JPH10239012A - 輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定機 - Google Patents
輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定機Info
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- JPH10239012A JPH10239012A JP6011997A JP6011997A JPH10239012A JP H10239012 A JPH10239012 A JP H10239012A JP 6011997 A JP6011997 A JP 6011997A JP 6011997 A JP6011997 A JP 6011997A JP H10239012 A JPH10239012 A JP H10239012A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 少なくとも２つの面が交差する形状（水平
面、上り斜面、下り斜面のうち少なくとも２種類の面の
組合せ）を有するワークの輪郭形状を測定する場合に、
測定精度がよく、かつ測定時間が長くならないととも
に、種々の角度の傾斜面を有するワークにも対応可能な
測定方法及びそれを備えた輪郭形状測定機を提供する。 【解決手段】 触針負荷を検出するセンサーを触針が取
り付けられるアーム又は触針に設けて、触針負荷を検出
しながらワークの表面を測定し、得られた測定データを
触針負荷の大きさに基づいて補正し、補正された測定デ
ータによってワークの輪郭形状を算出するようにする。
触針負荷に対する測定データの補正値は、少なくとも２
つの面が交差する形状を有し輪郭形状が既知の基準ゲー
ジを、測定したときの「個々の測定データの真値との
差」及び「そのときに検出された触針負荷」の関係から
求める。
面、上り斜面、下り斜面のうち少なくとも２種類の面の
組合せ）を有するワークの輪郭形状を測定する場合に、
測定精度がよく、かつ測定時間が長くならないととも
に、種々の角度の傾斜面を有するワークにも対応可能な
測定方法及びそれを備えた輪郭形状測定機を提供する。 【解決手段】 触針負荷を検出するセンサーを触針が取
り付けられるアーム又は触針に設けて、触針負荷を検出
しながらワークの表面を測定し、得られた測定データを
触針負荷の大きさに基づいて補正し、補正された測定デ
ータによってワークの輪郭形状を算出するようにする。
触針負荷に対する測定データの補正値は、少なくとも２
つの面が交差する形状を有し輪郭形状が既知の基準ゲー
ジを、測定したときの「個々の測定データの真値との
差」及び「そのときに検出された触針負荷」の関係から
求める。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ワークの輪郭形状
を求める輪郭形状測定機に係わり、特に、少なくとも２
つの測定面が交差する形状（Ｖ溝形状等）を有するワー
クの輪郭形状を精度よく測定する方法及びそれを備えた
輪郭形状測定機に関するものである。
を求める輪郭形状測定機に係わり、特に、少なくとも２
つの測定面が交差する形状（Ｖ溝形状等）を有するワー
クの輪郭形状を精度よく測定する方法及びそれを備えた
輪郭形状測定機に関するものである。
【０００２】図５に一般的な輪郭形状測定機の測定部を
示す。図５に示すように、測定部は、ベース２１に立設
されたコラム２２に送り装置２３が設けられ、触針２９
を有し触針２９のＺ方向（鉛直方向）の変位を検出する
検出器２４が、送り装置２３にＸ方向（水平方向）移動
自在に設けられている。送り装置２３には検出器２４の
Ｘ方向の移動量を検出するスケールが内蔵されている。
これによって、ワークＷの測定位置に触針２９を当接し
た状態で検出器２４をＸ方向に移動させると、触針２９
のＺ方向の変位が検出器２４で検出され、検出器２４の
Ｘ方向の移動量が送り装置２３のスケールで検出され
て、ワークＷの測定データが得られる。そして、測定デ
ータは輪郭形状として演算され、その結果がＣＲＴやＸ
−Ｙレコーダーに出力される。
示す。図５に示すように、測定部は、ベース２１に立設
されたコラム２２に送り装置２３が設けられ、触針２９
を有し触針２９のＺ方向（鉛直方向）の変位を検出する
検出器２４が、送り装置２３にＸ方向（水平方向）移動
自在に設けられている。送り装置２３には検出器２４の
Ｘ方向の移動量を検出するスケールが内蔵されている。
これによって、ワークＷの測定位置に触針２９を当接し
た状態で検出器２４をＸ方向に移動させると、触針２９
のＺ方向の変位が検出器２４で検出され、検出器２４の
Ｘ方向の移動量が送り装置２３のスケールで検出され
て、ワークＷの測定データが得られる。そして、測定デ
ータは輪郭形状として演算され、その結果がＣＲＴやＸ
−Ｙレコーダーに出力される。
【０００３】また、図６は検出器２４の概略機構を示し
たもので、支点２５に揺動自在にアーム２６が支持さ
れ、アーム２６の左端には触針２９が取り付けられてい
る。そして、アーム２６の右端にはウェイト２７が、触
針２９側に下向きの所定の荷重（測定力）が発生するよ
うに位置が調整されて取り付けられている。さらに、ア
ーム２６の支点２５より左側には差動トランス等のセン
サー２８が設けられ、触針２９のＺ方向変位を検出する
ようになっている。
たもので、支点２５に揺動自在にアーム２６が支持さ
れ、アーム２６の左端には触針２９が取り付けられてい
る。そして、アーム２６の右端にはウェイト２７が、触
針２９側に下向きの所定の荷重（測定力）が発生するよ
うに位置が調整されて取り付けられている。さらに、ア
ーム２６の支点２５より左側には差動トランス等のセン
サー２８が設けられ、触針２９のＺ方向変位を検出する
ようになっている。
【０００４】ところで、図７の上側の図に示すように、
ワークＷがＶ溝形状のワーク３０の場合、触針２９は通
常ワーク３０の水平面（検出器２４の移動方向に平行な
面をいう。）３１、下り傾斜面３２、上り傾斜面３３、
水平面３４の順に当接していくが、当接面によって触針
２９にかかる負荷の大きさは異なる。すなわち、触針２
９には常に下向きの荷重（測定力）がかかっているた
め、下り傾斜面３２を測定するときは水平面３１、３４
に比べて負荷が小さく、上り傾斜面３３を測定するとき
は水平面３１、３４に比べて負荷が大きくなる。これを
表わしたのが図７の下側の図であり、水平面３１測定時
の負荷４１、下り傾斜面３２測定時の負荷４２、上り傾
斜面３３測定時の負荷４３、水平面３４測定時の負荷４
４というように変化する。
ワークＷがＶ溝形状のワーク３０の場合、触針２９は通
常ワーク３０の水平面（検出器２４の移動方向に平行な
面をいう。）３１、下り傾斜面３２、上り傾斜面３３、
水平面３４の順に当接していくが、当接面によって触針
２９にかかる負荷の大きさは異なる。すなわち、触針２
９には常に下向きの荷重（測定力）がかかっているた
め、下り傾斜面３２を測定するときは水平面３１、３４
に比べて負荷が小さく、上り傾斜面３３を測定するとき
は水平面３１、３４に比べて負荷が大きくなる。これを
表わしたのが図７の下側の図であり、水平面３１測定時
の負荷４１、下り傾斜面３２測定時の負荷４２、上り傾
斜面３３測定時の負荷４３、水平面３４測定時の負荷４
４というように変化する。
【０００５】その結果、アーム２６の撓みが変化し、ア
ーム２６の撓みが変化すると触針２９の変位が同じでも
センサー２８で検出される値が異なるということにな
る。つまり、Ｖ溝形状のワーク３０等を測定すると、測
定面の傾斜方向によって検出条件が変わる。したがっ
て、正確な測定ができない。これは、ワーク３０のよう
なＶ溝形状のものだけでなく、凸形状や水平面と斜面の
組合せ等、少なくとも２つの測定面が交差する形状を有
するワークについては同様である。
ーム２６の撓みが変化すると触針２９の変位が同じでも
センサー２８で検出される値が異なるということにな
る。つまり、Ｖ溝形状のワーク３０等を測定すると、測
定面の傾斜方向によって検出条件が変わる。したがっ
て、正確な測定ができない。これは、ワーク３０のよう
なＶ溝形状のものだけでなく、凸形状や水平面と斜面の
組合せ等、少なくとも２つの測定面が交差する形状を有
するワークについては同様である。
【０００６】この問題を解決する方法の１つ（第一の方
法）として、アーム２６の剛性を大きくし、触針２９に
かかる負荷の大きさが変化してもセンサー２８で検出さ
れる値に影響するような撓みが発生しないようにするこ
とが考えられる。
法）として、アーム２６の剛性を大きくし、触針２９に
かかる負荷の大きさが変化してもセンサー２８で検出さ
れる値に影響するような撓みが発生しないようにするこ
とが考えられる。
【０００７】また、他の方法（第二の方法）として、特
公平６−４０００６号公報（形状測定機の測定方法）で
開示されているものがある。この方法では、測定データ
から測定面の傾斜方向を判別し、下り方向の場合はその
まま測定するが、上り方向の場合は触針の移動方向（Ｘ
方向）を反対にして測定する。つまり、図７に示したワ
ーク３０のような場合は、下り傾斜面３２は左方向から
右方向へ、上り傾斜面３３は逆に右方向から左方向へ触
針を移動させて測定する。そして、境界部分では両方向
の測定データを採って下り傾斜面３２と上り傾斜面３３
の２つのデータを繋ぎ合わせるようにしている。
公平６−４０００６号公報（形状測定機の測定方法）で
開示されているものがある。この方法では、測定データ
から測定面の傾斜方向を判別し、下り方向の場合はその
まま測定するが、上り方向の場合は触針の移動方向（Ｘ
方向）を反対にして測定する。つまり、図７に示したワ
ーク３０のような場合は、下り傾斜面３２は左方向から
右方向へ、上り傾斜面３３は逆に右方向から左方向へ触
針を移動させて測定する。そして、境界部分では両方向
の測定データを採って下り傾斜面３２と上り傾斜面３３
の２つのデータを繋ぎ合わせるようにしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、第一の
方法では、一般的にアーム２６の質量が大きくなる。ア
ーム２６の質量が大きくなると応答性が低下するため測
定速度が制限され、その結果測定時間が長くなるという
問題が発生する。
方法では、一般的にアーム２６の質量が大きくなる。ア
ーム２６の質量が大きくなると応答性が低下するため測
定速度が制限され、その結果測定時間が長くなるという
問題が発生する。
【０００９】また、第二の方法では、測定面がどの方向
の傾斜になっているか測定してみないとわからないとと
もに、傾斜面の方向によって測定方向を変えなければな
らないので、測定時間が長くなるという問題がある。さ
らに、上り斜面か下り斜面かの区別しかしていないの
で、傾き角度による違いに対応することができない。前
述した問題は傾き角度によってその影響が大きく異なる
ものであり、いろいろな角度の斜面があるワークでは十
分に問題が解決されないことになる。
の傾斜になっているか測定してみないとわからないとと
もに、傾斜面の方向によって測定方向を変えなければな
らないので、測定時間が長くなるという問題がある。さ
らに、上り斜面か下り斜面かの区別しかしていないの
で、傾き角度による違いに対応することができない。前
述した問題は傾き角度によってその影響が大きく異なる
ものであり、いろいろな角度の斜面があるワークでは十
分に問題が解決されないことになる。
【００１０】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、少なくとも２つの面が交差する形状（水平面、
上り斜面、下り斜面のうち少なくとも２種類の面の組合
せ）を有するワークの輪郭形状を測定する場合に、測定
精度がよく、かつ測定時間が長くならないとともに、種
々の角度の傾斜面を有するワークにも対応可能な測定方
法及びそれを備えた輪郭形状測定機を提供することを目
的とする。
もので、少なくとも２つの面が交差する形状（水平面、
上り斜面、下り斜面のうち少なくとも２種類の面の組合
せ）を有するワークの輪郭形状を測定する場合に、測定
精度がよく、かつ測定時間が長くならないとともに、種
々の角度の傾斜面を有するワークにも対応可能な測定方
法及びそれを備えた輪郭形状測定機を提供することを目
的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するために、触針２９の負荷の大きさ（以下、単に「触
針負荷」という）を検出する負荷検出手段を設け、触針
負荷を検出しながらワークの表面を測定し、得られた測
定データ（触針２９の変位量及び検出器２４の移動量）
を触針負荷に基づいて補正し、補正された測定データに
よってワークの輪郭形状を算出するようにする。
するために、触針２９の負荷の大きさ（以下、単に「触
針負荷」という）を検出する負荷検出手段を設け、触針
負荷を検出しながらワークの表面を測定し、得られた測
定データ（触針２９の変位量及び検出器２４の移動量）
を触針負荷に基づいて補正し、補正された測定データに
よってワークの輪郭形状を算出するようにする。
【００１２】この場合、補正値は、輪郭形状が既知の基
準ゲージをあらかじめ測定しておき、その測定データを
用いることができる。つまり、基準ゲージを測定したと
きの「個々の測定データの真値との差」及び「そのとき
に検出された触針負荷」の関係から求める。基準ゲージ
としてしは、少なくとも２つの面が交差する形状を有す
ることが必要である。
準ゲージをあらかじめ測定しておき、その測定データを
用いることができる。つまり、基準ゲージを測定したと
きの「個々の測定データの真値との差」及び「そのとき
に検出された触針負荷」の関係から求める。基準ゲージ
としてしは、少なくとも２つの面が交差する形状を有す
ることが必要である。
【００１３】また、触針負荷を検出するセンサーはアー
ム２６に設けてもよいし、触針２９そのものに取り付け
てもよい。
ム２６に設けてもよいし、触針２９そのものに取り付け
てもよい。
【００１４】さらに、測定方法の１つとして、触針負荷
の大きさによって触針２９のワークとの相対移動速度
（検出器移動型の場合は検出器２４の移動速度）を制御
し、触針負荷が所定の大きさ以下になるようにしてもよ
い。こうすると、触針負荷の変動は小さいので補正値の
範囲は狭くなる。
の大きさによって触針２９のワークとの相対移動速度
（検出器移動型の場合は検出器２４の移動速度）を制御
し、触針負荷が所定の大きさ以下になるようにしてもよ
い。こうすると、触針負荷の変動は小さいので補正値の
範囲は狭くなる。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明に係る輪郭形状測定機の実
施の形態のブロック図を図１に示す。図１に示すよう
に、測定部１０は従来の技術（図５）で説明したよう
に、ワークＷの表面に触針２９を当接させながら触針２
９をワークＷに対して相対的に移動させ、触針２９の変
位（Ｚ方向）及び移動量（Ｘ方向）を検出するものであ
るが、従来と異なるのは、触針負荷を検出する負荷検出
センサーが設けられているところである。すなわち、図
２に示すように、触針負荷を検出する歪みゲージＧａが
アーム１６に取り付けられている。
施の形態のブロック図を図１に示す。図１に示すよう
に、測定部１０は従来の技術（図５）で説明したよう
に、ワークＷの表面に触針２９を当接させながら触針２
９をワークＷに対して相対的に移動させ、触針２９の変
位（Ｚ方向）及び移動量（Ｘ方向）を検出するものであ
るが、従来と異なるのは、触針負荷を検出する負荷検出
センサーが設けられているところである。すなわち、図
２に示すように、触針負荷を検出する歪みゲージＧａが
アーム１６に取り付けられている。
【００１６】また、負荷算出部１１は歪みゲージＧａの
出力値から触針負荷を算出する。補正値記憶部１２は、
触針負荷に対応する補正値を記憶するとともに、その補
正値の中から負荷算出部１１より出力された信号に対応
する補正値を出力する。補正値は、Ｖ溝等のように少な
くとも２つの面が交差する形状を有し、輪郭形状が既知
の基準ゲージをあらかじめ測定しておき、「個々の測定
データの真値との差」及び「そのときに検出された触針
負荷」の関係から求める。測定データ補正部１３は、測
定部１０で検出されたワークの測定データを、補正値記
憶部１２から出力された補正値によって補正する。輪郭
形状算出部１４は測定データ補正部１３で補正された測
定データによってワークの輪郭形状を算出する。
出力値から触針負荷を算出する。補正値記憶部１２は、
触針負荷に対応する補正値を記憶するとともに、その補
正値の中から負荷算出部１１より出力された信号に対応
する補正値を出力する。補正値は、Ｖ溝等のように少な
くとも２つの面が交差する形状を有し、輪郭形状が既知
の基準ゲージをあらかじめ測定しておき、「個々の測定
データの真値との差」及び「そのときに検出された触針
負荷」の関係から求める。測定データ補正部１３は、測
定部１０で検出されたワークの測定データを、補正値記
憶部１２から出力された補正値によって補正する。輪郭
形状算出部１４は測定データ補正部１３で補正された測
定データによってワークの輪郭形状を算出する。
【００１７】本発明に係る輪郭形状測定機はこのように
構成され、測定部１０でワークＷを測定すると、ワーク
の測定データが測定データ補正部１３に出力されるとと
もに、歪みゲージＧａの値が負荷算出部１１に出力され
る。すると、負荷算出部１１では触針負荷を算出してそ
の値を補正値記憶部１２に送り、補正値記憶部１２で
は、記憶された補正値の中から該当する補正値を測定デ
ータ補正部１３に出力する。測定データ補正部１３で
は、この補正値を使ってワークの測定データを補正し輪
郭形状算出部１４に出力する。輪郭形状算出部１４では
補正された測定データによってワークの輪郭形状を算出
する。
構成され、測定部１０でワークＷを測定すると、ワーク
の測定データが測定データ補正部１３に出力されるとと
もに、歪みゲージＧａの値が負荷算出部１１に出力され
る。すると、負荷算出部１１では触針負荷を算出してそ
の値を補正値記憶部１２に送り、補正値記憶部１２で
は、記憶された補正値の中から該当する補正値を測定デ
ータ補正部１３に出力する。測定データ補正部１３で
は、この補正値を使ってワークの測定データを補正し輪
郭形状算出部１４に出力する。輪郭形状算出部１４では
補正された測定データによってワークの輪郭形状を算出
する。
【００１８】図４に示したブロック図は他の実施の形態
で、前述した実施の形態に対して検出器移動速度制御部
１５が追加されている。検出器２４の移動速度の制御は
従来から行われているが、ここでは触針負荷によって検
出器２４の移動速度を制御する機能が追加されている。
つまり、触針負荷によって検出器２４の移動時の速度を
制御し、触針負荷が所定の大きさ以上にならないように
するものである。触針負荷に影響するのは理論的には加
速度であるが、一般的に速度を小さくすると加速度も小
さくしやすい。こうすると、触針負荷の変動は小さいの
で補正値の範囲は狭くなる。
で、前述した実施の形態に対して検出器移動速度制御部
１５が追加されている。検出器２４の移動速度の制御は
従来から行われているが、ここでは触針負荷によって検
出器２４の移動速度を制御する機能が追加されている。
つまり、触針負荷によって検出器２４の移動時の速度を
制御し、触針負荷が所定の大きさ以上にならないように
するものである。触針負荷に影響するのは理論的には加
速度であるが、一般的に速度を小さくすると加速度も小
さくしやすい。こうすると、触針負荷の変動は小さいの
で補正値の範囲は狭くなる。
【００１９】なお、以上説明した実施の形態では触針負
荷を検出する歪みゲージをアーム２６に取り付けたが、
図３に示すように触針２９に直接取り付けてもよい。こ
うすると、触針２９を交換する度に歪みゲージＧｂを取
り外すことが必要であるが、アーム２６に取り付けた場
合に比べて感度がよいので、より正確な触針負荷を検出
することができる。
荷を検出する歪みゲージをアーム２６に取り付けたが、
図３に示すように触針２９に直接取り付けてもよい。こ
うすると、触針２９を交換する度に歪みゲージＧｂを取
り外すことが必要であるが、アーム２６に取り付けた場
合に比べて感度がよいので、より正確な触針負荷を検出
することができる。
【００２０】また、触針負荷を検出するセンサーを歪み
ゲージとしたが、これに限らず、圧電素子等他のセンサ
ーでもよい。
ゲージとしたが、これに限らず、圧電素子等他のセンサ
ーでもよい。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、触
針負荷を検出する負荷検出手段を設けて触針負荷を検出
しながらワークの表面を測定し、得られた測定データを
触針負荷に基づいて補正し、補正された測定データによ
ってワークの輪郭形状を算出するようにした。
針負荷を検出する負荷検出手段を設けて触針負荷を検出
しながらワークの表面を測定し、得られた測定データを
触針負荷に基づいて補正し、補正された測定データによ
ってワークの輪郭形状を算出するようにした。
【００２２】したがって、少なくとも２つの面が交差す
る形状（水平面、上り斜面、下り斜面のうち少なくとも
２種類の面の組合せ）を有するワークの輪郭形状を測定
する場合に、触針負荷条件が同じになるので測定精度が
よくなる。また、測定方向を変えなくてもよく、アーム
の質量が大きくなることもないので、測定時間が長くな
らないようにすることができる。さらに、傾斜角度によ
る補正も可能であるので、いろいろな角度の測定面を有
するワークでも精度よく測定することができる。
る形状（水平面、上り斜面、下り斜面のうち少なくとも
２種類の面の組合せ）を有するワークの輪郭形状を測定
する場合に、触針負荷条件が同じになるので測定精度が
よくなる。また、測定方向を変えなくてもよく、アーム
の質量が大きくなることもないので、測定時間が長くな
らないようにすることができる。さらに、傾斜角度によ
る補正も可能であるので、いろいろな角度の測定面を有
するワークでも精度よく測定することができる。
【図１】本発明に係る輪郭形状測定機の実施の形態のブ
ロック図
ロック図
【図２】本発明に係る輪郭形状測定機の実施の形態で、
アームに歪みゲージを取り付けた図
アームに歪みゲージを取り付けた図
【図３】本発明に係る輪郭形状測定機の他の実施の形態
で、触針に歪みゲージを取り付けた図
で、触針に歪みゲージを取り付けた図
【図４】本発明に係る輪郭形状測定機の他の実施の形態
のブロック図
のブロック図
【図５】一般的な輪郭形状測定機の測定部外観図
【図６】一般的な輪郭形状測定機の測定部の検出器機構
の説明図
の説明図
【図７】Ｖ溝形状ワークの説明図
１０……測定部 １１……負荷算出部 １２……補正値記憶部 １３……測定データ補正部 １４……輪郭形状算出部
Claims (7)
- 【請求項１】ワークの表面に触針を当接させながらその
触針をワークに対して相対的に移動させ、その触針の変
位及び移動量を検出することによってワークの輪郭形状
を測定する輪郭形状測定機において、 前記触針の負荷の大きさを検出する負荷検出手段を設
け、 前記触針の負荷の大きさを検出しながらワークの表面を
測定し、 得られた測定データを、前記触針の負荷の大きさに応じ
て補正し、 補正された測定データによってワークの輪郭形状を算出
することを特徴とする輪郭形状測定方法。 - 【請求項２】輪郭形状既知の基準ゲージをあらかじめ測
定して得られた測定データとその測定時の前記触針の負
荷の大きさとの関係に基づいて、前記ワークの測定デー
タの補正をすることを特徴とする請求項１に記載の輪郭
形状測定方法。 - 【請求項３】前記触針の負荷の大きさが所定以上になっ
た場合に、触針のワークとの相対移動速度を前記触針の
負荷の大きさが所定以下になるように変更することを特
徴とする請求項１又は請求項２に記載の輪郭形状測定方
法。 - 【請求項４】ワークの表面に触針を当接させながらその
触針をワークに対して相対的に移動させ、その触針の変
位及び移動量を検出する測定部と、 前記触針の負荷の大きさを検出する負荷検出センサー
と、 前記負荷検出センサーの出力値から前記触針の負荷の大
きさを算出する負荷算出部と、 前記触針の負荷の大きさに対応する補正値を記憶すると
ともに、その補正値の中から前記負荷算出部から出力さ
れた信号に対応する前記補正値を出力する補正値記憶部
と、 前記測定部で検出されたワークの測定データを、前記補
正値記憶部から出力された前記補正値によって補正する
測定データ補正部と前記測定データ補正部で補正された
測定データによってワークの輪郭形状を算出する輪郭形
状算出部と、から構成されたことを特徴とする輪郭形状
測定機。 - 【請求項５】前記負荷検出センサーが、前記触針が取り
付けられたアームに設けられたことを特徴とする請求項
４に記載の輪郭形状測定機。 - 【請求項６】前記負荷検出センサーが、前記触針に設け
られたことを特徴とする請求項４に記載の輪郭形状測定
機。 - 【請求項７】前記触針の負荷の大きさが所定以上になっ
た場合に、触針のワークとの相対移動速度を前記触針の
負荷の大きさが所定以下になるように変更する検出器移
動速度制御部が設けられたことを特徴とする請求項４か
ら請求項６までのいずれか１に記載の輪郭形状測定機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6011997A JPH10239012A (ja) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | 輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6011997A JPH10239012A (ja) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | 輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10239012A true JPH10239012A (ja) | 1998-09-11 |
Family
ID=13132927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6011997A Pending JPH10239012A (ja) | 1997-02-28 | 1997-02-28 | 輪郭形状測定方法及び輪郭形状測定機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10239012A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100506652B1 (ko) * | 2003-01-16 | 2005-08-05 | 현대모비스 주식회사 | 노면특성 계측 장치 |
| JP2007512512A (ja) * | 2003-11-13 | 2007-05-17 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 関節プローブヘッドを持つ座標測定機の誤差補償方法 |
| JP2008215934A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Nano Control:Kk | 力センサ、荷重検出装置及び形状測定装置 |
| JP2019132848A (ja) * | 2019-03-08 | 2019-08-08 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工具測定装置およびワーク測定装置の標準器 |
-
1997
- 1997-02-28 JP JP6011997A patent/JPH10239012A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100506652B1 (ko) * | 2003-01-16 | 2005-08-05 | 현대모비스 주식회사 | 노면특성 계측 장치 |
| JP2007512512A (ja) * | 2003-11-13 | 2007-05-17 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 関節プローブヘッドを持つ座標測定機の誤差補償方法 |
| JP2008215934A (ja) * | 2007-03-01 | 2008-09-18 | Nano Control:Kk | 力センサ、荷重検出装置及び形状測定装置 |
| JP2019132848A (ja) * | 2019-03-08 | 2019-08-08 | 株式会社牧野フライス製作所 | 工具測定装置およびワーク測定装置の標準器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
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