JP2005280293A - 光学素子用成形金型の製造方法、光学素子用成形金型及び光学素子 - Google Patents
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Abstract
低コストであり取り扱い性に優れるにも関わらず、切削性に優れ、寸法精度を高めることができる光学素子用成形金型、及びそれにより形成される光学素子を提供する。
【解決手段】
基体10のベース面である凹部10aの曲率を、最終的に形成される光学素子用成形金型の成形転写面の曲率よりも大きいか、あるいは等しい形状で予め形成しておくことで、膜MGの表面形状が、成形転写面形状にほぼ一致する程度まで堆積が行われれば、膜厚の最も薄い部位でも、後加工において十分な膜厚が得られ、ダイアモンド切削加工や加熱プレス成形を適切に行えるというメリットがある。
【選択図】 図1
Description
前記光学素子用成形金型の基体に、前記成形転写面が凹形状の場合には、前記成形転写面よりも曲率が大きいか、あるいは等しい曲率の形状でベース面を形成し、前記成形転写面が凸形状の場合には、前記成形転写面よりも曲率が小さいか、あるいは等しい曲率の形状でベース面を形成する工程と、
前記ベース面に対し、隔置配置された素材から、その材料粒子を飛散させて、過冷却液体領域を有する非晶質合金を堆積させることで膜層を形成する工程と、
前記膜層に所定の加工を施すことで前記成形転写面を得る工程と、を有することを特徴とする。
図7は、金属ガラスの成膜装置を示す概略図である。図7において、筐体200で覆われた処理室Pには、ターゲットTを支持するターゲット支持台201が載置され、それにベース面を対応させるようにして、金型の基体10を保持する試料ホルダ202が配置されている。ターゲット支持台201の内部には冷却配管が形成され、かかる冷却配管には、外部の制御装置203を介して、温度調整用の冷却水を循環させることができるようになっている。
2 シリンダ
4 母型
5 支柱
6 プランジャー
7 容器
10 基体
10’ 光学素子用成形金型
MG 非晶質合金
Claims (45)
- 光学素子の光学面を成形転写するための成形転写面を有する光学素子用成形金型の製造方法において、
前記光学素子用成形金型の基体に、前記成形転写面が凹形状の場合には、前記成形転写面よりも曲率が大きいか、あるいは等しい曲率の形状でベース面を形成し、前記成形転写面が凸形状の場合には、前記成形転写面よりも曲率が小さいか、あるいは等しい曲率の形状でベース面を形成する工程と、
前記ベース面に対し、隔置配置された素材から、その材料粒子を飛散させて、過冷却液体領域を有する非晶質合金を堆積させることで膜層を形成する工程と、
前記膜層に所定の加工を施すことで前記成形転写面を得る工程と、を有することを特徴とする光学素子用成形金型の製造方法。 - 前記光学素子用成形金型により成形される光学素子の光学面に、光軸を中心とした輪帯構造が形成されることを特徴とする請求項1に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記輪帯構造は、光路差付与構造であることを特徴とする請求項2に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記輪帯構造は、光軸方向断面が鋸歯状のブレーズ型回折構造であることを特徴とする請求項2に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記輪帯構造は、光軸方向断面が階段状の回折構造であることを特徴とする請求項2に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記輪帯構造は、前記光学素子に対して光を照射する光源の波長変化による前記光学素子の収差変化を補正する機能を有することを特徴とする請求項2〜5のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記輪帯構造は、前記光学素子の温度変化による収差変化を補正する機能を有することを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記光学素子用成形金型により成形される光学素子の光学面に、複数の突起またはくぼみが転写成形されるように,前記光学素子用成形金型成形転写面には,対応したくぼみまたは突起が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記光学素子の光学面の突起またはくぼみは、等価屈折率領域の微細構造を形成することを特徴とする請求項8に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記光学素子の光学面の突起またはくぼみは、反射防止効果を発生する微細構造を形成することを特徴とする請求項8又は9に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記光学素子の光学面の突起またはくぼみは、構造複屈折を発生する微細構造を形成することを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記光学素子の光学面の突起またはくぼみは、共鳴領域の微細構造を形成することを特徴とする請求項8〜11のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記光学素子の光学面の突起またはくぼみは、該光学面の一部に存在しており、その光学面を転写形成されるように、前記成形転写面の一部には、対応したくぼみまたは突起が存在していることを特徴とする請求項8〜12のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記光学素子の光学面の一部に、少なくとも複数の形状または配置パターンを有する突起またはくぼみが存在しており、その光学面を転写形成されるように、前記光学面転写面の一部には、対応した少なくとも複数の形状または配置パターンのくぼみまたは突起が存在していることを特徴とする請求項8〜13のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記光学素子用成形金型の成形転写面は、非球面形状のみからなることを特徴とする請求項1に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域をもつ非晶質合金膜の膜層を、PVD処理によって形成したことを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域をもつ非晶質合金膜の膜層を、スパッタ処理によって形成したことを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域をもつ非晶質合金膜の膜層を、イオンプレーティング処理によって形成したことを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域をもつ非晶質合金膜の膜層を、蒸着法によって形成したことを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域をもつ非晶質合金膜の膜層を、CVD処理によって形成したことを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の膜層は、厚さ0.1〜500μmであり、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の組成がFeを20〜80mol%の割合で含み、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金のガラス転移温度Tgが300〜800℃の範囲内にあることを特徴とする請求項1〜20のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金は、Co,Ni,Cu,B,Al,Ga,C,Si,P,Zr,Nb,Ti,Wのいずれか1つ以上を、少なくとも1mol%の割合で含有してなることを特徴とする請求項21に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の膜層は、厚さ0.1〜500μmであり、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の組成がTiを20〜80mol%の割合で含み、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金のガラス転移温度Tgが300〜800℃の範囲内にあることを特徴とする請求項1〜20のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金は、Fe,Co,Ni,Cu,B,Al,Ga,C,Si,P,Zr,Nb,Wのいずれか1つ以上を、少なくとも1mol%の割合で含有してなることを特徴とする請求項23に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の膜層は、厚さ0.1〜500μmであり、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の組成がWを20〜80mol%の割合で含み、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金のガラス転移温度Tgが300〜800℃の範囲内にあることを特徴とする請求項1〜20のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金は、Ti,Fe,Co,Ni,Cu,B,Al,Ga,C,Si,P,Zr,Nbのいずれか1つ以上を、少なくとも1mol%の割合で含有してなることを特徴とする請求項25に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の膜層は、厚さ0.1〜500μmであり、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の組成がCoを20〜80mol%の割合で含み、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金のガラス転移温度Tgが300〜800℃の範囲内にあることを特徴とする請求項1〜20のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金は、Ti,Fe,Ni,Cu,B,Al,Ga,C,Si,P,Zr,Nb,Wのいずれか1つ以上を、少なくとも1mol%の割合で含有してなることを特徴とする請求項27に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の膜層は、厚さ0.1〜500μmであり、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の組成がNiを20〜80mol%の割合で含み、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金のガラス転移温度Tgが300〜800℃の範囲内にあることを特徴とする請求項1〜20のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金は、Ti,Fe,Co,Cu,B,Al,Ga,C,Si,P,Zr,Nb,Wのいずれか1つ以上を、少なくとも1mol%の割合で含有してなることを特徴とする請求項29に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の膜層は、厚さ0.1〜500μmであり、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の組成がCuを20〜80mol%の割合で含み、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金のガラス転移温度Tgが300〜800℃の範囲内にあることを特徴とする請求項1〜20のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金は、Ti,Fe,Co,Ni,B,Al,Ga,C,Si,P,Zr,Nb,Wのいずれか1つ以上を、少なくとも1mol%の割合で含有してなることを特徴とする請求項31に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の膜層は、厚さ0.1〜500μmであり、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金の組成がMoを20〜80mol%の割合で含み、前記過冷却液体領域を有する非晶質合金のガラス転移温度Tgが300〜800℃の範囲内にあることを特徴とする請求項1〜20のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金は、Fe、Co,Ni、Cu、Hf,Zr,Ti,W,Sn,Al,Si,P,B、Pdのいずれか1つ以上を、少なくとも1mol%以上の割合で含有することを特徴とする請求項33に記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金は、Pt,Ir,Au,Ag,Pd,Ru,Rh,Osの元素をいずれか1つ以上を、少なくとも1mol%以上の割合で含有してなることを特徴とする請求項21〜34のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金は、Zn,Al,Sn,Mg,Be,Sの元素をいずれか1つ以上を、少なくとも1mol%以上の割合で含有してなることを特徴とする請求項21〜35のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記過冷却液体領域を有する非晶質合金は、Mo,Mn,V,Ge,Ru,Rh,N,S,Na,Be,K,Ca,Sの元素をいずれか1つ以上を、少なくとも1mol%以上の割合で含有してなることを特徴とする請求項21〜36のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記所定の加工とは、光学素子の光学面に対応した母型を加熱して前記ベース面に形成された膜層に押しつける加熱プレス成形であることを特徴とする請求項1〜37のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記所定の加工とは、ダイヤモンド工具を用いて行う前記ベース面に形成された膜層の切削加工であることを特徴とする請求項1〜37のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 前記所定の加工とは、光学素子の光学面に対応した母型を加熱して前記ベース面に押しつける加熱プレス成形と、ダイヤモンド工具を用いて行う前記ベース面に形成された膜層の切削加工であることを特徴とする請求項1〜37のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法。
- 請求項1〜40のいずれかに記載の光学素子用成形金型の製造方法によって製造された光学素子用成形金型であって、200〜800℃の金型温度で光学素子の成形を1,000回行ったときに、金型表面粗度がRa0.05μm未満であることを特徴とする光学素子用成形金型。
- 請求項第1〜40のいずれか記載の光学素子用成形金型の製造方法により製造された光学素子用成形金型、又は請求項41に記載の光学素子用成形金型を用いて成形されたことを特徴とする光学素子。
- 前記光学素子は,プラスチック材料を素材とすることを特徴とする請求項42に記載の光学素子。
- 前記光学素子は,ガラス材料を素材とすることを特徴とする請求項42に記載の光学素子。
- 前記光学素子は,レンズであることを特徴とする請求項42〜44のいずれかに記載の光学素子。
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