JPS5977302A - 非磁性シ−ト状物の肉厚測定装置 - Google Patents
非磁性シ−ト状物の肉厚測定装置Info
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- JPS5977302A JPS5977302A JP18336882A JP18336882A JPS5977302A JP S5977302 A JPS5977302 A JP S5977302A JP 18336882 A JP18336882 A JP 18336882A JP 18336882 A JP18336882 A JP 18336882A JP S5977302 A JPS5977302 A JP S5977302A
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はプラスチックのような非磁性シート状物の肉
厚を、非接触方式で連続的に測定する測定装置に関する
。
厚を、非接触方式で連続的に測定する測定装置に関する
。
従来、プラスチックや紙などの非磁性シート状物の肉厚
を、シート状物の走行中に測定するための装置として、
種々の測定装置が存在している。これらの測定装置には
、測定子がシート状物に接触して肉厚を測定する接触式
のものと、シート状物に対し機械的な接触を行わずに、
肉厚測定を行う非接触式のものとがある。
を、シート状物の走行中に測定するための装置として、
種々の測定装置が存在している。これらの測定装置には
、測定子がシート状物に接触して肉厚を測定する接触式
のものと、シート状物に対し機械的な接触を行わずに、
肉厚測定を行う非接触式のものとがある。
ここで接触式の測定装置においては、シート状物が弾性
のある材料や圧縮性のある材料でできている場合には、
測定子の接触圧や摩擦抵抗の影響で正確な肉厚測定が難
しかったこと、さらに測定子を取付けるためのスペース
や可動するためスペースを大きく取らなけノしばならな
いこと、およびシート状物の肉厚変化に対する対応にも
制約をうける等の欠点を有しているために、このような
シート状物の肉厚測定には、非接触式の測定装置を用い
ることが好ましい。
のある材料や圧縮性のある材料でできている場合には、
測定子の接触圧や摩擦抵抗の影響で正確な肉厚測定が難
しかったこと、さらに測定子を取付けるためのスペース
や可動するためスペースを大きく取らなけノしばならな
いこと、およびシート状物の肉厚変化に対する対応にも
制約をうける等の欠点を有しているために、このような
シート状物の肉厚測定には、非接触式の測定装置を用い
ることが好ましい。
従来の非接触式の測定装置としては、例えば特開昭46
−4296号公報に示されるような、シート状物の単位
面積あたシの重量を測定するだめの基材重量ゲージを基
準化する方法が知られている。この基利重量ゲージは放
射線源と放射線検出器とを有し、これらの隙間を走行す
るシート材料に向けて放射線を放射し、シート状物を通
過する放射線の量を検出することKよシ、シート状物の
肉厚測定を行うものであった。
−4296号公報に示されるような、シート状物の単位
面積あたシの重量を測定するだめの基材重量ゲージを基
準化する方法が知られている。この基利重量ゲージは放
射線源と放射線検出器とを有し、これらの隙間を走行す
るシート材料に向けて放射線を放射し、シート状物を通
過する放射線の量を検出することKよシ、シート状物の
肉厚測定を行うものであった。
然しなから、上記のような従来の放射線を利用する肉厚
測定装置は、安全性、経済性および測定精度の点で必ず
しも満足のいくものではなかった。
測定装置は、安全性、経済性および測定精度の点で必ず
しも満足のいくものではなかった。
この発明は上記のよう役従来の非接触式の肉厚測定装置
の問題点を解決するためになされたものであって、簡易
な装置で、シートの肉厚の厚薄による誤差精度に関係の
ない適応性の広いシート状物の流れ方向および幅方向に
対する厚さ制御、厚さ目標値適応制御、生産量:制御お
よびスタートアップ短縮制御等において制御回路におけ
る演算時間が非常に短いシート状物の肉厚測定装置を提
供する(とを目的とするものである。
の問題点を解決するためになされたものであって、簡易
な装置で、シートの肉厚の厚薄による誤差精度に関係の
ない適応性の広いシート状物の流れ方向および幅方向に
対する厚さ制御、厚さ目標値適応制御、生産量:制御お
よびスタートアップ短縮制御等において制御回路におけ
る演算時間が非常に短いシート状物の肉厚測定装置を提
供する(とを目的とするものである。
この発明による測定装置は、走行する測定すべきシート
状物の一方の側に、帯磁性基準板(以下基準板という)
が設けられ、シート状物の他方の側に基準板と対向し、
シート状物の幅方向に往復動されるように静電容量セン
サが設けられておし、静電容量センサによってシート状
物およびエアギャップを含む基準板までの静電界−4値
を測定することによシ、シート状物の肉厚を測定する。
状物の一方の側に、帯磁性基準板(以下基準板という)
が設けられ、シート状物の他方の側に基準板と対向し、
シート状物の幅方向に往復動されるように静電容量セン
サが設けられておし、静電容量センサによってシート状
物およびエアギャップを含む基準板までの静電界−4値
を測定することによシ、シート状物の肉厚を測定する。
静電容量センサは基準板が一方の極板となシ、静電容量
センサの極板との間でコンデンサを形成し、基準板との
間に貯えられる静電容量に応じた電圧を出力し、この出
力が基準板と静電容量センサとの間に供給されるシーl
−秋物によって変化することによシ−ト状物毎厚さを測
定することとなる。
センサの極板との間でコンデンサを形成し、基準板との
間に貯えられる静電容量に応じた電圧を出力し、この出
力が基準板と静電容量センサとの間に供給されるシーl
−秋物によって変化することによシ−ト状物毎厚さを測
定することとなる。
そしてこの測定は、静電容量センサは通常基準板との距
離を一定の基準距離とすると、シート状物につき異なる
材質毎に異なる厚さ毎の異につた出力を示チという特性
を利用してされるものであり、それには基準距離の場合
の各異外る材質のシート状物毎の静電容量が示す肉厚の
基準値を制御回路に設定して、基゛準距離の際の静電容
量センサからの出力を前記制御回路に入力して、両者を
比較してシート状物の厚さを出力することによって行わ
れる。
離を一定の基準距離とすると、シート状物につき異なる
材質毎に異なる厚さ毎の異につた出力を示チという特性
を利用してされるものであり、それには基準距離の場合
の各異外る材質のシート状物毎の静電容量が示す肉厚の
基準値を制御回路に設定して、基゛準距離の際の静電容
量センサからの出力を前記制御回路に入力して、両者を
比較してシート状物の厚さを出力することによって行わ
れる。
ところで静電容量センサは、基準板との距離が変化する
と、他の争件に変化がなくとも、異なる静電容量値を出
力するものであり、他方において、基準板は熱膨張に上
る変化・撓みによる変化等の機械系の経時的又は周囲環
境からの変化の発生を掛けることができない。したがつ
てこのような変化が発生すると、前記のようにしてシー
ト状物をその1棟測定すると、その測定値に誤差を生ず
ることとなυ、これを示しているのが第1〜第3図であ
る。
と、他の争件に変化がなくとも、異なる静電容量値を出
力するものであり、他方において、基準板は熱膨張に上
る変化・撓みによる変化等の機械系の経時的又は周囲環
境からの変化の発生を掛けることができない。したがつ
てこのような変化が発生すると、前記のようにしてシー
ト状物をその1棟測定すると、その測定値に誤差を生ず
ることとなυ、これを示しているのが第1〜第3図であ
る。
第1図における基準板3と静電容量センサ14との距離
tAを基準距離とし、シートの肉厚が0闘のとき、セン
サ14の出力電圧Vが±0となるように設定すると、第
3図に示すように、シート15の肉厚による出力l特性
曲線Aがえられる。そして基準板3とセンサ14との距
離が第2図に示すようにtb (ta > tb’ )
に変化すると、同じシート15であっても、第3図の特
性曲線B′にみられるように異なる出力かえられる。
tAを基準距離とし、シートの肉厚が0闘のとき、セン
サ14の出力電圧Vが±0となるように設定すると、第
3図に示すように、シート15の肉厚による出力l特性
曲線Aがえられる。そして基準板3とセンサ14との距
離が第2図に示すようにtb (ta > tb’ )
に変化すると、同じシート15であっても、第3図の特
性曲線B′にみられるように異なる出力かえられる。
そこでこのような誤差の発生を防止するために、この発
明による測定装置は、さらに静電容量センサ14と並列
して同じ側に電磁センサ13を配置し、また制御回路に
lli静電容量センサ14と基準板3との距離が変化し
た場合、そのシj化に応じて発生する静電容量の変化を
距離換算マツプとして記憶させている。そして電磁セン
ザ13から距離の変化に伴い、異々つた出力が制御回路
に入力すると、この入力を距離換算マツプとの対比にお
いて、静電容量センサ14からの入力の補正演算が行わ
れ、それにより正しい肉厚を出力することとカるのでち
ゃ、このようにして第3図の特性曲線Wにつき補正した
ものが、同図に特性曲線Bとして示されている。この電
磁センサ13は基準板3が一方の電極となって、この基
準板3と電磁センサ13の電極間の磁束に応じた′[d
1圧を出力することによシ、基準板3との距離を測定す
るようになっており、その出力特性を示すのが第4図で
あって、その特性曲線Cは直線状となシ、これに基づき
出力値の増減による距離の増減が簡単に知ることができ
る。
明による測定装置は、さらに静電容量センサ14と並列
して同じ側に電磁センサ13を配置し、また制御回路に
lli静電容量センサ14と基準板3との距離が変化し
た場合、そのシj化に応じて発生する静電容量の変化を
距離換算マツプとして記憶させている。そして電磁セン
ザ13から距離の変化に伴い、異々つた出力が制御回路
に入力すると、この入力を距離換算マツプとの対比にお
いて、静電容量センサ14からの入力の補正演算が行わ
れ、それにより正しい肉厚を出力することとカるのでち
ゃ、このようにして第3図の特性曲線Wにつき補正した
ものが、同図に特性曲線Bとして示されている。この電
磁センサ13は基準板3が一方の電極となって、この基
準板3と電磁センサ13の電極間の磁束に応じた′[d
1圧を出力することによシ、基準板3との距離を測定す
るようになっており、その出力特性を示すのが第4図で
あって、その特性曲線Cは直線状となシ、これに基づき
出力値の増減による距離の増減が簡単に知ることができ
る。
以下この発明を図面に示す実施例に基づいて説明を行う
。
。
第5、第6図において、互に平行に対向して設値された
一対の側板1,2上には、この側板1.2と直交するよ
うに帯磁性の基準板3が側板1,2間に架設されている
。さらに側板工。
一対の側板1,2上には、この側板1.2と直交するよ
うに帯磁性の基準板3が側板1,2間に架設されている
。さらに側板工。
2間には基準板3の下方位間に基準板3と対向するよう
にドライブボールスクリュ4が、両端部をそれぞれ軸受
5,6によって回転自在に架設されておシ、またスクリ
ュ4の一端は側板1の外側に突出されて、機枠7に固定
されたステッピングモータ8の回転軸にカップリング9
で連結されている。また側板1,2間にはスクリュ4の
両側方部にそれぞれ平行にスライドバーio、tiが架
設されている。
にドライブボールスクリュ4が、両端部をそれぞれ軸受
5,6によって回転自在に架設されておシ、またスクリ
ュ4の一端は側板1の外側に突出されて、機枠7に固定
されたステッピングモータ8の回転軸にカップリング9
で連結されている。また側板1,2間にはスクリュ4の
両側方部にそれぞれ平行にスライドバーio、tiが架
設されている。
スクリュ4にはセンサボルダ12が、はぼ中央部を貫通
された状態で螺合さ)tて取シ付けられておシ、さらに
スライドパー10.11がセンサホルダ12を貫通して
、センサホルダ12がスクリュ40回転に伴って′πり
板1,2間を往復動するようになっている。
された状態で螺合さ)tて取シ付けられておシ、さらに
スライドパー10.11がセンサホルダ12を貫通して
、センサホルダ12がスクリュ40回転に伴って′πり
板1,2間を往復動するようになっている。
センサボルダ12の上面には電磁センサ13と静電容量
センサ14が、スクリュ4の軸方向と直交する方向に並
べられて取り付けられている。また電磁センサ13およ
び静電容量センサ14の上端と基準板3の下面との間に
は所定の間隔で空間が形成され、シート15を基準板3
、電磁センサ13および静電容量センサ14と無接触で
通過さぜるようになっている。シート15は基準板3の
前方部および後方部に、図示しない機枠に回転自在に取
り伺けらhたテンションガイドローラ16,17によっ
てガイドされるようになっている。
センサ14が、スクリュ4の軸方向と直交する方向に並
べられて取り付けられている。また電磁センサ13およ
び静電容量センサ14の上端と基準板3の下面との間に
は所定の間隔で空間が形成され、シート15を基準板3
、電磁センサ13および静電容量センサ14と無接触で
通過さぜるようになっている。シート15は基準板3の
前方部および後方部に、図示しない機枠に回転自在に取
り伺けらhたテンションガイドローラ16,17によっ
てガイドされるようになっている。
電磁センサ13は、第7図に示すように、アンプ18を
介してA/I)コンピータエ9に接続さノ111.A/
I)コンバータ19はマイクロコンピュータ20に接続
されている。寸だ静電容量センサ14(づ1、同図に示
すように、アンプ21を介してA/D:1ンバータ22
に接続され、A/Dコンバータ22はコンピュータ20
に接続されている。23は表示装置である。
介してA/I)コンピータエ9に接続さノ111.A/
I)コンバータ19はマイクロコンピュータ20に接続
されている。寸だ静電容量センサ14(づ1、同図に示
すように、アンプ21を介してA/D:1ンバータ22
に接続され、A/Dコンバータ22はコンピュータ20
に接続されている。23は表示装置である。
またステッピングモータ8は、コンピュータ20と連結
されて、コンピュータ20からの信月によつで駆動され
るようにガっている。
されて、コンピュータ20からの信月によつで駆動され
るようにガっている。
ヤードを参照しながら説明する。
コンピュータ20には、前記のようにシート15の拐質
毎の基準板3と静電容器センサ14とが基準距離(例え
ば第1図のもの)にある際の静電容量から見られるシー
ト15の厚さの基準値および基準距離が変化した場合の
静電容量の変化を示す距離換算マツプを記憶させておく
。
毎の基準板3と静電容器センサ14とが基準距離(例え
ば第1図のもの)にある際の静電容量から見られるシー
ト15の厚さの基準値および基準距離が変化した場合の
静電容量の変化を示す距離換算マツプを記憶させておく
。
そこで第8図においてスタート信号を入れると、シート
15が基準板3と電磁センサ13および静電容量センサ
14との中間を走行し、第7図に示すように、ステッピ
ングモータ8がコンピュータ2oからの作動信号aによ
って駆動さil、スクリュ4が回転されることにょシ、
センサホルダ12がシート15の幅方向に往復動される
。そして電磁センサ13はセンサホルダ12が往復動さ
れる間に基準平板3との間の磁束に応じた電圧すを出刃
する(第9図)。この電圧すはアンプ18を介してA/
’Dコンバーク19に入力され、このA / Dコンバ
ータ19 &j:電圧すをディジタル信号dに変換し、
コンピュータ20に入力する。コンピュータ20に入力
されたディジタル信号dは、コンピュータ20にあらか
じめ記憶されている距離換算マツプと対照され、基4板
3と静電容量センサ14間の距離が決定さノ]、る。
15が基準板3と電磁センサ13および静電容量センサ
14との中間を走行し、第7図に示すように、ステッピ
ングモータ8がコンピュータ2oからの作動信号aによ
って駆動さil、スクリュ4が回転されることにょシ、
センサホルダ12がシート15の幅方向に往復動される
。そして電磁センサ13はセンサホルダ12が往復動さ
れる間に基準平板3との間の磁束に応じた電圧すを出刃
する(第9図)。この電圧すはアンプ18を介してA/
’Dコンバーク19に入力され、このA / Dコンバ
ータ19 &j:電圧すをディジタル信号dに変換し、
コンピュータ20に入力する。コンピュータ20に入力
されたディジタル信号dは、コンピュータ20にあらか
じめ記憶されている距離換算マツプと対照され、基4板
3と静電容量センサ14間の距離が決定さノ]、る。
一方静電容埼センサ14はセンサボルダ12の往復動中
に第10図に示すように静電容量値を示す′i’fj、
圧e″f:出力し、この電圧eは第7図に示すようにア
ンプ21を介してA / Dコンバータ22に入力され
、A/Dコンバータ22はコンピュータ20からのパル
ス信号すによって電圧eをディジタル信号gに変換して
コンピュータ20に入力する。このコンピュータ20に
入力されたディジタル信号gは、コンピュータ20にあ
らかじめ記憶されている距離換算マツプのうちディジタ
ル信号dによって選択されたデータと対比され、シート
15の肉厚が決定されて出力され、表示装置23に表示
され、又はレコーダ等に記録されることとなる。
に第10図に示すように静電容量値を示す′i’fj、
圧e″f:出力し、この電圧eは第7図に示すようにア
ンプ21を介してA / Dコンバータ22に入力され
、A/Dコンバータ22はコンピュータ20からのパル
ス信号すによって電圧eをディジタル信号gに変換して
コンピュータ20に入力する。このコンピュータ20に
入力されたディジタル信号gは、コンピュータ20にあ
らかじめ記憶されている距離換算マツプのうちディジタ
ル信号dによって選択されたデータと対比され、シート
15の肉厚が決定されて出力され、表示装置23に表示
され、又はレコーダ等に記録されることとなる。
なお前記の測定装置においては、両センサ13゜14が
シート15の流れ方向に対して一直線上に配置したが、
これは離して設けてもよく、この場合は出力の発生にず
れを生じ、このずれはシートの流れ速度が大きくなれば
なる程大きくなる。しかしこのずれの補正は、シートの
流れ速度とセンサ°の走査速度とから機械的なit算に
よシ容易に行うことができ、またステッピングモータは
エンコーダ付きのインダクションモータに代えてもよい
。
シート15の流れ方向に対して一直線上に配置したが、
これは離して設けてもよく、この場合は出力の発生にず
れを生じ、このずれはシートの流れ速度が大きくなれば
なる程大きくなる。しかしこのずれの補正は、シートの
流れ速度とセンサ°の走査速度とから機械的なit算に
よシ容易に行うことができ、またステッピングモータは
エンコーダ付きのインダクションモータに代えてもよい
。
この発明は上記のように構成したことによシ、従来の放
射線を利用するような非接触式のフィルムシート肉厚測
定装置に比べて安全性に問題がなく、放射線源、放射線
検出器といったような複雑で高価な設備を必要としない
ので、装置の低廉化を図ることができ、さらに電磁セン
サを用いて静電客員センサによるフィルムシートの肉厚
測定値を補正するようになっているので、測定装置の精
密な加工精度および組立精度が要求されることがなく製
作が容易であシ、また測定装置の各部分の自重または熱
膨張等によるたわみKよる測定誤差がキャンセルされる
ので、正確な肉厚測定を行うことができるという優れた
効果を有しているものであり、また制御回路で演算処理
して肉厚測定を行っているので、高速でデータ処理を行
うことができ、データの記憶や貯蔵、過去のデータの検
索や解析を容易に行うことができるという効果も有して
いるものである。
射線を利用するような非接触式のフィルムシート肉厚測
定装置に比べて安全性に問題がなく、放射線源、放射線
検出器といったような複雑で高価な設備を必要としない
ので、装置の低廉化を図ることができ、さらに電磁セン
サを用いて静電客員センサによるフィルムシートの肉厚
測定値を補正するようになっているので、測定装置の精
密な加工精度および組立精度が要求されることがなく製
作が容易であシ、また測定装置の各部分の自重または熱
膨張等によるたわみKよる測定誤差がキャンセルされる
ので、正確な肉厚測定を行うことができるという優れた
効果を有しているものであり、また制御回路で演算処理
して肉厚測定を行っているので、高速でデータ処理を行
うことができ、データの記憶や貯蔵、過去のデータの検
索や解析を容易に行うことができるという効果も有して
いるものである。
第11第2図は、それぞれこの発明による測定装置の使
用時における異なる状態を示す一部縦断側面図、第3図
は第1、第2図における出力特性相図、第4図は前記測
定装置における基準板と電磁センサとの距離と出力値と
の特性線図、第5図はこの発明の実施例の縦断正面図、
第6図は第5図の線6−6による断面図、第7図は同」
二の制御回路の概略図、第8図はこの発明の実施例の作
動フローチャート、第9図は同上の電磁センサが測定し
たアナログ線図の1例を示す図面、第10図は同上の静
電容量センサが測定したアナログ線図の1例を示す図面
である。 1.2・・・側 板 3・・・基準板4・・
・スクリュ 8・・・モータ12・・・センサ
ホルダ 13・・・電磁センサ14・・・静電客員セ
ンサ 15・・・シー ト16 、17・・・ガイドロ
ーラ 18.21・・・アンプ19 、22・・・A/
Dコンバータ 2o・・・マイクロコンピュータ
用時における異なる状態を示す一部縦断側面図、第3図
は第1、第2図における出力特性相図、第4図は前記測
定装置における基準板と電磁センサとの距離と出力値と
の特性線図、第5図はこの発明の実施例の縦断正面図、
第6図は第5図の線6−6による断面図、第7図は同」
二の制御回路の概略図、第8図はこの発明の実施例の作
動フローチャート、第9図は同上の電磁センサが測定し
たアナログ線図の1例を示す図面、第10図は同上の静
電容量センサが測定したアナログ線図の1例を示す図面
である。 1.2・・・側 板 3・・・基準板4・・
・スクリュ 8・・・モータ12・・・センサ
ホルダ 13・・・電磁センサ14・・・静電客員セ
ンサ 15・・・シー ト16 、17・・・ガイドロ
ーラ 18.21・・・アンプ19 、22・・・A/
Dコンバータ 2o・・・マイクロコンピュータ
Claims (1)
- 1、 非磁性シート状物を走行させる走行部材と、この
シート状物の走行平面の一方の側に設けられた帯磁性の
基準板と、前記走行平面の他方の側において、前記基準
板までの距離を測定してその測定値を出力する電磁セン
サおよび同基準板との間の静電容量を測定してその測定
値を出力する静電容量センサを、前記走行平面と間隔を
おいて並列配置したセンサホルダと、このセンサホルダ
をシート状物の走行方向に直交して往復動させる駆動部
材と、基準板と静電容量センサとの距離が所定値の際に
おける静電容量値に対応した各シート状物毎の厚さを基
準値として設定し、電磁センサによる測定値を入力し、
その測定値が前記所定値の際は、前記基準値をそのまま
出力し、′α電磁センサ測定値が前記所定値から変化し
た際は、その変化によシ静電容量センサからの入力値を
補正演算して、その補正により正規の肉厚を出力する制
御回路とを具えていることを特徴とする非磁性シート状
物の肉厚測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18336882A JPS5977302A (ja) | 1982-10-18 | 1982-10-18 | 非磁性シ−ト状物の肉厚測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18336882A JPS5977302A (ja) | 1982-10-18 | 1982-10-18 | 非磁性シ−ト状物の肉厚測定装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5977302A true JPS5977302A (ja) | 1984-05-02 |
Family
ID=16134539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18336882A Pending JPS5977302A (ja) | 1982-10-18 | 1982-10-18 | 非磁性シ−ト状物の肉厚測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5977302A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014163891A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 気液比取得システム、軸受装置、回転機械及び気液比取得方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54110867A (en) * | 1978-02-17 | 1979-08-30 | Hiroyoshi Kume | Thickness measuring method and apparatus |
-
1982
- 1982-10-18 JP JP18336882A patent/JPS5977302A/ja active Pending
Patent Citations (1)
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JPS54110867A (en) * | 1978-02-17 | 1979-08-30 | Hiroyoshi Kume | Thickness measuring method and apparatus |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014163891A (ja) * | 2013-02-27 | 2014-09-08 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 気液比取得システム、軸受装置、回転機械及び気液比取得方法 |
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