JP2001114523A - 光学素子成形用金型、光学素子成形用金型の製造方法及び光学素子成形用金型の使用方法 - Google Patents

光学素子成形用金型、光学素子成形用金型の製造方法及び光学素子成形用金型の使用方法

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JP2001114523A JP29649999A JP29649999A JP2001114523A JP 2001114523 A JP2001114523 A JP 2001114523A JP 29649999 A JP29649999 A JP 29649999A JP 29649999 A JP29649999 A JP 29649999A JP 2001114523 A JP2001114523 A JP 2001114523A
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press
molding
glass
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秀直 片岡
Miyoko Doi
美代子 土肥
Makoto Umetani
梅谷　　誠
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学素子の形状に加工されたプレス面を有す
る金型を使用して、光学素子を一度に多数個成形するこ
と。 【解決手段】 上下にプレス面１ａ、プレス面１ｂが夫
々形成された金型１と、片面にプレス面３ａが形成され
た金型３と、片面にプレス面５ａが形成された金型５と
を用意する。これらの金型の間にガラス又は樹脂による
光学素子材料４を充填し、各金型を胴型２で保持する。
そしてプレスヘッド７の加圧と加熱により金型３及び金
型５に対して圧力を加え、光学素子材料４をプレス成形
する。こうすると、従来の複雑な加圧機構を必要とせ
ず、光学性能が良好で、ばらつきの少ない光学素子が一
回の成形で複数個成形できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高精度で光学性能
の良好な光学素子を、安価に且つ効率よく大量にプレス
成形するための光学素子成形用金型、光学素子成形用金
型の製造方法、及び光学素子成形用金型の使用方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】高精度な光学素子を金型を用いて直接プ
レス成形するためには、金型材料として耐酸化性に優
れ、プレス成形する光学素子材料に対して不活性であ
り、プレスしたときに金型のプレス面形状が崩れないよ
うな高温強度性を有するものが必要である。また金型材
料は加工性に優れ、精密加工が容易でなくてはならな
い。
【０００３】以上のような光学素子成形用金型に必要な
条件をある程度満足するものとして、特公昭６２−２８
０９１号公報に記載されているものがある。これはＷＣ
を主成分とする超硬合金又はサーメットを金型素材に用
い、金型素材上に貴金属系の保護膜をコーティングした
金型である。この金型を用いて光学素子をプレス成形す
ることにより、量産が可能となっている。
【０００４】また、特開昭６４−３３０２２号公報、又
は特開平１−２３９０３０号公報に記載されているもの
がある。この発明は、プレス面形状が光学素子形状に精
密加工されたマスター型を用意し、このマスター型でガ
ラス材料を加熱し、プレス転写させたガラス金型を光学
素子成形用金型とするものである。また特開平１−１４
８７１４号公報に記載されたものがある。この発明は、
ガラス材のみからなる型本体と、そのプレス面に形成さ
れる薄膜とで構成されるガラス金型を、光学素子成形用
金型とするものである。
【０００５】また、高精度な光学素子をプレス成形によ
り、安価で大量に効率よく製造する方法として、特公平
５−３２３３３号公報に示された方法や、特開平９−２
３９７５７号公報に記載された方法がある。これらの方
法では、複数の金型を同一の搬送トレイに乗せ、金型を
同時に加熱、成形、冷却して光学素子を製造する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
金型構成では前記の条件を全て満足するものは得られて
いない。例えば、特公昭６２−２８０９１号公報に記載
のものでは、金型素材としてＷＣを主成分とする超硬合
金、またはサーメットを用いる。そして金型素材上に貴
金属系の保護膜をコーティングし、一対の上下金型を製
作する。この一対の上下金型を用いた成形方法では、金
型１組を用いた１回の成形で、１個の光学素子しか得ら
れず、生産性が悪い。
【０００７】また、このような問題点を解決するために
提案されている特公平５−３２３３３号公報又は特開平
９−２３９７５７号公報に示された方法では、複数の金
型を同一の搬送トレイに乗せ、複数の金型を同時に加
熱、成形、冷却して光学素子を製造する。この方法で
は、搬送トレイに載せられた個々の金型の高さが微妙に
異なるため、各金型に加わるプレス荷重にばらつきが生
じ、得られた光学素子の光学性能が悪く、各光学素子に
もばらつきが生じる。
【０００８】また、この荷重ばらつきの課題を解決する
ため、各金型に均一な荷重を加えて成形する方法があ
る。この方法では、成形時に用いるプレス機において、
搬送トレイに保持された複数の成形型の夫々に対向する
位置に、圧縮ばね及び加圧ピンを含む加圧機構を設ける
ものである。この場合は、成形装置が非常に複雑で高額
なものになる。また、搬送トレイに保持された複数の成
形型と加圧機構とに高い位置決め精度が求められる。こ
のため、少しでも加圧ピンに対して金型の位置がずれる
と、下金型に対して上金型が傾き、得られた光学素子の
第１面と第２面に傾きが生じ、光学性能が劣化するとい
う問題がある。
【０００９】本発明は、このような従来の問題点に鑑み
てなされたものであって、光学素子の形状に加工された
プレス面を有する一対の光学素子成形用金型と、その製
造方法を実現すると共に、この金型を用いて光学素子を
一度に多数個成形する光学素子成形用金型の使用方法を
実現することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１〜３の発明では、タングステンカーバイ
ド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金、又はチタンナイト
ライド（ＴｉＮ）、チタンカーバイド（ＴｉＣ）、クロ
ムカーバイド（Ｃｒ3 Ｃ2 ）、アルミナ（Ａｌ 2 Ｏ3 ）
を主成分とするサーメット、又はクロム（Ｃｒ）、モリ
ブデン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃ
ｏ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、又はそれ
ら金属を含む合金のうち、いずれかの金属材料から成
り、金型の第１のプレス面に対向した反対の面にも第２
のプレス面を有する光学素子成形用金型であることを特
徴とする。
【００１１】この光学素子成形用金型の製造方法として
は、超精密加工機を用い、金型ブランクをダイヤモンド
砥石による研削加工法等により、所望の光学素子の形状
に精密に加工して第１のプレス面とし、さらに、対向す
るもう一方の端面にも研削加工法等により所望の光学素
子の形状に加工して、第２のプレス面とすることによ
り、上下面にプレス面を有する光学素子成形用金型を得
ることができる。
【００１２】請求項３〜６の発明では、光学素子成形用
金型において、プレス成形する光学素子材料と金型との
離型性が悪い場合に、請求項１〜３記載の発明で得られ
た両方のプレス面に保護膜を形成するものである。その
製造方法としては、金型ブランクをダイヤモンド砥石に
よる研削加工法等により所望の光学素子の形状に精密に
加工して第１のプレス面とし、さらに、対向するもう一
方の端面も研削加工法等により所望の光学素子の形状に
加工して第２のプレス面とする。この後、両方のプレス
面に、スパッタ法、蒸着法、ＣＶＤ法等により保護膜を
形成するものである。ここで、保護膜としては、白金
（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、
ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ルテニウム
（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン（Ｗ）、タ
ンタル（Ｔａ）のうち、少なくとも１種類以上の金属を
含む合金薄膜であることが望ましい。
【００１３】請求項７〜１２の発明では、請求項３〜６
の発明で得られた光学素子成形用金型で金型材料と保護
膜との密着性が悪く、成形時のプレス応力に耐えきれず
保護膜が剥離する場合、保護膜の密着力を向上させるた
めに、金型材料と保護膜との間に両方に対して密着力の
優れた中間膜を形成するものである。その製造方法とし
ては、金型ブランクをダイヤモンド砥石による研削加工
法等により所望の光学素子の形状に精密に加工して第１
のプレス面とし、さらに、対向するもう一方の端面も研
削加工法等により所望の光学素子の形状に加工して第２
のプレス面とする。その後、両方のプレス面にスパッタ
法、蒸着法、ＣＶＤ法等により中間膜を形成し、その中
間膜上に同様の方法で保護膜を形成するものである。こ
こで、中間膜としては、金型母材となるガラスに含まれ
る成分、又は保護膜に含まれる成分を含む材料、又はク
ローム（Ｃｒ）、タンタル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍ
ｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、タングステン（Ｗ）、ジルコ
ニウム（Ｚｒ）、コバルト（Ｃｏ）、チタン（Ｔｉ）、
銅（Ｃｕ）から選ばれる金属を含む材料であることが望
ましい。
【００１４】請求項１３〜１６の発明では、ガラスから
成る光学素子成形用金型であって、金型のプレス面の反
対の面にもプレス面を有することを特徴とする光学素子
成形用金型である。この金型の製造方法としては、プレ
ス面が所望の光学素子の形状に加工された一対のマスタ
ー型により、ガラスをプレス成形することにより、上下
面にプレス面を有する光学素子成形用金型を得るもので
ある。ここで、ガラス材料としては、結晶化ガラスを用
いてもよい。ただし、結晶化ガラスを用いる場合は、マ
ザーガラスをプレス成形した後、結晶化処理を実施する
必要がある。
【００１５】請求項１７〜１２の発明では、請求項１３
〜１６の発明による光学素子成形用金型で、プレス成形
する光学素子材料と金型との離型性が悪い場合に、請求
項１３〜１６の発明で得られた光学素子成形用金型にお
いて、両方のプレス面に保護膜を形成するものである。
その製造方法としては、プレス面が所望の光学素子の形
状に加工された一対のマスター型により、ガラスをプレ
ス成形し、また、結晶化ガラスを用いた場合には、その
後に、マザーガラスに結晶化処理を施し、上下面にプレ
ス面を有する光学素子成形用金型を得る。そして、上下
の両プレス面に、スパッタ法、蒸着法、ＣＶＤ法等によ
り保護膜を形成するものである。ここで、保護膜として
は、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム
（Ｉｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ル
テニウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン
（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、少なくとも１種類以
上の金属を含む合金薄膜であることが望ましい。
【００１６】請求項２３〜３０の発明では、請求項１７
〜１２の発明による光学素子成形用金型において、金型
材料のガラスと保護膜との密着性が悪く、成形時のプレ
ス応力に耐えきれず保護膜が剥離する場合、保護膜の密
着力を向上させるために、金型材料と保護膜との間に両
方に対して密着力の優れた中間膜を形成するものであ
る。その製造方法としては、プレス面が所望の光学素子
の形状に加工された一対のマスター型により、ガラスを
プレス成形し、また、結晶化ガラスを用いた場合には、
その後に、結晶化処理を施し、上下面にプレス面を有す
る光学素子成形用金型を得る。そして、上下の両プレス
面に、スパッタ法、蒸着法、ＣＶＤ法等により中間膜を
形成し、その中間膜上に同様の方法で、保護膜を形成す
るものである。ここで、中間膜としては、金型母材とな
るガラスに含まれる成分、又は保護膜に含まれる成分を
含む材料、又はクローム（Ｃｒ）、タンタル（Ｔａ）、
モリブデン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、タングステン
（Ｗ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、コバルト（Ｃｏ）、チ
タン（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）から選ばれる金属を含む材料
であることが望ましい。
【００１７】請求項３１〜３８の発明は、光学素子の成
形用金型の使用方法であって、片面にのみプレス面を持
つ金型を下型とし、下型の上に、上下面にプレス面を有
する本発明の光学素子成形用金型を少なくとも１個以上
乗せ、最後に片面にプレス面を持つ金型を上型として乗
せ、各々のプレス面間に光学素子材料を挿入して加熱、
プレス成形し、冷却した後、成形された光学素子を取り
出すものである。ここで、各々の金型素材としては、タ
ングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超硬合
金、又はチタンナイトライド（ＴｉＮ）、チタンカーバ
イド（ＴｉＣ）、クロムカーバイド（Ｃｒ3 Ｃ2 ）、ア
ルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を主成分とするサーメット、又は
クロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎ
ｉ）、コバルト（Ｃｏ）、タングステン（Ｗ）、チタン
（Ｔｉ）、又はそれら金属を含む合金、又はガラスのい
ずれかから成ることが望ましい。また、ガラスとして結
晶化ガラスを使用しても良い。
【００１８】また、金型と光学素子材料との濡れ性が良
く、成形された光学素子の離型性が悪い場合には、金型
プレス面上に保護膜を形成することが望ましい。ここ
で、保護膜の材料としては、白金（Ｐｔ）、パラジウム
（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オ
スミウム（Ｏｓ）、ルテニウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒ
ｅ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、
少なくとも１種類以上の金属を含む合金薄膜であること
が望ましい。また、金型と保護膜との密着力が弱く、成
形時のプレス応力に耐えきれず保護膜が剥離する場合に
は、金型プレス面と保護膜の間に中間膜を形成すること
が望ましい。ここで、中間膜としては、金型母材となる
ガラスに含まれる成分、又は保護膜に含まれる成分を含
む材料、又はクローム（Ｃｒ）、タンタル（Ｔａ）、モ
リブデン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、タングステン
（Ｗ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、コバルト（Ｃｏ）、チ
タン（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）から選ばれる金属を含む材料
であることが望ましい。
【００１９】
【発明の実施の形態】（実施の形態１）本発明の実施の
形態１における光学素子成形用金型とその製造方法、及
び光学素子を製造するための光学素子成形用金型の使用
方法について説明する。以下の説明では、各金型及び光
学素子材料に対して、特定の構成材料を明示しない場合
は、符号Ｎ（１，２，３・・・）を付け、特定の構成材
料を用いる場合は、符号ＮＡ，ＮＢ，ＮＣ・・・を付け
る。
【００２０】図１に示される金型１Ａは、例えば外径が
φ８．０ｍｍ、長さ５．２ｍｍの円柱形状であり、ＷＣ
−Ｃｏの超硬合金よりなる光学素子成形用金型（中金
型）である。その一端面はプレス面１ａとなっており、
所望の光学素子形状の第１面（曲率半径３．２ｍｍ、加
工径φ５．６ｍｍの軸対称非球面）に超精密加工されて
いる。プレス面１ａの形状精度は±０．１μｍ、表面粗
さは０．０１μｍ以下である。また、対向する反対の一
端面もプレス面１ｂとなっており、所望の光学素子形状
の第２面（曲率半径１０．２ｍｍ、加工径φ５．６ｍｍ
の軸対称非球面）に超精密加工されている。プレス面１
ｂの形状精度は±０．１μｍ、表面粗さは０．０１μｍ
以下である。これらの加工面は同軸になっている。
【００２１】この金型１Ａの加工方法としては、外径が
φ８．０ｍｍで長さ５．２ｍｍの円柱形状に加工された
ＷＣ−Ｃｏの超硬合金を金型ブランクとして用い、金型
ブランクの両端面を、超精密加工機を用いたダイヤモン
ド砥石による研削加工を行い、所望の光学素子形状の第
１面、第２面を有するプレス面１ａ、１ｂを夫々得る。
【００２２】次に、このような光学素子成形用金型の使
用方法として、光学素子を製造する方法について、図２
を参照しつつ説明する。円筒形状のＷＣ−Ｃｏの超硬合
金製の胴型２の内穴に、片面にのみプレス面３ａを有す
る下金型として金型３Ａを挿入する。金型３Ａにおける
プレス面３ａの形状は、所望の光学素子形状の第１面に
超精密に研削加工されたもので、前述した金型１Ａのプ
レス面１ａと同形状のものである。次に、金型３Ａのプ
レス面３ａ上に、球状の光学素子材料４Ａを胴型２の上
部より挿入する。更にこの光学素子材料４Ａの上に、下
側に光学素子形状の第２面に形状加工されたプレス面１
ｂが位置するよう、前述した金型１Ａを挿入する。
【００２３】さらに、金型１Ａのもう一方のプレス面１
ａ上に、もう一つの光学素子材料４Ａを胴型２の上部よ
り挿入する。最後に、片面にのみプレス面５ａを有する
上金型として金型５Ａを挿入する。金型５Ａにおけるプ
レス面５ａの形状は、所望の光学素子形状の第２面に超
精密に研削加工されたもので、金型１Ａのプレス面１ｂ
と同形状のものである。各金型３Ａ、１Ａ、５Ａの挿入
位置は、光学素子材料４Ａの球面が各金型に当たる位置
とする。この状態では、図２に示すように金型５Ａのフ
ランジ部が胴型２の上部端面と離間している。また各金
型の外径と胴型２の内径は、緩い嵌め合い精度に保持さ
れている。
【００２４】このような状態の金型３Ａ，１Ａ，５Ａ
を、ヒーター６が内蔵されたプレスヘッド７間に保持
し、窒素雰囲気中にて金型を加熱してプレス成形する。
加熱成形直後の光学素子は、各金型のプレス面及び胴型
２の内面と密着状態にあるが、冷却後の光学素子は、ガ
ラスの体積膨張率の割合で収縮する。従って金型の冷却
後は、光学素子を容易に胴型２から取り出すことができ
る。こうして、プレス面形状の第１面、第２面が転写さ
れた光学素子を２個得ることができる。
【００２５】図２では、金型３Ａ、金型１Ａ、金型５Ａ
を組にして成形を行ったが、図３に示すように中間に金
型１Ａを複数個、同方向に挿入することにより、一度の
成形で多数個の光学素子を得ることができる。また、本
実施の形態では、プレス面１ｂと５ａ、プレス面１ａと
３ａが同一の形状である金型３Ａ、金型１Ａ、金型５Ａ
を一組にして成形を行い、同形状の光学素子を複数個成
形した。しかし例えば、プレス面１ａ、５ａを異なる光
学素子の第１面、第２面とすることにより、異なる種類
の光学素子を一度に成形することも可能である。
【００２６】本実施の形態では、金型３Ａ、金型５Ａの
材料としてＷＣ−Ｃｏの超硬合金を用い、光学素子材料
４Ａとして球状（φ６．０ｍｍ）のポリメチルメタアク
リレート樹脂（ＰＭＭＡ）を使用し、成形温度１８０
℃、プレス荷重８０ｋｇｆにて繰り返し成形を実施し
た。成形の結果、光学性能が良好な光学素子を一度の成
形で２個得られ、生産量が２倍になった。また、従来の
光学素子を複数同時成形する方法では、搬送トレイに保
持された複数の成形型の高さが微妙に異なるため、夫々
の金型に対向する位置に設けられた圧縮ばね、及び加圧
ピンを含む加圧機構を具備する複雑な成形機が必要であ
った。本実施の形態の場合、複数個の金型を一つの胴型
内に一列に挿入して成形するため、そのような複雑な成
形機を必要としない。また、圧力が各々の光学素子材料
４に対して均一に加わるため、得られた各光学素子の光
学性能が非常に安定で、ばらつきも少なくなった。そし
て、本実施の形態の金型１Ａは、成形温度下でのプレス
加重に耐えうる十分な高温強度性を有しており、金型の
プレス面がプレス加重に耐えきれず変形するということ
はなかった。
【００２７】（実施の形態２）次に、本発明の実施の形
態２における光学素子成形用金型とその製造方法につい
て説明する。図４に示される金型１Ｂは、外径がφ５．
０ｍｍ、長さ５．２ｍｍの円柱形状で、チタンカーバイ
ド（ＴｉＣ）を含むサーメットよりなる。また、その一
端面はプレス面１ａとなっており、所望の光学素子形状
の第１面（曲率半径４．５ｍｍ、加工径φ４．０ｍｍの
軸対称非球面）に超精密加工されている。プレス面１ａ
の形状精度は±０．１μｍ、表面粗さは０．０１μｍ以
下である。また、対向する反対の一端面もプレス面１ｂ
となっており、異なる光学素子の第２面（曲率半径７．
２ｍｍ、加工径φ４．５ｍｍの軸対称非球面）に超精密
に加工されている。プレス面１ｂの形状精度は±０．１
μｍ、表面粗さは０．０１μｍ以下である。また、両プ
レス面上には、光学素子材料との融着防止（離型性向
上）、酸化防止を目的として、Ｐｔ−Ｔｉの保護膜８が
膜厚２．０μｍにて成膜されている。
【００２８】この金型１Ｂの加工方法としては、実施の
形態１と同様に、外径がφ５．０ｍｍで長さが５．２ｍ
ｍの円柱形状に加工されたチタンカーバイド（ＴｉＣ）
を含むサーメットのプレス面１ａ、１ｂを、超精密加工
機を用いたダイヤモンド砥石により研削加工を行う。そ
して光学素子形状の第１面、及び異なる光学素子形状の
第２面として、プレス面１ａ、１ｂを得る。最後にスパ
ッタリング法により、プレス面１ａ、１ｂ上にＰｔ−Ｔ
ｉの保護膜８を膜厚２．０μｍに成膜する。
【００２９】次に、本実施の形態における光学素子成形
用金型の使用方法として、光学素子を製造する方法につ
いて、図２を用いて説明する。本実施の形態の金型３
Ｂ、金型５Ｂとして、チタンカーバイド（ＴｉＣ）を含
むサーメットを用いる。金型１Ｂと同様に超精密加工機
を使用して、互いに異なる光学素子形状の第１面及び第
２面となるように精密研削加工により各々のプレス面３
ａ、５ａの形状を仕上げる。金型３Ｂのプレス面３ａ
は、金型１Ｂの第１面の形状（曲率半径４．５ｍｍ、加
工径φ４．０ｍｍの軸対称非球面）と同一にする。一
方、金型５Ｂのプレス面５ａは、金型１Ｂの第２面の形
状（曲率半径７．２ｍｍ、加工径φ４．５ｍｍの軸対称
非球面）と同一にする。プレス面３ａ、５ａの形状精度
は±０．１μｍ、表面粗さは０．０１μｍ以下である。
【００３０】また、金型１Ｂ，３Ｂ，５Ｂの各プレス面
上には、光学素子材料との融着防止（離型性向上）、酸
化防止を目的として、スパッタリング法によりＰｔ−Ｔ
ｉの保護膜８を膜厚２．０μｍにて成膜する。そして、
光学素子材料４Ｂとしては、円柱状（φ３．５ｍｍ、長
さ３ｍｍ）の重フリントガラス（転移点４３０℃、軟化
点５６７℃）を使用し、窒素中で成形温度５４０℃、プ
レス荷重３００ｋｇｆにて繰り返し成形を実施した。
【００３１】また、本実施の形態の比較例として、保護
膜８を形成しない金型１Ｂ’、金型３Ｂ’、金型５Ｂ’
を使用し、同様の繰り返し成形を実施した。その結果、
保護膜８を成膜した本実施の形態の金型では、成形され
た光学素子の離型性が良好で、光学性能が良好なガラス
製の光学素子が得られた。これに対して、比較金型で
は、成形回数が数ショットで、成形時に光学素子材料４
Ｂが各々のプレス面に融着しやすく、成形後の光学素子
の取り出しが困難なることがある。本実施の形態による
成形方法により、１度の成形で異なる光学素子を２個成
形することが可能となった。そして、本実施の形態の金
型１Ｂは、成形温度下でのプレス加重に耐えうる十分な
高温強度性を有しており、金型のプレス面がプレス加重
に耐えきれず、変形するということはなかった。
【００３２】（実施の形態３）次に、本発明の実施の形
態３における光学素子成形用金型とその製造方法につい
て説明する。図５に示される金型１Ｃは、外径がφ５．
０ｍｍで長さが３．２ｍｍの円柱形状でアルミナ（Ａｌ
2 Ｏ3 ）を主成分とするサーメットよりなる。また、そ
の一端面はプレス面１ａとなっており、所望の光学素子
形状の第１面（曲率半径４．２ｍｍ、加工径φ４．０ｍ
ｍの軸対称非球面）に超精密加工されている。プレス面
１ａの形状精度は±０．１μｍ、表面粗さは０．０１μ
ｍ以下である。また、対向する反対の一端面もプレス面
１ｂとなっており、所望の光学素子形状の第２面（曲率
半径６．６ｍｍ、加工径φ４．０ｍｍの軸対称非球面）
に超精密加工されている。プレス１ｂの形状精度は±
０．１μｍ、表面粗さは０．０１μｍ以下である。
【００３３】また、両プレス面１ａ、１ｂ上には、光学
素子材料との融着防止（離型性向上）、酸化防止を目的
として、Ｐｔ−Ｗの保護膜８が膜厚１．５μｍにて成膜
されている。また、両プレス面１ａ、１ｂと保護膜８の
間には、両者の密着性を向上させる目的で、中間膜９と
してＣｒが膜厚０．１μｍにて形成されている。
【００３４】この金型１Ｃの加工方法としては、前述の
実施の形態と同様に、外径がφ５．０ｍｍで長さ３．２
ｍｍの円柱形状に加工されたアルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を
主成分とするサーメットの両端面を、超精密加工機を用
いたダイヤモンド砥石により研削加工する。そして、所
望の光学素子形状の第１面、第２面を有するプレス面１
ａ、１ｂを得る。それらのプレス面上に対して、中間膜
９として蒸着法によりＣｒを膜厚０．１μｍに成膜す
る。そしてこの後に同様の方法で、Ｐｔ−Ｗの保護膜８
を膜厚１．５μｍに成膜する。
【００３５】次に、本実施の形態における光学素子成形
用金型の使用方法として、光学素子を製造する方法につ
いて、図２又は図３を用いて説明する。本実施の形態の
金型３Ｃ、金型５Ｃとして、ＷＣ−Ｃｏの超硬合金を用
い、各々のプレス面３ａ、５ａの形状を仕上げるため、
超精密加工機を使用して所望の光学素子形状の第１面及
び第２面に対して精密研削加工を行う。また、金型３Ｃ
及び金型５Ｃのプレス面３ａ、５ａには、保護膜８とし
てスパッタリング法によりＰｔ−Ｗを膜厚１．５μｍに
形成した。そして、光学素子材料４Ｃとしては、円柱状
（φ３．０ｍｍ、長さ３ｍｍ）の重リン酸クラウンガラ
ス（転移点３８２℃、軟化点４４０℃）を使用し、窒素
中で成形温度４３０℃、プレス荷重３５０ｋｇｆにて繰
り返し成形を実施した。
【００３６】また、本実施の形態では、図３に示すよう
に金型３Ｃと金型５Ｃの間に金型１Ｃを２個同方向に挿
入した。また、比較例として、中間膜９を形成しない金
型１Ｃ’を使用して同様に繰り返し成形を実施した。そ
の結果、中間膜９を成膜した本実施の形態の金型は、成
形時のプレス圧力で保護膜８がプレス面から剥離すると
いう問題もなく、光学性能が良好な光学素子を得られ
た。比較金型では、成形時のプレス圧力に耐えきれず、
保護膜８がプレス面から剥離しやすく、得られた光学素
子の一部に光学性能の悪いものがあった。ここでは、金
型３Ｃと金型５Ｃの間に金型１Ｃを２個挿入して成形を
実施したため、１度の成形で３個の光学素子の成形が可
能となり、生産性が３倍となった。そして、本実施の形
態の金型１Ｃは、成形温度下でのプレス加重に耐えうる
十分な高温強度性を有しており、金型のプレス面が、プ
レス加重に耐えきれず変形するということはなかった。
【００３７】（実施の形態４）次に、本発明の実施の形
態４における光学素子成形用金型とその製造方法につい
て説明する。図６に示される金型１Ｄは、外径がφ５．
０ｍｍで長さ３．２ｍｍの円柱形状のガラスとし、例え
ばホウケイ酸ガラス、転移点Ｔｇ５１６℃、軟化点Ｔｓ
６０７℃を用いる。また、その一端面はプレス面１ａと
なっており、所望の光学素子形状の第１面（曲率半径
３．２ｍｍ、加工径φ５．６ｍｍの軸対称非球面）に超
精密加工されている。プレス面１ａの形状精度は±０．
１μｍ、表面粗さは０．０１μｍ以下である。また、対
向する反対の一端面もプレス面１ｂとなっており、所望
の光学素子形状の第２面（曲率半径１０．２ｍｍ、加工
径φ５．６ｍｍの軸対称非球面）に超精密加工されてい
る。プレス面１ｂの形状精度は±０．１μｍ、表面粗さ
は０．０１μm 以下である。
【００３８】この金型１Ｄの製造方法としては、図７に
示すように、上金型としてプレス面１０ａが所望の光学
素子の第１面の形状に加工されたマスター型１０を用い
る。また下金型として、プレス面１１ａが所望の光学素
子形状の第２面の形状に加工されたマスター型１１を用
いる。このマスター型１０及び１１を胴型１２の内穴に
そのプレス面１０ａ、１１ａを対向させて挿入する、ま
た、両金型間には金型素材１３であるガラスを充填す
る。
【００３９】この状態で、ヒーター６が内蔵されたプレ
スヘッド７を上下に設置し、窒素雰囲気中にて金型を加
熱してプレス成形する。そして冷却後に成形したガラス
を取り出すことにより、プレス面１０ａとプレス面１１
ａとを有するガラス製の金型１Ｄを得ることができる。
本実施の形態では、ＷＣ−Ｃｏの超硬合金製のマスター
型１０及び１１と胴型１２とを用いた。またプレス面１
０ａ、１１ａには、ガラスとの融着防止、酸化防止を目
的として、Ｐｔの保護膜を成膜した。また、金型素材１
３として、ホウケイ酸ガラス（転移点Ｔｇ５１６℃、軟
化点Ｔｓ６０７℃）を用いた。また、成形条件として
は、加熱温度６００℃、プレス加重３００ｋｇｆとし
た。
【００４０】次に、本実施の形態による光学素子成形用
金型の使用方法として、光学素子を製造する方法につい
て、図２を用いて説明する。本実施の形態の金型３Ｄ、
金型５Ｄとして、ＷＣ−Ｃｏの超硬合金素材を用いる。
金型３Ｄ、金型５Ｄのプレス面３ａ、５ａの形状は、超
精密加工機を使用して、所望の光学素子形状の第１面及
び第２面に精密研削加工する。プレス面３ａ、５ａの形
状は夫々金型１Ｄのプレス面１ａ、プレス面１ｂと同形
状のものとした。また、光学素子材料４Ｄとして、球状
（φ６．０ｍｍ）のポリメチルメタアクリレート樹脂
（ＰＭＭＡ）を使用し、成形温度１８０℃、プレス荷重
８０ｋｇｆにて繰り返し成形を実施した。成形の結果、
光学性能が良好な光学素子を一度の成形で２個得られ
た。このため、生産量が２倍になった。
【００４１】また、本実施の形態の金型１Ｄの製造方法
によれば、所望の光学素子形状に精密に加工されたマス
ター型１０、１１によりガラスを加熱してプレス転写す
ることにより、対向する両面にプレス面を有する金型を
安価に且つ短時間に多数個作製することができた。ま
た、プレス成形によりプレス面を加工するため、金型１
Ｄを複数個成形しても、その形状のばらつきが非常に小
さくなった。このため、この金型を使用して光学素子材
料をプレス成形したときに得られる光学素子の光学性能
は、非常に安定なものとなった。そして、本実施の形態
の金型１Ｄは、成形温度下でのプレス加重に耐えうる十
分な高温強度性を有しており、金型のプレス面がプレス
加重に耐えきれず変形するということはなかった。
【００４２】（実施の形態５）次に、本発明の実施の形
態５における光学素子成形用金型とその製造方法につい
て説明する。図８に示される金型１Ｅは、外径がφ５．
０ｍｍで長さが５．２ｍｍの円柱形状で、ＮｉＯを含む
結晶化ガラス（結晶化前のマザーガラスの転移点４４２
℃、軟化点６１０℃）よりなる。また、その一端面はプ
レス面１ａとなっており、所望の光学素子形状の第１面
（曲率半径４．５ｍｍ、加工径φ５．０ｍｍの軸対称非
球面）に超精密に加工されている。プレス面１ａの形状
精度は±０．１μｍ、表面粗さは０．０１μｍ以下であ
る。また、対向する反対の一端面もプレス面１ｂとなっ
ており、所望の光学素子形状の第２面（曲率半径８．６
ｍｍ、加工径φ５．０ｍｍの軸対称非球面）に超精密に
加工されている。プレス面１ｂの形状精度は±０．１μ
ｍ、表面粗さは０．０１μｍ以下である。また、両プレ
ス面上には、光学素子材料との融着防止（離型性向
上）、酸化防止を目的として、Ｐｔ−ＳｉＣの保護膜８
が膜厚２．０μｍにて成膜されている。
【００４３】この金型１Ｅの製造方法としては、図７に
示すように、プレス面１０ａが所望の光学素子の第１面
の形状に加工されたマスター型１０を用いる。またプレ
ス面１１ａが所望の光学素子形状の第２面の形状に加工
されたマスター型１１を用いる。そして、このマスター
型１０及び１１を、胴型１２の内穴にそのプレス面１０
ａ、１１ａを対向させて挿入する。また、両プレス面１
０ａ、１１ａ間に、金型素材１３であるマザーガラス
（未結晶品）を充填する。
【００４４】ここで、金型素材１３として、ＮｉＯを含
むマザーガラス（ガラス転移点４４２℃、軟化点６１０
℃）を用いた。この状態で、ヒーター６が内蔵されたプ
レスヘッド７を設置し、窒素雰囲気中にて６２０℃に加
熱し、３６０ｋｇｆの加重にてプレス成形した。そして
冷却後に、成形したガラスを取り出す。更にこの金型を
電気炉で７００℃にて高温熱処理して、ガラスを完全に
結晶化する。
【００４５】最後に、マスター型１０、１１によるプレ
ス成形により得られたプレス面１ａ、１ｂ上に対して、
スパッタリング法によりＰｔ−ＳｉＣの保護膜８を膜厚
２．０μｍに成膜する。この方法によって、結晶化ガラ
スよりなり、金型のプレス面の対向する反対の面にもプ
レス面を有し、両プレス面上に保護膜が形成された金型
１Ｅを得ることができる。本実施の形態では、マスター
型及び胴型の材料として、実施の形態４と同様に、ＷＣ
−Ｃｏの超硬合金を用い、マザー型１０、１１のプレス
面にはＰｔの保護膜を形成した。
【００４６】次に、本実施の形態による光学素子成形用
金型の使用方法として、光学素子を製造する方法につい
て、図２を用いて説明する。本実施の形態の金型３Ｅ、
金型５Ｅとして、ＷＣ−Ｃｏの超硬合金素材を用いる。
プレス面形状は、超精密加工機を使用して所望の光学素
子形状の第１面及び第２面に精密研削加工を行う。金型
３Ｅ、金型５Ｅのプレス面形状は、金型１Ｅのプレス面
１ａ、プレス面１ｂと同形状のものを用いた。また、金
型３Ｅ、金型５Ｅのプレス面３ａ、５ａには、保護膜８
としてスパッタリング法によりＰｔ−Ｔａを膜厚２．０
μｍにて形成した。
【００４７】そして、光学素子材料４Ｅとしては、円柱
状（φ３．５ｍｍ、長さ３ｍｍ）の重フリントガラス
（転移点４３０℃、軟化点５６７℃）を使用し、窒素中
で成形温度５８０℃、プレス荷重３００ｋｇｆにて繰り
返し成形を実施した。また、本実施の形態の比較金型と
して、保護膜８を形成しない金型１Ｅ’、金型３Ｅ’、
金型５Ｅ’を使用して同様に繰り返し成形を実施した。
【００４８】その結果、保護膜８を成膜した本実施の形
態の金型は、成形された光学素子の離型性が良好で、光
学性能の良好な光学素子を得られた。これに対して、比
較金型では、成形時に光学素子材料４Ｅが各々のプレス
面に融着しやすく、成形後の光学素子の取り出しが困難
になることがある。また、実施の形態１と同様、本成形
において１度の成形で複数個の光学素子の成形が可能と
なり、生産性が２倍となった。
【００４９】また、本実施の形態の金型１Ｅの製造方法
によれば、所望の光学素子形状に精密に加工されたマス
ター型１０、１１により、ガラスを加熱してプレス転写
することにより、対向する両面にプレス面を有する金型
を安価に且つ短時間に作製できた。また、プレス成形に
よりプレス面を加工するため、金型１Ｅを複数個を成形
しても、その形状のばらつきが非常に小さくなった。こ
のため、この金型を使用して光学素子材料をプレス成形
したときに得られる光学素子の光学性能は、非常に安定
なものとなった。そして、本実施の形態の金型１Ｅは、
成形温度下でのプレス加重に耐えうる十分な高温強度性
を有しており、金型のプレス面がプレス加重に耐えきれ
ず変形するということはなかった。
【００５０】（実施の形態６）次に、本発明の実施の形
態６における光学素子成形用金型とその製造方法につい
て説明する。図９に示される金型１Ｆは、外径がφ５．
０ｍｍで、長さが３．２ｍｍの円柱形状で、ＺｒＯ2 を
含む結晶化ガラス（結晶化前のマザーガラスの転移点４
６０℃、軟化点５５０℃）よりなる。また、その一端面
はプレス面１ａとなっており、所望の光学素子形状の第
１面（曲率半径４．２ｍｍ、加工径φ４．０ｍｍの軸対
称非球面）に超精密加工されている。プレス面１ａの形
状精度は±０．１μｍであり、表面粗さは０．０１μｍ
以下である。また、対向する反対の一端面もプレス面１
ｂとなっており、所望の光学素子形状の第２面（曲率半
径６．６ｍｍ、加工径φ４．０ｍｍの軸対称非球面）に
超精密加工されている。プレス１ｂの形状精度は±０．
１μｍであり、表面粗さは０．０１μｍ以下である。
【００５１】また、両プレス面１ａ、１ｂ上には、光学
素子材料との融着防止（離型性向上）、酸化防止を目的
として、Ｐｔ−Ｉｒの保護膜８が膜厚１．２μｍにて成
膜されている。また、両プレス面１ａ、１ｂと保護膜８
との間には、両者の密着性を向上させる目的として、中
間膜９としてＰｔ−Ｔｉが膜厚０．１μｍにて形成され
ている。
【００５２】この金型１Ｆの製造方法としては、図７に
示すように、プレス面１０ａが所望の光学素子の第１面
の形状に加工されたマスター型１０を用いる。またプレ
ス面１１ａが所望の光学素子形状の第２面の形状に加工
されたマスター型１１を用いる。このマスター型１０及
び１１を胴型１２の内穴にそのプレス面１０ａ、１１ａ
を対向させて挿入する。また、両金型１０、１１間には
ガラス製の金型素材１３を充填する。
【００５３】ここで、本実施の形態では、金型素材１３
として、ＺｒＯ2 を含む結晶化前のマザーガラス（ガラ
ス転移点４６０℃、軟化点５５０℃）を用いた。この状
態で、ヒーター６が内蔵されたプレスヘッド７を取り付
け、窒素雰囲気中にて５７０℃に加熱し、２５０ｋｇｆ
の加重にてプレス成形する。更にプレス加重を保持した
まま、６８０℃まで加熱昇温し、マザーガラスを完全に
結晶化する。そして、この金型の冷却後、成形された結
晶化後のガラス製の金型１Ｆを取り出す。
【００５４】そして最後に、プレス面１ａ、１ｂ上にス
パッタリング法により中間膜９としてＰｔ−Ｔｉを膜厚
０．１μｍにて成膜する。この後、保護膜８としてＰｔ
−Ｉｒを同様のスパッタリング法により膜厚１．２μｍ
に成膜する。以上の製造方法により、結晶化ガラスより
成り、金型のプレス面の対向する反対の面にもプレス面
を有し、両プレス面上に中間膜と保護膜とが形成された
金型１Ｆを得ることができる。本実施の形態では、マス
ター型及び胴型の材料として、実施の形態４と同様にＷ
Ｃ−Ｃｏの超硬合金を用い、マザー型１０、１１のプレ
ス面にＰｔの保護膜を形成した。
【００５５】次に、本実施の形態における光学素子成形
用金型の使用方法として、光学素子を製造する方法につ
いて、図２を用いて説明する。本実施の形態の金型３
Ｆ、金型５Ｆとして、ＷＣ−Ｃｏの超硬合金を用いる。
金型３Ｆ、金型５Ｆのプレス面３ａ、５ａの形状は、超
精密加工機を使用して、所望の光学素子形状の第１面及
び第２面が形成されるように精密研削加工を行う。金型
３Ｆ、金型５Ｆのプレス面３ａ、５ａの形状は、金型１
Ｆのプレス面１ａ、プレス面１ｂと同形状とした。ま
た、金型３Ｆ及び金型５Ｆのプレス面３ａ、５ａには、
保護膜８としてスパッタリング法によりＰｔ−Ｗを膜厚
２．０μｍにて形成した。
【００５６】そして、光学素子材料４Ｆとしては、円柱
状（φ３．０ｍｍ、長さ３ｍｍ）の重リン酸クラウンガ
ラス（転移点３８２℃、軟化点４４０℃）を使用し、窒
素中で成形温度４３０℃、プレス荷重３５０ｋｇｆにて
繰り返し成形を実施した。また、本実施の形態では、金
型３Ｆと金型５Ｆの間に金型１Ｆを２個、同方向に挿入
した。また、本実施の形態の比較用として、中間膜９を
形成しない金型１Ｆ’を使用して、同様の繰り返し成形
を実施した。その結果、中間膜９を成膜した本実施の形
態の金型は、成形時のプレス圧力で保護膜８がプレス面
から剥離するという問題もなく、光学性能が良好な光学
素子を得られた。比較金型では、成形時に保護膜８がプ
レス面から剥離しやすく、得られた光学素子の一部に光
学性能が悪いものがある。
【００５７】また、本成形においては、図３に示すよう
に金型３Ｆと金型５Ｆの間に金型１Ｆを２個挿入して成
形を実施すると、１度の成形で３個の光学素子の成形が
可能となった。このため生産性が３倍となった。また、
本実施の形態の金型１Ｆの製造方法によれば、所望の光
学素子形状に精密に加工されたマスター型１０、１１に
よりガラスを加熱してプレス転写することにより、対向
する両面にプレス面を有する金型を安価に且つ短時間に
作製できた。また、プレス成形によりプレス面を加工す
るため、金型１Ｆを複数個成形しても、その形状のばら
つきが非常に小さくなった。このため、この金型を使用
して光学素子材料をプレス成形したときに得られる光学
素子の光学性能は、非常に安定なものとなった。そし
て、本実施の形態の金型１Ｆは、成形温度下でのプレス
加重に耐えうる十分な高温強度を有しており、金型のプ
レス面がプレス加重に耐えきれず変形するということは
なかった。
【００５８】尚、以上の各実施の形態において、金型
１，３，５の材料として、ＷＣ−Ｃｏの超硬合金、チタ
ンカーバイド（ＴｉＣ）を主成分とするサーメット、ア
ルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を主成分とするサーメット、ホウ
ケイ酸ガラス、ＮｉＯを含む結晶化ガラス、ＺｒＯ2 を
含む結晶化ガラスのいずれかを用いた。また、保護膜８
として、Ｐｔ−Ｔｉ、Ｐｔ−Ｗ、Ｐｔ−ＳｉＣ、又はＰ
ｔ−Ｉｒを用いた。更に中間膜９として、Ｃｒ、又はＰ
ｔ−Ｔｉを用いた。
【００５９】しかし、金型１の材料として、その他の材
料、即ちタングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とす
る超硬合金、又はチタンナイトライド（ＴｉＮ）、チタ
ンカーバイド（ＴｉＣ）、クロムカーバイド（Ｃｒ3 Ｃ
2 ）、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3）を主成分とするサーメッ
ト、又はクロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニッケ
ル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、タングステン（Ｗ）、
チタン（Ｔｉ）や、それら金属を含む合金、又はガラ
ス、結晶化ガラスを用いることができる。
【００６０】また、保護膜８として、その他の材料、即
ち白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉ
ｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ルテニ
ウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン
（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、少なくとも１種類以
上の金属を含む合金を用いることができる。
【００６１】また中間膜９として、その他の金型母材と
なるガラスに含まれる成分、又は保護膜に含まれる成分
を含む材料、又はＣｒ、Ｔａ、Ｍｏ、Ｎｉ、Ｗ、Ｚｒ、
Ｃｏ、Ｔｉ、Ｃｕから選ばれる金属を含む材料を用いて
も同様の効果が得られる。
【００６２】また、中間膜９、保護膜８の成膜方法とし
て、蒸着法、スパッタリング法を用いたが、その他の成
膜方法により形成しても何ら変わらない。また、金型素
材の機械的加工法として、超精密加工機を使用した研削
加工を用いたが、その他の加工法を用いても問題ない。
また、光学素子材料４として、ＰＭＭＡ、重フリントガ
ラス、重リン酸クラウンガラスを用いたが、その他の光
学素子材料を使用しても、同様の効果が得られる。ま
た、結晶化処理の方法として、電気炉による熱処理、成
形による高温熱処理を実施したが、その他の方法でも良
い。
【００６３】また、成形方法として、金型１を１個又は
２個使用して、光学素子を成形したが、さらに多くの金
型１を使用して成形しても良い。また、同品種の光学素
子を多数個成形するだけでなく、プレス面の組み合わせ
により、他品種の光学素子材料を複数個同時に成形して
も良い。
【００６４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、光学素子
成形用金型の構成において、金型のプレス面に対向した
反対の面にもプレス面を有する。また、金型材料とし
て、タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超
硬合金、又はチタンナイトライド（ＴｉＮ）、チタンカ
ーバイド（ＴｉＣ）、クロムカーバイド（Ｃｒ3 Ｃ
2 ）、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）を主成分とするサーメッ
ト、又はクロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニッケ
ル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、タングステン（Ｗ）、
チタン（Ｔｉ）、又はそれら金属を含む合金、又はガラ
ス、結晶化ガラスのうち、いずれかを用いるようにして
いるので、加熱時のプレス成形に耐えうる十分な機械的
強度が得られる。このために、成形による金型プレス面
の変形が発生しない。
【００６５】また、光学素子材料と金型素材との離型性
が悪い場合には、保護膜として、スパッタ法、蒸着法、
ＣＶＤ法等により、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐ
ｄ）、イリジウム（Ｉｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミ
ウム（Ｏｓ）、ルテニウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒ
ｅ）、タングステン（Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、
少なくとも１種類以上の金属を含む合金薄膜をプレス面
上に形成するため、成形された光学素子が金型に融着し
て、離型しないといった問題が発生しない。
【００６６】また、金型と保護膜との密着性が悪い場合
には、両者の間に中間膜として、金型に含まれる成分、
又は保護膜に含まれる成分を含む材料、又はＣｒ、Ｔ
ａ、Ｍｏ、Ｎｉ、Ｗ、Ｚｒ、Ｃｏ、Ｔｉ、Ｃｕから選ば
れる金属を含む材料を、保護膜と同様に、スパッタ法、
蒸着法、ＣＶＤ法等により形成するようにしている。こ
のため、光学素子成形時のプレス圧力に耐えきれず、保
護膜が剥離するといった問題が発生しない。
【００６７】また、金型素材が、タングステンカーバイ
ド（ＷＣ）を主成分とする超硬合金、又はチタンナイト
ライド（ＴｉＮ）、チタンカーバイド（ＴｉＣ）、クロ
ムカーバイド（Ｃｒ3 Ｃ2 ）、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）
を主成分とするサーメット、又はクロム（Ｃｒ）、モリ
ブデン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃ
ｏ）、タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）、又はそれ
ら金属を含む合金のうち、いずれかの場合には、超精密
加工機を使用して、ダイヤモンド砥石による研削加工に
より、プレス面を光学素子形状に精密加工することがで
きる。このため、高精度な金型を得ることができる。
【００６８】また、金型素材が、ガラス及び結晶化ガラ
スの場合には、光学素子形状に超精密に加工されたマス
ター型によるプレス成形により金型を加工できるため、
金型間の形状のばらつきの小さい金型を安価に短時間で
得ることができる。
【００６９】また、本発明の金型を使用した光学素子の
成形方法では、複数個の金型を一つの胴型内に一列に挿
入して成形できるため、複雑な成形機を必要とせず、ま
た、圧力が各々の光学素子材料に対して均一に加わるた
め、得られた各光学素子の光学性能が非常に安定で、ば
らつきが少ないものとなる。また、両面にプレス面を有
する金型を複数個使用することにより、光学素子を一度
の成形で多数個得られることができ、生産効率が飛躍的
に伸びる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１における光学素子成形用
金型の構成図である。
【図２】本発明の実施の形態１〜６における光学素子の
製造方法（２個取り）を示す概略図である。
【図３】本発明の実施の形態１〜６における光学素子の
製造方法（３個取り）を示す概略図である。
【図４】本発明の実施の形態２における光学素子成形用
金型の構成図である。
【図５】本発明の実施の形態３における光学素子成形用
金型の構成図である。
【図６】本発明の実施の形態４における光学素子成形用
金型の構成図である。
【図７】本発明の実施の形態４〜６における光学素子成
形用金型の製造方法を示す概略図である。
【図８】本発明の実施の形態５における光学素子成形用
金型の構成図である。
【図９】本発明の実施の形態６における光学素子成形用
金型の構成図である。
【符号の説明】
１，１Ａ〜１Ｆ 金型（中金型） １ａ 金型１のプレス面 １ｂ 金型１のプレス面 ２ 胴型 ３，３Ａ〜３Ｆ 金型（下金型） ３ａ 金型３のプレス面 ４，４Ａ〜４Ｆ 光学素子材料 ５ 金型（上金型） ５ａ 金型５のプレス面 ６ ヒーター ７ プレスヘッド ８ 保護膜 ９ 中間膜 １０ マスター型 １０ａ マスター型１０のプレス面 １１ マスター型 １１ａ マスター型１１のプレス面 １２ 胴型 １３ ガラス

Claims (38)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成
    分とする超硬合金、又はチタンナイトライド（Ｔｉ
    Ｎ）、チタンカーバイド（ＴｉＣ）、クロムカーバイド
    （Ｃｒ3 Ｃ2 ）、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）のいずれかを
    主成分とするサーメット、又はクロム（Ｃｒ）、モリブ
    デン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、
    タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）のいずれかを主成
    分とする金属、又はそれら金属を含む合金のうち、いず
    れかの金型材料から成り、 第１の光学素子材料をプレス成形する第１プレス面と、 前記第１プレス面と反対面に設けられ、第２の光学素子
    材料をプレス成形する第２プレス面と、を有することを
    特徴とする光学素子成形用金型。
  2. 【請求項２】 タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成
    分とする超硬合金、又はチタンナイトライド（Ｔｉ
    Ｎ）、チタンカーバイド（ＴｉＣ）、クロムカーバイド
    （Ｃｒ3 Ｃ2 ）、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）のいずれかを
    主成分とするサーメット、又はクロム（Ｃｒ）、モリブ
    デン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、
    タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）のいずれかを主成
    分とする金属、又はそれら金属を含む合金のうち、いず
    れかの金型材料を用いて金型ブランクを製作する工程
    と、 前記金型ブランクの一方の加工面に対し、第１の光学素
    子材料をプレス成形して光学素子の第１面が形成される
    よう、研削加工を行って第１プレス面を得る工程と、 前記金型ブランクの他方の加工面に対し、第２の光学素
    子材料をプレス成形して光学素子の第２面が形成される
    よう、研削加工を行って第２プレス面を得る工程と、を
    有することを特徴とする光学素子成形用金型の製造方
    法。
  3. 【請求項３】 タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成
    分とする超硬合金、又はチタンナイトライド（Ｔｉ
    Ｎ）、チタンカーバイド（ＴｉＣ）、クロムカーバイド
    （Ｃｒ3 Ｃ2 ）、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）のいずれかを
    主成分とするサーメット、又はクロム（Ｃｒ）、モリブ
    デン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、
    タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）のいずれかを主成
    分とする金属、又はそれら金属を含む合金のうち、いず
    れかの金型材料から成り、 第１の光学素子材料をプレス成形する第１プレス面と、 前記第１プレス面と反対面に設けられ、第２の光学素子
    材料をプレス成形する第２プレス面と、 プレス成形時に前記第１，第２の光学素子材料の融着を
    防止するため、前記第１プレス面及び第２プレス面に形
    成された保護膜と、を有することを特徴とする光学素子
    成形用金型。
  4. 【請求項４】 前記保護膜は、 白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉ
    ｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ルテニ
    ウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン
    （Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、少なくとも１種類以
    上の金属を含む合金薄膜であることを特徴とする請求項
    ３記載の光学素子成形用金型。
  5. 【請求項５】 タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成
    分とする超硬合金、又はチタンナイトライド（Ｔｉ
    Ｎ）、チタンカーバイド（ＴｉＣ）、クロムカーバイド
    （Ｃｒ3 Ｃ2 ）、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）のいずれかを
    主成分とするサーメット、又はクロム（Ｃｒ）、モリブ
    デン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、
    タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）のいずれかを主成
    分とする金属、又はそれら金属を含む合金のうち、いず
    れかの金型材料を用いて金型ブランクを製作する工程
    と、 前記金型ブランクの一方の加工面に対し、第１の光学素
    子材料をプレス成形して光学素子の第１面が形成される
    よう、研削加工を行って第１プレス面を得る工程と、 前記金型ブランクの他方の加工面に対し、第２の光学素
    子材料をプレス成形して光学素子の第２面が形成される
    よう、研削加工を行って第２プレス面を得る工程と、 プレス成形時に前記光学素子材料の融着を防止するた
    め、前記第１プレス面及び第２プレス面に保護膜を形成
    する工程と、を有することを特徴とする光学素子成形用
    金型の製造方法。
  6. 【請求項６】 前記保護膜は、 白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉ
    ｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ルテニ
    ウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン
    （Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、少なくとも１種類以
    上の金属を含む合金薄膜であることを特徴とする請求項
    ５記載の光学素子成形用金型の製造方法。
  7. 【請求項７】 タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成
    分とする超硬合金、又はチタンナイトライド（Ｔｉ
    Ｎ）、チタンカーバイド（ＴｉＣ）、クロムカーバイド
    （Ｃｒ3 Ｃ2 ）、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）のいずれかを
    主成分とするサーメット、又はクロム（Ｃｒ）、モリブ
    デン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、
    タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）のいずれかを主成
    分とする金属、又はそれら金属を含む合金のうち、いず
    れかの金型材料から成り、 第１の光学素子材料をプレス成形する第１プレス面と、 前記第１プレス面と反対面に設けられ、第２の光学素子
    材料をプレス成形する第２プレス面と、 前記第１プレス面及び前記第２プレス面に、保護膜の密
    着性を向上するために形成された中間膜と、 プレス成形時に前記光学素子材料の融着を防止するた
    め、前記中間膜に形成された保護膜と、を有することを
    特徴とする光学素子成形用金型。
  8. 【請求項８】 前記保護膜は、 白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉ
    ｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ルテニ
    ウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン
    （Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、少なくとも１種類以
    上の金属を含む合金薄膜であることを特徴とする請求項
    ７記載の光学素子成形用金型。
  9. 【請求項９】 前記中間膜は、 前記金型ブランクに含まれる成分、又は前記保護膜に含
    まれる成分を含む材料、又はクローム（Ｃｒ）、タンタ
    ル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、
    タングステン（Ｗ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、コバルト
    （Ｃｏ）、チタン（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）から選ばれる金
    属を含む材料のうち、いずれかであることを特徴とする
    請求項７記載の光学素子成形用金型。
  10. 【請求項１０】 タングステンカーバイド（ＷＣ）を主
    成分とする超硬合金、又はチタンナイトライド（Ｔｉ
    Ｎ）、チタンカーバイド（ＴｉＣ）、クロムカーバイド
    （Ｃｒ3 Ｃ2 ）、アルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）のいずれかを
    主成分とするサーメット、又はクロム（Ｃｒ）、モリブ
    デン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、
    タングステン（Ｗ）、チタン（Ｔｉ）のいずれかを主成
    分とする金属、又はそれら金属を含む合金のうち、いず
    れかの金型材料を用いて金型ブランクを製作する工程
    と、 前記金型ブランクの一方の加工面に対し、第１の光学素
    子材料をプレス成形して光学素子の第１面が形成される
    よう、研削加工を行って第１プレス面を得る工程と、 前記金型ブランクの他方の加工面に対し、第２の光学素
    子材料をプレス成形して光学素子の第２面が形成される
    よう、研削加工を行って第２プレス面を得る工程と、 前記第１プレス面及び前記第２プレス面の表面に、保護
    膜の密着性を向上するために中間膜を形成する工程と、 プレス成形時に前記光学素子材料の融着を防止するた
    め、前記中間膜の表面に保護膜を形成する工程と、を有
    することを特徴とする光学素子成形用金型の製造方法。
  11. 【請求項１１】 前記保護膜は、 白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉ
    ｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ルテニ
    ウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン
    （Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、少なくとも１種類以
    上の金属を含む合金薄膜であることを特徴とする請求項
    １０記載の光学素子成形用金型の製造方法。
  12. 【請求項１２】 前記中間膜は、 前記金型ブランクに含まれる成分、又は前記保護膜に含
    まれる成分を含む材料、又はクローム（Ｃｒ）、タンタ
    ル（Ｔａ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、
    タングステン（Ｗ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、コバルト
    （Ｃｏ）、チタン（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）から選ばれる金
    属を含む材料のうち、いずれかであることを特徴とする
    請求項１０記載の光学素子成形用金型の製造方法。
  13. 【請求項１３】 ガラスの金型材料から成り、 第１の光学素子材料をプレス成形する第１プレス面と、 前記第１プレス面と反対面に設けられ、第２の光学素子
    材料をプレス成形する第２プレス面と、を有することを
    特徴とする光学素子成形用金型。
  14. 【請求項１４】 前記ガラスは、 結晶化ガラスであることを特徴とする請求項１３記載の
    光学素子成形用金型。
  15. 【請求項１５】 プレス面が所望の光学素子の形状に加
    工された第１及び第２のマスター型の間に、金型材料と
    してガラスを充填する工程と、 前記第１及び第２のマスター型を加圧及び加熱すること
    により、前記ガラスの２つの加圧面が第１プレス面、第
    ２プレス面に形成されたガラス金型を得る工程と、を有
    することを特徴とする光学素子成形用金型の製造方法。
  16. 【請求項１６】 前記ガラス金型を得る工程は、 前記ガラスをプレス成形した後、前記ガラスに結晶化処
    理を施す工程を含むことを特徴とする請求項１５記載の
    光学素子成形用金型の製造方法。
  17. 【請求項１７】 ガラスの金型材料から成り、 第１の光学素子材料をプレス成形する第１プレス面と、 前記第１プレス面と反対面に設けられ、第２の光学素子
    材料をプレス成形する第２プレス面と、 プレス成形時に前記光学素子材料の融着を防止するた
    め、前記第１プレス面及び第２プレス面に形成された保
    護膜と、を有することを特徴とする光学素子成形用金
    型。
  18. 【請求項１８】 前記ガラスは、 結晶化ガラスであることを特徴とする請求項１７記載の
    光学素子成形用金型。
  19. 【請求項１９】 前記保護膜は、 白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉ
    ｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ルテニ
    ウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン
    （Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、少なくとも１種類以
    上の金属を含む合金薄膜であることを特徴とする請求項
    １７記載の光学素子成形用金型。
  20. 【請求項２０】 プレス面が所望の光学素子の形状に加
    工された第１及び第２のマスター型の間に、金型材料と
    してガラスを充填する工程と、 前記第１及び第２のマスター型を加圧及び加熱すること
    により、前記ガラスの２つの加圧面が第１プレス面、第
    ２プレス面に形成されたガラス金型を得る工程と、 プレス成形時に光学素子材料の融着を防止するため、前
    記第１プレス面及び第２プレス面に保護膜を形成する工
    程と、を有することを特徴とする光学素子成形用金型の
    製造方法。
  21. 【請求項２１】 プレス面が所望の光学素子の形状に加
    工された第１及び第２のマスター型の間に、金型材料と
    してガラスを充填する工程と、 前記第１及び第２のマスター型を加圧及び加熱すること
    により、前記ガラスの２つの加圧面が第１プレス面、第
    ２プレス面に形成されたガラス金型を得る工程と、 前記ガラス金型のガラスに結晶化処理を施す工程と、 プレス成形時に光学素子材料の融着を防止するため、前
    記第１プレス面及び第２プレス面に保護膜を形成する工
    程と、を有することを特徴とする光学素子成形用金型の
    製造方法。
  22. 【請求項２２】 前記保護膜は、 白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉ
    ｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ルテニ
    ウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン
    （Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、少なくとも１種類以
    上の金属を含む合金薄膜であることを特徴とする請求項
    ２０又は２１記載の光学素子成形用金型の製造方法。
  23. 【請求項２３】 ガラスの金型材料から成り、 第１の光学素子材料をプレス成形する第１プレス面と、 前記第１プレス面と反対面に設けられ、第２の光学素子
    材料をプレス成形する第２プレス面と、 前記第１プレス面及び前記第２プレス面に、保護膜の密
    着性を向上するために形成された中間膜と、 プレス成形時に前記光学素子材料の融着を防止するた
    め、前記中間膜に形成された保護膜と、を有することを
    特徴とする光学素子成形用金型。
  24. 【請求項２４】 前記ガラスは、 結晶化ガラスであることを特徴とする請求項２３記載の
    光学素子成形用金型。
  25. 【請求項２５】 前記保護膜は、 白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉ
    ｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ルテニ
    ウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン
    （Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、少なくとも１種類以
    上の金属を含む合金薄膜であることを特徴とする請求項
    ２３記載の光学素子成形用金型。
  26. 【請求項２６】 前記中間膜は、 前記ガラスに含まれる成分、又は前記保護膜に含まれる
    成分を含む材料、又はクローム（Ｃｒ）、タンタル（Ｔ
    ａ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、タング
    ステン（Ｗ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、コバルト（Ｃ
    ｏ）、チタン（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）から選ばれる金属を
    含む材料のうち、いずれかであることを特徴とする請求
    項２３記載の光学素子成形用金型。
  27. 【請求項２７】 プレス面が所望の光学素子の形状に加
    工された第１及び第２のマスター型の間に、金型材料と
    してガラスを充填する工程と、 前記第１及び第２のマスター型を加圧及び加熱すること
    により、前記ガラスの２つの加圧面が第１プレス面、第
    ２プレス面に形成されたガラス金型を得る工程と、 前記第１プレス面及び前記第２プレス面の表面に、保護
    膜の密着性を向上するために中間膜を形成する工程と、 プレス成形時に光学素子材料の融着を防止するため、前
    記第１プレス面及び第２プレス面に前記保護膜を形成す
    る工程と、を有することを特徴とする光学素子成形用金
    型の製造方法。
  28. 【請求項２８】 前記ガラス金型を得る工程は、 前記ガラスをプレス成形した後、前記ガラスに結晶化処
    理を施す工程を含むことを特徴とする請求項２７記載の
    光学素子成形用金型の製造方法。
  29. 【請求項２９】 前記保護膜は、 白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉ
    ｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ルテニ
    ウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン
    （Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、少なくとも１種類以
    上の金属を含む合金薄膜であることを特徴とする請求項
    ２７記載の光学素子成形用金型の製造方法。
  30. 【請求項３０】 前記中間膜は、 前記ガラスに含まれる成分、又は前記保護膜に含まれる
    成分を含む材料、又はクローム（Ｃｒ）、タンタル（Ｔ
    ａ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、タング
    ステン（Ｗ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、コバルト（Ｃ
    ｏ）、チタン（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）から選ばれる金属を
    含む材料のうち、いずれかであることを特徴とする請求
    項２７記載の光学素子成形用金型。
  31. 【請求項３１】 光学素子材料としてのガラスをプレス
    成形して所定形状の光学素子を得るための光学素子成形
    用金型の使用方法であって、 上面に第１のプレス面を持つ下金型を筒状の胴型の下部
    に配置し、 前記下金型の上部の第１の空間に前記光学素子材料とし
    てガラスを挿入し、 上面に第１プレス面が形成され、下面に第２プレス面が
    形成された前記光学素子成形用金型を中金型として前記
    胴型の中部に配置し、 前記光学素子成形用金型の上部の第２の空間に前記光学
    素子材料としてガラスを更に挿入し、 下面に第２プレス面を持つ上金型を前記胴型の上部に配
    置し、 前記下金型、前記光学素子成形用金型、前記上金型を加
    圧及び加熱することにより、前記第１及び第２の空間に
    保持された前記光学素子材料を所定形状に成形し、２つ
    の加圧面が前記第１プレス面及び第２プレス面と同形に
    形成された光学素子を製造することを特徴とする光学素
    子成形用金型の使用方法。
  32. 【請求項３２】 前記下金型と前記上金型との間に、上
    面に第１プレス面が形成され、下面に第２プレス面が形
    成された複数の前記光学素子成形用金型を中金型として
    配置し、前記光学素子成形用金型の間に形成された空
    間、及び前記下金型の上部空間、及び前記上金型の下部
    空間に、前記光学素子材料としてガラスを挿入し、夫々
    の空間から光学素子を同時に得るようにしたことを特徴
    とする請求項３１記載の光学素子成形用金型の使用方
    法。
  33. 【請求項３３】 前記下金型、前記光学素子成形用金
    型、前記上金型は、 タングステンカーバイド（ＷＣ）を主成分とする超硬合
    金、又はチタンナイトライド（ＴｉＮ）、チタンカーバ
    イド（ＴｉＣ）、クロムカーバイド（Ｃｒ3 Ｃ 2 ）、ア
    ルミナ（Ａｌ2 Ｏ3 ）のいずれかを主成分とするサーメ
    ット、又はクロム（Ｃｒ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニッ
    ケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、タングステン
    （Ｗ）、チタン（Ｔｉ）のいずれかを主成分とする金
    属、それら金属を含む合金、ガラスのうち、いずれかの
    金型材料から成ることを特徴とする請求項３１又は３２
    記載の光学素子成形用金型の使用方法。
  34. 【請求項３４】 前記ガラスは、 結晶化ガラスであることを特徴とする請求項３３記載の
    光学素子成形用金型の使用方法。
  35. 【請求項３５】 前記下金型、前記光学素子成形用金
    型、前記上金型は、 各プレス面上に保護膜が形成されたことを特徴とする請
    求項３１又は３２記載の光学素子成形用金型の使用方
    法。
  36. 【請求項３６】 前記保護膜は、 白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、イリジウム（Ｉ
    ｒ）、ロジウム（Ｒｈ）、オスミウム（Ｏｓ）、ルテニ
    ウム（Ｒｕ）、レニウム（Ｒｅ）、タングステン
    （Ｗ）、タンタル（Ｔａ）のうち、少なくとも１種類以
    上の金属を含む合金薄膜であることを特徴とする請求項
    ３５記載の光学素子成形用金型の使用方法。
  37. 【請求項３７】 前記下金型、前記光学素子成形用金
    型、前記上金型は、 各プレス面と前記保護膜の間に中間膜が形成されたこと
    を特徴とする請求項３５記載の光学素子成形用金型の使
    用方法。
  38. 【請求項３８】 前記中間膜は、 前記ガラスに含まれる成分、又は前記保護膜に含まれる
    成分を含む材料、又はクローム（Ｃｒ）、タンタル（Ｔ
    ａ）、モリブデン（Ｍｏ）、ニッケル（Ｎｉ）、タング
    ステン（Ｗ）、ジルコニウム（Ｚｒ）、コバルト（Ｃ
    ｏ）、チタン（Ｔｉ）、銅（Ｃｕ）から選ばれる金属を
    含む材料のうち、いずれかであることを特徴とする請求
    項３７記載の光学素子成形用金型。
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