JP3173534B2 - オンライン厚さ計の補正演算方法 - Google Patents
オンライン厚さ計の補正演算方法Info
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- JP3173534B2 JP3173534B2 JP05073993A JP5073993A JP3173534B2 JP 3173534 B2 JP3173534 B2 JP 3173534B2 JP 05073993 A JP05073993 A JP 05073993A JP 5073993 A JP5073993 A JP 5073993A JP 3173534 B2 JP3173534 B2 JP 3173534B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，シート状物体の厚さを
非接触で正確に測定することができるオンライン厚さ計
の補正演算方法に関するものである。
非接触で正確に測定することができるオンライン厚さ計
の補正演算方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２はシート状物体の厚さをオンライン
で測定するための一般的構成図である。図において，２
１及び２２は垂直フレーム，２３及び２４は水平フレー
ムで，これらでＯ形フレーム２５が構成されている。２
６は紙やプラスチックのフィルム等のシート，２８は下
側の水平フレーム２４に設けられ，β線やＸ線又は赤外
線等を発生する線源部２９と，シート２６を介して上側
の水平フレーム２３に設けられ，線源部２９からのβ線
を検出する検出部３０とからなっている。
で測定するための一般的構成図である。図において，２
１及び２２は垂直フレーム，２３及び２４は水平フレー
ムで，これらでＯ形フレーム２５が構成されている。２
６は紙やプラスチックのフィルム等のシート，２８は下
側の水平フレーム２４に設けられ，β線やＸ線又は赤外
線等を発生する線源部２９と，シート２６を介して上側
の水平フレーム２３に設けられ，線源部２９からのβ線
を検出する検出部３０とからなっている。
【０００３】３１はヘッド２８を駆動して，水平フレー
ム２３，２４上を往復走行させるモータ，３２はモータ
３１へ駆動電流を供給する駆動回路である。３３はモー
タ３１が所定角度回転する毎に１パルス出力するエンコ
ーダ，３４は水平フレーム２４の略中央部に設けられた
初期化スイッチ，３５は各種演算制御を行う制御部，５
０は検出部３０の出力に基づいてシートの厚さを演算す
る演算処理部であり，この演算処理部５０は制御部３５
内に組み込まれている場合もある。
ム２３，２４上を往復走行させるモータ，３２はモータ
３１へ駆動電流を供給する駆動回路である。３３はモー
タ３１が所定角度回転する毎に１パルス出力するエンコ
ーダ，３４は水平フレーム２４の略中央部に設けられた
初期化スイッチ，３５は各種演算制御を行う制御部，５
０は検出部３０の出力に基づいてシートの厚さを演算す
る演算処理部であり，この演算処理部５０は制御部３５
内に組み込まれている場合もある。
【０００４】上記の構成において，ヘッド２８は装置が
稼働しているときは，装置の向かって左側（ＢＫ）端部
（校正点Ｋ）に退避している。そして測定が開始される
と，まず，ヘッド２８は左側（ＢＫ）から右側（ＦＲ）
へシート２６の幅方向に走行し，所定のデータ採取位置
（シート２６の幅方向に数百ポイント設定してある）に
くると，制御部３５は検出部３０が検出したデータを取
り込んで，シート２６の厚さを演算する。そしてヘッド
２８は左側と右側との間を往復走行し，検出が続けられ
る。
稼働しているときは，装置の向かって左側（ＢＫ）端部
（校正点Ｋ）に退避している。そして測定が開始される
と，まず，ヘッド２８は左側（ＢＫ）から右側（ＦＲ）
へシート２６の幅方向に走行し，所定のデータ採取位置
（シート２６の幅方向に数百ポイント設定してある）に
くると，制御部３５は検出部３０が検出したデータを取
り込んで，シート２６の厚さを演算する。そしてヘッド
２８は左側と右側との間を往復走行し，検出が続けられ
る。
【０００５】このようなヘッド２８の作動の制御は制御
部３５が行う。制御部３５はエンコーダ２３からの出力
パルスＰをカウンタ３３ａで加減算し，ヘッド２８の位
置の検出を行い駆動回路３２を制御する。そして，ヘッ
ド２８が左側から右側へ走行し，水平フレーム２４の略
中央部に設けられた初期化スイッチ３４をオンすると，
その信号Ｒは制御部３５に与えられる。信号Ｒを受け取
った制御部３５は，ヘッド２８が水平フレーム２３，２
４の略中央部にあるときにカウンタ３３ａをリセット
し，ヘッド２８の位置ずれが積算するのを防止してい
る。
部３５が行う。制御部３５はエンコーダ２３からの出力
パルスＰをカウンタ３３ａで加減算し，ヘッド２８の位
置の検出を行い駆動回路３２を制御する。そして，ヘッ
ド２８が左側から右側へ走行し，水平フレーム２４の略
中央部に設けられた初期化スイッチ３４をオンすると，
その信号Ｒは制御部３５に与えられる。信号Ｒを受け取
った制御部３５は，ヘッド２８が水平フレーム２３，２
４の略中央部にあるときにカウンタ３３ａをリセット
し，ヘッド２８の位置ずれが積算するのを防止してい
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで，このような
オンライン厚さ計においては，機械的なガタを有してお
りシートがない状態でヘッド２８がフレーム上２３，２
４上を往復走行するとガタに対応した誤差信号が発生す
る。この誤差信号はシートを挟んで往復走行し，その厚
さを測定する場合も発生するので測定誤差となる。
オンライン厚さ計においては，機械的なガタを有してお
りシートがない状態でヘッド２８がフレーム上２３，２
４上を往復走行するとガタに対応した誤差信号が発生す
る。この誤差信号はシートを挟んで往復走行し，その厚
さを測定する場合も発生するので測定誤差となる。
【０００７】図３（ａ），（ｂ）は上記測定誤差を補正
する従来の演算処理部５０の動作を説明するための説明
図である。図において５１は検量線を記憶した第１記憶
手段，５２は補正データを記憶した第２記憶手段であ
る。なお，この第２記憶手段はシートの測定に先立って
シートがない状態で校正点でヘッドが静止しているとき
に空気層の厚さを測定してその値をゼロとし，次にシー
トがない状態でヘッドを往復走行させ，シートの幅方向
に数百ポイント設定してある所定のデータ採取位置の往
復（ヘッドの誤差はヒステリシスを有しており，往と復
で異なる）の誤差（普通±数μｍ，若しくは±数ｇ／ｍ
2）を記憶している。
する従来の演算処理部５０の動作を説明するための説明
図である。図において５１は検量線を記憶した第１記憶
手段，５２は補正データを記憶した第２記憶手段であ
る。なお，この第２記憶手段はシートの測定に先立って
シートがない状態で校正点でヘッドが静止しているとき
に空気層の厚さを測定してその値をゼロとし，次にシー
トがない状態でヘッドを往復走行させ，シートの幅方向
に数百ポイント設定してある所定のデータ採取位置の往
復（ヘッドの誤差はヒステリシスを有しており，往と復
で異なる）の誤差（普通±数μｍ，若しくは±数ｇ／ｍ
2）を記憶している。
【０００８】図（ａ）において厚さ演算手段５３は制御
部３５からの位置信号とヘッドからの厚さ信号を入力し
第１記憶手段５１の検量線からシートの厚さを検出す
る。補正演算手段５４は厚さ演算手段５３からの厚さ信
号と第２記憶手段５２からの補正データを入力し加減算
数を行って補正したデータ採取位置の値を表示器に送出
する。
部３５からの位置信号とヘッドからの厚さ信号を入力し
第１記憶手段５１の検量線からシートの厚さを検出す
る。補正演算手段５４は厚さ演算手段５３からの厚さ信
号と第２記憶手段５２からの補正データを入力し加減算
数を行って補正したデータ採取位置の値を表示器に送出
する。
【０００９】図（ｂ）は検量線を用いて真の厚さを特定
するための厚さ信号と表示厚さの関係を示すもので，検
出された厚さ信号ｔを検量線を用いて厚さａに換算し，
その換算した値ａに補正データΔａを加算して真の厚さ
ａ＋Δａを特定する。上記によればヘッドの機械的なガ
タによる誤差を補正した厚さを知ることができる。 上記の方法において，Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（−μ・ＢＷ） Ｉ；空気層の厚さ信号 μ；吸収係数 ＢＷ；Ｂａｓｉｃ Ｗｅｉｇｈｔ：坪量，厚さ） で表現される検量線を微分すると ｄＩ／ｄＢＷ＝−μ・Ｉ0ｅｘｐ（−μ・ＢＷ）＝−μ・Ｉ… となり，各ＢＷにおける信号の変化分による厚さ出力変
化分，即ちフレーム補正値のガタは一定であるという考
えに基づいている。しかしながら，実際の検量線は Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（μ1・ＢＷ＋μ2・ＢＷ2＋μ3・ＢＷ3＋…＋μn・ＢＷn）… という多項式で近似される。この式のＩをＢＷで近似
すると ｄＩ／ｄＢＷ＝（μ1＋２μ2・ＢＷ＋３μ3・ＢＷ2＋ｎμn・ＢＷn-1）・Ｉ… となり，各厚さにおけるフレームの補正量は厚さにより
異なり，空気層によるフレーム補正値では完全に補正す
ることはできないという問題があった。
するための厚さ信号と表示厚さの関係を示すもので，検
出された厚さ信号ｔを検量線を用いて厚さａに換算し，
その換算した値ａに補正データΔａを加算して真の厚さ
ａ＋Δａを特定する。上記によればヘッドの機械的なガ
タによる誤差を補正した厚さを知ることができる。 上記の方法において，Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（−μ・ＢＷ） Ｉ；空気層の厚さ信号 μ；吸収係数 ＢＷ；Ｂａｓｉｃ Ｗｅｉｇｈｔ：坪量，厚さ） で表現される検量線を微分すると ｄＩ／ｄＢＷ＝−μ・Ｉ0ｅｘｐ（−μ・ＢＷ）＝−μ・Ｉ… となり，各ＢＷにおける信号の変化分による厚さ出力変
化分，即ちフレーム補正値のガタは一定であるという考
えに基づいている。しかしながら，実際の検量線は Ｉ＝Ｉ0ｅｘｐ（μ1・ＢＷ＋μ2・ＢＷ2＋μ3・ＢＷ3＋…＋μn・ＢＷn）… という多項式で近似される。この式のＩをＢＷで近似
すると ｄＩ／ｄＢＷ＝（μ1＋２μ2・ＢＷ＋３μ3・ＢＷ2＋ｎμn・ＢＷn-1）・Ｉ… となり，各厚さにおけるフレームの補正量は厚さにより
異なり，空気層によるフレーム補正値では完全に補正す
ることはできないという問題があった。
【００１０】本発明は上記従来技術の問題点を解決する
ためになされたもので，シートがない状態におけるヘッ
ドの位置ずれに起因する出力信号の変動率を記憶してお
き，シートを挟んで往復走行したときのヘッドからの信
号にその記憶した変動率を乗じて補正した信号で検量線
からシートの厚さを求めることにより，より正確な厚さ
測定が可能なオンライン厚さ計の補正演算方法を提供す
ることを目的とする。
ためになされたもので，シートがない状態におけるヘッ
ドの位置ずれに起因する出力信号の変動率を記憶してお
き，シートを挟んで往復走行したときのヘッドからの信
号にその記憶した変動率を乗じて補正した信号で検量線
からシートの厚さを求めることにより，より正確な厚さ
測定が可能なオンライン厚さ計の補正演算方法を提供す
ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は，シートの幅方向に設置されたフレームと，
前記シートを挟んで移動可能に設けられたヘッドと，該
ヘッドを前記フレームに沿って往復走行させる走行手段
と，前記シートの検量線を記憶する第１記憶手段と，前
記シートがない状態で前記フレームを往復走行させ予め
定めた複数の測定位置における前記ヘッドの位置ずれに
起因する出力信号を記憶する第２記憶手段とからなり，
前記シートを挟んで往復走行したときの前記予め定めた
複数の測定位置における前記ヘッドからの信号と前記第
２記憶手段に記憶した信号および前記検量線を用いて前
記フレーム上の予め定めた複数の測定位置における前記
シートの厚さを補正演算するオンライン厚さ計の補正演
算方法において，前記第２記憶手段はシートがない状態
における前記ヘッドの位置ずれに起因する出力信号の変
動率を演算して記憶し，前記シートを挟んで往復走行し
たときの前記ヘッドからの信号に前記第２記憶手段に記
憶した変動率を乗じて補正した信号で前記第１記憶手段
の検量線から前記シートの厚さを演算するようにしたこ
とを特徴とするものである。
に本発明は，シートの幅方向に設置されたフレームと，
前記シートを挟んで移動可能に設けられたヘッドと，該
ヘッドを前記フレームに沿って往復走行させる走行手段
と，前記シートの検量線を記憶する第１記憶手段と，前
記シートがない状態で前記フレームを往復走行させ予め
定めた複数の測定位置における前記ヘッドの位置ずれに
起因する出力信号を記憶する第２記憶手段とからなり，
前記シートを挟んで往復走行したときの前記予め定めた
複数の測定位置における前記ヘッドからの信号と前記第
２記憶手段に記憶した信号および前記検量線を用いて前
記フレーム上の予め定めた複数の測定位置における前記
シートの厚さを補正演算するオンライン厚さ計の補正演
算方法において，前記第２記憶手段はシートがない状態
における前記ヘッドの位置ずれに起因する出力信号の変
動率を演算して記憶し，前記シートを挟んで往復走行し
たときの前記ヘッドからの信号に前記第２記憶手段に記
憶した変動率を乗じて補正した信号で前記第１記憶手段
の検量線から前記シートの厚さを演算するようにしたこ
とを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】検出した厚さ信号を予め記憶してある変化率で
補正し，その補正した値で検量線から厚さを求めるので
より正確な厚さ検出が可能となる。
補正し，その補正した値で検量線から厚さを求めるので
より正確な厚さ検出が可能となる。
【００１３】
【実施例】本発明において全体構成及びヘッドの動作は
図２に示すものと同様なのでここでの説明は省略する。
なお，従来例とは演算処理部５０の動作のみが異なる。
図１（ａ），（ｂ）は本発明のオンライン厚さ計の補正
演算方法の一実施例を示す説明図である。図において５
１は検量線を記憶した第１記憶手段，５２ａは補正デー
タを記憶した第２記憶手段である。なお，この第２記憶
手段５２ａはシートの測定に先立ってシートがない状態
でヘッドが校正点で静止している空気層の厚さを測定し
てその値をゼロとし，次にシートがない状態でヘッドを
往復走行させ，シートの幅方向に数百ポイント設定して
ある所定のデータ採取位置の往復の誤差を変動率として
記憶している。
図２に示すものと同様なのでここでの説明は省略する。
なお，従来例とは演算処理部５０の動作のみが異なる。
図１（ａ），（ｂ）は本発明のオンライン厚さ計の補正
演算方法の一実施例を示す説明図である。図において５
１は検量線を記憶した第１記憶手段，５２ａは補正デー
タを記憶した第２記憶手段である。なお，この第２記憶
手段５２ａはシートの測定に先立ってシートがない状態
でヘッドが校正点で静止している空気層の厚さを測定し
てその値をゼロとし，次にシートがない状態でヘッドを
往復走行させ，シートの幅方向に数百ポイント設定して
ある所定のデータ採取位置の往復の誤差を変動率として
記憶している。
【００１４】図（ａ）において補正演算手段５４ａは制
御部３５からの位置信号とヘッドからの厚さ信号を入力
しその位置における厚さ信号の補正演算を行う。厚さ演
算手段５３ａは前述の補正された信号と第１記憶手段５
１の検量線から厚さを演算し表示器に送出する。
御部３５からの位置信号とヘッドからの厚さ信号を入力
しその位置における厚さ信号の補正演算を行う。厚さ演
算手段５３ａは前述の補正された信号と第１記憶手段５
１の検量線から厚さを演算し表示器に送出する。
【００１５】図（ｂ）は検量線を用いて真の厚さを特定
するための厚さ信号と表示厚さの関係を示すもので，検
出された厚さ信号ｔは第２記憶手段５２ａに記憶された
各位置毎の変動率値によりその厚さ信号ｔが補正されｔ
−Δｔの位置に移動する。その結果，検量線のｂ点が
ｂ’点に移動して真の厚さａが求められる。上記によれ
ばシートの厚さによらない真の補正が可能となる。
するための厚さ信号と表示厚さの関係を示すもので，検
出された厚さ信号ｔは第２記憶手段５２ａに記憶された
各位置毎の変動率値によりその厚さ信号ｔが補正されｔ
−Δｔの位置に移動する。その結果，検量線のｂ点が
ｂ’点に移動して真の厚さａが求められる。上記によれ
ばシートの厚さによらない真の補正が可能となる。
【００１６】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明したよ
うに本発明によれば，シートがない状態におけるヘッド
の位置ずれに起因する出力信号の変動率を記憶してお
き，シートを挟んで往復走行したときのヘッドからの信
号にその記憶した変動率を乗じて補正した信号で検量線
からシートの厚さを求めるようにしたので，シートの厚
さによらない真の補正が可能となり，より正確な厚さ測
定が可能なオンライン厚さ計を実現することができる。
うに本発明によれば，シートがない状態におけるヘッド
の位置ずれに起因する出力信号の変動率を記憶してお
き，シートを挟んで往復走行したときのヘッドからの信
号にその記憶した変動率を乗じて補正した信号で検量線
からシートの厚さを求めるようにしたので，シートの厚
さによらない真の補正が可能となり，より正確な厚さ測
定が可能なオンライン厚さ計を実現することができる。
【図１】本発明のオンライン厚さ計の補正演算方法の一
実施例を示す説明図である。
実施例を示す説明図である。
【図２】シート状物体の厚さをオンラインで測定するた
めの一般的構成図である。
めの一般的構成図である。
【図３】従来のオンライン厚さ計の補正演算方法を示す
説明図である。
説明図である。
５１ 第１記憶手段 ５２ａ 第２記憶手段 ５３ａ 厚さ演算手段 ５４ａ 補正演算手段
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−296107（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−7508（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−229019（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−285008（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−66167（ＪＰ，Ａ) 実開 昭55−181509（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭43−23159（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 15/02
Claims (1)
- 【請求項１】 シートの幅方向に設置されたフレーム
と，前記シートを挟んで移動可能に設けられたヘッド
と，該ヘッドを前記フレームに沿って往復走行させる走
行手段と，前記シートの検量線を記憶する第１記憶手段
と，前記シートがない状態で前記フレームを往復走行さ
せ予め定めた複数の測定位置における前記ヘッドの位置
ずれに起因する出力信号を記憶する第２記憶手段とから
なり，前記シートを挟んで往復走行したときの前記予め
定めた複数の測定位置における前記ヘッドからの信号と
前記第２記憶手段に記憶した信号および前記検量線を用
いて前記フレーム上の予め定めた複数の測定位置におけ
る前記シートの厚さを補正演算するオンライン厚さ計の
補正演算方法において，前記第２記憶手段はシートがな
い状態における前記ヘッドの位置ずれに起因する出力信
号の変動率を演算して記憶し，前記シートを挟んで往復
走行したときの前記ヘッドからの信号に前記第２記憶手
段に記憶した変動率を乗じて補正した信号で前記第１記
憶手段の検量線から前記シートの厚さを演算するように
したことを特徴とするオンライン厚さ計の補正演算方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05073993A JP3173534B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | オンライン厚さ計の補正演算方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05073993A JP3173534B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | オンライン厚さ計の補正演算方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06265337A JPH06265337A (ja) | 1994-09-20 |
| JP3173534B2 true JP3173534B2 (ja) | 2001-06-04 |
Family
ID=12867213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05073993A Expired - Fee Related JP3173534B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | オンライン厚さ計の補正演算方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3173534B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5783373B2 (ja) * | 2011-11-02 | 2015-09-24 | 横河電機株式会社 | 放射線検査装置 |
| JP5831144B2 (ja) * | 2011-11-09 | 2015-12-09 | 横河電機株式会社 | 放射線検査装置 |
-
1993
- 1993-03-11 JP JP05073993A patent/JP3173534B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06265337A (ja) | 1994-09-20 |
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