JP4567893B2 - 光学素子の製造方法および光学素子成形用成形型の製造方法 - Google Patents

光学素子の製造方法および光学素子成形用成形型の製造方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学素子の製造方法、および光学素子成形用成形型の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
高精度な光学素子を安価に製造する有効な方法としてプレス成形法が提案されている。
【0003】
加熱軟化したガラスからなる成形用素材を光学素子の反転形状を有する金型を用いてプレス成形すると、成形用素材が金型と離型しにくいという問題がある。
このため、金型表面に特殊な離型膜を形成したり、成形ショットごとに離型剤を塗布して、離型を容易にする工夫がなされている。特に、成形用素材がガラスである場合には、かなり特殊なコーティングを金型表面に施さなければならない。
【0004】
たとえば、プレス面上に貴金属系保護膜を形成した超硬合金またはサーメットからなる金型が報告されている(特公昭62−28091号公報参照)。この金型を用いることによって、光学素子のプレス成形による量産が可能となっている。また、窒化ホウ素、窒化クロム、炭化クロム、酸化クロム、炭化珪素、炭素、白金、または超硬合金からなる金型本体のプレス面に、膜厚が10nm以下の炭素膜を形成して、ガラスとの離型性を良くした金型も報告されている(特開平06−305742号公報参照)。また、プレス面形状が光学素子と同一形状に精密加工されたマスター型を用いてガラス材料をプレス成形することによって形成されるガラスからなる金型も報告されている(特開昭64−33022号公報、特開平1−239030号公報参照)。これらの金型で光学素子をプレス成形することによって、より安価に光学素子を製造することができる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、プレス面に離型膜を形成する上記従来の方法では、成形を繰り返し行うと離型性が悪くなり、最終的にはプレス面にガラスが付着して金型が使用不能となる。従って、金型が使用不能となる前に、離型膜を再度形成する必要があり、金型の管理が非常に難しいという課題があった。
【0006】
また、貴金属系保護膜でプレス面をコーティングする上記従来の方法では、金型本体の耐久性はあるが、成形を繰り返し行うと金型の表面にガラスが付着するため、金型表面のメンテナンスが必要となるという課題があった。
【0007】
また、プレス面に炭素膜を形成する上記従来の方法では、成形用素材から発生する酸素や成形雰囲気中の酸素によって炭素膜が酸化され、最終的には炭素膜が消失してプレス面にガラスが付着するという課題があった。
【0008】
また、ガラス材料をプレス成形してガラスからなる光学素子成形用金型を製造する上記従来の方法では、マスター金型を繰り返し使用すると、マスター金型にガラスが付着してプレス成形ができなくなるという課題があった。
【0009】
上記問題を解決するため、本発明は、繰り返しプレス成形することが従来の方法に比べて容易な光学素子の製造方法、および光学素子成形用成形型の製造方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明の光学素子の製造方法は、加熱した光学素子用素材を成形型(プレス成形を行うための型)によってプレス成形する工程を含む光学素子の製造方法であって、炭素原子を含む分子およびフッ素原子を含む分子から選ばれる少なくとも1つの分子と不活性ガスとを含む雰囲気中で前記プレス成形を行うことを特徴とする。上記光学素子の製造方法によれば、光学素子用素材が成形型に付着することを防止できるため、従来の方法に比べて容易に、プレス成形を繰り返し行うことができる。
【0011】
上記光学素子の製造方法では、前記光学素子用素材がガラスからなるものでもよい。
【0012】
上記光学素子の製造方法では、前記雰囲気は、前記少なくとも1つの分子を気体または霧状の液体の形態で含んでもよい。上記構成によれば、上記少なくとも1つの分子を均一に光学素子用素材および成形型に吸着させることができる。
【0013】
上記光学素子の製造方法では、前記雰囲気が、CO2、CF4、およびエチレングリコールから選ばれる少なくとも1つを含んでもよい。上記構成によれば、光学素子用素材が成形型に付着することを特に防止できる。
【0014】
上記光学素子の製造方法では、前記不活性ガスが窒素ガスおよびアルゴンから選ばれる少なくとも1つであってもよい。上記構成によれば、光学素子用素材が成形型に付着することを特に防止できる。
【0015】
また、本発明の光学素子成形用成形型の製造方法は、光学素子用素材をプレス成形して光学素子を形成するための光学素子成形用成形型の製造方法であって、加熱したガラスを金型(広義の意味での金型であり、金属製に限らない)を用いてプレス成形することによって、プレス面を備える成形型の成形を行う成形工程を含み、炭素原子を含む分子およびフッ素原子を含む分子から選ばれる少なくとも1つの分子と不活性ガスとを含む雰囲気中で前記成形工程を行うことを特徴とする。上記製造方法では、ガラスが金型に付着することを防止できるため、従来の方法に比べて容易に、プレス成形を繰り返し行うことができる。
【0016】
上記光学素子成形用成形型の製造方法では、前記雰囲気は、前記少なくとも1つの分子を気体または霧状の液体の形態で含んでもよい。
【0017】
上記光学素子成形用成形型の製造方法では、前記雰囲気が、CO2、CF4、およびエチレングリコールから選ばれる少なくとも1つを含んでもよい。
【0018】
上記光学素子成形用成形型の製造方法では、前記不活性ガスが窒素ガスおよびアルゴンから選ばれる少なくとも1つであってもよい。
【0019】
上記光学素子成形用成形型の製造方法では、前記成形工程ののち、前記プレス面上に、前記光学素子用素材に対して不活性な保護膜を形成する工程をさらに含んでもよい。上記構成によれば、耐久性が高い光学素子成形用成形型を製造できる。
【0020】
上記光学素子成形用成形型の製造方法では、前記成形工程は、プレス成形した前記ガラスをさらに結晶化させる工程を含んでもよい。上記構成によれば、耐熱性および強度の高い光学素子成形用成形型を製造できる。さらに、結晶化後、前記プレス面に前記光学素子用素材に対して不活性な保護膜を形成する工程を含んでもよい。上記構成によれば、耐熱性、強度および耐久性の高い光学素子成形用成形型を製造できる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【0022】
(実施形態1)
実施形態1では、本発明の光学素子の製造方法について説明する。
【0023】
実施形態1の製造方法は、加熱した光学素子用素材を成形型によってプレス成形する工程を含む光学素子の製造方法であって、炭素原子を含む分子およびフッ素原子を含む分子から選ばれる少なくとも1つの分子と不活性ガスとを含む雰囲気中でプレス成形を行うことを特徴とする。プレス成形は、炭素原子を含む分子およびフッ素原子を含む分子から選ばれる少なくとも1つの分子と不活性ガスとからなる雰囲気中で行うことが好ましい。
【0024】
上記光学素子用素材としては、ケイ酸塩系ガラス、リン酸系ガラス、フッ化物系ガラスなどを用いることができる。
【0025】
上記成形型には、光学素子の成形に一般的に用いられる成形型を用いることができ、たとえば、機械加工で形成した金型や、実施形態2の製造方法で製造される成形型を用いることができる。
【0026】
炭素原子を含む上記分子としては、たとえば、CO2、CF4(テトラフルオロメタン)、エチレングリコール、C25OH(エタノール)などを用いることができる。
【0027】
フッ素原子を含む上記分子としては、たとえば、CF4やCHF3などを用いることができる。
【0028】
上記不活性ガスとしては、たとえば、N2(窒素ガス)およびアルゴン(Ar)から選ばれる少なくとも1つを用いることができる。
【0029】
プレス成形の雰囲気は、上記少なくとも1つの分子を、気体または霧状の液体の形態で含む。また、プレス成形の雰囲気は、CO2、CF4、およびエチレングリコールから選ばれる少なくとも1つを含むことが好ましい。
【0030】
実施形態1の製造方法では、成形型にガラスが付着することを防止できるため、従来の方法に比べて、プレス成形を繰り返し行うことが容易である。実施形態1の製造方法で金型にガラスが付着することを防止できる理由は明確ではないが、雰囲気中に存在する炭素原子またはフッ素原子が金型および光学素子用素材の表面に吸着して両者の濡れ性を悪くしているためであると考えられる。
【0031】
(実施形態2)
実施形態2では、本発明の光学素子成形用成形型の製造方法について説明する。
【0032】
実施形態2の製造方法は、光学素子用素材をプレス成形して光学素子を形成するための光学素子成形用成形型の製造方法であって、加熱したガラスを金型を用いてプレス成形することによって、プレス面を備える成形型の成形を行う成形工程を含み、炭素原子を含む分子およびフッ素原子を含む分子から選ばれる少なくとも1つの分子と不活性ガスとを含む雰囲気中で成形工程を行うことを特徴とする。成形工程は、炭素原子を含む分子およびフッ素原子を含む分子から選ばれる少なくとも1つの分子と不活性ガスとからなる雰囲気中で行うことが好ましい。
【0033】
炭素原子を含む上記分子、フッ素原子を含む上記分子、および上記不活性ガスには、実施形態1で説明したものを用いることができる。また、プレス成形の雰囲気は、上記少なくとも1つの分子を、気体または霧状の液体の形態で含む。また、プレス成形の雰囲気は、CO2、CF4、およびエチレングリコールから選ばれる少なくとも1つを含むことが好ましい。
【0034】
また、上記金型には、ガラスのプレス成形に一般的に用いられている金型を使用できる。
【0035】
また、成形型本体の材料となるガラスには、成形型の材料として一般的に用いられているガラスを用いることができる。たとえば、高ケイ酸ガラスやホウケイ酸ガラスを用いることができる。このガラスは、そのガラス転移点(Tg)が、光学素子をプレス成形する際の成形温度よりも高いことが好ましい。
【0036】
実施形態2の製造方法は、上記成形工程ののち、プレス成形したガラス(成形型本体)のプレス面上に、光学素子用素材に対して不活性な保護膜を形成する工程をさらに含んでもよい。保護膜は、耐酸化性および高温強度に優れた材料からなることが好ましい。光学素子用素材がガラスからなる場合には、保護膜は、白金(Pt)、パラジウム(Pd)、イリジウム(Ir)、ロジウム(Rh)、オスミウム(Os)、ルテニウム(Ru)、レニウム(Re)、タングステン(W)、およびタンタル(Ta)から選ばれる少なくとも1つを含む金属(単体金属または合金)からなることが好ましい。
【0037】
また、実施形態2の製造方法では、結晶核形成剤を含むガラスを用いた上記成形工程が、プレス成形したガラスをさらに結晶化させる工程を含んでもよい。具体的には、結晶化前のガラス(以下、マザーガラスという場合がある)をプレス成形したのち、マザーガラスが結晶化する条件で熱処理を行えばよい。たとえば、マザーガラスを所定の温度でプレス成形し、そのままの状態で温度を上昇させて一定時間保持することによって結晶化を行ってもよい。
【0038】
実施形態2の製造方法によれば、実施形態1の製造方法と同様に、従来の方法に比べて、プレス成形を繰り返し行うことが容易である。
【0039】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
【0040】
(実施例1)
実施例1では、実施形態1で説明した光学素子の製造方法について説明する。
【0041】
まず、光学素子をプレス成形するための光学素子成形用成形型を作製した。具体的には、図1(a)〜(c)に示す光学素子成形用成形型10a、10bおよび10c(以下、それぞれ成形型10a、10bおよび10cという場合がある)を作製した。
【0042】
成形型10aは、超硬合金からなるパンチ部11(直径6mm、高さ7mm)および基底部12(直径16mm、厚さ3mm)を備え、パンチ部11には光学素子用素材をプレス成形するためのプレス面13を形成した。プレス面13は、超硬合金からなる母材を高精密研削加工法によって研削して形成した。実施例1では、プレス面の形状が異なる成形型10a(図1(a)参照)を2個(1組)作製した。具体的には、プレス面13が曲率半径3.5mmの凹面形状である成形型10aと、プレス面13が曲率半径5.0mmの凹面形状である成形型10aとを形成した。光学素子の反転形状のプレス面を備えるこれら1組の成形型を用いることによって、両凸非球面レンズ(第1面の曲率半径3.5mm、第2面の曲率半径5.0mm)の光学素子を成形できる。
【0043】
次いで、成形型10aと全く同じ方法で同じ形状の金型をもう1組作製し、完成後、スパッタリング法によって、それぞれのプレス面13上にPt−Pd−Rh合金からなる保護膜14(厚さ2μm)を形成した。このようにして、プレス面の形状が異なる成形型10b(図1(b)参照)を2個(1組)作製した。
【0044】
次いで、成形型10aと全く同じ方法で同じ形状の金型をもう1組作製し、完成後、スパッタリング法によって、それぞれのプレス面13上にPt−Pd−Rh合金からなる保護膜14(厚さ2μm)を形成し、さらにその上に、表面の離型性を良くするために、スパッタリング法によって炭素膜15(厚さ1μm)を形成した。このようにして、プレス面の形状が異なる成形型10c(図1(c)参照)を2個(1組)作製した。
【0045】
このようにして作製した3組の光学素子成形用成形型を用いて両凸非球面レンズ(第1面の曲率半径3.5mm、第2面の曲率半径5.0mm)を作製できる。成形プロセスを図2示す。光学素子成形用成形型20(以下、単に成形型20という場合がある)は、下型21と上型22と胴型23とからなる。下型21および上型22には、上記3組の成形型10a〜10cのいずれか1組を用いる。
胴型23は、下型21と上型22との中心軸を合わせるためのものである。
【0046】
まず、下型21のプレス面上に光学素子用素材24を載せ、胴型23を介して、上型22をかぶせる。次に、成形型20全体を加熱して、光学素子用素材24が変形可能な温度となったところで圧力を加えて変形させ、下型21および上型22のプレス面の形状を光学素子用素材24に転写する(加熱加圧成形)。最後に、成形型20を冷却して成形された両凸非球面レンズ25を成形型20から取り出す。
【0047】
以下、上記プロセスによる非球面レンズの製造方法について、具体例を説明する。成形に用いた成形機の概略を図3に模式的に示す。
【0048】
まず、光学素子用素材をセットした成形型20を成形型投入口31より投入し、590℃に加熱した予熱ステージ33で加熱し、さらに同じく590℃に加熱したプレスステージ34に成形型20を搬送した。光学素子用素材には、クラウン系の硼珪酸ガラス(ガラス転位点:501℃、At点(屈伏点):549℃)を直径4mmの球状に加工したものを使用した。
【0049】
そして、シリンダー37に接続され上下に可動な上ヘッド36で成形型20を100Nの加圧力でプレスし、光学素子用素材のプレス成形を行った(成形工程)。このとき、上ヘッド36も590℃に加熱した。次に、300℃に設定した冷却ステージ35に成形型20を搬送して冷却したのち、取り出し口39から成形型20を外部に取り出した。そして、成形されたレンズを成形型20から取り出した。
【0050】
成形機は、チャンバ32を備える。成形工程中のチャンバ32内の雰囲気は、ガス導入口38から導入されるガスによって制御した。実施例1では、ガス導入口38から、N2、N2とCO2との混合ガス(CO2:10vol.%)、N2とCF4との混合ガス(CF4:10vol.%)、または、N2をエチレングリコール溶液の中に通過させて得られたガス(霧状のエチレングリコールを含むN2ガス)をそれぞれチャンバ32内に導入し、これら4種類のガス雰囲気下で成形工程を行った。そして、レンズを繰り返し成形したのち、成形型20(すなわち、成形型10a〜10c)の表面を観察した。
【0051】
各種ガスを導入し成形型10a〜10cを用いてレンズを成形したときの、2000ショットごとの成形型の観察結果を表1に示す。なお、表1中、N2をガス(1)、N2とCO2との混合ガス(CO2:10vol.%)をガス(2)、N2とCF4との混合ガス(CF4:10vol.%)をガス(3)、N2をエチレングリコール溶液の中に通して得られた気体をガス(4)と表示する。
【0052】
【表1】
Figure 0004567893
【0053】
表1に示したように、ガス(1)を導入して成形を行った場合、成形型10a、すなわちプレス面が超硬合金の金型では、2000ショットで成形型の表面にガラスが大量に付着し、メンテナンスを行っても成形型を再生することができず、それ以上の成形ができなくなってしまった。成形型10bでは、プレス面にPt−Pd−Rh合金からなる保護膜を形成しているので2000ショットまではガラス付着がなかったが、4000ショットを越えると少量のガラス付着が発生するようになった。このガラス付着は成形型のメンテナンスによって除去できたため、メンテナンスを繰り返して成形型の再生を行いながら、10000ショットまで成形できた。成形型10cでは、プレス面にPt−Pd−Rh合金からなる保護膜を形成し、さらにその上に炭素膜を形成しているので、4000ショットまではガラス付着が全く発生しなかった。しかしながら、6000ショットまで成形を繰り返すと、成形型10bと同様に少量のガラス付着が発生し、成形型のメンテナンスを繰り返して、10000ショットまで成形できた。6000ショットを越えるとガラス付着が発生するのは、プレス面に形成した炭素膜がガラスから発生する酸化性ガスによって酸化され、気化して消失してしまったためである。いずれにしても、ガス(1)を導入した場合は、特殊なコーティングを施した成形型10bおよび10cでも、初期的にはガラス付着は発生しないが、プレス成形を繰り返すとガラス付着が発生するようになり、成形型のメンテナンスをしなければ繰り返し成形することができなかった。
【0054】
これに対して、本発明の実施例である実施例1−1、1−2、および1−3では、いずれの成形型を用いた場合でも、10000ショット成形後もガラス付着は全く発生せず、成形型のメンテナンスは不要であった。これは、プレス成形の雰囲気中に含まれる炭素原子(C)またはフッ素原子(F)が成形型の表面およびレンズの素材であるガラス表面に吸着し、成形型とガラスとの塗れ性を悪くしているためであると考えられる。
【0055】
(実施例2)
実施例2では、実施形態2で説明した光学素子成形用成形型の製造方法について一例を説明する。
【0056】
光学素子成形用成形型を成形するために実施例2で用いたマスター金型40について、断面図を図4に示す。マスター金型40は、超硬合金からなるパンチ部41(直径6mm、高さ7mm)および基底部42(直径16mm、厚さ3mm)を備え、パンチ部41には光学素子成形用成形型をプレス成形するためのプレス面43を形成した。プレス面43上には、Ir−W合金からなる保護膜44(厚さ2μm)をスパッタリング法によって形成した。プレス面43は、超硬合金からなる母材を高精密研削加工法によって研削して形成した。実施例2では、プレス面の形状が異なるマスター金型40を2個(1組)作製した。具体的には、プレス面43が曲率半径3.5mmの凸面形状であるマスター金型40と、プレス面43が曲率半径5.0mmの凸面形状であるマスター金型40とを形成した。すなわち、光学素子の両凸非球面レンズ(第1面の曲率半径3.5mm、第2面の曲率半径5.0mm)の2つの光学面と同じ形状のプレス面を備えるマスター金型40を作製した。
【0057】
マスター金型40を用いた光学素子成形用成形型の成形プロセスを図5に示す。まず、図5(a)に示すように、鋼材からなる基台51上に、光学素子成形用成形型の材料である高融点ガラスからなる成形用素材54を載せ、胴型53を介して上型52をかぶせる。上型52には、上述した2つのマスター金型40を用いる。
【0058】
次に、成形型全体を加熱して、成形用素材54が変形可能な温度となったところで圧力を加えて変形させ、マスター金型52のプレス面の形状を成形用素材54に転写する(加熱加圧成形)。その後、成形型を冷却すると、図5(b)に示すように、成形された成形用素材54と基台51とが融着し、基台51と基台51上に固定されたパンチ部55とを備える金型本体が得られる。パンチ部55は、非球面レンズの反転形状のプレス面55aを備える。最後に、スパッタリング法によってプレス面55aにIr−W合金からなる保護膜56(厚さ2μm)を形成し、非球面レンズの成形用成形型が完成する。
【0059】
以下、上記プロセスによる非球面レンズの成形用成形型の製造方法について、具体例を説明する。図6は用いた成形機の概略図である。成形用素材には、クラウンガラス(ガラス転移点:650℃、At点:690℃)を直径4mmの円柱状に加工したものを使用した。
【0060】
具体的には、まず、成形用素材をセットした金型60を金型投入口61から投入し、740℃に加熱した予熱ステージ63で加熱し、同じく740℃に加熱したプレスステージ64に搬送した。次に、シリンダー67に接続され上下に可動な上ヘッド66で金型60を1000Nの加圧力でプレスし、成形用素材をプレス成形した。このとき、上ヘッド66も740℃に加熱した。
【0061】
プレス成形後、300℃に設定した冷却ステージ65に金型60を搬送して冷却した。そして、金型取出し口69から金型60を外部に取り出し、プレス成形された成形型本体を金型60から取り出した。その後、成形された成形型本体のプレス面に、Ir−W合金からなる保護膜を成膜し光学素子成形用成形型を得た。
【0062】
成形機はチャンバ62を備える。成形工程におけるチャンバ62内の雰囲気は、ガス導入口68から導入されるガスによって制御した。実施例2では、ガス導入口68から、N2、N2とCO2との混合ガス(CO2:10vol.%)、N2とCF4との混合ガス(CF4:10vol.%)、またはN2をエチレングリコール溶液の中に通過させて得られたガス(霧状のエチレングリコールを含むN2ガス)をそれぞれチャンバ62内に導入し、これら4種類のガス雰囲気下で成形工程を行った。そして、光学素子成形用成形型の成形後、マスター金型の表面を観察した。
【0063】
各種ガスを導入し、マスター金型を用いて光学素子成形用成形型を成形したときの、100ショットごとのマスター金型の観察結果を表2に示す。なお、表2中、N2をガス(1)、N2とCO2との混合ガス(CO2:10vol.%)をガス(2)、N2とCF4との混合ガス(CF4:10vol.%)をガス(3)、N2をエチレングリコール溶液の中に通して得られた気体をガス(4)と表示する。
【0064】
【表2】
Figure 0004567893
【0065】
表2に示したように、ガス(1)を導入して成形を行った場合、初期の100ショットまでは全くガラス付着はなかった。しかし、成形温度が740℃と非常に高温であるため、200ショット後にマスター金型表面に少量のガラス付着が発生した。そのため、マスター金型のメンテナンスを行って300ショットまで成形を繰り返したが、最終的に大量のガラスが付着してプレス成形ができなくなった。
【0066】
これに対して、本発明の実施例である、実施例2−1、2−2、2−3では、成形温度が740℃と非常に高温であるにもかかわらず、500ショットを経過してもガラス付着が全く発生せず、マスター金型のメンテナンスは不要であった。これは、プレス成形の雰囲気中に含まれる炭素原子(C)またはフッ素原子(F)がマスター金型表面および成形用素材であるガラス表面に吸着し、マスター金型とガラスとの塗れ性を悪くしているためと考えられる。このようにして製造した光学素子成形用成形型は、機械加工で母材を非球面形状に加工して製造された成形型に比べて、約1/10のコストで製造できた。
【0067】
以上のようにして製造した光学素子の成形用成形型を用いて両凸非球面レンズを、図3の成形機によって成形した。成形用素材には、クラウンガラス(ガラス転移点:501℃、At点:549℃)を用い、ガス(2)、ガス(3)、またはガス(4)を成形機に導入しながら成形を繰り返したところ、いずれのガスを使用した場合とも、10000ショット成形後もガラス付着の発生はなく、良好な両凸非球面レンズの成形ができた。
【0068】
(実施例3)
実施例3では、実施形態2で説明した光学素子成形用成形型の製造方法について、他の一例について説明する。
【0069】
光学素子成形用成形型を成形するために実施例3で使用したマスター金型70について、断面図を図7に示す。図7のマスター金型70は、実施例2で説明したマスター金型40と比較して、Ir−W合金からなる保護膜44の代わりにPt−Ir−Ru合金からなる膜74を形成した点のみが異なるため、重複する説明は省略する。実施例3では、実施例2と同様にプレス面の形状が異なる2つのマスター金型70を作製した。
【0070】
マスター金型70を用いた光学素子成形用成形型の成形プロセスを図8に示す。まず、図8(a)に示すように、鋼材からなる基台81上に、光学素子成形用成形型の材料であるマザーガラス(結晶化前のガラス)からなる成形用素材84を載せ、胴型83を介して上型82をかぶせる。上型82には、上述した2つのマスター金型70を用いる。
【0071】
次に、成形型全体を加熱して、成形用素材84が変形可能な温度となったところで圧力を加えて変形させ、上型82のプレス面の形状を成形用素材84に転写する(加熱加圧成形)。この状態のまま、さらに温度を上昇させて、プレス成形された成形用素材84(マザーガラス)を結晶化させる。その後、成形型を冷却すると、図8(b)に示すように、成形された成形用素材84と基台81とが融着し、基台81と基台81上に固定された結晶化ガラスからなるパンチ部85とを備える金型本体が得られる。パンチ部85は、非球面レンズの反転形状のプレス面85aを備える。最後に、スパッタリング法によって、プレス面85aにPt−Ir−Ru合金からなる保護膜86(厚さ2μm)を形成し、非球面レンズの成形用成形型が完成する。
【0072】
以下、上記プロセスによる光学素子成形用成形型の製造方法について、具体例を説明する。図9は用いた成形機の概略図である。成形用素材には、結晶化前のマザーガラス(ガラス転移点:472℃、At点:518℃)を直径4mmの円柱状に加工したものを使用した。
【0073】
まず、成形用素材をセットした金型90を金型投入口91より投入し、560℃に加熱した予熱ステージ93で加熱し、同じく560℃に加熱したプレスステージ94に搬送した。そして、シリンダー97に接続され上下に可動な上ヘッド96を560℃に加熱し、この上ヘッド96で金型90を1000Nの加圧力でプレスした。そして、プレス圧力を印加したまま、プレスステージ94および上ヘッド96を800℃まで昇温させ、そのままの状態で1時間保持してマザーガラスを完全に結晶化させた。
【0074】
その後、300℃に設定した冷却ステージ95に金型90を搬送し冷却したのち、取り出し口99より金型90を外部に取り出した。そして、プレス成形された成形型本体を金型90から取り出した。その後、成形型本体のプレス面上に、Pt−Ir−Ru合金からなる保護膜を成膜して光学素子成形用成形型を得た。
【0075】
成形機はチャンバ92を備える。成形工程におけるチャンバ92内の雰囲気は、ガス導入口98から導入されるガスによって制御した。実施例3では、ガス導入口98から、N2、N2とCO2との混合ガス(CO2:10vol.%)、N2とCF4との混合ガス(CF4:10vol.%)、またはN2をエチレングリコール溶液の中に通過させて得られたガス(霧状のエチレングリコールを含むN2ガス)をそれぞれチャンバ92内に導入し、これら4種類のガス雰囲気下で成形工程を行った。そして、光学素子成形用成形型の成形後、マスター金型の表面を観察した。
【0076】
各種ガスを導入し、マスター金型を用いて光学素子成形用成形型を成形したときの、100ショットごとのマスター金型の観察結果を表3に示す。なお、表3中、N2をガス(1)、N2とCO2との混合ガス(CO2:10vol.%)をガス(2)、N2とCF4との混合ガス(CF4:10vol.%)をガス(3)、N2をエチレングリコール溶液の中に通して得られた気体をガス(4)と表示する。
【0077】
【表3】
Figure 0004567893
【0078】
表3に示したように、ガス(1)を導入して成形を行った場合、100ショットまでは全くガラスが付着しなかったが、結晶化温度が800℃と非常に高温であるため、200ショット後でマスター金型の表面に少量のガラスが付着した。
そのため、マスター金型のメンテナンスを行って300ショットまで成形を繰り返したが、最終的には大量のガラス付着が発生してプレス成形ができなくなった。
【0079】
これに対して、本発明の実施例である実施例3−1、3−2、および3−3では、成形温度が800℃と非常に高温であるにもかかわらず、500ショットを経過してもガラス付着は全く発生せず、マスター金型のメンテナンスが不要であった。これは、プレス成形の雰囲気中に含まれる炭素原子(C)またはフッ素原子(F)がマスター金型表面および成形用素材であるガラス表面に吸着し、マスター金型とガラスとの塗れ性を悪くしているためと考えられる。このようにして製造した光学素子成形用成形型は、機械加工で母材を非球面形状に加工して製造された成形型に比べて、約1/10のコストで製造できた。
【0080】
以上のようにして製造した光学素子の成形用成形型を用いて両凸非球面レンズを、図3の成形機によって成形した。成形用素材には、クラウンガラス(ガラス転移点:501℃、At点:549℃)を用い、ガス(2)、ガス(3)、またはガス(4)を成形機に導入しながら成形を繰り返したところ、いずれのガスを使用した場合とも、10000ショット成形後もガラス付着の発生はなく、良好な両凸非球面レンズの成形ができた。
【0081】
以上、本発明の実施の形態について例を挙げて説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されず本発明の技術的思想に基づき他の実施形態に適用することができる。
【0082】
【発明の効果】
以上のように、本発明の光学素子の製造方法では、プレス成形を繰り返しても金型に光学素子用素材が付着せず、金型のメンテナンスが不要である。したがって、本発明の光学素子の製造方法は、繰り返しプレス成形することが従来の方法に比べて容易であり、光学素子を低コストで製造できる。
【0083】
同様に、本発明の光学素子成形用成形型の製造方法は、繰り返しプレス成形することが従来の方法に比べて容易である。光学素子成形用成形型を低コストで製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の光学素子の製造方法で使用する金型の例を示す断面図である。
【図2】 本発明の光学素子の製造方法について一例を模式的に示す工程図である。
【図3】 本発明の光学素子の製造方法について成形機の一例を模式的に示す図である。
【図4】 本発明の光学素子成形用成形型の製造方法で使用するマスター金型の一例を示す断面図である。
【図5】 本発明の光学素子成形用成形型の製造方法について一例を模式的に示す工程図である。
【図6】 本発明の光学素子成形用成形型の製造方法について成形機の一例を模式的に示す図である。
【図7】 本発明の光学素子成形用成形型の製造方法で使用するマスター金型の他の一例を示す断面図である。
【図8】 本発明の光学素子成形用成形型の製造方法について他の一例を模式的に示す工程図である。
【図9】 本発明の光学素子成形用成形型の製造方法について成形機の他の一例を模式的に示す図である。
【符号の説明】
10a、10b、10c 光学素子成形用成形型
11、41、55、85 パンチ部
12、42 基底部
13、43、55a、85a プレス面
14、44、56、74、86 保護膜
15 炭素膜
20 光学素子成形用成形型
21 下型
22、52、82 上型
23、53、83 胴型
24 光学素子用素材
25 両凸非球面レンズ
40、70 マスター金型
51、81 基台
54、84 成形用素材

Claims (12)

  1. 光学素子用素材をプレス成形して光学素子を形成するための光学素子成形用成形型の製造方法であって、
    加熱したガラスを金型を用いてプレス成形することによって、プレス面を備える成形型の成形を行う成形工程を含み、
    炭素原子を含む分子およびフッ素原子を含む分子から選ばれる少なくとも1つの分子と不活性ガスとを含む雰囲気中で前記成形工程を行うことを特徴とする光学素子成形用成形型の製造方法。
  2. 前記雰囲気は、前記少なくとも1つの分子を気体または霧状の液体の形態で含む請求項に記載の光学素子成形用成形型の製造方法。
  3. 前記雰囲気が、CO2、CF4、およびエチレングリコールから選ばれる少なくとも1つを含む請求項1または2に記載の光学素子成形用成形型の製造方法。
  4. 前記不活性ガスが窒素ガスおよびアルゴンから選ばれる少なくとも1つである請求項1ないし3のいずれか1項に記載の光学素子成形用成形型の製造方法。
  5. 前記成形工程ののち、前記プレス面上に、前記光学素子用素材に対して不活性な保護膜を形成する工程をさらに含む請求項1ないし4のいずれか1項に記載の光学素子成形用成形型の製造方法。
  6. 前記成形工程は、プレス成形した前記ガラスをさらに結晶化させる工程を含む請求項1ないし5のいずれか1項に記載の光学素子成形用成形型
    の製造方法。
  7. 請求項1ないし6のいずれか1項に記載の光学素子成形用成形型の製造方法で得られた成形型を準備する工程と、
    加熱した光学素子用素材を前記成形型によってプレス成形する工程と、
    を備える光学素子の製造方法。
  8. 炭素原子を含む分子およびフッ素原子を含む分子から選ばれる少なくとも1つの分子と不活性ガスとを含む雰囲気中で前記プレス成形を行うことを特徴とする、請求項7に記載の光学素子の製造方法。
  9. 前記光学素子用素材がガラスからなる請求項7または8に記載の光学素子の製造方法。
  10. 前記雰囲気は、前記少なくとも1つの分子を気体または霧状の液体の形態で含む請求項7ないし9のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。
  11. 前記雰囲気が、CO 2 、CF 4 、およびエチレングリコールから選ばれる少なくとも1つを含む請求項7ないし10のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。
  12. 前記不活性ガスが窒素ガスおよびアルゴンから選ばれる少なくとも1つである請求項7ないし11のいずれか1項に記載の光学素子の製造方法。
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