JPH07277747A - 光学素子のプレス成形用型及びその作製方法並びに光学素子のプレス成形方法 - Google Patents
光学素子のプレス成形用型及びその作製方法並びに光学素子のプレス成形方法Info
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- JPH07277747A JPH07277747A JP6496994A JP6496994A JPH07277747A JP H07277747 A JPH07277747 A JP H07277747A JP 6496994 A JP6496994 A JP 6496994A JP 6496994 A JP6496994 A JP 6496994A JP H07277747 A JPH07277747 A JP H07277747A
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- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
- C03B11/084—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor
- C03B11/086—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor of coated dies
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B2215/00—Press-moulding glass
- C03B2215/02—Press-mould materials
- C03B2215/08—Coated press-mould dies
- C03B2215/10—Die base materials
- C03B2215/12—Ceramics or cermets, e.g. cemented WC, Al2O3 or TiC
-
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- Organic Chemistry (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素
子を、繰り返しプレス成形することが可能なプレス成形
用型を提供することを目的とする。 【構成】 高強度な母材13の上面に、切削加工層とし
て、耐熱性、切削加工性に優れたCu−Mo合金の加工
層12を形成し、該加工層を所望の形状に精密加工した
後、Pt−Ir合金の保護層11をコーティングする。 【効果】 本発明によれば、多種多様な形状の高融点光
学ガラス素子に対して、光学ガラスを繰り返しプレス成
形でき、従来のプレス成形では得られない形状の高融点
光学ガラス素子を安価に、かつ大量に製造できる。
子を、繰り返しプレス成形することが可能なプレス成形
用型を提供することを目的とする。 【構成】 高強度な母材13の上面に、切削加工層とし
て、耐熱性、切削加工性に優れたCu−Mo合金の加工
層12を形成し、該加工層を所望の形状に精密加工した
後、Pt−Ir合金の保護層11をコーティングする。 【効果】 本発明によれば、多種多様な形状の高融点光
学ガラス素子に対して、光学ガラスを繰り返しプレス成
形でき、従来のプレス成形では得られない形状の高融点
光学ガラス素子を安価に、かつ大量に製造できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光学素子の製造に関し、
より詳細には、高精度な光学素子をプレス成形する成形
方法、プレス成形する際に用いる光学素子のプレス成形
用型及びその作製方法に関するものである。
より詳細には、高精度な光学素子をプレス成形する成形
方法、プレス成形する際に用いる光学素子のプレス成形
用型及びその作製方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】高精度な光学ガラス素子を、一組の成形
型を用いて、プレス成形により繰り返し成形を可能とす
るためには、成形型の材料としては、高温でも安定で、
耐酸化性に優れ、ガラスに対して不活性であり、プレス
した時に形状精度が崩れないような機械的強度の優れた
ものが必要であるが、その反面、加工性に優れ、精密加
工が容易にできなくてはいけない。
型を用いて、プレス成形により繰り返し成形を可能とす
るためには、成形型の材料としては、高温でも安定で、
耐酸化性に優れ、ガラスに対して不活性であり、プレス
した時に形状精度が崩れないような機械的強度の優れた
ものが必要であるが、その反面、加工性に優れ、精密加
工が容易にできなくてはいけない。
【0003】以上のような光学ガラス素子のプレス成形
用型に要求される条件を、ある程度満足する型材料とし
て、チタンカーバイド(TiC)及び金属の混合材料
(特開昭59−121126号公報)や超硬合金母材上
に貴金属薄膜を形成したもの(特開昭62−96331
号公報)などが検討されている。
用型に要求される条件を、ある程度満足する型材料とし
て、チタンカーバイド(TiC)及び金属の混合材料
(特開昭59−121126号公報)や超硬合金母材上
に貴金属薄膜を形成したもの(特開昭62−96331
号公報)などが検討されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
型材料では、上記の条件を全て満足するものは得られて
いない。
型材料では、上記の条件を全て満足するものは得られて
いない。
【0005】例えばTiC及び金属の混合材料を用いた
型材料では、材料の硬度が非常に硬く機械的強度は優れ
ているものの、加工性に劣り、高精度な型形状に加工す
ることが困難である。さらには、光学ガラス素子の構成
成分である鉛(Pb)やアルカリ元素と反応しやすいと
いう欠点を有している。
型材料では、材料の硬度が非常に硬く機械的強度は優れ
ているものの、加工性に劣り、高精度な型形状に加工す
ることが困難である。さらには、光学ガラス素子の構成
成分である鉛(Pb)やアルカリ元素と反応しやすいと
いう欠点を有している。
【0006】また、超硬合金母材上に貴金属薄膜を形成
した型では、超硬合金をダイヤモンド砥石を用いて加工
を行うと、ダイヤモンド砥石の摩耗が激しく、精密な形
状加工が困難であり、特別な加工装置が必要である。ま
た、加工時間も長く、金型コストが非常に高いという問
題があった。
した型では、超硬合金をダイヤモンド砥石を用いて加工
を行うと、ダイヤモンド砥石の摩耗が激しく、精密な形
状加工が困難であり、特別な加工装置が必要である。ま
た、加工時間も長く、金型コストが非常に高いという問
題があった。
【0007】これらの改善策として、超硬合金母材上に
母材と密着性が良好な薄膜を形成し、さらに該薄膜上に
容易に精密加工できる膜として例えば無電解Ni−Pめ
っき膜を形成し、この膜に対して必要な精密加工を施し
てレンズ転写面を形成し、このの転写面上に保護膜とし
ての合金薄膜を形成する方法(特開平3−23230号
公報)が検討されている。
母材と密着性が良好な薄膜を形成し、さらに該薄膜上に
容易に精密加工できる膜として例えば無電解Ni−Pめ
っき膜を形成し、この膜に対して必要な精密加工を施し
てレンズ転写面を形成し、このの転写面上に保護膜とし
ての合金薄膜を形成する方法(特開平3−23230号
公報)が検討されている。
【0008】しかしながらこの方法では、無電解Ni−
Pめっき膜の耐熱性が低く、高融点ガラスをプレス成形
することができないといった問題があった。
Pめっき膜の耐熱性が低く、高融点ガラスをプレス成形
することができないといった問題があった。
【0009】以上のように、従来の型材料では前述の型
材料としての必要条件を全て満足するには至っていな
い。
材料としての必要条件を全て満足するには至っていな
い。
【0010】本発明はこのような従来の課題を解消し、
従来の研削加工では実現できなかった多種多様の形状を
持った高融点光学ガラス素子を、繰り返しプレス成形す
ることが可能なプレス成形用型を提供することを目的と
する。
従来の研削加工では実現できなかった多種多様の形状を
持った高融点光学ガラス素子を、繰り返しプレス成形す
ることが可能なプレス成形用型を提供することを目的と
する。
【0011】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明ではWCを主成分とする超硬合金、TiCあ
るいはTiNを主成分とするサーメット、またはWC焼
結体からなる母材上に切削加工層として、含有率が20
〜80at%のCuと残りがNi、Co、Fe、Si、
Ti、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Hf、T
a、W、Re、Os、Irから選ばれる金属との合金薄
膜を形成し、該加工層を切削加工により所望の形状に精
密加工した後、該薄膜上に保護層としてPt、Pd、I
r、Rh、Os、Ru、Re、W、Taから選ばれる少
なくとも1種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を形
成して構成される金型を作製することによって、多種多
様な形状を持った高融点光学ガラス素子のプレス成形用
型を提供し、この型を用いて高融点光学ガラスを繰り返
しプレス成形することによって、従来プレス成形できな
かった多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素子を
安価に、かつ大量に製造することを可能にしたものであ
る。
に、本発明ではWCを主成分とする超硬合金、TiCあ
るいはTiNを主成分とするサーメット、またはWC焼
結体からなる母材上に切削加工層として、含有率が20
〜80at%のCuと残りがNi、Co、Fe、Si、
Ti、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Hf、T
a、W、Re、Os、Irから選ばれる金属との合金薄
膜を形成し、該加工層を切削加工により所望の形状に精
密加工した後、該薄膜上に保護層としてPt、Pd、I
r、Rh、Os、Ru、Re、W、Taから選ばれる少
なくとも1種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を形
成して構成される金型を作製することによって、多種多
様な形状を持った高融点光学ガラス素子のプレス成形用
型を提供し、この型を用いて高融点光学ガラスを繰り返
しプレス成形することによって、従来プレス成形できな
かった多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素子を
安価に、かつ大量に製造することを可能にしたものであ
る。
【0012】
【作用】本発明では、型母材にWCを主成分とする超硬
合金、TiCあるいはTiNを主成分とするサーメッ
ト、またはWC焼結体を用いることにより、プレス成形
に充分耐える強度を持たせ、切削加工層に含有率が20
〜80at%のCuと残りがNi、Co、Fe、Si、
Ti、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Hf、T
a、W、Re、Os、Irから選ばれる金属との合金薄
膜を用いることによって、耐熱性に優れ、容易に所望の
形状に精密切削加工することを可能とした。
合金、TiCあるいはTiNを主成分とするサーメッ
ト、またはWC焼結体を用いることにより、プレス成形
に充分耐える強度を持たせ、切削加工層に含有率が20
〜80at%のCuと残りがNi、Co、Fe、Si、
Ti、Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Hf、T
a、W、Re、Os、Irから選ばれる金属との合金薄
膜を用いることによって、耐熱性に優れ、容易に所望の
形状に精密切削加工することを可能とした。
【0013】さらに、保護層としてPt、Pd、Ir、
Rh、Os、Ru、Re、W、Taから選ばれる少なく
とも1種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いる
ことによって、ガラスとの融着を防止したものである。
Rh、Os、Ru、Re、W、Taから選ばれる少なく
とも1種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いる
ことによって、ガラスとの融着を防止したものである。
【0014】従って、本発明の型は、前記した型材料と
して要求される必要条件を全て満足したものとなる。こ
のようにして作製した本発明の型を用いて、ガラスをプ
レス成形すると、従来の研削加工では実現できなかった
多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素子を大量に
製造することが可能となる。
して要求される必要条件を全て満足したものとなる。こ
のようにして作製した本発明の型を用いて、ガラスをプ
レス成形すると、従来の研削加工では実現できなかった
多種多様な形状を持った高融点光学ガラス素子を大量に
製造することが可能となる。
【0015】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【0016】図1は、同実施例の成形金型の構成を示す
断面図である。成形型13は、直径6mm、厚さ10m
mのWCを主成分とする超硬合金を加工して製作したも
のであり、その先端部には、曲率半径が1mmの凹形状
のプレス面が高精度に形成されている。
断面図である。成形型13は、直径6mm、厚さ10m
mのWCを主成分とする超硬合金を加工して製作したも
のであり、その先端部には、曲率半径が1mmの凹形状
のプレス面が高精度に形成されている。
【0017】この転写面は、以下の様にして形成され
る。まず、超硬合金の先端部を、曲率半径が1mmの凹
形状に放電加工により荒加工する。
る。まず、超硬合金の先端部を、曲率半径が1mmの凹
形状に放電加工により荒加工する。
【0018】次に、このプレス面上に切削加工層として
Cu−Mo合金薄膜12をスパッタ法により15μmの
厚みで形成する。Cu−Mo合金薄膜のスパッタ方法と
しては、まず、10mm×10mmのCuチップを直径
6インチのMoディスクターゲット上に72枚並べてC
u−Moのターゲットとし、スパッタした。
Cu−Mo合金薄膜12をスパッタ法により15μmの
厚みで形成する。Cu−Mo合金薄膜のスパッタ方法と
しては、まず、10mm×10mmのCuチップを直径
6インチのMoディスクターゲット上に72枚並べてC
u−Moのターゲットとし、スパッタした。
【0019】次にこのCu−Mo合金薄膜12をダイヤ
モンドバイトによる切削加工により、所望の精度の転写
面に仕上げ加工を行う。このようにCu−Mo合金薄膜
12を切削加工することによって、研削加工では従来作
製が困難であった曲率半径1mmの凹面形状の金型を、
容易に得ることができるようになった。
モンドバイトによる切削加工により、所望の精度の転写
面に仕上げ加工を行う。このようにCu−Mo合金薄膜
12を切削加工することによって、研削加工では従来作
製が困難であった曲率半径1mmの凹面形状の金型を、
容易に得ることができるようになった。
【0020】次に、このCu−Mo合金薄膜上に、スパ
ッタ法により3μmの厚みで保護層としてのPt−Ir
合金薄膜11をコーティングしてプレス成形用型を作製
した。
ッタ法により3μmの厚みで保護層としてのPt−Ir
合金薄膜11をコーティングしてプレス成形用型を作製
した。
【0021】この様にして製造された成形型を用いて光
学素子をプレス成形するには、次の様に行う。
学素子をプレス成形するには、次の様に行う。
【0022】図2に示すように、上記の様にして製造さ
れた一対の成形型23、25をプレス成形機にセットす
る。図2において21は上型ヒーターブロック、22は
上型用加熱ヒーター、23は上型、24はガラス素材、
25は下型、26は下型用加熱ヒーター、27は下型ヒ
ーターブロック、28は覆い、29は胴型、210はプ
ランジャー、211は位置決め用センサー、212はス
トッパーである。
れた一対の成形型23、25をプレス成形機にセットす
る。図2において21は上型ヒーターブロック、22は
上型用加熱ヒーター、23は上型、24はガラス素材、
25は下型、26は下型用加熱ヒーター、27は下型ヒ
ーターブロック、28は覆い、29は胴型、210はプ
ランジャー、211は位置決め用センサー、212はス
トッパーである。
【0023】そして、半径1mmの球状に加工した軟化
点613℃の重クラウン系ガラス(SK−12)24を
下型25の上に置き、その上に上型23を置いて、その
まま650℃まで昇温し、窒素雰囲気中で約40kg/
cm2のプレス圧により2分間圧力を保持し、その後、
そのままの状態で550℃まで冷却して、成形された光
学ガラス素子を取り出して、光学ガラス素子のプレス成
形の工程を完了する。
点613℃の重クラウン系ガラス(SK−12)24を
下型25の上に置き、その上に上型23を置いて、その
まま650℃まで昇温し、窒素雰囲気中で約40kg/
cm2のプレス圧により2分間圧力を保持し、その後、
そのままの状態で550℃まで冷却して、成形された光
学ガラス素子を取り出して、光学ガラス素子のプレス成
形の工程を完了する。
【0024】以上の工程により、成形金型23、25の
転写面が正確に転写された凸レンズがプレス成形により
得られる。
転写面が正確に転写された凸レンズがプレス成形により
得られる。
【0025】さて、以上の工程を繰り返して10000
回目のプレス終了時に、つまり10000個の凸レンズ
を成形した後に、上下の型23及び25をプレス成形機
より取りはずして、プレス面の状態を光学顕微鏡で観察
し、その時の成形型のプレス面の表面粗さ(RMS値、
Å)を測定して、それぞれの型精度を評価した。これら
の結果を(表1)、(表2)に示した。なお、本来、
(表1)、(表2)は一つの表で表すべきであるが、紙
面の大きさの都合上、2つに分けて表示した。
回目のプレス終了時に、つまり10000個の凸レンズ
を成形した後に、上下の型23及び25をプレス成形機
より取りはずして、プレス面の状態を光学顕微鏡で観察
し、その時の成形型のプレス面の表面粗さ(RMS値、
Å)を測定して、それぞれの型精度を評価した。これら
の結果を(表1)、(表2)に示した。なお、本来、
(表1)、(表2)は一つの表で表すべきであるが、紙
面の大きさの都合上、2つに分けて表示した。
【0026】
【表1】
【0027】
【表2】
【0028】さらに本実施例に対する比較実験として、
従来使用されていたSiC焼結体及び、超硬合金母材上
にPt薄膜をコーティングした型で同様な形状の型の作
製を試みたが、ダイヤモンドバイトが摩耗やチッピング
を起こし加工できなかった。
従来使用されていたSiC焼結体及び、超硬合金母材上
にPt薄膜をコーティングした型で同様な形状の型の作
製を試みたが、ダイヤモンドバイトが摩耗やチッピング
を起こし加工できなかった。
【0029】また超硬合金母材上に切削加工層として無
電解めっき法によってNi−P膜を形成し、保護膜とし
てPt−Ir合金薄膜をコーティングした型について
は、同様な形状の成形型を作製できたので、この成形型
を図2に示したプレス成形機にセットし、上述のプレス
成形の工程を繰り返し行い、同様の型精度の評価を行っ
た。この結果を(表3)に示した。
電解めっき法によってNi−P膜を形成し、保護膜とし
てPt−Ir合金薄膜をコーティングした型について
は、同様な形状の成形型を作製できたので、この成形型
を図2に示したプレス成形機にセットし、上述のプレス
成形の工程を繰り返し行い、同様の型精度の評価を行っ
た。この結果を(表3)に示した。
【0030】
【表3】
【0031】(表3)における試料No.1のように、
切削加工層に無電解Ni−Pめっき膜を成膜し、Pt−
Ir合金薄膜でコーティングした型は、ガラス付着は起
こらないが、100回のプレス成形によってめっき膜の
亀裂が進行し、その亀裂がレンズに転写しそれ以上プレ
ス成形することはできなかった。
切削加工層に無電解Ni−Pめっき膜を成膜し、Pt−
Ir合金薄膜でコーティングした型は、ガラス付着は起
こらないが、100回のプレス成形によってめっき膜の
亀裂が進行し、その亀裂がレンズに転写しそれ以上プレ
ス成形することはできなかった。
【0032】これは切削層のNi−Pの耐熱性が悪いた
めに、高融点ガラスのプレス成形時の熱サイクルに、N
i−Pが耐えきれなくなるためである。
めに、高融点ガラスのプレス成形時の熱サイクルに、N
i−Pが耐えきれなくなるためである。
【0033】一方、(表1)、(表2)における試料N
o.2〜No.49の本実施例の成形型は、繰り返し1
0000回プレスした時でも、表面状態はほとんど変化
せず、表面粗さはほとんどプレス前と変化がなく、SK
−12のような高融点ガラスを繰り返しプレス成形でき
ることがわかる。
o.2〜No.49の本実施例の成形型は、繰り返し1
0000回プレスした時でも、表面状態はほとんど変化
せず、表面粗さはほとんどプレス前と変化がなく、SK
−12のような高融点ガラスを繰り返しプレス成形でき
ることがわかる。
【0034】すなわち、本発明の方法で得られたプレス
成形用型を用いてガラスをプレス成形することによっ
て、研削加工では困難な形状の高融点光学ガラス素子を
大量にプレス成形することが可能となった。
成形用型を用いてガラスをプレス成形することによっ
て、研削加工では困難な形状の高融点光学ガラス素子を
大量にプレス成形することが可能となった。
【0035】以上のように、本発明の型は前述した高精
度な光学ガラス素子を直接プレス成形するための必要条
件を全て満たし、これまで成形で作製できなかった形状
の高融点光学ガラス素子を、大量にプレス成形すること
が可能となった。
度な光学ガラス素子を直接プレス成形するための必要条
件を全て満たし、これまで成形で作製できなかった形状
の高融点光学ガラス素子を、大量にプレス成形すること
が可能となった。
【0036】なお、本発明を説明するために、実施例に
おいてプレス成形用型の母材として、WCを主成分とす
る超硬合金を用いたが、TiNあるいはTiCを主成分
とするサーメットあるいはWC焼結体を母材に用いても
まったく同様の結果が得られた。
おいてプレス成形用型の母材として、WCを主成分とす
る超硬合金を用いたが、TiNあるいはTiCを主成分
とするサーメットあるいはWC焼結体を母材に用いても
まったく同様の結果が得られた。
【0037】また保護膜については、実施例においてP
t−Irを用いたがその他のPt、Pd、Ir、Rh、
Os、Ru、Re、W、Taから選ばれる少なくとも1
種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いてもまっ
たく同様の結果が得られた。
t−Irを用いたがその他のPt、Pd、Ir、Rh、
Os、Ru、Re、W、Taから選ばれる少なくとも1
種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を用いてもまっ
たく同様の結果が得られた。
【0038】さらに、本実施例では曲率半径1mmの凹
面形状の金型の作製について述べたが、従来研削では加
工が困難な形状、例えば軸非対称レンズやマイクロプリ
ズムアレイなどの金型も加工できるようになることは言
うまでもない。
面形状の金型の作製について述べたが、従来研削では加
工が困難な形状、例えば軸非対称レンズやマイクロプリ
ズムアレイなどの金型も加工できるようになることは言
うまでもない。
【0039】更に、本願発明は、無機ガラスは勿論のこ
と、有機ガラスについても良好な成形を行うことができ
る。
と、有機ガラスについても良好な成形を行うことができ
る。
【0040】
【発明の効果】以上のように、本発明は光学ガラス素子
のプレス成形用型を作製するにあたり、母材として超硬
合金、サーメット及びWC焼結体を用い、該母材上に切
削加工層として、含有率が20〜80at%のCuと残
りがNi、Co、Fe、Si、Ti、Zr、Nb、M
o、Ru、Rh、Pd、Hf、Ta、W、Re、Os、
Irから選ばれる金属との合金薄膜を形成し、該加工層
を切削加工により所望の形状に精密加工した後、該薄膜
上に保護層としてPt、Pd、Ir、Rh、Os、R
u、Re、W、Taから選ばれる少なくとも1種類以上
の金属を含む貴金属系合金薄膜を形成することにより、
ガラス成形用型材料に要求される必要条件をすべて満た
し、多種多様な形状の高融点光学ガラス素子のプレス成
形用型を提供したものであり、この型を用いて光学ガラ
スを繰り返しプレス成形することによって、従来プレス
成形では得られなかった形状の高融点光学ガラス素子を
安価に、かつ、大量に製造することが可能となった。
のプレス成形用型を作製するにあたり、母材として超硬
合金、サーメット及びWC焼結体を用い、該母材上に切
削加工層として、含有率が20〜80at%のCuと残
りがNi、Co、Fe、Si、Ti、Zr、Nb、M
o、Ru、Rh、Pd、Hf、Ta、W、Re、Os、
Irから選ばれる金属との合金薄膜を形成し、該加工層
を切削加工により所望の形状に精密加工した後、該薄膜
上に保護層としてPt、Pd、Ir、Rh、Os、R
u、Re、W、Taから選ばれる少なくとも1種類以上
の金属を含む貴金属系合金薄膜を形成することにより、
ガラス成形用型材料に要求される必要条件をすべて満た
し、多種多様な形状の高融点光学ガラス素子のプレス成
形用型を提供したものであり、この型を用いて光学ガラ
スを繰り返しプレス成形することによって、従来プレス
成形では得られなかった形状の高融点光学ガラス素子を
安価に、かつ、大量に製造することが可能となった。
【図1】本発明の一実施例のプレス成形用型の構成を示
す断面図
す断面図
【図2】同実施例成形型を用いたプレス成形機の概略図
11 Pt−Ir合金保護膜 12 Cu−Mo合金切削膜 13 成形型 21 上型ヒーターブロック 22 上型用加熱ヒーター 23 上型 24 ガラス素材 25 下型 26 下型用加熱ヒーター 27 下型ヒーターブロック 28 覆い 29 胴型 210 プランジャー 211 位置決め用センサー 212 ストッパー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 井上 健二 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 森本 暁 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (5)
- 【請求項1】硬質母材の一部に光学素材をプレス成形す
るための転写面を有する光学素子のプレス成形用型であ
って、 前記転写面は、前記硬質母材上に形成された、Cuを主
成分とする所望の形状と精度で加工された加工層と、 前記加工層の上に形成された、前記加工層の保護層を具
備することを特徴とする光学素子のプレス成形用型。 - 【請求項2】硬質母材は、タングステンカーバイド(W
C)を主成分とする超硬合金、チタンカーバイド(Ti
C)あるいはチタンナイトライド(TiN)を主成分と
するサーメット、またはWC焼結体であり、 保護層は、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジ
ウム(Ir)、ロジウム(Rh)、オスミウム(O
s)、ルテニウム(Ru)、レニウム(Re)、タング
ステン(W)、タンタル(Ta)から選ばれる少なくと
も1種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜であること
を特徴とする請求項1記載のプレス成形用型。 - 【請求項3】Cuを主成分とする合金薄膜として含有率
が20〜80at%のCuと残りがニッケル(Ni)、
コバルト(Co)、鉄(Fe)、シリコン(Si)、チ
タン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、ニオブ(N
b)、モリブデン(Mo)、ルテニウム(Ru)、ロジ
ウム(Rh)、パラジウム(Pd)、ハフニウム(H
f)、タンタル(Ta)、タングステン(W)、レニウ
ム(Re)、オスミウム(Os)、イリジウム(Ir)
から選ばれる金属との合金薄膜を用いることを特徴とす
る請求項1または2記載のプレス成形用型。 - 【請求項4】母材のタングステンカーバイド(WC)を
主成分とする超硬合金、チタンカーバイド(TiC)あ
るいはチタンナイトライド(TiN)を主成分とするサ
ーメット、またはWC焼結体上に、含有率が20〜80
at%のCuと残りがNi、Co、Fe、Si、Ti、
Zr、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、Hf、Ta、
W、Re、Os、Irから選ばれる金属との合金薄膜を
形成し、該薄膜を切削加工により所望の形状に精密加工
した後、該薄膜上に保護層としてPt、Pd、Ir、R
h、Os、Ru、Re、W、Taから選ばれる少なくと
も1種類以上の金属を含む貴金属系合金薄膜を形成して
作製することを特徴とする光学素子のプレス成形用型の
作製方法。 - 【請求項5】軟化点が600℃以上の融点を有するガラ
スをプレス成形するにあたり、請求項1〜3の何れかに
記載のプレス成形用型を用いてプレス成形を行うことを
特徴とする光学素子のプレス成形方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6496994A JPH07277747A (ja) | 1994-04-01 | 1994-04-01 | 光学素子のプレス成形用型及びその作製方法並びに光学素子のプレス成形方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6496994A JPH07277747A (ja) | 1994-04-01 | 1994-04-01 | 光学素子のプレス成形用型及びその作製方法並びに光学素子のプレス成形方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07277747A true JPH07277747A (ja) | 1995-10-24 |
Family
ID=13273392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6496994A Pending JPH07277747A (ja) | 1994-04-01 | 1994-04-01 | 光学素子のプレス成形用型及びその作製方法並びに光学素子のプレス成形方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07277747A (ja) |
-
1994
- 1994-04-01 JP JP6496994A patent/JPH07277747A/ja active Pending
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