JP3228520B2 - 真空用電線 - Google Patents

真空用電線

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JP3228520B2 JP04681591A JP4681591A JP3228520B2 JP 3228520 B2 JP3228520 B2 JP 3228520B2 JP 04681591 A JP04681591 A JP 04681591A JP 4681591 A JP4681591 A JP 4681591A JP 3228520 B2 JP3228520 B2 JP 3228520B2
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哲也 阿部
義夫 村上
信二 稲澤
和夫 澤田
浩一 山田
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【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、真空中や、高温環境
下で使用される真空用電線に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ガス放出を嫌う真空中や、高い耐熱性が
要求される絶縁電線としては、セラミックス製のガイシ
管に導体が通された形式の絶縁電線や、酸化マグネシウ
ムなどの金属酸化物微粒子が詰められた、ステンレス合
金等からなる耐熱合金製の管に導体が通された形式のM
Iケーブルなどが使用されている。
【0003】また、加熱すれば無機物となるようなシリ
コーン樹脂をセラミックス粒子と混合して線材に塗布
し、塗布後これを加熱して線材のまわりにセラミックス
絶縁層を形成させたようなセラミックス化絶縁電線も知
られている。
【0004】有機物を被覆した絶縁電線としては、ポリ
イミドやポリアミドイミド等の樹脂を被覆した絶縁電線
も知られている。また、フッ素樹脂を押し出しながら線
材の表面に被覆した絶縁電線も知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ポリイ
ミドやポリアミドイミド等の樹脂を被覆した絶縁電線や
フッ素樹脂を押し出しながら線材の表面に被覆した絶縁
電線では、ガス放出特性が不十分であり、また300℃
を超える用途では耐熱性が不十分であるという問題点が
あった。
【0006】また、加熱すれば無機物となるようなシリ
コーン樹脂を線材に塗布し、塗布後これを加熱して線材
のまわりにセラミック無機絶縁層を形成させたようなセ
ラミック無機絶縁電線では、十分な絶縁性を得るため、
絶縁層膜厚を厚くする必要があった。したがって、一般
的に可撓性が劣るといった問題があった。また、コイル
を形成した場合、導体の占積率が小さいという問題点を
有していた。
【0007】さらにMIケーブルやガイシ管を用いたも
のでは、これらの絶縁電線は、いずれも可撓性、端末処
理および取扱いの面において劣っていた。
【0008】この発明の目的は、このような従来の問題
点を解消し、良好な曲げ加工性を有し、かつ耐熱性およ
び絶縁性に優れた真空用電線を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明の真空用電線
は、銅線または銅合金線と、銅線または銅合金線の外周
に設けられる酸化ケイ素からなる絶縁被覆層と、絶縁被
覆層の外周に設けられ、かつセラミックスおよび加熱に
より酸化物セラミックスに変化する有機物を含む組成物
を含む層と、セラミックスおよび加熱により酸化物セラ
ミックスに変化する有機物を含む組成物を含む層の外周
に設けられるシリコーン樹脂を含む層とを備えている。
【0010】この発明において、「セラミックスおよび
加熱により酸化物セラミックスに変化する有機物を含む
組成物を含む層」は、250℃加熱および300℃程度
の短時間処理(両方を低温加熱と記す)によって生じた
セラミックス、およびその低温加熱により未だセラミッ
クス化せずそれより高温の、たとえば400℃程度の
熱により酸化物セラミクッスに変化する材料から形成さ
れている。加熱により酸化物セラミックスに変化する材
料は、出荷時の250℃加熱および300℃程度の短時
間処理の低温加熱のままであり、良好な曲げ加工性があ
る。の層は、少なくとも1種類のセラミックス粉末を
含んでいてもよい。上記の加熱により酸化物セラミック
スに変化する有機物を含む組成物は、良好な曲げ加工性
のある組成物であり、フェノキシ樹脂やシリコーン樹脂
が該当する。上記のセラミックスに変化する有機物を含
む組成物の層を、以後、セラミック有機材料複合層と呼
ぶ。
【0011】また、加熱処理の際の銅線または銅合金線
の耐酸化性を向上させるために、ニッケルめっき銅線等
のニッケルを被覆した線材を基材として用いてもよい。
【0012】
【作用】この発明において、絶縁被覆層のまわりに設け
られるセラミック有機材料複合層は、加熱により酸化物
セラミックスに変化する有機物を含む組成物を含んでお
、無機の絶縁層のみでは困難である良好な曲げ加工性
を有している。また、セラミック有機材料複合層は、耐
熱性の優れた絶縁層として機能する。
【0013】また、この発明において、シリコーン樹脂
を含んだ層(以後、シリコーン樹脂層と記す)は、セラ
ミック有機材料複合層の外周に設けられ、擦れなどによ
る機械的損傷を防ぐ保護層としての働きを有する。30
0℃程度の低温域に短時間加熱された状態のシリコーン
樹脂は、優れた可撓性および絶縁性を有している。
【0014】シリコーン樹脂層のシリコーン樹脂は、加
熱によりセラミックスに変化するものが好ましい。
【0015】この発明の真空用電線を高真空下で使用す
る場合には、この発明の真空用電線をコイル等に巻き加
工した後、セラミック有機材料複合層とシリコーン樹脂
層とがセラミックスに変化する温度以上で加熱処理し、
セラミックス化させる必要がある。この際の加熱により
発生する熱分解のガス量を少なくし、かつセラミックス
に変化した後の絶縁特性を高めるためには、セラミック
ス有機材料複合層にセラミックスの粉末を混合しておく
ことが好ましい。
【0016】
【実施例】[実施例1] 基材の準備 線径0.5mmのニッケルめっき銅線(ニッケル膜厚1
0μm)を、パークロルエチレンで蒸気脱脂を行なっ
た。
【0017】 絶縁被覆層の形成 テトラエチルオルトシリケート:蒸留水:ジエチレング
リコールモノメチルエーテルを、8:32:60%のモ
ル分率で室温にて混合した。この混合溶液を80℃で3
0時間加熱攪拌し、コーティング溶液Aを得た。
【0018】このコーティング溶液Aをで準備した基
材の上に塗布し、380゜で加熱焼成を行なった。この
塗布および加熱焼成を複数回繰返すことにより、膜厚4
μmの塗膜を形成した。
【0019】 セラミック有機材料複合層の形成 フェノキシ樹脂YP−50(東都化成株式会社製)のジ
エチレングリコールモノメチル50重量%溶液を、テト
ラエチルモノメチルエーテルに対しフェノキシ樹脂の重
量比が1/2になるように、室温で混合し溶液Bとし
た。この溶液Bとで作製したコーティング溶液Aと
を、1:1の割合となるように混合して、コーティング
溶液Cを作製した。で絶縁被覆層としてコーティング
した無機絶縁層の上に、このコーティング溶液Cを塗布
し、250℃で加熱焼成した。この塗布および加熱焼成
を複数回繰返すことにより、膜厚15μmのセラミック
有機材料複合層を形成した。
【0020】 シリコーン樹脂層の形成。
【0021】シリコーン樹脂H−19−2(東レ−ダウ
コーニング社製)をキシレン10%溶液とし、このシリ
コーン樹脂溶液をセラミック有機材料複合層の上に塗布
し、300℃で5分間加熱焼成した。この塗布および加
熱焼成を5回繰返すことにより、膜厚10μmのシリコ
ーン樹脂層を形成した。
【0022】図1は、以上のようにして得られた絶縁被
覆電線を示す断面図である。図1を参照して、銅芯材1
の外表面上にニッケル層2を有する基材を使用し、この
ニッケル層2の外表面上に無機絶縁層3が形成されてい
る。この無機絶縁層3の上には、セラミック有機材料複
合層4が形成されている。さらにセラミック有機材料複
合層4の上には、シリコーン樹脂層5が形成されてい
る。この実施例1においては、無機絶縁層3は酸化ケイ
素から形成されている。
【0023】得られた電線の絶縁性を評価するために、
絶縁破壊電圧を測定した。室温下においては、その絶縁
破壊電圧は2.5kVであった。また得られた電線を直
径5mmの円筒の外周面上に、巻き付けても、絶縁層に
亀裂が発生しなかった。 [実施例2] 基材の準備 線径0.5mmのニッケルクラッド銅合金線(Cu−
0.15%Ag合金,ニッケル膜厚50μm)を、パー
クロルエチレンで蒸気脱脂した。
【0024】 絶縁被覆層の形成 Arガスをキャリアガスとして、SiH4 およびN2
をソースガスとしてCVD反応容器に供給する。このC
VD反応容器内にで準備した基材を400℃で加熱し
て連続的に供給し、13.56MHzの高周波を印加す
ることにより、基材上に酸化ケイ素の薄膜を連続的に形
成した。このようにして、厚さ5μmの酸化ケイ素薄膜
を無機絶縁層として形成した。
【0025】 セラミック有機材料複合層の形成 シリコーン樹脂H−19−2(東レ−ダウコーニング社
製)をキシレン10%溶液とした。このキシレン10%
溶液に、公称粒径15μm,アスペクト比10の天然マ
イカ粉末をシリコーン樹脂に対し50重量部となるよう
に混合し、コーティング溶液を準備した。このコーティ
ング溶液をで形成した絶縁被覆層としての無機絶縁層
の上に塗布し、250℃で加熱焼成した。この塗布およ
び加熱焼成を複数回繰返すことにより、膜厚10μmの
セラミック有機材料複合層を形成した。
【0026】 シリコーン樹脂層 シリコーン樹脂H−19−2(東レ−ダウコーニング社
製)をキシレン10%溶液とした。この溶液を、で形
成したセラミック有機材料複合層の上に塗布し、300
℃で5分間加熱焼成した。この塗布および加熱焼成を複
数回繰返すことにより、膜厚5μmのシリコーン樹脂層
を形成した。
【0027】図2は、以上のようにして形成された絶縁
被覆電線を示す断面図である。図2を参照して、銅芯材
6の外表面上にニッケル層7を有している。このニッケ
ル層7の外表面上に無機絶縁層8が形成されている。こ
の無機絶縁層8の上には、セラミック有機材料複合層9
が形成されている。さらに、セラミック有機材料複合層
9の上には、シリコーン樹脂層10が形成されている。
この実施例2においては、無機絶縁層8は酸化ケイ素で
ある。
【0028】得られた電線の絶縁性を評価するために、
絶縁破壊電圧を測定した。室温下において、絶縁破壊電
圧は3.0kVであり、400℃の温度で加熱処理した
後では、2.0kVであった。また得られた電線を直径
5mmの円筒の外周面上に、巻き付けたところ、絶縁層
に亀裂は発生しなかった。
【0029】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の真空用
電線では、絶縁被覆層の上にセラミック有機材料複合層
が設けられており、さらにその上にはシリコーン樹脂層
が設けられている。セラミック有機材料複合層およびシ
リコーン樹脂層は、ともに有機材料を含んでおり可撓性
に優れている。このため、巻線加工などを行なうことが
できる可撓性を有している。
【0030】また、この発明ではセラミック有機材料複
合層のまわりにシリコーン樹脂層が設けられており、こ
のシリコーン樹脂層により、セラミック有機材料複合層
が機械的損傷を受けるのを防いでいる。またシリコーン
樹脂層は、優れた可撓性や絶縁性を与えている。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明に従った一実施例を示す断面図であ
る。
【図2】この発明に従った他の実施例を示す断面図であ
る。
【符号の説明】
1 銅芯材 2 ニッケル層 3 無機絶縁層 4 セラミック有機材料複合層 5 シリコーン樹脂層 6 銅芯材 7 ニッケル層 8 無機絶縁層 9 セラミック有機材料複合層 10 シリコーン樹脂層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 哲也 茨城県那珂郡那珂町大字向山字中原801 番地の1 日本原子力研究所那珂研究所 内 (72)発明者 村上 義夫 茨城県那珂郡那珂町大字向山字中原801 番地の1 日本原子力研究所那珂研究所 内 (72)発明者 稲澤 信二 大阪市此花区島屋一丁目1番3号 住友 電気工業株式会社 大阪製作所内 (72)発明者 澤田 和夫 大阪市此花区島屋一丁目1番3号 住友 電気工業株式会社 大阪製作所内 (72)発明者 山田 浩一 大阪市此花区島屋一丁目1番3号 住友 電気工業株式会社 大阪製作所内 (56)参考文献 特開 昭57−11415(JP,A) 特開 昭56−38706(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01B 7/02 H01B 7/17

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 銅線または銅合金線と、 前記銅線または銅合金線の外周に設けられる酸化ケイ素
    からなる絶縁被覆層と、 前記絶縁被覆層の外周に設けられ、かつセラミックスお
    よび加熱により酸化物セラミックスに変化する有機物を
    含む組成物を含む層と、 前記セラミックスおよび加熱により酸化物セラミックス
    に変化する有機物を含む組成物を含む層の外周に設けら
    れるシリコーン樹脂を含む層とを備える、真空用電線。
  2. 【請求項2】 前記セラミック有機材料複合層は、少な
    くとも1種類のセラミックス粉末を含む、請求項1に記
    載の真空用電線。
  3. 【請求項3】 前記銅線または銅合金線が、ニッケルめ
    っきされている、請求項1に記載の真空用電線。
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