JP3221788B2 - 光学ガラス素子のプレス成形用型並びにその作製方法及び光学ガラス素子のプレス成形方法 - Google Patents
光学ガラス素子のプレス成形用型並びにその作製方法及び光学ガラス素子のプレス成形方法Info
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- JP3221788B2 JP3221788B2 JP27562393A JP27562393A JP3221788B2 JP 3221788 B2 JP3221788 B2 JP 3221788B2 JP 27562393 A JP27562393 A JP 27562393A JP 27562393 A JP27562393 A JP 27562393A JP 3221788 B2 JP3221788 B2 JP 3221788B2
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- optical glass
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学ガラス素子の製造
方法に関して、高精度な光学ガラス素子を、プレス成形
する方法、及びプレス成形する際に用いる光学ガラス素
子のプレス成形用型、及びその作製方法に関するもので
ある。
方法に関して、高精度な光学ガラス素子を、プレス成形
する方法、及びプレス成形する際に用いる光学ガラス素
子のプレス成形用型、及びその作製方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】高精度な光学ガラス素子をプレス成形に
より、繰り返し成形するためには、型材料として高温で
も安定で、耐酸化性に優れ、ガラスに対して不活性であ
り、かつプレスしたときに形状精度が崩れないような機
械的強度の優れたものが必要であるが、その反面、加工
性に優れ、精密加工が容易にできることが要求される。
より、繰り返し成形するためには、型材料として高温で
も安定で、耐酸化性に優れ、ガラスに対して不活性であ
り、かつプレスしたときに形状精度が崩れないような機
械的強度の優れたものが必要であるが、その反面、加工
性に優れ、精密加工が容易にできることが要求される。
【０００３】以上のような光学ガラス素子のプレス成形
用型に必要な条件を、ある程度満足する型材として、チ
タンカーバイド(ＴiＣ)及び金属の混合材料(特開昭59−
121126号公報参照)や超硬合金母材上に貴金属薄膜を形
成したもの(特開昭62−96331号公報参照)などが検討さ
れている。
用型に必要な条件を、ある程度満足する型材として、チ
タンカーバイド(ＴiＣ)及び金属の混合材料(特開昭59−
121126号公報参照)や超硬合金母材上に貴金属薄膜を形
成したもの(特開昭62−96331号公報参照)などが検討さ
れている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
型材料では、上記の条件をすべて満足するものは得られ
ていない。例えば型材としてＴiＣ及び金属の混合材料
を用いた場合では、非常に硬く、機械的強度は優れてい
るものの、加工性に劣り、高精度な加工が困難である。
さらには、光学ガラス素子の構成成分である鉛(Ｐb)や
アルカリ元素と反応しやすいという問題を有している。
型材料では、上記の条件をすべて満足するものは得られ
ていない。例えば型材としてＴiＣ及び金属の混合材料
を用いた場合では、非常に硬く、機械的強度は優れてい
るものの、加工性に劣り、高精度な加工が困難である。
さらには、光学ガラス素子の構成成分である鉛(Ｐb)や
アルカリ元素と反応しやすいという問題を有している。
【０００５】また、超硬合金母材上に貴金属薄膜を形成
した型では、超硬合金をダイヤモンド砥石を用いて加工
を行うと、ダイヤモンド砥石の摩耗が激しく、精密な形
状加工が困難であり、特別な加工装置が必要である。ま
た、加工時間も長く、金型コストが非常に高いという問
題があった。
した型では、超硬合金をダイヤモンド砥石を用いて加工
を行うと、ダイヤモンド砥石の摩耗が激しく、精密な形
状加工が困難であり、特別な加工装置が必要である。ま
た、加工時間も長く、金型コストが非常に高いという問
題があった。
【０００６】これらの改善策として、超硬合金母材上に
母材と密着性が良好な薄膜を形成し、さらに該薄膜上に
容易に精密加工できる膜として、例えば無電解Ｎi−Ｐ
めっき膜を形成し、保護膜として合金薄膜を形成する方
法(特開平３−23230号公報参照)が検討されている。し
かしながら、この方法では無電解Ｎi−Ｐめっき膜の耐
熱性が低く、高融点ガラスを成形することができないと
いう問題があった。
母材と密着性が良好な薄膜を形成し、さらに該薄膜上に
容易に精密加工できる膜として、例えば無電解Ｎi−Ｐ
めっき膜を形成し、保護膜として合金薄膜を形成する方
法(特開平３−23230号公報参照)が検討されている。し
かしながら、この方法では無電解Ｎi−Ｐめっき膜の耐
熱性が低く、高融点ガラスを成形することができないと
いう問題があった。
【０００７】以上のように、従来の型材料では前述の型
材料としての必要条件をすべて満足するには至っていな
い。
材料としての必要条件をすべて満足するには至っていな
い。
【０００８】本発明は、このような従来の課題を解消
し、従来の研削加工では実現できなかった多種多様の形
状を持った高融点光学ガラス素子を、繰り返しプレス成
形することが可能なプレス成形用型を提供することを目
的とする。
し、従来の研削加工では実現できなかった多種多様の形
状を持った高融点光学ガラス素子を、繰り返しプレス成
形することが可能なプレス成形用型を提供することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明では、ＷＣを主成分とする超硬合金、または
ＴiＣあるいはＴiＮを主成分とするサーメット、または
ＷＣ焼結体からなる母材上に、切削加工層として１つの
元素がＮi，Ｃo，Ｆeから選ばれる金属であり、もう一
方の元素がＳi，Ｔi，Ｃu，Ｚr，Ｎb，Ｍo，Ｒu，Ｒh，
Ｐd，Ｈf，Ｔa，Ｗ，Ｒe，Ｏs，Ｉrから選ばれる金属で
あり、残りがＢからなる三元合金薄膜を形成し、切削加
工により精密加工を行った後、該加工層上に保護層とし
てＰt，Ｐd，Ｉr，Ｒh，Ｏs，Ｒu，Ｒe，Ｗ，Ｔaから選
ばれる少なくとも１種類以上の金属を含む貴金属系合金
薄膜を形成して構成される金型を作製することによっ
て、多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素子のプ
レス成形用型を提供し、この型を用いて高融点光学ガラ
スを繰り返しプレス成形することによって、従来プレス
成形できなかった多種多様な形状を持った高融点光学ガ
ラス素子を安価に、かつ大量に製造することを可能にし
たものである。
に、本発明では、ＷＣを主成分とする超硬合金、または
ＴiＣあるいはＴiＮを主成分とするサーメット、または
ＷＣ焼結体からなる母材上に、切削加工層として１つの
元素がＮi，Ｃo，Ｆeから選ばれる金属であり、もう一
方の元素がＳi，Ｔi，Ｃu，Ｚr，Ｎb，Ｍo，Ｒu，Ｒh，
Ｐd，Ｈf，Ｔa，Ｗ，Ｒe，Ｏs，Ｉrから選ばれる金属で
あり、残りがＢからなる三元合金薄膜を形成し、切削加
工により精密加工を行った後、該加工層上に保護層とし
てＰt，Ｐd，Ｉr，Ｒh，Ｏs，Ｒu，Ｒe，Ｗ，Ｔaから選
ばれる少なくとも１種類以上の金属を含む貴金属系合金
薄膜を形成して構成される金型を作製することによっ
て、多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素子のプ
レス成形用型を提供し、この型を用いて高融点光学ガラ
スを繰り返しプレス成形することによって、従来プレス
成形できなかった多種多様な形状を持った高融点光学ガ
ラス素子を安価に、かつ大量に製造することを可能にし
たものである。
【００１０】
【作用】本発明では、型母材にＷＣを主成分とする超硬
合金、またはＴiＣあるいはＴiＮを主成分とするサーメ
ット、またはＷＣ焼結体を用いることにより、プレス成
形に充分耐える強度を持たせ、切削加工層に１つの元素
がＮi，Ｃo，Ｆeから選ばれる金属であり、もう一方の
元素がＳi，Ｔi，Ｃu，Ｚr，Ｎb，Ｍo，Ｒu，Ｒh，Ｐ
d，Ｈf，Ｔa，Ｗ，Ｒe，Ｏs，Ｉrから選ばれる金属であ
り、残りがＢからなる三元合金薄膜を用いることによっ
て、耐熱性に優れ、容易に所望の形状に精密切削加工す
ることを可能とした。さらに、保護層としてＰt，Ｐd，
Ｉr，Ｒh，Ｏs，Ｒu，Ｒe，Ｗ，Ｔaから選ばれる少なく
とも１種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いる
ことによって、ガラスとの融着を防止したものである。
合金、またはＴiＣあるいはＴiＮを主成分とするサーメ
ット、またはＷＣ焼結体を用いることにより、プレス成
形に充分耐える強度を持たせ、切削加工層に１つの元素
がＮi，Ｃo，Ｆeから選ばれる金属であり、もう一方の
元素がＳi，Ｔi，Ｃu，Ｚr，Ｎb，Ｍo，Ｒu，Ｒh，Ｐ
d，Ｈf，Ｔa，Ｗ，Ｒe，Ｏs，Ｉrから選ばれる金属であ
り、残りがＢからなる三元合金薄膜を用いることによっ
て、耐熱性に優れ、容易に所望の形状に精密切削加工す
ることを可能とした。さらに、保護層としてＰt，Ｐd，
Ｉr，Ｒh，Ｏs，Ｒu，Ｒe，Ｗ，Ｔaから選ばれる少なく
とも１種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いる
ことによって、ガラスとの融着を防止したものである。
【００１１】したがって、本発明による型は、前記した
型材料として要求される必要条件をすべて満足したもの
となる。このようにして作製した本発明の型を用いて、
ガラスをプレス成形すると、従来の研削加工では実現で
きなかった多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素
子を大量に製造することが可能となる。
型材料として要求される必要条件をすべて満足したもの
となる。このようにして作製した本発明の型を用いて、
ガラスをプレス成形すると、従来の研削加工では実現で
きなかった多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素
子を大量に製造することが可能となる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１３】本発明に係る光学ガラス素子のプレス成形
用型の作製方法の一実施例を説明する。まず、直径６m
m、厚さ10mmのＷＣを主成分とする超硬合金を、曲率半
径が１mmの凹形状のプレス面を有する上下の型からなる
一対の光学ガラスレンズのプレス成形用型形状に放電加
工により荒加工した。次に、このプレス面上に切削加工
層としてＮi−Ｍo−Ｂをスパッタ法により15μmの厚み
で形成した。Ｎi−Ｍo−Ｂのスパッタ方法としては、ま
ず、10mm×10mmのＮiチップを無電解めっき法により約
0.5mmの厚みでめっきしてＮi−Ｂチップを作製し、これ
らのチップを直径６インチのＭoディスクターゲット上
に40枚並べてＮi−Ｍo−Ｂのターゲットとし、スパッタ
した。
用型の作製方法の一実施例を説明する。まず、直径６m
m、厚さ10mmのＷＣを主成分とする超硬合金を、曲率半
径が１mmの凹形状のプレス面を有する上下の型からなる
一対の光学ガラスレンズのプレス成形用型形状に放電加
工により荒加工した。次に、このプレス面上に切削加工
層としてＮi−Ｍo−Ｂをスパッタ法により15μmの厚み
で形成した。Ｎi−Ｍo−Ｂのスパッタ方法としては、ま
ず、10mm×10mmのＮiチップを無電解めっき法により約
0.5mmの厚みでめっきしてＮi−Ｂチップを作製し、これ
らのチップを直径６インチのＭoディスクターゲット上
に40枚並べてＮi−Ｍo−Ｂのターゲットとし、スパッタ
した。
【００１４】次に、前記Ｎi−Ｍo−Ｂ膜をダイヤモンド
バイトによる切削加工により非常に高精度な面に仕上げ
た。このようにＮi−Ｍo−Ｂ合金薄膜を切削加工するこ
とによって、研削加工では従来、作製が困難であった曲
率半径１mmの凹面形状の金型を容易に得ることができる
ようになった。次に該加工層上にスパッタ法により３μ
mの厚みでＰt−Ｉr合金薄膜をコーティングしてプレス
成形用型を作製した。
バイトによる切削加工により非常に高精度な面に仕上げ
た。このようにＮi−Ｍo−Ｂ合金薄膜を切削加工するこ
とによって、研削加工では従来、作製が困難であった曲
率半径１mmの凹面形状の金型を容易に得ることができる
ようになった。次に該加工層上にスパッタ法により３μ
mの厚みでＰt−Ｉr合金薄膜をコーティングしてプレス
成形用型を作製した。
【００１５】同様に、他の三元合金薄膜もスパッタ法で
形成しプレス成形用型を作製した。
形成しプレス成形用型を作製した。
【００１６】なおＦe−Ｂのような無電解めっき法で形
成できないターゲットに関しては、ＦexＢyのような化
合物をターゲットに用いた。
成できないターゲットに関しては、ＦexＢyのような化
合物をターゲットに用いた。
【００１７】このようにして作製した本発明に係る光学
ガラスのプレス成形用型の一例として、切削加工層にＮ
i−Ｍo−Ｂ合金薄膜を用いた型の断面図を図１に示す。
図１において、11はプレス面上にコーティングしたＰt
−Ｉr合金保護膜、12はＮi−Ｍo−Ｂ合金切削膜、13は
超硬合金母材である。
ガラスのプレス成形用型の一例として、切削加工層にＮ
i−Ｍo−Ｂ合金薄膜を用いた型の断面図を図１に示す。
図１において、11はプレス面上にコーティングしたＰt
−Ｉr合金保護膜、12はＮi−Ｍo−Ｂ合金切削膜、13は
超硬合金母材である。
【００１８】これらの型を図２に示したプレス成形機に
セットする。図２において、21は上型用固定ブロック、
22は上型用加熱ヒータ、23は上型、24はガラス素材、25
は下型、26は下型用加熱ヒータ、27は下型用固定ブロッ
ク、28は上型用熱電対、29は下型用熱電対、210はプラ
ンジャ、211は位置決め用センサ、212はストッパ、213
は覆いである。
セットする。図２において、21は上型用固定ブロック、
22は上型用加熱ヒータ、23は上型、24はガラス素材、25
は下型、26は下型用加熱ヒータ、27は下型用固定ブロッ
ク、28は上型用熱電対、29は下型用熱電対、210はプラ
ンジャ、211は位置決め用センサ、212はストッパ、213
は覆いである。
【００１９】図２に基づいて、本発明に係る光学ガラス
素子のプレス成形方法の具体例を説明する。半径１mmの
球状に加工した軟化点613℃の重クラウン系ガラス(ＳＫ
−12)24を下型25の上に置き、その上に上型23を置い
て、そのまま650℃まで昇温し、窒素雰囲気中で約40kg/
cm2のプレス圧により２分間圧力を保持し、その後、そ
のままの状態で550℃まで冷却して、成形された光学ガ
ラス素子を取り出して、光学ガラス素子のプレス成形の
工程を完了する。
素子のプレス成形方法の具体例を説明する。半径１mmの
球状に加工した軟化点613℃の重クラウン系ガラス(ＳＫ
−12)24を下型25の上に置き、その上に上型23を置い
て、そのまま650℃まで昇温し、窒素雰囲気中で約40kg/
cm2のプレス圧により２分間圧力を保持し、その後、そ
のままの状態で550℃まで冷却して、成形された光学ガ
ラス素子を取り出して、光学ガラス素子のプレス成形の
工程を完了する。
【００２０】以上の工程を繰り返して10,000回目のプレ
ス終了時に、上下の型23及び25をプレス成形機より取り
外して、プレス面の状態を光学顕微鏡で観察し、そのと
きのプレス面の表面粗さ(ＲＭＳ値、Å)を測定して、そ
れぞれの型精度を評価した。これらの結果を(表２)〜
(表５)に示した。
ス終了時に、上下の型23及び25をプレス成形機より取り
外して、プレス面の状態を光学顕微鏡で観察し、そのと
きのプレス面の表面粗さ(ＲＭＳ値、Å)を測定して、そ
れぞれの型精度を評価した。これらの結果を(表２)〜
(表５)に示した。
【００２１】さらに比較実験として、従来使用されてい
たＳiＣ焼結体及び超硬合金母材上にＰt薄膜をコーティ
ングした型で同様な形状の型の作製を試みたが、ダイヤ
モンドバイトが摩耗やチッピングを起こし加工できなか
った。また超硬合金母材上に切削加工層として無電解め
っき法によってＮi−Ｐ膜を形成し、保護膜としてＰt−
Ｉr合金薄膜をコーティングした型については、同様な
形状の型を作製できたので図２に示したプレス成形機に
セットし、上述のプレス成形の工程を繰り返し行い、同
様の型精度の評価を行った。この結果を(表１)に示し
た。
たＳiＣ焼結体及び超硬合金母材上にＰt薄膜をコーティ
ングした型で同様な形状の型の作製を試みたが、ダイヤ
モンドバイトが摩耗やチッピングを起こし加工できなか
った。また超硬合金母材上に切削加工層として無電解め
っき法によってＮi−Ｐ膜を形成し、保護膜としてＰt−
Ｉr合金薄膜をコーティングした型については、同様な
形状の型を作製できたので図２に示したプレス成形機に
セットし、上述のプレス成形の工程を繰り返し行い、同
様の型精度の評価を行った。この結果を(表１)に示し
た。
【００２２】
【表１】
【００２３】試料Ｎo.１のように切削加工層に無電解Ｎ
i−Ｐめっき膜を成膜し、Ｐt−Ｉr合金薄膜でコーティ
ングした型は、ガラス付着は起こらないが、100回のプ
レス成形によってめっき膜の亀裂が進行し、その亀裂が
レンズに転写し、それ以上プレス成形することはできな
かった。これは切削加工層のＮi−Ｐの耐熱性が悪いた
めに、高融点ガラスのプレス成形時の熱サイクルにＮi
−Ｐが耐えきれなくなるためである。
i−Ｐめっき膜を成膜し、Ｐt−Ｉr合金薄膜でコーティ
ングした型は、ガラス付着は起こらないが、100回のプ
レス成形によってめっき膜の亀裂が進行し、その亀裂が
レンズに転写し、それ以上プレス成形することはできな
かった。これは切削加工層のＮi−Ｐの耐熱性が悪いた
めに、高融点ガラスのプレス成形時の熱サイクルにＮi
−Ｐが耐えきれなくなるためである。
【００２４】
【表２】
【００２５】
【表３】
【００２６】
【表４】
【００２７】
【表５】
【００２８】一方、試料Ｎo.２〜Ｎo.46の本発明による
型は、繰り返し10,000回プレスしたときでも、表面状態
はほとんど変化せず、また表面粗さはほとんどプレス前
と変化がなく、ＳＫ−12のような高融点ガラスを繰り返
しプレス成形できることがわかる。すなわち、本発明に
よる方法で得られたプレス成形用型を用いてガラスをプ
レス成形することによって、研削加工では困難な形状の
高融点光学ガラス素子を大量にプレス成形することが可
能となった。
型は、繰り返し10,000回プレスしたときでも、表面状態
はほとんど変化せず、また表面粗さはほとんどプレス前
と変化がなく、ＳＫ−12のような高融点ガラスを繰り返
しプレス成形できることがわかる。すなわち、本発明に
よる方法で得られたプレス成形用型を用いてガラスをプ
レス成形することによって、研削加工では困難な形状の
高融点光学ガラス素子を大量にプレス成形することが可
能となった。
【００２９】以上のように、本発明による型は、前述し
た高精度な光学ガラス素子を直接プレス成形するための
必要条件をすべて満たし、これまで成形で作製できなか
った形状の高融点光学ガラス素子を大量にプレス成形す
ることが可能となった。
た高精度な光学ガラス素子を直接プレス成形するための
必要条件をすべて満たし、これまで成形で作製できなか
った形状の高融点光学ガラス素子を大量にプレス成形す
ることが可能となった。
【００３０】なお、本発明を説明するために、実施例に
おいてプレス成形用型の母材として、ＷＣを主成分とす
る超硬合金を用いたが、ＴiＮあるいはＴiＣを主成分と
するサーメット(cermet)、あるいはＷＣ焼結体を母材に
用いてもまったく同様の結果が得られた。
おいてプレス成形用型の母材として、ＷＣを主成分とす
る超硬合金を用いたが、ＴiＮあるいはＴiＣを主成分と
するサーメット(cermet)、あるいはＷＣ焼結体を母材に
用いてもまったく同様の結果が得られた。
【００３１】また保護膜については、実施例においてＰ
t−Ｉrを用いたが、その他のＰt，Ｐd，Ｉr，Ｒh，Ｏ
s，Ｒu，Ｒe，Ｗ，Ｔaから選ばれる少なくとも１種類以
上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いてもまったく同
様の結果が得られた。
t−Ｉrを用いたが、その他のＰt，Ｐd，Ｉr，Ｒh，Ｏ
s，Ｒu，Ｒe，Ｗ，Ｔaから選ばれる少なくとも１種類以
上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いてもまったく同
様の結果が得られた。
【００３２】さらに、本実施例では曲率半径１mmの凹面
形状の金型の作製について述べたが、従来研削では加工
が困難な形状、例えば軸非対称レンズやマイクロプリズ
ムアレイなどの金型も加工できるようになることは言う
までもない。
形状の金型の作製について述べたが、従来研削では加工
が困難な形状、例えば軸非対称レンズやマイクロプリズ
ムアレイなどの金型も加工できるようになることは言う
までもない。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光学ガラス素子のプレス成形用型を作製するにあたり、
母材として超硬合金、またはサーメット、またはＷＣ焼
結体を用い、該母材上に、切削加工層として１つの元素
がＮi，Ｃo，Ｆeから選ばれる金属であり、もう一方の
元素がＳi，Ｔi，Ｃu，Ｚr，Ｎb，Ｍo，Ｒu，Ｒh，Ｐ
d，Ｈf，Ｔa，Ｗ，Ｒe，Ｏs，Ｉrから選ばれる金属であ
り、残りがＢからなる三元合金薄膜を形成し、切削加工
により精密加工を行った後、該薄膜上に保護層としてＰ
t，Ｐd，Ｉr，Ｒh，Ｏs，Ｒu，Ｒe，Ｗ，Ｔaから選ばれ
る少なくとも１種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜
を形成することにより、ガラス成形用型材料に要求され
る必要条件をすべて満たし、多種多様な形状の高融点光
学ガラス素子のプレス成形用型を提供したものであり、
この型を用いて光学ガラスを繰り返しプレス成形するこ
とによって、従来プレス成形では得られなかった形状の
高融点光学ガラス素子を安価に、かつ大量に製造するこ
とが可能となった。
光学ガラス素子のプレス成形用型を作製するにあたり、
母材として超硬合金、またはサーメット、またはＷＣ焼
結体を用い、該母材上に、切削加工層として１つの元素
がＮi，Ｃo，Ｆeから選ばれる金属であり、もう一方の
元素がＳi，Ｔi，Ｃu，Ｚr，Ｎb，Ｍo，Ｒu，Ｒh，Ｐ
d，Ｈf，Ｔa，Ｗ，Ｒe，Ｏs，Ｉrから選ばれる金属であ
り、残りがＢからなる三元合金薄膜を形成し、切削加工
により精密加工を行った後、該薄膜上に保護層としてＰ
t，Ｐd，Ｉr，Ｒh，Ｏs，Ｒu，Ｒe，Ｗ，Ｔaから選ばれ
る少なくとも１種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜
を形成することにより、ガラス成形用型材料に要求され
る必要条件をすべて満たし、多種多様な形状の高融点光
学ガラス素子のプレス成形用型を提供したものであり、
この型を用いて光学ガラスを繰り返しプレス成形するこ
とによって、従来プレス成形では得られなかった形状の
高融点光学ガラス素子を安価に、かつ大量に製造するこ
とが可能となった。
【図１】本発明の光学ガラス素子のプレス成形用型の一
実施例の断面図である。
実施例の断面図である。
【図２】本発明の光学ガラス素子のプレス成形方法の一
実施例を採用するためのプレス成形機の概略図である。
実施例を採用するためのプレス成形機の概略図である。
11…Ｐt−Ｉr合金保護膜、 12…Ｎi−Ｍo−Ｂ合金切削
膜、 13…母材、 21…上型用固定ブロック、 22…上
型用加熱ヒータ、 23…上型、 24…ガラス素材、 25
…下型、 26…下型用加熱ヒータ、 27…下型用固定ブ
ロック、 28…上型用熱電対、 29…下型用熱電対、
210…プランジャ、 211…位置決め用センサ、 212…
ストッパ、 213…覆い。
膜、 13…母材、 21…上型用固定ブロック、 22…上
型用加熱ヒータ、 23…上型、 24…ガラス素材、 25
…下型、 26…下型用加熱ヒータ、 27…下型用固定ブ
ロック、 28…上型用熱電対、 29…下型用熱電対、
210…プランジャ、 211…位置決め用センサ、 212…
ストッパ、 213…覆い。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井上 健二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平６−239629（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−183755（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−102135（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−41326（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−23230（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C03B 9/00 - 17/06
Claims (5)
- 【請求項１】 母材にタングステンカーバイド(ＷＣ)を
主成分とする超硬合金、またはチタンカーバイド(Ｔi
Ｃ)あるいはチタンナイトライド(ＴiＮ)を主成分とする
サーメット、またはＷＣ焼結体を用い、該母材上に切削
加工層としてホウ素(Ｂ)を含む三元合金薄膜を設け、該
切削加工層上に白金(Ｐt)，パラジウム(Ｐd)，イリジウ
ム(Ｉr)，ロジウム(Ｒh)，オスミウム(Ｏs)，ルテニウ
ム(Ｒu)，レニウム(Ｒe)，タングステン(Ｗ)，タンタル
(Ｔa)から選ばれる少なくとも１種類以上の金属を含む
貴金属系合金薄膜を設けたことを特徴とする光学ガラス
素子のプレス成形用型。 - 【請求項２】 前記三元合金薄膜として、１つの元素が
ニッケル(Ｎi)，コバルト(Ｃo)，鉄(Ｆe)から選ばれる
金属であり、もう一方の元素がシリコン(Ｓi)，チタン
(Ｔi)，銅(Ｃu)，ジルコニウム(Ｚr)，ニオブ(Ｎb)，モ
リブデン(Ｍo)，ルテニウム(Ｒu)，ロジウム(Ｒh)，パ
ラジウム(Ｐd)，ハフニウム(Ｈf)，タンタル(Ｔa)，タ
ングステン(Ｗ)，レニウム(Ｒe)，オスミウム(Ｏs)，イ
リジウム(Ｉr)から選ばれる金属であり、残りがＢから
なる三元合金薄膜を用いたことを特徴とする請求項１記
載の光学ガラス素子のプレス成形用型。 - 【請求項３】 タングステンカーバイド(ＷＣ)を主成分
とする超硬合金、またはチタンカーバイド(ＴiＣ)ある
いはチタンナイトライド(ＴiＮ)を主成分とするサーメ
ット、またはＷＣ焼結体からなる母材上に、Ｂを含む三
元合金薄膜を形成し、該薄膜を切削加工により所望の形
状に精密加工した後、該薄膜上に保護層としてＰt，Ｐ
d，Ｉr，Ｒh，Ｏs，Ｒu，Ｒe，Ｗ，Ｔaから選ばれる少
なくとも１種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を形
成して作製することを特徴とする光学ガラス素子のプレ
ス成形用型の作製方法。 - 【請求項４】 Ｂを含む三元合金薄膜として１つの元素
がＮi，Ｃo，Ｆeから選ばれる金属であり、もう一方の
元素がＳi，Ｔi，Ｃu，Ｚr，Ｎb，Ｍo，Ｒu，Ｒh，Ｐ
d，Ｈf，Ｔa，Ｗ，Ｒe，Ｏs，Ｉrから選ばれる金属であ
り、残りがＢからなる三元合金薄膜を用いることを特徴
とする請求項３記載の光学ガラス素子のプレス成形用型
の作製方法。 - 【請求項５】 タングステンカーバイド(ＷＣ)を主成分
とする超硬合金、またはチタンカーバイド(ＴiＣ)ある
いはチタンナイトライド(ＴiＮ)を主成分とするサーメ
ット、またはＷＣ焼結体からなる母材上に、１つの元素
がＮi，Ｃo，Ｆeから選ばれる金属であり，もう一方の
元素がＳi，Ｔi，Ｃu，Ｚr，Ｎb，Ｍo，Ｒu，Ｒh，Ｐ
d，Ｈf，Ｔa，Ｗ，Ｒe，Ｏs，Ｉrから選ばれる金属であ
り、残りがＢからなる三元合金薄膜をスパッタ法によっ
て形成し、該薄膜を切削加工により所望の形状に精密加
工した後、該薄膜上に保護層としてＰt，Ｐd，Ｉr，Ｒ
h，Ｏs，Ｒu，Ｒe，Ｗ，Ｔaから選ばれる少なくとも１
種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を形成して作製
された光学ガラス素子のプレス成形用型を用いて、軟化
点が600℃以上の高融点ガラスをプレス成形することを
特徴とする光学ガラス素子のプレス成形方法。
Priority Applications (13)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27562393A JP3221788B2 (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | 光学ガラス素子のプレス成形用型並びにその作製方法及び光学ガラス素子のプレス成形方法 |
| DE69421629T DE69421629T2 (de) | 1993-07-28 | 1994-07-28 | Pressform zum Pressen optischer Elemente und ihr Herstellungsverfahren und Verwendung |
| US08/281,690 US5700307A (en) | 1993-07-28 | 1994-07-28 | Die for press-molding optical elements |
| EP96120391A EP0768282B1 (en) | 1993-07-28 | 1994-07-28 | Die for press-molding optical elements and methods of manufacturing the same |
| EP94111781A EP0636585B1 (en) | 1993-07-28 | 1994-07-28 | Die for press-molding optical elements and methods of manufacturing and using the same |
| DE69421550T DE69421550T2 (de) | 1993-07-28 | 1994-07-28 | Pressform zum Pressen optischer Elementen und ihr Herstellungsverfahren und Verwendung |
| EP96120389A EP0768280B1 (en) | 1993-07-28 | 1994-07-28 | Die for press-molding optical elements and methods of manufacturing and using the same |
| EP96120390A EP0768281B1 (en) | 1993-07-28 | 1994-07-28 | Die for press-molding optical elements and methods of manufacturing and using the same |
| DE69421414T DE69421414T2 (de) | 1993-07-28 | 1994-07-28 | Pressform zum Pressen optischer Elemente und ihr Herstellungsverfahren und Verwendung |
| DE69414655T DE69414655T2 (de) | 1993-07-28 | 1994-07-28 | Pressform zum Pressen von optischen Elementen sowie ihr Herstellungsverfahren und ihre Verwendung |
| US08/623,889 US6003336A (en) | 1993-07-28 | 1996-03-29 | Method of manufacturing a die for press-molding optical elements |
| US08/847,987 US5759221A (en) | 1993-07-28 | 1997-04-21 | Method of press molding glass optical elements |
| US08/855,830 US6009728A (en) | 1993-07-28 | 1997-05-12 | Die for press-molding optical elements |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP27562393A JP3221788B2 (ja) | 1993-11-04 | 1993-11-04 | 光学ガラス素子のプレス成形用型並びにその作製方法及び光学ガラス素子のプレス成形方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07133122A JPH07133122A (ja) | 1995-05-23 |
| JP3221788B2 true JP3221788B2 (ja) | 2001-10-22 |
Family
ID=17558037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP27562393A Expired - Fee Related JP3221788B2 (ja) | 1993-07-28 | 1993-11-04 | 光学ガラス素子のプレス成形用型並びにその作製方法及び光学ガラス素子のプレス成形方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3221788B2 (ja) |
-
1993
- 1993-11-04 JP JP27562393A patent/JP3221788B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07133122A (ja) | 1995-05-23 |
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