JPS59180462A - 静電容量型エンコ−ダ - Google Patents
静電容量型エンコ−ダInfo
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- JPS59180462A JPS59180462A JP5643283A JP5643283A JPS59180462A JP S59180462 A JPS59180462 A JP S59180462A JP 5643283 A JP5643283 A JP 5643283A JP 5643283 A JP5643283 A JP 5643283A JP S59180462 A JPS59180462 A JP S59180462A
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- electrode
- signal
- period
- moving
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
- G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
- G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
- G01P3/481—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Linear Or Angular Velocity Measurement And Their Indicating Devices (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
発明の利用分野
本発明は静電型エンコーダ、髄に対向配、ＩＮされた電
極板を機橡的変位に応じて移動させこの時の静電容量の
変化を′ｕｉ気的に検出するｉｔ？箱型エンコーダの改
良に関するものである。
極板を機橡的変位に応じて移動させこの時の静電容量の
変化を′ｕｉ気的に検出するｉｔ？箱型エンコーダの改
良に関するものである。
従来技術
少な（とも一対の電極板を対向配置賢し、両者を相対的
に移動させ、この時の機誠的変位量を１ｊ）：気的に検
出する容量式変換装Ｔ６１が尚知であり、イ・；−々の
測定に用℃・もれており、例えはメインスケール上に等
間隔で整列配置された第１の電帷板傾対して一定の間隔
で設けられたインデックススクールに他方の電極を配置
し、メインスケールあるいはインデックススケールを１
８４４的変位に応じてスライド移動させ、この時の長さ
あるいは位Ｖｔを１１１、気的に検出する測長エンコー
ダなどとして用いられる。
に移動させ、この時の機誠的変位量を１ｊ）：気的に検
出する容量式変換装Ｔ６１が尚知であり、イ・；−々の
測定に用℃・もれており、例えはメインスケール上に等
間隔で整列配置された第１の電帷板傾対して一定の間隔
で設けられたインデックススクールに他方の電極を配置
し、メインスケールあるいはインデックススケールを１
８４４的変位に応じてスライド移動させ、この時の長さ
あるいは位Ｖｔを１１１、気的に検出する測長エンコー
ダなどとして用いられる。
この種の静電型エンコーダでは、検出感度を改善するた
めに差動的に容量変化が行われる一対のコンデンサを設
けることが通常であり、こ第１ら一対のコンデンサに正
弦波或いは矩形波の交流信号が印加され、との時の容量
変化を差信号として検出することができる。
めに差動的に容量変化が行われる一対のコンデンサを設
けることが通常であり、こ第１ら一対のコンデンサに正
弦波或いは矩形波の交流信号が印加され、との時の容量
変化を差信号として検出することができる。
しかしながらこの種の装置院においては、一対のコンデ
ンサが設けら才１て前記容量変化を検出する構成とする
ため、コンデンサ処印加される交Ｍｆ信号の周波数変動
等により検出信号に誤差が生じ、必ずしも良好な測定精
度を得ることができないという問題があった。
ンサが設けら才１て前記容量変化を検出する構成とする
ため、コンデンサ処印加される交Ｍｆ信号の周波数変動
等により検出信号に誤差が生じ、必ずしも良好な測定精
度を得ることができないという問題があった。
このような問題を解消するために、検数の送信電極を等
間隔に配置し、各送信電極に所定の位相なずらした交Ｉ
′７Ｉｔ、電圧を印加する一方において、これらの送信
電極に対向して受信電極を配置し、この送信短、極と受
イ８電給との相対移！！＋量を受信′電極から検出され
る静電２容量イ＝号の周期を発信して求める装面が提案
されている。
間隔に配置し、各送信電極に所定の位相なずらした交Ｉ
′７Ｉｔ、電圧を印加する一方において、これらの送信
電極に対向して受信電極を配置し、この送信短、極と受
イ８電給との相対移！！＋量を受信′電極から検出され
る静電２容量イ＝号の周期を発信して求める装面が提案
されている。
１〜かじｌｊがも、この桶の提案された装置においては
、送信電極と受信電極とのいずれか一方の移動電極の移
動速度によって、かつ移躬ｊ方向によって静電容量信号
のＪ閉、ＨＪ−ｉが長知亥化することとなり、移動電極
の移動速度が速すぎる場合、すなわち、移動電極を異笥
速度で移動した場合には靜１１ｊ１者ｈｊ信号の周期が
周期検出装置の能力を超える等のためこれを正確に検知
できず、Ｈｕｎ ５７値に大幅な誤差成分を含６、測定
精度が悪化すると（・５問題かあった。
、送信電極と受信電極とのいずれか一方の移動電極の移
動速度によって、かつ移躬ｊ方向によって静電容量信号
のＪ閉、ＨＪ−ｉが長知亥化することとなり、移動電極
の移動速度が速すぎる場合、すなわち、移動電極を異笥
速度で移動した場合には靜１１ｊ１者ｈｊ信号の周期が
周期検出装置の能力を超える等のためこれを正確に検知
できず、Ｈｕｎ ５７値に大幅な誤差成分を含６、測定
精度が悪化すると（・５問題かあった。
発明の目的
本発明は上述した従来の課題に＾みなされたものであり
、その目的は、移動′ｆｉｊ、杉が異常速度で移動した
場合には、その測定値を排除することにより精度の高い
測定値のみケ得ることができる萄・Ｇｊｉ芥片型片型エ
ンコーダ供することにある。
、その目的は、移動′ｆｉｊ、杉が異常速度で移動した
場合には、その測定値を排除することにより精度の高い
測定値のみケ得ることができる萄・Ｇｊｉ芥片型片型エ
ンコーダ供することにある。
発明の構成
上記目的を達成するために本発明は、等間■、・１に配
列された複数の送信電極と、各送（ａ電極にｊｌｌｉ１
次所定位相ずらした交流電圧を印加する電圧印加手段と
、前Ｎ１２複数の送信電極のうちの所定の連続した送信
′ｒ；１、極に対して対向配置された少くとも１個以上
の受信化（−剣とを含み、送信電仲と受信量、４ｉ＋と
の相対移動量を両者の静電容量変化により検出するＭｌ
ｉ１＾リエンコーダにおいて、受信電極からの静電容量
信号の周期を検出する周期検出回路と、静電容量信号の
最大周期限界値と最小周期限界＆＋が設定され周期検出
回路によって検出された静？）＋１等晴信号がこれらの
限界値を超えたときに警報信号を出力する周期判定回路
と、前記警報信号により貴報を発生する１１−＃器とを
有し、移動′に枠の異常速度送りを警報検知することを
特徴とする。
列された複数の送信電極と、各送（ａ電極にｊｌｌｉ１
次所定位相ずらした交流電圧を印加する電圧印加手段と
、前Ｎ１２複数の送信電極のうちの所定の連続した送信
′ｒ；１、極に対して対向配置された少くとも１個以上
の受信化（−剣とを含み、送信電仲と受信量、４ｉ＋と
の相対移動量を両者の静電容量変化により検出するＭｌ
ｉ１＾リエンコーダにおいて、受信電極からの静電容量
信号の周期を検出する周期検出回路と、静電容量信号の
最大周期限界値と最小周期限界＆＋が設定され周期検出
回路によって検出された静？）＋１等晴信号がこれらの
限界値を超えたときに警報信号を出力する周期判定回路
と、前記警報信号により貴報を発生する１１−＃器とを
有し、移動′に枠の異常速度送りを警報検知することを
特徴とする。
実施例
第１図には本発明に係る静電容量Ｗｊエンコーダの好適
な実施例が示され、スケール型のエンコーダにあっては
メインスケールあるいはインデックススケールの表面に
直線状に、またロータ型のエンコーダにおいては円板状
のステータあるいはロータの同一円Ｒ；上に、複数の送
イ、−３’ ？Ｉ、イ頭１０が々′目）１」隔に配列さ
れている。そしてこの各送信電極１０には電圧印加手段
１２により順次所定位相、本実施例においてはπ／４の
位相をずらした正弦波凌（・は矩形波の交流電圧が印加
さＪ］、８相？ｊｆ、 棒を１単位とするユニット１わ
、極群が松〈り形成される。
な実施例が示され、スケール型のエンコーダにあっては
メインスケールあるいはインデックススケールの表面に
直線状に、またロータ型のエンコーダにおいては円板状
のステータあるいはロータの同一円Ｒ；上に、複数の送
イ、−３’ ？Ｉ、イ頭１０が々′目）１」隔に配列さ
れている。そしてこの各送信電極１０には電圧印加手段
１２により順次所定位相、本実施例においてはπ／４の
位相をずらした正弦波凌（・は矩形波の交流電圧が印加
さＪ］、８相？ｊｆ、 棒を１単位とするユニット１わ
、極群が松〈り形成される。
・ 一方、前記各ユニット電４＊ ｉｎ、のうちの連Ｆ
ｋシた所定の送信電極に対してそ第１それ堂化’１４−
１’、愉１４が配置される。本実施例においてはこの受
信量りは４個の連続した送信電極、すなわち、基徨電Ｈ
−ｖ。
ｋシた所定の送信電極に対してそ第１それ堂化’１４−
１’、愉１４が配置される。本実施例においてはこの受
信量りは４個の連続した送信電極、すなわち、基徨電Ｈ
−ｖ。
が印加される送信電４針と、基準′ｄ、圧Ｖ、に対して
π／４．２π／４．３π／ ４ 位相カーＪ’ ｔｔ
タＶ２、Ｖ３、Ｖ４ノ各電圧が印加される電極との金側
４個の送信％、 Ｗｌ：Ｍに対向して一個の受信亀槓１
４が配ｖＬされている。
π／４．２π／４．３π／ ４ 位相カーＪ’ ｔｔ
タＶ２、Ｖ３、Ｖ４ノ各電圧が印加される電極との金側
４個の送信％、 Ｗｌ：Ｍに対向して一個の受信亀槓１
４が配ｖＬされている。
−また、本実施例において、基型’ｔｌ；、圧■１に灼
して４π／４．５π／４．６π／４．７π／４位相が１
才１六−箱Ｂ−が印加される送個電イ９に対向して、す
なわち、各ユニット電極群の受信電極１４間にはアース
止棒１６が配設されており、各受ｈ″１ｆｆ１４問およ
びその他からの￥ｆ−篭容量の干渉による悪影侑がし月
（されている。
して４π／４．５π／４．６π／４．７π／４位相が１
才１六−箱Ｂ−が印加される送個電イ９に対向して、す
なわち、各ユニット電極群の受信電極１４間にはアース
止棒１６が配設されており、各受ｈ″１ｆｆ１４問およ
びその他からの￥ｆ−篭容量の干渉による悪影侑がし月
（されている。
前記送（Ｍ箱１個、・１０と受信面、極１４（１スケー
ル型１のエンコーダにおいては、その一方の電極がイン
デックススケールに配設され、他方の電極はメインヌケ
ールに配設される。そしてエンコーダがローフ型の場合
には、一方の電極はスデータに設けら才１他方の１１儂
はロータに配設されることとなる。
ル型１のエンコーダにおいては、その一方の電極がイン
デックススケールに配設され、他方の電極はメインヌケ
ールに配設される。そしてエンコーダがローフ型の場合
には、一方の電極はスデータに設けら才１他方の１１儂
はロータに配設されることとなる。
そして、送信電極１０と受信電極１４とを相対移動する
ことにより受信電極１４から靜η１容計（Ｎ号の周期変
化が検出される。
ことにより受信電極１４から靜η１容計（Ｎ号の周期変
化が検出される。
本実施例においては、送信電楡］０を移動電極に形成し
ており、この移動電極の移動量に、第２図に示すように
、受信電極１４からの静電、容量信号を周期検出回路１
８によって検出し、この検出された信号の位相を演算回
路１９によって演算分析することによって求められる。
ており、この移動電極の移動量に、第２図に示すように
、受信電極１４からの静電、容量信号を周期検出回路１
８によって検出し、この検出された信号の位相を演算回
路１９によって演算分析することによって求められる。
すなわち、静電容量信号の検出電圧Ｖ。は受信′Ｔ１を
極１４が対向する各送侶箱、極１０の電圧の合ベクトル
値に対応されており、従って基準電圧■。
極１４が対向する各送侶箱、極１０の電圧の合ベクトル
値に対応されており、従って基準電圧■。
に対する前記合ベクトル値、すなわち検出電圧■。
の位相差を求めることにより送（ｇ ′ＰＩＩ： Ｉσ
１ｏと受イ８電極１４との４１１対揺動ｈ４が求められ
る。
１ｏと受イ８電極１４との４１１対揺動ｈ４が求められ
る。
本実施例において、各送信型１．Ｊ＋ｒ Ｉ Ｏの”ｊ
ｊ：付→７゛がｌ、受信電極１４の電極幅が４１に形ｉ
ｆされており、例えば移動電極の静止位１市が第１図状
ル、１１にある場合には第２図（ａ）に示すように受信
′「）１橙１４には各送信型４Ｔｈｘｏに加えらｉする
印加１４ノ、圧のベクトル値、Ｖｌ、■２、■３、■４
のベクトル和に対応する箱、圧■ｏが検出され、この■
。の■１に幼する位相ψが位相差として検出される。す
なわち、第２図（ａ）において、ベクトルｖ１とｖ２と
の和が■１２として求められ、また、Ｖ３と■４のベク
トル和は■３４として求められる。そしてこのＶ１２と
■３４との合力がｖ１〜ｖ４のベクトル和■。として求
まる。この■１と■。との位相差ψは６７．５°として
検出される。
ｊ：付→７゛がｌ、受信電極１４の電極幅が４１に形ｉ
ｆされており、例えば移動電極の静止位１市が第１図状
ル、１１にある場合には第２図（ａ）に示すように受信
′「）１橙１４には各送信型４Ｔｈｘｏに加えらｉする
印加１４ノ、圧のベクトル値、Ｖｌ、■２、■３、■４
のベクトル和に対応する箱、圧■ｏが検出され、この■
。の■１に幼する位相ψが位相差として検出される。す
なわち、第２図（ａ）において、ベクトルｖ１とｖ２と
の和が■１２として求められ、また、Ｖ３と■４のベク
トル和は■３４として求められる。そしてこのＶ１２と
■３４との合力がｖ１〜ｖ４のベクトル和■。として求
まる。この■１と■。との位相差ψは６７．５°として
検出される。
次に移動電極がｌ／２だけすなわち第２図の矢印方向に
移動した場合釦は同様にして第２図（ｂｌに示すように
■。が■１に対してψ−９００の位相ずれ（位相進み）
として検知される。更に移＄、ｌ＋軍憧が初期位置から
ｌたけ変化した駅８合にＱｊ第２図（Ｃ）のように静電
容量信号の位相進み量が検出され、同様に移＃！ｌ電極
が２１．３１．４１．５１．６１の量だけ移動した場合
には第２ ＩＩ、２１ （ｄ）〜ｆｈｌに示すように静
電容量信号の基準電圧Ｖ、に対する位相進みが検出され
る。
移動した場合釦は同様にして第２図（ｂｌに示すように
■。が■１に対してψ−９００の位相ずれ（位相進み）
として検知される。更に移＄、ｌ＋軍憧が初期位置から
ｌたけ変化した駅８合にＱｊ第２図（Ｃ）のように静電
容量信号の位相進み量が検出され、同様に移＃！ｌ電極
が２１．３１．４１．５１．６１の量だけ移動した場合
には第２ ＩＩ、２１ （ｄ）〜ｆｈｌに示すように静
電容量信号の基準電圧Ｖ、に対する位相進みが検出され
る。
従ってこの基準電圧■１に灼する静電容量信号の位相差
を検出することにより移１ｔ＋ Ｎ 徐の移動量か正確
に求められる。
を検出することにより移１ｔ＋ Ｎ 徐の移動量か正確
に求められる。
例えは、第３図（ａ）に示すように、基準電圧■。
の電圧波形をｓｉｎω。ｔとすると、移動電極の静止位
置すなわち受信霜、極１４に対する相対移動量が００場
合にあっては静電容量信号電圧Ｖ。ｔｌは第２図（ａ）
に示すように、基準電圧■１に対して６７．５°の位相
進みがありその波形は第３図（ｂ）に示すようにｓｉｎ
（ω。を十〇）となる。次にこの静止状態から移動電
極をΔを時間移動した場合には第３図（Ｃ）および第４
図に示すように静電容量信号電圧■。ｔ２け基準電圧Ｖ
、に対してθ′の位相進みが生じる。この時の波形はｓ
ｉｎ （ωｏｔ＋θ′）となる。
置すなわち受信霜、極１４に対する相対移動量が００場
合にあっては静電容量信号電圧Ｖ。ｔｌは第２図（ａ）
に示すように、基準電圧■１に対して６７．５°の位相
進みがありその波形は第３図（ｂ）に示すようにｓｉｎ
（ω。を十〇）となる。次にこの静止状態から移動電
極をΔを時間移動した場合には第３図（Ｃ）および第４
図に示すように静電容量信号電圧■。ｔ２け基準電圧Ｖ
、に対してθ′の位相進みが生じる。この時の波形はｓ
ｉｎ （ωｏｔ＋θ′）となる。
従って移動電極の移動量は■。ｔ２と■。ｔｌとの位相
差θ′−θの値から求められる。
差θ′−θの値から求められる。
なお第２図においては移Ｑ、Ｉ（’Ｉｉｉ’、 仲を各
送１′ご電４飼Ｏに印加する電圧の位相遅れ走査方法と
逆方向に移 ・動した場合が示されて（・るが、移動′
ｔｉ’ｉ’、 ４１＜の移動方向をこれと反対方向に移
動したＪＭ合も基準電圧Ｖ。
送１′ご電４飼Ｏに印加する電圧の位相遅れ走査方法と
逆方向に移 ・動した場合が示されて（・るが、移動′
ｔｉ’ｉ’、 ４１＜の移動方向をこれと反対方向に移
動したＪＭ合も基準電圧Ｖ。
に対する静電容量信号の電圧■。の位相遅れ量から移動
電極の移動量を容易に求めることができる。
電極の移動量を容易に求めることができる。
しかしながら、前述したように送イ６電極１ｏに順次所
定位相をずらした交流１１４１圧を印加し、この送信電
極に列して受信電極を対向ｒ１１．直し、この両者の相
対移動針を受信１６．イヅζからの靜軍容情信乞の位相
ずれから求める装置においては、移動箱、極の移動方向
に対応して静電容量信号の周期が良知変化し、例えば本
実施例において、移１ｈ電橙が第２図の矢印方向に移動
した場合は、第５図の基準波形すなわち移動電極の静止
時の波形よりも第６図に示すように周期が短縮されるこ
ととなり、一方、移動電極を逆方向に移動する場合には
第５図に示す静止時の波形に対して第７図に示すように
静電容量信号の波形周期が伸長化さ才することとなる。
定位相をずらした交流１１４１圧を印加し、この送信電
極に列して受信電極を対向ｒ１１．直し、この両者の相
対移動針を受信１６．イヅζからの靜軍容情信乞の位相
ずれから求める装置においては、移動箱、極の移動方向
に対応して静電容量信号の周期が良知変化し、例えば本
実施例において、移１ｈ電橙が第２図の矢印方向に移動
した場合は、第５図の基準波形すなわち移動電極の静止
時の波形よりも第６図に示すように周期が短縮されるこ
ととなり、一方、移動電極を逆方向に移動する場合には
第５図に示す静止時の波形に対して第７図に示すように
静電容量信号の波形周期が伸長化さ才することとなる。
この移動電極の移動に起因する静電容量信号の波形周期
の長短変化量は移動電極の移動速度が速くなればブ、Ｃ
る稈その傾向が促進されることとなる、このためＧ’？
電容量信号の波形周期が短縮化する方向に移１ＩＩｌＪ
電極を移動する場合には、移動電極の移動速度がある制
限値を越えると静電容量信号を処理する装置ガ、例えば
カウンタ等のカウント機能が追従できず誤動作を行う等
の不都合が生じる。
の長短変化量は移動電極の移動速度が速くなればブ、Ｃ
る稈その傾向が促進されることとなる、このためＧ’？
電容量信号の波形周期が短縮化する方向に移１ＩＩｌＪ
電極を移動する場合には、移動電極の移動速度がある制
限値を越えると静電容量信号を処理する装置ガ、例えば
カウンタ等のカウント機能が追従できず誤動作を行う等
の不都合が生じる。
−刃移動電極を逆の方向、すなわち靜電容溺イｈ号の波
形周期が長くなる方向に移動する場合には、移動電極の
移！ｋＩＩ速度が速（なるにつれてその波形周期が伸長
化され、このため移動電極の速度がある一定値を越えた
場合には、この静電容量信号の処理装置、たとえばアナ
ログ増幅器等の機能が効果的に発揮されず、このため測
定精度が悪化するという弊害が発生する。
形周期が長くなる方向に移動する場合には、移動電極の
移！ｋＩＩ速度が速（なるにつれてその波形周期が伸長
化され、このため移動電極の速度がある一定値を越えた
場合には、この静電容量信号の処理装置、たとえばアナ
ログ増幅器等の機能が効果的に発揮されず、このため測
定精度が悪化するという弊害が発生する。
本発明において特徴的なことは、このような不都合を除
去するために、移動電極の異常送り速度を検出し、この
異常送り時における測定データを除去することにより移
動電極の異常送り速度に起因する測定誤差を除去する構
成としたことである。
去するために、移動電極の異常送り速度を検出し、この
異常送り時における測定データを除去することにより移
動電極の異常送り速度に起因する測定誤差を除去する構
成としたことである。
このため本実施例においては、第１図に示すように受信
電極］４からの静電容量信号の周期を検出する周期検出
回路１８が設けられており、またこの周期検出回路１８
により検出された静電容量信号の周期異常を判定する周
期判定回路２０が設けられる。この周期判定回路２０に
は移動箱、極の移動方向を検知する方向判別手段が設け
られており、また静電容量信号の最小周期限界値と最小
周期限界値とがそれぞれ設定されており、移動箱棒の移
動速度が前記限界値を越えたガ）合には警報信号を出力
するように構成されている。
電極］４からの静電容量信号の周期を検出する周期検出
回路１８が設けられており、またこの周期検出回路１８
により検出された静電容量信号の周期異常を判定する周
期判定回路２０が設けられる。この周期判定回路２０に
は移動箱、極の移動方向を検知する方向判別手段が設け
られており、また静電容量信号の最小周期限界値と最小
周期限界値とがそれぞれ設定されており、移動箱棒の移
動速度が前記限界値を越えたガ）合には警報信号を出力
するように構成されている。
本実施例において、前記最小ｊ■期限界値はこの最小周
期限界値をＴＰＨとする４とＴｌｌ＋ ”＝ ｎｐＨＸ
Ｔｃｋに設定しである。
期限界値をＴＰＨとする４とＴｌｌ＋ ”＝ ｎｐＨＸ
Ｔｃｋに設定しである。
ここにおいてｎＰＨは図示されて（・ない￥Ｐ電容星。
信号を処理するだめのコントロールクロック回路の分周
段の数、 Ｔｃｋは静電容量信号の処理装置灯を構成するヌ１示さ
れてない基本クロックの周期である。
段の数、 Ｔｃｋは静電容量信号の処理装置灯を構成するヌ１示さ
れてない基本クロックの周期である。
一方、本実施例において最大周期限界値ＴＢは、ＴＢ
＝ ｎＢＴｃｋに設定されている。
＝ ｎＢＴｃｋに設定されている。
この式においてｎＢはｎ主容量信号の処理装置である図
示されていないアナログ増幅器等の能力限界を考慮して
設計的に決定される値である。
示されていないアナログ増幅器等の能力限界を考慮して
設計的に決定される値である。
従って、本実施例において静電容量信号により先ず移動
′電極の移動方向が判別され周期限界値が選択される。
′電極の移動方向が判別され周期限界値が選択される。
すなわち、移動電極の移動方向が静電容量信号の波形周
期を短縮する方向に移動する場合には、最小周期限界値
が判定値として選択され、前記靜′市容量信号の波形周
期がこの最小周期限界値を越えたとき、すなわち前記静
電容量信号の波形周期が最小限界値よりも小さくなった
ときに警報信号が発つせられる。
期を短縮する方向に移動する場合には、最小周期限界値
が判定値として選択され、前記靜′市容量信号の波形周
期がこの最小周期限界値を越えたとき、すなわち前記静
電容量信号の波形周期が最小限界値よりも小さくなった
ときに警報信号が発つせられる。
一方、移動電極の移動方向が静電容量信号の波形周期を
増大する方向に移動する場合には最大周期限界値が判定
値として選択され、静電容量信号の波形周期が量大周期
限界値を越えたとき、すなわち前記静電容量波形周期力
で最大周期限界値よりも大きくなったときに警報信号が
発つせられる。
増大する方向に移動する場合には最大周期限界値が判定
値として選択され、静電容量信号の波形周期が量大周期
限界値を越えたとき、すなわち前記静電容量波形周期力
で最大周期限界値よりも大きくなったときに警報信号が
発つせられる。
前記警報信号は瞥−和姦２２にＬＨ力され移！ＩＩｂ’
ｊｉｊ極の異常速度送りを警報検知することが可能とな
る。
ｊｉｊ極の異常速度送りを警報検知することが可能とな
る。
従ってとの勧報時における徊（定データを排除すること
により誤差成分を含まない正確な移動電極の移動蛍を求
めることができる。
により誤差成分を含まない正確な移動電極の移動蛍を求
めることができる。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば、移動ｍｔ極の異常送
り時には警報が発つせられる結果、この移動電極の異常
送り時における測定データを除去することができ、これ
により１Ｌｉｌｉ定誤差成分を含まない極めて正確な測
定価を得ることができる。
り時には警報が発つせられる結果、この移動電極の異常
送り時における測定データを除去することができ、これ
により１Ｌｉｌｉ定誤差成分を含まない極めて正確な測
定価を得ることができる。
第１図は本発明に係る静知′、谷綱型エンコーダの概略
構成図、 第２図（ａ）〜（ｈ）は移動電極の移動聞と＊’］□
１ｔ＝’、容妬信号の位相ずれとの関係を示ずベクトル
説明１ｔｉ、第３図（ａ）〜（Ｃ１は送信電極の基準電
圧■、に対する移動電極の静止時及び移動時におげろ前
Ｉ市、清扇（ＦＩ号の波形図、 第４図は第３図における移ｐｉ＋＋ ？Ｉｉ、 ４１ｉ
の静止付活゛からΔ１時時間位した場合の′ｆ１−ｆｒ
電賓ｈ３信号Ｖ。の変化を示す８１７明図、 第５図は移動電極が静止状態にある場合のｆｉ’ｌｌ”
ｉｌ・。 容ｈ；−信号の波形周期を示す波形図、＠６図は第５図
状態から移動η￥４極を送（Ｐ’ Ｄ棒への位相遅れ走
査方向と逆方向如移動した場合の静′？Ｊｊ、’ｌｑ量
信号の波形図、 第７図は第５図状態から移動霜榛を送信型４Ｔｈへの位
相遅れ走査方向と同方向に移動したときの＆４゜電容力
］°信号の波形図である。 １０・・・送信電極、 １２・・・電圧印加手段、 １４・・・受信電極、 １８・・・周期検出回路、 ２０・・・周期判定回路、 ２２・・Ｗ和姦。 代理人 弁理士 吉 Ｂ」 研 二 （外１名） 第２ （０） （ｂ） （ｅ）（ｆ） （Ｃ） （ｄ） ｘ＝１ ×＝２１ｑ：ｒ＝ １１
２．５”＋’＝１３５’（９） （ｈ） 第３図 第４図 第５図
構成図、 第２図（ａ）〜（ｈ）は移動電極の移動聞と＊’］□
１ｔ＝’、容妬信号の位相ずれとの関係を示ずベクトル
説明１ｔｉ、第３図（ａ）〜（Ｃ１は送信電極の基準電
圧■、に対する移動電極の静止時及び移動時におげろ前
Ｉ市、清扇（ＦＩ号の波形図、 第４図は第３図における移ｐｉ＋＋ ？Ｉｉ、 ４１ｉ
の静止付活゛からΔ１時時間位した場合の′ｆ１−ｆｒ
電賓ｈ３信号Ｖ。の変化を示す８１７明図、 第５図は移動電極が静止状態にある場合のｆｉ’ｌｌ”
ｉｌ・。 容ｈ；−信号の波形周期を示す波形図、＠６図は第５図
状態から移動η￥４極を送（Ｐ’ Ｄ棒への位相遅れ走
査方向と逆方向如移動した場合の静′？Ｊｊ、’ｌｑ量
信号の波形図、 第７図は第５図状態から移動霜榛を送信型４Ｔｈへの位
相遅れ走査方向と同方向に移動したときの＆４゜電容力
］°信号の波形図である。 １０・・・送信電極、 １２・・・電圧印加手段、 １４・・・受信電極、 １８・・・周期検出回路、 ２０・・・周期判定回路、 ２２・・Ｗ和姦。 代理人 弁理士 吉 Ｂ」 研 二 （外１名） 第２ （０） （ｂ） （ｅ）（ｆ） （Ｃ） （ｄ） ｘ＝１ ×＝２１ｑ：ｒ＝ １１
２．５”＋’＝１３５’（９） （ｈ） 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- （１）等間隔に配列された複数の送信電極と、各送信電
極に１１β次所定位相ずらした交流電圧を印加する電圧
印加手段と、前記複数の送信電極のうちの所定の連続し
た送信電極に対して対向配置さ」］た少くとも１個以上
の受信電極とを含み、送信電極と受信電極との相対移動
量を両者の静電容量信号により検出する静電容量型エン
コーダ妃おいて、受信電極からの静電容量信号の周期を
検出する周期検出回路と、ｈ電容量信号の最大周期限界
値と最小周期限界値が設定され周期検出回路によって検
出さ才また静電容量信号がこれらの限界値を越えたとき
に警報信号を出力する周期判定回路と、前記臀報信号に
より警報を発生するＹ報器とを有し、移動電極の異常速
度送りを警報検知することを特徴とする静電容量型エン
コーダ、。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5643283A JPS59180462A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 静電容量型エンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5643283A JPS59180462A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 静電容量型エンコ−ダ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59180462A true JPS59180462A (ja) | 1984-10-13 |
| JPH0129409B2 JPH0129409B2 (ja) | 1989-06-09 |
Family
ID=13026925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5643283A Granted JPS59180462A (ja) | 1983-03-31 | 1983-03-31 | 静電容量型エンコ−ダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59180462A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003074976A1 (fr) * | 2002-03-04 | 2003-09-12 | Citizen Watch Co., Ltd. | Chronometre electrique |
| JP2008296369A (ja) * | 2000-09-04 | 2008-12-11 | Ce Johansson Ab | ロボットにおいて結合の角度を決定する角度位置測定装置 |
| US10274813B2 (en) | 2015-05-19 | 2019-04-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement detecting apparatus, lens barrel, and image pickup apparatus |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5141563A (ja) * | 1974-10-07 | 1976-04-07 | Hitachi Ltd | Idosokudokenshutsusochi |
| JPS51129165A (en) * | 1975-05-02 | 1976-11-10 | Teraoka Seiko Co Ltd | Detect system of abnormal reading speed by a-d converter |
| JPS5412824A (en) * | 1977-06-30 | 1979-01-30 | Pioneer Electronic Corp | Speaker vibrator |
| JPS55123808U (ja) * | 1979-02-27 | 1980-09-02 |
-
1983
- 1983-03-31 JP JP5643283A patent/JPS59180462A/ja active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5141563A (ja) * | 1974-10-07 | 1976-04-07 | Hitachi Ltd | Idosokudokenshutsusochi |
| JPS51129165A (en) * | 1975-05-02 | 1976-11-10 | Teraoka Seiko Co Ltd | Detect system of abnormal reading speed by a-d converter |
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| JP2008296369A (ja) * | 2000-09-04 | 2008-12-11 | Ce Johansson Ab | ロボットにおいて結合の角度を決定する角度位置測定装置 |
| WO2003074976A1 (fr) * | 2002-03-04 | 2003-09-12 | Citizen Watch Co., Ltd. | Chronometre electrique |
| US7436737B2 (en) | 2002-03-04 | 2008-10-14 | Citizen Holdings Co., Ltd. | Electric timepiece |
| US10274813B2 (en) | 2015-05-19 | 2019-04-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Displacement detecting apparatus, lens barrel, and image pickup apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0129409B2 (ja) | 1989-06-09 |
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