JP3199913B2 - 液晶電気光学装置およびその作製方法 - Google Patents
液晶電気光学装置およびその作製方法Info
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Description
した電極間の短絡を防止するための短絡防止膜およびそ
の作製方法に関する。
れている。液晶電気光学装置は、一対の基板を相対向
し、該基板のそれぞれの内側に電極または電極と薄膜ト
ランジスタ等のスイッチング素子を設け、基板間に液晶
材料を満たして液晶材料の光学応答特性を利用して表示
等を行うものである。
る基板は、それぞれ表面に電極を有し、その間隔は、T
N型の装置の場合5〜8μm、強誘電性液晶を用いた装
置の場合1〜4μm代表的には1.5μm程度と極めて
小さい。したがって、基板間に微小な不純物やゴミなど
が存在した場合に、それらにより上下の電極間に短絡が
発生し、表示の不良や欠陥等を引き起こすなど極めて大
きな支障を来すことが問題となっていた。
O2 )膜を1000Å程度に形成し、短絡防止膜として
いたが、ピンホールが発生しやすかった。また耐圧も1
000Å厚で5〜20V程度と低く、かつ非常にバラツ
キが大きく、短絡防止に対して充分な特性を有している
とは言い難かった。また比誘電率が2〜5と低いため、
液晶材料に加わる電界の損失も生じ、コントラスト等の
装置の特性を低下させていた。
学装置に適した、電極間の短絡を防止するための高性能
な短絡防止膜を提供することを目的とする。
に本発明は、透光性電極上に形成されている短絡防止膜
であって、該短絡防止膜は陽極酸化された酸化金属膜よ
りなることを特徴とする短絡防止膜である。
いる短絡防止膜であって、該短絡防止膜は非酸化部分が
残存している陽極酸化された酸化金属膜よりなることを
特徴とする短絡防止膜である。
いる短絡防止膜であって、該短絡防止膜は非酸化部分を
少なくとも前記電極に接している面内において有する陽
極酸化された酸化金属膜よりなることを特徴とする短絡
防止膜である。
いる短絡防止膜であって、該短絡防止膜は透光性領域と
非透光性領域とを少なくとも前記電極に接している面内
において有する陽極酸化された酸化金属膜よりなること
を特徴とする短絡防止膜である。またこの構成におい
て、非透光性領域は格子状に形成されていることを特徴
とするものである。
る液晶電気光学装置である。
上に形成されている短絡防止膜であって、該短絡防止膜
は陽極酸化された酸化金属膜よりなることを特徴とする
短絡防止膜である。
はアルミニウム、チタン、タンタル、タングステンより
選ばれた1つまたは複数の金属により主として構成され
ることを特徴とするものである。
成する工程と、前記電極を陽極として前記金属膜を陽極
酸化する工程とを有することを特徴とする短絡防止膜作
製方法である。
アクティブマトリクス型液晶電気光学装置の短絡防止膜
を作製するに際し、薄膜トランジスタと対向する透光性
電極上に金属膜を形成する工程と、前記電極を陽極とし
て前記金属膜を陽極酸化する工程とを有することを特徴
とする短絡防止膜作製方法である。
成する工程と、該金属膜上にマスクを形成する工程と、
前記電極を陽極として前記金属膜を陽極酸化する工程
と、前記マスクを除去する工程と、再び前記金属膜を陽
極酸化する工程とを有することを特徴とする短絡防止膜
作製方法である。またこの構成においてマスクは格子状
に形成することを特徴とするものである。
ステン等の金属膜を酒石酸等の弱酸を用いた陽極酸化法
にて酸化すると、透光性の極めて緻密な表面を有する酸
化膜(バリヤー型陽極酸化膜)を形成することができ
る。したがって問題となるようなピンホールはまず発生
しない。加えて、これら酸化金属膜は1000Å厚で6
0〜80Vと高い耐圧を安定して有する。またその表面
は十分な硬さを有する。したがってこれらの膜は特に液
晶電気光学装置の短絡防止に対して極めて優れた特性を
有する。
が、SiO2 の2〜5に比較して8〜9と極めて高い。
これにより短絡防止膜の存在による、液晶材料に印加さ
れる電界の損失を極めて小さくできる。したがって、液
晶材料に安定かつ十分な電界を印加することができ、表
示装置としては高いコントラストを有するものとするこ
とができる。
電極上に形成された金属膜自体に電流を流して陽極酸化
してもよいが、この場合酸化が進むにつれ膜自体の電気
抵抗が大きくなってしまうので、作製に時間がかかり、
膜全体が充分に酸化されないこともある。したがって透
光性が十分でなかったり、あるいは酸化にムラが生じた
りする。
リス型の液晶電気光学装置においては、薄膜トランジス
タに接続された画素電極に対向する対向電極は基板全面
に一枚の電極として形成されているため、この電極上に
金属膜を形成した後、電極に電流を流して陽極酸化を行
うことで、短時間に極めて良質な酸化を行うことができ
る。
てレジストを設けておくと、その部分は酸化されない。
したがって、レジストを設けて酸化を行った後、レジス
トを除去して更に酸化を行うことで、金属膜の表面は酸
化物となって透光性、絶縁性を有しながらも、電極に接
している側の内部には酸化されないため遮光性または反
射性を有する透光性でない部分を設けることができる。
これを利用して酸化金属膜の電極と接している面内に透
光性領域と非透光性領域を自由に形成でき、たとえば薄
膜トランジスタを有する液晶電気光学装置において、対
向電極の、薄膜トランジスタ、信号電極、走査電極に対
向する部分に非透光性領域を格子状に形成して、光スイ
ッチングが行われる画素領域のみを透光性領域として光
の漏れを無くすいわゆるブラックマトリクスをパターニ
ングすることもできる。従来はブラックマトリクスを作
製するには、クロムやカーボンの膜を成膜、パターニン
グしていたが、本発明においてはこれらの工程が不要と
なった。
化金属膜よりなる短絡防止膜は、液晶電気光学装置にお
いて、高い耐圧と硬い表面により短絡を発生を防ぎ、高
い誘電率によりコントラストを向上させ、さらに透光性
領域および非透光性領域を任意に形成してブラックマト
リクスの機能をも有せしめることができ、液晶電気光学
装置の性能と信頼性を大きく向上させることができる。
以下にその実施例を示す。
有する、強誘電性液晶を用いたアクティブマトリクス型
液晶電気光学装置を作製した。本実施例で作製した液晶
電気光学装置の断面図を図1に示す。
有する側の基板1上に、下地膜2、薄膜トランジスタ
3、層間絶縁膜4、画素電極5およびその他の電極を設
けた。また対向する基板として、基板6上に、下地膜
7、対向電極8、本発明の短絡防止膜9およびブラック
マトリクス10、さらに配向膜11を有し、両基板間に
液晶材料12を挟持している。
クティブ素子として薄膜トランジスタを有する側の基板
を作製した。基板1としてコーニング♯7059ガラス
基板(厚さ1.1mm、300×400mm)上に、下
地膜として酸化珪素膜2、複数の多結晶シリコン薄膜ト
ランジスタ3、酸化珪素よりなる層間絶縁膜4、ITO
(酸化インジュームスズ)膜よりなる画素電極5および
その他の電極をそれぞれ公知の方法で形成した。
図2に示す。基板6としてコーニング♯7059ガラス
基板上にスパッタ法により下地膜7となる酸化珪素膜を
200Åを形成し、同じくスパッタ法により対向電極8
としてITO膜を室温〜150℃ここでは室温で100
0Åの厚さに成膜し、200〜400℃ここでは350
℃の酸素または大気中ここでは酸素中のアニールにより
成就した。
ーム蒸着法、ここではスパッタ法によりアルミニウム膜
13を500〜2000Åここでは1000Å形成し、
図2(A)を得た。
トレジスト14を塗布し、画素電極に対してブラックマ
トリクスを形成するように格子状にパターニングした。
レジスト材料としてはシプレイ社製AZ1350、東レ
製フォトニュース等が使用できるが、ここではAZ13
50を用いた。
った。この陽極酸化は、酒石酸が1〜5%ここでは4%
含まれたエチレングリコール溶液中にて行った。これに
よりまず400Å程度の厚さまで酸化を行い、緻密な表
面を有する酸化アルミニウム15を形成した(図2
(B))。
化を行った。アルミニウム膜13のフォトレジストが形
成されていた部分においては、他の部分に比較して酸化
される厚さが小さくなるため、他の部分が全て酸化アル
ミニウムとなっても、この部分は表面側に酸化アルミニ
ウム部分、電極と接している側に酸化されていないアル
ミニウム部分を有せしめることができる。ここではこの
酸化されていないアルミニウム部分は約400Åの厚さ
とし、透光性を有さないブラックマトリクス10を形成
できた。それ以外の部分は全て酸化アルミニウムとなっ
て透光性、絶縁性となり、短絡防止膜9を形成できた
(図2(C))。
較して約1.5倍の厚さに膨らんでいた(図示せず)。
酸化アルミニウムの部分は十分に耐圧を得るためには2
00Å以上望ましくは600Å以上の厚さを有していれ
ばよい。ブラックマトリクスを形成しない場合は、フォ
トレジストを使用せず、一度にアルミニウム膜全体を陽
極酸化し、全面が透光性を有する短絡防止膜となった。
電極側でない方の表面をSEMにて観察したところ、レ
ジストを形成していた部分も含めて極めて緻密な酸化膜
となっていた。透過型光学顕微鏡で観察してもピンホー
ルは全く発見できなかった。このようにして酸化アルミ
ニウムよりなる短絡防止膜を形成できた。この短絡防止
膜は、耐圧60V(平均)、比誘電率は8.5を有して
いた。またこの基板の透光性領域の光透過率は74%、
非透光性領域すなわちブラックマトリクス部では1%以
下であった。
成するため、ポリイミドをスピンコート法で塗布し、2
80℃で焼成し、100Åの厚さとした。。ポリイミド
としては東レ製LP−64を用いた。この基板にラビン
グ処理を施して一軸配向処理とした(図2(D))。一
方薄膜トランジスタを形成した基板は配向処理せず片側
配向の液晶セルとした。
粒子である触媒化成製真絲球をスペーサーとして散布
し、他方の基板にエポキシ樹脂製のシール材をスクリー
ン印刷で形成した。またこの時一方の基板上に導電ペー
ストを滴下し、対向基板の電位をTFT側のグランド部
に接続する構造とした。両基板はスペーサーにより電極
間の距離を約1.5μmとして張り合わせ、セルを形成
した。
性液晶のチッソ製CS1014を用い、セルと液晶を1
00℃に加熱し、真空下で前述のセルに注入し、この後
5℃/hrで室温へ徐冷した。徐冷後の室温における配
向状態を偏光顕微鏡で観察すると良好な消光位を得、液
晶材料の配向はラビング方向にそって一軸配向となって
いることが確認できた。
ロゲンランプを光源とする偏光顕微鏡により、直交ニコ
ル下で液晶セルの透過光強度をフォトマルチプライヤー
にて検出した結果、暗0.2、明40、コントラスト比
200を得た。短絡防止膜に設けたブラックマトリクス
により走査電極部や信号電極部から光が漏れる事もなく
良好な液晶電気光学装置とすることができた。
の短絡による不良の発生は皆無であった。
を発生を防ぎ、装置の特性を向上させ、さらに透光性領
域および非透光性領域を任意に形成してブラックマトリ
クスの機能をも有せしめることができる短絡防止膜を得
ることができ、液晶電気光学装置の性能と信頼性を大き
く向上させる、極めて優れた短絡防止膜とすることがで
きた。またブラックマトリクスの作製においては作製工
程を簡略化できた。
ブマトリクス型液晶電気光学装置の他、単純マトリクス
型、さらにこれらの反射型の装置においても極めて有効
なものであり、透光性を有さない電極上においても良好
な特性を有する。また使用する液晶材料の種類は問わな
い。
装置の断面図を示す。
作製工程を示す。
Claims (11)
- 【請求項1】 対向する基板に挟持された液晶と、 前記液晶と薄膜トランジスタから構成される複数の画素
とを有する液晶電気光学装置において、 前記基板上に前記複数の画素にわたって形成された透光
性電極と、 前記透光性電極を覆う金属酸化膜と、 前記金属酸化膜に含まれ前記薄膜トランジスタ上に設け
られた前記金属酸化膜と同じ元素を有する金属膜とを有
することを特徴とする液晶電気光学装置。 - 【請求項2】 対向する基板に挟持された液晶と、 前記液晶と薄膜トランジスタから構成される複数の画素
とを有する液晶電気光学装置において、 前記一方の基板上に形成された前記薄膜トランジスタ
と、 前記他方の基板上に前記複数の画素にわたって形成され
た透光性電極と、 前記透光性電極を覆う金属酸化膜と、 前記金属酸化膜に含まれ前記薄膜トランジスタ上に設け
られた前記金属酸化膜と同じ元素を有する金属膜とを有
することを特徴とする液晶電気光学装置。 - 【請求項3】 前記金属膜は遮光していることを特徴と
する請求項1または2に記載の液晶表示装置。 - 【請求項4】 前記金属酸化膜は短絡防止であることを
特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載の液晶電
気光学装置。 - 【請求項5】 前記金属膜を構成する元素はアルミニウ
ム、チタン、タンタルまたはタングステンを有すること
を特徴とする請求項1乃至4のいずれか一に記載の液晶
電気光学装置。 - 【請求項6】 前記液晶表示装置はアクティブマトリク
ス型であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか
一に記載の液晶電気光学装置。 - 【請求項7】 基板上に透光性電極を形成し、 前記透光性電極上に金属膜を形成し、 前記金属膜上にマスクを形成し、 前記電極に電圧をかけ、前記金属膜の陽極酸化膜を形成
し、 前記マスクを除去し、 前記電極に電圧をかけ、前記金属膜の陽極酸化膜を形成
することを特徴とする液晶電気光学装置の作製方法。 - 【請求項8】 基板上に下地膜を形成し、 前記下地膜上に透光性電極を形成し、 前記透光性電極上に金属膜を形成し、 前記金属膜上にマスクを形成し、 前記電極に電圧をかけ、前記金属膜の陽極酸化膜を形成
し、 前記マスクを除去し、 前記電極に電圧をかけ、前記金属膜の陽極酸化膜を形成
することを特徴とする液晶電気光学装置の作製方法。 - 【請求項9】 前記金属膜はアルミニウム、チタン、タ
ンタルまたはタングステンを有することを特徴とする請
求項7または8に記載の液晶電気光学装置の作製方法。 - 【請求項10】 前記マスクは格子状に形成することを
特徴とする請求項7乃至9のいずれか一に記載の液晶電
気光学装置の作製方法。 - 【請求項11】 前記液晶電気光学装置はアクティブマ
トリクス型であり、前記基板は薄膜トランジスタと対向
する基板であることを特徴とする請求項7乃至10のい
ずれか一に記載の液晶電気光学装置の作製方法。
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