに
使われる。

【００５３】コントロ−ルユニット１００やディスプレ
イモニタ−４４、キ−ボ−ド、パネルスイッチ１０２の
組み合わせは、エレクトロニクス市場で市販用に得られ
るコンピュ−タ−を基にしたシステムに一般的な構成で
ある。テストハンドラ−の様々な位置に備えてある図９
に示したセンサ−が、部品のエラ−やジャミング又はテ
ストハンドラ−の不具合な点を探知すると、直ちにコン
トロ−ルユニット１００はその探知した信号を判断して
警告音やアラ−ムライトを発し、ディスプレイモニタ−
４４をメインアラ−ム画面に変えるようにアラ−ム表示
システムに指示する。

【００５４】図１０は本発明によるアラ−ム表示スプレ
イの作動状態スクリ−ンとアラ−ムスクリ−ンの表示階
層の例を示すグラフィック表示である。本発明のアラ−
ム表示システムは汎用のハ−ドウェアで実現されている
ので、図１０のディスプレイモニタ−４４はテストハン
ドラ−のアラ−ム表示だけではなく、テストハンドラ−
２０の全体的動作や、電子部品をテストするための様々
なパラメ−タ−等をモニタ−するのにも使われる。即
ち、ディスプレイモニタ−４４の主なメニュ−は図１０
に図示されているオペレ−ティング状態１１１とメイン
アラ−ム画面１１２に分けられる。

【００５５】初めに、本発明のアラ−ム表示システム
は、テストハンドラ−にエラ−やジャミングがないとき
は、オペレ−ティング状態１１１を表示するように設定
されている。後述するが、使用者は部品テストを遂行す
るために各種の条件やパラメ−タ−を入力することがで
きる。オペレ−ティング状態の第２階層には、図１０に
示したメニュ−に従った複数のグラフィック表示があ
る。そのような第２階層のメニュ−は、動作条件設定メ
ニュ−１１３、統計メニュ−１１４、手動動作メニュ−
１１５、メンテナンスメニュ−１１６、パスワ−ドメニ
ュ−１１７、エンジニアモ−ドメニュ−１１８を含む。
動作条件設定メニュ−１１３は、被テスト部品のタイプ
や同時にテストする被テスト部品の数、チェンバ−内の
温度などのパラメ−タ−を設定するために使用される。
基本的にこのメニュ−は、オペレ−ティング状態１１１
内の情報から更にテストパラメ−タ−やデ−タを設定す
るのに使用する。統計メニュ−１１４はテスト結果を統
計的に分析するのに使用する。例えば、テスト中の温度
と部品不良の分散状態、ジャミング、エラ−の数等であ
る。手動メニュ−１１３は、テストハンドラ−の機械動
作をチェックする為に、エアシリンダ−やパルスモ−タ
−等の機械を手動で操作するのに使用する。メンテナン
スメニュ−１１６は、ハンドラ−操作の最初や、所定の
期間毎に、センサ−、機械部品、ウィンドウセンサ−の
電圧レベル・温度センサ−の感度レベル等の調節と校正
に使用する。パスワ−ドメニュ−およびエンジニアメニ
ュ−は、テスト状態やパラメ−タ−等を変化させる為
に、テストシステムの使用に入るための使用者のレベル
や正当性を調べるものである。本発明のアラ−ム表示
は、メインアラ−ムスクリ−ン１１２とその詳細メニュ
−に関するものなので、上記したメニュ−それぞれにつ
いてのこれ以上の説明は避ける。

【００５６】ハンドラ−内のエラ−を探知したとき、ア
ラ−ム表示システムはライト４５を緑から赤に変え、ベ
ル音の様な警告音を発し、ディスプレイモニタ−４４を
メインアラ−ム画面１１２に変える。後に詳述するが、
メインアラ−ム画面は、テストハンドラ−の全体的な機
能ブロックを、対応する点滅印と共にグラフィックに表
示する。アラ−ム画面の第二階層には、エラ−やジャミ
ングの位置を確認する為にテストハンドラ−内の機能ブ
ロックの詳しい図を示すための、テストハンドラ−内の
機能ブロックの数に応じた適当な数のグラフィック表示
を有する。そのような詳細のメニュ−の例が図９に示し
たロ−ダ−１２５やロ−ダ−ピックアンドプレイス１２
６、アンロ−ダ−ピックアンドプレイス１２７等であ
る。テストハンドラ−内に備える機能ブロックに応じ
た、他のメニュ−も可能である。アラ−ム表示のメニュ
−それぞれの詳説は、図１３から図１５に関して行う。

【００５７】図１１はオ−トマチックテストハンドラ−
にエラ−が発見されないときに示されるオペレ−ティン
グ状態のスクリ−ン表示を示す。オペレ−ティング状態
画面１１１にはテストの日時、テストされる電子部品の
種類、積み込まれたデバイスの数、分類数、テスト温度
等を含むオ−トマチックテストハンドラ−の動作の基本
的な情報が示される。この様なパラメ−タ−の設定は部
品テスト開始の前に行われる。スクリ−ンの右側には図
１０に示すオペレ−ティング状態のより詳細な階層のメ
ニュ−を表している。テストハンドラ−の使用者は、良
く知られているように、キイボ−ド１０１上の矢印キ−
を動かしてこれら詳細表示メニュ−を選定できる。

【００５８】オペレ−ティング状態画面は、ハンドラ−
内にエラ−が有る状態でも、所定のキ−を押すことによ
り設定できる。例えば、本発明のアラ−ム表示システム
が、エラ−の検出に起因するアラ−ム画面状態の場合
（後に詳述するが）、使用者がキ−ボ−ド１０１上のＦ
１キ−を押すことにより、オペレ−ティング状態画面に
戻る。その場合、テストハンドラ−内のエラ−に関する
情報は、図１１の画面の上右と下部のように示される。
同様に、使用者はキイボ−ド１０１上の機能キ−Ｆ３を
押すことにより、アラ−ム画面状態に戻れる。

【００５９】テストハンドラ−内にエラ−やジャミング
が発生すると、本発明のアラ−ム表示システムは図１０
のオペレ−エィング画面からメインアラ−ム画面に、自
動的に切換わる。図１２は、本発明のアラ−ム表示シス
テムのメインアラ−ム画面を表した１例である。アラ−
ムディスプレイ画面には、テストハンドラ−内の全体的
な機能ブロックと、その機能ブロックに対応しテストハ
ンドラ−内のエラ−に関する１つ以上の機能ブロックを
示すための、インディケ−タ−とが図示してある。それ
らは、インディケ−タ−Ｉ２を有するロ−ダ−２８、イ
ンディケ−タ−Ｉ１０を有するアンロ−ダ−３０、イン
ディケ−タ−Ｉ１を有するソ−クチェンバ−６８、イン
ディケイタ−Ｉ５を伴うトレイトランスファ−４８、イ
ンディケ−タ−Ｉ６と出口チャンバ−７８、インディケ
イタ−Ｉ７とロ−ダ−ピックアンドプレイス７２、イン
ディケ−タ−Ｉ８，Ｉ９とアンロ−ダ−ピックアンドプ
レイス７４、７６、インディケイタ−Ｉ３とコンタクタ
−、インディケ−タ−Ｉ４とテストチェンバ−等であ
る。

【００６０】テストハンドラ−の様々な場所に備えてあ
る図９に示したセンサ−が、テストハンドラ−内の不具
合や部品のエラ−又はジャミングを検出するとすぐに、
エラ−を検出したことをオペレ−タ−等に知らせるため
に、コントロ−ルユニット１００はアラ−ム表示システ
ムに警告ライトを赤色に変えて警告音を発生させる。又
コントロ−ルユニットは、メインアラ−ム画面に移行す
るようにアラ−ムシステムに指示する。使用者や管理者
がディスプレイを見てどの機能ブロックが不良か判るよ
うに、メインアラ−ム画面のグラフィックディスプレイ
は、図３（Ａ）のオ−トマチックテストハンドラ−２０
内の実際の機械配列と類似したものになっている。図１
２の例では、エラ−がロ−ダ−２８で検出された状態で
あり、エラ−を解除するまでインディケ−タ−Ｉ２は点
滅する。エラ−メッ−ジＡ０１もスクリ−ン１１２の下
部のメッセ−ジ画面１２４に示してある。この例のエラ
−メッセ−ジＡ０１では「エラ− ロ−ダ− カセット
スライダ−（左側）」となっている。これはロ−ダ−
の左側にエラ−があるという意味である。従って、エラ
−のタイプや場所に関して、機能ブロック（この例では
ロ−ダ−）を示すだけの上部画面よりもより詳細な情報
を、使用者はエラ−メッセ−ジＡ０１で知ることができ
る。

【００６１】メインアラ−ム画面は右側に、第２階層と
しての第１メッセ−ジ詳細画面１２１とオペレ−ティン
グ状態１２３のメニュ−を示している。キ−ボ−ド１０
１でメニュ−を選びカ−ソルを設定して機能キ−Ｆ１を
実行すると、ディスプレイ画面は指定した画面に変わ
る。オペレ−ティング状態メニュ−を実行すると、第１
１図に示したようにディスプレイ画面はオペレ−ティン
グ画面に変わる。本発明の特徴の１つは、第１メッセ−
ジ詳細画面１２１のメニュ−を押すことによりテストハ
ンドラ−内のエラ−についてのより詳細な画面に移行す
るという、エラ−画面の多重構造を有することである。
第１メッセ−ジ詳細図１２１が選定されると、ディスプ
レイ画面はメインアラ−ム画面１１２の下にある第１エ
ラ−メッセ−ジＡ０１が示した機能ブロックに変わる。
この例ではロ−ダ−２８である。メインアラ−ム画面の
下部に第２エラ−メッセ−ジがある場合は、メインアラ
−ム画面は「第２メッセ−ジの詳細図」と示したメニュ
−１２１に類似した追加のメニュ−を表示する。

【００６２】ロ−ダ−メッセ−ジの詳細図の例を図１３
のスクリ−ン画面に示す。そこにはテストハンドラ−内
のロ−ダ−部とその各機能部品、その機能部品に対応す
る点滅インディケ−タ−が詳細に図示してある。スクリ
−ン画面には、エラ−やジャミングのあるロ−ダ−セク
ション２８の機能部品をより詳しくシンボル化したグラ
フィック表示がされている。すなわち第１３図のグラフ
ィック表示はステ−ション３１、マガジン３２、トレイ
キャッチャ−５２、エレベ−タ−３８、バッファ−５４
とロ−ドステ−ジ５６ａ、５６ｂ等を示し、これらは図
３（Ａ）から図７に関して述べた同じ名称と番号の機能
部品に対応する。図１３の例では、点滅インディケ−タ
−はテストハンドラ−の使用者により詳細なエラ−等の
情報を示すために双方矢印Ａ１−Ａ８で構成される。そ
れぞれの矢印Ａ１−Ａ８はエラ−が対応する機能素子に
発生したとき、コントロ−ルユニット１００の指示によ
って、予め決められた時間間隔で点滅する。更に矢印Ａ
１−Ａ８は対応する機能素子の動作の方向を示すことが
できる。

【００６３】図１３のグラフィックディスプレイ１３１
の下部には、テストハンドラ−のエラ−とそのタイプを
示すアラ−ムメッセ−ジを表示するメッセ−ジコラム１
３５が供給されている。この例では、アラ−ムメッセ−
ジに「Ａ０５ エラ− ロ−ダ− トレイ キャッチァ
−（上下動作）」と表示されている。これはテストハン
ドラ−２０のロ−ダ−２５のトレイセット内にあるトレ
イキャッチャ−５２に上下運動でエラ−が起きたことを
示す。ディスプレイ１３１の右側には、次に選択すべき
メニュ−を示すための、メニュ−インディケ−タ−１３
３と１３４が備えてある。インディケ−タ−１３３は以
前の画面である図１２のメインアラ−ム画面を示し、イ
ンディケ−タ−１３４は図１１に示したオペレ−ティン
グ画面を示す。この分野で良く知られているように、本
発明のアラ−ム表示システムの使用者は、矢印キ−で画
面上のマ−カ−をインディケ−タ１３３か１３４に設定
しキ−ボ−ドの機能キ−Ｆ１を押して、メニュ−インデ
ィケ−タ−の１つを実行できる。

【００６４】図１４は、テストハンドラ−内のロ−ダ−
ピックアンドプレイス７２の詳細図のスクリ−ン画面１
４１の１例を表す。スクリ−ンディスプレイ１４１はロ
−ダ−ピックアンドプレイス７２の機能部品とそれに対
応する点滅インディケ−タをグラフィックに表示する。
グラフィックディスプレイ１４１の画面は、どの部品に
エラ−やジャミングがあるかを正確に示す為に図１２の
メインアラ−ム画面よりもロ−ダ−ピックアンドプレイ
ス７２の機能部品をより詳細にシンボル化した図であ
る。すなわち図１４のグラフィックディスプレイ１４１
は、図８に示したピックアンドプレイスに用いた名称と
同一の機能部品に対応するハウジング１５６上の空気シ
リンダ−１６６と複数の吸入孔１７０を示す。図１４の
例では、点滅インディケ−タ−Ａ１０−２０はロ−ダ−
ピックアンドプレイスの構成部品のエラ−位置をより詳
細に示す為の図１３に似た双方矢印を含む。それぞれの
矢印Ａ１−Ａ８は対応する機能素子にエラ−が起きたと
き、図９に図示してあるコントロ−ルユニット１００か
ら命令を受けて点滅する。更に、この例では、矢印Ａ１
−Ａ８は対応する機能素子の動作の方向を示すことがで
きる。

【００６５】図１４のグラフィックディスプレイは更に
図３（Ａ）、図４に示すカスタマ−トレイ３４かテスト
トレイ４８を表すトレイを図示している。アラ−ムイン
ディケ−タ−Ｂ１−Ｂ４はトレイ３４、４８に内に図示
してあり、例えば図３（Ｂ）のカスタマ−トレイのシ−
トまたはテストトレイ４８のシ−トを示す。オ−トマチ
ックテストハンドラ−２０のピックアンドプレイス７２
は図８に示したように、カスタマ−トレイとテストトレ
イの空間間隔相違を合わせる為に、吸入孔１７０の空間
間隔を調整することができる。アラ−ムインディケ−タ
−Ｃ１とＣ２がそのような空間間隔を示す。インディケ
−タ−Ｃ１はカスタマ−トレイピッチを示し、インディ
ケ−タ−Ｃ２はマシ−ントレイ（テストトレイ）ピッチ
を示す。アラ−ムインディケ−タ−Ｂ１−Ｂ４とＣ１−
Ｃ２は、対応する機能素子にエラ−が起きたとき点滅す
る。この例では、インディケ−タ−Ｃ２がテストトレイ
の間隔調整にエラ−が起きたことを示すために点滅して
いる。

【００６６】グラフィックディスプレイ１４１の下部に
はディスプレイ１４１の上部にあるインディケ−タ−Ａ
１０−Ａ２０、Ｂ１−Ｂ４、Ｃ１とＣ２の点滅に対応し
たエラ−のタイプと位置を言葉で示すメッセ−ジコラム
１４５が供給されている。この例では、アラ−ムメッセ
−ジは「Ｂ３７ エラ− Ｌ ピッチ ＣＮＶ （小
部）」となっている。これはロ−ダ−ピックアンドプレ
イスのカスタマ−トレイ（テストトレイの空間間隔より
小さい空間間隔をもつ）のピッチ（シ−トの空間間隔）
の変換にエラ−があることを示している。ディスプレイ
１４１の右側には、図１０と同様の方法で、次に選択す
るメニュ−を示すために、メニュ−インディケ−タ−１
４３と１４４が備えてある。インディケ−タ−１４３は
以前の画面である図１２のメインアラ−ム画面のメニュ
−を示し、インディケ−タ−１４４は図１１に表したオ
ペレ−ティング状態画面メニュ−を示している。

【００６７】図１５はハンドラ−２０内のアンロ−ダ−
ピックアンドプレイス７４（又は７６）の一例を詳細に
示したスクリ−ンディスプレイ１５１の１例を表してい
る。そこに図解してあるのは、アンロ−ダ−ピックアン
ドプレイス７４の各機能部品とそれに対応する点滅イン
ディケ−タ−である。どの機能部品にエラ−やジャミン
グがあるかをより正確に示すために、図１２のメインア
ラ−ム画面１１２よりもより詳細にアンロ−ダ−ピック
アンドプレイス７４の機能部品をシンボル化してグラフ
ィック表示している。図８に関して説明したように、吸
入孔の数とそれに対応する駆動機構は任意に選べるが、
アンロ−ダ−ピックアンドプレイス７４、７６はロ−ダ
−ピックアンドプレイス７２と本質的に同じ構造や機構
をしている。

【００６８】この例ではアンロ−ダ−ピックアンドプレ
イス７４には、カスタマ−トレイ３４とテストトレイ４
８の電子部品（ＩＣ）を吸引し解除する吸入孔１７０が
４個ある。すなわち図１４の例のように、図１５のグラ
フィックディスプレイ１５１はハウジング１５６上のエ
アシリンダ−１６６に対応する吸入孔１７０を４個表示
している。図１４と同様に、図３（Ａ）と図４に示した
カスタマ−トレイ３４やテストトレイ４８を示すトレイ
が図示してある。図１５の例では、点滅インディケ−タ
−Ａ２１−Ａ２７は双方矢印で構成し、アラ−ムインデ
ィケ−タ−Ｂ６−Ｂ９はアンロ−ダ−ピックアンドプレ
イス７４の部品におけるエラ−のタイプと位置を示すた
めに設けられている。アラ−ムインディケ−タ−Ｂ６−
Ｂ９はカスタマ−トレイ３４かテストトレイ４８のシ−
トを示している。インディケ−タ−Ａ１−Ａ８とＢ６−
Ｂ９は対応する機能部品にエラ−が生じると図１０のコ
ントロ−ルユニット１００から指示を受けて点滅する。
この例では、シ−ト内の被テスト部品の種類にエラ−が
あった事を示すためにインディケ−タＢ６が点滅してい
る。

【００６９】グラフィックディスプレイ１５１の下部に
は、ディスプレイ１５１の上部に表示された点滅に対応
するエラ−の位置とタイプを指すアラ−ムメッセ−ジを
文章で示すために、メッセ−ジコラム１５２が備えてあ
る。この例ではアラ−ムメッセ−ジは「Ｈ８１ エラ−
ＵＬ１ バキュ−ム ヘッド−１ に未確認部品」と
なっている。これはトレイ３４か４８のインディケ−タ
−Ｂ６に示されるデバイスシ−トに誤った部品があるこ
とを表す。ディスプレイ１５１の右側には更にアクセス
できるメニュ−を指示すために、メニュ−インディケ−
タ−１５３と１５４が備えてある。メニュ−インディケ
−タ−１５３と１５４は図１３と図１４のメニュ−イン
ディケ−タ−と同一である。

【００７０】フロ−チャ−ト 本発明に好ましい実施例では、発明の動作は図９のコン
トロ−ルユニット１００のアルゴリズムとして実行され
る。図１６は、テスト動作とアラ−ム表示動作のシ−ケ
ンスを表す、本発明のアラ−ム表示システムの全体的な
操作のためのアルゴリズムの例示的フロ−チャ−トであ
る。

【００７１】第１ステップＳ１では、テストハンドラ−
２０を操作するためのアルゴリズムは、例えばキ−ボ−
ド１０１上の所定のスタ−トキイを押すことにより、ス
タ−トコマンドを実行して行う。また、テストシステム
（ＩＣテスタ−）から指示を受けてテストハンドラ−２
０の操作を開始することも可能である。操作の開始の後
で、被テスト部品にテスト信号を送り且つＩＣ部品から
結果信号を受けるために、ＩＣテスタ−は図４に示した
テストチャンバ−８４ａ，ｂにテスト信号を送る。ステ
ップＳ１によるシ−ケンスが開始すると、アルゴリズム
はステップＳ２に移り、図３（Ａ）から図７に関して説
明したハンドリング操作をテストハンドラ−が行う。

【００７２】このステップの間、カスタマ−トレイ３４
はトレイキャッチャ−５２とトランスファ−ア−ム４０
によってマガジン３２からロ−ドステ−ジ５６ａ，ｂに
移動する。ＩＣ部品はソ−クチャンバ−６８を通ってテ
ストチャンバ−８４ａ，ｂに送られるように、ロ−ダ−
ピックアンドプレイスによってカスタマ−トレイ３４か
らテストトレイ４８に移動する。テストチャンバ−８４
ａ，ｂ内でのテストの後、テスト済のＩＣはテスト結果
にしたがって分類するために、出口チャンバ−７８を通
りアンロ−ダ−ピックアンドプレイス７４、７６にもど
る。こうしてアンロ−ダ−ピックアンドプレイスで分類
したテスト済ＩＣのあるカスタマ−トレイは、カセット
３２への積み込みのために更に分類される。

【００７３】ステップＳ３では上記のテストハンドラ−
の動作が正常であるかないかを知る為に図９に示された
様々なタイプのセンサ−によってモニタ−される。もし
ステップＳ３のテスト結果が肯定、つまりテストハンド
ラ−にエラ−が発生しなかったとき、アリゴリズムはス
テップＳ２に戻る。故に、テストハンドラ−にエラ−無
ければ本発明のアラ−ムシステムはハンドラ−の動作が
終了するまでステップＳ２とステップＳ３を繰り返す。
この状態のとき、ディスプレイモニタ−４４は図１１の
オペレ−ティング状態画面を表示する。もしステップＳ
３のテスト結果が否定であると、コントロ−ルユニット
１００はテストハンドラ−にエラ−があることを知り、
アルゴリズムはステップＳ４に移行し、テストシ−ケン
スが停止する。

【００７４】コントロ−ルユニット１００は次のステッ
プＳ５−Ｓ７の３つを順に又は同時に実施する。つま
り、ステップＳ５−Ｓ７は図１６に示されている以外の
順序でも同時にも行うことができる。説明の便利のた
め、ここでの記述はステップＳ５からＳ７に順番に示し
てある。ステップＳ５では、テストハンドラ−２０内に
エラ−や不具合があることを使用者に知らせるためアラ
−ム表示システムは警告音を発する。この警告音は従来
型のブザ−や音声合成器等含む様々な方法で発生でき
る。同時にステップＳ６ではテストハンドラ−２０のハ
ウジング上のアラ−ムライト４５が、エラ−の発生を使
用者等に知らせるため赤いライトを点滅または無点滅す
る。アラ−ムライトは誰にも警告音が聞こえない状況の
ときに特に効果がある。また同時にステップＳ７では本
発明のアラ−ム表示システムはオペレ−ティング状態画
面から図１２のメインアラ−ムスクリ−ンに変わる。図
１２に関して上述したように、メインアラ−ムスクリ−
ンは対応する機能ブロックにエラ−が起きたときに点滅
するインディケ−タ−をを有している。エラ−の詳細図
を表示する過程は図１７で詳述する。

【００７５】本発明のアラ−ム表示システムのアルゴリ
ズムはステップＳ８に移行し、使用者又は修理者エラ−
を調べて修正する。好ましくは、図１３から図１５に表
したアラ−ムスクリ−ンの詳細図を調べてから修正をす
るのが好ましい。そのアルゴリズムについては図１７に
おいて後述する。ステップＳ８でエラ−を修正した後、
使用者はステップＳ９のスタ−トコマンドをインプット
し、テストハンドラ−２０内のエラ−全てがクリアされ
たかを本発明のアラ−ム表示システムが調査するステッ
プＳ１０に移行させる。テスト結果が肯定的であればア
ルゴリズムはＩＣ部品をテストするためにハンドラ−の
テスト進行を開始するステップＳ１に戻る。ステップＳ
９のテスト結果が否定的であった場合は、アルゴリズム
はステップＳ４に戻り、テスト進行が止まって警告音と
アラ−ムライト発生のステップＳ５，Ｓ６とメインアラ
−ム画面ステップＳ７に移行する。従ってテストハンド
ラ−内のエラ−すべてが修正されるまでアルゴリズムは
ステップＳ４−Ｓ１０を繰り返す。

【００７６】図１７は、図１２から図１５に関して示し
た詳細図画面とメインアラ−ム画面が相互作用するため
のステップを含む、本発明のアラ−ム表示システムの操
作のフロ−チャ−トである。図１７のアルゴリズムは図
１６のステップＳ７−Ｓ９に対応する、より詳細な形の
進行過程である。テストハンドラ−内にエラ−がある場
合は、図１７のフロ−チャ−トにおいて、ステップＳ
７’でアラ−ムディスプレイ操作のアルゴリズムは開始
する。ステップＳ１１ではディスプレイモニタ−４４の
オペレ−ティング状態画面は図１２のメインアラ−ムス
クリ−ン１１２に切り替わる。メインアラ−ムスクリ−
ン１１２ではステップＳ１２で，テストハンドラ−２０
内の機能ブロックに対応するインディケ−タ−Ｉ５−Ｉ
１０を点滅させることでエラ−の位置を指示する。従っ
て図１７のステップＳ７’とステップ１１と１２の組み
合わせは、図１６のステップＳ７と同じである。詳述し
たように、メインアラ−ム画面はエラ−のある機能ブロ
ックの詳細図に移行するためのメニュ−も表示する。

【００７７】次にステップＳ１３では、アラ−ム表示シ
ステムが警告位置の詳細画面を表示するかどうかを使用
者に質問する。もし答えがノ−の場合は、使用者か修理
者がエラ−を調べて修正するステップＳ８に移行する。
ステップＳ８でエラ−を修正後、テストハンドラ−に他
のエラ−がないかを調査するために使用者がスタ−トコ
マンドをインプットする図１６のステップＳ９に進行す
る。オペレ−タ−がエラ−の詳細図を見たいときは、ス
テップＳ１４で、画面上のマ−カ−をメニュ−１２１
（「第一メッセ−ジの詳細図」）に設定するためにキイ
ボ−ド１０１の矢印キ−を押す。その後、ステップＳ１
５ではオペレ−タ−はキ−ボ−ド１０１の機能キ−Ｆ１
を実行する。

【００７８】ステップＳ１６では、矢印や他のインディ
ケ−タ−の形でより詳しくエラ−の位置やタイプを示す
図１３から図１５の詳細画面ディスプレイは変わる。ス
テップＳ１７では使用者や修理者は、図１３から図１５
にインディケ−タ−で位置を示されたテストハンドラ内
のエラ−を修正する。次のステップＳ１８ではエラ−表
示システムに他の警告がないか調べる。もし何もないと
きは、アルゴリズムは次のエラ−を捜すプロセスを始め
るためにステップＳ９に移行する。一方で、アラ−ム表
示システムにエラ−警告が残っている場合は、使用者は
どの機能ブロックにエラ−があるのかを見つけるために
Ｆ３キ−を押してメインアラ−ム画面１１２に戻る。従
ってステップＳ１１−Ｓ１９の過程はエラ−がすべて無
くなるまで繰り返される。

【００７９】上で述べたように、本発明のアラ−ムディ
スプレイシステムはエラ−位置とエラ−のタイプを正確
に素早く探知することができる。以上では２階層のアラ
−ム表示しか述べていないが、更に詳細なディスプレイ
階層を表示させる事も可能である。

【００８０】

【発明の効果】本発明によれば、オートマチックテスト
ハンドラーの種々の操作に関して、適切なアラーム表示
が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、集積回路（ＩＣ）のような電子部品を
自動的にロ−ディング、テスト、分類、アンロ−ディン
グする事の出来る従来のテストハンドラ−の斜視図であ
る。

【図２】図２は、図１の従来のオ−トマチックテストハ
ンドラ−に使われるエラ−の位置を示すためのアラ−ム
表示器の略図である。

【図３】図３（Ａ）は、本発明によるアラ−ム表示シス
テムを適用するための近代的オ−トマチックテストハン
ドラ−の主な構成部分の例を示す斜視図であり、図３
（Ｂ）は、図３（Ａ）のオ−トマチックテストハンドラ
−のカスタマ−トレイとトレイマガジン、トレイエレベ
−タ−の拡大図である。

【図４】図４は、図３（Ａ）のオ−トマチックテストハ
ンドラ−のソ−クチャンバ−、２つのテスト部、そして
イグジトチャンバ−の例を示す拡大背面図である。

【図５】図５は、図３（Ａ）のオ−トマチックテストハ
ンドラ−の全体的なテストハンドラ−の工程を示すフロ
−ダイアグラムである。

【図６】図６は、図３（Ａ）のオ−トマチックテストハ
ンドラ−のカスタマ−トレイマガジンの入口部及び出口
部を主に示す正面拡大図である。

【図７】図７は、図３（Ａ）のオ−トマチックテストハ
ンドラ−のロ−ダ−とアンロ−ダ−、そしてそれらのピ
ックアンドプレイスメカニズムの平面図である。

【図８】図８は、図３から図７のオ−トマチックテスト
ハンドラ−でよく使うピックアンドプレイスとそれに関
するドライブメカニズムの正面図である。

【図９】図９は、図３（Ａ）から図７に図示したオ−ト
マチックテストハンドラ−で使う本発明のアラ−ム表示
システムのハ−ドウェア構成を示すブロック図である。

【図１０】図１０は、本発明に伴うアラ−ム表示システ
ムのアラ−ム表示機能と動作状態表示機能の表示階層を
示すグラフィック表示である。

【図１１】図１１は、テストハンドラ−にエラ−が無い
ときのオ−トマチックテストハンドラ−の作動状態を示
す本発明のアラ−ム表示システムのスクリ−ン表示であ
る。

【図１２】図１２は、テストハンドラ−の全体的な機能
ブロックの図示と、その機能ブロックに対応してオ−ト
マチックテストハンドラ−のエラ−の存在を表示するイ
ンディケ−タ−を示す本発明のアラ−ムディスプレイシ
ステムのメインアラ−ムスクリ−ンの１例である。

【図１３】図１３は、ロ−ダ−部の部品それぞれとそれ
に対応する点滅インディケ−タ−を図示する、テストハ
ンドラ−のロ−ダ−部の詳細図な画面の例である。

【図１４】図１４は、ロ−ダ−ピックアンドプレイス部
にある対応するインディケ−タ−と各素子をグラフィッ
クに表すテストハンドラ−のロ−ダ−ピックアンドプレ
イス部の詳細図の画面表示の例である。

【図１５】図１５は、アンロ−ダ−ピックアンドプレイ
ス部にある対応するインディケ−タ−と各素子をグラフ
ィックに示すテストハンドラ−のアンロ−ダ−ピックア
ンドプレイス部の詳細図の画面表示の例である。

【図１６】図１６は、本発明のテスト動作順序とアラ−
ム表示動作の全体的な動作手順を示す概略フロ−チャ−
トである。

【図１７】図１７は、メインアラ−ム画面と詳細アラ−
ム画面のアラ−ム表示順序との相互作用とアラ−ム工程
でのエラ−の解除を主に図示した本発明のアラ−ム表示
システムの動作の概略フロ−チャ−トである。

【符号の説明】

２０・・オ−トマチックテストハンドラ− ２２・・下部キャビネット ２４・・中央部 ２６・・上部 ２８・・トレイカセット（又はマガジン）入力エリア ３０・・カセット出力エリア ３１・・ステ−ション ３２・・カスタマ−トレイカセット ３４・・カスタマ−トレイ ３６・・ＩＣ ３８・・カスタマ−トレイエレベ−タ− ４０・・トランスファ−ア−ム ４２・・トレイハンドラ− ４４・・表示モニタ− ４６・・アラ−ムライト ４８・・テストトレイ ５０・・ロ−ダ−部 ５２・・トレイキャッチャ− ５４・・カスタマ−トレイバッファ− ５６・・デュアルロ−ドステ−ジ ６０・・アンロ−ダ− ６８・・ソ−クチャンバ− ７０・・プレサイサ− ７２・・ロ−ダ−ピックアンドプレイス ７４・・左アンロ−ダ−ピックアンドプレイス ７６・・右アンロ−ダ−ピックアンドプレイス ７８・・出口チャンバ− ９０・・ビ−ム １０１・・キ−ボ−ド １５６・・ハウジング １５８・・ホルダ− １６０・・コネクタ− １６２・・ベルト １６４・・ガイド １６６・・プリ− １７０・・ピックアンドプレイス １７６・・ガイド

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−66882（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−52834（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−97676（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−3536（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01R 31/26 H01L 21/66

Claims (11)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】水平なトレイに設けられた複数の電子部品
   試験するためのオートマチックテストハンドラ−に使用
   するアラ−ム表示システムにおいて、 上記オートマチックテストハンドラーの各位置に設けら
   れそのハンドラー内の上記トレイ上の上記電子部品の移
   動を含む各パラメ−タを検出するためのセンサーと、 上記オートマチックテストハンドラーにエラ−が発生し
   たときそのエラーの発生を知らせるとともにそのエラー
   の全体的位置を示す為にメインアラーム画面を表示する
   単一の表示器とを有し、 そのメインアラーム画面には第１の選択メニュ−を有し
   それにより、上記表示器に、（ａ）オペレーティング状
   態画面、（ｂ）選択的継続的に上記メインアラ−ム画面
   またはオペレーティング状態画面を上記表示器に表示す
   る第２の選択メニュ−を有する詳細アラーム画面、を選
   択的継続的に表示させ、その詳細アラ−ム画面は上記テ
   ストハンドラーのエラ−の具体的位置を表示し、上記ア
   ラ−ム画面は上記エラ−位置を指示するために点滅する
   位置インディケーターを有し、そのオペレ−ティング状
   態画面は上記エラ−がないとき上記オ−トマチックテス
   トハンドラ−のテスト条件についての情報を表示し、 上記オ−トマチックテストハンドラ−の全体動作を制御
   するコントロ−ルユニットを有し、そのコントロ−ルユ
   ニットは上記センサ−からの信号によりオ−トマチック
   テストハンドラ−内の上記エラ−を検出し、上記表示器
   にそのエラ−の全体的および具体的位置を知らせるよう
   に構成したことを特徴とするアラ−ム表示システム。
2. 【請求項２】上記テストハンドラ−にエラ−が生じたと
   き警報音と警報ライトを発生する手段を有する請求項１
   記載のアラ−ム表示システム。
3. 【請求項３】上記センサ−は試験される上記電子部品の
   動きを検出する窓センサ−と、温度チャンバの温度を検
   出する温度センサ−と、上記テストハンドラ−内の圧縮
   空気の圧力を検出する圧力センサ−と含む請求項１記載
   のアラ−ム表示システム。
4. 【請求項４】上記表示器は上記オ−トマチックテストハ
   ンドラ−にエラ−がないとき上記オペレ−ティング状態
   画面を表示し、エラ−が生じたときは上記コントロ−ラ
   ユニットの制御により上記メインアラ−ム画面に自動的
   に移行する請求項１記載のアラ−ム表示システム。
5. 【請求項５】上記表示器は陰極線管、プラズマディスプ
   レイ、液晶表示器を含む汎用表示器である請求項１記載
   のアラ−ム表示システム。
6. 【請求項６】上記メインアラ−ム画面は上記オ−トマチ
   ックテストハンドラ−の機能ブロックをグラフィックに
   描いた全体的位置の画面を表示し、そのメインアラ−ム
   画面はそのエラ−が存在する上記テストハンドラ−の機
   能ブロックに対応するグラフィック表示に描かれた上記
   位置インジィケ−タを点滅させる請求項１記載のアラ−
   ム表示システム。
7. 【請求項７】上記詳細アラ−ム画面は対応する上記機能
   ブロックの各構成部分をグラフィックに表示し、その詳
   細アラ−ム画面はエラ−が存在する上記テストハンドラ
   −の上記構成部分に対応するグラフィック表示に描かれ
   た上記位置インジィケ−タを点滅させる請求項１記載の
   アラ−ム表示システム。
8. 【請求項８】上記オペレ−ティング状態画面とメインア
   ラ−ム画面および詳細アラ−ム画面のそれぞれはその画
   面間を直接的に切り換えるメニュ−インジィケ−タを有
   する請求項１記載のアラ−ム表示システム。
9. 【請求項９】上記オペレ−ティング状態画面とメインア
   ラ−ム画面および詳細アラ−ム画面のそれぞれは上記テ
   ストハンドラ−内のエラ−の種類を言葉により示すエラ
   −メッセ−ジを有する請求項１記載のアラ−ム表示シス
   テム。
10. 【請求項１０】マガジン内に積み重ねられた複数のトレ
    イ上に設けられた集積回路（ＩＣ）を試験するためのオ
    −トマチックテストハンドラ−において、 試験するための上記ＩＣを備えた上記トレイを有するマ
    ガジンを受取り、そのトレイを上記マガジンからその試
    験するＩＣを処理するための位置に移動させるロ−ダ
    と、 そのオ−トマチックテストハンドラ−に形成されたル−
    プ状の通路を移動する複数のテストトレイと、 上記トレイから上記テストトレイにそのＩＣを移動させ
    る第１のピックアンドプレ−ス機構と、 上記ル−プ状の通路に設けられ上記テストトレイ上のＩ
    Ｃを試験するためにの少なくとも１個のテストチャンバ
    と、 上記ＩＣの試験の後でその試験の結果に基づいてそのＩ
    Ｃを分類するための第２のピックアンドプレ−ス機構
    と、 上記分類されたＩＣを有する上記トレイを試験結果に基
    づいてマガジンに返送するアンロ−ダと、 少なくとも上記テストトレイ上のＩＣの移動を検出する
    ために上記オ−トマチックテストハンドラ−の各位置に
    設けられた複数のセンサ−と、 上記テストハンドラ−の試験条件を表示する表示器を有
    し、その表示器はそのテストハンドラ−にエラ−があっ
    たときそのエラ−の全体的位置および具体的位置を知ら
    せ、その全体的位置と具体的位置は相互に切り換えがで
    き、 上記オ−トマチックテストハンドラ−の全体動作を制御
    するコントロ−ルユニットを有し、そのコントロ−るユ
    ニットは上記センサ−からの信号によりオ−トマチック
    テストハンドラ−内の上記エラ−を検出し、上記表示器
    にそのエラ−の全体的および具体的位置を知らせるよう
    に構成したことを特徴とするアラ−ム表示システム。
11. 【請求項１１】トレイ上に設けられた集積回路（ＩＣ）
    を試験するためのオ−トマチックテストハンドラ−内に
    生じた故障を表示する方法において、 そのオ−トマチックテストハンドラ−の各位置に複数の
    センサ−を設け、 上記センサ−によりオ−トマチックテストハンドラ−内
    のトレイ上のＩＣの移動を検出し、 そのＩＣの移動についての情報をコントロ−ラに伝えそ
    の情報によりコントロ−ラがそのオ−トマチックテスト
    ハンドラ−内に故障があるか決定し、 故障がないときはオペレ−ティング状態画面を表示し、
    そのオ−トマチックテストハンドラ−に故障が検出され
    たときその画面をアラ−ム画面に切り換えて表示し、 そのアラ−ム画面が表示された後その故障の全体的位置
    と具体的位置を選択的に表示することを特徴とするアラ
    −ム表示方法。