KR100538912B1 - 피크-앤-플레이스 로봇으로 기판 상에 배치된 소자의 위치를 검출하는 방법 - Google Patents
피크-앤-플레이스 로봇으로 기판 상에 배치된 소자의 위치를 검출하는 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (7)
- 피크-앤-플레이스 로봇(1)으로 기판(2) 상에 배치된 소자(15)의 위치를 검출하는 방법으로서,상기 소자(15)의 소정의 위치는 상기 소자가 배치되기 전에 상기 피크-앤-플레이스 로봇(1)의 제어 디바이스(7)에 저장되며,그후에 검사될 선택 소자(15)는 상기 제어 디바이스(7)에 저장되며,상기 피크-앤-플레이스 로봇(1)의 센서(10)를 이용하여, 상기 기판(2) 상의 선택 소자(15)의 실제 위치는 상기 소자가 배치된 후에 결정되며,상기 실제 위치는 상기 소정의 위치와 비교되며,소정의 틀 내에서 상기 소정의 위치와 실제 위치가 일치할 때, 상기 기판(2)에 대한 피크-앤-플레이스 공정은 지속되며, 일치하지 않으면, 결함 메시지가 출력되는 것을 특징으로 기판 상에 배치된 소자의 위치 검출 방법.
- 제 1항에 있어서,상기 사용된 센서(10)는 하부에 접속된 이미지 평가 유니트를 가진 카메라인 것을 특징으로 하는 기판 상에 배치된 소자의 위치 검출 방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 위치는 추가의 소자(16)가 배치되기 전에, 이미 배치된 소자(15)를 통해서 검출되는 것을 특징으로 하는 기판 상에 배치된 소자의 위치 검출 방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 센서(10)는 상기 피크-앤-플레이스 로봇(1)의 피크-앤-플레이스 헤드(4)에 고정되며 상기 피크-앤-플레이스 헤드(4)와 함께 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 상에 배치된 소자의 위치 검출 방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 센서(10)는 또한 상기 피크-앤-플레이스 로봇(1)으로 상기 기판(2)의 위치를 결정하는데 사용되는 것을 특징으로 하는 기판 상에 배치된 소자의 위치 검출 방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 피크-앤-플레이스 로봇에서의 상기 기판(2)의 위치는 상기 피크-앤-플레이스 동작 전에, 단 한 번에 결정되는 것을 특징으로 하는 기판 상에 배치된 소자의 위치 검출 방법.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서, 상기 소자 위치 검출 방법은 위치 검출 결과를 사용하여 추후 피크-앤-플레이스 공정 동안 피크-앤-플레이스 공정의 위치 정확도를 향상시키기 위해 피크-앤-플레이스 로봇에 사용되는 것을 특징으로 하는 기판 상에 배치된 소자의 위치 검출 방법.
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