JP3221788B2 - 光学ガラス素子のプレス成形用型並びにその作製方法及び光学ガラス素子のプレス成形方法 - Google Patents
光学ガラス素子のプレス成形用型並びにその作製方法及び光学ガラス素子のプレス成形方法Info
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- JP3221788B2 JP3221788B2 JP27562393A JP27562393A JP3221788B2 JP 3221788 B2 JP3221788 B2 JP 3221788B2 JP 27562393 A JP27562393 A JP 27562393A JP 27562393 A JP27562393 A JP 27562393A JP 3221788 B2 JP3221788 B2 JP 3221788B2
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光学ガラス素子の製造
方法に関して、高精度な光学ガラス素子を、プレス成形
する方法、及びプレス成形する際に用いる光学ガラス素
子のプレス成形用型、及びその作製方法に関するもので
ある。
方法に関して、高精度な光学ガラス素子を、プレス成形
する方法、及びプレス成形する際に用いる光学ガラス素
子のプレス成形用型、及びその作製方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】高精度な光学ガラス素子をプレス成形に
より、繰り返し成形するためには、型材料として高温で
も安定で、耐酸化性に優れ、ガラスに対して不活性であ
り、かつプレスしたときに形状精度が崩れないような機
械的強度の優れたものが必要であるが、その反面、加工
性に優れ、精密加工が容易にできることが要求される。
より、繰り返し成形するためには、型材料として高温で
も安定で、耐酸化性に優れ、ガラスに対して不活性であ
り、かつプレスしたときに形状精度が崩れないような機
械的強度の優れたものが必要であるが、その反面、加工
性に優れ、精密加工が容易にできることが要求される。
【0003】以上のような光学ガラス素子のプレス成形
用型に必要な条件を、ある程度満足する型材として、チ
タンカーバイド(TiC)及び金属の混合材料(特開昭59−
121126号公報参照)や超硬合金母材上に貴金属薄膜を形
成したもの(特開昭62−96331号公報参照)などが検討さ
れている。
用型に必要な条件を、ある程度満足する型材として、チ
タンカーバイド(TiC)及び金属の混合材料(特開昭59−
121126号公報参照)や超硬合金母材上に貴金属薄膜を形
成したもの(特開昭62−96331号公報参照)などが検討さ
れている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
型材料では、上記の条件をすべて満足するものは得られ
ていない。例えば型材としてTiC及び金属の混合材料
を用いた場合では、非常に硬く、機械的強度は優れてい
るものの、加工性に劣り、高精度な加工が困難である。
さらには、光学ガラス素子の構成成分である鉛(Pb)や
アルカリ元素と反応しやすいという問題を有している。
型材料では、上記の条件をすべて満足するものは得られ
ていない。例えば型材としてTiC及び金属の混合材料
を用いた場合では、非常に硬く、機械的強度は優れてい
るものの、加工性に劣り、高精度な加工が困難である。
さらには、光学ガラス素子の構成成分である鉛(Pb)や
アルカリ元素と反応しやすいという問題を有している。
【0005】また、超硬合金母材上に貴金属薄膜を形成
した型では、超硬合金をダイヤモンド砥石を用いて加工
を行うと、ダイヤモンド砥石の摩耗が激しく、精密な形
状加工が困難であり、特別な加工装置が必要である。ま
た、加工時間も長く、金型コストが非常に高いという問
題があった。
した型では、超硬合金をダイヤモンド砥石を用いて加工
を行うと、ダイヤモンド砥石の摩耗が激しく、精密な形
状加工が困難であり、特別な加工装置が必要である。ま
た、加工時間も長く、金型コストが非常に高いという問
題があった。
【0006】これらの改善策として、超硬合金母材上に
母材と密着性が良好な薄膜を形成し、さらに該薄膜上に
容易に精密加工できる膜として、例えば無電解Ni−P
めっき膜を形成し、保護膜として合金薄膜を形成する方
法(特開平3−23230号公報参照)が検討されている。し
かしながら、この方法では無電解Ni−Pめっき膜の耐
熱性が低く、高融点ガラスを成形することができないと
いう問題があった。
母材と密着性が良好な薄膜を形成し、さらに該薄膜上に
容易に精密加工できる膜として、例えば無電解Ni−P
めっき膜を形成し、保護膜として合金薄膜を形成する方
法(特開平3−23230号公報参照)が検討されている。し
かしながら、この方法では無電解Ni−Pめっき膜の耐
熱性が低く、高融点ガラスを成形することができないと
いう問題があった。
【0007】以上のように、従来の型材料では前述の型
材料としての必要条件をすべて満足するには至っていな
い。
材料としての必要条件をすべて満足するには至っていな
い。
【0008】本発明は、このような従来の課題を解消
し、従来の研削加工では実現できなかった多種多様の形
状を持った高融点光学ガラス素子を、繰り返しプレス成
形することが可能なプレス成形用型を提供することを目
的とする。
し、従来の研削加工では実現できなかった多種多様の形
状を持った高融点光学ガラス素子を、繰り返しプレス成
形することが可能なプレス成形用型を提供することを目
的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明では、WCを主成分とする超硬合金、または
TiCあるいはTiNを主成分とするサーメット、または
WC焼結体からなる母材上に、切削加工層として1つの
元素がNi,Co,Feから選ばれる金属であり、もう一
方の元素がSi,Ti,Cu,Zr,Nb,Mo,Ru,Rh,
Pd,Hf,Ta,W,Re,Os,Irから選ばれる金属で
あり、残りがBからなる三元合金薄膜を形成し、切削加
工により精密加工を行った後、該加工層上に保護層とし
てPt,Pd,Ir,Rh,Os,Ru,Re,W,Taから選
ばれる少なくとも1種類以上の金属を含む貴金属系合金
薄膜を形成して構成される金型を作製することによっ
て、多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素子のプ
レス成形用型を提供し、この型を用いて高融点光学ガラ
スを繰り返しプレス成形することによって、従来プレス
成形できなかった多種多様な形状を持った高融点光学ガ
ラス素子を安価に、かつ大量に製造することを可能にし
たものである。
に、本発明では、WCを主成分とする超硬合金、または
TiCあるいはTiNを主成分とするサーメット、または
WC焼結体からなる母材上に、切削加工層として1つの
元素がNi,Co,Feから選ばれる金属であり、もう一
方の元素がSi,Ti,Cu,Zr,Nb,Mo,Ru,Rh,
Pd,Hf,Ta,W,Re,Os,Irから選ばれる金属で
あり、残りがBからなる三元合金薄膜を形成し、切削加
工により精密加工を行った後、該加工層上に保護層とし
てPt,Pd,Ir,Rh,Os,Ru,Re,W,Taから選
ばれる少なくとも1種類以上の金属を含む貴金属系合金
薄膜を形成して構成される金型を作製することによっ
て、多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素子のプ
レス成形用型を提供し、この型を用いて高融点光学ガラ
スを繰り返しプレス成形することによって、従来プレス
成形できなかった多種多様な形状を持った高融点光学ガ
ラス素子を安価に、かつ大量に製造することを可能にし
たものである。
【0010】
【作用】本発明では、型母材にWCを主成分とする超硬
合金、またはTiCあるいはTiNを主成分とするサーメ
ット、またはWC焼結体を用いることにより、プレス成
形に充分耐える強度を持たせ、切削加工層に1つの元素
がNi,Co,Feから選ばれる金属であり、もう一方の
元素がSi,Ti,Cu,Zr,Nb,Mo,Ru,Rh,P
d,Hf,Ta,W,Re,Os,Irから選ばれる金属であ
り、残りがBからなる三元合金薄膜を用いることによっ
て、耐熱性に優れ、容易に所望の形状に精密切削加工す
ることを可能とした。さらに、保護層としてPt,Pd,
Ir,Rh,Os,Ru,Re,W,Taから選ばれる少なく
とも1種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いる
ことによって、ガラスとの融着を防止したものである。
合金、またはTiCあるいはTiNを主成分とするサーメ
ット、またはWC焼結体を用いることにより、プレス成
形に充分耐える強度を持たせ、切削加工層に1つの元素
がNi,Co,Feから選ばれる金属であり、もう一方の
元素がSi,Ti,Cu,Zr,Nb,Mo,Ru,Rh,P
d,Hf,Ta,W,Re,Os,Irから選ばれる金属であ
り、残りがBからなる三元合金薄膜を用いることによっ
て、耐熱性に優れ、容易に所望の形状に精密切削加工す
ることを可能とした。さらに、保護層としてPt,Pd,
Ir,Rh,Os,Ru,Re,W,Taから選ばれる少なく
とも1種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いる
ことによって、ガラスとの融着を防止したものである。
【0011】したがって、本発明による型は、前記した
型材料として要求される必要条件をすべて満足したもの
となる。このようにして作製した本発明の型を用いて、
ガラスをプレス成形すると、従来の研削加工では実現で
きなかった多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素
子を大量に製造することが可能となる。
型材料として要求される必要条件をすべて満足したもの
となる。このようにして作製した本発明の型を用いて、
ガラスをプレス成形すると、従来の研削加工では実現で
きなかった多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素
子を大量に製造することが可能となる。
【0012】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【0013】本発明に係る光学ガラス素子のプレス成形
用型の作製方法の一実施例を説明する。まず、直径6m
m、厚さ10mmのWCを主成分とする超硬合金を、曲率半
径が1mmの凹形状のプレス面を有する上下の型からなる
一対の光学ガラスレンズのプレス成形用型形状に放電加
工により荒加工した。次に、このプレス面上に切削加工
層としてNi−Mo−Bをスパッタ法により15μmの厚み
で形成した。Ni−Mo−Bのスパッタ方法としては、ま
ず、10mm×10mmのNiチップを無電解めっき法により約
0.5mmの厚みでめっきしてNi−Bチップを作製し、これ
らのチップを直径6インチのMoディスクターゲット上
に40枚並べてNi−Mo−Bのターゲットとし、スパッタ
した。
用型の作製方法の一実施例を説明する。まず、直径6m
m、厚さ10mmのWCを主成分とする超硬合金を、曲率半
径が1mmの凹形状のプレス面を有する上下の型からなる
一対の光学ガラスレンズのプレス成形用型形状に放電加
工により荒加工した。次に、このプレス面上に切削加工
層としてNi−Mo−Bをスパッタ法により15μmの厚み
で形成した。Ni−Mo−Bのスパッタ方法としては、ま
ず、10mm×10mmのNiチップを無電解めっき法により約
0.5mmの厚みでめっきしてNi−Bチップを作製し、これ
らのチップを直径6インチのMoディスクターゲット上
に40枚並べてNi−Mo−Bのターゲットとし、スパッタ
した。
【0014】次に、前記Ni−Mo−B膜をダイヤモンド
バイトによる切削加工により非常に高精度な面に仕上げ
た。このようにNi−Mo−B合金薄膜を切削加工するこ
とによって、研削加工では従来、作製が困難であった曲
率半径1mmの凹面形状の金型を容易に得ることができる
ようになった。次に該加工層上にスパッタ法により3μ
mの厚みでPt−Ir合金薄膜をコーティングしてプレス
成形用型を作製した。
バイトによる切削加工により非常に高精度な面に仕上げ
た。このようにNi−Mo−B合金薄膜を切削加工するこ
とによって、研削加工では従来、作製が困難であった曲
率半径1mmの凹面形状の金型を容易に得ることができる
ようになった。次に該加工層上にスパッタ法により3μ
mの厚みでPt−Ir合金薄膜をコーティングしてプレス
成形用型を作製した。
【0015】同様に、他の三元合金薄膜もスパッタ法で
形成しプレス成形用型を作製した。
形成しプレス成形用型を作製した。
【0016】なおFe−Bのような無電解めっき法で形
成できないターゲットに関しては、FexByのような化
合物をターゲットに用いた。
成できないターゲットに関しては、FexByのような化
合物をターゲットに用いた。
【0017】このようにして作製した本発明に係る光学
ガラスのプレス成形用型の一例として、切削加工層にN
i−Mo−B合金薄膜を用いた型の断面図を図1に示す。
図1において、11はプレス面上にコーティングしたPt
−Ir合金保護膜、12はNi−Mo−B合金切削膜、13は
超硬合金母材である。
ガラスのプレス成形用型の一例として、切削加工層にN
i−Mo−B合金薄膜を用いた型の断面図を図1に示す。
図1において、11はプレス面上にコーティングしたPt
−Ir合金保護膜、12はNi−Mo−B合金切削膜、13は
超硬合金母材である。
【0018】これらの型を図2に示したプレス成形機に
セットする。図2において、21は上型用固定ブロック、
22は上型用加熱ヒータ、23は上型、24はガラス素材、25
は下型、26は下型用加熱ヒータ、27は下型用固定ブロッ
ク、28は上型用熱電対、29は下型用熱電対、210はプラ
ンジャ、211は位置決め用センサ、212はストッパ、213
は覆いである。
セットする。図2において、21は上型用固定ブロック、
22は上型用加熱ヒータ、23は上型、24はガラス素材、25
は下型、26は下型用加熱ヒータ、27は下型用固定ブロッ
ク、28は上型用熱電対、29は下型用熱電対、210はプラ
ンジャ、211は位置決め用センサ、212はストッパ、213
は覆いである。
【0019】図2に基づいて、本発明に係る光学ガラス
素子のプレス成形方法の具体例を説明する。半径1mmの
球状に加工した軟化点613℃の重クラウン系ガラス(SK
−12)24を下型25の上に置き、その上に上型23を置い
て、そのまま650℃まで昇温し、窒素雰囲気中で約40kg/
cm2のプレス圧により2分間圧力を保持し、その後、そ
のままの状態で550℃まで冷却して、成形された光学ガ
ラス素子を取り出して、光学ガラス素子のプレス成形の
工程を完了する。
素子のプレス成形方法の具体例を説明する。半径1mmの
球状に加工した軟化点613℃の重クラウン系ガラス(SK
−12)24を下型25の上に置き、その上に上型23を置い
て、そのまま650℃まで昇温し、窒素雰囲気中で約40kg/
cm2のプレス圧により2分間圧力を保持し、その後、そ
のままの状態で550℃まで冷却して、成形された光学ガ
ラス素子を取り出して、光学ガラス素子のプレス成形の
工程を完了する。
【0020】以上の工程を繰り返して10,000回目のプレ
ス終了時に、上下の型23及び25をプレス成形機より取り
外して、プレス面の状態を光学顕微鏡で観察し、そのと
きのプレス面の表面粗さ(RMS値、Å)を測定して、そ
れぞれの型精度を評価した。これらの結果を(表2)〜
(表5)に示した。
ス終了時に、上下の型23及び25をプレス成形機より取り
外して、プレス面の状態を光学顕微鏡で観察し、そのと
きのプレス面の表面粗さ(RMS値、Å)を測定して、そ
れぞれの型精度を評価した。これらの結果を(表2)〜
(表5)に示した。
【0021】さらに比較実験として、従来使用されてい
たSiC焼結体及び超硬合金母材上にPt薄膜をコーティ
ングした型で同様な形状の型の作製を試みたが、ダイヤ
モンドバイトが摩耗やチッピングを起こし加工できなか
った。また超硬合金母材上に切削加工層として無電解め
っき法によってNi−P膜を形成し、保護膜としてPt−
Ir合金薄膜をコーティングした型については、同様な
形状の型を作製できたので図2に示したプレス成形機に
セットし、上述のプレス成形の工程を繰り返し行い、同
様の型精度の評価を行った。この結果を(表1)に示し
た。
たSiC焼結体及び超硬合金母材上にPt薄膜をコーティ
ングした型で同様な形状の型の作製を試みたが、ダイヤ
モンドバイトが摩耗やチッピングを起こし加工できなか
った。また超硬合金母材上に切削加工層として無電解め
っき法によってNi−P膜を形成し、保護膜としてPt−
Ir合金薄膜をコーティングした型については、同様な
形状の型を作製できたので図2に示したプレス成形機に
セットし、上述のプレス成形の工程を繰り返し行い、同
様の型精度の評価を行った。この結果を(表1)に示し
た。
【0022】
【表1】
【0023】試料No.1のように切削加工層に無電解N
i−Pめっき膜を成膜し、Pt−Ir合金薄膜でコーティ
ングした型は、ガラス付着は起こらないが、100回のプ
レス成形によってめっき膜の亀裂が進行し、その亀裂が
レンズに転写し、それ以上プレス成形することはできな
かった。これは切削加工層のNi−Pの耐熱性が悪いた
めに、高融点ガラスのプレス成形時の熱サイクルにNi
−Pが耐えきれなくなるためである。
i−Pめっき膜を成膜し、Pt−Ir合金薄膜でコーティ
ングした型は、ガラス付着は起こらないが、100回のプ
レス成形によってめっき膜の亀裂が進行し、その亀裂が
レンズに転写し、それ以上プレス成形することはできな
かった。これは切削加工層のNi−Pの耐熱性が悪いた
めに、高融点ガラスのプレス成形時の熱サイクルにNi
−Pが耐えきれなくなるためである。
【0024】
【表2】
【0025】
【表3】
【0026】
【表4】
【0027】
【表5】
【0028】一方、試料No.2〜No.46の本発明による
型は、繰り返し10,000回プレスしたときでも、表面状態
はほとんど変化せず、また表面粗さはほとんどプレス前
と変化がなく、SK−12のような高融点ガラスを繰り返
しプレス成形できることがわかる。すなわち、本発明に
よる方法で得られたプレス成形用型を用いてガラスをプ
レス成形することによって、研削加工では困難な形状の
高融点光学ガラス素子を大量にプレス成形することが可
能となった。
型は、繰り返し10,000回プレスしたときでも、表面状態
はほとんど変化せず、また表面粗さはほとんどプレス前
と変化がなく、SK−12のような高融点ガラスを繰り返
しプレス成形できることがわかる。すなわち、本発明に
よる方法で得られたプレス成形用型を用いてガラスをプ
レス成形することによって、研削加工では困難な形状の
高融点光学ガラス素子を大量にプレス成形することが可
能となった。
【0029】以上のように、本発明による型は、前述し
た高精度な光学ガラス素子を直接プレス成形するための
必要条件をすべて満たし、これまで成形で作製できなか
った形状の高融点光学ガラス素子を大量にプレス成形す
ることが可能となった。
た高精度な光学ガラス素子を直接プレス成形するための
必要条件をすべて満たし、これまで成形で作製できなか
った形状の高融点光学ガラス素子を大量にプレス成形す
ることが可能となった。
【0030】なお、本発明を説明するために、実施例に
おいてプレス成形用型の母材として、WCを主成分とす
る超硬合金を用いたが、TiNあるいはTiCを主成分と
するサーメット(cermet)、あるいはWC焼結体を母材に
用いてもまったく同様の結果が得られた。
おいてプレス成形用型の母材として、WCを主成分とす
る超硬合金を用いたが、TiNあるいはTiCを主成分と
するサーメット(cermet)、あるいはWC焼結体を母材に
用いてもまったく同様の結果が得られた。
【0031】また保護膜については、実施例においてP
t−Irを用いたが、その他のPt,Pd,Ir,Rh,O
s,Ru,Re,W,Taから選ばれる少なくとも1種類以
上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いてもまったく同
様の結果が得られた。
t−Irを用いたが、その他のPt,Pd,Ir,Rh,O
s,Ru,Re,W,Taから選ばれる少なくとも1種類以
上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いてもまったく同
様の結果が得られた。
【0032】さらに、本実施例では曲率半径1mmの凹面
形状の金型の作製について述べたが、従来研削では加工
が困難な形状、例えば軸非対称レンズやマイクロプリズ
ムアレイなどの金型も加工できるようになることは言う
までもない。
形状の金型の作製について述べたが、従来研削では加工
が困難な形状、例えば軸非対称レンズやマイクロプリズ
ムアレイなどの金型も加工できるようになることは言う
までもない。
【0033】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光学ガラス素子のプレス成形用型を作製するにあたり、
母材として超硬合金、またはサーメット、またはWC焼
結体を用い、該母材上に、切削加工層として1つの元素
がNi,Co,Feから選ばれる金属であり、もう一方の
元素がSi,Ti,Cu,Zr,Nb,Mo,Ru,Rh,P
d,Hf,Ta,W,Re,Os,Irから選ばれる金属であ
り、残りがBからなる三元合金薄膜を形成し、切削加工
により精密加工を行った後、該薄膜上に保護層としてP
t,Pd,Ir,Rh,Os,Ru,Re,W,Taから選ばれ
る少なくとも1種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜
を形成することにより、ガラス成形用型材料に要求され
る必要条件をすべて満たし、多種多様な形状の高融点光
学ガラス素子のプレス成形用型を提供したものであり、
この型を用いて光学ガラスを繰り返しプレス成形するこ
とによって、従来プレス成形では得られなかった形状の
高融点光学ガラス素子を安価に、かつ大量に製造するこ
とが可能となった。
光学ガラス素子のプレス成形用型を作製するにあたり、
母材として超硬合金、またはサーメット、またはWC焼
結体を用い、該母材上に、切削加工層として1つの元素
がNi,Co,Feから選ばれる金属であり、もう一方の
元素がSi,Ti,Cu,Zr,Nb,Mo,Ru,Rh,P
d,Hf,Ta,W,Re,Os,Irから選ばれる金属であ
り、残りがBからなる三元合金薄膜を形成し、切削加工
により精密加工を行った後、該薄膜上に保護層としてP
t,Pd,Ir,Rh,Os,Ru,Re,W,Taから選ばれ
る少なくとも1種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜
を形成することにより、ガラス成形用型材料に要求され
る必要条件をすべて満たし、多種多様な形状の高融点光
学ガラス素子のプレス成形用型を提供したものであり、
この型を用いて光学ガラスを繰り返しプレス成形するこ
とによって、従来プレス成形では得られなかった形状の
高融点光学ガラス素子を安価に、かつ大量に製造するこ
とが可能となった。
【図1】本発明の光学ガラス素子のプレス成形用型の一
実施例の断面図である。
実施例の断面図である。
【図2】本発明の光学ガラス素子のプレス成形方法の一
実施例を採用するためのプレス成形機の概略図である。
実施例を採用するためのプレス成形機の概略図である。
11…Pt−Ir合金保護膜、 12…Ni−Mo−B合金切削
膜、 13…母材、 21…上型用固定ブロック、 22…上
型用加熱ヒータ、 23…上型、 24…ガラス素材、 25
…下型、 26…下型用加熱ヒータ、 27…下型用固定ブ
ロック、 28…上型用熱電対、 29…下型用熱電対、
210…プランジャ、 211…位置決め用センサ、 212…
ストッパ、 213…覆い。
膜、 13…母材、 21…上型用固定ブロック、 22…上
型用加熱ヒータ、 23…上型、 24…ガラス素材、 25
…下型、 26…下型用加熱ヒータ、 27…下型用固定ブ
ロック、 28…上型用熱電対、 29…下型用熱電対、
210…プランジャ、 211…位置決め用センサ、 212…
ストッパ、 213…覆い。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井上 健二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 平6−239629(JP,A) 特開 平6−183755(JP,A) 特開 平2−102135(JP,A) 特開 平7−41326(JP,A) 特開 平3−23230(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C03B 9/00 - 17/06
Claims (5)
- 【請求項1】 母材にタングステンカーバイド(WC)を
主成分とする超硬合金、またはチタンカーバイド(Ti
C)あるいはチタンナイトライド(TiN)を主成分とする
サーメット、またはWC焼結体を用い、該母材上に切削
加工層としてホウ素(B)を含む三元合金薄膜を設け、該
切削加工層上に白金(Pt),パラジウム(Pd),イリジウ
ム(Ir),ロジウム(Rh),オスミウム(Os),ルテニウ
ム(Ru),レニウム(Re),タングステン(W),タンタル
(Ta)から選ばれる少なくとも1種類以上の金属を含む
貴金属系合金薄膜を設けたことを特徴とする光学ガラス
素子のプレス成形用型。 - 【請求項2】 前記三元合金薄膜として、1つの元素が
ニッケル(Ni),コバルト(Co),鉄(Fe)から選ばれる
金属であり、もう一方の元素がシリコン(Si),チタン
(Ti),銅(Cu),ジルコニウム(Zr),ニオブ(Nb),モ
リブデン(Mo),ルテニウム(Ru),ロジウム(Rh),パ
ラジウム(Pd),ハフニウム(Hf),タンタル(Ta),タ
ングステン(W),レニウム(Re),オスミウム(Os),イ
リジウム(Ir)から選ばれる金属であり、残りがBから
なる三元合金薄膜を用いたことを特徴とする請求項1記
載の光学ガラス素子のプレス成形用型。 - 【請求項3】 タングステンカーバイド(WC)を主成分
とする超硬合金、またはチタンカーバイド(TiC)ある
いはチタンナイトライド(TiN)を主成分とするサーメ
ット、またはWC焼結体からなる母材上に、Bを含む三
元合金薄膜を形成し、該薄膜を切削加工により所望の形
状に精密加工した後、該薄膜上に保護層としてPt,P
d,Ir,Rh,Os,Ru,Re,W,Taから選ばれる少
なくとも1種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を形
成して作製することを特徴とする光学ガラス素子のプレ
ス成形用型の作製方法。 - 【請求項4】 Bを含む三元合金薄膜として1つの元素
がNi,Co,Feから選ばれる金属であり、もう一方の
元素がSi,Ti,Cu,Zr,Nb,Mo,Ru,Rh,P
d,Hf,Ta,W,Re,Os,Irから選ばれる金属であ
り、残りがBからなる三元合金薄膜を用いることを特徴
とする請求項3記載の光学ガラス素子のプレス成形用型
の作製方法。 - 【請求項5】 タングステンカーバイド(WC)を主成分
とする超硬合金、またはチタンカーバイド(TiC)ある
いはチタンナイトライド(TiN)を主成分とするサーメ
ット、またはWC焼結体からなる母材上に、1つの元素
がNi,Co,Feから選ばれる金属であり,もう一方の
元素がSi,Ti,Cu,Zr,Nb,Mo,Ru,Rh,P
d,Hf,Ta,W,Re,Os,Irから選ばれる金属であ
り、残りがBからなる三元合金薄膜をスパッタ法によっ
て形成し、該薄膜を切削加工により所望の形状に精密加
工した後、該薄膜上に保護層としてPt,Pd,Ir,R
h,Os,Ru,Re,W,Taから選ばれる少なくとも1
種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を形成して作製
された光学ガラス素子のプレス成形用型を用いて、軟化
点が600℃以上の高融点ガラスをプレス成形することを
特徴とする光学ガラス素子のプレス成形方法。
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---|---|---|---|
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1993
- 1993-11-04 JP JP27562393A patent/JP3221788B2/ja not_active Expired - Fee Related
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