JP3187569B2

JP3187569B2 - 感光性樹脂組成物及びこれを用いたｐｓ版

Info

Publication number: JP3187569B2
Application number: JP32479992A
Authority: JP
Inventors: 博司駒野; 武岩井; 勝行大田; 俊身青山
Original assignee: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Current assignee: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Priority date: 1992-11-10
Filing date: 1992-11-10
Publication date: 2001-07-11
Anticipated expiration: 2016-07-11
Also published as: JPH06148885A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、アルゴンイオンレーザ
ー等の可視光により硬化可能な、高感度の感光性樹脂組
成物及びこれを用いたＰＳ版に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、コンピュータ等電子デバイス技術
の発達により、印刷業の分野でもＦＡ化が進み、原稿や
画像データの入力、編集、校正から製版までが一括して
行えるようになった。上記製版においては、レーザービ
ームを用いて直接描画する方法が採用され、このレーザ
ービームとしては可視領域の範囲にある４８８ｎｍの波
長を持つアルゴンイオンレーザーが好適に用いられてい
る。このため、可視光線に対して感光性を有する樹脂組
成物の開発が望まれ、例えば特開昭６３−２６０９０９
号、特開平１−１０５２３８号、特開平１−２０３４１
３号、特開平１−２０３４１４号、特開平２−１７１４
号、特開平２−７３８１３号、特開平２−１２７４０４
号、特開平３−２３９７０３号の各公報に記載されるよ
うに種々提案されている。

【０００３】上記技術のうち、特開昭６３−２６０９０
９号、特開平１−１０５２３８号、特開平１−２０３４
１３号、特開平１−２０３４１４号、特開平２−１７１
４号、特開平２−７３８１３号の各公報はいずれも光重
合開始剤としてアクリジン及びトリハロメチル基含有ト
リアジンを使用している。また、特開平２−１２７４０
４号及び特開平３−２３９７０３号公報では上記光重合
開始剤に加えてメタロセン化合物を使用している。

【０００４】一方、平版印刷版に使用するに好適なＰＳ
版（Pre-Sensitized Plate）については、図１に示すよ
うに粗面化したアルミニウム基板１上を陽極酸化処理し
て酸化被膜２を形成し、この表面を親水化した後、感光
性樹脂組成物を塗布して感光性樹脂層３を形成する技術
が知られている。また、必要に応じてこの上に酸素の遮
断を目的としたオーバーコート層４を設けることもあ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述のＰＳ版等は、エ
ネルギーの高い紫外線等によって露光する場合には、原
版フィルムを使用する必要があるため、このフィルム自
身の精度の問題、及びフィルムと感光性樹脂層との密着
不全による精度不良の問題等があった。一方、レーザー
光を用いる場合には原版フィルムは使用せず直接スキャ
ニングを行うため上記の問題は発生しない。しかし、高
エネルギーを有する低波長レーザーは寿命が短いため実
用上問題がある。また比較的長波長のアルゴンイオンレ
ーザー等はエネルギーが低いため高感度の感光性樹脂組
成物を使用する必要があり、このような感光性樹脂組成
物の出現が望まれていた。

【０００６】しかし、上述の各公報に記載のアクリジン
及びトリハロメチル基含有トリアジンを用いる技術では
アルゴンイオンレーザーに対する感度が不十分であり、
露光時間の長大化、硬化不良による精度低下等の問題は
未解決のままであった。また、特開平２−１２７４０４
号公報に記載のメタロセン化合物を併用する技術につい
ても、感度、密着性、現像性、パターン形状の全てを満
足するものではなかった。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
め本発明の感光性樹脂組成物は、高分子バインダー、多
官能モノマー及び光重合開始剤を含有する感光性樹脂組
成物であって、光重合開始剤としてチタノセン化合物並
びに下記（化１）、（化２）及び／又は（化３）に記載
のトリアジン化合物（但し、Ｒ¹、Ｒ²は夫々独立して水
素原子又はメチル基を表し、Ｒ³は炭素数１乃至３のア
ルキル基を表す。）を使用する。また前記光重合開始剤
として、更にアクリジン化合物を併用してもよい。

【０００８】

【化１】

【化２】

【化３】

【０００９】また本発明のＰＳ版は、機械的研磨及び電
解研磨により粗面化され、更に陽極酸化被膜処理及びこ
れに続く親水化処理を施されたアルミニウム基板上に感
光性樹脂層が形成されているＰＳ版であって、感光性樹
脂層として上記本発明の感光性樹脂組成物を塗布して形
成する。この感光性樹脂層の上には、更にポリビニルア
ルコールを主成分とする酸素遮断用のオーバーコート層
を設けることが好ましい。

【００１０】本発明の感光性樹脂組成物は、光重合開始
剤として（化１）、（化２）及び／又は（化３）に記載
の特殊なトリハロメチル基含有トリアジン化合物を用
い、且つチタノセン化合物を併用することによって可視
光に対する感度を改良し、アルゴンイオンレーザーによ
る硬化を十分可能としたものである。またこの組成物を
用いたＰＳ版はアルゴンイオンレーザーを用いて焼き付
けを行えるため、原版フィルムが不要である。従って焼
き付け精度がよく、また製版工程数を減らすことができ
る。

【００１１】本発明の感光性樹脂組成物に使用する高分
子バインダーは、ｐ−ヒドロキシフェニル（メタ）アク
リレート等の芳香族水酸基を有するモノマー、２−ヒド
ロキシエチル（メタ）アクリレート等の脂肪族水酸基を
有するモノマー、（置換）アルキル（メタ）アクリレー
ト類、（メタ）アクリルアミド類、ビニルエーテル類、
ビニルエステル類、ビニルケトン類、スチレン等のアル
キレン基置換芳香族類、オレフィン類、（メタ）アクリ
ロニトリル類、或いはアクリル酸等の不飽和二重結合を
有するモノマーの一種又は数種を重合又は共重合させた
ものである。

【００１２】上記モノマーにカルボン酸等の有機酸を付
加させることによってアルカリ現像可能なバインダーと
することができる。この場合、形成される高分子バイン
ダーの酸価は１００〜１５０が好ましく、平均分子量は
１０，０００〜２０，０００が好ましい。また高分子バ
インダーが水酸基又はカルボン酸基を有する場合は、グ
リシジル（メタ）アクリレート等で修飾して、更に不飽
和二重結合を付加させてもよい。

【００１３】上記高分子バインダーとして特に好ましい
モノマーの組み合わせとしては、メタクリル酸／メチル
メタクリレート／ベンジルメタクリレート／ヒドロキシ
フェニルメタクリレートの組み合わせ、メタクリル酸／
メチルメタクリレート／スチレン／ヒドロキシフェニル
メタクリレートの組み合わせ等が挙げられる。

【００１４】また架橋剤としての多官能モノマーとして
は、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリ
コールジメタクリレート、トリエチレングリコールジア
クリレート、トリエチレングリコールジメタクリレー
ト、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラ
エチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリ
コールジアクリレート、プロピレングリコールジメタク
リレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、
トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエ
リスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトール
トリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアク
リレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレー
ト、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペ
ンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエ
リスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリト
ールヘキサメタクリレート、カルドエポキシジアクリレ
ート等が用いられる。

【００１５】本発明の光重合開始剤としては前記の通り
チタノセン化合物並びに（化１）、（化２）及び／又は
（化３）のトリアジン化合物が用いられる。チタノセン
化合物は可視光域での感光性を高分子バインダーに付与
することができるものであり、例えば特開平２−１２７
４０４号、同３−２７３９３号及び同３−２３９７０３
号の各公報に記載の、下記（化４）化合物（但し、Ｒ⁴
及びＲ⁵は置換されていてもよい同種又は異種のシクロ
ペンタジエニル基を表わし、Ｒ⁶及びＲ⁷は置換されてい
てもよい同種又は異種のフェニル基を表わす。）を使用
することができる。このチタノセン化合物は感光性樹脂
組成物の固形分に対して１０〜３０重量％、好ましくは
１２〜２０重量％使用する。この使用量が１０重量％未
満では可視光域での感度が十分に上がらないことがあ
り、一方、３０重量％を超えるとレジストパターンの強
度低下が現われることがある。

【００１６】

【化４】

【００１７】また本発明のトリアジン化合物は、従来使
用されてきたビストリハロメチルトリアジン、或いはト
リストリハロメチルトリアジン等と比較してピペロニル
基及び／又は置換スチリル基を含有する等の構造的及び
物性的な特徴があり、このため感光性樹脂組成物の感度
をチタノセン化合物単独添加の場合に比較して１０倍程
度引き上げることが可能である。これら（化１）〜（化
３）のトリアジン化合物は単独又は混合して、感光性樹
脂組成物の固形分に対して０．１〜１５重量％、好まし
くは０．５〜５重量％使用する。この使用量が０．１重
量％未満では感度の向上が認められないことがある。ま
た、１５重量％を超えると現像残渣の発生或いは溶解不
良による異物発生等の問題が生ずることがある。なお、
上記トリアジン化合物に加えて従来公知のトリハロメチ
ルトリアジン化合物を、その総量がトリアジン化合物全
量の５０重量％を超えない範囲で添加してもよい。

【００１８】本発明においては、空気中での酸化による
感光性樹脂組成物の感度の低下を抑えるために、アクリ
ジン化合物を用いることが好ましい。このようなアクリ
ジン化合物としては、例えば９−フェニルアクリジン、
９−（４−置換）フェニルアクリジン、９−置換アミノ
アクリジン、１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタ
ン、１，５−ビス（９−アクリジニル）ペンタン、１，
３−ビス（９−アクリジニル）プロパンが挙げられる。
アクリジン化合物は感光性樹脂組成物の固形分に対して
０．１〜１０重量％、好ましくは０．５〜５重量％使用
する。この使用量が０．１重量％未満では酸素による感
度低下を防止する対策が十分発揮できないことがある。
また、１０重量％を超えると現像速度の急激な低下や、
残渣が残る等の問題が生ずることがある。

【００１９】本発明の感光性樹脂組成物は、上記成分の
他に感度をさらに上昇させるための増感剤としてクマリ
ン化合物を用いることが好ましい。このクマリン化合物
としては（化８）、（化９）に示す化合物或いは三井東
圧染料（株）製のＬＳ−１５７、ＬＳ−１５３、ＬＳ−
１５８等の化合物が好適であるが、これらに限定される
ものではない。クマリン化合物は４８８ｎｍにおける感
光性樹脂組成物の吸光度が０．１〜１．５、好ましくは
０．３〜０．８の範囲になるように配合される。この吸
光度が０．１未満或いは０．８を超えると、共に感度の
減少がみられることがある。

【００２０】

【化８】

【化９】

【００２１】上述の感光性樹脂組成物を用いてアルゴン
イオンレーザー用レジストを作製するには、先ず、公知
の有機溶剤である例えばメチルエチルケトン、トルエ
ン、エチレングリコールモノメチルエーテル、２−メト
キシエタノール等で感光性樹脂組成物を固形分濃度５〜
２０重量％程度に希釈する。そしてこの液をアルミニウ
ム等の基板上、或いはドライフィルムレジストを作製す
る場合にはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィ
ルム上に乾燥膜厚１〜４ｇ／ｍ²となるように塗布し、
常温で送風・乾燥して感光性樹脂層とする。

【００２２】上記感光性樹脂層の上には、更にポリビニ
ルアルコール（ＰＶＡ）を主成分とする酸素遮断用のオ
ーバーコート層を設けることが好ましい。このＰＶＡ
は、平均分子量３００〜１０００、ケン化率（アセチル
基の加水分解率）７０〜９０％のものが好ましく、塗布
性を考慮して固形分濃度５〜２０重量％に水で希釈して
使用する。その際、ＰＶＡとほぼ同量のＳiＯ₂パウダ
ー、及び適量の例えばノニルフェニルエチレンオキシド
付加物等の界面活性剤を添加することが好ましい。ま
た、このオーバーコート層は乾燥膜厚１〜２μmとする
ことが好ましい。

【００２３】このようにして完成したアルゴンイオンレ
ーザー用レジストは、Ｏ．５〜３ｍＷ（１〜３ｍＪ／ｃ
ｍ²）のアルゴンイオンレーザー光（波長４８８ｎｍ）
で感度よく露光することができる。この場合のホールド
時間（保持時間）は３０分〜１時間程度が好ましい。レ
ーザーを用いた露光は、制御装置からの指示によってス
キャニングしながらレーザー光を微細なノズルから発す
るものであって、原版フィルムを使用する従来の紫外線
照射法に比較して遥かに正確な露光を行うことができ、
しかも操作を簡略化することができる利点もある。露光
後には、例えば希Ｎa₂ＣＯ₃水溶液を用いて常温で１分
前後ブラッシングすることによって現像を行う。上記ア
ルゴンイオンレーザー用レジストはＰＳ版、凸版印刷
版、凹版印刷版、プリント配線板等のエッチングレジス
トとして使用するのに好適である。

【００２４】本発明のＰＳ版は上述のレジスト作製の方
法に従って作製されるものである。使用されるアルミニ
ウム基板又はその合金板としてはJIS A-1050材、JIS A-
1100材、JIS A-3003材、JIS A-3103材、JIS A-5005材等
が挙げられる。これらのアルミニウム基板は、機械的粗
面化処理されるに先だって、必要に応じて表面の圧延油
を除去するため、又は、清浄なアルミニウム面を表出さ
せるために、前処理が行われてもよい。前者のために
は、トリクロロエチレン等の溶剤、界面活性剤、或いは
ケイ酸ソーダ類が、また、後者のためには、水酸化ナト
リウム、水酸化カリウム等のアルカリエッチングが広く
用いられる。

【００２５】上記前処理に引き続き機械的研磨を行な
う。アルミニウム基板の表面を機械的に粗面化する方法
としては、従来公知の種々の方法を使用することができ
る。例えば、サンド・ブラスト、ボールグレイン、ワイ
ヤーグレイン、ブラシグレインなどの方法が含まれ、こ
れらの内でも、特にブラシグレインが好ましい。ブラシ
グレイン方法の詳細については、特公昭51-46003号公報
（又は米国特許第3,891,516号明細書) 及び特公昭50-40
047号公報に記載されている。機械的な粗面化は、本発
明の方法により得られるＰＳ版用支持体の中心線平均粗
さＲaが0.2〜1.0μmとなるように施されることが好まし
い。この機械的粗面化によってアルミニウム基板の表面
には、比較的周期の大きな起伏（第１次構造）と、この
起伏上全面に渡って微小な尖った凹凸（第２次構造）と
が形成される。

【００２６】上記によって機械的に粗面化されたアルミ
ニウム基板の表面を、次は化学的にエッチングする。こ
の化学的エッチング処理は機械的粗面化されたアルミニ
ウム基板の表面に食い込んだ研磨剤、アルミニウム屑な
どを取り除き、また上記の微小な尖った凹凸を取り除く
作用を有し、その後に施される電気化学的な粗面化をよ
り均一に、しかも効果的に達成させることができる。こ
のような化学的エッチング方法の詳細は、米国特許第3,
834,998号明細書に記されており、アルミニウムを溶解
し得る酸又は塩基の水溶液へ浸漬する方法である。上記
の酸としては、例えば硫酸、過硫酸、塩酸などが含ま
れ、上記の塩基としては、水酸化ナトリウム、水酸化カ
リウム、第三燐酸ナトリウム、第二燐酸ナトリウム、第
三燐酸カリウム、第二燐酸カリウム、アルミン酸ナトリ
ウム、炭酸ナトリウムなどが含まれる。これらの内でも
特に後者の塩基の水溶液を使用する方がエッチング速度
が早いので好ましい。上記化学的エッチングを、塩基の
水溶液を用いて行なった場合には、一般にアルミニウム
の表面にスマットが生成するので、この場合には、燐
酸、硝酸、硫酸、クロム酸又はこれらの内の２以上の酸
を含む混酸で処理する、所謂デスマット処理を施すこと
が好ましい。

【００２７】以上のように処理されたアルミニウム基板
を、次に酸性電解液中で電気化学的に粗面化する。この
酸性電解液とは、硝酸、塩酸又は硝酸と塩酸との混合
物、及び、これらの酸と有機酸、硫酸、リン酸等の他の
酸を混合したものの水溶液であり、これらの電解浴に
は、更に腐食抑制剤（又は安定剤）等を含有させておく
ことができる。本発明の方法による電気化学的な粗面化
は、バッチ処理、半連続法、連続法のいずれでも実施す
ることが可能である。

【００２８】上記電解粗面化終了後、アルミニウム基板
を再度塩基で化学エッチングする。このエッチングは前
記の塩基の水溶液へ浸漬する方法と同様であり、前記の
水酸化ナトリウム等の塩基が使用される。この塩基によ
る化学エッチングの後、リン酸、硝酸、硫酸、クロム酸
等でデスマット処理することが好ましい。

【００２９】以上のように処理したアルミニウム基板を
次に陽極酸化処理する。この陽極酸化処理は周知の方法
にしたがって行うことができる。例えば、硫酸、燐酸、
シュウ酸、クロム酸、アミドスルホン酸又はこれらの二
種以上の混合物、或いはこれらにＡl³⁺イオンを含有す
る水溶液或いは非水溶液などを電解液とし、主として直
流を用いて陽極酸化処理するが、交流又はこれらの電流
の組み合わせを使用することもできる。

【００３０】以上のように陽極酸化したアルミニウム基
板は、更に米国特許第2,714,066号及び米国特許第3,18
1,461号の各明細書に記載されているようにアルカリ金
属シリケート、例えば珪酸ナトリウムの水溶液に浸漬す
るなどの方法により親水化処理することができる。上記
シリケート処理に続いて更にホスホン酸で親水化処理す
ることも好ましい。また、特開昭59-101651号公報に記
載されているスルホン酸基を有するモノマー単位を含む
高分子化合物から成る下塗り層や、特開昭60-149491号
公報に記載されている、ＮＨ₄基、ＣＯＯＨ基、ＳＯ₃Ｈ
基を有する化合物からなる下塗り層なども用いることが
できる。

【００３１】このようにして得られたＰＳ版用支持体の
上には、本発明の感光性樹脂組成物による感光性樹脂層
を設けてＰＳ版を得ることができる。この感光性樹脂層
を塗布するには、例えばバーコーター、ホイラー等を用
いる。そして、例えば８０℃前後で４〜８分乾燥する。
このときの乾燥膜厚は１〜１０ｇ／ｍ²、好ましくは２
〜４ｇ／ｍ²である。この乾燥膜厚が１ｇ／ｍ²未満では
耐刷不良、着肉不良等の問題が生ずることがあり、一方
４ｇ／ｍ²を超えると実用感度が得られない等の問題が
生ずることがある。

【００３２】次に、感光性樹脂層の上に、前記ポリビニ
ルアルコール（ＰＶＡ）を主成分とする酸素遮断用のオ
ーバーコート層を設ける。このオーバーコート層も例え
ばローラーコーーター、ホイラー等を用いて、例えば８
０℃前後で１〜３分乾燥する。こうして本発明のＰＳ版
が完成する。

【００３３】

【作用】本発明によれば、光重合開始剤として特殊なト
リアジン化合物とチタノセン化合物とを組み合わせるこ
とにより、エネルギーの低いアルゴンイオンレーザー光
に対して十分な感度を有する感光性樹脂組成物を形成す
ることができる。また、この感光性樹脂組成物を用いて
作製したＰＳ版は、アルゴンイオンレーザー光によって
製版することができるため、精密な像を得ることがで
き、また、製版工程数を減らすことができる。

【００３４】

【実施例】以下に本発明に基づく実施例及び比較例を説
明する。実施例１ 0.3mm厚のアルミニウム基板（JIS A-1050材）を10％Ｎ
ａＯＨ水溶液中に50℃で20秒間浸漬して脱脂を行った後
水洗し、次いで25％Ｈ₂ＳＯ₄水溶液で30秒間中和して水
洗した。次いでナイロンブラシと400メッシュのパーミ
ストン水懸濁液を用いてこのアルミニウム基板の表面を
ブラシ研磨し、その後よく水洗した。更に70℃の20％Ｎ
ａＯＨ水溶液を用いて、アルミニウムの溶解量が１０ｇ
／ｍ²になるようにアルカリエッチングした。

【００３５】その後水洗し、25％硝酸水溶液でデスマッ
トしてから水洗した。このようにして処理したアルミニ
ウム基板を電解粗面化を行なった。使用した電解液は、
硝酸を15g/l含み、液温は50℃であった。更に電解粗面
化に続いて70℃の1％ＮａＯＨ水溶液を用いてＡlの溶解
量が1ｇ／ｍ²になるようにアルカリエッチングし、10％
Ｈ₂ＳＯ₄水溶液で50℃で2分間浸漬してデスマット処理
した後、同じく10％Ｈ₂ＳＯ₄水溶液中で陽極酸化処理を
行って、２．５ｇ／ｍ² の酸化皮膜を設けた。このよう
にして作製した支持体を2.5％珪酸ソーダ水溶液に80℃
で１分間浸漬し、ＰＳ版用支持体を用意した。

【００３６】一方、感光性樹脂組成物として高分子バインダーメチルメタクリレート／メタクリル酸／ヒドロキシフェニルメタクリレート／ベンジルメタクリレート＝５０／２０／１０／２０１００重量部多官能アクリル化合物トリメチロールプロパントリアクリレート５５〃光重合開始剤・チタノセン化合物下記（化５）記載の化合物２５〃・トリアジン化合物トリアジンＰ（PANCHIM社製）７〃・９−フェニルアクリジン３〃増感剤クマリン２〃溶剤メチルエチルケトン／トルエン＝７／２１６０〃を調製した。

【００３７】

【化５】

【００３８】前記支持体上に上記感光性樹脂組成物を、
乾燥膜厚が３．５ｇ／ｍ²となるように塗布し、乾燥
後、酸素遮断膜のためと定在波による悪影響を防止する
ために、ＰＶＡとＳiＯ₂パウダーとの水溶液（ＰＶＡ／
ＳiＯ₂／水＝７／７／８６；重量比）を乾燥膜厚が１．
５ｇ／ｍ²となるように塗布した。こうして得られたＰ
Ｓ版に１ｍＪ／ｃｍ²強度のアルゴンイオンレーザーを
走査露光してパターンを描いた。露光後２６℃のＮa₂Ｃ
Ｏ₃０．５％溶液に３分間浸漬して印刷パターンを得
た。このパターンは現像液による膜減りも少なく、未露
光部のレジスト残渣のない良好なものであった。そして
最後に、アラビアゴムでガム引きした後、メタルハライ
ドランプで１Ｊ／ｍ²後露光し印刷版を完成した。

【００３９】実施例２実施例１において、感光性樹脂組成物調製の際のトリア
ジンＰに代えてトリアジンＰＥＳ（PANCHIM社製）７重
量部を用いた以外は実施例１と同様にしてＰＳ板を得
た。このＰＳ板に２．５ｍＪ／ｃｍ²のアルゴンイオン
レーザーを走査露光して現像を行ったところ、実施例１
と同様の良好な印刷パターンが得られた。

【００４０】実施例３実施例１において、感光性樹脂組成物調製の際のチタノ
セン化合物の量を１０重量部に代えた以外は実施例１と
同様にしてＰＳ板を得た。このＰＳ板にアルゴンイオン
レーザーを１２ｍＪ／ｃｍ²走査露光して現像を行った
ところ、露光部の膜減りは若干あったが、部分的な欠け
や剥がれ等は確認できなかった。チタノセン化合物量を
本例よりも減少させた場合には、本発明の効果は得られ
なくなるものと思われる。

【００４１】比較例実施例１において、感光性樹脂組成物調製の際のトリア
ジンＰ７重量部に代えて２,４-ビス-トリクロロメチル-
６-(４-スチリルフェニル)-S-トリアジン７重量部を用
いた以外は実施例１と同様にしてＰＳ板を得た。このＰ
Ｓ板にアルゴンイオンレーザーを３．５ｍＪ／ｃｍ²走
査露光して現像を行ったが、露光部の膜減りが大きく、
また一部に欠け、剥がれが見られた。また未露光部の一
部にレジスト残渣が見られた。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように本発明の感光性樹脂
組成物は、光重合開始剤として（化１）、（化２）及び
／又は（化３）に記載の特殊なトリハロメチル基含有ト
リアジン化合物を用い、且つチタノセン化合物を併用し
たため、エネルギーの低い可視光域のアルゴンイオンレ
ーザー光に対しても十分な感度を有する感光性樹脂組成
物を形成することができる。また、この感光性樹脂組成
物を用いて作製したＰＳ版は、アルゴンイオンレーザー
光によって製版することができるため、原版フィルムが
不要である。従って焼き付け精度がよく、また製版工程
数を減らすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】ＰＳ版の構成を示す模式図

【符号の説明】

１…アルミニウム基板、２…酸化被膜、３…感光性樹脂
層、４…オーバーコート層。

【化６】

【化７】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩＧ０３Ｆ 7/11 ５０１Ｇ０３Ｆ 7/11 ５０１ (72)発明者青山俊身神奈川県川崎市中原区中丸子150番地東京応化工業株式会社内 (56)参考文献特開昭63−258903（ＪＰ，Ａ) 特開平２−127404（ＪＰ，Ａ) 特開平４−261554（ＪＰ，Ａ) 特開平４−219756（ＪＰ，Ａ) 特開昭60−105667（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/029 G03F 7/00 503 G03F 7/004 G03F 7/027 G03F 7/11 501 B41N 3/03

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】高分子バインダー、多官能モノマー及び
光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物において、前
記光重合開始剤としてチタノセン化合物、アクリジン化
合物並びに下記（化１）、（化２）及び／又は（化３）
に記載のトリアジン化合物（但し、Ｒ¹、Ｒ²は夫々独立
して水素原子又はメチル基を表し、Ｒ³は炭素数１乃至
３のアルキル基を表す。）を含むことを特徴とする感光
性樹脂組成物。【化１】【化２】【化３】
【請求項２】機械的研磨及び電解研磨により粗面化さ
れ、更に陽極酸化被膜処理及び親水化処理を施されたア
ルミニウム基板上に、感光性樹脂層が形成されているＰ
Ｓ版において、前記感光性樹脂層は請求項１に記載の感
光性樹脂組成物からなるものであることを特徴とするＰ
Ｓ版。
【請求項３】前記感光性樹脂層の上に、更にポリビニ
ルアルコールを主成分とするオーバーコート層が設けら
れていることを特徴とする請求項２に記載のＰＳ版。