JP2875621B2 - 光学ガラス成形体の製造方法と光学ガラス素子の製造方法及び製造装置 - Google Patents
光学ガラス成形体の製造方法と光学ガラス素子の製造方法及び製造装置Info
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- JP2875621B2 JP2875621B2 JP2274004A JP27400490A JP2875621B2 JP 2875621 B2 JP2875621 B2 JP 2875621B2 JP 2274004 A JP2274004 A JP 2274004A JP 27400490 A JP27400490 A JP 27400490A JP 2875621 B2 JP2875621 B2 JP 2875621B2
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- optical glass
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- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B7/00—Distributors for the molten glass; Means for taking-off charges of molten glass; Producing the gob, e.g. controlling the gob shape, weight or delivery tact
- C03B7/10—Cutting-off or severing the glass flow with the aid of knives or scissors or non-contacting cutting means, e.g. a gas jet; Construction of the blades used
- C03B7/12—Cutting-off or severing a free-hanging glass stream, e.g. by the combination of gravity and surface tension forces
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P40/00—Technologies relating to the processing of minerals
- Y02P40/50—Glass production, e.g. reusing waste heat during processing or shaping
- Y02P40/57—Improving the yield, e-g- reduction of reject rates
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、レンズやプリズム等の高精度な光学ガラス
素子の製造方法及び製造装置と、前記光学ガラス素子の
リヒートプレス成形用素材の光学ガラス成形体の製造方
法に関する。
素子の製造方法及び製造装置と、前記光学ガラス素子の
リヒートプレス成形用素材の光学ガラス成形体の製造方
法に関する。
従来の技術 近年、光学ガラスレンズは光学機器のレンズ構成の簡
略化とレンズ部分の軽量化の両方を同時に達成し得る非
球面化の方向にある。
略化とレンズ部分の軽量化の両方を同時に達成し得る非
球面化の方向にある。
この非球面レンズの製造にあっては、従来の光学レン
ズの製造方法である研磨法では、加工及び量産化が困難
であり金型を用いた成形法が有望視されている。
ズの製造方法である研磨法では、加工及び量産化が困難
であり金型を用いた成形法が有望視されている。
金型を用いた成形法というのは、予め所望の面品質及
び面精度に仕上げた金型上に水酸化アルミニウム、炭酸
マグネシウム、カーボン等の離型材を塗布あるいは被覆
した状態で、光学ガラスの塊状物を加熱成形するか、あ
るいは溶融状態の光学ガラスの塊状物を加熱成形する方
法であり、例えば、特開昭64−52619号公報その一例が
記載されている。
び面精度に仕上げた金型上に水酸化アルミニウム、炭酸
マグネシウム、カーボン等の離型材を塗布あるいは被覆
した状態で、光学ガラスの塊状物を加熱成形するか、あ
るいは溶融状態の光学ガラスの塊状物を加熱成形する方
法であり、例えば、特開昭64−52619号公報その一例が
記載されている。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、溶融状態のガラスの塊状物を加熱成形
して非球面レンズを製造する場合、金型と接触したガラ
スゴブの表面には、金型との温度差による熱収縮によっ
てしわ状の欠陥が発生し、成形後のレンズの面精度、面
粗度が十分に得られないという問題がある。
して非球面レンズを製造する場合、金型と接触したガラ
スゴブの表面には、金型との温度差による熱収縮によっ
てしわ状の欠陥が発生し、成形後のレンズの面精度、面
粗度が十分に得られないという問題がある。
そのため、従来の成形方法では、表面に欠陥のない状
態（例えば、表面粗さRMSで0.1μｍ以下の鏡面状態）の
光学ガラス成形体を得るには、成形後に更に表面の研磨
叉はエッチング処理を行なう必要があり、製造コストを
十分に抑えることができないのである。
態（例えば、表面粗さRMSで0.1μｍ以下の鏡面状態）の
光学ガラス成形体を得るには、成形後に更に表面の研磨
叉はエッチング処理を行なう必要があり、製造コストを
十分に抑えることができないのである。
なお、上記しわ状の欠陥を発生させないためには、金
型を更に高温に加熱して使用することが考えられるが、
その場合には、金型と溶融ガラスの融着と言う更に好ま
しくない問題が発生することとなり、現実的ではない。
型を更に高温に加熱して使用することが考えられるが、
その場合には、金型と溶融ガラスの融着と言う更に好ま
しくない問題が発生することとなり、現実的ではない。
本発明は上記課題に鑑み、低コストで高精度な光学ガ
ラス成形体が製造できる光学ガラス成形体の製造方法並
びに光学ガラス素子の製造方法とその製造装置を提供す
ることを目的とする。
ラス成形体が製造できる光学ガラス成形体の製造方法並
びに光学ガラス素子の製造方法とその製造装置を提供す
ることを目的とする。
課題を解決するための手段 光学ガラス成形体を次の様にして製造する。
先ず、必要量の溶融ガラスを熱加工治具で受ける。例
えば、溶融炉より、必要量の溶融ガラスを滴下し、これ
を平板状の熱加工治具で受ける。
えば、溶融炉より、必要量の溶融ガラスを滴下し、これ
を平板状の熱加工治具で受ける。
すると、ガラスの表面張力によりできた自由面と熱加
工治具に接する接触面をもつガラスゴブが熱加工治具上
に形成される。
工治具に接する接触面をもつガラスゴブが熱加工治具上
に形成される。
その後、自由面は軟化点以下の温度に保ちつつ、接触
面だけを軟化点以上の温度に加熱して光学ガラス成形体
を作製する。
面だけを軟化点以上の温度に加熱して光学ガラス成形体
を作製する。
また、光学ガラス素子の製造においては、上記の様に
して得られた成形体を加圧成形して光学ガラス素子を得
る。
して得られた成形体を加圧成形して光学ガラス素子を得
る。
作 用 熱加工治具で受けた溶融ガラスには、表面張力により
形成された自由面と熱加工治具に接する接触面が形成さ
れる。
形成された自由面と熱加工治具に接する接触面が形成さ
れる。
この内、自由面は、表面張力の作用によって極めて滑
らかな鏡面に形成される。
らかな鏡面に形成される。
治具との接触面は、治具との温度差に基づく熱収縮に
より皺状となるが、この接触面も、加熱によって自由面
と同等の鏡面になされる。
より皺状となるが、この接触面も、加熱によって自由面
と同等の鏡面になされる。
その結果、極めて良好な鏡面が形成された光学ガラス
成形体が得られるのである。
成形体が得られるのである。
また、こうして得られた成形体の表面は極めて良好な
鏡面であるので、この成形体をガラス素子の成形に用い
れば、極めて高精度のガラス素子を成形のみの加工で得
ることが出来る。
鏡面であるので、この成形体をガラス素子の成形に用い
れば、極めて高精度のガラス素子を成形のみの加工で得
ることが出来る。
実施例 以下、本発明の実施例について詳細に説明する。
（実施例１） 第１図は本発明の光学ガラス成形体の製造方法の一実
施例を表わす工程図である。
施例を表わす工程図である。
先ず、第１図（ａ）の工程では、ガラス溶融炉より滴
下された高温の溶融ガラスを熱加工治具18で受ける。こ
の段階で形成されるガラスゴブ14は、自由面14aと熱加
工治具18との接触面14bとを持つ。
下された高温の溶融ガラスを熱加工治具18で受ける。こ
の段階で形成されるガラスゴブ14は、自由面14aと熱加
工治具18との接触面14bとを持つ。
自由面14aは、溶融ガラスの表面張力により形成され
るため極めて良好な鏡面となる。
るため極めて良好な鏡面となる。
一方、接触面14bは、熱加工治具18との温度差により
熱収縮が発生して、しわ状の粗面となっている。
熱収縮が発生して、しわ状の粗面となっている。
次の第１図（ｂ）の工程では、接触面14bの表面を、
加熱手段16によって軟化点より高い温度t1に加熱する。
加熱手段16によって軟化点より高い温度t1に加熱する。
この接触面の加熱は、自由面14aの温度ｔを軟化点よ
り低い温度に保持しつつ行なう。
り低い温度に保持しつつ行なう。
接触面の加熱を接触面14b側から行えば、ガラスの熱
伝導率は小さいため、通常は強制的な冷却手段を使用せ
ずとも、例えば加熱時間、加熱温度の条件を適宜選択す
ることで自由面14aの温度を軟化点より低い温度を保つ
ことは容易である。
伝導率は小さいため、通常は強制的な冷却手段を使用せ
ずとも、例えば加熱時間、加熱温度の条件を適宜選択す
ることで自由面14aの温度を軟化点より低い温度を保つ
ことは容易である。
もちろん、自由面14aを強制的に冷却してもよい。
第１図（ｃ）の工程では、接触面14bにできたしわ状
の収縮跡が、加熱により熱変形をおこし自由面14aと同
等の鏡面を持つ熱変形面21bに変化する。
の収縮跡が、加熱により熱変形をおこし自由面14aと同
等の鏡面を持つ熱変形面21bに変化する。
この時、自由面14aは、接触面の加熱時には、軟化点
以下の温度に保たれているため面粗度が劣化することは
ない。
以下の温度に保たれているため面粗度が劣化することは
ない。
この様に、本実施例では、極めて良好な鏡面を有する
ガラス成形体21が形成される。
ガラス成形体21が形成される。
（実施例２） 第２図は、上記のガラス成形体の製造方法を用いた製
造装置の構成図である。
造装置の構成図である。
ガラスは、ジルコニア（ZrO2）８重量パーセント、酸
化ランタン（La2O3）30重量パーセント、酸化ホウ素（B
2O3）42重量パーセント、酸化カルシウム（CaO）10重量
パーセント、残部が微量成分からなるランタン系ガラス
を用いた。
化ランタン（La2O3）30重量パーセント、酸化ホウ素（B
2O3）42重量パーセント、酸化カルシウム（CaO）10重量
パーセント、残部が微量成分からなるランタン系ガラス
を用いた。
このガラスを溶融路10で1400℃で溶融し、950℃に保
持したノズル12から、約３グラムの溶融ガラス９を、予
め400℃に加熱されたカーボン製の平型の熱加工治具18
に滴下する。
持したノズル12から、約３グラムの溶融ガラス９を、予
め400℃に加熱されたカーボン製の平型の熱加工治具18
に滴下する。
その後、冷却ステージにおいてガラスを軟化点より低
い温度に冷却する。ガラスゴブ14には鏡面の自由面が形
成される。
い温度に冷却する。ガラスゴブ14には鏡面の自由面が形
成される。
次に、ガラス搬送ロボット（図示せず）により、ガラ
スゴブ14を、熱加工治具との接触面を上向きにした状態
で、400℃に保持したガラス保持治具20に載置する。そ
して、しわの発生した接触面を加熱手段16で軟化点より
も高温の900℃で３分間加熱する。この加熱により接触
面は、しわが除去されると共に自由面と同等の鏡面が形
成される。
スゴブ14を、熱加工治具との接触面を上向きにした状態
で、400℃に保持したガラス保持治具20に載置する。そ
して、しわの発生した接触面を加熱手段16で軟化点より
も高温の900℃で３分間加熱する。この加熱により接触
面は、しわが除去されると共に自由面と同等の鏡面が形
成される。
このとき、自由面の温度は軟化点以下であり、鏡面が
良好に維持される。
良好に維持される。
なお、ガラス保持治具20は、オーステナイト鋼（SUS3
16）を使用し、曲率半径20mmで凹型に加工したものであ
る。
16）を使用し、曲率半径20mmで凹型に加工したものであ
る。
その後、再び冷却ステージにおいてガラスを軟化点よ
り低い温度に冷却してからガラス搬送ロボット（図示せ
ず）により、取り出し口28から光学ガラス成形体21を取
り出す。
り低い温度に冷却してからガラス搬送ロボット（図示せ
ず）により、取り出し口28から光学ガラス成形体21を取
り出す。
本実施例によって得られた光学ガラス成形体21の表面
粗さ（RMS）は0.005μｍ以下の鏡面状態であり、光学顕
微鏡観察によっても微小な凹凸、異物付着、傷等の表面
欠陥は認められなかった。
粗さ（RMS）は0.005μｍ以下の鏡面状態であり、光学顕
微鏡観察によっても微小な凹凸、異物付着、傷等の表面
欠陥は認められなかった。
なお、装置内は治工具とガラスとの融着等を防止する
ために、適当な非酸化雰囲気となされるのが通常である
が、本実施例では、装置内を窒素ガス20リットル／分、
トリクロロトリフルオロエタン（C2Cl3F3）ガス１リッ
トル／分の割合で混合したハロゲン化炭化水素の雰囲気
とした。
ために、適当な非酸化雰囲気となされるのが通常である
が、本実施例では、装置内を窒素ガス20リットル／分、
トリクロロトリフルオロエタン（C2Cl3F3）ガス１リッ
トル／分の割合で混合したハロゲン化炭化水素の雰囲気
とした。
（実施例３） 第２図の製造装置で他のガラス組成の成形体を製造し
た。
た。
すなわち、ガラスは、酸化珪素（SiO2）65重量パーセ
ント、酸化カリウム（K2O）９重量パーセント、酸化ホ
ウ素（B2O3）10重量パーセント、酸化ナトリウム（Na
2O）10重量パーセント、残部が微量成分からなるホウケ
イ酸ガラスを用いた。
ント、酸化カリウム（K2O）９重量パーセント、酸化ホ
ウ素（B2O3）10重量パーセント、酸化ナトリウム（Na
2O）10重量パーセント、残部が微量成分からなるホウケ
イ酸ガラスを用いた。
このガラスを溶融炉10において1350℃で溶融し、920
℃に保持したノズル12から約３グラムの溶融ガラス９
を、予め550℃に加熱した熱加工治具18に滴下する。
℃に保持したノズル12から約３グラムの溶融ガラス９
を、予め550℃に加熱した熱加工治具18に滴下する。
その後、冷却ステージにおいてガラスを軟化点より低
い温度に冷却する。
い温度に冷却する。
ガラス搬送ロボット（図示せず）により、ガラスゴブ
14を接触面を上向きにした状態でガラス保持治具20に載
置する。
14を接触面を上向きにした状態でガラス保持治具20に載
置する。
ガラスゴブ14の自由面を受けるガラス保持治具20は30
0℃に保持されており、接触面を加熱手段16で軟化点よ
り高い1000℃の温度で２分間加熱し熱変形させる。
0℃に保持されており、接触面を加熱手段16で軟化点よ
り高い1000℃の温度で２分間加熱し熱変形させる。
その後、再び冷却ステージにおいてガラスを軟化点よ
り低い温度に冷却してからガラス搬送ロボット（図示せ
ず）により、光学ガラス成形体21を取り出した。
り低い温度に冷却してからガラス搬送ロボット（図示せ
ず）により、光学ガラス成形体21を取り出した。
このようにして得られた光学ガラス成形体21は、表面
粗さ（RMS）は0.005μｍ以下の鏡面状態であり、光学顕
微鏡観察によっても微小な凹凸、異物付着、傷等の表面
欠陥は認められなかった。
粗さ（RMS）は0.005μｍ以下の鏡面状態であり、光学顕
微鏡観察によっても微小な凹凸、異物付着、傷等の表面
欠陥は認められなかった。
なお、本実施例では、成形機内の雰囲気は、アルゴン
ガス20リットル／分、エチレン（C2H4）１リットル／分
の割合で混合した炭化水素雰囲気とした。
ガス20リットル／分、エチレン（C2H4）１リットル／分
の割合で混合した炭化水素雰囲気とした。
また、熱加工治具18にはボロンナイトライドを使用
し、平型に加工したものを用いた。ガラス保持治具20に
はサーメット（TiC−10Mo−9Ni）を使用し、曲率半径が
20mmの凹型に加工したものを用いた。
し、平型に加工したものを用いた。ガラス保持治具20に
はサーメット（TiC−10Mo−9Ni）を使用し、曲率半径が
20mmの凹型に加工したものを用いた。
（実施例４） 第３図は本発明の光学ガラス素子の製造方法の一実施
例を示す工程図である。
例を示す工程図である。
本実施例では、上記の光学ガラス成形体の製造方法に
基づき光学ガラス成形体を得る（第３図（ａ）〜
（ｃ））。その後、得られた成形体をプレスして光学ガ
ラス素子を得るものである（第３図（ｄ））。
基づき光学ガラス成形体を得る（第３図（ａ）〜
（ｃ））。その後、得られた成形体をプレスして光学ガ
ラス素子を得るものである（第３図（ｄ））。
先ず、第３図（ａ）では、ガラス溶融炉（図示せず）
より滴下した高温の溶融ガラスを熱加工治具18で受け
る。このとき、形成されるガラスゴブ14は、溶融ガラス
の表面張力により鏡面に形成された自由面14aと、熱加
工治具18に接して皺状の収縮跡が発生した接触面14bと
を持つ。
より滴下した高温の溶融ガラスを熱加工治具18で受け
る。このとき、形成されるガラスゴブ14は、溶融ガラス
の表面張力により鏡面に形成された自由面14aと、熱加
工治具18に接して皺状の収縮跡が発生した接触面14bと
を持つ。
次の第３図（ｂ）では、ガラスゴブ14をガラス保持治
具20の上に載置し、皺の発生した接触面14bを加熱手段1
6により局部的に加熱して熱変形させる。
具20の上に載置し、皺の発生した接触面14bを加熱手段1
6により局部的に加熱して熱変形させる。
第３図（ｃ）では、ガラスゴブ14の接触面14bが、加
熱手段16により熱変形をおこし自由面14aと同等の鏡面
を持つ面21bに変化し、14a、21b共に鏡面のガラス成形
体21が形成される。このとき、ガラス成形体の中心肉厚
h1は、通常はガラスゴブの中心肉厚ｈと同等もしくは厚
くなる。
熱手段16により熱変形をおこし自由面14aと同等の鏡面
を持つ面21bに変化し、14a、21b共に鏡面のガラス成形
体21が形成される。このとき、ガラス成形体の中心肉厚
h1は、通常はガラスゴブの中心肉厚ｈと同等もしくは厚
くなる。
また、この接触面の加熱においては、ガラス成形体の
自由面14aは軟化点以下の温度に保たれ、鏡面性は維持
されている。
自由面14aは軟化点以下の温度に保たれ、鏡面性は維持
されている。
第３図（ｄ）において、上記のようにして得られたガ
ラス成形体21をプレス成形用金型23,24で加熱加圧成形
して光学ガラス素子が得られる。
ラス成形体21をプレス成形用金型23,24で加熱加圧成形
して光学ガラス素子が得られる。
この場合、良好な鏡面を有した成形体21を用いること
が出来るので、極めて高精度の光学ガラス素子が加圧成
形で得られ、従来の様な研磨加工あるいはエッチング加
工等の後加工は全く必要としない。
が出来るので、極めて高精度の光学ガラス素子が加圧成
形で得られ、従来の様な研磨加工あるいはエッチング加
工等の後加工は全く必要としない。
（実施例５） 第４図は、本発明の光学ガラス素子の製造装置の一実
施例の構成図であり、上記の光学ガラス素子の製造方法
を用いるものである。
施例の構成図であり、上記の光学ガラス素子の製造方法
を用いるものである。
溶融ガラスは、ジルコニア（ZrO2）８重量パーセン
ト、酸化ランタン（La2O3）30重量パーセント、酸化ホ
ウ素（B2O3）42重量パーセント、酸化カルシウム（Ca
O）10重量パーセント、残部が微量成分からなるランタ
ン系ガラスを用いた。
ト、酸化ランタン（La2O3）30重量パーセント、酸化ホ
ウ素（B2O3）42重量パーセント、酸化カルシウム（Ca
O）10重量パーセント、残部が微量成分からなるランタ
ン系ガラスを用いた。
このガラスを溶融炉10で1400℃で溶融し、950℃に保
持したノズル12から約３グラムの溶融ガラス９を、予め
400℃に加熱した熱加工治具18に滴下した。
持したノズル12から約３グラムの溶融ガラス９を、予め
400℃に加熱した熱加工治具18に滴下した。
その後、冷却ステージにおいてガラスを軟化点より低
い温度に冷却してガラスゴブ14の自由面を鏡面に形成す
る。
い温度に冷却してガラスゴブ14の自由面を鏡面に形成す
る。
次にガラス搬送ロボット（図示せず）により、ガラス
ゴブ14は接触面を上向きにした状態でガラス保持治具20
に載置する。ガラスゴブ14の自由面を受けるガラス保持
治具23は400℃に保持されており、接触面は加熱手段16
で軟化点よりも高い900℃の温度で３分間加熱される。
ゴブ14は接触面を上向きにした状態でガラス保持治具20
に載置する。ガラスゴブ14の自由面を受けるガラス保持
治具23は400℃に保持されており、接触面は加熱手段16
で軟化点よりも高い900℃の温度で３分間加熱される。
この加熱によりガラスコブ14の接触面は熱変形して表
面の皺が除去され、これを再び冷却ステージにおいて軟
化点より低い温度に冷却して、良好な鏡面を有したガラ
ス成形体21が得られる。
面の皺が除去され、これを再び冷却ステージにおいて軟
化点より低い温度に冷却して、良好な鏡面を有したガラ
ス成形体21が得られる。
この成形体21をガラス搬送ロボット（図示せず）によ
り、プレス成形用下金型23に移送しプレス成形する。プ
レス成形は金型温度680℃、プレス圧力30kg/cm2、プレ
ス時間２分の条件下で行なった。その後400℃まで除冷
し、取り出し口28から光学ガラス素子26を取り出した。
り、プレス成形用下金型23に移送しプレス成形する。プ
レス成形は金型温度680℃、プレス圧力30kg/cm2、プレ
ス時間２分の条件下で行なった。その後400℃まで除冷
し、取り出し口28から光学ガラス素子26を取り出した。
本実施例で得られた光学ガラス素子26は、プレス成形
面の表面粗さ（RMS）は約0.002μｍの光学的鏡面であ
り、気泡、傷、あるいは剥離跡といった欠陥は認められ
ず、面精度もニュートンリング２本以内、アス５分の１
本以内であり、その光学性能は極めて優れていた。
面の表面粗さ（RMS）は約0.002μｍの光学的鏡面であ
り、気泡、傷、あるいは剥離跡といった欠陥は認められ
ず、面精度もニュートンリング２本以内、アス５分の１
本以内であり、その光学性能は極めて優れていた。
なお、本実施例では、熱加工治具18にはカーボンを使
用し、平型に加工した。
用し、平型に加工した。
ガラス保持治具20には、オーステナイト鋼（SUS316）
を使用し曲率半径20mmの凹型に加工した。
を使用し曲率半径20mmの凹型に加工した。
プレス成形用金型の母材にはオーステナイト鋼（SUS3
16）を用い、曲率半径150mmの凹形の光学面を形成し
た。この光学面に、スパッタ法でロジウム−金−タング
ステン合金（Rh−Au−Ｗ）の薄膜を被覆し、プレス成形
用金型とした。
16）を用い、曲率半径150mmの凹形の光学面を形成し
た。この光学面に、スパッタ法でロジウム−金−タング
ステン合金（Rh−Au−Ｗ）の薄膜を被覆し、プレス成形
用金型とした。
また、成形機内は、窒素ガス20リットル／分、トリク
ロロトリフルオロエタン（C2Cl3F3）ガス１リットル／
分の割合で混合したハロゲン化炭化水素の雰囲気とし
た。
ロロトリフルオロエタン（C2Cl3F3）ガス１リットル／
分の割合で混合したハロゲン化炭化水素の雰囲気とし
た。
（実施例６） 第４図と同一機能の製造装置を用いて異なるガラス組
成の光学ガラスの光学ガラス素子を成形した。
成の光学ガラスの光学ガラス素子を成形した。
溶融ガラスは、酸化珪素（SiO2）65重量パーセント、
酸化カリウム（K2O）９重量パーセント、酸化ホウ素（B
2O3）10重量パーセント、酸化ナトリウム（Na2O）10重
量パーセント、残部が微量成分からなるホウケイ酸ガラ
スを用いた。
酸化カリウム（K2O）９重量パーセント、酸化ホウ素（B
2O3）10重量パーセント、酸化ナトリウム（Na2O）10重
量パーセント、残部が微量成分からなるホウケイ酸ガラ
スを用いた。
ガラスを1350℃で溶融したあと、920℃に保持したノ
ズル12から約３グラムの溶融ガラス９を、予め550℃に
加熱した熱加工治具18に滴下した。
ズル12から約３グラムの溶融ガラス９を、予め550℃に
加熱した熱加工治具18に滴下した。
その後、冷却ステージにおいて軟化点以下の温度に冷
却してからガラス搬送ロボット（図示せず）により、ガ
ラスゴブ14を接触面を上向きにした状態でガラス保持治
具23に載置する。ガラスゴブ14の自由面を受けるガラス
保持治具は300℃に保持され、接触面を加熱手段16で100
0℃で２分間熱変形させたあと、再び冷却ステージにお
いてガラスを軟化点より低い温度に冷却した。
却してからガラス搬送ロボット（図示せず）により、ガ
ラスゴブ14を接触面を上向きにした状態でガラス保持治
具23に載置する。ガラスゴブ14の自由面を受けるガラス
保持治具は300℃に保持され、接触面を加熱手段16で100
0℃で２分間熱変形させたあと、再び冷却ステージにお
いてガラスを軟化点より低い温度に冷却した。
その後、この成形体をガラス搬送ロボット（図示せ
ず）により、プレス成形用下金型23に移送しプレス成形
した。プレス成形条件は金型温度680℃、プレス圧力80k
g/cm2、プレス時間１分であった。
ず）により、プレス成形用下金型23に移送しプレス成形
した。プレス成形条件は金型温度680℃、プレス圧力80k
g/cm2、プレス時間１分であった。
その後380℃まで徐冷し、取り出し口28から光学ガラ
ス素子26を取り出した。
ス素子26を取り出した。
こうして得られた光学ガラス素子26は、プレス成形面
の表面粗さ（RMS）は約0.002μｍの光学的鏡面であり、
気泡、傷、あるいは剥離跡といった欠陥は認められず、
面精度もニュートンリング２本以内、アス５分の１本以
内であり、その光学性能は極めて優れていた。
の表面粗さ（RMS）は約0.002μｍの光学的鏡面であり、
気泡、傷、あるいは剥離跡といった欠陥は認められず、
面精度もニュートンリング２本以内、アス５分の１本以
内であり、その光学性能は極めて優れていた。
なお、本実施例の熱加工治具18はボロンナイトライド
を使用し、平型に加工した。
を使用し、平型に加工した。
ガラス保持治具20としてサーメット（TiC−10Mo−9N
i）を使用し、曲率半径が20mmの凹型に加工した。
i）を使用し、曲率半径が20mmの凹型に加工した。
プレス成形用金型の母材としてサーメット（TiC−10M
o−9Ni）を用いて曲率半径が300mmの凹形の光学面を形
成し、スパッタ法で白金−タンタル−レニウム合金（Pt
−Ta−Re）の薄膜を被覆し、プレス成形用金型とした。
o−9Ni）を用いて曲率半径が300mmの凹形の光学面を形
成し、スパッタ法で白金−タンタル−レニウム合金（Pt
−Ta−Re）の薄膜を被覆し、プレス成形用金型とした。
また、成形機内は、アルゴンガス20リットル／分、エ
チレン（C2H4）１リットル／分の割合で混合した炭化水
素雰囲気とした。
チレン（C2H4）１リットル／分の割合で混合した炭化水
素雰囲気とした。
（実施例７） 第５図は本発明の光学ガラス素子の製造方法の他の実
施例を示す工程図である。
施例を示す工程図である。
第５図（ａ）では、ガラス溶融炉より滴下された高温
の溶融ガラスを溶融ガラスと濡れ性の悪い熱加工治具18
で受けた状態を示す。このときに形成されるガラスゴブ
14は、熱加工治具18と接した接触面14bと溶融ガラスの
表面張力により形成された自由面14aを持つ。
の溶融ガラスを溶融ガラスと濡れ性の悪い熱加工治具18
で受けた状態を示す。このときに形成されるガラスゴブ
14は、熱加工治具18と接した接触面14bと溶融ガラスの
表面張力により形成された自由面14aを持つ。
第５図（ｂ）では、ガラスゴブ14をプレス成形用下金
型23の上に載置し、ガラスコブの接触面14bを加熱手段1
6により局部的に熱変形させる状態を示す。
型23の上に載置し、ガラスコブの接触面14bを加熱手段1
6により局部的に熱変形させる状態を示す。
第５図（ｃ）では、ガラスゴブ14の熱加工治具18に接
してできたしわ状の収縮跡が、加熱手段16により熱変形
をおこし自由面14aと同等の鏡面を持つ熱変形面21bに変
化しガラス成形体21が形成された状態を示す。このと
き、ガラス成形体の中心肉厚h1は、ガラスゴブの中心肉
厚ｈよりも厚くなる。また、ガラス成形体の自由面21a
は、ガラスゴブの自由面14aの鏡面性を維持するように
加熱時間、加熱温度、及び自由面の冷却等の条件を適宜
選択してあるため、面精度の影響はない。
してできたしわ状の収縮跡が、加熱手段16により熱変形
をおこし自由面14aと同等の鏡面を持つ熱変形面21bに変
化しガラス成形体21が形成された状態を示す。このと
き、ガラス成形体の中心肉厚h1は、ガラスゴブの中心肉
厚ｈよりも厚くなる。また、ガラス成形体の自由面21a
は、ガラスゴブの自由面14aの鏡面性を維持するように
加熱時間、加熱温度、及び自由面の冷却等の条件を適宜
選択してあるため、面精度の影響はない。
第５図（ｄ）では、前記ガラス成形体21をプレス成形
用下金型23,プレス成形用上金型24で加熱加圧成形する
ことを示しており、プレス成形用金型はそれぞれ薄膜30
で被覆されている。
用下金型23,プレス成形用上金型24で加熱加圧成形する
ことを示しており、プレス成形用金型はそれぞれ薄膜30
で被覆されている。
本実施例によれば、ガラス保持治具を用いることなく
光学ガラス素子を製造できるため工程を簡略でき製造コ
ストを安くできる。
光学ガラス素子を製造できるため工程を簡略でき製造コ
ストを安くできる。
（実施例８） 第６図は、本発明の光学ガラス素子の製造装置の他の
実施例を示す構成図であり、第４図で示した光学ガラス
素子の製造方法を用いるものである。
実施例を示す構成図であり、第４図で示した光学ガラス
素子の製造方法を用いるものである。
溶融ガラスは、酸化珪素（SiO2）30重量パーセント、
酸化バリウム（BaO）50重量パーセント、酸化ホウ素（B
2O3）15重量パーセント、残部が微量成分からなるホウ
ケイ酸バリウムガラスを用いた。このガラスを1250℃で
溶融したあと、850℃に保持したノズル12から約３グラ
ムの溶融ガラス９を熱加工治具18に滴下した。熱加工治
具18は予め200℃に加熱しておき、滴下後、冷却ステー
ジにおいてガラスを軟化点より低い温度に冷却してか
ら、ガラス搬送ロボット（図示せず）によりガラスゴブ
14の接触面を上にした状態でプレス成形用下金型23に載
置する。
酸化バリウム（BaO）50重量パーセント、酸化ホウ素（B
2O3）15重量パーセント、残部が微量成分からなるホウ
ケイ酸バリウムガラスを用いた。このガラスを1250℃で
溶融したあと、850℃に保持したノズル12から約３グラ
ムの溶融ガラス９を熱加工治具18に滴下した。熱加工治
具18は予め200℃に加熱しておき、滴下後、冷却ステー
ジにおいてガラスを軟化点より低い温度に冷却してか
ら、ガラス搬送ロボット（図示せず）によりガラスゴブ
14の接触面を上にした状態でプレス成形用下金型23に載
置する。
ガラスコブ14の接触面を加熱手段16で1200℃で30秒間
加熱して熱変形させたあと、予熱ステージでプレス成形
用下金型23を500℃に予備加熱してからプレスステージ
に移送しプレス成形した。プレス成形条件は金型温度56
0℃、プレス圧力30kg/cm2、プレス時間２分であった。
加熱して熱変形させたあと、予熱ステージでプレス成形
用下金型23を500℃に予備加熱してからプレスステージ
に移送しプレス成形した。プレス成形条件は金型温度56
0℃、プレス圧力30kg/cm2、プレス時間２分であった。
その後300℃まで除冷し、取り出し口28から光学ガラ
ス素子26を取り出した。
ス素子26を取り出した。
本実施例で得られた光学ガラス素子26は、プレス成形
面の表面粗さ（RMS）は約0.002μｍの光学的鏡面であ
り、気泡、傷等の欠陥は認められず、面精度もニュート
ンリング２本以内、アス５分の１本以内であり、その光
学性能は極めて優れていた。
面の表面粗さ（RMS）は約0.002μｍの光学的鏡面であ
り、気泡、傷等の欠陥は認められず、面精度もニュート
ンリング２本以内、アス５分の１本以内であり、その光
学性能は極めて優れていた。
また、本実施例では、ガラス保持治具を用いることな
く光学ガラス素子を製造できるため工程を簡略でき製造
コストを安くできる。
く光学ガラス素子を製造できるため工程を簡略でき製造
コストを安くできる。
なお、熱加工治具18は、カーボンを使用し、凸型に加
工した。
工した。
プレス成形用金型の母材として超硬合金（WC−5Ti−8
Co）を用いて曲率半径が15mmの凹形の光学面を形成し、
スパッタ法で白金−イリジウム−オスミウム合金（Pt−
Ir−Os）の薄膜30を被覆し、プレス成形用金型とした。
Co）を用いて曲率半径が15mmの凹形の光学面を形成し、
スパッタ法で白金−イリジウム−オスミウム合金（Pt−
Ir−Os）の薄膜30を被覆し、プレス成形用金型とした。
また、成形機内は、窒素ガス20リットル／分、水素ガ
ス２リットル／分の割合で混合した雰囲気とした。
ス２リットル／分の割合で混合した雰囲気とした。
（実施例９） 第６図と同様な製造装置により、他のガラス組成の光
学素子を成形した。
学素子を成形した。
溶融ガラスは、酸化珪素（SiO2）52重量パーセント、
酸化カリウム（K2O）６重量パーセント、酸化鉛（PbO）
35重量パーセント、残部が微量成分からなる重フリント
ガラスを用いた。
酸化カリウム（K2O）６重量パーセント、酸化鉛（PbO）
35重量パーセント、残部が微量成分からなる重フリント
ガラスを用いた。
ガラスを1250℃で溶融したあと、750℃に保持したノ
ズル12から約５グラムの溶融ガラス９を熱加工治具18に
滴下した。熱加工治具18は加熱せずにおき、溶融ガラス
の滴下後、冷却ステージ（図示せず）においてガラスを
軟化点より低い温度に冷却してからガラス搬送ロボット
（図示せず）により、ガラスゴブ14は接触面を上にした
状態でプレス成形用下金型23に載置する。ガラスゴブ14
の接触面を加熱手段16で軟化点より高い1400℃で20秒間
熱変形させたあと、予熱ステージでプレス成形用下金型
23を500℃に予備加熱してからプレスステージに移送し
プレス成形した。プレス成形条件は金型温度550℃、プ
レス圧力80kg/cm2、プレス時間１分であった。
ズル12から約５グラムの溶融ガラス９を熱加工治具18に
滴下した。熱加工治具18は加熱せずにおき、溶融ガラス
の滴下後、冷却ステージ（図示せず）においてガラスを
軟化点より低い温度に冷却してからガラス搬送ロボット
（図示せず）により、ガラスゴブ14は接触面を上にした
状態でプレス成形用下金型23に載置する。ガラスゴブ14
の接触面を加熱手段16で軟化点より高い1400℃で20秒間
熱変形させたあと、予熱ステージでプレス成形用下金型
23を500℃に予備加熱してからプレスステージに移送し
プレス成形した。プレス成形条件は金型温度550℃、プ
レス圧力80kg/cm2、プレス時間１分であった。
その後380℃まで除冷し、取り出し口28から光学ガラ
ス素子26を取り出した。
ス素子26を取り出した。
本実施例で得られた光学ガラス素子26は、プレス成形
面の表面粗さ（RMS）は約0.002μｍの光学的鏡面であ
り、気泡、傷、あるいは剥離跡といった欠陥は認められ
ず、面精度もニュートンリング２本以内、アス５分の１
本以内であり、その光学性能は極めて優れていた。
面の表面粗さ（RMS）は約0.002μｍの光学的鏡面であ
り、気泡、傷、あるいは剥離跡といった欠陥は認められ
ず、面精度もニュートンリング２本以内、アス５分の１
本以内であり、その光学性能は極めて優れていた。
なお、熱加工治具18には窒化アルミを使用し、凸型に
加工した。
加工した。
プレス成形用金型の母材としてシリコンを用いて曲率
半径が55mmの凹形の光学面を形成し、スパッタ法でロジ
ウム−金−タングステン合金（Rh−Au−Ｗ）の薄膜30を
被覆し、プレス成形用金型とした。
半径が55mmの凹形の光学面を形成し、スパッタ法でロジ
ウム−金−タングステン合金（Rh−Au−Ｗ）の薄膜30を
被覆し、プレス成形用金型とした。
また、成形機内はヘリウムガス20リットル／分、二酸
化炭素ガス２リットル／分の割合で混合したガス雰囲気
とした。
化炭素ガス２リットル／分の割合で混合したガス雰囲気
とした。
以上、本発明の実施例を詳細に説明したが、一対のプ
レス成形用金型に被覆する薄膜は、溶融ガラスと濡れ性
がよく、非酸化性雰囲気中で光学ガラスと反応あるいは
融着しない貴金属、タングステン、タンタル、レニウ
ム、ハフニウムの単体あるいはそれらの合金であること
が望ましい。
レス成形用金型に被覆する薄膜は、溶融ガラスと濡れ性
がよく、非酸化性雰囲気中で光学ガラスと反応あるいは
融着しない貴金属、タングステン、タンタル、レニウ
ム、ハフニウムの単体あるいはそれらの合金であること
が望ましい。
光学ガラスとこれらの薄膜とが反応あるいは融着しな
い非酸化性雰囲気としては、窒素、アルゴン、ヘリウム
等の不活性ガス、およびこれらの不活性ガスに水素、あ
るいは一酸化炭素、二酸化炭素の炭素酸化物、メタン、
エタン、エチレン、トルエン等の炭化水素類、トリクロ
ロエチレン、トリクロロトリフルオロエタン等のハロゲ
ン化炭化水素類、エチレングリコール、グリセリン等の
アルコール類、Ｆ−113、Ｆ−11等のフルオロカーボン
類を適宜混合したものが使用可能である。
い非酸化性雰囲気としては、窒素、アルゴン、ヘリウム
等の不活性ガス、およびこれらの不活性ガスに水素、あ
るいは一酸化炭素、二酸化炭素の炭素酸化物、メタン、
エタン、エチレン、トルエン等の炭化水素類、トリクロ
ロエチレン、トリクロロトリフルオロエタン等のハロゲ
ン化炭化水素類、エチレングリコール、グリセリン等の
アルコール類、Ｆ−113、Ｆ−11等のフルオロカーボン
類を適宜混合したものが使用可能である。
また、熱加工治具に接してできたガラスゴブの接触面
は局部加熱して熱変形させるため、熱加工治具の形状は
所望の光学ガラス素子と近似形状でなくても構わない。
また、熱加工治具はガラス保持治具としても使用でき
る。
は局部加熱して熱変形させるため、熱加工治具の形状は
所望の光学ガラス素子と近似形状でなくても構わない。
また、熱加工治具はガラス保持治具としても使用でき
る。
なお、本発明は、各実施例に記載の光学ガラスの組
成、ガラスゴブの形状、ガラス成形体の形状、熱加工治
具の材質・形状、加熱の方法・条件あるいはプレス条件
等に限定されるものではない。
成、ガラスゴブの形状、ガラス成形体の形状、熱加工治
具の材質・形状、加熱の方法・条件あるいはプレス条件
等に限定されるものではない。
例えば、溶融ガラスを直接受ける熱加工治具には、溶
融ガラスと濡れ性が悪く、離型性が優れている材料が使
用でき、上記各実施例に記載の材料以外に、例えば窒化
クロム等が使用できる。
融ガラスと濡れ性が悪く、離型性が優れている材料が使
用でき、上記各実施例に記載の材料以外に、例えば窒化
クロム等が使用できる。
発明の効果 本発明によれば、表面に欠陥のない光学ガラス成形体
を成形によって製造できる。
を成形によって製造できる。
そして、その成形体を光学ガラス素子のプレス成形に
用いれば、高精度な光学ガラス素子を研磨無しに大量生
産することが可能となり、生産性の向上と製造コストの
低減に著しい効果がある。
用いれば、高精度な光学ガラス素子を研磨無しに大量生
産することが可能となり、生産性の向上と製造コストの
低減に著しい効果がある。
第１図は本発明の光学ガラス成形体の製造方法の一実施
例の工程図、第２図は本発明の光学ガラス成形体の製造
装置の一実施例の構成図、第３図は本発明の光学ガラス
素子の製造方法の一実施例の工程図、第４図は本発明の
光学ガラス素子の製造装置の一実施例の構成図、第５図
は本発明の光学ガラス素子の製造方法の他の実施例の工
程図、第６図は本発明の光学ガラス素子の製造装置の他
の実施例の構成図である。 ９……溶融ガラス、10……ガラス溶融炉、11……溶融炉
加熱ヒータ、12……ノズル、13……ノズル加熱ヒータ、
14……ガラスゴブ、15……加熱ヒータ、16……加熱手
段、17……ガス入口、18……熱加工治具、20……ガラス
保持治具、21……ガラス成形体、23……プレス成形用下
金型、24……プレス成形用上金型、25……プレスシリン
ダ、26……光学ガラス素子、27……コンベア、28……取
り出し口、30……薄膜。
例の工程図、第２図は本発明の光学ガラス成形体の製造
装置の一実施例の構成図、第３図は本発明の光学ガラス
素子の製造方法の一実施例の工程図、第４図は本発明の
光学ガラス素子の製造装置の一実施例の構成図、第５図
は本発明の光学ガラス素子の製造方法の他の実施例の工
程図、第６図は本発明の光学ガラス素子の製造装置の他
の実施例の構成図である。 ９……溶融ガラス、10……ガラス溶融炉、11……溶融炉
加熱ヒータ、12……ノズル、13……ノズル加熱ヒータ、
14……ガラスゴブ、15……加熱ヒータ、16……加熱手
段、17……ガス入口、18……熱加工治具、20……ガラス
保持治具、21……ガラス成形体、23……プレス成形用下
金型、24……プレス成形用上金型、25……プレスシリン
ダ、26……光学ガラス素子、27……コンベア、28……取
り出し口、30……薄膜。
フロントページの続き (72)発明者 春原 正明 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 川田 紀行 東京都千代田区神田須田町１丁目28番地 株式会社住田光学ガラス内 (56)参考文献 特開 平２−225324（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C03B 11/00,11/08,40/02
Claims (7)
- 【請求項１】熱加工治具で溶融ガラスを受けて、ガラス
の表面張力によりできた自由面と前記熱加工治具に接し
てできた接触面をもつガラスコブを作製し、前記自由面
は前記ガラスの軟化点以下の温度に保ち形状を維持さ
せ、前記接触面は前記軟化点以上の温度に加熱し前記ガ
ラスの表面張力により変形させ光学ガラス成形体を作製
することを特徴とする光学ガラス成形体の製造方法。 - 【請求項２】熱加工治具で溶融ガラスを受けて、ガラス
の表面張力によりできた自由面と前記熱加工治具に接し
てできた接触面をもつガラスコブを作製し、前記自由面
は前記ガラスの軟化点以下の温度に保ち形状を維持さ
せ、前記接触面は前記軟化点以上の温度に加熱し前記ガ
ラスの表面張力により変形させ光学ガラス成形体を作製
する工程、前記光学ガラス成形体を一対のプレス成形用
金型で加熱加圧成形する工程を含むことを特徴とする光
学ガラス素子の製造方法。 - 【請求項３】熱加工治具で溶融ガラスを受けて、ガラス
の表面張力によりできた自由面と前記熱加工治具に接し
てできた接触面をもつガラスコブを作製する手段と、前
記ガラスコブをガラス保持治具に載置し前記自由面は前
記ガラスの軟化点以下の温度に保ち形状を維持させ、前
記接触面は前記軟化点以上の温度に加熱し前記ガラスの
表面張力により変形させ光学ガラス成形体を作製する手
段と、前記光学ガラス成形体を一対のプレス成形用金型
で加熱加圧成形する手段とを少なくとも備えた光学ガラ
ス素子の製造装置。 - 【請求項４】熱加工治具で溶融ガラスを受けて、ガラス
の表面張力によりできた自由面と前記熱加工治具に接し
てできた接触面をもつガラスコブを作製する手段と、前
記ガラスコブを一対のプレス成形金型のプレス成形用下
金型に前記ガラスコブの前記自由面が接するように載置
し、前記ガラスコブをプレス成形用下金型に載置した状
態で前記自由面は前記ガラスの軟化点以下の温度に保ち
形状を維持させ、前記接触面は前記軟化点以上の温度に
加熱し前記ガラスの表面張力により変形させ光学ガラス
成形体を作製する手段と、前記光学ガラス成形体を前記
一対のプレス成形用金型で加熱加圧成形する手段とを少
なくとも備えた光学ガラス素子の製造装置。 - 【請求項５】熱加工治具が溶融ガラスと塗れ性が悪い材
質である事を特徴とする請求項３または４記載の光学ガ
ラス素子の製造装置。 - 【請求項６】一対のプレス成形用金型が、所望の形状及
び光学面に加工され、かつ溶融ガラスと塗れ性が良く化
学的に安定な薄膜で被覆された請求項３または４記載の
光学ガラス素子の製造装置。 - 【請求項７】薄膜が貴金属、タングステン、タンタル、
レニウム、ハフニウムの単体あるいはそれらの合金であ
る請求項６記載の光学ガラス素子の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2274004A JP2875621B2 (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 | 光学ガラス成形体の製造方法と光学ガラス素子の製造方法及び製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2274004A JP2875621B2 (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 | 光学ガラス成形体の製造方法と光学ガラス素子の製造方法及び製造装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04149032A JPH04149032A (ja) | 1992-05-22 |
| JP2875621B2 true JP2875621B2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=17535612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2274004A Expired - Lifetime JP2875621B2 (ja) | 1990-10-11 | 1990-10-11 | 光学ガラス成形体の製造方法と光学ガラス素子の製造方法及び製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2875621B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004279558A (ja) * | 2003-03-13 | 2004-10-07 | Rikogaku Shinkokai | 微小光学素子の作製方法 |
| JP4511221B2 (ja) * | 2004-03-12 | 2010-07-28 | Ｈｏｙａ株式会社 | 精密プレス成形用プリフォームの製造方法および光学素子の製造方法 |
| JP4932580B2 (ja) * | 2007-04-23 | 2012-05-16 | 株式会社オハラ | 光学素子の製造装置および光学素子の製造方法 |
-
1990
- 1990-10-11 JP JP2274004A patent/JP2875621B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04149032A (ja) | 1992-05-22 |
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