JP5783373B2 - 放射線検査装置 - Google Patents
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5は厚さ測定装置であり、シート状の試料1が右から左方向へ一定速度で流れている。この試料を略直行するように放射線源ヘッド(下側・・・以下線源という)2と電離箱等の検出器ヘッド(上側)3が一対となって試料1を走査する形態で測定を行っている。
その検量線と試料の透過出力値から逆引きして厚さを換算する。
図4(b)は校正に際して放射線源とラインセンサを試料から完全にずらすにはラインセンサの幅wの2.5倍程度が必要であることを示している。
料の測定ができなくなるというデメリットが存在する。また図4(c)に示すような全面
測定型の場合には、装置を試料の全幅から外れるまで装置を引き出す必要があるため、装
置自体の幅(W)に対して2.5倍程度の幅が必要となり、また、退避動作そのものが行
い難いと言う状況がある。
放射線源から放射され、シート状の試料を透過してくる放射線を前記試料の流れ方向に対して略直角に配置されたライン状放射線検出器により検出し、坪量の測定を行う放射線検査装置において、前記放射線源とライン状放射線検出器の位置関係を測定状態に維持したまま試料の幅に対して直角方向に空気層を測定できる程度に僅かに退避させ、退避させた状態で放射線源とライン状放射線検出器の間の空気層を測定して校正用データを作成し、記憶手段に保存するように構成したことを特徴とする。
退避させた前記放射線源及びライン状放射線検出器を元の測定状態に戻し、試料を透過させて前記放射線検出器で検出した出力を前記記憶手段に保存した校正用データに基づいて補正することを特徴とする。
前記退避動作は数十分乃至数時間程度の間隔で行うことを特徴とする。
線源変動や大気変動、ダスト等にまつわる変動を補正する際にフレーム全体を試料上から退避する必要が無く、校正データ更新時のフットプリントを減じることができる。
また、移動に伴う、退避動作を最小限として、退避・校正処理に関わる時間を短縮できると共に退避時にも欠損データを最小限にすることができる。
また、従来の校正動作に準ずる構造とすることで、信頼性を確保することができる。
成図で(a)は測定状態の斜視図、(b)はラインセンサと放射線源を試料の流れ方向に対して直角方向に僅かに移動させた(ずらした)状態を示す斜視図である。
坪量の補正は、各ラインセンサの特性を取得した際に得た校正データに対する差分値を記憶して、試料測定を行なう際に得た測定値からこの差分値を減算しても良いし、各校正データ取得処理の度に更新する校正値の絶対値を用いて減算しても良い。
各素子の校正データ分布を求めるには幾つかの方法があるが、例えば次のようなものがある。
1)検量線の差に基づく分布補正方法
例えば、一部退避を行なって、校正を行なうための素子における検量線と測定時における他の素子との間に図2(a)に見るような違いがあるとする。イで示す曲線は該当素子a1の検量線、ロで示す曲線は該当素子の検量線である。こうした違いは、各素子の器差や線源分布及び測定素子の位置等により生じる。
校正用素子で受けた線量の変化は、各々の該当素子との感度比を用いて該当素子における変動量を求める。
校正用素子のある位置における大気の厚さと該当素子のある位置における大気の厚さには、差がある。例えば、図2(b)では該当素子の位置における大気の厚さは、校正用素子の位置における大気の厚さのcosθ倍である。ハで示す素子は該当素子の位置、二で示す素子は校正用素子の位置である。
このように検出器の各位置における大気の厚さに相当する比率を校正用素子から求めた坪量に乗ずることにより各々の素子位置による校正用分布を算出し、測定時の補正を行なえば良い。
Step1:放射線が試料全面を透過する測定状態でラインセンサにより試料を透過した後の放射線信号を測定する。
Step2:検量線を用い、
Step3:厚さ(坪量)を求める。
Step1’:退避位置における線源2aとラインセンサの間の空気層を測定する。
Step2’:その信号を用いて検量線を作成する。
Step3’:作成した検量線を用いて校正用の坪量を計算する。
Step4’:校正データの分布補正を行う。
Step5’:校正データの補正分布データを記憶手段に記憶する。
Step4:Step5’で記憶した補正分布データで校正用の坪量を減算する。
ステップ5:補正後の坪量を求め、
ステップ6:補正された坪量を測定値として出力する。
以上のステップにより厚さ測定の補正が行なうことができる。
2、2a 放射線源
3 検出器ヘッド(電離箱)
3a 放射線検出器(ラインセンサ)
4 O型フレーム
5 厚さ測定装置
6 C型フレーム
7 直線ガイド
8 ガイドユニット
9 ストッパ
Claims (5)
- 放射線源から放射され、シート状の試料を透過してくる放射線を前記試料の流れ方向に
対して直角に配置されたライン状放射線検出器により検出し、坪量の測定を行う放射線検
査装置において、前記放射線源は前記試料の流れ方向に対して直角に配置されたガイドユニットの直線ガイドに沿って移動するC型フレームに固定されており、前記C型フレームとライン状放射線検出器の位置関係を測定状態に維持したまま前記C型フレームを前記試料の流れ方向に対して直角方向に空気層を測定できる程度に僅かに退避させ、退避させた状態で前記試料から露出した部分の放射線源とライン状放射線検出器の間の前記空気層を測定して校正用データを作成し、記憶手段に保存するように構成したことを特徴とする放射線検査装置。 - 退避させた前記放射線源及びライン状放射線検出器を元の測定状態に戻し、試料を透過
させて前記放射線検出器で検出した出力を前記記憶手段に保存した校正用データに基づい
て補正することを特徴とする請求項1記載の放射線検査装置。 - 前記退避位置が一定になるように位置検出器または着脱自在なストッパを設けたことを
特徴とする請求項1又は2記載の放射線検査装置。 - 前記退避位置での校正用データを元に、ライン状放射線検出器を構成する各素子の感度
分布・個体差に基づき、夫々の素子毎に補正を行なうことを特徴とする請求項1乃至3の
いずれかに記載の放射線検査装置。 - 前記退避動作は数十分乃至数時間程度の間隔で行うことを特徴とする請求項1乃至4の
いずれかに記載の放射線検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011241120A JP5783373B2 (ja) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 放射線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011241120A JP5783373B2 (ja) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 放射線検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013096894A JP2013096894A (ja) | 2013-05-20 |
JP5783373B2 true JP5783373B2 (ja) | 2015-09-24 |
Family
ID=48618965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011241120A Active JP5783373B2 (ja) | 2011-11-02 | 2011-11-02 | 放射線検査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5783373B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3173534B2 (ja) * | 1993-03-11 | 2001-06-04 | 横河電機株式会社 | オンライン厚さ計の補正演算方法 |
JPH10281747A (ja) * | 1997-04-01 | 1998-10-23 | Futec Inc | X線管、x線利用シート状物厚さ測定方法、及びx線利用シート状物厚さ測定装置 |
JP2006275605A (ja) * | 2005-03-28 | 2006-10-12 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | シート厚さ測定装置及びシート厚さ測定方法 |
JP5408432B2 (ja) * | 2009-12-18 | 2014-02-05 | 横河電機株式会社 | 放射線検出装置及びこの装置を用いた放射線検出方法 |
JP5429485B2 (ja) * | 2010-02-05 | 2014-02-26 | 横河電機株式会社 | 放射線測定装置 |
-
2011
- 2011-11-02 JP JP2011241120A patent/JP5783373B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
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JP2013096894A (ja) | 2013-05-20 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
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