JP3206845B2 - 光学ガラス素子の製造方法およびこれに用いる光学ガラス素子のプレス成形用型 - Google Patents

光学ガラス素子の製造方法およびこれに用いる光学ガラス素子のプレス成形用型

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光学ガラス素子のプレ
ス成形用型及びこれを用いた光学ガラス素子の製造方法
に関する。さらに詳しくは、プレス成形後の研磨工程を
必要としない高精度な光学ガラス素子を製造するための
プレス成形用型及びこれを用いた光学ガラス素子の製造
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】高精度な光学ガラス素子をプレス成形に
より、繰り返し成形するためには、型材料として高温で
も安定で、耐酸化性に優れ、ガラスに対して不活性であ
り、プレスした時に形状精度が崩れないような機械的強
度の優れたものが必要であるが、その反面、加工性に優
れ、精密加工が容易にできることが要請される。
【0003】以上のような光学ガラス素子のプレス成形
用型に必要な条件を、ある程度満足する型材として、チ
タンカーバイド(TiC)及び金属の混合材料(特開昭
59−121126号公報)や超硬合金母材上に貴金属
薄膜を形成したもの(特開昭62−96331号公報)
などが検討されている。さらに特開昭64−52622
号公報においては、母材表面にタンタル単体層または窒
化タンタル被覆層を形成することが提案されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
型材料では、高温で繰返しプレス成形するために必要な
金型に要求される前記加工条件を全て満足するものは得
られていない。例えば型材としてTiC及び金属の混合
材料を用いた場合では、非常に硬く、機械的強度は優れ
ているものの、加工性が劣るので、光学素子の反転形状
を有する高精度な金型に加工することは非常に困難であ
る。さらには、光学ガラス素子の構成成分である鉛(P
b)やアルカリ元素と反応しやすいという問題を有して
いる。
【0005】また、超硬合金母材上に貴金属薄膜を形成
した型では、機械的強度及び加工性に優れ、窒素ガス等
の不活性ガス雰囲気中において、成形温度が600℃程
度までは繰り返し成形を行っても、ガラスとの反応はほ
とんど起こらない。しかしながら、650℃以上の温度
で成形を行うと、約100回の成形で金型表面が変色し
てしまい、その後表面にくもりが生じ、繰り返し成形で
きなくなる。また、650℃以上においては、ガラスと
のぬれ性及び離型性についても満足できるものではなか
った。さらに、これらの改善案として、超硬質合金の成
形面にニッケル(Ni)及び貴金属元素を主成分とする
合金薄膜を形成したもの(特開昭64−61327号公
報)が提案されているが、この型についても、650℃
以上の高温になると、1000回以上の成形で粒成長が
起こり表面が荒れてしまうといった問題があり、高融点
ガラスは繰り返し成形できなかった。さらに特開昭64
−52622号公報のようにタンタル単体層または窒化
タンタル被覆層を形成しても高温における繰返しプレス
成形条件に耐え得るものではなかった。従って現在高融
点光学ガラス素子は得られていない。
【0006】本発明はこのような従来の課題を解消し、
高精度な高融点光学ガラス素子を製造する方法、および
これに用いる繰り返しプレス成形を行なっても劣化のな
い光学ガラス素子のプレス成形用型を提供することを目
的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の光学ガラス素子の製造方法は、ガラスの軟
化点以上の耐熱性があり、プレス成形に耐え得る強度を
有する母材と、前記母材のプレス面上に形成されたTa
系合金保護層とからなる光学ガラス素子のプレス成形用
型を用いて、屈伏温度(At点)が650℃以上の高融
点ガラスをプレス成形するものである。
【0008】前記構成においては、Ta系合金保護層
が、含有率が5重量%〜95重量%のTaと、残りが白
金(Pt)、ロジウム(Rh)、イリジウム(Ir)、
ルテニウム(Ru)、オスミウム(Os)、レニウム
(Re)、タングステン(W)、パラジウム(Pd)か
ら選ばれる少なくとも1種類以上の元素を含有するTa
系合金であることが好ましい。
【0009】また前記構成においては、プレス成形用型
の母材が、タングステンカーバイド(WC)を主成分と
する超硬合金、チタンカーバイド(TiC)またはチタ
ンナイトライド(TiN)を主成分とするサーメット、
またはWC焼結体から選ばれる物質であることが好まし
い。
【0010】次に本発明の光学ガラス素子のプレス成形
型は屈伏温度(At点)が650℃以上の高融点ガ
ラスをプレス成形する光学ガラス素子の製造に用いられ
る成形用型であって、ガラスの軟化点以上の耐熱性があ
り、プレス成形に耐え得る強度を有する母材と、前記母
材のプレス面上に形成されたTa系合金保護層とからな
ることを特徴とする。 前記構成においては、Ta系合金
保護層が、含有率が5重量%〜95重量%のTaと、残
りが白金(Pt)、ロジウム(Rh)、イリジウム(I
r)、ルテニウム(Ru)、オスミウム(Os)、レニ
ウム(Re)、タングステン(W)、パラジウム(P
d)から選ばれる少なくとも1種類以上の元素を含有す
るTa系合金であることが好ましい。 また前記構成にお
いては、プレス成形用型の母材が、タングステンカーバ
イド(WC)を主成分とする超硬合金、チタンカーバイ
ド(TiC)またはチタンナイトライド(TiN)を主
成分とするサーメット、またはWC焼結体から選ばれる
物質であることが好ましい。
【0011】
【作用】前記した本発明の光学ガラス素子のプレス成形
用型の構成によれば、ガラスの軟化点以上の耐熱性があ
り、プレス成形に耐え得る強度を有する母材と、前記母
材のプレス面上に形成されたTa系合金保護層とからな
るという構成を備えたことにより、高融点ガラスを繰り
返しプレス成形しても長期間使用することができ、劣化
の少ないプレス成形用型を実現できる。この理由は、母
材を金型形状に加工するので高い精度に加工でき、また
Ta系合金保護層は、耐熱性、耐酸化性に優れ、高温下
でガラスに対して不活性であり、さらに合金であるがゆ
えに機械的強度が大きく、これが強靭かつ耐久性のある
保護膜として機能するからと考えられる。
【0012】また、Ta系合金保護層が、含有率が5重
量%〜95重量%のTaと、残りが白金(Pt)、ロジ
ウム(Rh)、イリジウム(Ir)、ルテニウム(R
u)、オスミウム(Os)、レニウム(Re)、タング
ステン(W)、パラジウム(Pd)から選ばれる少なく
とも1種類以上の元素を含有するTa系合金であるとい
う本発明の好ましい構成によれば、高融点ガラスを繰り
返しプレス成形してもさらに長期間使用することがで
き、劣化の少ないプレス成形用型を実現できる。
【0013】また、プレス成形用型の母材が、タングス
テンカーバイド(WC)を主成分とする超硬合金、チタ
ンカーバイド(TiC)またはチタンナイトライド(T
iN)を主成分とするサーメット、またはWC焼結体か
ら選ばれる物質であるという本発明の好ましい構成によ
れば、型材料としての必要条件を全て満足し、従来の型
材料に比べて、非常に耐熱性が優れた型を得ることがで
きるようになる。この型を用いることによって、劣化が
なくなり、高融点光学ガラス素子を繰り返しプレス成形
することが可能となる。
【0014】次に本発明の光学ガラス素子の製造方法の
構成によれば、ガラスの軟化点以上の耐熱性があり、プ
レス成形に耐え得る強度を有する母材と、前記母材のプ
レス面上に形成されたTa系合金保護層とからなる光学
ガラス素子のプレス成形用型を用いて、屈伏温度(At
点)が650℃以上の高融点ガラスをプレス成形するこ
とにより、合理的に効率良く高融点ガラスをプレス成形
することができる。
【0015】
【実施例】本発明において、母材表面のTa系合金保護
層の厚さは0,5〜10μmの範囲が好ましい。また母
材の耐熱性は、ガラスの軟化点以上である。ここで軟化
点とは、一般的なガラス技術分野の定義に従い、粘性率
(η)が4.9×107 ポイズになるときの温度をい
う。
【0016】以下、本発明の一実施例について図面を参
照しながら説明する。直径20mm、厚さ5mmのWC
を主成分とする超硬合金を曲率半径がそれぞれ46mm
及び200mmの凹面形状のプレス面を有する上下の型
からなる一対の光学ガラスレンズのプレス成形用型に加
工した。これらの型のプレス面を超微細なダイヤモンド
砥粒を用いて鏡面に研磨した。次に、この鏡面上にスパ
ッタ法により3μmの厚みでTa−Pt、Rh、Ir、
Ru、Os、Re、W、Pd合金薄膜をそれぞれコーテ
ィングしてプレス成形用型を作製した。このようにして
作製した型の一例としてTa−Ir合金薄膜をコーティ
ングした型の断面図を図1に示す。図1において11は
プレス面上にコーティングしたTa−Ir合金薄膜、1
2は母材である。
【0017】これらの型を図2に示したプレス成形機に
セットする。図2において21は上型用固定ブロック、
22は上型用加熱ヒーター、23は上型、24はガラス
素材、25は下型、26は下型用加熱ヒーター、27は
下型用固定ブロック、28は上型用熱電対、29は下型
用熱電対、210はプランジャー、211は位置決め用
センサー、212はストッパー、213は覆いである。
【0018】次に半径5mmの球状に加工した軟化点6
80℃のバリウムクラウン系ガラス(SK−14)24
を下型25の上に置き、その上に上型23を置き、その
まま700℃まで昇温し、窒素雰囲気中で約40kg/
cm2 のプレス圧により2分間圧力を保持し、その後、
そのままの状態で600℃まで冷却して、成形された光
学ガラス素子を取り出して、光学ガラス素子のプレス成
形の工程を完了する。
【0019】以上の工程を繰り返して10000回目の
プレス終了時に、上下の型23及び25をプレス成形機
より取りはずして、プレス面の状態を光学顕微鏡で観察
し、その時のプレス面の表面粗さ(RMS値、オングス
トローム)を測定して、それぞれの型精度を評価した。
これらの結果を表2〜表5に示した。さらに、比較実験
として、従来使用されていたSiC焼結体型及び超硬合
金母材上にPt薄膜、またはIr薄膜をコーティングし
た型を、それぞれ図2に示したプレス成形機にセット
し、上述のプレス成形の工程を10000回繰り返し行
い、同様の型精度の評価を行った。これらの結果を(表
1)に示した。
【0020】
【表1】
【0021】試料No.1のSiC焼結体で作製した型
は、50回のプレス成形によって上下両方の型共に表面
にガラスが付着し、それ以上ガラスをプレスすることが
できなかった。すなわちNo.1の型では量産出来ない
ことがわかる。
【0022】また、試料No.2及び3のようにPtま
たはIrスパッタ膜でコーティングした型では、ガラス
の付着は起こらないが、10000回プレス後には、表
面粗さ(RMS値)でそれぞれ255.6 オングストロー
ム、105.4 オングストロームと非常に粗くなり、表面が
白濁し実用的でないことがわかる。
【0023】
【表2】
【0024】
【表3】
【0025】
【表4】
【0026】
【表5】
【0027】以上の従来の型に対して試料No.4〜4
3の本発明の型の中で、Ta含有率が30重量%〜70
重量%の型については、10000回プレスした時で
も、表面状態はほとんど変化せず、表面粗さはほとんど
プレス前と変化がなかった。また、Ta含有率が5%、
95%の型についても、これまでの成形用型に比べて1
0000回プレス後の表面粗さの変化は小さかった。す
なわち、本実施例の型は、軟化点680℃のバリウムク
ラウン系ガラス(SK−14)のような高融点ガラス
を、繰り返しプレス成形してもほとんど劣化せず、型寿
命が著しく長く、高精度な高融点光学ガラス素子を大量
にプレス成形することが可能となった。
【0028】以上のように、本実施例の型は前記した高
精度な光学ガラス素子を直接プレス成形するための必要
条件を全て満たし、従来のものに比べて著しく型寿命が
延び、これまで成形で作製できなかった高融点光学ガラ
ス素子を大量にプレス成形することが可能となった。
【0029】なお、本発明を説明するために、実施例に
おいてプレス成形用型の母材として、WCを主成分とす
る超硬合金を用いたが、TiNまたはTiCを主成分と
するサーメットまたはWC焼結体を母材に用いてもまっ
たく同様の結果が得られた。
【0030】以上のように、本実施例は光学ガラス素子
のプレス成形用型を作製するにあたり、母材として超硬
合金及びサーメットを用い、そのプレス面に含有率が5
重量%〜95重量%のTaと残りがPt、Rh、Ir、
Ru、Os、Re、W、Pdの中から少なくとも1種類
以上含有するTa系合金薄膜をコーティングすることに
より、前述した型材料としての必要条件をすべて満た
し、特に耐熱性が優れ、高温でガラスを繰り返し成形し
ても劣化のない光学ガラス素子のプレス成形用型を提供
したものであり、高精度な高融点光学ガラス素子を安価
に、かつ、大量に製造することが可能となった。
【0031】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、ガ
ラスの軟化点以上の耐熱性があり、プレス成形に耐え得
る強度を有する母材と、前記母材のプレス面上に形成さ
れたTa系合金保護層とからなるという構成を備えたこ
とにより、高融点ガラスを繰り返しプレス成形しても長
期間使用することができ、劣化の少ないプレス成形用型
を実現できる。
【0032】次に本発明の光学ガラス素子の製造方法に
よれば、ガラスの軟化点以上の耐熱性があり、プレス成
形に耐え得る強度を有する母材と、前記母材のプレス面
上に形成されたTa系合金保護層とからなる光学ガラス
素子のプレス成形用型を用いて、屈伏温度(At点)が
650℃以上の高融点ガラスをプレス成形することによ
り、合理的に効率良く高融点ガラスをプレス成形するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における光学ガラス素子のプ
レス成形用型の断面図。
【図2】本発明の一実施例で用いたプレス成形機の概略
図。
【符号の説明】
11 Ta−Ir合金薄膜 12 母材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭59−121126(JP,A) 特開 平3−242333(JP,A) 特開 平3−242334(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C03B 9/00 - 17/06

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ガラスの軟化点以上の耐熱性があり、プ
    レス成形に耐え得る強度を有する母材と、前記母材のプ
    レス面上に形成されたTa系合金保護層とからなる光学
    ガラス素子のプレス成形用型を用いて、屈伏温度(At
    点)が650℃以上の高融点ガラスをプレス成形するこ
    とを特徴とする光学ガラス素子の製造方法。
  2. 【請求項2】 Ta系合金保護層が、含有率が5重量%
    〜95重量%のTaと、残りが白金(Pt)、ロジウム
    (Rh)、イリジウム(Ir)、ルテニウム(Ru)、
    オスミウム(Os)、レニウム(Re)、タングステン
    (W)、パラジウム(Pd)から選ばれる少なくとも1
    種類以上の元素を含有するTa系合金である請求項1に
    記載の光学ガラス素子の製造方法。
  3. 【請求項3】 プレス成形用型の母材が、タングステン
    カーバイド(WC)を主成分とする超硬合金、チタンカ
    ーバイド(TiC)またはチタンナイトライド(Ti
    N)を主成分とするサーメット、またはWC焼結体から
    選ばれる物質である請求項1に記載の光学ガラス素子の
    製造方法。
  4. 【請求項4】 屈伏温度(At点)が650℃以上の高
    融点ガラスをプレス成形する光学ガラス素子の製造に用
    いられる成形用型であって、ガラスの軟化点以上の耐熱
    性があり、プレス成形に耐え得る強度を有する母材と、
    前記母材のプレス面上に形成されたTa系合金保護層と
    からなる光学ガラス素子のプレス成形用型。
  5. 【請求項5】 Ta系合金保護層が、含有率が5重量%
    〜95重量%のTaと、残りが白金(Pt)、ロジウム
    (Rh)、イリジウム(Ir)、ルテニウム(Ru)、
    オスミウム(Os)、レニウム(Re)、タングステン
    (W)、パラジウム(Pd)から選ばれる少なくとも1
    種類以上の元素を含有するTa系合金である請求項4に
    記載のプレス成形用型
  6. 【請求項6】 プレス成形用型の母材が、タングステン
    カーバイド(WC)を主成分とする超硬合金、チタンカ
    ーバイド(TiC)またはチタンナイトライド(Ti
    N)を主成分とするサーメット、またはWC焼結体から
    選ばれる物質である請求項4に記載のプレス成形用型。
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